KR100246014B1 - A Method of Forming Induced Magnetic Anisotropy of Amorphous Magnetic Alloy Ribbons - Google Patents

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Abstract

산화물의 졸-겔 용액을 제조하는 단계, 졸-겔 용액을 철계 비정질 자성 합금 박대의 표면에 피복하는 단계, 피복된 철계 비정질 자성 합금 박대를 건조시키는 단계, 및 건조된 피복 철계 비정질 자성 합급 박대를 열처리하는 단계로 이루어지는 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법이 제공된다. 산화물의 종류를 적절히 선택함으로써 유도 자기 이방성을 형성시키며, 따라서 직류 및 교류 자기적 성질을 크게 변화시킬 수 있다.Preparing a sol-gel solution of oxide, coating the sol-gel solution on the surface of the iron-based amorphous magnetic alloy ribbon, drying the coated iron-based amorphous magnetic alloy ribbon, and drying the coated iron-based amorphous magnetic alloy ribbon A method of forming induction magnetic anisotropy in an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon comprising a step of heat treatment is provided. By appropriately selecting the type of oxide, induction magnetic anisotropy is formed, and thus direct and alternating magnetic properties can be greatly changed.

Description

비정질 자성 합금 박대의 유도 자기 이방성 형성 방법 {A Method of Forming Induced Magnetic Anisotropy of Amorphous Magnetic Alloy Ribbons}A Method of Forming Induced Magnetic Anisotropy of Amorphous Magnetic Alloy Ribbons

본 발명은 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of forming induced magnetic anisotropy in an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon.

자성 재료는 응용에 적합한 특성을 가지도록 재료의 자기적 특성을 제어하는 경우가 많은데, 자기적 특성을 제어하는데 가장 많이 사용되는 방법 중의 하나가 유도 자기 이방성이다. 유도 자기 이방성은 통상 원자쌍의 배열이 완전히 불규칙한 것으로부터 벗어나 특정한 방향으로 원자쌍 정렬(pair ordering)이 일어남으로써 생성되는 것으로 알려지고 있다. 이러한 유도 자기 이방성은 결정상보다는 비정질상에 특히 잘 형성되는 것으로 알려지고 있는데, 이러한 관점에서 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 줌으로써 응용에 적합한 특성을 얻기 위한 연구가 많이 수행되어 왔다.Magnetic materials often control the magnetic properties of the material to have properties suitable for the application, and one of the most used methods for controlling the magnetic properties is induced magnetic anisotropy. Induced magnetic anisotropy is known to arise from pair ordering occurring in a particular direction, usually out of a completely irregular arrangement of atomic pairs. It is known that such induced magnetic anisotropy is particularly well formed in an amorphous phase rather than a crystalline phase. From this point of view, many studies have been conducted to obtain suitable properties for application by giving inductive magnetic anisotropy to amorphous magnetic alloy thin ribbons.

유도 자기 이방성을 주는 방법에는 자장을 가하면서 열처리하는 방법(자장 열처리법)과 응력을 가하면서 열처리하는 방법(응력 열처리법)이 있다. 필요에 따라서는 자장 열처리법과 응력 열처리법의 두 가지 방법을 모두 사용하기도 한다.The method of giving induction magnetic anisotropy includes a method of heat treatment while applying a magnetic field (magnetic field heat treatment method) and a method of heat treatment while applying stress (stress heat treatment method). If necessary, both the magnetic field heat treatment method and the stress heat treatment method may be used.

자장 열처리법은 널리 사용되고 있는 방법으로서, 큐리 온도 이하에서만 유도 자기 이방성이 형성되며, 이때 형성된 유도 자기 이방성의 방향은 가한 자기장의 방향과 동일하다. 이 방법의 장점은 재료의 형상에 별로 제한을 받지 않는다는 것이다. 예를 들면, 박대 형태의 재료나 이를 권선한 코어(토로이드형 코어) 형태의 재료 모두에 적용이 가능하다. 그러나, 이러한 자장 열처리법에 의한 유도 자기 이방성은 코발트계 비정질 자성 합금 박대에는 용이하게 형성되나, 철계 비정질 자성 합금 박대에는 잘 형성되지 않으며 유도 자기 이방성이 형성되더라도 그 크기가 매우 작다는 단점이 있다.The magnetic field heat treatment method is widely used. Induction magnetic anisotropy is formed only at a Curie temperature or lower, and the direction of induced magnetic anisotropy is the same as that of the applied magnetic field. The advantage of this method is that it is not limited to the shape of the material. For example, the present invention can be applied to both a material in the form of a thin ribbon and a material in the form of a core (toroidal core) wound thereon. However, although the induced magnetic anisotropy by the magnetic field heat treatment method is easily formed in the cobalt-based amorphous magnetic alloy thin ribbons, the induced magnetic anisotropy is not well formed in the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbons, and the size of the induced magnetic anisotropy is very small.

반면에, 응력 열처리법은 열처리 온도에 무관하게 유도 자기 이방성을 형성시키는 것이 가능한데, 열처리 온도가 큐리 온도 이상인 경우는 탄성력에 의한 원자의 미소 이동에 의해 유도 자기 이방성이 형성되고, 큐리 온도 이하인 경우에는 탄성력과 자기탄성 상호 작용에 의한 원자의 미소 이동에 의해 유도 자기 이방성이 형성된다. 이 경우, 유도 자기 이방성의 방향은 재료의 구조, 응력의 종류 및 자기변형의 부호에 의해 결정된다. 응력 열처리법의 단점은 재료의 형상에 큰 제한을 받는다는 것이다. 예를 들면, 직선 형상의 박대 재료는 응력을 가하는 것이 가능하나 실용적으로 중요한 토로이드형 코어에는 응력을 가하는 것이 매우 어렵다. 따라서, 토로이드형 코어의 경우 응력 열처리법에 의한 유도 자기 이방성의 형성이 거의 불가능하다. 또한, 직선 형상의 박대 재료인 경우에도 인장 응력을 가하는 것은 용이하나 압축 응력을 가하는 것은 용이하지 않다.On the other hand, the stress annealing method can form induction magnetic anisotropy irrespective of the heat treatment temperature. When the heat treatment temperature is higher than the Curie temperature, the induced magnetic anisotropy is formed by the micro migration of atoms due to the elastic force. Induced magnetic anisotropy is formed by micro migration of atoms due to elastic force and magnetic elastic interaction. In this case, the direction of induced magnetic anisotropy is determined by the structure of the material, the type of stress and the sign of the magnetostriction. The disadvantage of stress heat treatment is that the shape of the material is greatly limited. For example, linear thin ribbon materials can be stressed, but it is very difficult to stress practically important toroidal cores. Therefore, in the case of the toroidal core, formation of induced magnetic anisotropy by the stress heat treatment method is almost impossible. In addition, even in the case of linear thin ribbon material, it is easy to apply tensile stress, but not compressive stress.

