KR100248306B1 - Field emission device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 신규한 구성의 FED를 개시한다.The present invention discloses a FED of novel construction.

FED는 고진공상태의 캐비티를 구비하므로 진공압력에 의한 변형이 커서 큰 크기의 패널구성이 어려운 문제가 있었다.Since the FED has a cavity in a high vacuum state, it is difficult to construct a large size panel due to large deformation caused by vacuum pressure.

본 발명에서는 전면기판에 기능판을 부착하여 이에 배면기능층을 형성함으로써, 진공압력에 의한 변형이 전면기판에서만 발생하여 셀갭의 변화를 종래의 1/2로 감소시키도록 하였다.In the present invention, by attaching a functional plate to the front substrate to form a back functional layer, the deformation caused by vacuum pressure occurs only on the front substrate to reduce the change in the cell gap to 1/2 of the conventional.

Description

전계방출소자Field emitter

제1도는 FED의 일반적인 구조를 보이기 위한 모식적 단면도.1 is a schematic cross-sectional view for showing the general structure of the FED.

제2도는 종래의 대형 FED의 구성을 보이는 개략단면도.Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a conventional large FED.

제3도는 본 발명 FED의 구성을 보이는 개략단면도.Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the present invention FED.

제4도는 본 발명의 FED의 다른 구성을 보이는 개략단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view showing another configuration of the FED of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

P1 : 전면기판 P2 : 배면기판P1: Front board P2: Back board

F1 : 전면기능층 F2 : 배면기능층F1: Front functional layer F2: Back functional layer

N : 기능판 T : 게터(getter)N: Function Edition T: Getter

본 발명은 전계방출소자(FED; Field Emission Device)에 관한 것이다.The present invention relates to a field emission device (FED).

브라운관의 평판화 연구과정에서 파생된 평판표시소자인 FED는 제1도에 도시된 바와 같이 상, 하부기판(P1, P2)에 서로 교차대향하도록 아노드(anode;A)와 캐소드(cathode;K)를 배열하고, 캐소드(K)에는 첨예부(sharp edge)를 가지는 에미터 (emitter;E)를 연장하여 에미터(E)로부터 다량의 전자를 방출하여 전계를 형성하도록 함으로써 형광층(F)을 발광시켜 화상을 표시하도록 한 장치이다.As shown in FIG. 1, the FED, a flat panel display device derived from the CRT flattening research process, has an anode (A) and a cathode (K) so as to cross-facing each other on the upper and lower substrates (P1, P2). ) And the cathode (K) extends an emitter (E) having a sharp edge to emit a large amount of electrons from the emitter (E) to form an electric field. The device is configured to display an image by emitting light.

여기서 에미터(E)의 전자방출은 게이트(G)에 의해 제어되는데, 일반적으로 게이트(G)는 에미터(E)를 둘러싸는 절연층(D)상에 도전층을 형성하여 이 도전층에 원형등의 형태로 어퍼츄어(aperture;O)를 형성함으로써 구성된다. 게이트(G)에는 일반적으로 공통(common)의 제어전위가 인가되고 에미터(E)는 이 어퍼츄어(O)의 변 (edge)에 의해 전계방출이 제어된다.Herein, the electron emission of the emitter E is controlled by the gate G. In general, the gate G forms a conductive layer on the insulating layer D surrounding the emitter E to form a conductive layer. It is configured by forming an aperture (O) in the form of a circular lamp. In general, a common control potential is applied to the gate G, and the emitter E is controlled by field emission by the edge of the aperture O.

한편 셀갭(cell gap)을 유지하기 위해 게이트(G)상에는 기둥형태의 스페이서 (spacer;S)가 형성된다.Meanwhile, in order to maintain a cell gap, a columnar spacer S is formed on the gate G.

