KR100239721B1 - Aspirator apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화공약품 공급 장치에 관한 것으로, 종래에는 화공약품을 담아 놓은 용기에서 화공약품을 공급하기 위하여 사용하는 펌프의 맥동현상에 의해 토출되는 화공약품의 유량이 일정치 않고, 펌프가 매우 고가일 뿐 아니라 펌프의 수명이 짧아 유지 보수비가 많이 소요되는 문제점이 있었던바, 본 발명의 화공약품 공급 장치는 가스가 유입되는 입구관과, 상기 입구관을 통해 유입된 가스의 압력을 조절하도록 설치되는 제1압력 조절장치와, 공정에 사용되는 화공약품이 담겨있는 약품용기와, 상기 약품용기의 상단부에 설치되어 상기 제1압력 조절장치를 통과한 가스와 상기 약품용기 내의 약품이 혼합되도록 하는 에스피레이터(aspirator)와, 상기 에스피레이터를 통과한 가스와 혼합된 약품이 유입되는 가압용 보조 용기와, 상기 가압용 보조 용기의 상단부에 설치되어 상기 에스피레이터에서 유입된 가스와 혼합된 약품을 각각으로 분리하고 분리된 가스의 압력을 조절하는 제2압력 조절장치와, 상기 제2압력 조절장치에 연결되어 분리된 가스를 배출하는 배기관과, 상기 배기관에 연결되어 기화된 약품을 다시 외부로 배출하는 드레인 파이프와, 상기 가압용 보조 용기와 연결되어 분리된 화공약품이 유입되는 사용장치를 포함하여 구성됨으로써, 고가의 화공약품용 펌프를 사용하지 않고 특별한 전기 장치가 없어 고장의 요인이 적을 뿐 아니라 유지 보수가 용이하게 한 것이다.The present invention relates to a chemical supplying device, and in the related art, the flow rate of chemicals discharged by a pulsation phenomenon of a pump used to supply chemicals in a container containing chemicals is not constant, and the pump is very expensive. In addition, there was a problem that the maintenance life of the pump is short because of the short life of the pump, the chemical supply device of the present invention is installed to adjust the pressure of the gas introduced through the inlet pipe, the gas flowing through the inlet pipe 1 a pressure regulator, an chemical container containing a chemical agent used in the process, and an espitator installed at the upper end of the chemical container to mix the gas passing through the first pressure control device with the chemical in the chemical container ( aspirator), a pressurized auxiliary container into which the medicine mixed with the gas passing through the aspirator flows, and a pressurized auxiliary container A second pressure regulator installed at an upper end to separate the chemicals mixed with the gas introduced from the escalator, and adjusting the pressure of the separated gas; and discharging the separated gas connected to the second pressure regulator; Exhaust pipe, a drain pipe connected to the exhaust pipe to discharge the chemical vaporized back to the outside, and the use of the chemicals connected to the pressurized auxiliary vessel flows into a chemical pump, Without the use of special electrical devices, there is little cause of failure and easy maintenance.

Description

화공약품 공급 장치Chemical Supply Unit

본 발명은 화공약품 공급 장치에 관한 것으로, 특히 고가의 화공약품용 펌프를 사용하지 않아 저렴하고 장치의 구성이 매우 간단하여 유지 보수가 용이한 화공약품 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical supplying device, and more particularly, to a chemical supplying device which is inexpensive and does not use an expensive chemical pump and is very simple in configuration and easy to maintain.

일반적으로 반도체를 제조하는 공정에는 여러 가지 다양한 화공약품을 사용하는데, 화공약품을 담아 놓은 용기에서 화공약품을 사용하는 장치까지 약품을 공급하기 위하여 상당히 고가의 화공약품용 펌프 또는 특수 가압용기를 사용한다.Generally, a variety of chemicals are used in the process of manufacturing semiconductors. In order to supply chemicals from a container containing chemicals to a device using chemicals, a chemical pump or a special pressurized container which is quite expensive is used. .

종래의 화공약품 공급 장치는, 도1에 도시한 바와 같이, 화공약품이 담겨있는 화공약품용기(1)와, 이 화공약품을 사용하는 사용장치(2)와, 상기 사용장치(2)에 화공약품을 공급하기 위한 가압 펌프(3)와, 이 펌프(3)의 동작을 제어하는 제어장치(4)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, a conventional chemical chemical supply device includes a chemical container 1 containing chemical chemicals, an apparatus 2 for using the chemicals, and a chemical apparatus in the apparatus 2; It is comprised including the pressure pump 3 for supplying a chemical | medical agent, and the control apparatus 4 which controls the operation | movement of this pump 3.

