KR100240264B1 - Airfilter,method of manufacturing air filter,local facility,clean room and method of manufacturing filter medium - Google Patents

Airfilter,method of manufacturing air filter,local facility,clean room and method of manufacturing filter medium Download PDF

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Abstract

에어필터의 여과재, 및 이것과 프레임과의 사이를 밀봉하는 시일재로서, 사용 시에 가스형태 유기물을 발생하지 않는 것을 이용한다. 구체적으로는, 섬유를 직물형상의 여과재로 형성하기 위한 처리제에 함유되는 비실리콘계 발수제로서, 탄소 수 19이하의 지방족 탄화수소를 함유하지 않는 합성파라핀을 사용한다. 상기 처리제 및 시일재에 첨가하는 가소재로서 분자량 400이상인 카르본산에스테르 등을, 산화방지제로서 분자량 300이상의 페놀계 화합물을 사용한다. 이에 의해 크린룸 내내 반도체 제조장치 내 등에 가스형태 유기물을 존재시키지 않도록 할 수가 있다.As a filter material of an air filter and the sealing material which seals between this and a frame, what does not generate gaseous organic substance at the time of use is used. Specifically, synthetic paraffin containing no aliphatic hydrocarbons having 19 or less carbon atoms is used as the non-silicone water repellent agent contained in the treatment agent for forming the fibers into a woven filter material. A phenolic compound having a molecular weight of 300 or more is used as an antioxidant as a carboxylic acid ester having a molecular weight of 400 or more as a plastic material to be added to the treatment agent and the sealing material. As a result, gaseous organic substances can be prevented from being present in the semiconductor manufacturing apparatus or the like throughout the clean room.

Description

[발명의 명칭][Name of invention]

에어필터, 에어필터의 제조방법, 국소설비, 크린룸, 및 여과재의 제조방법Air filter, manufacturing method of air filter, local equipment, clean room, and manufacturing method of filter medium

[기술분야][Technical Field]

본 발명은, 반도체, 식품, 의약품, 바이오 테크놀로지 관련의 공장이나 연구소등에서 이용되고 있는 크린룸에 사용되는 에어필터와, 그 제조방법, 해당 에어필터를 구비한 국소설비 및 크린룸 등에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air filter for use in a clean room used in semiconductors, foods, pharmaceuticals, biotechnology-related factories and research institutes, a manufacturing method thereof, a local facility equipped with the air filter, a clean room and the like.

[배경기술][Background]

종래로부터, 반도체, 식품, 의약품, 바이오테크놀로지 관련의 공장이나 연구소등에서 사용되고 있는 크린룸에 있어서는, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집(浦集)하는 건식 에어필터를 공기도입경로에 설치하여, 이것을 통과한 공기를 실내로 도입하고 있다.Conventionally, in clean rooms used in semiconductors, foods, pharmaceuticals, biotechnology-related factories and research institutes, a dry air filter for collecting suspended particulate matter in the air is provided in the air introduction path, Air is introduced into the room.

현재의 크린룸에서 사용되고 있는 에어필터로서는, 유리섬유를 여과재로 사용한 ULPA(Ultra Low Penetraton Air의 약어)필터나 HEPA(High Efficiency Particle Air의 약어)가 있으며, 이들 필터가 진애(疹埃)의 제거라는 점에서는 우수한 필터이며, 예를 들어 ULPA필터에서는 0.1㎛의 미립자도 제거가능하다.Air filters currently used in clean rooms include ULPA (abbreviation of Ultra Low Penetraton Air) filter and HEPA (abbreviation of High Efficiency Particle Air) using glass fiber as a filter medium. It is an excellent filter in that it can remove the microparticles | fine-particles of 0.1 micrometer, for example in a ULPA filter.

또 에어필터에서 무기물질이 발생하지 않도록, 유리섬유가 아닌 불소수지계나 석영계의 섬유를 여과재에 사용한 비유리계필터도 개발되고 있다.In addition, non-glass filters have been developed that use fluorine resin-based or quartz-based fibers for the filter medium, rather than glass fibers, to prevent inorganic substances from occurring.

최근에는, 반도체의 고집적도화에 따라서, 크린룸 내의 공기에는 진애 뿐 아니라 가스형태 유기물의 확산이 문제로 여겨지게 되었다. 즉 크린룸 내에서 반도체기판(실리콘 웨이퍼)의 표면에 유기물이 흡착하여, 소자특성이 열화(劣化)하는 것이 지적받게 되었다[예를 들면, 후지이 : 「가스형태 오염물과 그 제거 대책의 현상」공기청정, vol.32, No. 3, P.43(1994)(사)일본 공기청정협회 발행].In recent years, with the higher integration of semiconductors, the diffusion of gaseous organic matter as well as dust has become a problem in the air in the clean room. In other words, it is pointed out that organic matter is adsorbed on the surface of a semiconductor substrate (silicon wafer) in a clean room, and device characteristics deteriorate. [For example, Fujii: "Phenomena of gaseous contaminants and their removal measures" , vol. 32, No. 3, p. 43 (1994) issued by Japan Air Cleaning Association].

또, 반도체 제조공정에 있어서, 실리콘 웨이퍼에 P(인)을 도핑하여 n형 반도체가, B(붕소)를 도핑하여 p형 반도체가 얻어지는 것은 잘 알려져 있으나, 인화합물이나 붕소화합물이 크린룸 내의 공기 중에 잔존하고 있으면, 불필요한 도핑이 이루어질 우려가 있으므로, 특히 이들의 성분을 크린룸 내의 공기로부터 제거할 필요가 있다.In the semiconductor manufacturing process, it is well known that an n-type semiconductor is doped with a silicon wafer and a n-type semiconductor is doped with a B (boron) to obtain a p-type semiconductor. However, phosphorus compounds and boron compounds are contained in the air in the clean room. If it remains, there is a possibility that unnecessary doping may occur, and therefore, it is particularly necessary to remove these components from the air in the clean room.

본 발명은, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 공기중의 부유입자형상 물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 크린룸 내부나 반도체 제조장치 내부 등에 가스 형태유기물을 존재시키지 않도록 할 수가 있는 것, 그를 위한 에어필터의 제조방법, 및 여과재의 제조방법, 또한 가스형태 유기물이 존재하지 않는 크린룸 및 반도체 제조장치 등의 국소설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and in the air filter for collecting the suspended particulate matter in the air, it is possible to prevent the gaseous organic matter from being present inside the clean room or the semiconductor manufacturing apparatus. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an air filter, a method for producing a filter medium, and a local facility such as a clean room and a semiconductor manufacturing apparatus in which no gaseous organic substance is present.

[발명의 개시][Initiation of invention]

본 발명자들은, 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토를 거듭한 결과, 크린룸이나 반도체 제조장치 등의 국소설비 내에 가스형태 유기물이 존재하는 주된 원인은, 공기도입경로에 설치되는 에어필터와 이 에어필터를 천장 등의 개구부에 부착하기 위해 끼우는 가스켓에 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성시켰다.The present inventors have diligently studied to achieve the above object, and as a result, the main reason for the presence of gaseous organic substances in local facilities such as clean rooms and semiconductor manufacturing apparatuses is to provide the air filter installed in the air introduction path and the air filter. The present invention has been completed by finding a gasket fitted to attach to an opening such as a ceiling.

즉, 본 발명자들의 연구에 의해, 상기 종래의 에어필터에서는, 고리형상 실록산류, 카르본산 에스테르류, 인산 에스테르류, 탄화수소류, 페놀류 등의 가스형태 유기물이 발생하는 것을 판명하고, 이들의 유기물은, 섬유를 직물형상의 여과재로 형성할 때에 해당 섬유간에 스며들게 한 처리제(섬유를 결합하기 위한 바인더, 진애의 포집효과를 개량하기 위한 발수제, 및 가소제나 산화방지제를 포함)나, 여과재가 유리섬유인 경우에는 섬유에 부착되어 있는 실리콘 오일(이것은 유리섬유 방사시의 강화재로, 여과재의 발수제로서도 작용함) 및 여과재와 프레임을 접착하는 시일재로부터 발생하는 것을 알 수 있었다. 또, 상기 가스켓으로서 종래에 사용되고 있는 고무부재로부터도 유기물이 높은 비율로 검출되는 것을 알 수 있었다.That is, according to the researches of the present inventors, it has been found that in the conventional air filter, gaseous organic substances such as cyclic siloxanes, carboxylic acid esters, phosphate esters, hydrocarbons and phenols are generated, and these organic substances are When the fiber is formed into a fabric-like filter medium, a treatment agent (including a binder for binding the fiber, a water repellent agent for improving the trapping effect of dust, and a plasticizer or an antioxidant) that impregnates the fiber, or the filter medium is glass fiber. In this case, it was found that silicone oil adhering to the fiber (this is a reinforcing material at the time of spinning of fiberglass, also acts as a water repellent of the filter material), and a sealing material adhering the filter material and the frame. Moreover, it turned out that organic substance is detected by a high ratio also from the rubber member conventionally used as said gasket.

구체적으로, 종래의 처리제 중의 발수제(비실리콘계)의 주성분은 유동파라핀(탄소수 12~18의 지방족 탄화수소)이며, 가소제나 산화방지제로서는 비교적 저분자량의 것이 함유되어 있는 것을 알 수 있었다.Specifically, it was found that the main component of the water repellent agent (non-silicone) in the conventional treatment agent is a liquid paraffin (aliphatic hydrocarbon having 12 to 18 carbon atoms), and a relatively low molecular weight one is contained as a plasticizer or an antioxidant.

또, 상기 시일재로서는 폴리우레탄계 또는 에폭시계 수지를 주성분으로 한 것이 사용되고 있는데, 2액형의 폴리우레탄수지인 경우에는, 경화반응 후에 잔존하는 주제(主劑)인 이소시아네이트가 유기물 오염원이 되고, 2액형의 에폭시계 수지인 경우에는, 경화제로서 사용되고 있는 아민화합물이 유기물 오염원이 된다는 것을 알았다. 또 이들의 시일재에 함유되어 있는 가소제나 산화방지제도 비교적 저분자량이라는 것을 알 수 있었다.As the sealant, polyurethane or epoxy resins are used as the main component. In the case of a two-component polyurethane resin, the main isocyanate remaining after the curing reaction becomes an organic contaminant and is a two-component type. In the case of the epoxy resin of the present invention, it was found that the amine compound used as the curing agent becomes the source of organic contamination. It was also found that the plasticizers and antioxidants contained in these sealing materials were relatively low molecular weight.

이러한 지식에 의거하여, 본 발명은 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되어, 공기 중의 부유입자형상 물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 여과재 및 시일재 중 한쪽 또는 양쪽이 사용 시에 가스형태 유기물을 발생하지 않는 것인 것을 특징으로 하는 에어필터를 제공한다.Based on this knowledge, the present invention is composed of a filter medium formed by treating a fiber with a treatment agent, and formed into a fabric shape, a frame in which the filter medium is placed, and a sealing material sealing the space between the frame and the filter medium, and having a floating particle shape in the air. An air filter for collecting a substance, wherein one or both of the filter medium and the seal material do not generate gaseous organic substances in use.

또, 본 발명은 상기 처리제 및 시일재에 관한 하기의 (a)~(c), (e)~(g)의 한정 중에서 어느 하나를 만족하고 있는 것을 특징으로 하는 에어필터를 제공한다.Moreover, this invention provides the air filter characterized by satisfy | filling any one of the following limitations of (a)-(c), (e)-(g) regarding the said processing agent and sealing material.

(a) 상기 처리제에 함유되는 비실리콘계 발수제의 주성분이 탄소수 20이상인 지방족 탄화수소 및 탄소수 18이상인 고급 알콜 중의 한쪽 또는 양쪽이다.(a) The main component of the non-silicone water repellent agent contained in the treatment agent is one or both of an aliphatic hydrocarbon having 20 or more carbon atoms and a higher alcohol having 18 or more carbon atoms.

(b) 상기 처리제에 함유되는 가스제의 주성분이 분자량 400이상인 카르본산 에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중 1 또는 2이상이다.(b) The main component of the gas agent contained in the said processing agent is 1 or 2 or more of the carboxylic acid ester, polyester, and epoxy type compound whose molecular weight is 400 or more.

(c) 상기 처리제에 함유되는 산화방지제의 주성분이 분자량 300이상인 페놀계 화합물이다.(c) The main component of the antioxidant contained in the said processing agent is a phenol type compound whose molecular weight is 300 or more.

(e) 상기 시일재에 함유되는 가소제의 주성분이 분자량 400이상인 카르본산 에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중의 1 또는 2 이상이다.(e) The main component of the plasticizer contained in the said sealing material is 1 or 2 or more in the carboxylic acid ester, polyester, and epoxy type compound whose molecular weight is 400 or more.