또한 두 기판(P1, P2)은 측벽(W)에 의해 봉합(sealing)되어 배면측기판(P2)에 형성된 배기구멍(H1)을 통해 배기관(X)으로 배기되어 고진공상태로 배기된다. 그런데 진공펌프등의 기계적 배기방법으로 달성될 수 있는 진공도는 10-5Torr 정도인바, 진공도를 10-7Torr 정도로 더욱 향상시키기 위해 화학적 배기방법이 병용되고 있다. 이를 위해 배면측 기판(P2)에는 게터구멍(H2)이 형성되어 그 배면에 게터(getter;T)가 수납된 게터컵(getter cup;C)이 설치된다.In addition, the two substrates P1 and P2 are sealed by the sidewalls W, are exhausted to the exhaust pipe X through the exhaust hole H1 formed in the back side substrate P2, and exhausted in a high vacuum state. However, the degree of vacuum that can be achieved by a mechanical exhaust method such as a vacuum pump is about 10 −5 Torr, and a chemical exhaust method is used in combination to further improve the vacuum degree about 10 −7 Torr. To this end, a getter hole H2 is formed in the back side substrate P2 and a getter cup C in which a getter T is received is installed on the back side substrate P2.

게터(T)는 패널을 밀봉한뒤 게터컵(C)의 외부에서 고주파 유도가열등으로 가열하여 확산(flashing)시키거나, 확산없이 연속적으로 작용하게 된다. 그러나 이러한 방법은 게터(T)가 패널의 일측에서 좁은 게터구멍(H2)을 통해 확산되므로 그 효과가 충분하지 못하고 사용후의 게터컵(C)이 그대로 패널에 잔류하여 조립과 취급에 불편한 문제가 있었다.The getter T seals the panel and then heats it with a high frequency induction heating lamp outside of the getter cup C to flash, or continuously operates without diffusion. However, in this method, since the getter T is diffused through the narrow getter hole H2 at one side of the panel, the effect is not sufficient, and the getter cup C after use remains in the panel as it is, which causes inconvenience in assembly and handling. .

또한 이러한 FED는 얇은 유리제 기판(P1, P2)으로 구성되어 그 사이의 캐비터 (cavity)가 고진공상태로 배기되므로 스페이서(S)를 설치하여도 양기판(P1, P2)이 내부진공압과 외부대기압의 차이에 의해 내측으로 변형하여 정확한 셀갭의 유지가 상당히 어렵다.In addition, since the FED is composed of thin glass substrates P1 and P2, and the cavity therebetween is evacuated in a high vacuum state, even when the spacer S is installed, the two substrates P1 and P2 have an internal vacuum pressure and an external pressure. Due to the difference in atmospheric pressure, it is difficult to maintain an accurate cell gap by deforming inward.

이러한 문제는 수" 내의 작은 크기에서는 별다른 문제가 없으나 FED를 어느 이상의 크기로 구성하는 경우에는 진공응력이 기판(P1, P2)의 강성(剛性)에 비해 커져 균일한 동작이 어렵게 된다.This problem is not a problem in the small size within a few inches, but when the FED is configured to a certain size or more, the vacuum stress becomes larger than the rigidity of the substrates P1 and P2, making uniform operation difficult.

이에 따라 종래에는 10" 이상의 큰 FED를 구성하고자 하는 경우, 제2도에 도시된 바와 같이 멀티패널(multi panle) 구조를 채택하였다. 이것은 소형 FED의 패널(L1, L2)들을 한 지지판(L)상에 병렬로 부착하여 구성한 것으로, 지지판(L)은 일반적으로 유링판보다 취성(脆性)이 작고 강도가 큰 실리콘(Si)판으로 구성된다.Accordingly, when a large FED of 10 "or larger is conventionally adopted, a multi-panle structure is adopted as shown in FIG. 2. This is a support plate L having panels L1 and L2 of a small FED. The support plate L is generally composed of a silicon (Si) plate having a smaller brittleness and a higher strength than the E-ring plate.

그런데 이러한 구조의 FED는 진공응력문제를 해결하여 큰 크기의 FED를 구성할 수 있으나, 각 패널(L1, L2) 외측의 비유효부에 의해 화상의 표시시 바둑판 형태로 구획선이 발생될 수 밖에 없으며, 그 구동회로가 복잡해질 뿐아니라 전체적인 크기 및 중량이 대형화되는 문제가 있다.By the way, the FED of such a structure can solve the problem of vacuum stress and constitute a large sized FED, but the partition line is generated in the form of a checkerboard when the image is displayed by the invalid parts outside the panels L1 and L2. Not only is the driving circuit complicated, but there is a problem that the overall size and weight are increased.

