KR100242154B1 - Electrostatic type ink jet printer head - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, (+)전극에 연결된 복수개의 고정자 전극(120)과, 상기 고정자 전극(120)의 사이에서 접지(110)에 연결된 복수개의 이동자 전극(140)과, 상기 접지에 연결된 기판(150)으로 이루어진 정전구동기(100)와, 헤드 몸체(210)의 일측부에 잉크 유입구(212)가 형성되고, 다이어프램(220)이 상기 정전구동기(100)의 이동자 전극(140)의 이동에 따라 변위가 발생하고, 잉크분사판(230)에 잉크 분사노즐(232)이 형성되어, 내부에 압력챔버(240)가 형성된 프린터 헤드부(200)로 구성되어, 상기 정전구동기(100)의 고정자 및 이동자 전극(120)(140)에 전압을 인가하면, 상기 이동자 전극(140)과 기판(150)이 같은 전극으로 연결되어 있기 때문에, 서로 밀치는 작용력에 의해 상기 프린터 헤드부(200)에 압력을 가함으로서, 상기 압력챔버(240)내의 잉크를 상기 잉크 분사판(230)의 잉크 분사노즐(232)을 통해 분사하고, 상기 정전구동기(100)의 복원에 의해 상기 잉크 유입구(212)를 통해 잉크가 유입되어 상기 압력챔버(240)에 채워지는 것으로, 고정자 및 이동자 전극사이의 간격이 불과 수 μm( 10-6 m)이하이므로, 프린터 헤드의 노즐 한 개에 대한 압력챔버 및 다이아프램 등을 구성하는 프린터 헤드부의 크기를 수백 μm로 제작가능하게 되므로, 전체적인 헤드구조를 간단하게 하고, 정전력이 수직방향으로 발생되므로, 발생되는 변위를 크게할 수 있는 이점을 가진다.The present invention relates to an electrostatically driven inkjet printer head, comprising a plurality of stator electrodes 120 connected to a positive electrode and a plurality of mover electrodes 140 connected to ground 110 between the stator electrodes 120. And an electrostatic driver 100 formed of a substrate 150 connected to the ground, and an ink inlet 212 formed at one side of the head body 210, and a diaphragm 220 is a mover of the electrostatic driver 100. The displacement occurs in accordance with the movement of the electrode 140, the ink jet nozzle 232 is formed on the ink jet plate 230, the printer head portion 200 is formed with a pressure chamber 240 therein, When voltage is applied to the stator and the mover electrodes 120 and 140 of the electrostatic driver 100, since the mover electrode 140 and the substrate 150 are connected to the same electrode, the printer is pushed by an action force that pushes each other. By applying pressure to the head portion 200, the pressure chamber 240 The ink is injected through the ink jetting nozzle 232 of the ink jetting plate 230, and ink is introduced through the ink inlet 212 by the restoration of the electrostatic driver 100 to the pressure chamber 240. Filled, the spacing between the stator and the mover electrodes is only a few μm ( 10 -6 m) or less, so that the size of the print head portion constituting the pressure chamber and diaphragm for one nozzle of the print head can be manufactured to several hundred μm, simplifying the overall head structure and generating the electrostatic force in the vertical direction. Therefore, there is an advantage that can increase the displacement generated.

Description

정전구동형 잉크젯 프린터 헤드Capacitive Inkjet Printer Head

본 발명은 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, 특히 수직으로 정전력을 발생하여 전체적인 헤드 구조가 간단하고 발생되는 변위를 크게할 수 있는 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatically driven inkjet printer head, and more particularly, to an electrostatically driven inkjet printer head capable of generating an electrostatic force vertically to simplify the overall head structure and increase the displacement generated.

