KR100243219B1

KR100243219B1 - Method for inspecting the light-receiving face of a charge coupled device

Info

Publication number: KR100243219B1
Application number: KR1019970032276A
Authority: KR
Inventors: 전동철
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-07-11
Filing date: 1997-07-11
Publication date: 2000-02-01
Also published as: KR19990009778A

Abstract

본 발명의 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법은, 전하 결합 소자의 수광면에 빛을 조사한 상태에서 수광면을 촬상하여, 그 전기적 신호로써 수광면에 이물질이 묻어 있는 상태를 검사하는 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법에 적용된다. 여기서, 수광면에 조사되는 빛의 방향은, 상기 수광면의 셀-열 사이마다 형성된 골의 길이 방향에 따라 조정된다.The light-receiving surface inspection method of the charge-coupled device of the present invention is a charge-coupled device for imaging the light-receiving surface in the state of irradiating light to the light-receiving surface of the charge-coupled device, and inspects the state that the foreign matter on the light-receiving surface as an electrical signal Applied to the light receiving surface inspection method. Here, the direction of the light irradiated to the light receiving surface is adjusted in accordance with the longitudinal direction of the valley formed between the cell-column of the light receiving surface.

Description

Inspection method of light receiving surface of charge coupled device

본 발명은 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 전하 결합 소자의 수광면에 묻어있는 먼지 등의 이물질을 검사하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for inspecting the light receiving surface of a charge coupled device, and more particularly, to a method for inspecting foreign substances such as dust on the light receiving surface of a charge coupled device.

집적 회로로서 제조되는 전하 결합 소자(charge coupled device)는 그 수광면을 통하여 입사되는 광신호를 전기적 신호로 변환시키는 촬상용 소자로서, 비디오 카메라, 감시용 카메라, 스캐너 등에 널리 사용되고 있다. 이러한 전하 결합 소자를 조립하는 공정들에 있어서, 최종적으로 그 수광면 위에 보호용 글라스 필터를 씌우는 공정이 있다. 그런데 이 공정을 수행하기 전에 수광면에 먼지 등의 이물질이 묻어있는가를 검사하는 공정이 반드시 필요하며, 종래에는 이 수광면 검사 공정이 작업자에 의해 수동으로 행하여져 왔다.BACKGROUND ART A charge coupled device manufactured as an integrated circuit is an imaging device for converting an optical signal incident through a light receiving surface into an electrical signal, and is widely used in video cameras, surveillance cameras, scanners, and the like. In the processes of assembling such a charge coupling element, there is a process of finally covering a protective glass filter on the light receiving surface. By the way, before performing this process, the process of checking whether the foreign matter, such as dust, is in a light-receiving surface is essential, and this light-receiving surface inspection process has been performed manually by an operator conventionally.

도 1을 참조하여 종래의 수동으로 수광면을 검사하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 종래의 수광면 검사 장치는 검사대(10) 위에 수동 이송 기구(12) 및 현미경(6)이 설치되어 있다. 작업자는 복수의 전하 결합 소자(14)들이 안착된 보트(16)를 수동 이송 기구(12)에 설치한 후, 현미경(6)을 보면서 전하 결합 소자(14)의 수광면에 이물질이 묻어 있는지를 검사한다. 이때, 작업자는 현미경(6)의 접안 렌즈(2)에 눈을 대고 수동 이송 기구(12)에 부착된 이동 손잡이(18)를 돌리면서, 해당된 전하 결합 소자(14)의 수광면이 현미경(6)의 대물 렌즈(4) 밑에 위치하도록 조정한다.Referring to Figure 1, the conventional method for manually inspecting the light receiving surface will be described. In the conventional light receiving surface inspection apparatus, the manual feed mechanism 12 and the microscope 6 are provided on the inspection table 10. The operator installs the boat 16 on which the plurality of charge coupling elements 14 are seated in the manual transfer mechanism 12, and then looks at the microscope 6 to see whether there is any foreign matter on the light receiving surface of the charge coupling element 14. Check it. At this time, the operator puts his eye on the eyepiece 2 of the microscope 6 and turns the moving handle 18 attached to the manual transfer mechanism 12, the light receiving surface of the corresponding charge coupling element 14 is a microscope ( 6) to be positioned under the objective lens (4).