본 발명의 목적은 철계 비정질 자성 합금 재료에 대하여 유도 자기 이방성의 방향과 크기를 매우 용이하게 제어할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method which can very easily control the direction and magnitude of induced magnetic anisotropy for iron-based amorphous magnetic alloy materials.

도 1은 본 발명에 따라 철계 비정질 자성 합금 박대에 산화물 피막을 형성하는데 사용되는 장치의 개략도.1 is a schematic diagram of an apparatus used to form an oxide film on an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon in accordance with the present invention.

도 2는 산화물 피막을 형성시키지 않은 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.2 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon without forming an oxide film.

도 3은 본 발명에 따라 MgO 피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.3 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with an MgO film according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따라 BaO 피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.4 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with a BaO film according to the present invention.

도 5은 본 발명에 따라 Al2O3피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.5 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with an Al 2 O 3 film according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따라 SiO2피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.6 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with a SiO 2 film according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따라 MgO·Al2O3피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.7 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with a MgO · Al 2 O 3 film according to the present invention.

도 8은 본 발명에 따라 CaO·Al2O3피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.8 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with a CaO · Al 2 O 3 film according to the present invention.

도 9는 본 발명에 따라 SrO·Al2O3피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.9 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with an SrO.Al 2 O 3 film according to the present invention.

도 10은 본 발명에 따라 BaO·Al2O3피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.10 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with a BaO · Al 2 O 3 film according to the present invention.

도 11은 본 발명에 따라 MgO·SiO2피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대의 자기 이력 곡선.11 is a hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon formed with an MgO.SiO 2 film according to the present invention.

도 12는 본 발명에 따라 단일 산화물 피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대와 산화물 피막을 형성시키지 않은 철계 비정질 자성 합금 박대의 실효 투자율의 주파수 의존성을 나타낸 그래프.12 is a graph showing the frequency dependence of the effective permeability of iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbons having a single oxide film formed thereon and iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbons having no oxide film formed therein.

도 13은 본 발명에 따라 이중 산화물 피막을 형성시킨 철계 비정질 자성 합금 박대와 산화물 피막을 형성시키지 않은 철계 비정질 자성 합금 박대의 실효 투자율의 주파수 의존성을 나타낸 그래프.Figure 13 is a graph showing the frequency dependence of the effective permeability of the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbons formed with a double oxide film and the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbons without forming an oxide film according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1, 7: 보빈1, 7: bobbin

2: 도르레2: pulley

3: 박대3: beat

4: 피복 용액4: coating solution

5: 피복실5: coating room

6: 전기로6: electric furnace

본 발명자들은 철계 비정질 자성 합금 박대의 표면에 산화물 피막을 형성시킴으로써 상기 목적이 달성된다는 것을 발견하였다.The present inventors have found that the above object is achieved by forming an oxide film on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon.

본 발명에 의하면,According to the invention,

A) MgO, Al2O3,SiO2, BaO, MgO·Al2O3, MgO·SiO2, CaO·Al2O3, BaO·Al2O3및 SrO·Al2O3로 이루어진 군으로부터 선택되는 산화물의 졸-겔 용액을 제조하는 단계,A) from the group consisting of MgO, Al 2 O 3 , SiO 2 , BaO, MgO-Al 2 O 3 , MgO-SiO 2 , CaO-Al 2 O 3 , BaO-Al 2 O 3 and SrO-Al 2 O 3 Preparing a sol-gel solution of the selected oxide,

B) 상기 졸-겔 용액을 철계 비정질 자성 합금 박대의 표면에 피복하는 단계,B) coating the sol-gel solution on the surface of the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon,

C) 상기 피복된 철계 비정질 자성 합금 박대를 건조시키는 단계, 및C) drying the coated iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon, and

D) 상기 건조된 피복 철계 비정질 자성 합금 박대를 열처리하는 단계D) heat treating the dried coated iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon

로 이루어지는, 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법을 제공한다.Provided is a method of forming induction magnetic anisotropy in an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon.

본 발명에 따라 철계 비정질 자성 합금 재료의 표면에 산화물 피막을 형성시키면, 자성 재료와 산화물의 열팽창 계수 차이 등에 의해 자성 재료에 응력이 발생하고, 이러한 응력이 자기탄성 상호 작용이나 탄성 작용 또는 이 두 가지 작용 모두에 의해 자성 재료에 유도 자기 이방성을 주게 된다. 따라서, 본 발명은 원리적으로는 응력 열처리법과 유사하다. 그러나, 응력 열처리법과는 달리 재료의 형상에 제약을 받지 않는다.According to the present invention, when an oxide film is formed on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy material, a stress is generated in the magnetic material due to a difference in the coefficient of thermal expansion between the magnetic material and the oxide, and such stress is a magnetic elastic interaction, an elastic action, or both. Both actions give magnetic magnetic anisotropy to the magnetic material. Therefore, the present invention is similar in principle to the stress heat treatment method. However, unlike the stress heat treatment method, the shape of the material is not limited.

본 발명에 따르면, 산화물 피막의 종류에 따라 자성 재료에 유기되는 응력의 종류와 크기를 제어하는 것이 가능하고, 이에 따라 유도 자기 이방성의 방향과 크기를 제어하는 것이 매우 용이하다. 따라서, 산화물의 종류를 적절히 선택함으로써 응용에 적합한 자기적 특성을 얻는 것이 가능하다. 예를 들어, 자기 이력 곡선을 가급적 눕혀서 각형비를 작게 하는 것이 요구되는 분야, 예를 들면 쵸크 코아의 응용에는 BaO, CaO·Al2O3, BaO·Al2O3또는 SrO·Al2O3피막을 형성시키는 것이 바람직하다.According to the present invention, it is possible to control the kind and magnitude of the stress induced in the magnetic material according to the kind of the oxide film, and thus it is very easy to control the direction and magnitude of the induced magnetic anisotropy. Therefore, by appropriately selecting the type of oxide, it is possible to obtain magnetic properties suitable for the application. For example, in fields where the hysteresis curve is laid down as much as possible to reduce the square ratio, for example, the application of choke core is BaO, CaO Al 2 O 3 , BaO Al 2 O 3 or SrO Al 2 O 3. It is preferable to form a film.