(f) 상기 시일재에 함유되는 산화방지제의 주성분이 분자량 300이상인 페놀계 화합물이다.(f) The main component of antioxidant contained in the said sealing material is a phenol type compound whose molecular weight is 300 or more.

(g) 상기 시일재에 함유되는 윤활제의 주성분이 탄소수 20이상인 지방족 탄화수소 및 탄소수 18이상인 고급 알콜 중의 한쪽 또는 양쪽이다.(g) The main component of the lubricant contained in the sealant is one or both of aliphatic hydrocarbons having 20 or more carbon atoms and higher alcohols having 18 or more carbon atoms.

또, 본 발명은 상기 처리제 및 시일제에 관하여, 상기 (b), (c), (e), (f)에서 한정되는 가소제 및 산화방지제를 선택 사용하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법을 제공한다.Moreover, this invention uses the plasticizer and antioxidant which are defined in said (b), (c), (e), (f) with respect to the said processing agent and sealing compound, The manufacturing method of the air filter characterized by the above-mentioned. to provide.

여기서, (a)의 비실리콘계 발수제의 주성분 및 (g)의 윤활제의 주성분이 탄소수 19 이하인 지방족 탄화수소 및 탄소수 17이하인 고급알콜이라면, 온도 23℃습도 30~40%로 관리되며, 에어필터를 통과하는 공기의 유속이 0.3~0.4m/s정도인 통상의 크린룸에서는, 에어필터를 통과하는 공기에 동반되어 이들의 가스형태물이 크린룸 내의 공기 중에 존재하게 되지만, 20이상인 지방족 탄화수소 및 탄소수 18이상인 고급알콜을 사용하면, 이들의 가스형태 물을 크린룸내의 공기중에 존재하지 않는다.Here, if the main components of the non-silicone water-repellent agent of (a) and the main components of the lubricant of (g) are aliphatic hydrocarbons having 19 or less carbon atoms and higher alcohols having 17 or less carbon atoms, the temperature is controlled at 23 ° C humidity 30 to 40%, and passes through the air filter. In a typical clean room where the air flow rate is about 0.3 to 0.4 m / s, aliphatic hydrocarbons having 20 or more and higher alcohols having 18 or more carbon atoms are present in the air in the clean room, accompanied by air passing through the air filter. Using these, these gaseous waters are not present in the air in the clean room.

또, (b) 및 (e)의 가소제의 주성분이 분자량 400미만인 프탈산디부틸(분자량 278)이나 프탈산디옥틸(분자량391)이나 아디핀산 디-2-에틱헥실(분자량 371)이라면, 상기 통상의 크린룸에서는, 에어필터를 통과하는 공기에 동반되어 이들의 가스형태물이나 크린룸 내의 공기 중에 존재하지만, 분자량 400이상인 것을 사용하면, 이들의 가스형태물은 크린룸내의 공기중에 존재하지 않는다.Moreover, if the main components of the plasticizer of (b) and (e) are dibutyl phthalate (molecular weight 278), dioctyl phthalate (molecular weight 391), and di-2-ethoxyhexyl adipic acid (molecular weight 371) which are less than 400 molecular weight, In a clean room, it is accompanied by the air which passes through an air filter, and exists in these gaseous substances or air in a clean room, However, when the molecular weight 400 or more is used, these gaseous substances do not exist in the air in a clean room.

또, (c) 및 (f)의 상기 산화방지제의 주성분이 분자량 300미만인, 2.6-디-t-부틸-p-크레졸(분자량 220.4)이라면, 상술한 통상의 크린룸에서는, 에어필터를 통과하는 공기에 동반되어 이들의 가스 형태물이 크린룸 내의 공기 중에 존재하게 되지만, 분자량 300이상인 것을 사용하면, 이들의 가스형태물은 크린물 내의 공기 중에 존재하지 않는다.Moreover, if the main component of the said antioxidant of (c) and (f) is 2.6-di-t- butyl-p-cresol (molecular weight 220.4) whose molecular weight is less than 300, the air which passes through an air filter in the above-mentioned normal clean room While these gaseous forms are present in the air in the clean room, when using a molecular weight of 300 or more, these gaseous forms are not present in the air in the clean water.

(a) 및 (g)의 구체예로서는, 마이크로 크리스탈린 왁스, 천연파라핀, 합성파라핀, 폴리올레핀왁스, 탄소수 18, 20, 24의 분기알콜, 및 올레일알콜 중의 적어도 어느 하나를 들 수 있다.Specific examples of (a) and (g) include at least one of microcrystalline wax, natural paraffin, synthetic paraffin, polyolefin wax, branched alcohol having 18, 20 and 24 carbon atoms, and oleyl alcohol.

(b) 및 (e)의 구체예로서는 프탈산 이소노닐(분자량 418), 프탈산 옥틸데실(분자량 419), 프탈산 디이소데실(분자량 447), 프탈산 라우릴(분자량 501), 프탈산 미리스틸릴(분자량 530), 아제라인산 디-2-에틸헥실(분자량 413), 세바틴산 디-2-에틸헥실(분자량 427), 트리메릿트산 트리스-2-에틸헥실(분자량 547), 트리메릿트산 트리옥틸(분자량 547), 트리메릿트산 트리노닐(분자량 570), 트리메릿트산 트리데실(분자량 612), 아디핀산 또는 아제라인산 또는 세바틴산 또는 프탈산과 글리콜 또는 글리세린과의 증축합에 의해 얻어지는 폴리에스테르(분자량 3000~8000), 에폭시 지방산 에스테르(분자량 400~500) 및 에폭시화 오일(분자량 약 1000)을 들 수 있다.Specific examples of (b) and (e) include isononyl phthalate (molecular weight 418), octyldecyl phthalate (molecular weight 419), diisodecyl phthalate (molecular weight 447), lauryl phthalate (molecular weight 501), and myristyl phthalate (molecular weight 530). ), Di-2-ethylhexyl (molecular weight 413), azeline acid di-2-ethylhexyl (molecular weight 427), trimellitic acid tris-2-ethylhexyl (molecular weight 547), trimethyl trioxide (molecular weight 547) ), Polyesters obtained by the condensation of trimellitic acid trinonyl (molecular weight 570), trimellitic acid tridecyl (molecular weight 612), adipic acid or azeline acid or sebacic acid or phthalic acid with glycol or glycerin (molecular weight 3000 to 8000 ), An epoxy fatty acid ester (molecular weight 400 to 500) and an epoxidized oil (molecular weight about 1000).

(c) 및 (f)의 구체예로서는 스테아릴-β-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트(분자량 520.9), 2,2'-메틸렌-비스-(4-메틸-6-t-부틸페놀)(분자량 340.5), 2,2'-메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀(분자량 368,54), 4,4'-티오비스-(3-메틸-6-t-부틸페놀)(분자량 358.5), 4,4'-부틸리덴-비스-(3-메틸-6-t-부틸페놀)(분자량 382.6), 1,1,3,-트리스-(2-메틸-4-히드록시-5-t-부틸페닐)부탄(분자량 544.8), 1,3,5-트리메틸-2,4,6-트리스-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시벤질)벤젠(분자량 775.2), 테트라키스[메틸렌-3-(3',5'-디-t-부틸-4'-히드록시페닐)프로피오네이트]메탄(분자량 1177.7), 비스-[3,3'-비스-(4'-히드록시-3'-t-부틸페닐)부틸릭크아시드]글리콜에스테르(분자량 1177.7) 및 토코페놀(분자량 794.4)을 들 수 있다.Specific examples of (c) and (f) include stearyl-β- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate (molecular weight 520.9), 2,2'-methylene-bis- ( 4-Methyl-6-t-butylphenol) (molecular weight 340.5), 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol (molecular weight 368,54), 4,4'-thiobis -(3-methyl-6-t-butylphenol) (molecular weight 358.5), 4,4'-butylidene-bis- (3-methyl-6-t-butylphenol) (molecular weight 382.6), 1,1, 3, -tris- (2-methyl-4-hydroxy-5-t-butylphenyl) butane (molecular weight 544.8), 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris- (3,5-di -t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene (molecular weight 775.2), tetrakis [methylene-3- (3 ', 5'-di-t-butyl-4'-hydroxyphenyl) propionate] methane ( Molecular weight 1177.7), bis- [3,3'-bis- (4'-hydroxy-3'-t-butylphenyl) butylic acid] glycol ester (molecular weight 1177.7) and tocophenol (molecular weight 794.4) have.

또한, 본 발명자들은, 유기물은 분자량이 커질수록 휘발성이 저하하고 흡착성은 커지지만, 분자량이 소정 값 이상이 되면 실리콘 웨이퍼로의 흡착량은 작아져 수렴하는 것, 및 상기 소정 값은 분자구조에 따라서 다르다는 것을 발견하고, 상기(a)~(c) 및 (e)~(g)에 있어서의 수치한정은, 각각 대상이 되는 다수의 물질에 관하여 실험을 행한 결과에 의거하여 설정하였다.In addition, the inventors of the present invention found that, as the molecular weight increases, the volatility of the organic substance decreases and the adsorptivity increases, but when the molecular weight exceeds a predetermined value, the amount of adsorption onto the silicon wafer decreases and converges, and the predetermined value depends on the molecular structure. It discovered that it was different, and the numerical limitation in said (a)-(c) and (e)-(g) was set based on the result of having experimented about the several target object, respectively.

또, 발명의 에어필터는 상기 (a)~(c) 및 (e)~(g)의 한정의 적어도 어느 하나를 충족하는 것이면 좋으나 이들의 전부를 충족하는 것이라면, 에어필터의 모든 구성재료로부터 가스형태 유기물이 발생하지 않으므로 바람직하다.In addition, the air filter of the present invention may satisfy at least one of the above limitations of (a) to (c) and (e) to (g). Form organics are preferred since they do not occur.

구체적으로는, 비실리콘계 발수제의 주성분이 마이크로 크리스탈린 왁스이며, 비실리콘계 발수제에 포함되는 가스제의 주성분이 트리리메릿트산-트리-2-에틸헥실이고, 비실리콘계 발수제에 함유되는 산화방지제의 주성분이 2,2'-메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀)이며, 시일재에 함유되는 가소제의 주성분이 세바틴산 디-2-에틸헥실이고, 시일재에 함유되는 산화방지제의 주성분이 2, 2' - 메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀)이며, 시일재에 함유되는 윤활제의 주성분이 합성파라핀인 것이 바람직하다.Specifically, the main component of the non-silicone water-repellent agent is microcrystalline crystalline wax, the main component of the gas agent contained in the non-silicone-based water repellent agent is trilimeric acid-tri-2-ethylhexyl, and the main component of the antioxidant contained in the non-silicone water-repellent agent. Antioxidant which is 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol), and the main component of the plasticizer contained in a sealing material is di-2-ethylhexyl sebatinate, and is contained in a sealing material It is preferable that the main component of is 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol), and the main component of the lubricant contained in a sealing material is synthetic paraffin.

또, 본 발명은 상기 (a)~(c) 및 (e)~(g)의 한정의 적어도 어느 하나를 만족함과 동시에, 상기 시일재의 주성분이 이소시아네이트로 이루어지는 주제와 경화제와의 반응에서 형성되는 2액형의 폴리우레탄수지이며, 경화제인 활성수소의 당량이 주제인 이소시아네이트기의 당량보다 많고, 또한 인산 에스테르를 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 에어필터를 제공한다. 이 에어필터에서는 시일재의 경화반응 후에 주제인 이소시아네이트가 잔존하지 않기 때문에, 이소시아네이트 및 이소시아네이트가 공기중의 수분과 반응하여 생기는 디아민이 발생하지 않음과 동시에 인산 에스테르가 발생하지 않으므로, 시일재로부터의 가스형태의 유기물 발생이 더욱 억제된다.In addition, the present invention satisfies at least one of the limitations of the above (a) to (c) and (e) to (g), and at the same time, the main component of the sealing material is formed by the reaction between the main component of the isocyanate and the curing agent. An air filter comprising a liquid polyurethane resin, wherein the equivalent amount of active hydrogen as a curing agent is more than the equivalent of the main isocyanate group, and does not contain a phosphate ester. In this air filter, since the main isocyanate does not remain after the curing reaction of the sealing material, the diamine produced by the isocyanate and isocyanate reacting with the moisture in the air does not occur and the phosphate ester does not occur. The generation of organic matter is further suppressed.

또, 본 발명은, 상기 (a)~(c) 및 (e)~(g)의 한정의 적어도 어느 하나를 만족함과 동시에, 상기 시일재의 주성분이 주제와 경화제와의 반응으로 형성되는 2액형의 에폭시수지이며, 경화제가 산성 또는 중성인 것을 특징으로 하는 에어필터를 제공한다. 이 에어필터에서는 시일제의 경화제로서 염기성의 아민화합물을 함유하지 않으므로, 해당 시일제로부터의 가스형태유기물의 발생이 더욱 억제된다.In addition, the present invention satisfies at least one of the limitations of the above (a) to (c) and (e) to (g), and is a two-component type in which the main component of the sealing material is formed by the reaction between the main component and the curing agent. It is an epoxy resin and provides an air filter, wherein the curing agent is acidic or neutral. Since this air filter does not contain a basic amine compound as a hardening | curing agent of a sealing compound, generation | occurrence | production of the gaseous organic substance from this sealing compound is further suppressed.