상기와 같은 종래의 수광면 검사 방법은 작업자가 고배율의 현미경을 장시간 보아야 하므로, 작업자가 쉽게 눈의 피로를 느끼게 되어 검사의 정확도 및 속도가 떨어지는 문제점이 있다.In the conventional light-receiving surface inspection method as described above, the operator needs to look at a microscope with a high magnification for a long time, so that the operator easily feels eye fatigue, and thus the accuracy and speed of the inspection are lowered.

본 발명의 목적은, 전하 결합 소자의 수광면에 묻어 있는 이물질이 확실히 식별되게 함으로써, 자동 검사가 가능한 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a method for inspecting a light receiving surface of a charge coupled device that can be automatically inspected by ensuring that foreign matter on the light receiving surface of the charge coupled device is identified.

도 1은 종래의 수광면 검사 장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a conventional light receiving surface inspection apparatus.

도 2는 본 발명의 방법이 적용될 수 있는 수광면 검사 장치의 개략도이다.2 is a schematic diagram of a light receiving surface inspection apparatus to which the method of the present invention can be applied.

도 3은 도 2의 광원 위치에 따른 영향을 설명하기 위한 전하 결합 소자의 평면도이다.3 is a plan view of a charge coupling device for explaining the influence of the position of the light source of FIG.

도 4는 도 3의 장축 방향(I2 및 I2′방향)으로 조명된 상태에서 촬상된 한 셀의 확대 사진이다.FIG. 4 is an enlarged photograph of one cell photographed in the state illuminated in the major axis direction I2 and I2 ′ of FIG. 3.

도 5는 본 발명에 따라 도 3의 단축 방향(I1 및 I1′방향)으로 조명된 상태에서 촬상된 한 셀의 확대 사진이다.FIG. 5 is an enlarged photograph of one cell photographed in the state illuminated in the short axis direction (I1 and I1 'direction) of FIG. 3 according to the present invention.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

14...전하 결합 소자, 30:수광면,14 charge-coupled element, 30 light-receiving surface,

32, 33...셀, 34:골.32, 33.Cell, 34: Goal.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법은, 전하 결합 소자의 수광면에 빛을 조사한 상태에서 상기 수광면을 촬상하여, 그 전기적 신호로써 상기 수광면에 이물질이 묻어 있는 상태를 검사하는 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법에 해당된다. 여기서, 상기 수광면에 조사되는 빛의 방향은, 상기 수광면의 셀-열 사이마다 형성된 골의 길이 방향에 대하여 조정된다.In the light-receiving surface inspection method of the charge-coupled device of the present invention for achieving the above object, the light-receiving surface of the charge-coupled device is imaged while the light is irradiated, the foreign matter is deposited on the light-receiving surface as the electrical signal Corresponds to the light-receiving surface inspection method of the charge coupled device that inspects the state. Here, the direction of the light irradiated to the light receiving surface is adjusted with respect to the longitudinal direction of the valley formed between the cell-column of the light receiving surface.

이에 따라, 상기 골에 의하여 반사되는 빛이 간섭하지 않으므로, 상기 수광면에 묻어 있는 이물질이 확실히 식별될 수 있다.Accordingly, since the light reflected by the valley does not interfere, the foreign matter on the light receiving surface can be surely identified.

바람직하게는, 상기 수광면에 조사되는 빛의 방향은, 상기 수광면의 셀-열 사이마다 형성된 골의 길이 방향과 일치되도록 조정된다.Preferably, the direction of light irradiated onto the light receiving surface is adjusted to coincide with the longitudinal direction of the valleys formed between cell-rows of the light receiving surface.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

먼저 도 2를 참조하면서 본 발명이 적용될 수 있는 전하 결합 소자의 수광면 자동 검사 장치에 대하여 설명한다.First, a light receiving surface automatic inspection apparatus of a charge coupled device to which the present invention can be applied will be described with reference to FIG. 2.

