JPH10199720A - Method for forming induced magnetic anisotropy of iron group amorphous magnetic alloy ribbon - Google Patents

Method for forming induced magnetic anisotropy of iron group amorphous magnetic alloy ribbon

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JPH10199720A
JPH10199720A JP9344689A JP34468997A JPH10199720A JP H10199720 A JPH10199720 A JP H10199720A JP 9344689 A JP9344689 A JP 9344689A JP 34468997 A JP34468997 A JP 34468997A JP H10199720 A JPH10199720 A JP H10199720A
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英 堤 ▲べ▼
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily form an induced magnetic anisotropy and also to easily control its orientation and magnitude, by adjusting a sol-gel solution of a specific metal oxide, coating the sol-gel solution on the surface of an iron based amorphous magnetic alloy ribbon, for drying and thermal treatment. SOLUTION: A sol/gel coating solution 4 of metal oxide selected among MgO, Al2 O3 , SiO2 , BaO, MgO.Al2 O3 , MgO-SiO2 , CaO.Al2 O3 , BaO.Al2 O3 , and SrO.Al2 O3 , is adjusted. Then, the ribbon of a bobbin 1 is, by rotation of a bobbin 7, moved at a constant speed toward the bobbin 7. Here, the ribbon is allowed to pass the coating solution 4 provided in a coating chamber 5 so that the coating solution 4 is adsorbed and coated on the surface of ribbon, then dried through an electric furnace 6. Then, the coated ribbon is thermally processed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、鉄系の非晶質磁性
合金リボンに誘導磁気異方性を形成する方法に関する。
The present invention relates to a method for forming an induced magnetic anisotropy on an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁性材料は、使用目的に合った最適の特
性を有するように材料の磁気特性を制御しなくてはなら
ない。磁気特性の制御法として最も多く用いられている
方法の一つに誘導磁気異方性の形成又は制御があげられ
る。誘導磁気異方性は、通常の原子対の配列が不規則な
ものから外れて、特定方向に原子対の整列(pair order
ing)が起こることにより形成されると考えられている。
このような誘導磁気異方性は、結晶質より非晶質のもの
で特によく形成されることが知られている。このような
観点で、非晶質磁性合金リボンに誘導磁気異方性を与え
ることにより、応用に適した特性を得るための研究が盛
んに行われてきた。
2. Description of the Related Art Magnetic materials must control the magnetic properties of the materials so as to have optimum characteristics according to the purpose of use. One of the most frequently used methods for controlling magnetic properties is formation or control of induced magnetic anisotropy. Induced magnetic anisotropy is based on the fact that the normal arrangement of atomic pairs deviates from the irregular ones,
ing) is thought to form.
It is known that such an induced magnetic anisotropy is particularly well formed of an amorphous material rather than a crystalline material. From such a viewpoint, researches for obtaining characteristics suitable for application by giving induced magnetic anisotropy to an amorphous magnetic alloy ribbon have been actively conducted.

【0003】誘導磁気異方性を付与する方法としては、
磁場を印加しながら熱処理する方法(磁場内熱処理法)
と応力を加えながら熱処理する方法(応力熱処理法)が
ある。必要によっては、磁場内熱処理法と応力熱処理法
の両方法を共に用いることもある。
[0003] As a method for imparting induced magnetic anisotropy,
Heat treatment while applying a magnetic field (in-field heat treatment)
Heat treatment while applying stress (stress heat treatment method). If necessary, both the heat treatment in the magnetic field and the stress heat treatment may be used together.

【0004】磁場内熱処理法は広く用いられている方法
であり、キューリー温度以下の場合においてのみ誘導磁
気異方性が形成され、この誘導磁気異方性の方向は、印
加磁場の方向と同一となる。この方法の長所は、材料の
形状による制限が特にないことである。例えば、リボン
状材料やこれを巻線にしたコア(トロイダル状のコア)
などの材料全般に適用することが可能である。しかし、
磁場内熱処理法を用いて得る誘導磁気異方性は、コバル
ト系の非晶質磁性合金リボンでは容易に形成されるが、
鉄系の非晶質磁性合金リボンでは形成されず、また、誘
導磁気異方性が形成される場合でもその大きさが非常に
小さいという短所がある。
The heat treatment in a magnetic field is a widely used method, in which induced magnetic anisotropy is formed only at a temperature lower than the Curie temperature, and the direction of the induced magnetic anisotropy is the same as the direction of the applied magnetic field. Become. The advantage of this method is that there is no particular limitation on the shape of the material. For example, a ribbon-shaped material or a core made of this material (toroidal core)
It can be applied to all kinds of materials such as. But,
Induced magnetic anisotropy obtained by using a heat treatment in a magnetic field is easily formed with a cobalt-based amorphous magnetic alloy ribbon,
It is not formed of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon, and even when induced magnetic anisotropy is formed, the size thereof is very small.

【0005】その一方、応力熱処理法は、熱処理温度に
関係なく、誘導磁気異方性を形成させることが可能であ
る。熱処理温度がキューリー温度以上である場合には、
弾性力による原子の微小な移動により誘導磁気異方性が
形成され、また、キューリー温度以下の場合には、弾性
力と磁気弾性相互作用による原子の微小な移動により誘
導磁気異方性が形成される。この場合の誘導磁気異方性
の方向は、材料の構造、応力の種類及び磁気変形の符号
により決定される。しかしながら、応力熱処理法の短所
は、材料の形状による制限が大きいことである。例え
ば、直線形状のリボン材料に応力を加えることは可能で
あるが、実用的に重要なトロイダル状コアには、応力を
加えることが非常に難しい。
On the other hand, the stress heat treatment method can form induced magnetic anisotropy regardless of the heat treatment temperature. If the heat treatment temperature is above the Curie temperature,
Induced magnetic anisotropy is formed by minute movement of atoms by elastic force, and when the temperature is below the Curie temperature, induced magnetic anisotropy is formed by minute movement of atoms by elastic force and magnetoelastic interaction. You. In this case, the direction of the induced magnetic anisotropy is determined by the material structure, the type of stress, and the sign of magnetic deformation. However, a disadvantage of the stress heat treatment method is that the shape of the material is largely limited. For example, it is possible to apply stress to a linear ribbon material, but it is very difficult to apply stress to a toroidal core that is practically important.

【0006】したがって、トロイダル状コアの場合、応
力熱処理法による誘導磁気異方性の形成はほとんど不可
能である。また、直線形状のリボン材料の場合にも引張
り応力を加えることは容易であるが、圧縮応力を加える
ことは容易でない。
Therefore, in the case of a toroidal core, it is almost impossible to form induced magnetic anisotropy by a stress heat treatment method. Also, in the case of a linear ribbon material, it is easy to apply a tensile stress, but it is not easy to apply a compressive stress.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、鉄系の非晶
質磁性合金材料に対して、誘導磁気異方性を容易に形成
でき、かつその方向と大きさを容易に制御できる方法を
提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a method for easily forming induced magnetic anisotropy and easily controlling its direction and size in an iron-based amorphous magnetic alloy material. To provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、鉄系の非
晶質磁性合金リボンの表面に酸化物被膜を形成させるこ
とにより、前記目的が達成されることを見い出し、本発
明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have found that the above object can be achieved by forming an oxide film on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon, and have completed the present invention. I came to.

