KR100253371B1 - Shelf for reticle cassette storing equipment - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A ledge of a reticle cassette storing device is provided to improve the effectiveness of the reticle cassette storing device by selectively receiving 5 inch reticle cassette or 6 inch reticle cassette. CONSTITUTION: A supporting plate(10b) for supporting an underside of a reticle cassette is protruded from a pair of lateral plates(10a) installed at both sides of a reticle cassette storing device. The lateral plates(10a) are installed such that the distance therebetween is larger than a distance between projection ends of a 6 inch reticle cassette(6). A guide slot(10c) is formed on the upper surface of the supporting plate(10b). The guide slot(10c) is coupled to a guide projection of a 5 inch reticle cassette(5). A stopping jaw(10d) is formed adjacent to the side of the reticle cassette in order to prevent the reticle cassette from moving in left and right directions. A sensor is installed at one side of a ledge for detecting the 5 inch or 6 inch reticle(5,6).

Description

레티클 카세트 보관장비의 선반Shelves for reticle cassette storage

본 발명은 레티클 카세트 보관장비의 선반에 관한 것으로서, 특히 서로 다른 크기의 레티클 카세트를 선택적으로 보관 가능하여 장비의 효율성을 향상시키는데 적합한 레티클 카세트 보관장비의 선반에 관한 것이다.The present invention relates to a shelf of a reticle cassette storage device, and more particularly to a shelf of a reticle cassette storage device suitable for selectively storing different sizes of reticle cassettes to improve the efficiency of the equipment.

레티클(reticle)은 감광제가 도포된 웨이퍼의 표면에 형성될 패턴이 형성된 원판을 말하는 것으로서 노광공정에서 렌즈부의 상측에 설치되어 사용되게 된다. 일반적으로 하나의 반도체 공장에서는 다양한 종류의 칩을 제조하게 되는데 웨이퍼로부터 제조될 칩이 다르면 노광공정에서 다른 레티클을 사용하게 되므로 공정시에는 여러 종류의 레티클을 준비하여 필요에 따라 선택하여 사용하게 된다. 그리고 이러한 여러 종류의 레티클은 충격과 먼지 등에 취약하므로 이들로부터 보호하기 위한 레티클 카세트에 낱개로 넣어져 일정한 장비에 보관되게 되는데 이러한 장비를 레티클 카세트 보관장비라 한다. 그리고 상기 레티클 카세트에는 내부에 수납된 레티클의 종류를 구분하는 바코드가 표시되게 된다.A reticle refers to a disk on which a pattern to be formed on a surface of a wafer coated with a photosensitive agent is formed, and is used to be installed on an upper side of a lens unit in an exposure process. In general, one semiconductor factory manufactures various kinds of chips. If different chips to be manufactured from wafers are used, different reticles are used in an exposure process, and thus, various types of reticles are prepared and used according to needs. In addition, since these various types of reticles are vulnerable to impact and dust, the reticle cassettes are individually stored in a reticle cassette to be protected from them and stored in a certain equipment. Such equipment is called a reticle cassette storage equipment. In addition, a bar code for distinguishing a type of the reticle stored therein is displayed on the reticle cassette.

제1도는 일반적인 레티클 카세트 보관장비를 도시한 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이, 레티클 카세트 보관장비는 수 개의 도어(1a)가 전면에 설치되고 컨트롤 박스(1b)가 상측에 설치된 보관박스(1)와, 상기 보관박스(1)의 상측에 설치된 컨트롤 박스(1b)와 통신 케이블(2)로 연결되어 보관박스(1)의 도어(1a)를 개폐하고 바코드 리더(3)와 연결되어 신호를 전달받는 제어컴퓨터(4)로 구성된다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a general reticle cassette storage device. As shown in the drawing, a reticle cassette storage device includes a storage box 1 having several doors 1a installed at the front and a control box 1b installed at an upper side thereof. And, connected to the control box (1b) and the communication cable (2) installed on the upper side of the storage box (1) opens and closes the door (1a) of the storage box (1) and is connected to the barcode reader (3) to transmit a signal Receiving control computer 4.