또, 본 발명은 상기 (a)~(c) 및 (e)~(g)의 한정의 적어도 어느 하나를 만족함과 동시에, 상기 시일제의 주성분이 주제와 경화제와의 반응으로 형성되는 2액형의 에폭시수지로서, 경화제는 아민계이며, 잔존 아민 저감수단이 설비되어 있는 것을 특징으로 하는 에어필터를 제공한다.In addition, the present invention satisfies at least one of the limitations of the above (a) to (c) and (e) to (g), and is a two-component type in which the main component of the sealing agent is formed by the reaction between the main agent and the curing agent. As an epoxy resin, the hardening | curing agent is amine type and the air filter provided with the residual amine reducing means is provided.

상기 잔존 아민 저감수단으로서는, 아민당량이 에폭시 당량보다 약간 낮아지도록 배합하여 경화시키므로서, 경화 후에 잔존 아민이 생기지 않도록 하거나, 경화 후의 수지를 가열함으로서 잔존 아민을 휘발시키는 것을 예로 들 수 있다.As said residual amine reducing means, an amine equivalent is compounded so that it may become slightly lower than an epoxy equivalent, and hardened | cured, for example, to prevent a residual amine after hardening, or to volatize a residual amine by heating resin after hardening.

또, 본 발명은, 상기 (a)~(c) 및 (e)~(g)의 한정의 적어도 어느 하나를 만족함과 동시에, 상기 여과재는 실리콘 오일이 부착된 유리섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성되는 것이며, 해당 실리콘 오일은 규소 수 10 이하의 고리형상 실록산을 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 에어필터를 제공한다. 규소 수 10이하의 고리형상 실록산은 실리콘 웨이퍼에 매우 흡착되기 쉬우므로, 이 필터는 특히 반도체 제조용의 크린룸용 에어필터로서 적합하다.In addition, the present invention satisfies at least one of the limitations of (a) to (c) and (e) to (g), and the filter medium is formed into a fabric by treating a glass fiber with silicone oil with a treatment agent. It is to be formed, the silicone oil provides an air filter, characterized in that it does not contain a cyclic siloxane of silicon number 10 or less. Since the cyclic siloxane of silicon number 10 or less is easy to adsorb | suck to a silicon wafer, this filter is especially suitable as an air filter for clean rooms for semiconductor manufacture.

또, 본 발명은 실리콘 오일을 유리섬유에 부착시키는 제1 공정과, 해당 제1 공정의 후에 해당 유리섬유를 처리제로 처리하여 직물형상의 여과재를 형성하는 제2 공정을 포함하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 제1 공정 후의 유리섬유를 청정한 공기 기류하에서 가열처리하고, 해당 유리섬유에 부착되어 있는 실리콘 오일로부터 규소 수 10이하의 실록산을 충분히 제거한 후에, 가스 형태 유기물을 발생시키지 않는 처리제로 처리하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method for producing an air filter comprising a first step of attaching a silicone oil to a glass fiber and a second step of treating the glass fiber with a treating agent after the first step to form a fabric-like filter medium. The glass fiber after the said 1st process is heat-processed under the clean air stream, and after removing enough siloxane of 10 or less silicon from the silicone oil adhering to this glass fiber, it is processed with the processing agent which does not generate | occur | produce a gaseous organic substance. It provides a method of manufacturing an air filter, characterized in that.

이 방법은, 상기 에어필터를 제조하기 위한 하나의 방법으로, 실리콘 오일이 부착되어있는 유리섬유를 밀폐용기 내에 넣고, 예를 들면 120℃에서 수시간 가열함으로서, 해당 실리콘 오일에 포함되는 규소 수 10이하의 실록산을 충분히 제거할 수가 있다.This method is a method for producing the air filter, by placing the glass fiber with the silicone oil in a sealed container, for example, by heating for several hours at 120 ℃, the number of silicon contained in the silicone oil 10 The following siloxane can be fully removed.

또, 본 발명은, 실리콘 오일을 유리섬유에 부착시키는 제1 공정과, 해당 제1 공정의 후에 해당 유리섬유를 처리제로 처리하여 직물형상의 여과재를 형성하는 제2 공정을 포함하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 제1 공정에서 사용하는 실리콘 오일로서, 규소 수 10 이하의 고리형상 실록산이 제거된 것을 이용하여, 가스형태 유기물을 발생시키지 않는 처리제로 처리하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법을 제공한다.Moreover, this invention manufactures the air filter containing the 1st process of sticking a silicone oil to glass fiber, and the 2nd process of processing the glass fiber with a processing agent after this 1st process, and forming a fabric-shaped filter medium. A method of manufacturing an air filter, characterized in that the silicone oil used in the first step is treated with a treatment agent that does not generate gaseous organic substances by using a cyclic siloxane having a silicon number of 10 or less. To provide.

이 방법은, 상기 에어필터를 제조하기 위한 하나의 방법으로, 예를 들면 진공상태(가령 진공도 5mHg)에서 200℃로 가열하는 것에 의해 저비점성분을 제거함으로써, 실리콘 오일에 함유되는 규소 수 10이하의 실록산을 충분히 제거할 수가 있다.This method is one method for producing the air filter, for example, by removing the low boiling point component by heating to 200 ° C. in a vacuum state (for example, a vacuum degree of 5 mHg), so that the number of silicon contained in the silicone oil is 10 or less. The siloxane can be sufficiently removed.

또, 본 발명은 상술한 각 에어필터 중의 어느 하나를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 크린룸을 제공한다.Moreover, this invention provides the clean room characterized by including any one of each air filter mentioned above.

또, 본 발명은 상술한 각 에어필터 중의 어느 하나를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 국소설비를 제공한다. 상기 국소설비란 예를 들어 국소적으로 청정도를 높게 하고 싶은 장소에 설치되는 크린부스나, 소정의 청정도를 요구하는 생산설비, 예를 들면 반도체 제조장치 등의 것을 의미한다.In addition, the present invention provides a local facility comprising any one of the air filters described above. The local equipment means, for example, a clean booth installed at a place where the cleanliness is to be locally increased, a production equipment requiring a predetermined cleanliness, for example, a semiconductor manufacturing apparatus.

또, 본 발명은 벽 및 바닥을, 파지앤드트랩법에 의한 가스형태 유기물의 발생량이 1g당50μg 이하인 건축재료로 구축함과 동시에, 상기 각 에어필터의 어느 하나를, 해당 에어필터와 그 부착용의 개구부와의 사이에, 파지앤드트랩법에 의한 가수형태 유기물의 발생량이 1g당 50μg이하인 가스켓을 끼워서 부착한 것을 특징으로 하는 크린룸을 제공한다.In addition, the present invention constructs a wall and a floor with a building material in which the amount of gaseous organic matter generated by the gripping and trapping method is 50 μg or less per gram, and at least one of the air filters and an opening for attachment thereof. Provided is a clean room characterized in that a gasket having a generation amount of hydrophobic organic matter by the phage and trap method is sandwiched and attached to 50 g or less per g.

이와 같이 크린룸의 벽 및 바닥, 또는 에어필터를 부착하기 위한 가스켓을 파지앤드트랩법에 의한 가스형태 유기물 발생량이 1g당 50μg이하인 재료로 구성함으로서, 통상의 가동상태로 크린룸을 충분히 유기물이 발생하지 않는 것으로 할 수가 있다.As such, the gasket for attaching the wall and the floor of the clean room or the air filter is made of a material in which the amount of gaseous organic matter generated by the gripping and trap method is 50 μg or less per 1 g. I can do it.

이 크린룸을 반도체 제조공장 등에서 사용하면, 실리콘 웨이퍼에 유기물을 거의 흡착시키지 않도록 할 수가 있다.When the clean room is used in a semiconductor manufacturing plant or the like, it is possible to make almost no organic matter adsorb on the silicon wafer.

상기 파지앤드트랩법이란, 소정량의 재료에 대해서 소정온도(모든 유기성분이 휘발 가능한 온도)에서 불활성가스를 통과시켜서 해당 시료에 함유되는 가스형태 유기물의 성분을 모두 휘발시키고, 이것을 포집하여, 이 포집성분으로부터 가스형태 유기물의 발생량을 정량하는 방법이다.With the gripping and trapping method, an inert gas is passed through a predetermined amount of material at a predetermined temperature (temperature at which all organic components are volatilized) to volatilize all components of the gaseous organic substance contained in the sample, and this is collected. A method of quantifying the amount of gaseous organics generated from a component.

상기 가스형태 유기물 발생량이 1g당 50μg이하인 건축재료 중 벽재로서는, 본 출원인들이 먼저 제한한 불연재료에 의한 파티션시스템을 건식 시일하는 방법(일본국 특개소 62-86248 호, 일본국 실개소 62-56614 호, 일본국 실개소 62-124102호 공보참조)을 채용할 수 있고, 바닥재로서는 클리액서스플로어의 표면재를 스테인레스 등이 무기질재료로 하면 좋다. 이들 벽재 및 바닥재의 가스 형태 유기물의 발생량은 1g당 1.0μg정도이다.As a wall material among the building materials in which the gaseous organic substance generation amount is 50 μg or less per 1g, a method of dry sealing a partition system based on non-combustible materials first applied by the present applicants (Japanese Patent Laid-Open No. 62-86248, Japanese Patent Laid-Open 62-56614). And Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-124102), and the surface material of the clear access floor may be made of inorganic material such as stainless steel as the flooring material. The amount of gaseous organic matter generated in these wall and floor materials is about 1.0 μg per gram.

또, 섬유를 직물형상으로 형성하여 에어필터용의 여과재로 하기위해 해당 섬유에 스며들게 하는 처리제에 있어서, 상기 (a)~(c)의 한정 중 어느 하나를 만족하고 있는 것을 특징으로 하는 처리제에 의하면 이들을 사용하여 제작한 에어필터의 가스형태 유기물의 발생량을 적게 할 수가 있다.Further, according to the treatment agent characterized in that any one of the limitations of (a) to (c) is satisfied in the treatment agent for forming the fiber into a fabric shape and permeating the fiber to form a filter medium for an air filter. The amount of generation of gaseous organics in the air filter produced using these can be reduced.

또한, 상기 처리제로서는, 상기 (a)~(c)의 한정의 전부를 만족하는 것이 라면, 주요 구성재료로부터 가스형태 유기물이 발생하지 않으므로 바람직하다.Moreover, as said processing agent, if it satisfy | fills all the limitations of said (a)-(c), since a gaseous organic substance does not generate | occur | produce from a main component material, it is preferable.

또, 본 발명은, 여과재에 스며들게 하는 처리제에 함유하는 가소제 및 산화방지제로서, 상기(b), (c)에서 한정되는 것을 선택 사용하는 것을 특징으로 하는 여과재의 제조방법을 제공한다. 이 방법에 의하면 가스형태 유기물의 발생량이 적은 여과재를 제조할 수가 있다.Moreover, this invention provides the manufacturing method of the filter medium characterized by selectively using what is limited to said (b) and (c) as a plasticizer and antioxidant contained in the processing agent which permeates a filter medium. According to this method, the filter medium with little generation amount of gaseous organic substance can be manufactured.

본 발명자들은 또, 크린룸 내에 인화합물이나 붕소화합물이 존재하는 요인은, 인화합성물에 대하여는 에어필터의 여과재와 프레임과의 사이를 밀봉하는 시일재 및 벽이나 바닥의 표면재에 포함되는 유기 인화합물(인산 에스테르)에 있으며, 붕소화합물에 대하여는 에어필터의 여과재인 유리섬유에 포함되는 산화붕소에 있는 것을 발견하였다.The present inventors also found that the cause of phosphorus compounds and boron compounds in the clean room is that the phosphorus compound is an organic phosphorus compound contained in the sealing material that seals between the filter medium of the air filter and the frame and the surface material of the wall or floor (phosphate). Ester), and the boron compound was found to be in the boron oxide contained in the glass fiber that is the filter medium of the air filter.