【0009】本発明は、下記工程からなることを特徴と
する、鉄系の非晶質磁性合金リボンに誘導磁気異方性を
形成する方法を提供する。 A)MgO、Al23 、SiO2 、BaO、MgO・
Al23 、MgO・SiO2 、CaO・Al23
BaO・Al23 及びSrO・Al23 からなる群
から選択される金属酸化物のゾルーゲル溶液を調製する
工程、 B)前記ゾルーゲル溶液を鉄系の非晶質磁性合金リボン
の表面にコーティングする工程、 C)前記のコーティングされたリボンを乾燥する工程、
そして D)前記の乾燥したリボンを熱処理する工程
The present invention provides a method for forming induced magnetic anisotropy on an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon, comprising the following steps. A) MgO, Al 2 O 3 , SiO 2 , BaO, MgO
Al 2 O 3 , MgO · SiO 2 , CaO · Al 2 O 3 ,
Preparing a sol-gel solution of a metal oxide selected from the group consisting of BaO.Al 2 O 3 and SrO.Al 2 O 3 ; B) coating the sol-gel solution on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon C) drying said coated ribbon;
And D) heat treating the dried ribbon.

【0010】本発明の方法により、鉄系の非晶質磁性合
金材料の表面に酸化物の被膜を形成させると、磁性材料
と酸化物との熱膨張係数の差などにより磁性材料に応力
が発生し、その応力が磁性弾性相互作用、弾性作用又は
その両方により磁性材料に誘導磁気異方性が与えられる
ことになる。したがって、本発明は原理的には応力熱処
理法と類似しているが、応力熱処理法とは異なり材料の
形状からくる制約がないことが特徴である。
When an oxide film is formed on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy material by the method of the present invention, stress is generated in the magnetic material due to a difference in thermal expansion coefficient between the magnetic material and the oxide. However, the stress imparts induced magnetic anisotropy to the magnetic material by magnetoelastic interaction, elastic action, or both. Therefore, the present invention is similar in principle to the stress heat treatment method, but is characterized in that unlike the stress heat treatment method, there are no restrictions due to the shape of the material.

【0011】本発明によると、酸化物被膜の種類により
磁性材料に誘起される応力の種類と大きさを制御するこ
とが可能であり、これにより、誘導磁気異方性の方向と
大きさを制御することが非常に容易になる。したがっ
て、酸化物の種類を適切に選択することにより、利用に
適した磁気的特性を得ることができる。例えば、磁気履
歴曲線をなるべく横ばいにして角型比を小さくすること
が要求される分野などであり、また、チョークコイルの
応用には、BaO、CaO・Al23 、BaO・Al
23 又はSrO・Al23 被膜を形成することが望
ましい。
According to the present invention, it is possible to control the type and magnitude of the stress induced in the magnetic material by the type of the oxide film, thereby controlling the direction and magnitude of the induced magnetic anisotropy. It will be very easy to do. Therefore, by properly selecting the type of oxide, magnetic characteristics suitable for use can be obtained. For example, there are fields in which it is required to make the magnetic hysteresis curve as flat as possible to reduce the squareness ratio, and for applications of choke coils, BaO, CaO.Al 2 O 3 , BaO.Al
It is desirable to form a 2 O 3 or SrO.Al 2 O 3 coating.

【0012】本発明において鉄系の非晶質磁性合金リボ
ンコーティングに用いる酸化物はゾルーゲル法により得
ることができる。ゾルーゲル法には、無機化合物を出発
原料として超微粒子をまず作成し、ゾル及びゲルの状態
を経てバルク試料とするコロイド経路と、有機金属化合
物の加水分解により重合させてゾル状態とし、それを成
形してファイバー、フィルム、バルク状のゲル状態をつ
くり、加熱して製品とする経路がある。この過程は、製
造工法によって超微細粒子又は薄膜を形成するために利
用されており、高い化学的純度、均一な分子分布、化学
量論比の容易な調節及び比較的低い温度での結晶化が可
能であるというメリットのために、セラミックス材料の
製造工程に多用されている。出発物質としては、通常、
金属アルコキシド〔M(OR)2X 〕が使用され、水の加
水分解反応により金属と酸素とが連結して高分子構造
〔“Mab(ORc)”〕に変化し、最終的には金属酸化
物〔MnX 〕に完全に変化することになる。この過程
は、下記の反応式1により簡略に示すことができる。 M(OR)2X +x・H2 O→“Mab(ORc)”→MO
X +2x・ROH
In the present invention, the oxide used for the iron-based amorphous magnetic alloy ribbon coating can be obtained by a sol-gel method. In the sol-gel method, ultrafine particles are first created using inorganic compounds as starting materials, then a colloid route is made into a bulk sample through the sol and gel states, and a sol state is formed by polymerization of organometallic compounds through hydrolysis. There is a route to make fiber, film, bulk gel state and heat it to produce the product. This process is used to form ultrafine particles or thin films by the manufacturing method, and high chemical purity, uniform molecular distribution, easy adjustment of the stoichiometric ratio and crystallization at relatively low temperature. Because of the merit that it is possible, it is frequently used in the manufacturing process of ceramic materials. The starting material is usually
A metal alkoxide [M (OR) 2X ] is used, and the metal and oxygen are linked by a hydrolysis reaction of water to change into a polymer structure [“M a Ob (OR c )”]. It will vary completely the metal oxide [M n O X]. This process can be simply represented by the following reaction formula 1. M (OR) 2X + x · H 2 O → "M a O b (OR c)" → MO
X + 2x ・ ROH

【0013】本発明において、単一金属酸化物であるM
gO、Al23 、SiO2 又はBaOからなるゾルー
ゲル溶液は、目的とする金属酸化物に相当する金属アル
コキシドのアルコール溶液を得て、次いで当該溶液に、
無水又は含水アルコールを反応させることにより調製す
る。
In the present invention, the single metal oxide M
A sol-gel solution composed of gO, Al 2 O 3 , SiO 2 or BaO is obtained by obtaining an alcohol solution of a metal alkoxide corresponding to a target metal oxide, and then adding
It is prepared by reacting anhydrous or hydrous alcohol.

【0014】一方、複合金属酸化物であるMgO・Al
23 、MgO・SiO2 、CaO・Al23 、Ba
O・Al23 又はSrO・Al23 のゾルーゲル溶
液は、目的とする金属酸化物に相当する2種類の金属ア
ルコキシドのアルコール溶液をそれぞれ得て、この2種
類の溶液を混合し、次いで当該混合物と無水又は含水ア
ルコールとを反応させることにより調製する。
On the other hand, MgO.Al which is a composite metal oxide
2 O 3 , MgO.SiO 2 , CaO.Al 2 O 3 , Ba
As a sol-gel solution of O.Al 2 O 3 or SrO.Al 2 O 3 , alcohol solutions of two types of metal alkoxides corresponding to the target metal oxide are obtained, and the two types of solutions are mixed. It is prepared by reacting the mixture with anhydrous or hydrous alcohol.

【0015】本発明に用いる金属アルコキシドのアルコ
ール溶液は、相当する金属又は金属アルコキシドから調
製することができる。
The alcohol solution of the metal alkoxide used in the present invention can be prepared from the corresponding metal or metal alkoxide.