상기 보관박스(1)의 내부에는 레티클 카세트(미도시)가 보관되는 다수개의 선반(미도시)이 수개의 열을 이루어 설치되는데, 상기 도어(1a)는 선반이 이루는 상기 수 개의 열 각각의 전면에 설치되어 제어컴퓨터(4)의 제어에 의해 개폐되게 된다. 또한 상기 각각의 선반의 일측에는 제어컴퓨터(4)의 신호에 따라 점멸하는 램프(미도시)가 설치되어 있고 레티클 카세트가 선반에 있는지 여부를 센싱하는 센서(미도시)가 설치되어 있다.Inside the storage box 1, a plurality of shelves (not shown) in which a reticle cassette (not shown) is stored are installed in several rows, and the door 1a has a front surface of each of the several rows of the shelves. It is installed in and is opened and closed by the control of the control computer (4). One side of each shelf is also provided with a lamp (not shown) which flashes in response to a signal from the control computer 4 and a sensor (not shown) for sensing whether the reticle cassette is on the shelf.

상기한 바와 같은 구조로 되는 레티클 카세트 보관장비의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the reticle cassette storage equipment having a structure as described above are as follows.

상기한 바와 같이 레티클 카세트에는 수납된 레티클의 종류를 구분하기 위한 바코드가 부착되어 있는데 레티클 카세트를 보관박스(1)에 입고하기 위해서는 먼저 레티클 카세트의 바코드를 바코드 리더(3)에 읽히게 된다. 그러면 제어컴퓨터(4) 내부의 프로그램이 작동하여 비어있는 선반이 속한 열의 전면에 설치된 도어(1a)를 개방한 후 비어있는 선반에 설치된 램프를 켜게 된다. 그러면 작업자가 램프가 켜진 임의의 선반에 레티클 카세트를 밀어 넣은 후 도어(1a)를 닫는 것에 의해 입고작업이 종료되게 되며, 이때 선반에 설치된 센서들이 레티클 카세트가 있는지 여부를 센싱하여 컨트롤 박스(1b)를 통해 확인신호를 제어컴퓨터(4)로 보내면 제어컴퓨터(4)에서는 새로이 입고된 선반을 인식하여 전단계에서 바코드 리더(3)에서 들어온 바코드 정보와 새로이 입고된 선반의 번호를 서로 매칭시켜 데이터베이스에 저장해 두게 된다.As described above, a bar code is attached to the reticle cassette to distinguish the type of the stored reticle. In order to put the reticle cassette into the storage box 1, the barcode of the reticle cassette is first read by the barcode reader 3. Then, the program inside the control computer 4 is operated to open the door 1a installed in front of the row to which the empty shelf belongs, and then turn on the lamp installed on the empty shelf. Then, when the worker pushes the reticle cassette on any shelf where the lamp is turned on, the closing operation is terminated by closing the door 1a. At this time, the sensors installed on the shelf sense whether the reticle cassette is present and control box 1b. When the confirmation signal is sent to the control computer (4), the control computer (4) recognizes the newly received shelf, matching the barcode information from the barcode reader (3) and the number of the newly received shelf in the previous step and store in the database Will be placed.

출고시에는 출고하고자 하는 카세트의 바코드 내용과 일치하는 것을 제어컴퓨터(4)의 화면에서 선택하면 제어컴퓨터(4)에서 컨트롤 박스(1b)로 신호를 보내어 제어컴퓨터(4)의 데이터베이스에서 상기 바코드와 매칭되는 선반이 속한 열의 도어(1a)를 개방하고 해당되는 선반을 나타내는 램프를 켜게 된다. 이에 따라 작업자가 램프가 켜진 선반에 있는 레티클 카세트를 꺼내고 도어(1a)를 닫는 것에 의해 출고작업이 종료되게 된다.At the time of delivery, if the matching of the bar code contents of the cassette to be shipped is selected on the screen of the control computer 4, a signal is sent from the control computer 4 to the control box 1b and the bar code from the database of the control computer 4 is displayed. The door 1a in the row to which the matching shelf belongs is opened and the lamp indicating the corresponding shelf is turned on. As a result, the worker removes the reticle cassette on the shelf where the lamp is turned on and closes the door 1a to finish the shipping operation.