본 발명에서 철계 비정질 자성 합금 박대를 피복하는데 사용되는 산화물은 졸-겔법에 의해 제조된다. 졸-겔법은 액상에서 분자 구조인 화학 단량체가 이량체, 삼량체 등 점점 복잡한 구조로 변하면서 콜로이드 상태인 졸로 바뀌고 액상이 점점 줄어들면서 콜로이드가 서로 뭉쳐있는 겔로 바뀌는 액상 물질의 고밀도화(densification) 과정을 말한다. 이러한 과정은 제조 공법에 따라 초미세 입자나 박막을 만드는데 이용되고 있으며, 높은 화학적 순도, 분자의 균일한 분포도, 손쉬운 화학 당량비 조절, 및 비교적 낮은 온도에서의 결정화라는 잇점 때문에 세라믹 제조 공정에 많이 사용되고 있다. 출발 물질로는 대개 금속 알콕사이드[M(OR)2X]가 사용되며 물의 가수 분해 반응에 의해 금속이 서로 산소와 연결을 이루며 고분자 구조["MaOb(ORc)"]로 바뀌다가 궁극적으로는 금속 산화물[MOx]로 완전히 변하게 된다. 이 과정은 다음 반응식 1로 간략하게 나타내어진다.In the present invention, the oxide used to coat the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon is produced by the sol-gel method. The sol-gel method densification process of liquid substance in which the chemical monomer, which is a molecular structure in the liquid phase, changes into an increasingly complex structure such as dimers and trimers, and becomes a colloidal sol, and the liquid phase decreases and into a gel in which colloids stick together. Say. This process is used to make ultrafine particles or thin films according to the manufacturing method, and is widely used in the ceramic manufacturing process due to the advantages of high chemical purity, uniform distribution of molecules, easy control of chemical equivalence ratio, and crystallization at relatively low temperature. . The metal alkoxide [M (OR) 2X ] is usually used as a starting material, and the metals are connected to oxygen by the hydrolysis reaction of water, and the polymer is converted into a polymer structure ["M a O b (OR c )"]. Is completely transformed into a metal oxide [MO x ]. This process is simplified by the following scheme 1.

M(OR)2x+ x·H2O → "MaOb(ORc)"→ MOx+ 2x·ROHM (OR) 2x + xH 2 O → "M a O b (OR c )" → MO x + 2xROH

본 발명에서, 단일 성분 산화물 MgO, Al2O3, SiO2또는 BaO의 졸-겔 용액은 목적하는 산화물에 대응하는 알콕사이드의 알코올 용액(이하 "제1 용액"이라 함)을 제조하고, 이 용액을 물을 함유하거나 함유하지 않는 알코올(이하 "제2 용액"이라 함)과 반응시킴으로써 제조된다. 한편, 이중 산화물 MgO·Al2O3, MgO·SiO2, CaO·Al2O3, BaO·Al2O3또는 SrO·Al2O3의 졸-겔 용액은 목적하는 이중 산화물의 각 성분에 대응하는 2 종의 알콕사이드의 알코올 용액(제1 용액)을 제조하고, 이 두 용액을 서로 혼합하고, 이 혼합물을 물을 함유하거나 함유하지 않는 알코올(제2 용액)과 반응시킴으로써 제조된다.In the present invention, the sol-gel solution of the single component oxides MgO, Al 2 O 3 , SiO 2 or BaO produces an alcohol solution of alkoxide (hereinafter referred to as "first solution") corresponding to the desired oxide, and this solution Is prepared by reacting with an alcohol containing or without water (hereinafter referred to as " second solution &quot;). On the other hand, the sol-gel solution of the double oxides MgO-Al 2 O 3 , MgO-SiO 2 , CaO-Al 2 O 3 , BaO-Al 2 O 3 or SrO-Al 2 O 3 is applied to each component of the desired double oxide. The alcohol solution of the corresponding two alkoxides (first solution) is prepared, the two solutions are mixed with each other and the mixture is reacted with an alcohol (second solution) with or without water.

본 발명에 사용되는 금속(Si와 같은 준금속 포함) 알콕사이드의 알코올 용액은 대응하는 금속 또는 금속 알콕사이드로부터 제조할 수 있다.Alcohol solutions of the metals (including metalloids such as Si) alkoxides used in the present invention can be prepared from the corresponding metals or metal alkoxides.

마그네슘 알콕사이드의 알코올 용액으로는 마그네슘 금속 칩에 알코올, 예를 들면 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 직접 금속과 알코올을 반응시켜 제조한 마그네슘 메톡사이드, 마그네슘 에톡사이드, 마그네슘 n-프로폭사이드, 마그네슘 i-프로폭사이드, 마그네슘 n-부톡사이드, 마그네슘 sec-부톡사이드, 마그네슘 tert-부톡사이드 또는 마그네슘 메톡시에톡사이드 알코올 용액을 사용할 수 있다. 또한, 마그네슘 알콕사이드를 다른 마그네슘 알콕사이드로 전환시켜 사용하는 것도 가능하다. 예를 들면, 마그네슘 메톡시에톡사이드 용액은 마그네슘 메톡사이드, 마그네슘 에톡사이드, 마그네슘 n-프로폭사이드, 마그네슘 i-프로폭사이드, 마그네슘 n-부톡사이드, 마그네슘 sec-부톡사이드 또는 마그네슘 tert-부톡사이드 분말 또는 그의 알코올 용액을 2-메톡시에탄올과 반응시켜 알코올과 알콕사이드간의 교환 반응(즉, 가알코올 분해 반응)시킴으로써 제조할 수 있다.The alcohol solution of magnesium alkoxide is directly added to the magnesium metal chip by adding alcohol, such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol in small portions. Magnesium methoxide, magnesium ethoxide, magnesium n-propoxide, magnesium i-propoxide, magnesium n-butoxide, magnesium sec-butoxide, magnesium tert-butoxide or magnesium methoxide prepared by reacting metal with alcohol A oxyethoxide alcohol solution can be used. It is also possible to convert magnesium alkoxides to other magnesium alkoxides for use. For example, the magnesium methoxyethoxide solution may be magnesium methoxide, magnesium ethoxide, magnesium n-propoxide, magnesium i-propoxide, magnesium n-butoxide, magnesium sec-butoxide or magnesium tert-butoxide. The side powder or an alcohol solution thereof can be prepared by reacting with 2-methoxyethanol to exchange an alcohol (alkoxide) reaction (i.e., dialcohol decomposition reaction).

바륨 알콕사이드의 알코올 용액으로는 바륨 금속 칩에, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 직접 금속과 알코올을 반응시켜 제조한 바륨 메톡사이드, 바륨 에톡사이드, 바륨 n-프로폭사이드, 바륨 i-프로폭사이드, 바륨 n-부톡사이드, 바륨 sec-부톡사이드, 바륨 tert-부톡사이드 또는 바륨 2-메톡시에톡사이드 알코올 용액을 사용할 수 있다. 또한, 바륨 알콕사이드를 다른 바륨 알콕사이드로 전환시켜 사용하는 것도 가능하다. 예를 들면, 바륨 메톡시에톡사이드 용액은 바륨 메톡사이드, 바륨 에톡사이드, 바륨 n-프로폭사이드, 바륨 i-프로폭사이드, 바륨 n-부톡사이드, 바륨 sec-부톡사이드 또는 바륨 tert-부톡사이드 분말 또는 그의 알코올 용액을 2-메톡시에탄올과 반응시켜 가알코올 분해 반응시킴으로써 제조할 수 있다.The alcohol solution of barium alkoxide is directly added to the barium metal chip, for example, by adding methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol in small portions. Barium methoxide, barium ethoxide, barium n-propoxide, barium i-propoxide, barium n-butoxide, barium sec-butoxide, barium tert-butoxide or barium 2 prepared by reacting metal with alcohol -Methoxyethoxide alcohol solution can be used. It is also possible to convert the barium alkoxide to another barium alkoxide for use. For example, barium methoxyethoxide solution may be barium methoxide, barium ethoxide, barium n-propoxide, barium i-propoxide, barium n-butoxide, barium sec-butoxide or barium tert-butoxide. It can manufacture by reacting side powder or its alcohol solution with 2-methoxyethanol, and degrading the alcohol.