【0016】マグネシウムアルコキシドのアルコール溶
液としては、マグネシウム金属チップにアルコール、例
えばメタノール、エタノール、n−プロパノール、i−
プロパノール、n−ブタノール、sec −ブタノール、te
rt−ブタノール又は2−メトキシエタノールを少しずつ
加え、金属とアルコールとを直接反応させて得たマグネ
シウムメトキシド、マグネシウムエトキシド、マグネシ
ウムn−プロポキシド、マグネシウムi−プロポキシ
ド、マグネシウムn−ブトキシド、マグネシウムsec −
ブトキシド、マグネシウムtert−ブトキシド又はマグネ
シウムメトキシエトキシド溶液を用いることができる。
さらにこのマグネシウムアルコキシドのアルコキシドを
転換させて他のマグネシウムアルコキシドとして使用す
ることも可能である。例えばマグネシウムメトキシエト
キシド溶液は、マグネシウムメトキシド、マグネシウム
エトキシド、マグネシウムn−プロポキシド、マグネシ
ウムi−プロポキシド、マグネシウムn−ブトシキド、
マグネシウムsec −ブトキシド若しくはマグネシウムte
rt−ブトキシドを、粉末の形態又はそのアルコール溶液
の形態で2−メトキシエタノール溶液と反応させて、ア
ルコールとアルコキシド間の交換反応(即ち、加アルコ
ール分解反応)させることにより調製することができ
る。
As an alcohol solution of magnesium alkoxide, an alcohol such as methanol, ethanol, n-propanol, i-
Propanol, n-butanol, sec-butanol, te
Magnesium methoxide, magnesium ethoxide, magnesium n-propoxide, magnesium i-propoxide, magnesium n-butoxide, magnesium n-butoxide, magnesium methoxide, magnesium ethoxide, and magnesium methoxide obtained by directly adding rt-butanol or 2-methoxyethanol little by little. sec −
A solution of butoxide, magnesium tert-butoxide or magnesium methoxy ethoxide can be used.
Further, the alkoxide of this magnesium alkoxide can be converted and used as another magnesium alkoxide. For example, magnesium methoxy ethoxide solution includes magnesium methoxide, magnesium ethoxide, magnesium n-propoxide, magnesium i-propoxide, magnesium n-butoxide,
Magnesium sec-butoxide or magnesium te
It can be prepared by reacting rt-butoxide with a 2-methoxyethanol solution in the form of a powder or in the form of an alcohol solution thereof, and subjecting it to an exchange reaction between an alcohol and an alkoxide (that is, an alcoholysis reaction).

【0017】バリウムアルコキシドのアルコール溶液と
しては、バリウム金属チップにアルコール、例えばメタ
ノール、エタノール、n−プロパノール、i−プロパノ
ール、n−ブタノール、sec −ブタノール、tert−ブタ
ノール又は2−メトキシエタノールを少しずつ加え、金
属とアルコールとを直接反応させて得たバリウムメトキ
シド、バリウムエトキシド、バリウムn−プロポキシ
ド、バリウムi−プロポキシド、バリウムn−ブトキシ
ド、バリウムsec −ブトキシド、バリウムtert−ブトキ
シド又はバリウム2−メトキシエトキシドを用いること
ができる。さらにこのバリウムアルコキシドのアルコキ
シドを転換させて他のバリウムアルコキシドとして用い
ることもできる。例えばバリウムメトキシエトキシド溶
液は、バリウムメトキシド、バリウムエトキシド、バリ
ウムn−プロポキシド、バリウムi−プロポキシド、バ
リウムn−ブトキシド、バリウムsec −ブトキシド若し
くはバリウムtert−ブトキシドを、粉末の形態又はその
アルコール溶液の形態で2−メトキシエタノール溶液と
反応させる加アルコール分解反応により調製することが
できる。
As an alcohol solution of barium alkoxide, an alcohol such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol is added little by little to a barium metal chip. Barium methoxide, barium ethoxide, barium n-propoxide, barium i-propoxide, barium n-butoxide, barium sec-butoxide, barium tert-butoxide or barium 2- obtained by directly reacting a metal with an alcohol. Methoxy ethoxide can be used. Further, the alkoxide of the barium alkoxide can be converted to be used as another barium alkoxide. For example, barium methoxy ethoxide solution, barium methoxide, barium ethoxide, barium n-propoxide, barium i-propoxide, barium n-butoxide, barium sec-butoxide or barium tert-butoxide, in powder form or alcohol thereof It can be prepared by an alcoholysis reaction in which it is reacted with a 2-methoxyethanol solution in the form of a solution.

【0018】アルミニウムアルコキシドのアルコール溶
液としては、触媒の存在下でアルミニウム金属チップに
アルコール、例えばメタノール、エタノール、n−プロ
パノール、i−プロパノール、n−ブタノール、sec −
ブタノール、tert−ブタノール又は2−メトキシエタノ
ールを少しずつ加え、金属とアルコールとを直接反応さ
せて得たアルミニウムメトキシド、アルミニウムエトキ
シド、アルミニウムn−プロポキシド、アルミニウムi
−プロポキシド、アルミニウムn−ブトキシド、アルミ
ニウムsec −ブトキシド、アルミニウムtert−ブトキシ
ド又はアルミニウムメトキシエトキシドを用いることが
できる。さらにこのアルミニウムアルコキシドのアルコ
キシドに転換させて他のアルミニウムアルコキシドとし
て用いることもできる。例えばアルミニウムメトキシエ
トキシド溶液は、アルミニウムメトキシド、アルミニウ
ムエトキシド、アルミニウムn−プロポキシド、アルミ
ニウムi−プロポキシド、アルミニウムn−ブトキシ
ド、アルミニウムsec −ブトキシド若しくはアルミニウ
ムtert−ブトキシドを、粉末の形態又はそのアルコール
溶液の形態で2−メトキシエタノール溶液と反応させる
加アルコール分解反応により調製することができる。
As an alcohol solution of aluminum alkoxide, an alcohol such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-
Aluminum methoxide, aluminum ethoxide, aluminum n-propoxide, aluminum i obtained by adding butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol little by little and directly reacting the metal with the alcohol.
-Propoxide, aluminum n-butoxide, aluminum sec-butoxide, aluminum tert-butoxide or aluminum methoxyethoxide can be used. Further, the aluminum alkoxide can be converted to an alkoxide and used as another aluminum alkoxide. For example, aluminum methoxy ethoxide solution, aluminum methoxide, aluminum ethoxide, aluminum n-propoxide, aluminum i-propoxide, aluminum n-butoxide, aluminum sec-butoxide or aluminum tert-butoxide, powder form or alcohol thereof It can be prepared by an alcoholysis reaction in which it is reacted with a 2-methoxyethanol solution in the form of a solution.

【0019】ケイ素アルコキシドのアルコール溶液とし
ては、テトラアルキルオルトシリケート(Si(O
R)4) にアルコール、例えばメタノール、エタノール、
n−プロパノール、i−プロパノール、n−ブタノー
ル、sec −ブタノール、tert−ブタノール又は2−メト
キシエタノールを添加し、反応させて得たケイ素メトキ
シド、ケイ素エトキシド、ケイ素n−プロポキシド、ケ
イ素i−プロポキシド、ケイ素n−ブトキシド、ケイ素
sec −ブトキシド、ケイ素tert−ブトキシド又はケイ素
メトキシエトキシド溶液を使用することができる。
As the alcohol solution of silicon alkoxide, tetraalkyl orthosilicate (Si (O
R) 4 ) an alcohol such as methanol, ethanol,
n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol is added and reacted to obtain silicon methoxide, silicon ethoxide, silicon n-propoxide, silicon i-propoxide. , Silicon n-butoxide, silicon
A sec-butoxide, silicon tert-butoxide or silicon methoxy ethoxide solution can be used.