[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]Best Mode for Carrying Out the Invention

본 발명의 에어필터는, 종래의 크린룸용 에어필터와 마찬가지로, 유리섬유나 폴리테트라 플루오로에틸렌 등의 유기섬유를 아크릴계 수지 등으로 이루어지는 바인더, 비실리콘계 발수제, 가수제, 산화방지제 등을 포함하는 처리제로 처리하여 직물형상의 여과재를 형성하고 이 여과재를 소정크기의 프레임에 넣어, 프레임과 여과재와의 사이를 시일재로 밀봉하여 제작되는데, 상기 처리제 및 시일재로서 크린룸에서의 사용시에 가스형태 유기물이 발생하지 않는 것을 선정하여 사용한다. 구체적으로는 상기 처리제를 상기 (a)~(c)의 한정하여 사용한다. 구체적으로는 상기 처리제를 상기 (a)~(c)의 한정을 만족하고 있는 것으로 하고, 상기 시일재를 상기 (e)~(g)의 한정을 만족하고 있는 것으로 한다.The air filter of the present invention is treated with organic fibers such as glass fibers and polytetrafluoroethylene, including a binder made of acrylic resin, a non-silicone water repellent agent, a hydrophobic agent, an antioxidant, and the like, like a conventional clean room air filter. It is produced by zero treatment to form a fabric-like filter material and put the filter material in a frame of a predetermined size and sealing it between the frame and the filter material with a sealing material. Select one that does not occur and use it. Specifically, the treatment agent is used by limiting the above (a) to (c). Specifically, it is assumed that the treatment agent satisfies the limitations of the above (a) to (c), and the sealing material satisfies the limitation of the above (e) to (g).

또, 여과재의 섬유가 유리섬유인 경우에는, 방사시에 보강재로서 도포되는 실리콘오일로서 규소 수 10이하의 고리형상 실록산을 포함하지 않는 것을 사용하거나, 실리콘 오일이 도포된 유리섬유를 청정한 공기기류 하에서 가열처리하여 규소 수 10이하의 고리형상 실록산을 제거함으로써 여과재에 규소 수 10이하의 고리형상 실록산을 함유하지 않도록 한다.When the fiber of the filter medium is glass fiber, a silicone oil which is applied as a reinforcing material at the time of spinning does not contain a cyclic siloxane having a silicon number of 10 or less, or a glass fiber coated with silicone oil is used under a clean air stream. The heat treatment removes the cyclic siloxane of 10 or less silicon so that the filter medium does not contain the cyclic siloxane of 10 or less silicon.

또한, 본 발명의 실시형태의 상세에 대하여는, 이하에 구체적인 실시예를 들어 설명한다.In addition, the detail of embodiment of this invention is given and demonstrated to a concrete Example below.

[실시예 1]Example 1

No. 1~5, 7~12에서는, 여과재로서 유리섬유 또는 불소섬유를 사용하고, 처리제에 함유되는 비실리콘계 발수제, 가소제, 산화방지제, 시일재의 주성분, 시일재에 함유되는 가소제 및 산화방지제가 하기의 표1~3에 나타낸 구성이 되는 에어필터를 제작했다. No. 6은 시판의 ULPA필터를 그대로 사용하고, 각 구성 재료의 성분을 하기의 분석방법으로 분석하여 조사했다.No. In 1-5, 7-12, glass fiber or fluorine fiber is used as a filter material, The non-silicone water repellent, the plasticizer, antioxidant, the main component of a sealing material, the plasticizer and antioxidant contained in a sealing material are contained in the following table. The air filter which becomes the structure shown to 1-3 was produced. No. 6 used commercially available ULPA filter as it was, and analyzed the component of each structural material by the following analysis method.

또한, 각 표 중의 생략기호는 이하의 물질을 나타낸다.In addition, the ellipsis in each table | surface represents the following substances.

K1 : 세바틴산 디-2-에틸헥실K1: sebacate di-2-ethylhexyl

S1 : 스테아릴-β-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트S1: stearyl-β- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate

K2 : 프탈산 디이소데실K2: Diisodecyl Phthalate

S2 : 2,2'-메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀)S2: 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol)

K3 : 트리메릿트산 트리스-2-에틸헥실K3: trimellitic acid tris-2-ethylhexyl

S3 : 1,1,3-트리스-(2-메틸-4-히드록시-5-t-부틸페닐)부탄S3: 1,1,3-tris- (2-methyl-4-hydroxy-5-t-butylphenyl) butane

K4 : 아디핀산-1, 3-부틸렌글리콜K4: Adipic acid-1, 3-butylene glycol

S4 : 2,6-디-t-부틸-P-크레졸S4: 2,6-di-t-butyl-P-cresol

K5 : 프탈산 디옥틸K5: Dioctyl phthalate

S5 : 2,6-디-t-부틸-4-에틸페놀S5: 2,6-di-t-butyl-4-ethylphenol

K6 : 프탈산 디부틸K6: dibutyl phthalate

K7 : 아디핀산 디부틸K7: dibutyl adipic acid

[여과재의 섬유][Fiber of Filtrate]

No. 1~5에서는, 시판의 ULPA필터용의 유리섬유(방사시에 실로킨오일이 도포되어 있는 것)를 , 청정한 공기기류하에서 120℃에서 6시간 가열함으로써, 규소수 10이하의 실록산을 제거한 것을 이용하였다. 이 유리섬유 400mg를 하기의 P＆T-GC/MS법으로 분석했더니, 이 유리섬유에 함유되는 규소 수 10이하의 실록산은 해당 분석법에서의 검출한계치 이하였다.No. In 1 to 5, the glass fibers for which ULPA filters are commercially available (with silokin oil applied during spinning) were heated at 120 ° C. for 6 hours under a clean air stream to remove siloxanes having 10 or less silicon water. It was. When 400 mg of this glass fiber was analyzed by the following P & T-GC / MS method, the number of silicon siloxanes of 10 or less contained in this glass fiber was below the detection limit in the analysis method.

No. 6~9에서는, 시판하는 ULPA필터용의 유리섬유(방사시에 실리콘오일이 도포되어 있는 것)를 그대로 사용하였다.No. In 6-9, the commercially available glass fiber for ULPA filters (thing which silicone oil was apply | coated at the time of spinning) was used as it is.

No. 10에서는, 신에츠화학공업(주)제의 실리콘오일 KF99를 진공증류장치에 넣고, 진공도 5mHg에서 200℃로 유지하여 저비점성분을 제거함으로써, 이 실리콘 오일에 함유되는 규소 수 10 이하의 실록산을 충분히 제거하고, 하기의 P＆T-GC/MS법으로 한 분석에서 검출한계치 이하로 하였다. 이 분석에는, 진공증류 후의 실리콘 오일을 석영파이버에 수 mg부착시킨 것을 시료로 하였다. 그리고 이 규소 수 10이하의 실록산을 함유하지 않는 실리콘 오일을 방사시의 강화재로서 도포하여 얻어진 유리섬유를, 여과재의 섬유로 하여 이용하였다.No. In step 10, silicon oil KF99 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. is placed in a vacuum distillation apparatus, and the low boiling point component is removed by maintaining the vacuum at 5 mHg at 200 ° C., thereby sufficiently removing the number of silicon siloxanes of 10 or less contained in this silicone oil. It was set as below the detection limit value by the analysis by the following P & T-GC / MS method. In this analysis, a sample obtained by attaching several mg of silicon oil after vacuum distillation to a quartz fiber was used as a sample. And the glass fiber obtained by apply | coating the silicone oil which does not contain this silicon number 10 or less siloxane as a reinforcing material at the time of spinning was used as a fiber of a filter medium.

No. 11, 12에서는, 불소섬유(폴리테트라 플루오로에틸렌 : PTFE)를 여과재의 섬유로 하였다. 이 섬유에는 실리콘오일이 도포되어 있지 않다.No. In 11 and 12, fluorine fiber (polytetrafluoroethylene: PTFE) was used as a fiber of a filter medium. This fiber is not coated with silicone oil.

＜P＆T(파지＆트랩)-GC/MS법＞<P & T (gripping & trap)-GC / MS method>

소정량의 시료를 시험관에 충전하고, 내부에 헬륨가스를 흘리면서 해당 시험관을 150℃에서 30분간 가열하고, 휘발성분을 -80℃로 냉각된 트랩관에서 포집하고, 해당 트랩관내의 성분을 헬륨기류하에서 300℃까지 급속가열하여 가스형태로 한 것을 GC/MS장치에 도입한다.Fill a test tube with a predetermined amount of sample, heat the test tube at 150 ° C. for 30 minutes while flowing helium gas inside, collect volatiles in a trap tube cooled to -80 ° C., and store the components in the trap tube in a helium stream. Rapid heating to 300 ° C. under the form of a gas is introduced into the GC / MS system.

GC장치는 휴렛트 페커드사제의 HP-5890A이며, MS장치는 같은 회사의 HP-5970B이다. GC장치의 컬럼은 동 회사의 HP-울트라 2(OV-5계)이며, 내부직경 0.2㎜, 길이 25㎜, 막두계 0.33υm이다. GC장치의 측정시의 온도 조건은 이하와 같다.The GC unit is the HP-5890A from Hewlett-Packard, and the MS unit is the HP-5970B from the same company. The column of the GC apparatus is HP-Ultra 2 (OV-5 type) of the company, and has an internal diameter of 0.2 mm, a length of 25 mm, and a membrane thickness of 0.33 vm. The temperature conditions at the time of the measurement of a GC apparatus are as follows.

초기온도 40℃→속도 10℃/분에서 승온→최종온도 300℃(15분간 유지) 또한, GC장치의 캐리어가스는 헬륨이며, 주입방식은 스프릿트법, 스프릿트비는 1/200으로 한다. MS장치의 이온화법은 전자충격법이며, 검출범위는 m/z로 25~1000으로 한다.The initial temperature is 40 ° C. → the speed is 10 ° C./min. The final temperature is 300 ° C. (maintained for 15 minutes). The carrier gas of the GC apparatus is helium, the injection method is the split method and the split ratio is 1/200. The ionization method of the MS device is an electron impact method, and the detection range is m / z to 25 to 1000.

정량분석은, 각 성분의 피크마다 동일하게 정해진 유기물의 검량선을 제작하여 행하거나, 다수의 피크가 나오는 경우에는, n-데칸올 표준물질로 하여 그 검량선을 기준으로 전체 성분을 n-데칸 환산의 농도로 하여 표시한다. 이것에 의해 시료 중의 휘발성 유기물의 함유량과 종류가 측정된다.The quantitative analysis is carried out by producing a calibration curve of the same organic substance determined for each peak of each component, or when a large number of peaks appear, the n-decanol standard is used as the n-decanol standard and the entire component is converted into n-decane conversion. The concentration is displayed. Thereby, content and a kind of volatile organic substance in a sample are measured.

[처리제][Processing Agent]

No. 1~5, 7~12에서는, 각 샘플마다 각 표에 나타낸 비실리콘계 발수제, 가소제, 및 산화방지제를 각 비율(발수제를 100중량부로 했을 때의 값을 중량부로 각 표의 []내에 표시)로 배합하고, 이것을 아세톤과 톨루엔과의 1:1혼합용제에 용해하며, 또한 소정량의 아크릴수지제의 바인더를 첨가한 용액을, 소정크기의 시트형상의 웨이브에 펴서 겹친 유리섬유에 스며들게 한 후에, 이것을 건조시켜서 직물형상의 여과재를 제작하였다. 또한 필터 1대분의 여과재에 사용한 비실리콘계 발수제는 약 1g이었다.No. In 1 to 5 and 7 to 12, the non-silicone water-repellents, plasticizers, and antioxidants shown in the tables for each sample are blended in each ratio (the value when the water-repellent agent is 100 parts by weight is indicated in [] in each table in parts by weight). This solution was dissolved in a 1: 1 mixed solvent of acetone and toluene, and a solution containing a predetermined amount of acrylic resin binder was added to a sheet-shaped wave of a predetermined size so as to soak into the laminated glass fibers. It dried and produced the fabric filter medium. In addition, the non-silicone water repellent used for the filter medium for 1 filter was about 1 g.

[시일재][Sealing materials]

각 샘플마다 각 표에 나타낸 시일재의 주성분(주제 및 경화제)과 가소제(No. 1, 2, 6~8, 10, 11)에서는 이에 더하여 산화방지제와 윤활제)를 각 비율(주성분을 100중량부로 했을 때의 값을 중량부로 각 표의 []내에 표시)로 배합하여 시일재를 제작하고, 이 시일재를 사용하여 알루미늄프레임(600㎜×600㎜×100㎜, 시판품의 1/2의 크기)내에 상기 여과재를 넣어 밀봉함으로써, 에어필터를 제작하였다.For each sample, the main components (main ingredient and curing agent) and plasticizers (No. 1, 2, 6 ~ 8, 10, 11) of the sealant shown in each table were added to each ratio (100 parts by weight of the main ingredient) as an antioxidant and a lubricant. The sealing material was prepared by blending the time value in parts by weight in [] of each table), and the sealing material was used to produce the sealing material in the aluminum frame (600 mm × 600 mm × 100 mm, 1/2 the size of a commercial product). The air filter was produced by putting a filter medium and sealing.