잘 알려진 바와 같이, 잉크젯 프린터 헤드에는 열전사(thermal) 방식또는 압전 방식으로 나누어 지며, 이러한 열전사 방식은 헤드의 챔버내에 열을 공급할 수 있는 히터를 장착하여 매우 짧은 시간안에 상당히 큰 열에너지를 공급함에 따라, 챔버내의 잉크에 방울(bubble)이 형성되고, 이것이 노즐을 통해 분사되는 것이지만, 터멀 방식은 열에너지에 의해 발생되는 잉크 방울의 압력으로 인한 연속적인 충격 때문에 내구성에 문제가 있으며, 잉크 방울의 크기를 조절하기 어렵고, 속도의 증가에 한계가 있었다.As is well known, inkjet printer heads are divided into thermal or piezoelectric methods, which are equipped with a heater capable of supplying heat into the chamber of the head to provide a large amount of thermal energy in a very short time. Accordingly, bubbles are formed in the ink in the chamber, which is sprayed through the nozzles, but the thermal method has a durability problem due to the continuous impact caused by the pressure of the ink droplets generated by thermal energy, and the size of the ink droplets. It was difficult to control, and there was a limit to the increase in speed.

이에 반하여 압전 방식은 헤드의 챔버에 압력을 가할 수 있도록, 다이아프램에 압전물질을 부착하여 전압이 인가되면 힘을 발생시키는 압전특성을 이용하여 챔버에 압력을 제공하여 잉크를 밀어내는 방식으로, 인가되는 전압에 따라 힘을 발생시켜 챔버내에 압력을 전달하는 방식이므로 속도 측면에서 성능이 우수하여 널리 사용되고 있다.On the other hand, the piezoelectric method is a method in which a piezoelectric material is attached to a diaphragm so as to apply pressure to the chamber of the head so as to push the ink by providing pressure to the chamber using a piezoelectric property that generates a force when a voltage is applied. It is widely used because of its excellent performance in terms of speed because it generates a force in accordance with the voltage to transfer the pressure in the chamber.

이러한 압전형 잉크젯 프린터 헤드는 종래에는 도 1에 도시된 바와 같이, 잉크분사구멍(2)이 형성된 바닥의 바닥판(10)과, 잉크흐름구멍(12)(14)이 형성된 금속판(20)과, 상부의 덮개판(30)이 순차로 적층된다. 바닥판(10)과 금속판(20)사이에는 잉크 공급통로 유지부(40)가 개재되어 잉크공급통로(50)가 형성되는 한편, 금속판(20)과 덮개판(30)사이에 간격유지판(60)이 개재되어, 잉크공급통로(50)로 공급된 잉크가 잉크흐름구멍(12)을 통해 압력챔버(70)에 공급된다.As shown in FIG. 1, the piezoelectric inkjet printer head includes a bottom plate 10 having a bottom portion 10 formed with ink ejection holes 2, a metal plate 20 having ink flow holes 12, 14 formed therein; The upper cover plate 30 is sequentially stacked. An ink supply passageway 50 is formed between the bottom plate 10 and the metal plate 20 to form an ink supply passageway 50, while a gap maintaining plate is formed between the metal plate 20 and the cover plate 30. 60 is interposed, the ink supplied to the ink supply passage 50 is supplied to the pressure chamber 70 through the ink flow hole 12.

또한, 공급통로 유지부(40)에는 금속판(20)의 잉크흐름구멍(14)과 바닥판(10)의 잉크분사구멍(2)을 통해 압력챔버(70)에 공급된 잉크를 분사하는 분사통로(42)가 형성된다.In addition, the supply passage holding portion 40 is an injection passage for injecting the ink supplied to the pressure chamber 70 through the ink flow hole 14 of the metal plate 20 and the ink injection hole 2 of the bottom plate 10. 42 is formed.

한편, 압력챔버(70)상부의 덮개판(30)위에는 압력챔버(70)에 압력을 가하기 위해 상하의 전극(82)(84)과 그 사이의 압전체(86)로 이루어진 압전 액튜에이터(80)가 부착되어, 압력챔버(70)에 압력을 가하게 된다.On the other hand, a piezoelectric actuator 80 composed of upper and lower electrodes 82 and 84 and a piezoelectric element 86 therebetween is attached on the cover plate 30 of the upper portion of the pressure chamber 70 to apply pressure to the pressure chamber 70. Thus, pressure is applied to the pressure chamber 70.