【0020】カルシウムアルコキシドのアルコール溶液
としては、カルシウム金属チップにアルコール、例えば
メタノール、エタノール、n−プロパノール、i−プロ
パノール、n−ブタノール、sec −ブタノール、tert−
ブタノール又は2−メトキシエタノールを少しずつ加
え、金属とアルコールとを直接反応させて得たカルシウ
ムメトキシド、カルシウムエトキシド、カルシウムn−
プロポキシド、カルシウムi−プロポキシド、カルシウ
ムn−ブトキシド、カルシウムsec −ブトキシド、カル
シウムtert−ブトキシド又はカルシウムメトキシエトキ
シド溶液を使用することができる。さらにこのカルシウ
ムアルコキシドのアルコキシドを転換させて他のカルシ
ウムアルコキシドとして用いることもできる。例えば、
カルシウムメトキシエトキシド溶液は、カルシウムメト
キシド、カルシウムエトキシド、カルシウムn−プロポ
キシド、カルシウムi−プロポキシド、カルシウムn−
ブトキシド、カルシウムsec −ブトキシド若しくはカル
シウムtert−ブトキシドを、粉末の形態又はそのアルコ
ール溶液の形態で2−メトキシエタノール溶液と反応さ
せて調製することができる。
As the alcohol solution of calcium alkoxide, an alcohol such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-
Calcium methoxide, calcium ethoxide, calcium n- obtained by adding butanol or 2-methoxyethanol little by little and directly reacting the metal with the alcohol.
Propoxide, calcium i-propoxide, calcium n-butoxide, calcium sec-butoxide, calcium tert-butoxide or calcium methoxy ethoxide solutions can be used. Further, the alkoxide of this calcium alkoxide can be converted and used as another calcium alkoxide. For example,
The calcium methoxy ethoxide solution includes calcium methoxide, calcium ethoxide, calcium n-propoxide, calcium i-propoxide, calcium n-
It can be prepared by reacting butoxide, calcium sec-butoxide or calcium tert-butoxide with a 2-methoxyethanol solution in the form of a powder or its alcohol solution.

【0021】ストロンチウムアルコキシドのアルコール
溶液としては、ストロンチウム金属チップにアルコー
ル、例えばメタノール、エタノール、n−プロパノー
ル、i−プロパノール、n−ブタノール、sec −ブタノ
ール、tert−ブタノール又は2−メトキシエタノールを
少しずつ加え、金属とアルコールとを直接反応させて得
たストロンチウムメトキシド、ストロンチウムエトキシ
ド、ストロンチウムn−プロポキシド、ストロンチウム
i−プロポキシド、ストロンチウムn−ブトキシド、ス
トロンチウムsec −ブトキシド、ストロンチウムtert−
ブトキシド又はストロンチウムメトキシエトキシドを用
いることができる。さらにこのストロンチウムアルコキ
シドのアルコキシドを転換させて他のストロンチウムア
ルコキシドとして用いることもできる。例えばストロン
チウムメトキシエトキシド溶液は、ストロンチウムメト
キシド、ストロンチウムエトキシド、ストロンチウムn
−プロポキシド、ストロンチウムi−プロポキシド、ス
トロンチウムn−ブトキシド、ストロンチウムsec −ブ
トキシド若しくはストロンチウムtert−ブトキシドを、
粉末の形態又はそのアルコール溶液の形態で2−メトキ
シエタノール溶液と反応させる加アルコール分解反応に
より調製することができる。
As the strontium alkoxide alcohol solution, an alcohol such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec-butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol is added little by little to a strontium metal chip. , Strontium methoxide, strontium ethoxide, strontium n-propoxide, strontium i-propoxide, strontium n-butoxide, strontium sec-butoxide, strontium sec-butoxide, strontium tert-
Butoxide or strontium methoxy ethoxide can be used. Further, the strontium alkoxide can be converted to another strontium alkoxide for use. For example, a strontium methoxy ethoxide solution is strontium methoxide, strontium ethoxide, strontium n
-Propoxide, strontium i-propoxide, strontium n-butoxide, strontium sec-butoxide or strontium tert-butoxide;
It can be prepared by an alcoholysis reaction of reacting a 2-methoxyethanol solution in the form of a powder or an alcohol solution thereof.

【0022】本発明の方法において、工程(A)及び
(B)で用いるアルコールは、同一であっても異なって
いてもよく、例えばメタノール、エタノール、n−プロ
パノール、i−プロパノール、n−ブタノール、sec −
ブタノール、tert−ブタノール若しくは2−メトキシエ
タノールから選択することができる。
In the method of the present invention, the alcohols used in steps (A) and (B) may be the same or different, such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, sec −
It can be selected from butanol, tert-butanol or 2-methoxyethanol.

【0023】本発明の実施様態では、図1に示したコー
ティング装置を用いて鉄系の非晶質磁性合金リボンに酸
化物をコーティングする。ボビン(1)にリボン(3)
を装着し、数個の滑車(2)を経てボビン(7)に連結
する(図1)。ボビン(1)に装着されたリボンは、ボ
ビン(7)が回転することによりボビン(7)の方向へ
一定速度で移動する。不活性気体(例えば、アルゴン又
は窒素)の雰囲気下のコーティング室(5)に設置した
コーティング溶液(4)にリボン(3)を通すことによ
り、リボンの表面にコーティング溶液が吸着されるよう
にする。コーティング溶液が均一に吸着・コーティング
されたリボンを電気炉(6)で乾燥する。酸化物がコー
ティングされたリボンは、ボビン(7)に巻き取られ
る。
In the embodiment of the present invention, an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon is coated with an oxide using the coating apparatus shown in FIG. Bobbin (1) with ribbon (3)
And connected to the bobbin (7) via several pulleys (2) (FIG. 1). The ribbon mounted on the bobbin (1) moves at a constant speed in the direction of the bobbin (7) as the bobbin (7) rotates. By passing the ribbon (3) through the coating solution (4) installed in the coating chamber (5) under an atmosphere of an inert gas (eg, argon or nitrogen), the coating solution is adsorbed on the surface of the ribbon. . The ribbon on which the coating solution is uniformly adsorbed and coated is dried in an electric furnace (6). The oxide-coated ribbon is wound up on a bobbin (7).

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明の鉄系の非晶質磁性
合金リボン及びその特性について、実施例により具体的
に説明するが、本発明は下記の例に限定されるものでは
ない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the iron-based amorphous magnetic alloy ribbon of the present invention and its characteristics will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples.

【0025】実施例1 マグネシウムエトキシド〔Mg(OCH2 CH3)2 〕粉
末を過剰な2−メトキシエタノール〔CH3 OCH2
2 OH〕に入れ、アルゴンガス雰囲気下で還流して、
マグネシウムメトキシエトキシドを得た。真空トラップ
を用いて溶液中に存在する過剰なエタノールを除去し、
さらにグローブボックス中で2−メトキシエタノールを
加え、0.5M 溶液を正確に調製した(第1溶液)。次
いで、水を含む0.5M エタノール溶液を調製した(第
2溶液)。同一体積の第1溶液と第2溶液を沈殿が生じ
ないように注意しながら徐々に混合して、最終のコーテ
ィング溶液を調製した。
EXAMPLE 1 Magnesium ethoxide [Mg (OCH 2 CH 3 ) 2 ] powder was mixed with excess 2-methoxyethanol [CH 3 OCH 2 C].
H 2 OH], refluxed under an argon gas atmosphere,
Magnesium methoxy ethoxide was obtained. Using a vacuum trap to remove excess ethanol present in the solution,
Further, 2-methoxyethanol was added in a glove box to accurately prepare a 0.5 M solution (first solution). Next, a 0.5 M ethanol solution containing water was prepared (second solution). The same volumes of the first solution and the second solution were gradually mixed while taking care not to cause precipitation to prepare a final coating solution.