한편, 웨이퍼는 직경에 따라 ○○인치 웨이퍼와 같은 명칭으로 구분되는데 웨이퍼의 크기에 따라 사용되는 레티클도 크기가 달라지게 되어 웨이퍼의 직경을 따서 ○○인치 레티클과 같이 구분되게 된다. 그리고 레티클의 크기에 따라 이를 보관하는 레티클 카세트도 달라지게 되는데, 제2도는 5인치 레티클 카세트와 6인치 레티클 카세트를 비교하여 도시한 정면도이고, 제3도는 5인치 레티클 카세트용 선반과 6인치 레티클 카세트용 선반을 비교하여 도시한 정면도이다.On the other hand, the wafer is divided into the same name as the ○○ inch wafer according to the diameter, but the reticle used according to the size of the wafer is also different size is divided according to the diameter of the wafer as ○○ inch reticle. In addition, the reticle cassette storing the reticle will vary according to the size of the reticle. FIG. 2 is a front view showing a 5 inch reticle cassette and a 6 inch reticle cassette, and FIG. 3 is a shelf for a 5 inch reticle cassette and a 6 inch reticle cassette. It is a front view which compares and shows the shelves.

제2도에 도시한 바와 같이, 5인치 레티클 카세트(5)와 6인치 레티클 카세트(6)는 6인치 레티클 카세트(6)의 상측에 형성된 돌기(6a)를 제외하는 경우 동일한 크기의 최대 폭을 가지며, 5인치 레티클 카세트(5)의 하부 양측에는 가이드 돌기(5a)가 형성되어 있고, 높이를 비교하면 6인치 레티클 카세트(6)의 경우가 더 높게 형성되어 있다. 상기 6인치 레티클 카세트(6)의 돌기(6a)는 레티클을 꺼내기 위해 레티클 카세트(6)를 개방할 때 손잡이 역할을 하여 용이하게 개방할 수 있도록 하기 위한 것이다.As shown in FIG. 2, the 5-inch reticle cassette 5 and the 6-inch reticle cassette 6 have a maximum width of the same size except for the projection 6a formed on the upper side of the 6-inch reticle cassette 6. Guide protrusions 5a are formed on both lower sides of the 5-inch reticle cassette 5, and the height of the 6-inch reticle cassette 6 is higher when the heights are compared. The projection 6a of the 6-inch reticle cassette 6 serves as a handle when opening the reticle cassette 6 to take out the reticle so that it can be easily opened.

제3도에 도시한 바와 같이, 5인치 레티클 카세트용 선반(7)과, 6인치 레티클 카세트용 선반(8)은 양측으로 설치된 측판(7a)으로부터 레티클 카세트(5,6)의 하면을 지지하는 받침판(7b,8b)이 돌출 형성되는 것은 동일하나, 5인치 레티클 카세트용 선반(7)의 받침판(7b) 상측에는 상기 가이드 돌기(5a)가 삽입되기 위한 가이드홈(7c)이 형성되며, 양 측판(7a,8a) 간의 간격을 보면 6인치 레티클 카세트(6)의 상측에 형성된 돌기(6a)와의 간섭을 피하기 위해 6인치 레티클 카세트용 선반(8)의 양 측판(8a) 간의 간격이 5인치 레티클 카세트용 선반(7)의 그것 보다 크게 형성되어 있고, 레티클 카세트(5,6)의 입고 여부를 센싱하기 위해 일측 측판(7a,8a)에 설치되는 센서(9,9’)의 위치가 6인치 레티클 카세트용 선반(8)의 경우가 받침판(7b,8b)으로부터 더 높은 위치에 형성되어 있다는 점에서 차이가 있다. 여기서 센서(9,9’)의 위치에서 차이가 나는 것은 제3도에 도시한 바와 같이 6인치 레티클 카세트(6)의 높이가 5인치 레티클 카세트(5)의 높이 보다 높을 뿐만 아니라 5인치 레티클 카세트(5)의 경우에는 받침판(7b)의 가이드홈(7c)에 가이드 돌기(5a)가 삽입되며 받침판(7b)의 위로 노출되는 높이가 더욱 낮아지게 되기 때문이다.As shown in FIG. 3, the 5-inch reticle cassette shelf 7 and the 6-inch reticle cassette shelf 8 support the lower surfaces of the reticle cassettes 5, 6 from side plates 7a provided on both sides. The support plates 7b and 8b are protruded, but the guide grooves 7c for inserting the guide protrusions 5a are formed on the upper side of the support plate 7b of the shelf for the 5-inch reticle cassette. The spacing between the side plates 7a and 8a shows a 5 inch gap between the side plates 8a of the shelf 8 for 6 inch reticle cassettes to avoid interference with the projections 6a formed on the upper side of the 6 inch reticle cassette 6. The position of the sensors 9, 9 'is larger than that of the shelf 7 for the reticle cassette, and is installed on the side plates 7a, 8a to sense whether the reticle cassettes 5, 6 are received. The shelf 8 for inch reticle cassettes is formed at a higher position from the backing plates 7b and 8b. In a difference. The difference in the positions of the sensors 9 and 9 'is that the height of the 6 inch reticle cassette 6 is higher than that of the 5 inch reticle cassette 5 as shown in FIG. In the case of (5), the guide protrusion 5a is inserted into the guide groove 7c of the support plate 7b, and the height exposed to the support plate 7b becomes lower.