이와 같이 구성된 종래의 압전형 잉크젯 프린터 헤드는 압력챔버(70)와 잉크 공급통로(50)에 잉크가 차 있다가 외부에서 전기신호가 인가되면, 인가된 전압에 따라 압전체(86)는 수축하게 된다. 이때, 압전체(86)의 하부 전극(84)이 덮개판(30)에 부착되어 있기 때문에, 덮개판(30)이 하부로 휘어져서 압력챔버(70)에 압력을 가하게 된다. 압력챔버(70)가 압력을 받게 되면, 압력챔버(70)내에 있는 잉크는 금속판(20)의 잉크흐름구멍(14)과 분사통로(42)와 잉크분사구멍(2)을 통해 분사된다. 이때, 잉크흐름구멍(12)과 잉크분사구멍(2)은 잉크의 역류를 방지하고자 잉크의 흐름방향으로 경사져 있기 때문에, 역류량은 적게된다. 이후, 덮개판(30)이 원래의 위치로 복원되면, 잉크 공급통로(50)에 있는 잉크는 압력챔버(70)로 흡입되고, 잉크 공급통로(50)에는 다시 잉크가 채워진다.In the conventional piezoelectric inkjet printer head configured as described above, when the ink is filled in the pressure chamber 70 and the ink supply passage 50 and an electric signal is applied from the outside, the piezoelectric element 86 contracts according to the applied voltage. . At this time, since the lower electrode 84 of the piezoelectric body 86 is attached to the cover plate 30, the cover plate 30 is bent downward to apply pressure to the pressure chamber 70. When the pressure chamber 70 is pressurized, the ink in the pressure chamber 70 is injected through the ink flow hole 14, the injection passage 42, and the ink injection hole 2 of the metal plate 20. At this time, since the ink flow holes 12 and the ink injection holes 2 are inclined in the flow direction of the ink to prevent the back flow of the ink, the amount of back flow is small. Then, when the cover plate 30 is restored to its original position, the ink in the ink supply passage 50 is sucked into the pressure chamber 70, and the ink supply passage 50 is filled with ink again.

하지만, 이러한 종래의 압전형 잉크젯 프린터 헤드는 전체적인 헤드 구조가 복잡하고 발생되는 변위가 적다는 문제점이 있었다.However, such a conventional piezoelectric inkjet printer head has a problem in that the overall head structure is complicated and there is little displacement.

본 발명은 이러한 문제들을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 정전력을 수직으로 발생하여 전체적인 헤드구조를 간단하게 하고, 발생되는 변위를 크게할 수 있는 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve these problems, and an object thereof is to provide an electrostatically driven inkjet printer head capable of generating electrostatic power vertically, simplifying the overall head structure and increasing the displacement generated.

이러한 목적들을 달성하기 위한 수단으로서 본 발명의 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드는 (+)전극에 연결된 복수개의 고정자 전극과, 상기 고정자 전극의 사이에서 접지에 연결된 복수개의 이동자 전극과, 상기 접지에 연결된 기판으로 이루어진 정전구동기와, 헤드 몸체의 일측부에 잉크 유입구가 형성되고, 다이어프램이 상기 정전구동기의 이동자 전극의 이동에 따라 변위가 발생하고, 잉크분사판에 잉크 분사노즐이 형성되어, 내부에 압력챔버가 형성된 프린터 헤드부로 구성되어, 상기 정전구동기의 고정자 및 이동자 전극에 전압을 인가하면, 상기 이동자 전극과 기판이 같은 전극으로 연결되어 있기 때문에, 서로 밀치는 작용력에 의해 상기 프린터 헤드부에 압력을 가함으로서, 상기 압력챔버내의 잉크를 상기 잉크 분사판의 잉크 분사노즐을 통해 분사하고, 상기 정전구동기의 복원에 의해 상기 잉크 유입구를 통해 잉크가 유입되어 상기 압력챔버에 채워지는 것을 특징으로 한다.As a means for achieving these objects, the electrostatically driven inkjet printer head of the present invention comprises a plurality of stator electrodes connected to a positive electrode, a plurality of mover electrodes connected to ground between the stator electrodes, and a substrate connected to the ground. An electrostatic actuator comprising an ink inlet is formed at one side of the head body, the diaphragm is displaced according to the movement of the mover electrode of the electrostatic actuator, and an ink jet nozzle is formed in the ink jet plate, and a pressure chamber is formed therein. Is formed of a print head, and when the voltage is applied to the stator and the mover electrode of the electrostatic driver, the mover electrode and the substrate are connected to the same electrode, and thus the pressure is applied to the print head by the pushing force. By using the ink ejection nozzles of the ink ejection plate, the ink in the pressure chamber The ink is injected through the ink inlet by spraying and restoring the electrostatic driver, and the pressure chamber is filled.