이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 본 발명의 목적은 진공압력에 의한 셀갭의 변화를 억제하여 대형화가 용이한 FED를 제공하는 것이다.In view of such a conventional problem, an object of the present invention is to provide a FED that can be easily enlarged by suppressing a change in cell gap caused by vacuum pressure.

상술한 목적의 달성을 위해 본 발명에 의한 FED는 측벽으로 밀봉된 전면기판과 배면기판 사이에 형성되는 고진공상태의 캐비티에 전면 및 배면 기능층이 서로 대향 배치된 FED에 있어서, 전면기능층이 형성된 전면기판에 기능판을 부착하여, 이 기능판에 배면기능층을 형성하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the FED according to the present invention is a FED in which a front functional layer and a rear functional layer are disposed opposite to each other in a cavity in a high vacuum state formed between a front substrate and a rear substrate which are sealed by sidewalls. A functional plate is attached to the front substrate to form a rear functional layer on the functional plate.

이때 양 기능층간의 셀갭은 전면기판 또는 기능판에 월(well)을 형성함으로써 유지된다.At this time, the cell gap between both functional layers is maintained by forming a well on the front substrate or the functional substrate.

이러한 구성에 의하면 기능판에는 진공압력이 전혀 작용하지 않게 되어 셀갭의 변화가 종래의 1/2로 현저히 감소된다.According to such a configuration, no vacuum pressure is applied to the functional plate at all, and the change in the cell gap is significantly reduced to 1/2 of the conventional one.

이와 같은 본 발명 FED의 구체적인 특징과 이점들은 첨부된 도면을 참조한 이하의 바람직한 실시예들의 설명으로 더욱 명확해질 것이다.Such specific features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of the preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

제3도에서, 본 발명에 의한 FED는 측벽(W)으로 봉합된 두 기판(P1, P2)을 구비하여 그 사이의 캐비티가 배기관(X)을 통해 배기되는 구성은 기본적으로 종래의 FED와 동일하다.In FIG. 3, the FED according to the present invention has two substrates P1 and P2 sealed by sidewalls W so that the cavity therebetween is exhausted through the exhaust pipe X basically the same as the conventional FED. Do.

그런데 전면기판(P1)에는 기능판(N)이 부착되어, 전면기능층(F1)은 종래와 같이 전면기판(P1)상에 형성되지만 배면기능층(F2)은 이 기능판(N)상에 형성된다.However, the functional board N is attached to the front substrate P1 so that the front functional layer F1 is formed on the front substrate P1 as in the prior art, but the rear functional layer F2 is on the functional board N. Is formed.

여기서 전면기능층(F1)은 전면기판(P1)에 형성되는 제1도의 아노드(A)와 형광체(F)등을 총칭하여, 배면기능층(F2)은 종래의 배면기판(P2)에 형성되던 캐소드 (K)와 에미터(E) 그리고 게이트(G)등을 총칭하는 것이다.Here, the front functional layer F1 generically refers to the anode A and the phosphor F of FIG. 1 formed on the front substrate P1, and the back functional layer F2 is formed on the conventional rear substrate P2. The cathode (K), the emitter (E), and the gate (G) are generic terms.

한편 배면기판(P2)은 캐비티의 외벽역할만을 하게 되는 바, 바람직하기로 그 표면에 게터(T)를 도포한다. 그러면 게터(T)의 대면적 도포가 가능하여 게터효과가 우수하게 될뿐아니라, 패널에 게터컵(C)이 잔류하지 않게 되어 그 조립과 취급이 용이하게 된다.On the other hand, the back substrate P2 only serves as the outer wall of the cavity, and preferably, the getter T is applied to the surface thereof. Then, the large area of the getter T can be applied, so that the getter effect is excellent, and the getter cup C is not left in the panel, thereby facilitating assembly and handling.