【0026】次いで、前記のコーティング溶液を図1に
示したコーティング装置を用いて酸化物の被膜を形成し
た。図1のボビン(1)にコーティングするリボン材で
あるMetglas 2605S3A (組成Fe76.5Cr216Si5
0.5)(3)を装着した後、テフロン製滑車(2)数個
を経てボビン(7)に連結した。ボビン(1)のリボン
は、ボビン(7)が回転することによりボビン(7)の
方向へ一定速度で移動する。アルゴン雰囲気下のコーテ
ィング室(5)に設置したコーティング溶液(4)にリ
ボンを通すことにより、リボンの表面にコーティング溶
液が吸着・コーティングした。表面にコーティング溶液
が均一に吸着・コーティングされたリボンに磁場が生じ
ないように無誘導巻線の電気炉(6)を通して乾燥し
た。電気炉の温度は200℃であった。
Next, an oxide film was formed from the above coating solution using the coating apparatus shown in FIG. Metglas 2605S3A (composition Fe 76.5 Cr 2 B 16 Si 5 ) which is a ribbon material for coating the bobbin (1) in FIG.
After mounting C 0.5 ) (3), it was connected to the bobbin (7) through several Teflon pulleys (2). The ribbon of the bobbin (1) moves at a constant speed in the direction of the bobbin (7) as the bobbin (7) rotates. By passing the ribbon through the coating solution (4) installed in the coating chamber (5) under an argon atmosphere, the coating solution was adsorbed and coated on the surface of the ribbon. The ribbon, on which the coating solution was uniformly adsorbed and coated on the surface, was dried through a non-inductive winding electric furnace (6) so that no magnetic field was generated. The temperature of the electric furnace was 200 ° C.

【0027】コーティング酸化物の被膜の厚さをデジタ
ルマイクロメターを用いて測定した。測定の精度を向上
させるためにリボンを10〜20層に積層した後、その
積層の厚さを測定し、積層したリボン数で割ることによ
り、コーティング酸化物の厚さを計算した。MgO被膜
一枚の厚さは0.7μm であった。
The thickness of the coating oxide film was measured using a digital micrometer. After laminating 10 to 20 layers of the ribbon to improve the accuracy of the measurement, the thickness of the lamination was measured, and the thickness of the coating oxide was calculated by dividing by the number of laminated ribbons. The thickness of one MgO film was 0.7 μm.

【0028】酸化物がコーティングされたリボンを内径
19mmのアルミニウムボビンに50層に巻いた後、窒素
雰囲気下で熱線が磁場を発生しないように無誘導に巻か
れた電気炉を使用して435℃で2時間熱処理を行った
後、磁気的性質を調べた。磁気的性質としては、酸化物
被膜の形成しなかった試料と、前記の方法により酸化物
被膜を形成した試料に対する磁気履歴曲線及び周波数に
よる実効透磁率の変化を測定した。
After the oxide-coated ribbon is wound into 50 layers on an aluminum bobbin having an inner diameter of 19 mm, 435 ° C. is applied using an electric furnace wound in a non-inductive manner under a nitrogen atmosphere so that a hot wire does not generate a magnetic field. After the heat treatment for 2 hours, the magnetic properties were examined. Regarding the magnetic properties, the change of the effective magnetic permeability according to the magnetic hysteresis curve and the frequency was measured for the sample on which the oxide film was not formed and the sample on which the oxide film was formed by the above method.

【0029】磁気履歴曲線は、磁気履歴測定装置(東英
工業社製、Model TRF-5AH1) を使用して測定した。酸化
物被膜を形成しなかった試料の磁気履歴曲線を図2に示
し、また、本発明によりMgO被膜を形成した試料の磁
気履歴曲線を図3に示した。図2と図3の結果から分か
るように、酸化物被膜を形成しなかった試料の角型比は
0.40であるのに対し、本発明によりMgO被膜を形
成した試料の角型比は0.74であった。
The magnetic hysteresis curve was measured using a magnetic hysteresis analyzer (Model TRF-5AH1 manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd.). FIG. 2 shows the magnetic hysteresis curve of the sample in which the oxide film was not formed, and FIG. 3 shows the magnetic hysteresis curve of the sample in which the MgO film was formed according to the present invention. As can be seen from the results of FIGS. 2 and 3, the squareness ratio of the sample without the oxide film was 0.40, whereas the squareness ratio of the sample with the MgO film formed according to the present invention was 0. Was 0.74.

【0030】実効透磁率は、インピーダンス・アナライ
ザー器(Hewlett Packard 社製、Model 4219A)を使用し
て10mOe の印加磁場で測定した。その結果を図12に
示した。図12から分かるように、本発明によりMgO
被膜を形成した試料の実効透磁率は、100kHz 未満の
周波数においてはコーティングされていない試料よりさ
らに高い実効透磁率を示しているが、100kHz 以上の
高周波領域ではほぼ等しい値を示した。
The effective magnetic permeability was measured using an impedance analyzer (Model 4219A, manufactured by Hewlett Packard) under an applied magnetic field of 10 mOe. FIG. 12 shows the result. As can be seen from FIG.
The effective magnetic permeability of the sample on which the film was formed was higher than that of the uncoated sample at a frequency of less than 100 kHz, but was substantially equal in the high-frequency region of 100 kHz or more.

【0031】実施例2 第1溶液としてバリウム金属チップに2−メトキシエタ
ノールを少しずつ加え、金属とアルコールとを直接反応
させて得た0.5M バリウムメトキシエトキシド溶液を
使用して最終コーティング溶液を調製した以外は、実施
例1と同様にして酸化物被膜を形成した。この形成した
酸化物は、BaOであり、酸化物被膜の厚さは0.4μ
m であった。
Example 2 As a first solution, 2-methoxyethanol was added little by little to a barium metal chip, and a 0.5M barium methoxyethoxide solution obtained by directly reacting a metal with an alcohol was used to prepare a final coating solution. Except for the preparation, an oxide film was formed in the same manner as in Example 1. The oxide thus formed was BaO, and the thickness of the oxide film was 0.4 μm.
m.

【0032】実施例1と同様の方法を用いて磁気履歴曲
線と実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図4及
び図12に示した。
Using the same method as in Example 1, the magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured. The results are shown in FIGS. 4 and 12, respectively.

【0033】図2と図4の結果から分かるように、本発
明により酸化物被膜を形成した試料の角型比は大きく減
少した。具体的には、酸化物被膜を形成しなかった試料
の角型比は0.4であるのに対して、本発明によりBa
O被膜を形成した試料の角型比は0.20であった。
As can be seen from the results shown in FIGS. 2 and 4, the squareness ratio of the sample on which the oxide film was formed according to the present invention was greatly reduced. Specifically, the squareness ratio of the sample in which the oxide film was not formed was 0.4, whereas the squareness ratio of the sample according to the present invention was Ba.
The squareness ratio of the sample on which the O film was formed was 0.20.

【0034】図12から分かるように、本発明によりB
aO被膜を形成した試料の実効透磁率は、コーティング
されていない試料と比べて400kHz 以下の周波数範囲
では小さい値を示すが、周波数による実効透磁率の減少
が非常に小さいため、400〜100kHz の周波数範囲
でほぼ一定の実効透磁率を示した。
As can be seen from FIG. 12, according to the present invention, B
The effective magnetic permeability of the sample on which the aO coating is formed shows a smaller value in the frequency range of 400 kHz or less than that of the uncoated sample. However, since the decrease in the effective magnetic permeability due to the frequency is very small, the frequency of 400 to 100 kHz is low. The effective magnetic permeability was almost constant in the range.

【0035】実施例3 第1溶液として、アルミニウムイソプロポキシド{Al
〔OCH(CH3)23}に2−メトキシエタノールを添
加し、温度85℃で90分間還流して、0.5M アルミ
ニウムメトキシエトキシド溶液を調製し、第2溶液とし
て、無水エタノールを用いて最終コーティング溶液を調
製した以外は、実施例1と同様にして酸化物被膜を形成
した。この形成した酸化物は、Al23 であり、酸化
物被膜の厚さは0.39μm であった。
Example 3 Aluminum isopropoxide @ Al was used as the first solution.
[OCH (CH 3 ) 2 ] 3 } is mixed with 2-methoxyethanol and refluxed at a temperature of 85 ° C. for 90 minutes to prepare a 0.5 M aluminum methoxy ethoxide solution. As a second solution, anhydrous ethanol is used. An oxide film was formed in the same manner as in Example 1 except that the final coating solution was prepared. The oxide thus formed was Al 2 O 3 and the thickness of the oxide film was 0.39 μm.