알루미늄 알콕사이드의 알코올 용액으로는 알루미늄 금속 칩에, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 촉매를 첨가하여 직접 금속과 알코올을 반응시켜 제조한 알루미늄 메톡사이드, 알루미늄 에톡사이드, 알루미늄 n-프로폭사이드, 알루미늄 i-프로폭사이드, 알루미늄 n-부톡사이드, 알루미늄 sec-부톡사이드, 알루미늄 tert-부톡사이드 또는 알루미늄 메톡시에톡사이드 알코올 용액을 사용할 수 있다. 또한, 알루미늄 알콕사이드를 다른 알루미늄 알콕사이드로 전환시켜 사용하는 것도 가능하다. 예를 들면, 알루미늄 메톡시에톡사이드 용액은 알루미늄 메톡사이드, 알루미늄 에톡사이드, 알루미늄 n-프로폭사이드, 알루미늄 i-프로폭사이드, 알루미늄 n-부톡사이드, 알루미늄 sec-부톡사이드 또는 알루미늄 tert-부톡사이드 분말 또는 그의 알코올 용액을 2-메톡시에탄올과 반응시켜 가알코올 분해 반응시킴으로써 제조할 수 있다.As the alcohol solution of the aluminum alkoxide, the catalyst is added to the aluminum metal chip by adding methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol in small portions. Aluminum methoxide, aluminum ethoxide, aluminum n-propoxide, aluminum i-propoxide, aluminum n-butoxide, aluminum sec-butoxide, aluminum tert-butoxide prepared by directly reacting metal with alcohol Said or aluminum methoxyethoxide alcohol solution may be used. It is also possible to convert aluminum alkoxides to other aluminum alkoxides for use. For example, the aluminum methoxyethoxide solution may be aluminum methoxide, aluminum ethoxide, aluminum n-propoxide, aluminum i-propoxide, aluminum n-butoxide, aluminum sec-butoxide or aluminum tert-butoxide. It can manufacture by reacting side powder or its alcohol solution with 2-methoxyethanol, and degrading the alcohol.

규소 알콕사이드의 알코올 용액으로는 테트라알킬오르토실리케이트(Si(OR)4)에 알코올, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올을 첨가하여 반응시켜 제조한 규소 메톡사이드, 규소 에톡사이드, 규소 n-프로폭사이드, 규소 i-프로폭사이드, 규소 n-부톡사이드, 규소 sec-부톡사이드, 규소 tert-부톡사이드 또는 규소 메톡시에톡사이드 알코올 용액을 사용할 수 있다.Examples of alcohol solutions of silicon alkoxides include tetraalkylorthosilicate (Si (OR) 4 ) alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2 Silicon methoxide, silicon ethoxide, silicon n-propoxide, silicon i-propoxide, silicon n-butoxide, silicon sec-butoxide, silicon tert-butoxide prepared by addition of methoxyethanol Or silicon methoxyethoxide alcohol solution.

칼슘 알콕사이드의 알코올 용액으로는 칼슘 금속 칩에 알코올, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 직접 금속과 알코올을 반응시켜 제조한 칼슘 메톡사이드, 칼슘 에톡사이드, 칼슘 n-프로폭사이드, 칼슘 i-프로폭사이드, 칼슘 n-부톡사이드, 칼슘 sec-부톡사이드, 칼슘 tert-부톡사이드 또는 칼슘 메톡시에톡사이드 알코올 용액을 사용할 수 있다. 또한, 칼슘 알콕사이드를 다른 칼슘 알콕사이드로 전환시켜 사용할 수도 있다. 예를 들면, 칼슘 메톡시에톡사이드 용액은 칼슘 메톡사이드, 칼슘 에톡사이드, 칼슘 n-프로폭사이드, 칼슘 i-프로폭사이드, 칼슘 n-부톡사이드, 칼슘 sec-부톡사이드 또는 칼슘 tert-부톡사이드 분말 또는 그의 알코올 용액을 2-메톡시에탄올과 반응시켜 제조할 수도 있다.As an alcohol solution of calcium alkoxide, alcohol, such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol, is added to the calcium metal chip little by little. Calcium methoxide, calcium ethoxide, calcium n-propoxide, calcium i-propoxide, calcium n-butoxide, calcium sec-butoxide, calcium tert-butoxide or calcium prepared by direct metal reaction with alcohol Methoxyethoxide alcohol solution can be used. It is also possible to convert calcium alkoxides to other calcium alkoxides. For example, the calcium methoxyethoxide solution may be calcium methoxide, calcium ethoxide, calcium n-propoxide, calcium i-propoxide, calcium n-butoxide, calcium sec-butoxide or calcium tert-butoxide. It may also be prepared by reacting a side powder or an alcohol solution thereof with 2-methoxyethanol.

스트론튬 알콕사이드의 알코올 용액으로는 스트론튬 금속 칩에 알코올, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 직접 금속과 알코올을 반응시켜 제조한 스트론튬 메톡사이드, 스트론튬 에톡사이드, 스트론튬 n-프로폭사이드, 스트론튬 i-프로폭사이드, 스트론튬 n-부톡사이드, 스트론튬 sec-부톡사이드, 스트론튬 tert-부톡사이드 또는 스트론튬 메톡시에톡사이드 알코올 용액을 사용할 수 있다. 또한, 스트론튬 알콕사이드는 다른 스트론튬 알콕사이드로 전환시켜 사용할 수도 있다. 예를 들면, 스트론튬 메톡시에톡사이드 용액은 스트론튬 메톡사이드, 스트론튬 에톡사이드, 스트론튬 n-프로폭사이드, 스트론튬 i-프로폭사이드, 스트론튬 n-부톡사이드, 스트론튬 sec-부톡사이드 또는 스트론튬 tert-부톡사이드 분말 또는 그의 알코올 용액을 2-메톡시에탄올과 반응시켜 가알코올 분해 반응시킴으로써 제조할 수 있다.As an alcohol solution of strontium alkoxide, alcohol, such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol, is added to the strontium metal chip little by little. Strontium methoxide, strontium ethoxide, strontium n-propoxide, strontium i-propoxide, strontium n-butoxide, strontium sec-butoxide, strontium tert-butoxide or strontium prepared by directly reacting metal with alcohol Methoxyethoxide alcohol solution can be used. In addition, strontium alkoxide can also be used by converting into another strontium alkoxide. For example, the strontium methoxyethoxide solution may be strontium methoxide, strontium ethoxide, strontium n-propoxide, strontium i-propoxide, strontium n-butoxide, strontium sec-butoxide or strontium tert-butoxide. It can manufacture by reacting side powder or its alcohol solution with 2-methoxyethanol, and degrading the alcohol.