그런데 양 기능층(F1, F2)간에는 소정의 셀갭이 유지되어야 하는 바, 이를 위해 기능판(N)의 상면에는 소정깊이의 웰(W1)이 형성된다. 이러한 웰(W)은 기능판(N)을 화학적 식각방법이나 레이저 또는 이온스퍼터링(ion sputtering)등의 드라이 에칭(dry etching)방법으로 식각하여 형성할 수 있다.However, a predetermined cell gap must be maintained between both functional layers F1 and F2. To this end, a well W1 having a predetermined depth is formed on the upper surface of the functional plate N. The well W may be formed by etching the functional plate N by a chemical etching method or a dry etching method such as laser or ion sputtering.

한편 이와는 달리 제4도에 도시된 바와 같이 전면기판(P1)에 웰(W2)을 형성하고 평판상태의 기능판(N)을 부착하는 구성도 사용할 수 있다.Alternatively, as shown in FIG. 4, a configuration in which the well W2 is formed on the front substrate P1 and the functional plate N in the flat state may be attached.

어느 구성을 사용하건 기능판(N)은 유리판이나 실리콘판등 적절한 재질을 사용할 수 있으며, 사용자의 시야 반대측에 위치하므로 투명할 필요는 없으며 오히려 암색(暗色)에 가까울수록 표시화상의 컨트라스트(contrast)가 개선될 수 있어 바람직하다. 이러한 기능판(N)은 전면기판(P1)에 접합재로 부착될 수 있으나, 바람직하기로는 양극접합법(anodic bonding)등으로 직접 접할될 수도 있다.Regardless of the configuration, the functional plate N can be made of a suitable material such as a glass plate or a silicon plate, and it is located on the opposite side of the user's field of view. Therefore, the functional plate N does not need to be transparent. Rather, the closer to dark the contrast is, Is preferable since it can be improved. The functional plate (N) may be attached to the front substrate (P1) as a bonding material, but may preferably be directly contacted by anodic bonding (anodic bonding) or the like.

한편 기능판(N)에는 적어도 한 관통구멍(H3)이 형성되어 상하면의 압력이 동일하도록 한다. 그러면 배기관(X)을 통해 양 기판(P1, P2)사이의 캐비터를 고진공상태로 배기하더라도 기능판(N)은 전혀 변형되지 않으므로 그 상부에 형성된 배면기능판 (F2) 역시 전혀 변형되지 않게 된다.On the other hand, at least one through hole H3 is formed in the functional plate N so that the pressure on the upper and lower surfaces is the same. Then, even if the cavity between both substrates P1 and P2 is exhausted through the exhaust pipe X in a high vacuum state, the functional plate N is not deformed at all, so that the rear functional plate F2 formed on the upper part thereof is also not deformed at all. .

이와 같은 본 발명 구성에 의하면 전면기능층(F1)과 배면기능층(F2)간의 셀갭의 변화가 대략 종래의 1/2로 현저히 감소된다. 즉 종래에는 전면기판(P1) 및 배면기판 (P2)이 각각 대기압에 의해 내측으로 변형되었으나, 본 발명에 있어서는 배면기능층 (F2)이 배면기판(P2)이 아니라 변형이 없는 기능판(N)상에 형성되므로, 셀갭의 변화는 전면기판(P1)에서만 이루어져 전체적인 셀갭의 변화가 종래의 1/2 정도가 되는 것이다.According to the configuration of the present invention as described above, the change in the cell gap between the front functional layer F1 and the rear functional layer F2 is significantly reduced to approximately 1/2 of the conventional one. That is, in the past, the front substrate P1 and the rear substrate P2 were deformed inward by atmospheric pressure, respectively, but in the present invention, the rear functional layer F2 is not the rear substrate P2 but the functional board N without deformation. Since the change in the cell gap is made only on the front substrate P1, the change in the overall cell gap is about 1/2 of the conventional one.

이러한 결과는 FED의 셀갭의 허용변형량이 일정하다고 가정할때 단일 패널로 구성가능한 FED의 패널의 크기를 종래에 비해 현저히 크게 할수 있음을 의미한다.These results mean that the size of the panel of the FED, which can be composed of a single panel, can be significantly increased, assuming that the allowable deformation amount of the cell gap of the FED is constant.