상기와 같은 구성의 종래의 화공약품 공급 장치는 상기 화공약품용기(1)에 가압 펌프(3)의 입구를 연결하고 펌프(3)의 출구를 약품을 사용하는 사용장치(2)에 연결한다.Conventional chemical supply device of the above configuration is connected to the inlet of the pressure pump (3) to the chemical container (1) and the outlet of the pump (3) to the use device (2) using the chemical.

상기 사용장치(2)에 공급되는 약품의 양은 펌프(3)를 제어하는 제어장치(4)를 통해 펌프(3)의 압출 속도를 제어하면서 공급량을 조절한다.The amount of chemical supplied to the use device 2 is controlled by controlling the extrusion rate of the pump 3 through the control device 4 for controlling the pump 3.

그러나, 상기와 같은 종래의 화공약품 공급 장치는 약품을 공급하기 위한 펌프(3)의 맥동현상으로 인해 토출되는 화공약품의 유량이 일정치 않고, 펌프(3)가 매우 고가일 뿐 아니라 펌프(3)의 수명이 짧아 유지 보수비가 많이 소요되는 문제점이 있었다.However, the conventional chemical chemicals supplying device as described above does not have a constant flow rate of chemicals discharged due to the pulsation of the pump 3 for supplying chemicals, and the pump 3 is not only very expensive, but also the pump 3 There was a problem that takes a lot of maintenance costs due to the short life of the).

또한, 약품의 흐름량을 제어하기 위한 별도의 펌프 제어장치(4)가 전자 장치이기 때문에 고장이 잦은 단점이 있었던바, 이에 대한 보완이 요구되어 왔다.In addition, since the separate pump control device 4 for controlling the flow rate of the drug is an electronic device, there was a disadvantage that frequent breakdowns, and a supplement thereof has been required.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 가스를 유입함과 동시에 약품용기에서 화공약품을 송출할 수 있는 에스피레이터(aspirator)와, 이 에스피레이터에 의해 혼합된 가스와 약품을 분리하고 압력을 제어하여 약품 사용장치에 약품을 공급하는 압력 조절장치를 포함하여 구성됨으로써, 고가의 화공약품용 펌프를 사용하지 않고 특별한 전기 장치가 없어 고장의 요인이 적을 뿐 아니라 유지 보수가 용이한 화공약품 공급 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, an aspirator capable of injecting a gas and simultaneously sending chemicals from a chemical container, and a gas and a chemical mixed by the espator It is composed of a pressure regulator that supplies chemicals to the device using chemicals by separating and controlling the pressure.There is no special electrical device without using expensive chemical pumps. The object is to provide a chemical supply device.

도1은 종래의 화공약품 공급 장치를 개략적으로 도시한 도.Figure 1 schematically shows a conventional chemical supply device.

도2은 본 발명의 화공약품 공급 장치를 개략적으로 도시한 도.Figure 2 schematically shows a chemical supply device of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

9 : 입구관 10 : 제1압력 조절장치9: inlet pipe 10: first pressure regulating device

20 : 약품용기 30 : 에스피레이터(aspirator)20: chemical container 30: aspirator

40 : 가압용 보조 용기 50 : 제2압력 조절장치40: auxiliary container for pressurization 50: second pressure control device

51 : 배기관 52 : 드레인 파이프51: exhaust pipe 52: drain pipe

60 : 사용장치60: device used

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 가스가 유입되는 입구관과, 상기 입구관을 통해 유입된 가스의 압력을 조절하도록 설치되는 제1압력 조절장치와, 공정에 사용되는 화공약품이 담겨있는 약품용기와, 상기 약품용기의 상단부에 설치되어 상기 제1압력 조절장치를 통과한 가스와 상기 약품용기 내의 약품이 혼합되도록 하는 에스피레이터와, 상기 에스피레이터를 통과한 가스와 혼합된 약품이 유입되는 가압용 보조 용기와, 상기 가압용 보조 용기의 상단부에 설치되어 상기 에스피레이터에서 유입된 가스와 혼합된 약품을 각각으로 분리하고 가스의 압력을 조절하는 제2압력 조절장치와, 상기 제2압력 조절장치에 연결되어 분리된 가스를 배출하는 배기관과, 상기 배기관에 연결되어 기화된 약품을 다시 외부로 배출하는 드레인 파이프와, 상기 가압용 보조 용기와 연결되어 분리된 화공약품이 유입되는 사용장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 화공약품 공급 장치가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention includes an inlet tube into which gas is introduced, a first pressure regulating device installed to adjust the pressure of the gas introduced through the inlet tube, and a chemical agent used in the process. A medicine container, an escapator installed at an upper end of the medicine container to mix the gas passing through the first pressure regulating device and the medicine in the medicine container, and a medicine mixed with the gas passing through the escapator are introduced. A second pressure regulating device installed at an upper end of the pressure auxiliary container, an upper end of the pressure auxiliary container for separating the chemicals mixed with the gas introduced from the escalator, and adjusting the pressure of the gas; An exhaust pipe connected to the apparatus for discharging the separated gas, a drain pipe connected to the exhaust pipe for discharging the vaporized chemical back to the outside; Provided is a chemical supply device, characterized in that configured to include a use device which is connected to the auxiliary container for pressurized chemicals introduced.