또한, 폴리우레탄계 시일재를 사용한 No. 1, 2에 대하여는, 경화제(폴리올)의 활성수소의 당량이, 주제(메틸렌 디페닐 디이소시아네이트를 주성분으로 하는 디이소시아네이트)인 이소시아네이트기의 당량보다 많아지는 듯한 배합비로 양자를 혼합하였다.In addition, No. using a polyurethane-based sealing material. With respect to 1 and 2, both were mixed in a blending ratio in which the equivalent of the active hydrogen of the curing agent (polyol) was greater than the equivalent of the isocyanate group which is the main component (diisocyanate containing methylene diphenyl diisocyanate as a main component).

또, No4에 대하여는, 아민계의 경화제를 이용하였는데, 경화 후에 프레임에 리본히터를 감아서 약 130℃에서 4시간 가열함으로써, 휘발성 유기물(주로, 경화 후에 잔존하고 있는 아민)의 제거처리를 하였다.Moreover, about No4, although the amine-type hardening | curing agent was used, the ribbon heater was wound around the frame after hardening, and it heated at about 130 degreeC for 4 hours, and the volatile organic substance (mainly the amine which remains after hardening) was removed.

또, 각 시일재에 대하여는, 경화 후 3일이 지난 후에 일부(수 10mg)를 잘라낸 것을 이용하여 상술한 P＆T-GC/MS법으로 분석함으로써, 유기물 발생량을 측정하였다. 그 결과도 각 표에 아울러 나타낸다. 또한 No. 4에 대하여는 상술한 유기물 제거처리를 한 후의 시일재에 대하여 이 측정을 하였다.In addition, about each sealing material, the amount of organic substance generation was measured by analyzing by P & T-GC / MS method mentioned above using what cut out a part (water 10 mg) three days after hardening. The results are also shown in each table. Also no. For 4, this measurement was performed on the sealing material after the above-mentioned organic matter removal treatment.

[에어필터의 성능시험 : 진애의 제거효율의 측정][Performance test of air filter: measurement of dust removal efficiency]

제작된 에어필터에 대해서, 한쪽 옆으로부터 전체면에 프탈산 디옥틸(DOP)의 입자를 풍속 5.3㎝/sec로 충돌시키고, 충돌시킨 쪽의 여과재면 부근의 공기 중에 포함되는 DOP의 입자수(입구측 입자수)와, 반대쪽의 여과재면 부근의 공기중의 포함되는 DOP의 입자수(출구측 입자수)를 각각 파티를 카운터로 계측하고, 입구측 입자수가 107개/FT3일 때에 출구측 입자수가 100개/FT3이하이면(즉,제거효율이 99.999%이상이면)합격으로 한다. 이 「COLD DOP법」으로 호칭되는 방법으로 측정된 각 에어필터에 대한 진애의 제거효율을 각 표에 나타낸다.About the produced air filter, the particle | grains of the dioctyl (DOP) phthalate (DOP) were made to collide with the air velocity at 5.3 cm / sec on the whole surface from one side, and the number of particle | grains of DOP contained in the air near the filter medium surface of the collided side (inlet side) Particle number) and the number of particles (outlet particle number) of DOP contained in the air near the surface of the opposite filter medium, respectively, by measuring the party with a counter, and when the inlet particle number is 10 7 / FT 3 If the number is 100 / FT 3 or less (that is, if the removal efficiency is 99.999% or more), then the test is passed. The removal efficiency of dust for each air filter measured by the method called this "COLD DOP method" is shown in each table | surface.

[가스켓][gasket]

이와 같이 하여 얻어진 각 에어필터를 팬필터 유니트의 프레임에, 각각의 표에 나타낸 가스켓을 끼워서 부착하였다. 또이 가스켓에 대하여도 일부를 잘라낸 것을 이용하고, 상술한 P＆T-GC/MS법으로 분석함으로써 유기물 발생량을 측정하였다. 그 결과도 각 표에 아울러 나타낸다.The air filters thus obtained were attached to the frame of the fan filter unit by sandwiching the gaskets shown in the respective tables. In addition, the amount of organic matter generated was measured by analyzing a part of the gasket using the P & T-GC / MS method described above. The results are also shown in each table.

사용한 가스켓은 이하와 같다. 또한 G1은 주성분의 주제 및 경화제와, 가소제, 산화방지제, 및 윤활제를 혼합하여 주형(柱形)성형을 행한 것이다. 또, G2~G4는 주성분인 고무재와 가소제, 산화방지제, 및 윤활제를 가열하여 혼련(混練)하고, 압출 성형기에 걸어 압출 성형한 것이다. 또 G5, G6은 시판품을 그대로 사용하였다.The used gasket is as follows. In addition, G1 is molded by mixing a main component and a curing agent of the main component, a plasticizer, an antioxidant, and a lubricant. G2 to G4 are obtained by heating and kneading a rubber material, a plasticizer, an antioxidant, and a lubricant as main components, followed by extrusion molding on an extrusion molding machine. In addition, G5 and G6 used the commercial item as it is.

＜G1(우레탄고무계①)＞<G1 (urethane rubber system ①)>

주성분 : 일본 폴리우레탄공업(주) 제품 2액형 폴리우레탄Main ingredient: 2-component polyurethane made by Japan Polyurethane Industry Co., Ltd.

주제 : 퓨어 MDI(상품명), 경화제 : 폴리올Topic: Pure MDI (trade name), Hardener: Polyol

가소제 : 세바틴산 디-2-에틸헥실Plasticizer: Sebacate di-2-ethylhexyl

산화방지제 : 스테아릴-β-(3.5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트Antioxidant: Stearyl-β- (3.5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate

윤활제 : 마이크로 크리스탈린 왁스(탄소 수 34~약 50)Lubricant: Micro crystalline wax (34 to 50 carbon atoms)

＜G2(염화비닐고무계)＞<G2 (vinyl chloride rubber system)>

주성분 : 일본 제온(주) 제품 염화비닐고무Main ingredient: Vinyl chloride rubber made by Japan Xeon Co., Ltd.

가소제 : 염소화 파라핀Plasticizer: Chlorinated Paraffin

산화방지제 : 2,2'-메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀)Antioxidant: 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol)

윤활제 : 마이크로 크리스탈린 왁스(탄소 수 34~약 50)Lubricant: Micro crystalline wax (34 to 50 carbon atoms)

＜G3(부틸고무계)＞<G3 (butyl rubber type)>

주성분 : 아사히산업(주) 제품 부틸고무Main ingredient: Butyl rubber, manufactured by Asahi Industrial Co., Ltd.

가소제 : 아디핀산-1, 3-부틸렌글리콜Plasticizer: Adipic acid-1, 3-butylene glycol

산화방지제 : 1,1,3-트리스-(2-메틸-4-히드록시-5-t-부틸페닐)부탄Antioxidant: 1,1,3-tris- (2-methyl-4-hydroxy-5-t-butylphenyl) butane

윤활제 : 마이크로 크리스탈린 왁스(탄소 수 34~약 50)Lubricant: Micro crystalline wax (34 to 50 carbon atoms)

＜G4(클로로프렌 고무계)＞<G4 (chloroprene rubber type)>

주성분 : 도소(주) 제품 네오플렌고무Main ingredient: Neoprene rubber manufactured by Tosso Corporation

가소제 : 아디핀산-1, 3-부틸렌글리콜Plasticizer: Adipic acid-1, 3-butylene glycol

산화방지제 : 1,1,3-트리스-(2-메틸-4-히드록시-5-t-부틸페닐)부탄Antioxidant: 1,1,3-tris- (2-methyl-4-hydroxy-5-t-butylphenyl) butane

윤활제 : 마이크로 크리스탈린 왁스(탄소 수 34~약 50)Lubricant: Micro crystalline wax (34 to 50 carbon atoms)

＜G5(우레탄 고무계②)＞<G5 (urethane rubber system ②)>

일본 폴리우레탄공업(주) 제품 액상 MDI사용의 가스켓Gasket for liquid MDI

＜G6(우레탄 고무계③)＞<G6 (urethane rubber system ③)>

일본 폴리우레탄공업(주) 제품 액상 MDI사용의 가스켓Gasket for liquid MDI

[크린룸][Clean Room]

또, 상기 각 팬필터 유니트를 이용하여 베이킹 도장된 파티션을 건식시일하여 벽재로 하고, 바닥재로서는 폴리액서스 플로오의 표면재를 스테인레스 시트로 한 크린룸을 구축하였다. 상기 벽재 및 바닥재는 상술한 P＆T-GC/MS법에 의한 분석으로 유기물 발생량이 모두 0.1μg/g이하였다. 이와 같은 크린룸을 가동시키고 3일 후에 그 내부에 6"의 실리콘웨이퍼를 두어 6시간 방치하고, 이 웨이퍼에 흡착한 유기물의 양과 종류를 하기의 SWA장치를 이용하여 분석하였다. 그 결과도 각 표에 아울러 나타낸다.Furthermore, a clean room was constructed by dry-sealing the partitions coated with baking using each of the fan filter units as a wall material, and as a floor material by using a surface material of polyaccess flow as stainless sheet. The wall materials and floor materials were all organic matters generated in the amount of 0.1 μg / g or less by the above-described P & T-GC / MS analysis. Three days after the clean room was put into operation, a 6 "silicon wafer was placed therein and left for 6 hours. The amount and type of organic matter adsorbed on the wafer was analyzed using the following SWA apparatus. It is also shown.

＜SWA 장치에 의한 분석＞<Analysis by SWA apparatus>

SWA장치로는 지엘사이언스(주) 제품의 실리콘 웨이퍼 아날라이저(상품명)이며 하기의 트랩장치, TCT(Thermal Desorption Cold Trap Injector)장치, GCMS 장치로 구성되어 있다. 트랩장치는 웨이퍼의 표면에 흡착하고 있는 물질을 떼고 붙이고, 떼고 붙여진 성분을 포집하는 것이며, TCT장치는 이 트랩장치에서 포집된 성분을 헬륨기류 중에서 300℃에 가열한 후에 액체질소는 -130℃에 냉각된 캐피럴리관에 도입하여 냉각포립하는 것이며, 이 TCT장치에서 포립된 성분을 헬륨기류중에서 300℃에 급속 가열한 것이 GC/MS장치에 도입되도록 되어 있다.The SWA device is a silicon wafer analyzer (trade name) manufactured by GE Science Co., Ltd. and is composed of the following trap device, TCT (Thermal Desorption Cold Trap Injector) device, and GCMS device. The trap device removes and attaches the material adsorbed on the surface of the wafer, and collects the separated and attached components. The TCT device heats the components collected in the trap device to 300 ° C in a helium stream, and then the liquid nitrogen reaches -130 ° C. It is introduced into a cooled capillary tube and cooled, and a component heated in the TCT device is rapidly heated at 300 ° C in a helium stream to be introduced into a GC / MS device.

여기에서 사용한 GC/MS장치는, GC장치는 HP-5890A이며, MS장치가 HP-5971A이다. GC장치의 컬럼은 HP-5(길이 25㎜, 내부직경 0.2㎜, 막두께 0.33μm을 사용하고, GC장치의 측정시의 온도조건은 이하와 같다.In the GC / MS device used here, the GC device is HP-5890A, and the MS device is HP-5971A. The column of the GC apparatus used HP-5 (length 25mm, internal diameter 0.2mm, film thickness 0.33micrometer), and the temperature conditions at the time of the measurement of a GC apparatus are as follows.

초기온도 80℃(10분간 유지)→속도 7℃/분에서 승온→최종온도 300℃(10분간 유지)Initial temperature of 80 ° C (maintained for 10 minutes) → speed up at speed 7 ° C / min → final temperature of 300 ° C (maintained for 10 minutes)

이 이외의 점에 대하여는, 상기 P＆T-GC/MS법과 마찬가지이며, 이에 의해 웨이퍼 표면에 흡착하고 있는 유기물의 함유량과 종류가 측정된다. 또 이 방법에 의하면 웨이퍼 1매당 수 ng(10-9g)의 오더까지 분석이 가능하다.About another point, it is the same as that of the said P & T-GC / MS method, and content and kind of the organic substance adsorb | sucking to the wafer surface are measured by this. According to this method, it is possible to analyze up to several ng (10 -9 g) order per wafer.

이들의 결과로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 각 실시형태에 상당하는 No. 1~5 및 No. 10, 11에 대하여는, 크린룸 내에 존재하는 가스형태 유기물을 적게할 수가 있고, 해당 크린룸 내에 놓여진 실리콘 웨이퍼에 흡착하는 유기물의 양을, 종래의 ULPA필터(No. 6)나 저분자량의 가소제 및 산화방지제 등을 사용한 필터(No 7~9, 12)의 경우의 1/10이하로 할수가 있다. 또 진애의 제거효율도 99.999%이상으로 되어, 에어필터로서의 성능을 손상시키지 않는 것이다.As can be seen from these results, No. corresponding to each embodiment of the present invention. 1 to 5 and No. With respect to 10 and 11, the gaseous organic matter present in the cleanroom can be reduced, and the amount of organic matter adsorbed on the silicon wafer placed in the cleanroom can be reduced by using a conventional ULPA filter (No. 6), a low molecular weight plasticizer and an antioxidant. 1/10 or less in the case of the filters (No. 7 to 9, 12) using the same or the like. The dust removal efficiency is also 99.999% or more, which does not impair the performance of the air filter.

