KR100233000B1 - Gripper structure of transfer apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 캐리어 이송 설비의 그리퍼에 관한 것으로 그리퍼 헤드와 그리퍼를 연결하는 축에 연결봉을 설치하고 연결봉 외부에 충격을 완충시킬 수 있는 스프링을 설치하며 축과 연결봉에 센서를 설치하여 캐리어와 캐리어 또는 그리퍼와 캐리어가 충돌하였을 경우 충격에 의해서 그리퍼 또는 캐리어가 손상되는 것을 방지함으로써 설비가 파손되는 것을 방지할 수 있고, 설비의 가동률을 증가시킬 수 있다.The present invention relates to a gripper of a carrier transporting facility, and installs a connecting rod on the shaft connecting the gripper head and the gripper, installs a spring to cushion the shock outside the connecting rod, and installs a sensor on the shaft and the connecting rod to install the carrier and the carrier or the gripper. When the and the carrier collide with each other, the damage to the gripper or the carrier is prevented from being damaged by the impact, thereby preventing the equipment from being damaged and increasing the operation rate of the equipment.
Description
본 발명은 캐리어 이송장치의 그리퍼(gripper)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그리퍼와 캐리어의 충돌로 인해 그리퍼가 파손되는 것을 방지하기 위해서 그리퍼에 감지부와 완충부를 설치한 캐리어 이송장치의 그리퍼 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a gripper of a carrier transfer device, and more particularly, to a gripper structure of a carrier transfer device in which a sensing unit and a buffer unit are installed in a gripper in order to prevent the gripper from being broken due to a collision between the gripper and the carrier. It is about.
일반적으로 이송장치는 웨이퍼가 적재된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송장치와, 캐리어들이 복수개 적재된 캐리어 박스를 이송하는 캐리어 박스 이송장치가 있다.In general, the transfer apparatus includes a carrier transfer apparatus for transferring a carrier loaded with a wafer, and a carrier box transfer apparatus for transferring a carrier box in which a plurality of carriers are stacked.
보통 캐리어 이송장치는 공정이 완료된 웨이퍼가 적재되어 있는 캐리어를 다음 공정이 진행될 설비로 운반시켜주는 장치로써 레일을 따라 설비와 설비 사이를 이동하는 주행부와, 설비에 놓여있는 캐리어를 이송장치로 운반하거나 이송장치에 적재된 캐리어를 설비로 운반하기 위한 로봇암과, 로봇암에 의해 설비에서 운반된 캐리어를 적재하기 위한 반송대로 구성되어 있다.In general, the carrier transporting device is a device that transports a carrier on which a wafer has been processed to a facility for the next process. The carrier transports between the facility and the facility along the rail, and the carrier placed in the facility is transported to the transport device. Or a robot arm for transporting the carrier loaded on the transfer device to the facility, and a transport stand for loading the carrier transported from the facility by the robot arm.
도 1은 종래의 캐리어 이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다1 is a perspective view schematically showing a conventional carrier transport apparatus.
도시된 바와 같이 캐리어 이송장치(10)는 레일(11)을 따라 이동하는 사각형상의 주행부(13)와, 주행부(13) 상부면 우측에 설치되며 복수개의 캐리어가 놓여지는 사각형상의 반송대(15)와, 주행부(13) 상부면 좌측에 설치되며 캐리어를 이송하기 위한 로봇 암(20)으로 구성되어 있다.As shown in the figure, the carrier transporting device 10 includes a rectangular traveling part 13 moving along the rail 11, and a rectangular carrier table 15 installed on the right side of the upper surface of the traveling part 13 and on which a plurality of carriers are placed. ), And the robot arm 20 for transporting the carrier is installed on the left side of the upper surface of the running portion 13.