【0036】実施例1と同様の方法を用いて、磁気履歴
曲線及び実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図
5及び図12に示した。
Using the same method as in Example 1, the magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured. The results are shown in FIGS. 5 and 12, respectively.

【0037】図2と図5から分かるように、本発明によ
り酸化物被膜を形成した試料の角型比は多少減少した。
具体的には酸化物被膜を形成しなかった試料の角型比は
0.40であるのに対して、本発明によりAl23
膜を形成した試料の角型比は0.34であった。
As can be seen from FIGS. 2 and 5, the squareness ratio of the sample on which the oxide film was formed according to the present invention was slightly reduced.
Specifically, the squareness ratio of the sample on which the oxide film was not formed was 0.40, whereas the squareness ratio of the sample on which the Al 2 O 3 film was formed according to the present invention was 0.34. Was.

【0038】また、図12から分かるように、本発明に
よりAl23 被膜を形成した試料の実効透磁率は、酸
化物被膜を形成しなかった試料に比べ、全ての周波数領
域で高い値を示した。
As can be seen from FIG. 12, the effective magnetic permeability of the sample on which the Al 2 O 3 coating was formed according to the present invention was higher in all frequency ranges than the sample on which the oxide coating was not formed. Indicated.

【0039】実施例4 エタノール5.0g(6.330ml) 、H2 O 4.3
25g及びHCl 0.3mlを混合した溶液を、6.0
6g(7.67ml) のエタノールで希釈した12.50
gのTEOS(テトラエチルオルトシリケート)溶液に
徐々に加えた後、恒温槽中で温度を40℃に維持しなが
ら40分間撹拌して、コーティング溶液を調製した以外
は、実施例1と同様にして非晶質磁性合金リボンに酸化
物被膜を形成した。この形成した酸化物は、SiO2
あり、酸化物被膜の厚さは0.65μm であった。
Example 4 5.0 g (6.330 ml) of ethanol, 4.3 of H 2 O
A solution obtained by mixing 25 g and 0.3 ml of HCl was added to 6.0 solution.
12.50 diluted with 6 g (7.67 ml) of ethanol
g of TEOS (tetraethylorthosilicate) solution, and then stirred for 40 minutes while maintaining the temperature at 40 ° C. in a thermostat to prepare a coating solution in the same manner as in Example 1 except that the coating solution was prepared. An oxide film was formed on the amorphous magnetic alloy ribbon. The oxide thus formed was SiO 2 and the thickness of the oxide film was 0.65 μm.

【0040】実施例1と同様の方法を用いて磁気履歴曲
線と実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図6及
び図12に示した。
Using the same method as in Example 1, the magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured. The results are shown in FIGS. 6 and 12, respectively.

【0041】図2と図6から分かるように、本発明によ
り酸化物被膜を形成した試料の角型比は増加した。具体
的にはコーティングしなかった試料の角型比は0.40
であり、本発明によりSiO2 被膜を形成した試料の角
型比は0.57であった。
As can be seen from FIGS. 2 and 6, the squareness ratio of the sample on which the oxide film was formed according to the present invention was increased. Specifically, the squareness ratio of the uncoated sample was 0.40.
The squareness ratio of the sample on which the SiO 2 coating was formed according to the present invention was 0.57.

【0042】また、図12から分かるように、本発明に
よりSiO2 被膜を形成した試料の実効透磁率は、コー
ティングしない試料に比べ、全ての周波数領域において
低い値を示した。
As can be seen from FIG. 12, the sample formed with the SiO 2 film according to the present invention exhibited a lower effective magnetic permeability in all frequency ranges than the sample not coated.

【0043】実施例5 実施例1と同様の方法を用いて調製したマグネシウムメ
トキシエトキシド溶液と、実施例3と同様の方法を用い
て調製したアルミニウムメトキシエトキシド溶液を等モ
ルで混合した後、還流することにより第1溶液を製造
し、第2溶液として無水エタノールを用いてコーティン
グ溶液を調製した以外は、実施例1と同様にして酸化物
被膜を形成した。この形成した酸化物は、MgO・Al
23 であり、酸化物被膜の厚さは0.75μm であっ
た。
Example 5 A magnesium methoxy ethoxide solution prepared using the same method as in Example 1 and an aluminum methoxy ethoxide solution prepared using the same method as in Example 3 were mixed in equimolar amounts. An oxide film was formed in the same manner as in Example 1, except that the first solution was produced by refluxing, and a coating solution was prepared using anhydrous ethanol as the second solution. The oxide thus formed is MgO · Al
2 O 3 and the thickness of the oxide film was 0.75 μm.

【0044】実施例1と同様な方法により磁気履歴曲線
と実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図7及び
図13に示した。
The magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIGS. 7 and 13, respectively.

【0045】図2と図7の結果から分かるように、本発
明によりMgO・Al23 の被膜を形成した試料の角
型比は大きく増加した。具体的には酸化物被膜の形成し
なかった試料の角型比は0.40であるのに対して、本
発明によりMgO・Al23 被膜を形成した試料の角
型比は0.71であった。
As can be seen from the results shown in FIGS. 2 and 7, the squareness ratio of the sample on which the MgO.Al 2 O 3 film was formed according to the present invention was greatly increased. Squareness ratio of the sample specifically were not formed in the oxide coating whereas a 0.40 squareness ratio sample formed a MgO · Al 2 O 3 film by the present invention is 0.71 Met.

【0046】また、図13から分かるように、本発明に
より酸化物被膜を形成した試料の実効透磁率は、コーテ
ィングしない試料に比べ、全ての周波数領域において高
い値を示した。
As can be seen from FIG. 13, the effective magnetic permeability of the sample on which the oxide film was formed according to the present invention showed a higher value in all frequency ranges than the sample without the coating.

【0047】実施例6 カルシウムメトキシド〔Ca(OCH3)2 〕に2−メト
キシエタノールを添加し、それを還流して、0.5M の
カルシウムメトキシエトキシド溶液を得た後、実施例3
と同様の方法を用いて得たアルミニウムメトキシエトキ
シド溶液を等モルで混合し、その後、還流することによ
り第1溶液を調製した。第2溶液として、無水エタノー
ルを用いてコーティング溶液を得たこと以外は、実施例
1と同様にして酸化物被膜を形成した。この形成した酸
化物は、CaO・Al23 であり、酸化物被膜の厚さ
は1.92μm であった。
Example 6 2-Methoxyethanol was added to calcium methoxide [Ca (OCH 3 ) 2 ] and the mixture was refluxed to obtain a 0.5M calcium methoxy ethoxide solution.
The aluminum methoxy ethoxide solution obtained using the same method as in Example 1 was mixed in an equimolar amount, and then refluxed to prepare a first solution. An oxide film was formed in the same manner as in Example 1 except that a coating solution was obtained using anhydrous ethanol as the second solution. The oxide thus formed was CaO.Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 1.92 μm.

【0048】実施例1と同様の方法を用いて磁気履歴曲
線及び実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図8
及び図13に示した。
Using the same method as in Example 1, the magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured. The results are shown in FIG.
And FIG.