[실시예 2]Example 2

바닥재, 벽재, 에어필터(프레필터 : 외부공기 취입구용, 메인필터 : 크린에어취출구용)의 여과재, 에어필터의 여과재와 프레임을 고정하는 시일재로서, 하기의 각 재료를 표 4 및 5에 나타낸 조합으로 이용하여, 각각 크린룸을 구축하였다. 각 크린룸의 크기(내부치수)는 6000×7200×3700㎜으로 하였다.Floor material, wall material, air filter (pre filter: for outside air inlet, main filter: for clean air outlet), filter material of air filter and sealing material for fixing the frame. Using in combination, each clean room was constructed. The size (internal dimension) of each clean room was 6000 x 7200 x 3700 mm.

[바닥재][Floor]

염화비닐 깔개시트①(두께, 2.0㎜)는, 폴리염화비닐수지에 가소제로서 에폭시화 콩기름, 산화방지제로서 스테아릴-β-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트, 난연제로서 수산화 알루미늄, 대전방지제로서 스테아릴 아미드 에틸렌 옥사이드 부가체를 첨가하여 제작하였다. 염화비닐 깔개시트②(두께 2.0㎜)는, 시판품[도리(주)제품 대전방지 플로아륨]이다.Polyvinyl chloride sheet ① (thickness, 2.0 mm) is epoxidized soybean oil as a plasticizer in polyvinyl chloride resin, and stearyl-β- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) as an antioxidant It was prepared by adding cyanate, aluminum hydroxide as a flame retardant, and stearyl amide ethylene oxide adduct as an antistatic agent. Vinyl chloride sheet | seat sheet (thickness 2.0mm) is a commercial item (the antistatic florium manufactured by Torii Co., Ltd.).

알루미늄제 프리액서스 플로어에, 상기 어느 한 염화비닐시트 또는 시판의 스테인레스제 시트를 붙임으로써, 크린룸의 바닥을 형성하였다.The bottom of the clean room was formed by affixing any one of said vinyl chloride sheet or a commercially available stainless sheet to the aluminum pre-access floor.

[벽재][Wall materials]

염화비닐 크로스①(두께 0.28㎜)는, 폴리염화비닐수지에, 가수제로서 이디핀산-1,3-부틸렌 글리콜, 산화방지제로서 2,2'-메틸렌-비스-4(-메틸-6-t-부틸페놀), 난연제로서 삼산화 안티몬, 대전방지제로서 스테아릴아미드 에틸렌 옥사이드 부가체를 첨가하여 제작하였다. 염화비닐 크로스②(두께 1.0㎜)는, 시판품Vinyl chloride cross ① (thickness 0.28mm) is a polyvinyl chloride resin, idipic acid-1,3-butylene glycol as a hydrophobic agent, 2,2'- methylene-bis-4 (-methyl-6- as an antioxidant t-butylphenol), antimony trioxide as flame retardant, and stearylamide ethylene oxide adduct as antistatic agent were added. Vinyl chloride cross ② (thickness 1.0mm) is a commercial item

[(주)산게스 제품 SG1533][SANGES Co., Ltd. product SG1533]

크린룸의 벽은, 상기 어느 한 염화비닐 크로스를 벽면에 붙이거나 고마니(주)제품의 크린룸용 파티션(철판제의 파티션표면에 베이킹 도장이 된 것)이 설치에 의해 구성하였다.The wall of the clean room was formed by attaching any of the above vinyl chloride crosses to the wall surface, or by installing a clean room partition made by Komani Co., Ltd. (baked coating on the partition surface made of iron plate).

[에어필터][Air filter]

프레필터-(PㆍF) 및 메인펄터(ULPA필터 : UㆍF)용의 여과재로서, 화학조성이 다른 3종류의 유리섬유재 여과재①~③, 폴리에스테르 섬유제 여과재, 불소섬유(PTFE섬유)제 여과재를 준비하였다.As filter media for pre-filters (P, F) and main filter (ULPA filters: U, F), three kinds of glass fiber filter media ① ~ ③ with different chemical composition, polyester fiber filter media, fluorine fiber (PTFE fiber) The first filter medium was prepared.

여과재를 프레임에 고정하는 시일재로서는, 폴리우레탄 수지계 시일재①②와 에폭시수지계 시일재를 준비하였다. 폴리우레탄 수지계 시일재①②는 주제로서 퓨어 MDI[일본 폴리우레탄공업(주) 제품의 고순도 메틸렌 디이소시아네이트=디페닐메탄 이디이소시아네이트]를 함유하는 2액형의 시일재이며, 퓨어 MDI의 액상화제로서 시일재 ①은 인산 트리오레일을 시일재②는 인산 트리부틸을 각각 0.3중량% 배합하고, 그 이외는 시일재 ①②로 같은 조성으로 하였다.As a sealing material which fixes a filter medium to a frame, the polyurethane resin sealing material ①② and the epoxy resin sealing material were prepared. Polyurethane resin-based sealing material ①② is a two-component sealing material containing pure MDI [high-purity methylene diisocyanate = diphenylmethane diisocyanate from Polyurethane Industry Co., Ltd.] as the main material, and is a sealing material as a liquid agent of pure MDI. The sealant ② was formulated with 0.3 wt% of tributyl phosphate, respectively, and the sealant ② was made into the same composition as the sealant ①②.

프레임은 알루미늄 제품으로, 내부치수가 600×1200×100㎜인 것을 이용하였다.The frame was made of aluminum, and an internal dimension of 600 × 1200 × 100 mm was used.

ULPA필터는, 시일재가 충분히 경화한 후에, 가스켓을 사용하지 않고 크린룸 천장의 개구부에 부착하고, 프레필터는 시일재가 충분히 경화한 후에, 천장을 향하는 덕트의 오부공기 도입구에 부착하였다.After the sealing material had sufficiently cured, the ULPA filter was attached to the opening of the ceiling of the clean room without using a gasket, and the prefilter was attached to the vacant air inlet of the duct facing the ceiling after the sealing material had sufficiently cured.

[각 구성재료의 분석방법][Analysis Method of Each Material]

사용한 바닥재 및 벽재의 각 표면재, 에어필터의 여과재 및 시일재를(시일재에 대하여는 경화 후 3일 지난 후에)소정량 만큼 잘라 내고, 실시예 1에 나타낸 P＆T-GC/MS법에 의해 유기물의 정성(定性)분석 및 유기 인화합물의 정량분석을 함과 동시에, 하기의 방법으로 붕소함유량을 분석하였다. 상기의 방법에 의한 유기 인화합물의 정량분석의 검출한계치는 1.0μg/g이다.Each surface material of the used flooring material and wall material, the filter material of the air filter, and the sealing material (for the sealing material after 3 days of curing) are cut out by a predetermined amount, and the organic matter is qualitatively determined by the P & T-GC / MS method shown in Example 1. The boron content was analyzed by the following method while performing quantitative analysis and quantitative analysis of the organophosphorus compound. The detection limit of the quantitative analysis of the organophosphorous compound by the above method is 1.0 μg / g.

＜붕소함유량의 분석법＞<Analysis Method of Boron Content>

잘라낸 시료를 소정량의 초순수(비저항 18.6MΩ이상)중에 28일간 침지하고, 이 초순수를 ICP/MS 장치(휴렛트 패커트사의 HP-4500형)에 도입하여, 이 초순수 중에 용출하고 있는 무기물을 분석하고, 농도를 이미 알고 있는 붕소수용액으로 작성한 검량선을 이용하여 붕소함유량을 정량하였다. 이 방법에 의한 정량분석이 검출한계치는 0.1μg/g이다.The sample cut out was immersed in a predetermined amount of ultrapure water (specific resistance 18.6MΩ or more) for 28 days, and the ultrapure water was introduced into an ICP / MS device (HP-4500 type by Hewlett Packer) to analyze the minerals eluted in the ultrapure water The boron content was quantified using a calibration curve prepared from a boron aqueous solution with known concentration. The detection limit for quantitative analysis by this method is 0.1 μg / g.

[크린룸의 평가][Evaluation of Clean Room]

각 크린룸에선, 프레필터를 통과한 외부공기(프레시에어)와 크린룸 내부로부터의 리턴공기가 혼합되어 천장 뒤의 챔버로 보내지며, 천장의 UPLA필터를 통과하여 크린룸 내에 공급되도록 되어 있고, 리턴공기와 프레시공기의 혼합비를 10 : 1로 하였다. 그리고 각 크린룸을 ULPA필터로 부터의 출구에서의 공기 유속을 0.40m/s로 하고, 온도 23℃상대습도 40%로 하여, 무인으로 내부에 아무 것도 두지 않는 상태에서 2주간 연속 가동시키고, 그 후에 각 크린룸 내의 공기를 꺼내어, 이 공기에 포함되는 유기물 및 무기물의 분석을 하였다.In each clean room, the outside air (fresh air) passing through the pre-filter and the return air from the inside of the clean room are mixed and sent to the chamber behind the ceiling, and the air is supplied to the clean room through the UPLA filter on the ceiling. The mixing ratio of fresh air was set to 10: 1. Each clean room was operated for 2 weeks continuously without leaving anything inside unattended with an air flow rate of 0.40 m / s at the outlet from the ULPA filter at a temperature of 23 ° C. and a relative humidity of 40%. The air in each clean room was taken out, and the organic substance and inorganic substance contained in this air were analyzed.

유기물의 분석은, 우선, 테낙스관(크롬팻사의 사품명)에 크린룸 내의 공기를 40리터 도입함으로써, 해당 공기 중에 포함되는 유기성분을 흡착시킨다. 다음에 이 테낙스관을 TCT장치(실시예 1참조)에 장착하고, TCT장치에 의해 테낙스관에 흡착한 유기성분을 취출하여, 이것을 가열하여 GC/MS장치에 도입함으로서 행하였다. 이 방법에 의한 정량분석의 검출한계치는 10ng/㎥이다.In the analysis of organic matters, 40 liters of air in a clean room is first introduced into a Tenax tube (the name of Chromepat Co., Ltd.) to adsorb organic components contained in the air. Next, this Tenax tube was attached to a TCT apparatus (see Example 1), and the organic component adsorbed to the Tenax tube was taken out by the TCT apparatus, and this was heated and introduced into a GC / MS apparatus. The detection limit of quantitative analysis by this method is 10 ng / m 3.

무기물의 분석은, 크린룸 내의 공기를, 매분 10리터로 유량으로 24시간, 초순수(비저항 18.6MΩ이상)200미리리터가 들어간 임핀져로 도입하여, 초순수 중에 해당공기 중에 무기성분을 용출시키고, 이 초순수를 ICP/MS장치(휴레스 패커드사의 HP-4500형)에 도입함으로써 행하였다. 이 방법에 의한 정량분석의 검출한계치는 20ng/㎥이다.The analysis of minerals introduces air in the clean room into an impinger containing 200 milliliters of ultrapure water (specific resistance 18.6MΩ or more) for 24 hours at a flow rate of 10 liters per minute, and elutes the inorganic components in the air in ultrapure water. This was done by introducing into an ICP / MS device (HP-4500 type by Hugh Packard). The detection limit of quantitative analysis by this method is 20 ng / m 3.

상기 각 분석결과에 대하여도 표 4 및 5에 아울러 나타낸다.Each analysis result is also shown in Tables 4 and 5.

이들의 결과로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 실시형태에 상당하는 No. 21~24의 크린룸에서는, 크린룸 내부 공기의 유기 인화합물 및 붕소 화합물의 분석치가 검출한계치 이하로 되어 있고, 크린룸 내의 공기 중에 유기 인화합물 및 붕소화합물이 존재하지 않으므로, 이들의 크린룸은 반도체 제조용의 크린룸으로서 특히 적합한 것이 된다. 이에 대해서 본 발명의 비교예에 상당하는 No. 25~28의 크린룸에서는, 크린룸 내 공기 중에 유기 인화합물 및 붕소화합물 중의 어느 하나가 존재하기 때문에, 반도체 제조용의 크린룸으로서는 불필요한 도핑이 이루어질 우려가 있으므로 바람직하지 않다.As can be seen from these results, No. corresponding to the embodiment of the present invention. In the clean rooms of 21 to 24, the analysis value of organophosphorus compounds and boron compounds in the air inside the clean room is below the detection limit value, and since the organophosphorus compounds and boron compounds do not exist in the air in the clean room, these clean rooms are for clean room for semiconductor manufacturing. It is especially suitable as. In contrast, the No. corresponding to the comparative example of the present invention. In the clean room of 25-28, since any one of an organic phosphorus compound and a boron compound exists in the air in a clean room, it is unpreferable in the clean room for semiconductor manufacture because unnecessary doping may occur.