로봇 암(20)은 주행부(13) 상부면과 결합되어 회전하는 원통형상의 선회 링크(21)와, 선회 링크(21)와 힌지부(23)에 의해서 연결되어 절곡되는 연결 링트(25)와, 연결 링크(25) 단부와 힌지부(27)에 의해 결합되어 있고 캐리어를 집기 위한 구동 링크(29)와, 구동 링크(29) 단부와 플랜지(31)에 의해 연결되어 있는 그리퍼부(30)로 구성되어 있다. 여기서, 그리퍼부(30)에는 구동 링크(29)와 플렌지(31)에 의해서 연결되는 그리퍼 헤드(33)가 설치되어 있고, 그리퍼 헤드(33)에 형성되어 있는 힌지부(35)에 축(37)이 결합되어 있으며, 축(37)의 말단은 그리퍼 헤드(33)의 세로 방향으로 설치된 그리퍼(39)와 결합되어 있다. 여기서, 그리퍼(39) 하부에는 캐리어에 형성되어 있는 턱부를 집기 위해 돌출부(41)가 형성되어 있다.The robot arm 20 has a cylindrical swing link 21 which is coupled to the upper surface of the driving unit 13 and rotates, a connecting ring 25 which is bent and connected by the pivot link 21 and the hinge 23. And a gripper portion 30 coupled by an end portion of the connection link 25 and a hinge portion 27 and connected by a drive link 29 for picking up a carrier and an end portion of the drive link 29 and a flange 31. Consists of Here, the gripper part 30 is provided with a gripper head 33 connected by the drive link 29 and the flange 31, and the shaft 37 is formed on the hinge part 35 formed in the gripper head 33. ) Is coupled, and the end of the shaft 37 is coupled to the gripper 39 provided in the longitudinal direction of the gripper head 33. Here, a protrusion 41 is formed below the gripper 39 to pick up the jaw formed on the carrier.
이와 같이 구성된 캐리어 이송장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the carrier transfer device configured as described above are as follows.
먼저, 공정이 완료된 웨이퍼가 캐리어(미도시)에 적재되면 캐리어는 설비의 포트(미도시)에 놓여지고, 포트 위에 놓여진 캐리어는 이송장치(10)의 로봇암(20)에 의해서 반송대(15)로 이송된다. 여기서, 설비의 포트 위에 놓여진 캐리어를 집기 위해서 로봇 암(20)의 선회 링크(21)는 포트가 설치되어 있는 방향으로 회전하고, 선회 링크(21)가 포트쪽으로 회전하면 연결 링크(25)와 구동 링크(29)는 캐리어가 놓여져 있는 포드 방향으로 절곡된다. 이후, 구동 링크(29)가 절곡되어 그리퍼(39)가 캐리어의 턱부에 위치하면 축(35)과 연결되어 있는 힌지부들(35)이 좌우로 이동하여 캐리어 중간에 형성되어 있는 턱부와 그리퍼(39) 하부에 형성되어 돌출부(41)를 걸리게 한다.First, when the wafer having been processed is loaded on a carrier (not shown), the carrier is placed in a port (not shown) of the facility, and the carrier placed on the port is carried by the robot arm 20 of the transfer apparatus 10 by the carrier table 15. Is transferred to. Here, the pivot link 21 of the robot arm 20 rotates in the direction in which the port is installed in order to pick up the carrier placed on the port of the facility, and when the pivot link 21 rotates toward the port, the link link 25 and the drive are driven. The link 29 is bent in the direction of the pod in which the carrier is placed. Subsequently, when the driving link 29 is bent and the gripper 39 is positioned at the jaw of the carrier, the hinge parts 35 connected to the shaft 35 move left and right to form the jaw and gripper 39 formed in the middle of the carrier. It is formed in the lower portion to catch the protrusion (41).
이후, 그리퍼(39)가 캐리어를 집으면 연결 링크(25)와 구동 링크(29)가 상승되고 선회 링크(21)는 회전하여 캐리어를 반송대(15) 위에 적재한다.Thereafter, when the gripper 39 picks up the carrier, the connecting link 25 and the driving link 29 are raised and the turning link 21 rotates to load the carrier on the carrier table 15.
이와 같이 캐리어가 반송대(15) 위에 다수개 적재되면 이송장치(10)의 주행부(13)는 레일(11)을 따라 후속 공정이 진행될 설비로 이동되고 반송대(15) 위에 적재된 캐리어는 후속 공정이 진행될 포트 위에 적재된다.As such, when a plurality of carriers are stacked on the carrier table 15, the traveling part 13 of the transfer device 10 moves along the rail 11 to a facility to be subjected to a subsequent process, and the carrier loaded on the carrier table 15 is a subsequent process. This is loaded onto the port to proceed.
그러나, 캐리어가 놓여지는 포트 또는 반송대 위에 캐리어가 잘못 놓여져 있거나 그리퍼에 의해서 이송되는 캐리어가 놓여질 위치에 다른 캐리어가 존재할 경우 그리퍼에 물체 감지수단이 없으므로 그리퍼와 캐리어 또는, 캐리어와 캐리어가 충돌하게 된다. 이로 인해 그리퍼 또는 캐리어가 파손되었고, 파손된 그리퍼를 교체하는데 많은 시간이 소요되어 설비가동률이 저하되는 문제점이 있었다.However, when the carrier is misplaced on the port or carrier table on which the carrier is placed or when there is another carrier in the position where the carrier to be transported by the gripper is present, the gripper and the carrier or the carrier and the carrier collide because there is no object sensing means in the gripper. As a result, the gripper or the carrier is broken, and a lot of time is required to replace the broken gripper, thereby lowering the facility operation rate.