이하, 본 발명의 화공약품 공급 장치를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the chemical supply device of the present invention will be described in detail as follows.

본 발명에 따른 화공약품 공급 장치는, 도2에 도시한 바와 같이, 가스가 유입되는 입구관(9)에 유입된 가스의 압력을 조절하도록 제1압력 조절장치(10)가 설치되고, 공정에 사용되는 화공약품이 담겨있는 약품용기(20)의 상단부에 에스피레이터(aspirator)(30)가 설치된다.In the chemical supply device according to the present invention, as shown in FIG. 2, a first pressure regulating device 10 is installed to adjust the pressure of the gas introduced into the inlet pipe 9 into which the gas is introduced. An aspirator 30 is installed at the upper end of the chemical container 20 containing the chemicals used.

상기 에스피레이터(30)는 상기 제1압력 조절장치(10)와 연결되도록 설치되고, 상기 약품용기(20) 내의 약품을 송출하여 제1압력 조절장치(10)를 통과한 가스와 혼합되도록 한다.The escalator 30 is installed to be connected to the first pressure regulating device 10, and sends the medicine in the chemical container 20 to be mixed with the gas passed through the first pressure regulating device 10.

상기 에스피레이터(30)를 통과한 가스와 약품이 유입되도록 상기 에스피레이터(30)와 연결되어 가압용 보조 용기(40)가 설치되고, 상기 가압용 보조 용기(40)에 유입된 가스와 약품을 분리시키고 분리된 가스의 압력을 조절하도록 상기 가압용 보조 용기(40)의 상단부에는 제2압력 조절장치(50)가 설치된다.The pressurized auxiliary container 40 is connected to the escalator 30 so that the gas and the medicine passed through the escalator 30 are introduced, and the gas and the chemical introduced into the pressurized auxiliary container 40 are installed. A second pressure control device 50 is installed at the upper end of the pressure auxiliary container 40 to separate and adjust the pressure of the separated gas.

또한, 상기 제2압력 조절장치(50)에 의해 분리된 가스를 배출하도록 하는 배기관(51)이 상기 제2압력 조절장치(50)에 연결설치되고, 상기 제2압력 조절장치(50)에 의해 분리된 화공약품을 사용할 수 있도록 사용장치(60)가 상기 가압용 보조 용기(40)와 연결설치된다.In addition, an exhaust pipe 51 for discharging the gas separated by the second pressure regulating device 50 is connected to the second pressure regulating device 50 and installed by the second pressure regulating device 50. The use device 60 is connected to the pressurizing auxiliary container 40 so that the separated chemicals can be used.

도면중 미설명부호 52는 드레인 파이프로서, 상기 가압용 보조 용기(40) 내에서 약품의 기화로 인해 가스와 분리와 되지 않고 상기 제2압력 조절장치(50)에 의해 가스와 같이 배기관(51)으로 배출된 약품을 외부로 배출하도록 하는 것이다.In the figure, reference numeral 52 denotes a drain pipe, which is not separated from gas due to vaporization of chemicals in the auxiliary container 40 for pressurization, and the exhaust pipe 51 like the gas by the second pressure regulating device 50. It is to discharge the drug discharged to the outside.

상기와 같은 화공약품 공급 공정에 사용되는 가스는 압축 공기 또는 질소 가스로 됨이 바람직하다.The gas used in the chemical supplying process is preferably compressed air or nitrogen gas.

상기와 같은 구성의 화공약품 공급 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the chemical supply device of the above configuration is as follows.

상기 제1압력 조절장치(10)를 열어 고압의 압축 공기 또는 질소 가스를 유입시킨다.The first pressure regulator 10 is opened to introduce high pressure compressed air or nitrogen gas.

상기 유입된 압축 공기 또는 질소 가스는 약품용기(20) 상단에 설치된 에스피레이터(30)로 유입되고, 상기 에스피레이터(30)는 약품용기(20)내의 약품을 송출하여 상기 제1압력 조절장치(10)로부터 유입된 가스와 함께 약품을 가압용 보조 용기(40)로 유입시킨다.The introduced compressed air or nitrogen gas flows into the escalator 30 installed on the upper side of the chemical container 20, and the espressor 30 sends the chemical in the chemical container 20 to the first pressure regulating device ( The chemical is introduced into the pressure auxiliary container 40 together with the gas introduced from 10).