【0049】図2と図8の結果から分かる通り、本発明
によりCaO・Al23 被膜を形成した試料の角型比
は多少減少した。具体的にはコーティングしない試料の
角型比は0.40であったが、本発明によりCaO・A
23 被膜を形成した試料の角型比は0.34であっ
た。
As can be seen from the results shown in FIGS. 2 and 8, the squareness ratio of the sample on which the CaO.Al 2 O 3 coating was formed according to the present invention was slightly reduced. Specifically, the squareness ratio of the uncoated sample was 0.40, but the CaO.A
The squareness ratio of the sample on which the l 2 O 3 coating was formed was 0.34.

【0050】また、図13から分かる通り、本発明によ
りCaO・Al23 被膜を形成した試料の実効透磁率
は、コーティングしない試料に比べて約300kHz 以下
の周波数においては低い値を示したが、それ以上の周波
数では高い値を示した。
As can be seen from FIG. 13, the sample formed with the CaO.Al 2 O 3 coating according to the present invention has a lower effective magnetic permeability at a frequency of about 300 kHz or less than the sample not coated. , Higher values at higher frequencies.

【0051】実施例7 ストロンチウム金属チップに2−メトキシエタノールを
少しずつ加え、金属とアルコールを直接反応させて合成
した0.5M のストロンチウムメトキシエトキシド溶液
と、実施例3と同様の方法を用いて調製したアルミニウ
ムメトキシエトキシド溶液を等モルで混合した後還流す
ることにより第1溶液を得た。第2溶液としては無水エ
タノールを用いて最終コーティング溶液を得た以外は、
実施例1と同様にして酸化物の被膜を形成した。この形
成した酸化物は、SrO・Al23 であり、酸化物被
膜の厚さは1.68μm であった。
Example 7 A 0.5M strontium methoxy ethoxide solution synthesized by adding 2-methoxyethanol little by little to a strontium metal chip and directly reacting the metal with an alcohol was prepared by using the same method as in Example 3. The prepared aluminum methoxy ethoxide solution was mixed in an equimolar amount and then refluxed to obtain a first solution. Except that the final coating solution was obtained using absolute ethanol as the second solution,
An oxide film was formed in the same manner as in Example 1. The formed oxide was SrO.Al 2 O 3 , and the thickness of the oxide film was 1.68 μm.

【0052】実施例1と同様の方法を用いて磁気履歴曲
線と実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図9及
び図13に示した。
Using the same method as in Example 1, the magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured. The results are shown in FIGS. 9 and 13, respectively.

【0053】図2と図9の結果から分かるように、本発
明によりSrO・Al23 被膜を形成した試料の角型
比は非常に大きく減少した。具体的にはコーティングし
ない試料の角型比は0.40であるのに対して、本発明
によりSrO・Al23 被膜を形成した試料の角型比
は0.16であった。
As can be seen from the results shown in FIGS. 2 and 9, the squareness ratio of the sample on which the SrO.Al 2 O 3 coating was formed according to the present invention was greatly reduced. Squareness ratio of the sample specifically uncoated whereas a 0.40 squareness ratio sample formed a SrO · Al 2 O 3 film by the present invention was 0.16.

【0054】また、図13から分かるように、本発明に
よりSrO・Al23 被膜を形成した試料の実効透磁
率は、コーティングしない試料に比べて700kHz 以下
の周波数領域で小さな値を示しているが、周波数による
実効透磁率の減少が非常に小さいため、100kHz 周波
数までほぼ一定の実効透磁率を示した。
As can be seen from FIG. 13, the sample formed with the SrO.Al 2 O 3 coating according to the present invention has a smaller effective magnetic permeability in the frequency region of 700 kHz or less than the sample not coated. However, since the decrease in the effective magnetic permeability due to the frequency was very small, the effective magnetic permeability was almost constant up to the frequency of 100 kHz.

【0055】実施例8 実施例2と同様の方法を用いて得たバリウムメトキシエ
トキシド溶液と実施例3と同様の方法を用いて得たアル
ミニウムメトキシエトキシド溶液を等モルで混合した
後、還流することにより第1溶液を調製し、第2溶液と
しては無水エタノールを用いてコーティング溶液を調製
した以外は、実施例1と同様にして酸化物被膜を形成し
た。この形成した酸化物はBaO・Al23 であり、
酸化物被膜の厚さは1.80μm であった。
Example 8 A barium methoxy ethoxide solution obtained by using the same method as in Example 2 and an aluminum methoxy ethoxide solution obtained by using the same method as in Example 3 were mixed in equimolar amounts, and then refluxed. Then, an oxide film was formed in the same manner as in Example 1 except that a first solution was prepared and a coating solution was prepared using anhydrous ethanol as a second solution. The oxide thus formed is BaO.Al 2 O 3 ,
The thickness of the oxide film was 1.80 μm.

【0056】実施例1と同様の方法を用いて磁気履歴曲
線と実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図10
及び図13に示した。
The magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIG.
And FIG.

【0057】図2と図10の結果から分かるように、本
発明によりBaO・Al23 被膜を形成した試料の角
型比は非常に大きく減少した。具体的にはコーティング
しない試料の角型比は0.40であるのに対して、本発
明によりBaO・Al23被膜を形成した試料の角型
比は0.17であった。
As can be seen from the results shown in FIGS. 2 and 10, the squareness ratio of the sample on which the BaO.Al 2 O 3 coating was formed according to the present invention was greatly reduced. Squareness ratio of the sample specifically uncoated whereas a 0.40 squareness ratio sample formed a BaO · Al 2 O 3 film by the present invention was 0.17.

【0058】また、図13から分かるように、本発明に
よりBaO・Al23 被膜を形成した試料の実効透磁
率は、コーティングしない試料に比べて500kHz 以下
の周波数範囲において小さな値を示しているが、周波数
による実効透磁率の減少が非常に小さいため、100kH
z 周波数までほぼ一定の時刻透磁率を示した。
As can be seen from FIG. 13, the sample formed with the BaO.Al 2 O 3 coating according to the present invention has a smaller effective magnetic permeability in the frequency range of 500 kHz or less than the sample not coated. However, since the decrease in effective magnetic permeability due to frequency is very small,
It showed a nearly constant time permeability up to the z frequency.

【0059】実施例9 TEOSに2−メトキシエタノールを混合し、還流させ
て得た0.5M のケイ素メトキシエトキシド溶液と、実
施例1と同様の方法を用いて得たマグネシウムメトキシ
エトキシド溶液を等モルで混合した後、還流することに
より第1溶液を調製し、第2溶液としては無水エタノー
ルを用いてコーティング溶液を調製した以外は、実施例
1と同様にして酸化物被膜を形成した。この形成した酸
化物はMgO・SiO2 であり、酸化物被膜の厚さは
1.39μm であった。
Example 9 A 0.5M silicon methoxy ethoxide solution obtained by mixing 2-methoxyethanol with TEOS and refluxing was mixed with a magnesium methoxy ethoxide solution obtained by the same method as in Example 1. After mixing in equimolar amounts, the mixture was refluxed to prepare a first solution, and an oxide film was formed in the same manner as in Example 1 except that a coating solution was prepared using anhydrous ethanol as a second solution. The oxide thus formed was MgO.SiO 2 , and the thickness of the oxide film was 1.39 μm.

【0060】実施例1と同様の方法を用いて磁気履歴曲
線と実効透磁率を測定した。その結果をそれぞれ図11
及び図13に示した。
The magnetic hysteresis curve and the effective magnetic permeability were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in FIG.
And FIG.