본 발명의 방법에서, 제1 용액 및 제2 용액에 사용되는 알코올은 동일하거나 상이할 수 있으며, 예를 들면 메탄올, 에탄올, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올 또는 2-메톡시에탄올에서 선택할 수 있다.In the process of the invention, the alcohols used in the first and second solutions may be the same or different, for example methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert- Butanol or 2-methoxyethanol.

본 발명의 실시 태양에서는, 도 1의 피복 장치를 이용하여 철계 비정질 자성 합금 박대에 산화물을 피복시킨다. 도 1의 보빈(1)에 박대(3)을 장착하고, 수 개의 도르레(2)를 거쳐 보빈(7)에 연결한다. 보빈(1)에 있는 박대는 보빈(7)의 회전에 의해 일정한 속도로 이동하게 된다. 불활성 기체 분위기(예: 아르곤 또는 질소 분위기) 하의 피복실(5)에 놓여진 피복 용액(4)에 박대(3)을 통과시킴으로써 박대의 표면에 피복 용액이 흡착되도록 한다. 피복 용액이 균일하게 흡착·피복된 박대를 건조시킨다.In the embodiment of the present invention, an oxide is coated on the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon using the coating apparatus of FIG. 1. The bobbin 3 is attached to the bobbin 1 of FIG. 1, and is connected to the bobbin 7 via several pulleys 2. The thin ribbon in the bobbin 1 is moved at a constant speed by the rotation of the bobbin 7. The coating solution 4 is allowed to adsorb to the surface of the ribbon by passing the ribbon 3 through the coating solution 4 placed in the coating chamber 5 under an inert gas atmosphere (eg, argon or nitrogen atmosphere). The thin ribbon of the coating solution adsorbed and coated uniformly is dried.

이하, 본 발명을 실시예에서 구체적으로 설명한다. 실시예를 포함하는 본원명세서에서, 일반적으로 기재된 알코올 또는 구체적인 명칭으로 기재된 알코올(예를 들어, 에탄올 등)은 달리 언급이 없는 한 무수 알코올을 의미한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail in the Examples. In the specification, including examples, alcohols generally described or alcohols described by specific names (eg, ethanol, etc.) refer to anhydrous alcohols unless stated otherwise.

<실시예 1><Example 1>

마그네슘 에톡사이드[Mg(OCH2CH3)2] 분말을 과량의 2-메톡시에탄올[CH3OCH2CH2OH]에 넣고 아르곤 가스 분위기하에서 환류시켜 마그네슘 메톡시에톡사이드를 합성하였다. 진공 트랩을 사용하여 용액 중에 존재하는 과량의 에탄올을 제거하고, 다시 글로브 박스(glove box) 속에서 2-메톡시에탄올을 가하여 용액이 정확히 0.5M이 되게 하였다(제1 용액). 이어서, 0.5M 함수 에탄올 용액을 제조하였다(제2 용액). 동일 부피의 제1 용액과 제2 용액을 침전이 생기지 않도록 주의하면서 서서히 합하여 최종 피복 용액을 제조하였다.Magnesium ethoxide was prepared by putting magnesium ethoxide [Mg (OCH 2 CH 3 ) 2 powder in an excess of 2-methoxyethanol [CH 3 OCH 2 CH 2 OH] and refluxing in an argon gas atmosphere. Excess ethanol present in the solution was removed using a vacuum trap, and 2-methoxyethanol was added again in a glove box to make the solution exactly 0.5 M (first solution). Then 0.5M aqueous ethanol solution was prepared (second solution). The same volume of the first solution and the second solution were slowly combined, taking care not to precipitate, resulting in a final coating solution.

이어서, 제조된 피복 용액을 도1에 도시된 피복 장치를 사용하여 산화물 피막을 형성시켰다. 도1의 보빈(1)에 Metglas 2605S3A (조성 Fe76.5Cr2B16Si5C0.5)(3)을 장착한 후, 테프론으로 제작된 수 개의 도르레(2)를 거쳐 보빈(7)에 연결하였다. 보빈(1)에 있는 박대는 보빈(7)의 회전에 의해 일정한 속도로 이동하게 된다. 아르곤 분위기 하의 피복실(5)에 놓여진 피복 용액(4)에 박대를 통과시킴으로써 박대의 표면에 피복 용액이 흡착·피복되도록 하였다. 표면에 피복 용액이 균일하게 흡착·피복된 박대를 자장을 발생시키지 않도록 무유도 권선된 전기로(6)을 통과시킴으로써 건조시켰다. 전기로의 온도는 200 ℃로 하였다.Subsequently, the prepared coating solution was used to form an oxide film using the coating apparatus shown in FIG. Metglas 2605S3A (composition Fe 76.5 Cr 2 B 16 Si 5 C 0.5 ) (3) was attached to the bobbin (1) of FIG. 1, and then connected to the bobbin (7) via several pulleys (2) made of Teflon. . The thin ribbon in the bobbin 1 is moved at a constant speed by the rotation of the bobbin 7. The coating solution was adsorbed and coated on the surface of the ribbon by passing the ribbon through the coating solution 4 placed in the coating chamber 5 under argon atmosphere. The thin ribbon of the coating solution uniformly adsorbed and coated on the surface was dried by passing an induction-winding electric furnace 6 so as not to generate a magnetic field. The temperature of the electric furnace was 200 degreeC.

피복된 산화물 피막의 두께를 디지탈 마이크로미터를 사용하여 측정하였다. 측정의 정확도를 향상시키기 위하여 박대를 10 ∼ 20겹으로 적층한 다음 전체 적층된 두께를 측정하고, 이것을 적층된 박대의 수로 나누어 줌으로써 피복된 산화물 피막의 두께를 계산하였다. 측정된 MgO 피막의 두께는 0.7 μm이었다.The thickness of the coated oxide film was measured using a digital micrometer. In order to improve the accuracy of the measurement, the thickness of the coated oxide film was calculated by stacking thin ribbons in 10 to 20 layers and then measuring the total thickness of the laminate, and dividing it by the number of laminated ribbons. The thickness of the MgO film measured was 0.7 μm.

산화물이 피복된 박대를 내경 19mm의 알루미늄 보빈에 50층이 되도록 감은 후, 질소 분위기 하에서 열선이 자장을 발생시키지 않도록 권선된 전기로를 사용하여 435 ℃에서 2시간 동안 열처리를 행한 후, 자기적 성질을 조사하였다. 자기적 성질로는 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료와 상기의 방법에 의해 산화물 피막을 형성시킨 시료에 대하여 직류 자기 이력 곡선과 교류 성질로서 주파수에 따른 실효 투자율의 변화를 측정하였다.Oxide-coated thin ribbon was wound to 50 layers of aluminum bobbins with an inner diameter of 19 mm, and heat treated at 435 ° C. for 2 hours using a coiled electric furnace so that the heating wire did not generate a magnetic field under a nitrogen atmosphere. Investigate. As a magnetic property, the change of the effective permeability according to frequency was measured as the direct current hysteresis curve and the alternating current property with respect to the sample which did not form an oxide film and the sample which formed the oxide film by the said method.