상기와 같이 가압용 보조 용기(40)로 유입된 가스와 약품은 각각의 중량과 상기 가압용 보조 용기(40)의 상단에 설치된 제2압력 조절장치(50)에 의해 액체와 기체로 분리된다.As described above, the gas and the chemical introduced into the pressurizing auxiliary container 40 are separated into liquid and gas by the respective weights and the second pressure regulating device 50 installed at the upper end of the pressurizing auxiliary container 40.

상기 제2압력 조절장치(50)에 의해 분리된 기체는 배기관(51)을 통해 외부로 배출된다.The gas separated by the second pressure regulator 50 is discharged to the outside through the exhaust pipe 51.

상기 제2압력 조절장치(50)는 상기와 같이 분리된 기체가 외부로 배출되는 것을 적당히 조절해준다.The second pressure control device 50 properly controls the discharged gas as described above to the outside.

또한, 상기 제2압력 조절장치(50)에 의해 분리된 약품은 상기 가압용 보조 용기(40)내에서 화공약품 사용장치(60)로 공급된다.In addition, the chemical separated by the second pressure control device 50 is supplied to the chemical use device 60 in the pressure auxiliary container 40.

본 발명의 화공약품 공급 장치는 제1압력 조절장치(10)의 압력을 제2압력 조절 장치(50)의 압력보다 항상 높게 하여 공급가스로 사용되는 압축공기나 질소 가스가 원활하게 공급되도록 한다.Chemical supply device of the present invention is always higher than the pressure of the first pressure regulating device 10 the pressure of the second pressure regulating device 50 so that the compressed air or nitrogen gas used as the supply gas is smoothly supplied.

본 발명의 화공약품 공급 장치에 의하면 고가의 화공약품용 펌프를 사용할 필요가 없으므로 약품공급장치를 저렴하게 구성할 수 있고, 펌프의 맥동현상으로 인해 토출되는 화공약품의 유량이 일정치 않은 점을 방지할 수 있을 뿐 아니라 제어장치등의 특별한 전기장치가 없으므로 고장의 요인을 없앨 수 있는 효과가 있다.According to the chemical supply device of the present invention, it is not necessary to use an expensive chemical pump, so that the chemical supply device can be configured at low cost, and the flow rate of the chemical chemical discharged due to the pulsation of the pump is not fixed. In addition, there is no special electrical device such as a control device, there is an effect that can eliminate the cause of failure.

Claims (1)

가스가 유입되는 입구관과, 상기 입구관을 통해 유입된 가스의 압력을 조절하도록 설치되는 제1압력 조절장치와, 공정에 사용되는 화공약품이 담겨있는 약품용기와, 상기 약품용기의 상단부에 설치되어 상기 제1압력 조절장치를 통과한 가스와 상기 약품용기 내의 약품이 혼합되도록 하는 에스피레이터(aspirator)와, 상기 에스피레이터를 통과한 가스와 혼합된 약품이 유입되는 가압용 보조 용기와, 상기 가압용 보조 용기의 상단부에 설치되어 상기 에스피레이터에서 유입된 가스와 혼합된 약품을 각각으로 분리하고 분리된 가스의 압력을 조절하는 제2압력 조절장치와, 상기 제2압력 조절장치에 연결되어 분리된 가스를 배출하는 배기관과, 상기 배기관에 연결되어 기화된 약품을 다시 외부로 배출하는 드레인 파이프와, 상기 가압용 보조 용기와 연결되어 분리된 화공약품이 유입되는 사용장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 화공약품 공급 장치.An inlet tube into which gas is introduced, a first pressure regulating device installed to adjust the pressure of the gas introduced through the inlet tube, a chemical container containing chemicals used in the process, and an upper end of the chemical container And an aspirator for mixing the gas passed through the first pressure regulating device and the medicine in the medicine container, a pressure auxiliary container into which the medicine mixed with the gas passing through the espressor flows, and the pressure A second pressure control device installed at an upper end of the auxiliary container for separating the chemicals mixed with the gas introduced from the escalator and adjusting the pressure of the separated gas, and connected to and separated from the second pressure control device An exhaust pipe for discharging gas, a drain pipe connected to the exhaust pipe for discharging vaporized chemicals to the outside, and an auxiliary container for pressurization Chemical supply device, characterized in that configured to include the use of the chemicals introduced into the separated chemicals.
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