본 발명에 따른 정전구동방식은 열전사방식또는 압전방식보다 수십 kHz이상의 더 높은 주파수에서 작동할 수 있고, 제조공정도 간단하므로, 생산성 측면에서 유리한 효과를 가진다.The electrostatic drive method according to the present invention can operate at higher frequencies of several tens of kHz or more than the thermal transfer method or the piezoelectric method, and the manufacturing process is simple, and thus has an advantageous effect in terms of productivity.

도 1은 종래의 압전형 잉크젯 프린터 헤드의 구성을 나타내는 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional piezoelectric inkjet printer head,

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드의 구성을 나타내는 개략 단면도이고,2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of an electrostatically driven inkjet printer head according to an embodiment of the present invention;

도 3은 도 2의 수직방향 정전력 발생 원리를 나타내는 상세도이다.3 is a detailed view illustrating a principle of generating vertical electrostatic power in FIG. 2.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

2 : 잉크분사구멍 10 : 금속 분사구멍판2: ink ejection hole 10: metal ejection hole plate

12,14 : 잉크흐름구멍 20 : 금속판12,14: ink flow hole 20: metal plate

30 : 덮개판 40 ; 잉크 공급통로 유지부30: cover plate 40; Ink Supply Path Holder

42 : 분사통로 50 : 잉크공급통로42: injection passage 50: ink supply passage

60 : 간격유지판 70 : 압력챔버60: space maintaining plate 70: pressure chamber

80 : 압전 액튜에이터 82,84 : 상하부 전극80: piezoelectric actuator 82,84: upper and lower electrodes

86 : 압전체 100 : 정전구동기86: piezoelectric 100: electrostatic actuator

110 : 접지 120 : 고정자 전극110: ground 120: stator electrode

130 : 지지대 140 : 이동자 전극130: support 140: mover electrode

150 : 기판 200 : 프린터 헤드부150: substrate 200: printer head portion

210 : 헤드 몸체 212 : 잉크 유입구210: head body 212: ink inlet

220 : 다이어프램 230 : 잉크 분사판220: diaphragm 230: ink jet plate

232 : 잉크 분사노즐 240 : 압력챔버232: ink jet nozzle 240: pressure chamber

본 발명의 상기 및 기타 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above and other objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

이하 첨부된 도면에 의해 본 발명에 따른 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the electrostatically driven inkjet printer head according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2에는 본 발명에 따른 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드의 구성을 나타내고, 도 3은 도 2의 수직방향 정전력 발생 원리를 나타내는 것으로, 본 발명의 잉크젯 프린터 헤드의 특징적 구성은, 정전구동기(100)를 이용하여 프린터 헤드부(200)에 압력을 가하는 것이다.2 shows the configuration of the electrostatically driven inkjet printer head according to the present invention, and FIG. 3 shows the principle of generating the vertical electrostatic force of FIG. 2. The characteristic configuration of the inkjet printer head of the present invention is the electrostatic driver 100. The pressure is applied to the print head 200 by using.