상기 수광면 검사 장치는 컨베이어(22), 선형 카메라(26), 개인용 컴퓨터(28) 및 모니터(27)를 포함하며, 그 동작은 다음과 같다. 검사대(21) 위에 설치된 컨베이어(22)는 전단계 공정이 완료된 일련의 전하 결합 소자들이 안착된 보트(16)를 이송시킨다. 선형 카메라(26)는 컨베이어(22)에 의하여 이송된 전하 결합 소자(14)의 수광면을 촬상하여 그 영상 신호를 개인용 컴퓨터(28)로 보낸다. 이 때 광원(24a, 24b)에 의해 상기 수광면이 조명된다. 개인용 컴퓨터(28)는 선형 카메라(26)로부터 입력된 영상신호를 처리하여, 상기 수광면의 밝기가 설정값 이상일 때 불량을 알리는 신호를 발생시킨다. 모니터(27)는 개인용 컴퓨터(28)로부터의 출력에 따라 검사 상황 및 결과를 표시한다.The light receiving surface inspection apparatus includes a conveyor 22, a linear camera 26, a personal computer 28 and a monitor 27, the operation of which is as follows. The conveyor 22 installed on the inspection table 21 transports the boat 16 on which the series of charge coupling elements having completed the previous stage process is seated. The linear camera 26 captures the light-receiving surface of the charge coupling element 14 carried by the conveyor 22 and sends the image signal to the personal computer 28. At this time, the light receiving surface is illuminated by the light sources 24a and 24b. The personal computer 28 processes the image signal input from the linear camera 26 to generate a signal informing of a failure when the brightness of the light-receiving surface is above a set value. The monitor 27 displays the inspection status and results according to the output from the personal computer 28.

도 3을 참조하여, 본 발명에 따라 전하 결합 소자(14)를 조명하는 방법을 설명한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 그 윗면에 빛을 수광하는 수광면(30)을 구비한 전하 결합 소자(14)는 다수의 셀들(32)로 구성된다. 이하에서 편의상 도 3과 같이 그 상면이 직사각형인 전하 결합 소자에 있어서, 그 변의 길이가 긴 방향을 장축 방향이라 하고, 그 변의 길이가 짧은 방향을 단축 방향이라 한다. 또한, 셀(32)과 셀(32)을 분리하기 위한 셀(32)과 셀(32)사이의 움푹 들어간 영역을 이하에서 골(34)이라 한다.With reference to FIG. 3, a method of illuminating the charge coupled device 14 in accordance with the present invention is described. As shown in FIG. 3, the charge coupling element 14 having the light receiving surface 30 for receiving light thereon is composed of a plurality of cells 32. In the following, in the charge coupling element whose upper surface is rectangular as shown in FIG. 3 for convenience, the direction in which the length of the side is long is called a long axis direction, and the direction in which the length of the side is short is called a short axis direction. In addition, the recessed area between the cell 32 and the cell 32 for separating the cell 32 and the cell 32 is hereinafter referred to as the valley 34.

광원(도 2의 24a, 24b)에서 나오는 빛을 장축 방향(도 3의 I1 및 I1′방향)으로 조명하면, 빛이 골(34)들의 벽에서 반사되는 비율이 높아지므로, 먼지 등과 같은 이물질에 의하여 반사되는 빛이 회절되는 비율도 높아진다. 이에 따라 선형 카메라(도 2의 26)의 촬상 영역에 입사되는 빛에 의하여 이물질의 형상을 정확히 식별할 수 없으므로, 자동 검사에 적합하지 않게 된다. 도 4는 도 3의 장축 방향(I2 및 I2′방향)으로 조명된 상태에서 촬상된 한 셀의 확대 사진을 보여 준다. 도 4를 참조하면, 밝은 점들의 이물질 영상이 거의 나타나지 않음을 알 수 있다.When the light emitted from the light sources 24a and 24b of FIG. 2 is illuminated in the major axis direction (I1 and I1 ′ of FIG. 3), the ratio of light reflected from the walls of the valleys 34 increases, and thus, The rate at which the reflected light is diffracted also increases. As a result, the shape of the foreign matter cannot be accurately identified by the light incident on the imaging area of the linear camera (26 in FIG. 2), and thus it is not suitable for automatic inspection. FIG. 4 shows an enlarged photograph of one cell photographed in the state illuminated in the long axis direction I2 and I2 ′ of FIG. 3. Referring to FIG. 4, it can be seen that the foreign matter image of the bright spots hardly appears.