【0061】図2と図11の結果から分かるように、本
発明によりMgO・SiO2 被膜を形成した試料の角型
比はわずかに増加した。具体的にはコーティングしない
試料の角型比は0.40であるのに対して、本発明によ
りMgO・SiO2 被膜を形成した試料の角型比は0.
50であった。
As can be seen from the results shown in FIGS. 2 and 11, the squareness ratio of the sample formed with the MgO.SiO 2 coating according to the present invention was slightly increased. Squareness ratio of the sample specifically uncoated whereas a 0.40 squareness ratio sample formed a MgO · SiO 2 film by the present invention is 0.
It was 50.

【0062】また、図13から分かるように、本発明に
よりMgO・SiO2 被膜を形成した試料の実効透磁率
は、コーティングしない試料に比べて100kHz 以下の
周波数では低い値を示すが、それ以上の周波数領域では
高い値を示した。
[0062] Also, as can be seen from Figure 13, the effective permeability of the sample to form MgO · SiO 2 film by the present invention shows a low value at 100kHz frequencies below as compared to samples without coating, more High values were shown in the frequency domain.

【0063】[0063]

【発明の効果】酸化物被膜材料の種類を変化させること
により、鉄系の非晶質磁性合金リボンの誘導磁気異方性
を広い範囲にわたって制御することができる。したがっ
て、磁気特性を広範囲にわたり制御することができる。
The induced magnetic anisotropy of the iron-based amorphous magnetic alloy ribbon can be controlled over a wide range by changing the type of the oxide coating material. Therefore, the magnetic characteristics can be controlled over a wide range.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明において鉄系の非晶質磁性合金リボンに
酸化物被膜を形成するのに使用する装置の該略図。
FIG. 1 is a schematic view of an apparatus used to form an oxide film on an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon in the present invention.

【図2】酸化物被膜の形成しなかった鉄系の非晶質磁性
合金リボンの磁気履歴曲線。図中に、磁束密度及び印加
磁場の単位を表す。
FIG. 2 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon having no oxide film formed thereon. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図3】本発明によりMgO被膜を形成した鉄系の非晶
質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中に、磁束密度及
び印加磁場の単位を表す。
FIG. 3 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which an MgO film is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図4】本発明によりBaO被膜を形成した鉄系の非晶
質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中に、磁束密度及
び印加磁場の単位を表す。
FIG. 4 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which a BaO film is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図5】本発明によりAl23 被膜を形成した鉄系の
非晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中に、磁束密
度及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 5 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which an Al 2 O 3 coating is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図6】本発明によりSiO2 被膜を形成した鉄系の非
晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中に、磁束密度
及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 6 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon having a SiO 2 coating formed thereon according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図7】本発明によりMgO・Al23 被膜を形成し
た鉄系の非晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中
に、磁束密度及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 7 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which an MgO.Al 2 O 3 film is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図8】本発明によりCaO・Al23 被膜を形成し
た鉄系の非晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中
に、磁束密度及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 8 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which a CaO.Al 2 O 3 film is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図9】本発明によりSrO・Al23 被膜を形成し
た鉄系の非晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中
に、磁束密度及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 9 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which a SrO.Al 2 O 3 film is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図10】本発明によりBaO・Al23 被膜を形成
した鉄系の非晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中
に、磁束密度及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 10 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which a BaO.Al 2 O 3 coating is formed according to the present invention. The units of the magnetic flux density and the applied magnetic field are shown in the figure.

【図11】本発明によりMgO・SiO2 被膜を形成た
鉄系の非晶質磁性合金リボンの磁気履歴曲線。図中に、
磁束密度及び印加磁場の単位を表す。
FIG. 11 is a magnetic hysteresis curve of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon on which an MgO.SiO 2 coating is formed according to the present invention. In the figure,
Indicates the unit of magnetic flux density and applied magnetic field.

【図12】本発明により単一金属酸化物の被膜を形成し
た鉄系の非晶質磁性合金リボンと、酸化物被膜の形成し
なかった鉄系の非晶質磁性合金リボンの実効透磁率の周
波数依存性を示した片対数グラフ。
FIG. 12 shows the effective magnetic permeability of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon having a single metal oxide film formed thereon and an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon having no oxide film formed thereon. 5 is a semilogarithmic graph showing frequency dependence.

【図13】本発明により複合金属酸化物の被膜を形成し
た鉄系の非晶質磁性合金リボンと、酸化物被膜の形成し
なかった鉄系の非晶質磁性合金リボンの実効透磁率の周
波数依存性を示した片対数グラフ。
FIG. 13 shows the frequency of the effective magnetic permeability of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon having a composite metal oxide film formed thereon and an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon having no oxide film formed thereon. Semi-log graph showing dependencies.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ボビン 2 滑車 3 リボン 4 コーティング溶液 5 コーティング室 6 電気炉 7 ボビン Reference Signs List 1 bobbin 2 pulley 3 ribbon 4 coating solution 5 coating chamber 6 electric furnace 7 bobbin

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 下記工程からなることを特徴とする、鉄
系の非晶質磁性合金リボンに誘導磁気異方性を形成する
方法。MgO、Al23 、SiO2 、BaO、MgO
・Al23 、MgO・SiO2 、CaO・Al2
3 、BaO・Al23 及びSrO・Al23 からな
る群から選択される金属酸化物のゾルーゲル溶液を調製
する工程、 前記ゾルーゲル溶液を鉄系の非晶質磁性合金リボンの表
面にコーティングする工程、 前記コーティングされたリボンを乾燥する工程、そして
前記の乾燥したリボンを熱処理する工程
1. A method for forming induced magnetic anisotropy on an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon, comprising the following steps. MgO, Al 2 O 3 , SiO 2 , BaO, MgO
・ Al 2 O 3 , MgO ・ SiO 2 , CaO ・ Al 2 O
3. preparing a sol-gel solution of a metal oxide selected from the group consisting of BaO.Al 2 O 3 and SrO.Al 2 O 3 , coating the sol-gel solution on the surface of an iron-based amorphous magnetic alloy ribbon Drying the coated ribbon; and heat treating the dried ribbon.
【請求項2】 目的とする金属酸化物に相当する金属ア
ルコキシドのアルコール溶液を調製し、該溶液に無水又
は含水アルコールを反応させて、前記のMgO、Al2
3 、SiO2 又はBaOのゾルーゲル溶液を調製す
る、請求項1記載の方法。
2. An alcohol solution of a metal alkoxide corresponding to a target metal oxide is prepared, and the solution is reacted with anhydrous or hydrous alcohol to obtain the MgO, Al 2
O 3, to prepare a SiO 2 or BaO of sol gel solution, the process of claim 1.
【請求項3】 MgO・Al23 、MgO・SiO
2 、CaO・Al23 、BaO・Al23 又はSr
O・Al23 のゾルーゲル溶液を、目的とする金属酸
化物に相当する2種の金属アルコキシドを、それぞれ同
種のアルコールに溶解して、2種類の金属アルコキシド
のアルコール溶液をそれぞれ調製し、 この2種類の溶液を混合し、 次いで当該混合物と無水又は含水アルコールとを反応さ
せて、ゾルーゲル溶液を調製する、請求項1記載の方
法。
3. MgO.Al 2 O 3 , MgO.SiO
2 , CaO.Al 2 O 3 , BaO.Al 2 O 3 or Sr
A sol-gel solution of O.Al 2 O 3 is prepared by dissolving two kinds of metal alkoxides corresponding to a target metal oxide in the same kind of alcohol, respectively, to prepare alcohol solutions of two kinds of metal alkoxides. The method according to claim 1, wherein the two solutions are mixed, and then the mixture is reacted with anhydrous or hydrous alcohol to prepare a sol-gel solution.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7138188B2 (en) * 2003-01-30 2006-11-21 Metglas, Inc. Magnetic implement using magnetic metal ribbon coated with insulator

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