도 3에 도시된 바와 같이, 정전구동기(100)는 (+)전극에 연결된 복수개의 고정자 전극(120)과, 이 고정자 전극(120)의 사이에서 접지(110)에 연결된 복수개의 이동자 전극(140)과, 접지(110)에 연결된 기판(150)으로 구성되며, 이러한 고정자전극(120) 및 이동자 전극(140)는 다결정실리콘(polysilicon)과 같은 전도성 물질로 이루어 지므로서, 고정자 및 이동자 전극(120)(140)에 전압을 인가하면, 이동자 전극(140)과 기판(150)이 같은 전극으로 연결되어 있기 때문에, 서로 밀치는 작용력이 발생한다. 즉, 이동자 전극(140)이 부양력이 발생된다.As shown in FIG. 3, the electrostatic actuator 100 includes a plurality of stator electrodes 120 connected to a positive electrode and a plurality of mover electrodes 140 connected to ground 110 between the stator electrodes 120. And the substrate 150 connected to the ground 110, the stator electrode 120 and the mover electrode 140 are made of a conductive material such as polysilicon. When a voltage is applied to the 140), since the mover electrode 140 and the substrate 150 are connected to the same electrode, a pushing force is generated. That is, the lifter is generated in the mover electrode 140.

또한, 이동자 전극(120)의 각각에서 발생된 수직력을 통합하기 위해 이동자 전극(140)의 각각의 상부에는 지지대(130)가 설치된다.In addition, in order to integrate the vertical force generated in each of the mover electrode 120, the support 130 is installed on each upper portion of the mover electrode 140.

이와 같은 빗살형 정전구동기는 모든 구조를 MEMS(micro - electro - mechanical systems)공정에 의해 제작하므로 고정자 전극(120) 및 이동자 전극(140)사이의 간격이 불과 수 μm( 10-6 m)이하로 제작가능하게 된다.Since the comb-type electrostatic actuator is manufactured by a micro-electro-mechanical systems (MEMS) process, the spacing between the stator electrode 120 and the mover electrode 140 is only a few μm ( 10 -6 m) It becomes possible to manufacture below.

한편, 프린터 헤드부(200)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 헤드 몸체(210)의 일측부에 잉크 유입구(212)가 형성되고, 다이어프램(220)이 정전구동기(100)의 이동자 전극(140)의 이동에 따라 변위가 발생하고, 잉크분사판(230)에 잉크 분사노즐(232)이 형성되어, 내부에 압력챔버(240)가 형성되어 있다.On the other hand, the printer head portion 200, as shown in Figure 2, the ink inlet 212 is formed on one side of the head body 210, the diaphragm 220 is a mover electrode of the electrostatic driver 100 ( A displacement occurs as the movement of the 140 occurs, and an ink jet nozzle 232 is formed in the ink jet plate 230, and a pressure chamber 240 is formed therein.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드는 고정자전극(120) 및 이동자 전극(140)에 전압이 인가되면, 이동자 전극(140)과 기판(150)이 같은 전극으로 연결되어 있기 때문에, 서로 밀치는 작용력이 발생한다. 즉, 이동자 전극(140)에 부양력이 발생된다. 이 결과 이동자 전극(140)에서 발생된 힘을 통합하도록 이동자 전극(140)을 지지하고 있는 지지대(130)에 연결된 다이어프램(220)에 압력이 가해지게 되어, 압력챔버(240)에 채워져 있는 잉크가 잉크분사판(230)의 잉크 분사노즐(232)을 통해 분사된다. 이동자 전극(140)가 원래의 위치로 복원되면, 잉크공급원(도시하지 않음)으로부터 잉크 유입구(212)를 통해 잉크가 공급되어 압력챔버(240)내에 채워진다.In the electrostatically driven inkjet printer head according to the present invention configured as described above, when a voltage is applied to the stator electrode 120 and the mover electrode 140, the mover electrode 140 and the substrate 150 are connected to the same electrode. The pushing force is generated. That is, the lift force is generated in the mover electrode 140. As a result, pressure is applied to the diaphragm 220 connected to the support 130 supporting the mover electrode 140 so as to integrate the force generated by the mover electrode 140, so that the ink filled in the pressure chamber 240 It is injected through the ink jet nozzle 232 of the ink jet plate 230. When the mover electrode 140 is restored to its original position, ink is supplied from the ink supply source (not shown) through the ink inlet 212 and filled in the pressure chamber 240.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드는 정전구동기의 고정자 및 이동자 전극사이의 간격이 불과 수 μm( 10-6 m)이하이므로, 프린터 헤드의 노즐 한 개에 대한 압력챔버 및 다이아프램 등을 구성하는 프린터 헤드부의 크기를 수백 μm로 제작가능하게 되므로, 전체적인 헤드구조를 간단하게 하고, 정전력이 수직방향으로 발생되므로, 발생되는 변위를 크게할 수 있는 이점을 가진다.As described above, the electrostatically-driven inkjet printer head of the present invention has only a few μm of spacing between the stator and the mover electrode of the electrostatic actuator. 10 -6 m) or less, so that the size of the print head portion constituting the pressure chamber and diaphragm for one nozzle of the print head can be manufactured to several hundred μm, simplifying the overall head structure and generating the electrostatic force in the vertical direction. Therefore, there is an advantage that can increase the displacement generated.