상기 센서(9,9’)는 6인치 레티클 카세트용 선반(8)의 경우처럼 측판(8a)으로부터 돌출 되도록 설치되거나 5인치 레티클 카세트용 선반(7)의 경우처럼 측판(7a)에 매설되어 설치될 수 있다.The sensors 9 and 9 'are installed to protrude from the side plates 8a as in the case of the shelf 8 for 6-inch reticle cassette or embedded in the side plates 7a as in the case of the shelf 7 for the 5-inch reticle cassette. Can be.

상기한 바와 같은 5인치 레티클 카세트용 선반(7)과 6인치 레티클 카세트용 선반(8)의 차이점에 의해 각 선반(7,8)은 다른 종류의 레티클 카세트(5,6)를 아예 수용하지 못하거나 수용하더라도 센서(9,9’)의 높이 차에 의해 제대로 센싱하지 못하게 되어 각 선반(7,8)은 한 종류의 레티클 카세트(5,6)를 수용하는데만 사용되게 되어 있었고, 레티클 카세트 보관장비의 보관박스(1)에는 이러한 두 가지 종류의 선반(7,8)이 각자 일정한 개수만큼 설치되어 있었다.Due to the difference between the shelf 7 for the 5-inch reticle cassette and the shelf 8 for the 6-inch reticle cassette as described above, each shelf 7, 8 cannot accommodate any other type of reticle cassette 5, 6 at all. Even if it is accommodated or accommodated, it is not properly sensed by the height difference of the sensors (9, 9 '), so that each shelf (7, 8) is only used to receive one type of reticle cassette (5, 6), the reticle cassette storage In the storage box (1) of the equipment, these two kinds of shelves (7, 8) were each provided with a certain number.

그런데 상기한 바와 같이 5인치 레티클 카세트용 선반(7)과 6인치 레티클 카세트용 선반(8)이 전용으로만 사용되고, 이에 따라 보관박스(1)에 이 두 가지 종류의 선반(7,8)을 일정개수 만큼 설치하는 경우에는 상황에 따라 적절하게 대응하는 효율성이 저하되는 문제점이 있었다. 예를 들면 보관박스(1) 전체 저장량이 100장이고 5인치 짜리를 40장, 6인치 짜리를 60장 보관할 수 있도록 제작된 경우에, 6인치 짜리를 90장, 5인치 짜리를 10장 보관해야 하는 상황이 발생했다고 하면 5인치 짜리를 저장 할 수 있는 30개의 공간이 남아 있음에도 불구하고 6인치 짜리 30장을 보관하기 위해 별도의 레티클 카세트 보관장비를 사용해야하는 문제점이 있는 것이다.However, as described above, the shelf 7 for the 5-inch reticle cassette and the shelf 8 for the 6-inch reticle cassette are used exclusively, so that the two kinds of shelves 7 and 8 are stored in the storage box 1. In the case of installing a certain number, there was a problem that the efficiency of appropriately responding to the situation is reduced. For example, if the total storage capacity of the storage box (1) is 100 sheets and it is designed to hold 40 sheets of 5 inches and 60 sheets of 6 inches, 90 sheets of 6 inches and 10 sheets of 5 inches should be stored. If the situation occurs, even though there are 30 spaces for storing 5 inches, there is a problem to use a separate reticle cassette storage equipment to store 30 sheets of 6 inches.