자기 이력 곡선은 자기 이력 측정 장치 (일본 Toei사 제품, Model TRF-5AH1)를 사용하여 측정하였다. 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 자기 이력 곡선은 도 2에, 본 발명에 따른 MgO 피막을 형성시킨 시료의 자기 이력 곡선은 도 3에 나타내었다. 도 2와 도 3의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이고, 본 발명에 따라 MgO 피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.74이었다.The hysteresis curve was measured using a magnetic hysteresis measuring apparatus (Model TRF-5AH1 manufactured by Toei, Japan). The hysteresis curve of the sample which did not form an oxide film is shown in FIG. 2, and the hysteresis curve of the sample in which the MgO film which concerns on this invention was formed is shown in FIG. As can be seen from the results of FIGS. 2 and 3, the square ratio of the sample without forming the oxide film was 0.40, and the square ratio of the sample with the MgO coating according to the present invention was 0.74.

실효 투자율은 저항 분석기 (impedance analyzer, Hewlett Packard사 제품, Model 4219A)를 사용하여 10 mOe의 자기장에서 측정하였다. 그 결과는 도 12에 나타내었다. 도 12에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 MgO 피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 100 kHz 미만의 주파수에서 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 더 높은 실효 투자율을 나타내나, 고주파에서는 거의 비슷한 값을 나타내었다.Effective permeability was measured in a magnetic field of 10 mOe using an impedance analyzer (Model 4219A, manufactured by Hewlett Packard). The results are shown in FIG. As can be seen in Figure 12, the effective permeability of the sample formed MgO film according to the present invention showed a higher effective permeability than the sample without the oxide film formed at a frequency of less than 100 kHz, but showed a similar value at high frequencies .

<실시예 2><Example 2>

제1용액으로서 바륨 금속 칩에 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 직접 금속과 알코올을 반응시켜 합성한 0.5 M의 바륨 메톡시에톡사이드 용액을 사용하여 최종 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이 때 형성된 산화물은 BaO이며, 산화물 피막의 두께는 0.4 μm이었다.Except that the final coating solution was prepared using a 0.5 M barium methoxyethoxide solution synthesized by directly reacting the metal with alcohol while gradually adding 2-methoxyethanol to the barium metal chip as the first solution. An oxide film was coated in the same manner as in Example 1. The oxide formed at this time was BaO, and the thickness of the oxide film was 0.4 µm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과는 각각 도 4 및 도 12에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 4 and 12, respectively.

도 2와 도 4의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 산화물 피막을 형성시킨 시료의 각형비가 크게 감소하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.4이나, 본 발명에 따라 BaO 피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.20이었다.As can be seen from the results of FIG. 2 and FIG. 4, the square ratio of the sample in which the oxide film was formed according to the present invention was greatly reduced. Specifically, the square ratio of the sample in which the oxide film was not formed was 0.4. Therefore, the square ratio of the sample in which the BaO film was formed was 0.20.

도 12에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 BaO 피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 400 kHz이하의 주파수 범위에서 작은 값을 보이지만, 주파수에 따른 실효 투자율의 감소가 매우 작아 100 kHz의 주파수까지 거의 일정한 실효 투자율 값을 보였다.As can be seen in Figure 12, the effective permeability of the sample formed BaO film according to the present invention shows a smaller value in the frequency range of 400 kHz or less than the sample without the oxide film, but the decrease in effective permeability with frequency is very small Nearly constant effective permeability values were observed up to the frequency of 100 kHz.

<실시예 3><Example 3>

제1 용액으로서 알루미늄 이소프로폭사이드 {A1[OCH(CH3)2]3}에 2-메톡시에탄올을 첨가하여 85 ℃의 온도에서 90분간 환류시킴으로써 0.5 M의 알루미늄 메톡시에톡사이드 용액을 제조하고, 제2 용액으로서 물이 첨가되지 않은 에탄올을 사용하여 최종 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이 때 형성된 산화물은 Al2O3이며, 산화물 피막의 두께는 0.39 μm이었다.A 0.5 M aluminum methoxyethoxide solution was prepared by adding 2-methoxyethanol to aluminum isopropoxide {A1 [OCH (CH 3 ) 2 ] 3 } as a first solution and refluxing at a temperature of 85 ° C. for 90 minutes. In the same manner as in Example 1, except that a final coating solution was prepared using ethanol to which water was not added as a second solution. The oxide formed at this time was Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 0.39 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과는 각각 도 5 및 도 12에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 5 and 12, respectively.

도 2와 도 5에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 산화물 피막을 형성시킨 시료의 각형비는 다소 감소하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.34이었다.As can be seen in Figures 2 and 5, the square ratio of the sample forming the oxide film according to the present invention was somewhat reduced, specifically, the square ratio of the sample without forming the oxide film is 0.40, but according to the present invention squareness of the sample was formed an Al 2 O 3 film was 0.34.

도 12에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 Al2O3피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 전 주파수 범위에서 높게 나타났다.As can be seen in FIG. 12, the effective permeability of the sample in which the Al 2 O 3 film was formed according to the present invention was higher in the entire frequency range than the sample in which the oxide film was not formed.

〈실시예 4〉<Example 4>

에탄올 5.0 g(6.330 ml), 물 4.325 g 및 염산 0.3 ml를 혼합한 용액을 6.06 g (7.67 ml)의 에탄올로 희석한 12.50 g의 TEOS (테트라에틸 오르토실리케이트) 용액에 서서히 가해 준 다음 항온조에서 40℃로 유지하면서 40 분간 교반시켜 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 비정질 자성 합금 박대에 산화물 피막을 피복하였다. 이 때 형성된 산화물은 SiO2이며, 산화물 피막의 두께는 0.65 ㎛이었다.A solution of 5.0 g (6.330 ml) of ethanol, 4.325 g of water and 0.3 ml of hydrochloric acid was slowly added to 12.50 g of TEOS (tetraethyl orthosilicate) solution diluted with 6.06 g (7.67 ml) of ethanol. An oxide film was coated on the amorphous magnetic alloy thin ribbon as in Example 1 except that the coating solution was prepared by stirring for 40 minutes while maintaining the temperature at 占 폚. The oxide formed at this time was SiO 2 , and the thickness of the oxide film was 0.65 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과는 각각 도 6 및 도 12에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 6 and 12, respectively.

도 2 및 도 6에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 산화물 피막을 형성시킨 시료의 각형비는 증가하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 SiO2피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.57이었다.As can be seen in Figures 2 and 6, the square ratio of the sample in which the oxide film was formed according to the present invention was increased. Specifically, the square ratio of the sample in which the oxide film was not formed was 0.40. The square ratio of the sample which formed 2 film was 0.57.

도 12에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 SiO2피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 전 주파수 범위에서 낮게 나타났다.As can be seen in FIG. 12, the effective permeability of the sample in which the SiO 2 film was formed according to the present invention was lower in the entire frequency range than the sample in which the oxide film was not formed.