Claims (4)

정전구동형 잉크젯 프린터 헤드에 있어서,In the electrostatically driven inkjet printer head, (+)전극에 연결된 복수개의 고정자 전극(120)과, 상기 고정자 전극(120)의 사이에서 접지(110)에 연결된 복수개의 이동자 전극(140)과, 상기 접지에 연결된 기판(150)으로 이루어진 정전구동기(100)와,A static electricity consisting of a plurality of stator electrodes 120 connected to a positive electrode, a plurality of mover electrodes 140 connected to the ground 110 between the stator electrodes 120, and a substrate 150 connected to the ground. The driver 100, 헤드 몸체(210)의 일측부에 잉크 유입구(212)가 형성되고, 다이어프램(220)이 상기 정전구동기(100)의 이동자 전극(140)의 이동에 따라 변위가 발생하고, 잉크분사판(230)에 잉크 분사노즐(232)이 형성되어, 내부에 압력챔버(240)가 형성된 프린터 헤드부(200)로 구성되어,An ink inlet 212 is formed at one side of the head body 210, the diaphragm 220 is displaced according to the movement of the mover electrode 140 of the electrostatic driver 100, and the ink jet plate 230 is formed. An ink jetting nozzle 232 is formed in the printer head 200, and a pressure chamber 240 is formed therein. 상기 정전구동기(100)의 고정자 및 이동자 전극(120)(140)에 전압을 인가하면, 상기 이동자 전극(140)과 기판(150)이 같은 전극으로 연결되어 있기 때문에, 서로 밀리치는 작용력에 의해 상기 프린터 헤드부(200)에 압력을 가함으로서, 상기 압력챔버(240)내의 잉크를 상기 잉크 분사판(230)의 잉크 분사노즐(232)을 통해 분사하고, 상기 정전구동기(100)의 복원에 의해 상기 잉크 유입구(212)를 통해 잉크가 유입되어 상기 압력챔버(240)에 채워지는 것을 특징으로 하는 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드.When voltage is applied to the stator and the mover electrodes 120 and 140 of the electrostatic driver 100, since the mover electrode 140 and the substrate 150 are connected to the same electrode, By applying pressure to the printer head 200, the ink in the pressure chamber 240 is injected through the ink jetting nozzle 232 of the ink jetting plate 230, and by restoring the electrostatic driver 100 Electrostatically-driven inkjet printer head, characterized in that the ink is introduced through the ink inlet 212 is filled in the pressure chamber (240). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동자 전극(120)의 각각의 상부에는 지지대(130)가 설치되어 상기 다이어프램(220)에 연결되어 상기 이동자 전극(120)의 각각에서 발생된 수직력을 통합하는 것을 특징으로 하는 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드.A support 130 is installed on each of the mover electrodes 120 and is connected to the diaphragm 220 to integrate the vertical force generated in each of the mover electrodes 120. head. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정전구동기(100)의 이동자 전극(120) 및 고정자 전극(140)은 다결정실리콘과 같은 전도성 물질로 만들어지는 것을 특징으로 하는 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드.The mover electrode 120 and the stator electrode 140 of the electrostatic driver 100 are made of a conductive material such as polysilicon, characterized in that the electrostatically driven inkjet printer head. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정전구동기(100)는 모든 구조를 MEMS(micro - electro - mechanical systems)공정에 의해 제작하는 것을 특징으로 하는 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드.The electrostatic driver 100 is a electrostatically-driven inkjet printer head, characterized in that all structures are manufactured by a MEMS (micro-electro-mechanical systems) process.
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