종래에도 이러한 문제점을 인식하여 5인치 레티클 카세트(5)와 6인치 레티클 카세트(6)를 동시에 보관하는 선반이 시도되기도 하였으나 5인치 레티클 카세트용 선반(7)에서 단순히 양측판(7a)간의 간격을 넓혀 6인치 레티클 카세트(6)가 들어갈 수 있도록 하는 정도에 불과한 것이어서 가이드 돌기(5a)가 없는 6인치 레티클 카세트(6)가 좌우로 유동하거나 아래로 떨어져 이탈되는 등 안정성이 부족하고 센싱이 제대로 이루어지지 않아 입출고시 에러가 발생하게 되는 등의 문제점이 있어 제대로 사용되지 못하였다.In the past, a shelf for storing the 5-inch reticle cassette 5 and the 6-inch reticle cassette 6 at the same time has been attempted by recognizing such a problem, but in the shelf 7 for the 5-inch reticle cassette, the gap between the two side plates 7a is simply reduced. It is only wide enough to allow the 6-inch reticle cassette (6) to enter, so that the 6-inch reticle cassette (6) without the guide protrusion (5a) flows from side to side or falls down and falls off, causing insufficient stability and sensing. There was a problem such as an error occurred when entering and leaving the factory, so it was not used properly.

따라서, 상기한 바와 같은 상황과 문제점을 인식하여 창출된 본 발명의 목적은 5인 치 레티클 카세트와 6인치 레티클 카세트를 선택적으로 수납하여 장비의 효율성을 향상시킬 수 있으며 레티클 카세트가 선반에서 이탈되는 등의 경우가 없이 안정적으로 수납 가능한 레티클 카세트 보관장비의 선반을 제공하고자 하는 것이다.Therefore, an object of the present invention created by recognizing the situation and problems as described above is to selectively receive the 5-inch reticle cassette and 6-inch reticle cassette to improve the efficiency of the equipment, such that the reticle cassette is removed from the shelf, etc. It is to provide a shelf of a reticle cassette storage equipment that can be stably stored without the case.

제1도는 일반적인 레티클 카세트 보관장비를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a general reticle cassette storage equipment.

제2도는 5인치 레티클 카세트와 6인치 레티클 카세트를 비교하여 도시한 정면도.2 is a front view showing a comparison of a 5 inch reticle cassette and a 6 inch reticle cassette.

제3도는 5인치 레티클 카세트용 선반과 6인치 레티클 카세트용 선반을 비교하여 도시한 정면도.3 is a front view showing a shelf for a 5-inch reticle cassette and a shelf for a 6-inch reticle cassette.

제4도는 본 발명의 일실시례에 의한 레티클 카세트 보관장비의 선반에 5인치 레티클 카세트가 수납된 상태를 도시한 정면도.Figure 4 is a front view showing a state in which the 5-inch reticle cassette is stored on the shelf of the reticle cassette storage equipment according to an embodiment of the present invention.

제5도는 본 발명의 일실시례에 의한 레티클 카세트 보관장비의 선반에 6인치 레티클 카세트가 수납된 상태를 도시한 정면도.Figure 5 is a front view showing a state in which the 6-inch reticle cassette is stored on the shelf of the reticle cassette storage equipment according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

5 : 5인치 레티클 카세트 5a : 가이드 돌기5: 5 inch reticle cassette 5a: Guide protrusion

6 : 6인치 레티클 카세트 6a : 돌기6: 6 inch reticle cassette 6a: projection

10 : 겸용선반 10a : 측판10: combined shelf 10a: side plate

10b : 받침판 10c : 가이드홈10b: Base plate 10c: Guide groove

10d : 걸림턱10d: jamming jaw

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 양측으로 설치된 측판으로부터 레티클 카세트의 하면을 지지하는 받침판이 돌출형성된 레티클 카세트 보관장비의 선반에 있어서; 상기 양 측판은 6인치 레티클 카세트의 돌기 단부 간의 거리보다 큰 간격으로 설치되고, 상기 받침판의 상면에는 5인치 레티클 카세트의 가이드 돌기와 결합되는 가이드홈과 레티클 카세트의 좌우 이동을 방지하기 위하여 레티클 카세트의 측면에 인접하여 걸림턱이 형성되며, 5인치 레티클 카세트와 6인치 레티클 카세트 모두를 센싱가능한 높이로 선반의 일측에 센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 레티클 카세트 보관장비의 선반이 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, in the shelf of the reticle cassette storage equipment protruding from the side plate installed on both sides to support the lower surface of the reticle cassette; The side plates are installed at intervals greater than the distance between the protruding ends of the 6-inch reticle cassette, and the upper surface of the support plate is coupled to the guide protrusion of the 5-inch reticle cassette and the side of the reticle cassette to prevent left and right movement of the reticle cassette. A latching jaw is formed adjacent to the shelf, and a shelf of a reticle cassette storage device is provided, wherein a sensor is installed at one side of the shelf at a height capable of sensing both a 5 inch reticle cassette and a 6 inch reticle cassette.