<실시예 5>Example 5

실시예 1에서 제조한 마그네슘 메톡시에톡사이드 용액과 실시예 3에서 제조한 알루미늄 메톡시에톡사이드 용액을 같은 몰 수로 섞은 다음 환류시킴으로써 제1용액을 제조하고, 제2 용액으로서 물이 첨가되지 않은 에탄올을 사용하여 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이 때 형성된 산화물은 MgO·Al2O3이며, 산화물 피막의 두께는 0.75 μm이었다.The first solution was prepared by mixing the magnesium methoxyethoxide solution prepared in Example 1 and the aluminum methoxyethoxide solution prepared in Example 3 in the same molar number and refluxing, and water was not added as the second solution. An oxide film was coated in the same manner as in Example 1 except that the coating solution was prepared using ethanol. The oxide formed at this time was MgO-Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 0.75 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과는 각각 도 7 및 도 13에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 7 and 13, respectively.

도 2와 도 7의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 MgO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 크게 증가하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 MgO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.71이었다.As can be seen from the results of FIG. 2 and FIG. 7, the square ratio of the sample in which the MgO.Al 2 O 3 film was formed according to the present invention was greatly increased. Specifically, the square ratio of the sample without forming the oxide film was increased. 0.40 and was squareness of the sample was formed an Al 2 O 3 film according · MgO to the present invention is 0.71.

도 13에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 산화물 피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 전 주파수 범위에서 높게 나타났다.As can be seen in FIG. 13, the effective permeability of the sample in which the oxide film was formed according to the present invention was higher in the entire frequency range than the sample in which the oxide film was not formed.

<실시예 6><Example 6>

칼슘 메톡사이드[Ca(OCH3)2]에 2-메톡시에탄올을 첨가하여 환류시켜 0.5 M의 칼슘 메톡시에톡사이드 용액을 제조한 다음, 실시예 3에서 제조한 알루미늄 메톡시에톡사이드 용액을 같은 몰 수로 섞은 다음 환류시킴으로써 제1 용액을 제조하고, 제2 용액으로서 물이 첨가되지 않은 에탄올을 사용하여 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이때 형성된 산화물은 CaO·Al2O3이며, 산화물 피막의 두께는 1.92 μm이었다.2-methoxyethanol was added to the calcium methoxide [Ca (OCH 3 ) 2 ] to reflux to prepare a calcium methoxy ethoxide solution of 0.5 M, followed by the aluminum methoxy ethoxide solution prepared in Example 3. Was mixed in the same molar number and refluxed to prepare a first solution, and an oxide film was coated in the same manner as in Example 1 except that a coating solution was prepared using ethanol to which water was not added as a second solution. The oxide formed at this time was CaO · Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 1.92 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과는 각각 도 8 및 도 13에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 8 and 13, respectively.

도 2와 도 8의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 CaO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 다소 감소하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 CaO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.34이었다.As can be seen from the results of FIG. 2 and FIG. 8, the square ratio of the sample in which the CaO · Al 2 O 3 film was formed was somewhat reduced according to the present invention. Specifically, the square ratio of the sample in which the oxide film was not formed was 0.40 and was squareness of the sample was formed an Al 2 O 3 film according · CaO with the present invention is 0.34.

도 13에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 CaO·Al2O3피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 약 300 kHz 이하의 주파수에서는 낮으나, 그 이상의 주파수에서는 높게 나타났다.As can be seen from FIG. 13, the effective permeability of the sample having the CaO · Al 2 O 3 film formed according to the present invention was lower at a frequency of about 300 kHz or less than that of the sample without the oxide film, but was higher at higher frequencies.

<실시예 7><Example 7>

스트론튬 금속 칩에 2-메톡시에탄올을 조금씩 가해주면서 직접 금속과 알코올을 반응시켜 합성한 0.5M의 스트론튬 메톡시에톡사이드 용액과 실시예 3에서 제조한 알루미늄 메톡시에톡사이드 용액을 같은 몰 수로 섞은 다음 환류시킴으로써 제1 용액을 제조하고, 제2 용액으로서 물이 첨가되지 않은 에탄올을 사용하여 최종 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이때 형성된 산화물은 SrO·Al2O3이며, 산화물 피막의 두께는 1.68 μm이었다.0.5M strontium methoxyethoxide solution synthesized by directly reacting metal and alcohol with the addition of 2-methoxyethanol little by little to the strontium metal chip with the same number of moles of aluminum methoxyethoxide solution prepared in Example 3 The first solution was prepared by mixing and refluxing, and the oxide film was coated in the same manner as in Example 1 except that the final coating solution was prepared using ethanol without adding water as the second solution. The oxide formed at this time was SrO-Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 1.68 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과는 각각 도 9 및 도 13에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 9 and 13, respectively.

도 2와 도 9의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 SrO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 매우 크게 감소하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 SrO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.16이었다.As can be seen from the results of FIG. 2 and FIG. 9, the square ratio of the sample in which the SrO.Al 2 O 3 film was formed was greatly reduced according to the present invention. Specifically, the square ratio of the sample without the oxide film was formed. Was 0.40, but the square ratio of the sample in which the SrO-Al 2 O 3 film was formed in accordance with the present invention was 0.16.

도 13에서 알 수 있는 바와 같이 본 발명에 따라 SrO·Al2O3피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 600 kHz 이하의 주파수 범위에서 작은 값을 보이지만 주파수에 따른 실효 투자율의 감소가 매우 작아 100 kHz의 주파수까지 거의 일정한 실효 투자율 값을 나타냈다.As can be seen in Figure 13, the effective permeability of the sample formed with the SrO-Al 2 O 3 film according to the present invention shows a smaller value in the frequency range of 600 kHz or less than the sample without the oxide film is formed, but the effective permeability decreases with frequency. Is very small, showing a nearly constant effective permeability value up to a frequency of 100 kHz.

<실시예 8><Example 8>

실시예 2에서 제조한 바륨 메톡시에톡사이드 용액과 실시예 3에서 제조한 알루미늄 메톡시에톡사이드 용액을 같은 몰 수로 섞은 다음 환류시킴으로써 제1 용액을 제조하고, 제2 용액으로서 물이 첨가되지 않은 에탄올을 사용하여 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이때 형성된 산화물은 BaO·Al2O3이며, 산화물 피막의 두께는 1.80 μm이었다.The first solution was prepared by mixing the barium methoxyethoxide solution prepared in Example 2 and the aluminum methoxyethoxide solution prepared in Example 3 in the same molar number and refluxing, and no water was added as the second solution. An oxide film was coated in the same manner as in Example 1 except that the coating solution was prepared using ethanol. The oxide formed at this time was BaO · Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 1.80 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과를 각각 도 10 및 도 13에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 10 and 13, respectively.

도 2와 도 10의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 BaO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 크게 감소하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 BaO·Al2O3피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.17이었다.As can be seen from the results of FIG. 2 and FIG. 10, the square ratio of the sample on which the BaO · Al 2 O 3 film was formed was greatly reduced according to the present invention. However, the square ratio of the sample in which the BaO-Al 2 O 3 film was formed in accordance with the present invention was 0.17.