또한, 이 실시예 2에서는, ULPA필터를 가스켓을 사용하지 않고 크린룸 천장의 개구부에 부착하고 있는데, 우레탄고무계의 가스켓을 사용하는 경우에는 여과재를 프레임에 고정하는 시일재와 마찬가지로 디페닐 메탄 이소시아네이트의 액상화재로서 분자량 300이상인 인산 에스테르를 이용하는 것이 바람직하다.In addition, in the second embodiment, the ULPA filter is attached to the opening of the ceiling of the clean room without using a gasket. When using a urethane rubber-based gasket, the liquid phase of diphenyl methane isocyanate is similar to the sealing material for fixing the filter medium to the frame. It is preferable to use the phosphate ester of molecular weight 300 or more as a fire.

[실시예 3]Example 3

벽재, 에어필터의 여과재(ULPA필터), 에어필터의 여과재와 프레임을 고정하는 시일재를 표 6에 나타낸 조합으로 이용하고, 각각 반도체 제조장치용의 국소설비를 구축하였다. 또, 각 구성재료의 분석을 실시예 2와 마찬가지로 하여 행하였다.The wall material, the filter medium of the air filter (ULPA filter), the filter medium of the air filter, and the sealing material for fixing the frame were used in the combinations shown in Table 6, and local equipment for semiconductor manufacturing apparatuses was constructed, respectively. Moreover, the analysis of each structural material was performed similarly to Example 2.

그리고, 각 국소설비를 실시예 2의 No. 21의 크린룸 내에 설치하고, No. 31 및 33에 대하여는, 이 크린룸 내의 공기(프레시에어와 리턴공기가 혼합되어 크린룸의 ULPA필터를 통과한 공기)가 국소설비의 ULPA필터에 도입되도록 하였다. 또 No. 32 및 34에 대하여는, 프레시에어만이 국소설비의 ULPA필터에 도입되도록 하였다. 이와 같이 하여 상기 조건으로 가동하고 있는 No. 21의 크린룸 내에서 각 국소설비를 2주간 연속가동시키고, 그 후에 각 국소설비 내의 공기를 취출하여, 이 공기에 포함되는 유기물 및 무기물의 분석을 상기 실시예 2와 마찬가지로 행하였다.In addition, each of the local facilities is No. Installed in 21 clean rooms, No. For 31 and 33, air in this clean room (air mixed with fresh air and return air through the ULPA filter in the clean room) was introduced into the ULPA filter in the local installation. No. For 32 and 34, only fresh air was introduced into the ULPA filter of the local installation. In this way, the No. operating under the above conditions. Each local facility was continuously operated for two weeks in the clean room of 21, after which the air in each local facility was taken out, and the analysis of the organic and inorganic substances contained in this air was carried out similarly to Example 2 above.

상기 각 분석결과에 대하여도 표6에 아울러 나타낸다.Table 6 also shows the results of the above analysis.

이들의 결과로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 실시형태에 상당하는 No. 31, 33의 국소설비에서는, 국소설비 내 공기의 유기 인화합물 및 붕소화합물의 분석치가 검출한계치 이하로 되어 있고, 국소설비 내의 공기 중에 유기 인화합물 및 붕소화합물이 존재하지 않으므로, 이들의 국소설비는 반도체 제조용의 국소설비로서 특히 적합한 것이 된다. 이에 대해서 본 발명의 비교예에 상당하는 No. 32, 34의 국소설비에서는, 국소설비 내의 공기 중에 유기 인화합물 및 붕소화합물 중 어느 하나가 존재하기 때문에, 반도체 제조용의 국소설비로서는, 불필요한 도핑이 이루어질 우려가 있으므로 바람직하지 않다.As can be seen from these results, No. corresponding to the embodiment of the present invention. In the local installations 31 and 33, the analysis values of the organophosphorus compounds and boron compounds in the air in the local installations are below the detection limits, and since the organic phosphorus compounds and boron compounds do not exist in the air in the local installations, these local installations It is especially suitable as a local facility for semiconductor manufacturing. In contrast, the No. corresponding to the comparative example of the present invention. In the local installations 32 and 34, since any one of the organic phosphorus compound and the boron compound is present in the air in the local installation, it is not preferable as the local installation for semiconductor manufacturing may cause unnecessary doping.

또한, 이 실시예 3에서도, ULPA필터를 가스켓을 사용하지 않고 국소설비의 천장의 개구부에 부착하고 있는데, 우레탄고무계의 가스켓을 사용하는 경우에는, 여과재를 프레임에 고정하는 시일재와 마찬가지로 디페닐메탄 이소시아네이트의 액상화재로서 분자량 300이상인 인산 에스테르를 이용하는 것이 바람직하다.In addition, in the third embodiment, the ULPA filter is attached to the opening of the ceiling of the local equipment without using the gasket. When using the urethane rubber-based gasket, the diphenylmethane is similar to the sealing material for fixing the filter medium to the frame. It is preferable to use the phosphate ester of molecular weight 300 or more as a liquefaction material of isocyanate.

[표 1]TABLE 1

[표 2]TABLE 2

[표 3]TABLE 3

[표 4]TABLE 4

[표 5]TABLE 5

[표 6]TABLE 6

[산업상 이용가능성][Industry availability]

이상에서와 같이, 본 발명의 에어필터에 의하면, 이것을 공기 도입경로에 설치한 크린룸이나 국소설비 내에 있어서의 가스형태 유기물의 발생량을 저감시킬 수 있으므로, 본 발명의 에어필터는 반도체 제조공장 등의 크린룸이나 국소설비용으로서 적합하다.As mentioned above, according to the air filter of this invention, since the generation amount of gaseous organic substance in the clean room provided in the air introduction path | route and local facilities can be reduced, the air filter of this invention is a clean room of a semiconductor manufacturing plant etc. It is suitable for local use.

그리고, 이와 같은 에어필터를 구비한 본 발명의 크린룸 및 국소설비에서는 가스형태 유기물의 발생량이 적기 때문에, 반도체 제조산업 등에서 이와 같은 크린룸이나 국소설비(반도체 제조장치)를 사용하면 실리콘 웨이퍼에 대한 유기물 흡착량이 저감되어 수율이 향상한다.In the clean room and the local equipment of the present invention equipped with such an air filter, the amount of gaseous organic matter is less generated. Therefore, when such a clean room or the local equipment (semiconductor manufacturing apparatus) is used in the semiconductor manufacturing industry, the adsorption of organic matter to the silicon wafer is performed. The amount is reduced and the yield is improved.

또, 크린룸 및 국소설비 중 유기 인화합물 및 붕소화합물이 존재하지 않도록 한 것은, 실리콘 웨이퍼에 불필요한 도핑이 이루어질 우려가 없으므로, 반도체 제조용의 크린룸 및 국소설비로서 특히 적합한 것이 된다.Further, the absence of organophosphorus compounds and boron compounds in the clean room and the local equipment is particularly suitable as a clean room and the local equipment for semiconductor manufacturing since there is no possibility of unnecessary doping of the silicon wafer.

Claims (28)

섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되며, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 여과재 및 시일재 중 한쪽 또는 양쪽이 사용시에 가스형태유기물을 발생하지 않는 것인것을 특징으로 하는 에어필터.A filter comprising a filter material formed into a fabric shape by treating a fiber with a treatment agent, a frame in which the filter material is placed, and a seal material sealing between the frame and the filter material, the air filter collecting airborne particulate matter in the air, Air filter, characterized in that one or both of the filter medium and the sealing material does not generate gaseous organic matter in use. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되며, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 비실리콘계 발수제의 주성분이, 탄소 수 20이상인 지방족 탄화수소 및 탄소 수 18이상인 고급알콜 중 한쪽 또는 양쪽인 것을 특징으로 하는 에어필터.A filter comprising a filter material formed into a fabric shape by treating a fiber with a treatment agent, a frame in which the filter material is placed, and a seal material sealing between the frame and the filter material, the air filter collecting airborne particulate matter in the air, An air filter, wherein the main component of the non-silicone water repellent agent contained in the treatment agent is one or both of an aliphatic hydrocarbon having 20 or more carbon atoms and a higher alcohol having 18 or more carbon atoms. 제2항에 있어서, 상기 비실리콘계 발수제의 주성분은, 마이크로 크리스탈린왁스, 천연파라핀, 합성파라핀, 폴리올레핀왁스, 탄소 수 18, 20, 24인 분기알콜, 및 올레일알콜 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.According to claim 2, wherein the main component of the non-silicone-based water repellent, microcrystalline wax, natural paraffin, synthetic paraffin, polyolefin wax, branched alcohol having 18, 20, 24 carbon atoms, and oleyl alcohol, characterized in that Air filter. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 가소제의 주성분이, 분자량 400이상인 카르본산에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.An air filter comprising a filter material formed by processing a fiber with a treatment agent, a frame in which the filter material is put, and a seal material sealing the space between the frame and the filter material, wherein the air filter collects suspended particulate matter in the air. The main component of the plasticizer contained in a processing agent is 1 or 2 or more of the carboxylic acid ester, polyester, and an epoxy compound of molecular weight 400 or more, The air filter characterized by the above-mentioned. 제4항에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 가소제의 주성분은, 프탈산이소노닐, 프탈산 옥틸데실, 프탈산 디이소데실, 프탈산 라우릴, 프탈산 미리스티릴, 아제라인산 디-2-에틸헥실, 세반틴산 3-2-에틸헥실, 트리멧릿트산트리스-2-에틸헥실, 트리메릿트산 트리옥틸, 트리메릿트산트리노닐, 트리메릿트산 트리데실, 아디핀산 또는 아제라인산 또는 세바틴산 또는 프탈산과 글리콜 또는 글리세린과의 증축합에 의해 얻어지는 폴리에스테르, 에폭시 지방산 에스테르, 및 에폭시화유 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.The main component of the plasticizer contained in the said treatment agent is isononyl phthalate, octyl phthalate, diisodecyl phthalate, lauryl phthalate, myristyl phthalate, di-2-ethylhexyl azeline acid, sevantinic acid. 3-2-ethylhexyl, trimellitic acid tris-2-ethylhexyl, trimellitic acid trioctyl, trimellitic acid trinonyl, trimellitic acid tridecyl, adipic acid or azeline acid or sebacic acid or phthalic acid and glycol or glycerin 1, 2 or more of polyester, epoxy fatty acid ester, and epoxidized oil which are obtained by the condensation of the air filter. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 산화방지제의 주성분이 분자량 300이상인 페놀계 화합물인 것을 특징으로하는 에어필터.An air filter comprising a filter material formed by treating a fiber with a treating agent, a frame in which the filter material is put, and a seal member sealing the space between the frame and the filter medium, and collecting suspended particulate matter in the air. An air filter, wherein the main component of the antioxidant contained in the treatment agent is a phenol compound having a molecular weight of 300 or more. 제6항에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 산화방지제의 주성분은, 스테아릴-β-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트, 2, 2'-메틸렌-비스-(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀, 4,4'-티오비스-(3-메틸-6-t-부틸페놀), 4,4'-부틸리덴-비스-(3-메틸-6-t-부틸페놀), 1,1,3-트리스-(2-메틸-4-히드록시-5-t-부틸페닐)부탄, 1,3,5-트리메틸-2,4,6-트리스-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시벤질)벤젠, 테트라키스[메틸렌-3-)3'-디-t-부틸-4'-히드록시페닐)프로피오네이트]메탄, 비스-[3,3'-비스-(4'-히드록시-3'-t-부틸페닐)부틸릭크아시드]글리콜에스테르 및 토코페놀 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.The main component of the antioxidant contained in the said processing agent is stearyl- (beta)-(3, 5- di- t- butyl- 4-hydroxyphenyl) propionate, 2, 2'- methylene- Bis- (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol, 4,4'-thiobis- (3-methyl-6 -t-butylphenol), 4,4'-butylidene-bis- (3-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-tris- (2-methyl-4-hydroxy-5 -t-butylphenyl) butane, 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene, tetrakis [methylene-3- ) 3'-di-t-butyl-4'-hydroxyphenyl) propionate] methane, bis- [3,3'-bis- (4'-hydroxy-3'-t-butylphenyl) butylic A siasid] an air filter, characterized in that one or two or more of the glycol ester and tocophenol. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 가소제의 부성분이, 분자량 400이상인 카르본산 에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.An air filter comprising a filter material formed by treating a fiber with a treating agent, a frame in which the filter material is put, and a seal member sealing the space between the frame and the filter medium, and collecting suspended particulate matter in the air. The subcomponent of the plasticizer contained in the said sealing material is 1 or 2 or more of the carboxylic acid ester, polyester, and epoxy type compound of molecular weight 400 or more, The air filter characterized by the above-mentioned. 제8항에 있어서, 상기 시일재에 함유하는 가소제의 주성분은, 프탈산 이소노닐, 프탈산 옥틸데실, 프탈산 디이소데실, 프탈산 라이릴, 프탈산 미리스티릴, 아제라인산 디-2-에틸헥실, 세바틴산 디-2-에틸헥실, 트리메릿트산트리스-2-에틸헥실, 트리메릿트산 트리옥틸, 트리메릿트산 트리노닐, 트리메릿트산 트리데실, 아디핀산 또는 아제라인산 또는 세바틴산 또는 프탈산과 글리콜 또는 글리세린과의 중축합에 의해 얻어지는 폴리에스테르, 에폭시 지방산 에스테르, 및 에폭시화유 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.The main component of the plasticizer contained in the said sealing material is isononyl phthalate, octyl phthalate, diisodecyl phthalate, lyryl phthalate, myristyl phthalate, di-2-ethylhexyl azeline acid, sebacic acid Di-2-ethylhexyl, trimellitic acid tris-2-ethylhexyl, trimellitic acid trioctyl, trimellitic acid trinonyl, trimellitic acid tridecyl, adipic acid or azeline acid or sebacic acid or phthalic acid and glycol or glycerin; 1, 2 or more of polyester, epoxy fatty acid ester, and epoxidized oil obtained by polycondensation of the air filter. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 산화방지제의 주성분이 분자량 300이상인 페놀계화합물인 것을 특징으로 하는 에어필터.The air filter which collects the suspended particulate matter in air, and consists of the filter medium formed by processing a fiber with the processing agent, the frame which put this filter medium, and the sealing material which seals between this frame and this frame and a filter medium. The air filter according to claim 1, wherein the main component of the antioxidant contained in the seal material is a phenol compound having a molecular weight of 300 or more. 제10항에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 산화방지재의 주성분은 스테아릴-β-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트, 2,2'-메틸렌-비스-(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌-비스-(4-에틸-6-t-부틸페놀, 4,4'-티오비스-(3-메틸-6-t-부틸페놀), 4, 4'-부틸리덴-비스-(3-메틸-6-t-부틸페놀), 1,1, 3-트리스-(2-메틸-4-히드록시-5-t-부틸페닐)부탄, 1,3,5-트리메틸-2,4,6-트리스-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시벤질)벤젠, 테트라키스[메틸렌-3-(3',5'-디-t-부틸-4'-히드록시페닐)프로피오네이트]메탄, 비스-[3,3'-비스-(4'-히드록시-3'-t-부틸페닐)부틸릭크아시드]글리콜에스테르 및 토코페놀 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.The main ingredient of the antioxidant contained in the said sealing material is stearyl- (beta)-(3, 5- di- t- butyl- 4-hydroxyphenyl) propionate, 2, 2'- methylene- Bis- (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol, 4,4'-thiobis- (3-methyl-6 -t-butylphenol), 4, 4'-butylidene-bis- (3-methyl-6-t-butylphenol), 1,1, 3-tris- (2-methyl-4-hydroxy-5 -t-butylphenyl) butane, 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene, tetrakis [methylene-3- (3 ', 5'-di-t-butyl-4'-hydroxyphenyl) propionate] methane, bis- [3,3'-bis- (4'-hydroxy-3'-t-butylphenyl A) butylic acid] glycol filter and tocophenol one or two or more air filter. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 윤활제의 주성분이, 탄소 수 20이상인 지방족 탄화수소 및 탄소 수18이상인 고급알콜 중 한쪽 또는 양쪽인 것을 특징으로 하는 에어필터.An air filter comprising a filter material formed by processing a fiber with a treatment agent, a frame in which the filter material is put, and a seal material sealing the space between the frame and the filter material, wherein the air filter collects suspended particulate matter in the air. An air filter, wherein the main component of the lubricant contained in the seal material is one or both of an aliphatic hydrocarbon having 20 or more carbon atoms and a higher alcohol having 18 or more carbon atoms. 제12항에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 윤활제의 주성분은, 마이크로 크리스탈린왁스, 천연파라핀, 합성파라핀, 폴리올레핀왁스, 탄소수 18, 20, 24의 분기알콜, 및 올레일알콜 중 1 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 에어필터.The main component of the lubricant contained in the sealing material is one or two or more of microcrystalline wax, natural paraffin, synthetic paraffin, polyolefin wax, branched alcohol having 18, 20 and 24 carbon atoms, and oleyl alcohol. Air filter, characterized in that. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 가소제의 주성분으로서, 분자량 400이상인 카르본산 에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중 1 또는 2 이상을 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법.The manufacturing method of the air filter which consists of the filter medium formed by processing a fiber with the processing agent, the frame which put this filter medium, and the sealing material which seals between this frame and the filter medium, and collects suspended particulate matter in air. The manufacturing method of the air filter of Claim 1 which uses 1 or 2 or more of the carboxylic acid ester, polyester, and an epoxy compound of molecular weight 400 or more as a main component of the plasticizer contained in the said processing agent. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기 중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 산화방지제의 주성분으로서, 분자량 300이상인 페놀계화합물을 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법.The manufacturing method of the air filter which consists of the filter medium formed by processing a fiber with the processing agent, the frame which put this filter medium, and the sealing material which seals between this frame and the filter medium, and collects suspended particulate matter in air. The manufacturing method of the air filter of Claim 1 which uses and selects the phenolic compound whose molecular weight is 300 or more as a main component of the antioxidant contained in the said processing agent. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 가소제의 주성분으로서, 분자량 400이상인 카르본산 에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중 1 또는 2 이상을 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법.A method for producing an air filter comprising a filter medium formed by treating a fiber with a treating agent, a frame in which the filter medium is placed, and a seal member sealing the space between the frame and the filter medium, and collecting suspended particulate matter in the air. The manufacturing method of the air filter of Claim 1 which uses 1 or 2 or more of the carboxylic acid ester, polyester, and an epoxy compound of molecular weight 400 or more as a main component of the plasticizer contained in the said sealing material. 섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성된 여과재와, 이 여과재를 넣는 프레임과, 이 프레임과 여과재와의 사이를 밀봉하는 시일재로 구성되고, 공기중의 부유입자형상물질을 포집하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 시일재에 함유되는 산화방지제의 주성분으로서, 분자량300이상인 페놀계 화합물을 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법.Manufacture of an air filter comprising a filter medium formed by treating a fiber with a treatment agent, a frame in which the filter medium is placed, and a seal member sealing the space between the frame and the filter medium, and collecting suspended particulate matter in the air. A method for producing an air filter, characterized in that a phenolic compound having a molecular weight of 300 or more is selected and used as a main component of the antioxidant contained in the sealing material. 제1항에 있어서, 상기 시일재의 주성분은, 이소시아네이트로 이루어지는 주제와 경화제와의 반응으로 형성되는 2액형의 폴리우레탄수지이며, 경화제의 활성수소의 당량이 주제의 이소시아네이트기의 당량보다 많고, 또한 인산 에스테르를 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 에어필터.The main component of the said sealing material is a two-component polyurethane resin formed by reaction of the main material which consists of an isocyanate, and a hardening | curing agent, The active hydrogen equivalent of a hardening | curing agent is more than the equivalent of the main isocyanate group, and phosphoric acid is carried out. Air filter, characterized in that it does not contain an ester. 제1항에 있어서, 상기 시일재의 주성분은, 주제와 경화제와의 반응으로 형성되는 2액형의 에폭시수지이며, 경화제가 산성 또는 중성인 것을 특징으로 하는 에어필터.The air filter according to claim 1, wherein the main component of the sealing material is a two-component epoxy resin formed by a reaction between a main material and a curing agent, and the curing agent is acidic or neutral. 제1항에 있어서, 상기 시일재의 주성분은 주제와 경화제와의 반응으로 형성되는 2액형의 에폭시수지로 경화제는 아민계이며, 잔존 아민 저감수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 에어필터.The air filter according to claim 1, wherein the main component of the seal member is a two-component epoxy resin formed by a reaction between a main agent and a curing agent, and the curing agent is amine-based, and the remaining amine reducing means is provided. 제18항, 제19항 또는 제20항에 있어서, 상기 여과재는 실리콘 오일이 부착한 유리섬유를 처리제로 처리하여 직물형상으로 형성되는 것이며, 해당 실리콘 오일은 규소 수 10이하의 고리형상 실록산을 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 에어필터.21. The filter medium according to claim 18, 19 or 20, wherein the filter medium is formed into a woven fabric by treating the glass fiber to which the silicone oil is attached with a treatment agent, and the silicone oil contains cyclic siloxane having a silicon number of 10 or less. Air filter, characterized in that not. 실리콘오일을 유리섬유에 부착시키는 제1 공정과, 해당 제1 공정의 후에 해당 유리섬유를 처리제로 처리하여 직물형상의 여과재를 형성하는 제2 공정을 포함하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 제1 공정후의 유리섬유를 청정한 공기 기류하에서 가열처리하고, 해당 유리섬유에 부착되어 있는 실리콘오일로부터 규소 수 10이하의 실록산을 충분히 제거한 후에, 가스형태 유기물을 발생시키지 않는 처리제로 처리하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법.A method of manufacturing an air filter, comprising: a first step of attaching silicon oil to glass fibers; and a second step of treating the glass fibers with a treatment agent after the first step to form a fabric-like filter medium. The glass fiber after one step is heat-processed under the clean air stream, and after removing enough siloxane of 10 or less silicon from the silicon oil adhering to this glass fiber, it is processed by the processing agent which does not generate gaseous organic substance. Method of manufacturing an air filter. 실리콘 오일을 유리섬유에 부착시키는 제1 공정과, 해당 제1 공정의 후에 해당 유리섬유를 처리제로 처리하여 직물형상의 여과재를 형성하는 제2 공정을 포함하는 에어필터의 제조방법에 있어서, 상기 제1 공정에서 사용하는 실리콘 오일로서 규소 수 10이하의 고리형상 실록산이 제거된 것을 이용하고, 가스형태 유기물을 발생시키지 않는 처리제로 처리하는 것을 특징으로 하는 에어필터의 제조방법.A method of manufacturing an air filter comprising a first step of attaching a silicone oil to a glass fiber, and a second step of treating the glass fiber with a treating agent after the first step to form a fabric-like filter medium. A process for producing an air filter, characterized by treating with a treating agent which does not generate gaseous organic substances, using a silicone oil used in step 1, in which a cyclic siloxane having a silicon number of 10 or less is removed. 제1항에 기재된 에어필터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 크린룸The clean room provided with the air filter of Claim 1. 제1항에 기재된 에어필터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 국소설비.A local facility comprising the air filter according to claim 1. 벽 및 바닥을, 파지앤드트랩법에 의한 가스형태 유기물 발생량이 1g당 50μg이하인 건축재료로 구축함과 동시에, 제1항에 기재된 에어필터를, 해당 에어필터와 그 부착용의 개구부와의 사이에, 파지앤드트랩법에 의한 가스형태 유기물 발생량이 1g당 50μg이하인 가스켓을 끼워 부착한 것을 특징으로 하는 크린룸.The wall and floor are constructed of a building material in which the amount of gaseous organic matter generated by the gripping and trapping method is 50 μg or less per g, and the air filter according to claim 1 is held between the air filter and the opening for attachment thereof. Clean room, characterized in that the gasket is formed by inserting a gasket of less than 50μg per 1g of gas-type organic matter generated by the end trap method. 섬유를 처리제에 스며들게 하여 직물형상으로 형성함으로써 에어필터용 여과재를 제조하는 여과재의 제조방법에 있어서, 상기 처리제에 함유되는 가소제의 주성분으로서, 분자량 400이상인 카르본산 에스테르, 폴리에스테르, 에폭시계 화합물 중의 1 또는 2 이상을 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 여과재의 제조방법.In the manufacturing method of the filter medium which manufactures the filter medium for air filters by infiltrating a fiber with a process agent and forming it into a fabric shape, As a main component of the plasticizer contained in the said process agent, 1 in carboxylic acid ester, polyester, an epoxy-type compound of molecular weight 400 or more. Or 2 or more selected and used. 섬유를 처리제에 스며들게 하여 직물형상으로 형성함으로써 에어필터용의 여과재를 제조하는 여과재의 제조방법에 있어서, 상기 처리제의 함유되는 산화방지제의 주성분으로서 분자량 300이상인 페놀계 화합물을 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 여과재의 제조방법.A method for producing a filter medium for preparing a filter medium for an air filter by infiltrating a fiber with a treatment agent to form a fabric, wherein the phenolic compound having a molecular weight of 300 or more is selected and used as a main component of the antioxidant contained in the treatment agent. The manufacturing method of the filter medium.
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