이하, 첨부도면에 도시한 본 발명의 일실시례에 의거하여 본 발명의 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, on the basis of one embodiment of the present invention shown in the accompanying drawings will be described in detail.

제4도는 본 발명의 일실시례에 의한 레티클 카세트 보관장비의 선반인 겸용선반(10)에 5인치 레티클 카세트(5)가 수납된 상태를 도시한 정면도이고, 제5도는 겸용선반(10)에 6인치 레티클 카세트(6)가 수납된 상태를 도시한 정면도이다.4 is a front view illustrating a state in which the 5-inch reticle cassette 5 is accommodated in the combined shelf 10 that is a shelf of the reticle cassette storage device according to one embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a combined shelf 10. It is a front view which shows the state which 6-inch reticle cassette 6 was accommodated.

이에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 레티클 카세트 보관장비의 선반인 겸용선반(10)은 양측으로 측판(10a)이 설치되고, 레티클 카세트(5,6)의 하면을 지지하는 받침판(10b)이 상기 양 측판(10a)으로부터 돌출형성되는데, 상기 양 측판(10a)은, 제5도에 도시된 바와 같이, 6인치 레티클 카세트(6)의 돌기(6a) 단부 간의 거리보다 큰 간격을 가지도록 설치되게 된다.As shown in the drawing, the combined shelf 10 that is a shelf of the reticle cassette storage device according to the present invention has side plates 10a installed on both sides thereof, and a supporting plate 10b supporting the lower surfaces of the reticle cassettes 5 and 6 is provided. Protruding from both side plates (10a), both side plates (10a), as shown in Figure 5, is installed to have a distance greater than the distance between the end of the projection (6a) of the 6-inch reticle cassette (6) Will be.

그리고, 상기 받침판(10b)의 상면에는 5인치 레티클 카세트(5)의 가이드 돌기(5a)와 결합되는 가이드홈(10c)이 형성되고, 레티클 카세트(5,6)의 측면에 인접한 위치에 레티클 카세트(5,6)의 좌우 이동을 방지하기 위한 걸림턱(10d)이 형성된다.In addition, a guide groove 10c coupled to the guide protrusion 5a of the 5-inch reticle cassette 5 is formed on the upper surface of the support plate 10b, and the reticle cassette is located at a position adjacent to the side surfaces of the reticle cassettes 5 and 6. A locking jaw 10d is formed to prevent the left and right movements of (5, 6).

또한, 선반(10)의 일측에는 레티클 카세트(5,6)의 입고 여부를 파악하기 위한 센서(9″)가 설치되는데 이러한 센서(9″)는 5인치 레티클 카세트(5)와 6인치 레티클 카세트(6) 모두를 센싱가능한 높이로 설치하게 되며, 구체적인 설치위치는 도시한 바와 같이 상기 일측 측판(10a)에 매설되어 설치되는 외에도, 일측 측판(10a)에 돌출되어 설치되거나, 걸림턱(10d)의 상측에 설치되거나, 걸림턱(10d)의 높이를 높이고 이에 매설되어 설치되는 등, 5인치 레티클 카세트(5)와 6인치 레티클 카세트(6) 모두를 센싱가능한 높이로 설치되는 한도 내에서, 여러 가지 형태가 가능하다.In addition, a sensor 9 ″ is installed at one side of the shelf 10 to determine whether the reticle cassettes 5 and 6 are received. Such a sensor 9 ″ is a 5-inch reticle cassette 5 and a 6-inch reticle cassette. (6) to be installed at a height capable of sensing all, the specific installation position is installed in the side plate (10a) in addition to being embedded, as shown in the protruding to one side plate (10a), or locking jaw (10d) Within the limit of installing both the 5-inch reticle cassette 5 and the 6-inch reticle cassette 6, such as being installed on the upper side of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the upper part of the lower part Branch forms are possible.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 발명에 의한 레티클 카세트 보관장비의 선반인 겸용선반(10)의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the combined shelf 10 of the shelf of the reticle cassette storage equipment according to the present invention having the structure as described above are as follows.