본 발명에 따라, 광원(24a, 24b)에서 나오는 빛을 단축 방향(도 3의 I2 및 I2′방향)으로 조명하면, 빛이 골(34)들의 벽에서 반사되는 비율이 낮아지므로, 먼지 등과 같은 이물질에 의하여 반사되는 빛이 회절되는 비율도 낮아진다. 이에 따라 선형 카메라(도 2의 26)의 촬상 영역에 입사되는 빛에 의하여 이물질의 형상을 정확히 식별할 수 있으므로, 자동 검사에 적합하게 된다. 도 5는 도 3의 단축 방향(I2 및 I2′방향)으로 조명된 상태에서 촬상된 한 셀의 확대 사진을 보여 준다. 여기서 촬상된 셀은 상기 도 4의 셀과 동일하다. 도 5를 참조하면, 밝은 점들의 이물질 영상이 많이 촬상됨을 알 수 있다.According to the present invention, when the light emitted from the light sources 24a and 24b is illuminated in the uniaxial direction (I2 and I2 'directions in FIG. 3), the rate at which light is reflected from the walls of the valleys 34 is lowered, such as dust or the like. The rate at which the light reflected by the foreign material is diffracted is also lowered. As a result, the shape of the foreign matter can be accurately identified by the light incident on the imaging area of the linear camera (26 in FIG. 2), so that it is suitable for automatic inspection. FIG. 5 shows an enlarged photograph of one cell photographed in the state of being illuminated in the short axis direction (I2 and I2 ′ direction) of FIG. 3. The imaged cell is the same as the cell of FIG. 4. Referring to FIG. 5, it can be seen that many foreign images of bright spots are captured.

경우에 따라, 대각 방향(I3 및 I3′방향)을 벗어나지 않는 범위 내에서 상기 단축 방향(I2 및 I2′방향)을 조정할 수도 있다. 이 조정 방법은, 전하 결합 소자(14)가 고정된 상태에서 광원(24a, 24b)을 회전시킬 수도 있지만, 광원(24a, 24b)이 고정된 상태에서 전하 결합 소자(14)를 회전시킬 수도 있다.In some cases, the short axis directions I2 and I2 'may be adjusted within a range not departing from the diagonal directions I3 and I3'. This adjustment method may rotate the light sources 24a and 24b while the charge coupling element 14 is fixed, but may rotate the charge coupling element 14 while the light sources 24a and 24b are fixed. .

이상 실시예를 들어 본 발명에 대해 설명하였으나, 본발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술 사상 및 범위 내에서 각종 변경 및 개량이 가능하다.Although the present invention has been described with reference to the above embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and improvements can be made within the spirit and scope of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법은, 수광면에 묻어 있는 먼지 등의 이물질을 그 배경과 구분하는 것이 매우 용이하하다. 따라서, 선형 카메라로부터 입력되는 수광면의 영상 신호로부터 그 밝기가 설정값 이상일 때 불량을 알리는 신호를 발생시키는 자동 검사가 가능하여, 검사의 정확도 및 속도가 향상될 수 있다.As described above, in the light receiving surface inspection method of the charge coupled device according to the present invention, it is very easy to distinguish foreign matters such as dust from the light receiving surface from its background. Therefore, it is possible to perform an automatic inspection that generates a signal indicating a failure when the brightness is greater than or equal to a set value from the image signal of the light receiving surface input from the linear camera, so that the accuracy and speed of the inspection can be improved.

Claims

In the light-receiving surface inspection method of the charge-coupling element for imaging the light-receiving surface in the state of irradiating light on the light-receiving surface of the charge-coupled device, and inspecting the state that the foreign matter is deposited on the light-receiving surface by the electrical signal,

The direction of light irradiated to the light receiving surface,

And a light receiving surface inspection method of a charge coupled device, characterized in that it is adjusted with respect to the longitudinal direction of a valley formed between each cell-column of said light receiving surface.

The method of claim 1, wherein the direction of light irradiated to the light receiving surface,

And a light receiving surface inspection method of a charge coupled device, characterized in that it is adjusted to coincide with a longitudinal direction of a valley formed between the cell-rows of the light receiving surface.

The light receiving surface inspection method of the charge coupling device, characterized in that it is adjusted by rotating the charge coupling device.

A light receiving surface inspection method of a charge coupled device, characterized in that it is adjusted by rotating the light source.