도 13에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 BaO·Al2O3피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 700 kHz 이하의 주파수 범위에서 작은 값을 보이지만, 주파수에 따른 실효 투자율의 감소가 매우 작아 100 kHz의 주파수까지 거의 일정한 실효 투자율 값을 보였다.As can be seen in Figure 13, the effective permeability of the sample formed BaO · Al 2 O 3 film according to the present invention shows a smaller value in the frequency range of 700 kHz or less than the sample without the oxide film, the effective permeability according to frequency The decrease in is very small, showing an almost constant effective permeability value up to a frequency of 100 kHz.

<실시예 9>Example 9

TEOS(테트라에틸 오르토실리케이트)에 2-메톡시에탄올을 섞고 환류시켜 제조한 0.5M의 실리콘 메톡시에톡사이드 용액과 실시예 1에서 제조한 마그네슘 메톡시에톡사이드 용액을 같은 몰 수로 섞은 다음 환류시킴으로써 제1 용액을 제조하고, 제2 용액으로서 물이 첨가되지 않은 에탄올을 사용하여 피복 용액을 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 산화물 피막을 피복하였다. 이때 형성된 산화물은 MgO·SiO2이며, 산화물 피막의 두께는 1.39 μm이었다.Tetraethyl orthosilicate (TEOS) is mixed with 2-methoxyethanol and refluxed to prepare a 0.5M silicon methoxyethoxide solution and the magnesium methoxyethoxide solution prepared in Example 1 in the same molar number and then refluxed. The oxide film was coated in the same manner as in Example 1 except that a first solution was prepared and a coating solution was prepared using ethanol to which water was not added as a second solution. The oxide formed at this time was MgO.SiO 2 , and the thickness of the oxide film was 1.39 μm.

실시예 1과 동일한 방법으로 자기 이력 곡선과 실효 투자율을 측정하였다. 그 결과를 각각 도 11 및 도 13에 나타내었다.The hysteresis curve and the effective permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 11 and 13, respectively.

도 2와 도 11의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 MgO·SiO2피막을 형성시킨 시료의 각형비는 다소 증가하였는데, 구체적으로 산화물 피막을 형성시키지 않은 시료의 각형비는 0.40이나, 본 발명에 따라 MgO·SiO2피막을 형성시킨 시료의 각형비는 0.50이었다.As can be seen from the results of FIG. 2 and FIG. 11, according to the present invention, the angular ratio of the sample in which the MgO.SiO 2 film was formed increased slightly. Specifically, the angular ratio of the sample in which the oxide film was not formed was 0.40. The square ratio of the sample in which the MgO.SiO 2 film was formed according to the present invention was 0.50.

도 13에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 MgO·SiO2피막이 형성된 시료의 실효 투자율은 산화물 피막이 형성되지 않은 시료보다 약 100 kHz 이하의 주파수에서는 낮으나 그 이상의 주파수에서는 높게 나타났다.As can be seen in FIG. 13, the effective permeability of the sample with MgO.SiO 2 film formed according to the present invention was lower at frequencies below about 100 kHz but higher at frequencies higher than the sample without oxide film.

산화물 피막의 종류를 조절함으로써 철계 비정질 자성 합금 박대의 유도 자기 이방성을 넓은 범위에 걸쳐서 제어하는 것이 가능하며, 따라서, 자기적 특성을 넓은 범위에 걸쳐서 제어하는 것이 가능하다.By adjusting the type of the oxide film, it is possible to control the induced magnetic anisotropy of the iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon over a wide range, and therefore, it is possible to control the magnetic properties over a wide range.

Claims (4)

MgO, Al2O3, SiO2, BaO, MgO·Al2O3, MgO·SiO2, CaO·Al2O3, BaO·Al2O3및 SrO·Al2O3로 이루어진 군으로부터 선택되는 산화물의 졸-겔 용액을 제조하는 단계,MgO, Al 2 O 3 , SiO 2 , BaO, MgO-Al 2 O 3 , MgO-SiO 2 , CaO-Al 2 O 3 , BaO-Al 2 O 3 and SrO-Al 2 O 3 Preparing a sol-gel solution of the oxide, 상기 졸-겔 용액을 철계 비정질 자성 합금 박대의 표면에 피복하는 단계,Coating the sol-gel solution on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon, 상기 피복된 철계 비정질 자성 합금 박대를 건조시키는 단계, 및Drying the coated iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon, and 상기 건조된 피복 철계 비정질 자성 합금 박대를 열처리하는 단계Heat-treating the dried coated iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법.A method of forming induction magnetic anisotropy in an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon, characterized in that consisting of. 제1항에 있어서, MgO, SiO2또는 BaO의 졸-겔 용액은 목적하는 산화물에 대응하는 알콕사이드의 알코올 용액을 제조하고, 이 용액을 이에 함유된 알콕사이드와 동몰량의 물을 함유하는 알코올에 첨가해서 혼합시킴으로써 제조되는 것인 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법.The sol-gel solution of MgO, SiO 2 or BaO, according to claim 1, prepares an alcohol solution of an alkoxide corresponding to the desired oxide and adds the solution to an alcohol containing an equimolar amount of water with the alkoxide contained therein. A method of forming induction magnetic anisotropy in an iron-based amorphous magnetic alloy thin ribbon produced by mixing by mixing. 제1항에 있어서, Al2O3의 졸-겔 용액은 목적하는 산화물에 대응하는 알콕사이드의 알코올 용액을 제조하고, 이 용액을 물을 함유하지 않는 알코올에 첨가해서 혼합시킴으로써 제조되는 것인 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법.The iron-based amorphous compound according to claim 1, wherein the sol-gel solution of Al 2 O 3 is prepared by preparing an alcohol solution of an alkoxide corresponding to the desired oxide, and adding this solution to an alcohol containing no water. Method of forming induced magnetic anisotropy in magnetic alloy thin ribbons. 제1항에 있어서, MgO·Al2O3, MgO·SiO2, CaO·Al2O3, BaO·Al2O3또는 SrO·Al2O3의 졸-겔 용액은 목적하는 이중 산화물의 각각의 성분에 대응하는 2 종의 알콕사이드를 각각 동일한 알코올중에 용해시켜 2종의 알코올 용액을 제조하고, 두 용액을 혼합하고, 이 혼합물을 물을 함유하지 않는 알코올에 첨가해서 반응시킴으로써 제조되는 것인 철계 비정질 자성 합금 박대에 유도 자기 이방성을 형성하는 방법.According to claim 1, MgO · Al 2 O 3, MgO · SiO 2, CaO · Al 2 O 3, BaO · Al 2 O 3 or sol of SrO · Al 2 O 3 - gel solution is the purpose, each of the double oxide It is prepared by dissolving two kinds of alkoxides corresponding to the components of in the same alcohol to prepare two kinds of alcohol solution, mixing the two solutions, and adding the mixture to an alcohol containing no water to react. A method of forming induced magnetic anisotropy in amorphous magnetic alloy thin ribbons.
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