그런데 사변고정된 판의 응력(stress)은 지지점간의 스팬(span)의 2제곱에 비례하고, 판의 두께의 2제곱에 반비례하게 된다. 또한 판의 변형(strain)은 스팬의 3제곱에 비례하고 두께의 3제곱에 반비례하게 된다.However, the stress of the quadrilateral plate is proportional to the square of the span between support points and inversely proportional to the square of the plate thickness. The strain of the plate is also proportional to the third square of the span and inversely proportional to the third square of the thickness.

그런데 본 발명에 의하면 변형이 1/2로 감소되므로 동일한 두께의 기판(P1)을 사용해도 허용스팬이 2의 (1/3)제곱, 즉 약 1.26배가 되며, 이때 허용응력은 2의 (2/3) 제곱, 즉 약 1.59배가 된다.However, according to the present invention, since the deformation is reduced to 1/2, the allowable span is 2 (1/3) squared, that is, about 1.26 times even when the substrate P1 having the same thickness is used, and the allowable stress is 2 (2 / 3) squared, that is, about 1.59 times.

즉 본 발명을 적용하면 동일한 두께의 기판(P1)사용시 종래보다 적어도 26% 큰 크기의 패널을 구성할 수 있으며, 동일한 크기의 패널을 약 26% 작은 두께의 기판(P1)으로 구성할 수 있게 된다. 이 경우 동일한 변형을 일으키는 외력이 종래보다 26% (1.59/1.26-1) 증가하여 외력에 대한 강도도 증가함을 알수 있다.That is, according to the present invention, when the substrate P1 having the same thickness is used, a panel having at least 26% larger size than the conventional one can be configured, and the panel having the same size can be configured with a substrate P1 having a thickness of about 26% smaller. . In this case, it can be seen that the external force causing the same deformation is increased by 26% (1.59 / 1.26-1) than the conventional one, which also increases the strength against the external force.

이러한 장점은 기판(P1)의 두께에 반비례하는 광투과율을 향상시켜 큰 크기의 FED 패널에서 휘도가 저하되는 문제와, 두꺼운 기판(P1)이 반복적인 열처리에 의해 변형되거나 손상되는 문제를 방지할 수 있게 한다.This advantage can improve the light transmittance inversely proportional to the thickness of the substrate (P1) to prevent the problem that the brightness is reduced in a large sized FED panel, and that the thick substrate (P1) is deformed or damaged by repeated heat treatment To be.

이에 따라 본 발명은 화질이 우수한 대면적의 FED를 구현하는데 큰 효과가 있다.Accordingly, the present invention has a great effect in implementing a large area FED having excellent image quality.

Claims (4)

전면기판과 배면기판을 측벽으로 밀봉하여 형성된 고진공 상태의 캐비티내에 전면기능층과 배면기능층을 서로 대향 배치하여 구성된 전계방출소자에 있어서, 상기 전면기판에 기능판을 부착하여 상기 기능판에 상기 배면기능층을 형성하고, 상기 전면기능층은 상기 전면기판상에 형성되는 것을 특징으로 하는 전계방출소자.A field emission device comprising a front functional layer and a rear functional layer disposed to face each other in a cavity in a high vacuum state formed by sealing a front substrate and a rear substrate with sidewalls, wherein the functional plate is attached to the front substrate to form the rear surface on the functional plate. And a front functional layer is formed on the front substrate. 제1항에 있어서, 상기 두 기능층간의 셀갭이 상기 기능판 또는 상기 전면기판중의 적어도 어느 하나에 웰을 구성하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계방출소자.The field emission device according to claim 1, wherein a cell gap between the two functional layers is formed by forming a well on at least one of the functional plate and the front substrate. 제1항에 있어서, 상기 기능판에 적어도 한 관통구멍을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계방출소자.The field emission device as claimed in claim 1, wherein at least one through hole is formed in the functional plate. 제1항에 있어서, 상기 배면기판에 게터가 도포되는 것을 특징으로 하는 전계방출소자.The field emission device according to claim 1, wherein a getter is applied to the rear substrate.
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