이러한 겸용선반(10)은 제1도에 도시한 것과 유사한 보관박스의 내부에 설치되어 종래와 유사하게 사용되게 되는데, 센서(9″)의 높이가 5인치 레티클 카세트(5)와 6인치 레티클 카세트(6) 모두에 대해 입고 여부를 판단할 수 있도록 설치되어 있으므로 제어컴퓨터로 에러 없이 정확한 신호를 전달할 수 있으며, 가이드 돌기(5a)가 가이드홈(10c)에 삽입된 5인치 레티클 카세트(5)의 경우는 말할 것도 없고 가이드 돌기 등이 없는 6인치 레티클 카세트(6)의 경우에도 상기 걸림턱(10d)에 의해 좌우이동이 저지되게 되어 레티클 카세트(5,6)를 안정적으로 수납하는 것이 가능하게 된다.Such a combined shelf 10 is installed inside a storage box similar to that shown in FIG. 1 to be used similarly to the conventional one. The height of the sensor 9 ″ is 5 inch reticle cassette 5 and 6 inch reticle cassette. (6) Since it is installed so that it can be determined whether or not it is worn for all, it is possible to transmit the correct signal without error to the control computer, and the guide protrusion 5a of the 5 inch reticle cassette 5 inserted in the guide groove 10c. Needless to say, even in the case of the 6-inch reticle cassette 6 having no guide protrusion or the like, the left and right movement of the 6-inch reticle cassette 6 is prevented by the latching jaw 10d, so that the reticle cassettes 5 and 6 can be stored stably. .

상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 의한 레티클 카세트 보관장비의 선반을 사용하는 경우에는 상기 걸림턱에 의해 레티클 카세트의 좌우 이동을 방지하여 안정적인 수납이 가능하며, 보관박스의 5인치 레티클 카세트 저장용량과 6인치 레티클 카세트 저장용량이 미리 결정되지 않고 전체 저장용량의 범위 내에서 두 종류의 레티클 카세트를 선택적으로 수용가능하게 되므로 상황의 변화에 유연하게 대처할 수 있어 장비의 효율성이 상승하게 되는 효과가 있다.In the case of using the shelf of the reticle cassette storage equipment according to the present invention configured as described above can be secured storage by preventing the left and right movement of the reticle cassette by the locking jaw, the storage box and the 5-inch reticle cassette storage capacity and The 6-inch reticle cassette storage capacity is not predetermined, and the two types of reticle cassettes can be selectively accommodated within the range of the total storage capacity, which can flexibly cope with changes in the situation, thereby increasing the efficiency of the equipment.

Claims (1)

양측으로 설치된 측판으로부터 레티클 카세트의 하면을 지자하는 받침판이 돌출형성된 레티클 카세트 보관장비의 선반에 있어서; 상기 양 측판은 6인치 레티클 카세트의 돌기 단부 간의 거리보다 큰 간격으로 설치되고, 상기 받침판의 상면에는 5인치 레티클 카세트의 가이드 돌기와 결합되는 가이드홈과 레티클 카세트의 좌우 이동을 방지하기 위하여 레티클 카세트의 측면에 인접하여 걸림턱이 형성되며, 5인치 레티클 카세트와 6인치 레티클 카세트 모두를 센싱가능한 높이로 선반의 일측에 센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 레티클 카세트 보관장비의 선반.In the shelf of the reticle cassette storage equipment protruding from the side plate installed on both sides to support the lower surface of the reticle cassette; The side plates are installed at intervals greater than the distance between the protruding ends of the 6-inch reticle cassette, and the upper surface of the support plate is coupled to the guide protrusion of the 5-inch reticle cassette and the side of the reticle cassette to prevent left and right movement of the reticle cassette. A latching jaw is formed adjacent to the shelf of the reticle cassette storage equipment, characterized in that the sensor is installed on one side of the shelf at a height capable of sensing both the 5 inch reticle cassette and the 6 inch reticle cassette.
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