따라서, 본 발명의 목적은 포트 또는 반송대 위에 캐리어가 잘못 놓여져 있거나 캐리어가 이송될 위치에 다른 캐리어가 존재할 경우 이를 감지할 수 있는 감지부와 그리퍼와 캐리어가 충돌하였을 때 충격을 완충하기 위한 완충부를 설치하여 설비가 파손되고 이로 인해 설비 가동률이 저하되는 것을 방지하도록 한 이송장치의 그리퍼 구조를 제공하는데 목적이 있다.Therefore, an object of the present invention is to install a sensing unit that can detect when a carrier is misplaced on a port or carrier or when there is another carrier in the position to which the carrier is to be transported and a shock absorber to cushion the shock when the gripper collides with the carrier. It is an object of the present invention to provide a gripper structure of a conveying device to prevent the equipment from being damaged and thereby lowering the equipment operation rate.
도 1은 종래의 캐리어 이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고,1 is a perspective view schematically showing a conventional carrier transport apparatus,
도 2는 본 발명에 의한 캐리어 이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고,2 is a perspective view schematically showing a carrier transport apparatus according to the present invention;
도 3A는 도 2의 A부분을 확대한 요부 확대도이며, 도 3B는 도 3A를 B-B´선으로 절단한 단면도이다.3A is an enlarged view illustrating main parts of the enlarged portion A of FIG. 2, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 3A.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
11 : 레일13 : 주행부11: rail 13: running part
15 : 반송대 21 : 선회 링크15: carrier 21: turning link
25 : 연결 링크29 : 구동 링크25: connection link 29: drive link
63 : 그리퍼 헤드67 : 제 1 축63: gripper head 67: first axis
69 : 연결봉71 : 제 2 축69: connecting rod 71: second axis
73 : 인장 스프링 75 : 고정핀73: tension spring 75: fixed pin
77 : 가이드 홈78 : 마그네틱 센서77: guide groove 78: magnetic sensor
79 : 센서 브래킷(sensor bracket)79: sensor bracket
81 : 제어부 85 : 그리퍼(gripper)81: control unit 85: gripper
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 레일을 따라 이동하는 주행부와, 상기 주행부 상부에 설치되어 상기 캐리어가 적재되는 반송대와, 상기 주행부 상부에 설치되며 선회 링크와 연결 링크와 구동 링크와 그리퍼부로 구성된 로봇 암과, 상기 그리퍼부에 설치되며 물체를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에 연결되어 상기 감지부의 신호에 의해서 설비를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a traveling part moving along a rail, a carrier table mounted on the traveling part, and loaded with the carrier, and installed on an upper part of the traveling part, and having a turning link, a connecting link, and a driving link. And a robot arm comprising a gripper unit, a sensing unit installed in the gripper unit to sense an object, and a control unit connected to the sensing unit to control the facility by a signal of the sensing unit.
이하 본 발명에 의한 그러퍼 구조를 첨부된 도면 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a gripper structure according to the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
도 2 는 본 발명에 의한 캐리어 이송 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 3A는 도 2의 A부분을 확대한 요부 확대도이며, 도 3B는 도 3A를 B-B´선으로 절단한 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view schematically showing a carrier transport apparatus according to the present invention, FIG. 3A is an enlarged view illustrating main parts of FIG. 2, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 3A.
도 2에 도시된 바와 같이 캐리어 이송장치(50)는 레일(11)을 따라 이동하는 사각형상의 주행부(13)와, 주행부(13) 상부면 우측에 설치되며 복수개의 캐리어가 놓여지는 사각형상의 반송대(15)와, 주행부(13) 상부면 좌측에 설치되며 캐리어를 이송하기 위한 로봇 암(20)으로 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the carrier transporting device 50 has a rectangular traveling part 13 moving along the rail 11 and a rectangular shape in which a plurality of carriers are placed on the right side of the upper surface of the driving part 13. It is provided with the carrier 15 and the robot arm 20 provided in the upper part of the run part 13 upper surface, and for conveying a carrier.
로봇 암(20)은 주행부(13) 상부면과 결합되어 회전하는 원통형상의 선회 링크(21)와, 선회 링크(21)와 힌지부(23)에 의해서 연결되어 절곡되는 연결 링트(25)와, 연결 링크(25) 단부와 힌지부(27)에 의해 결합되어 있고 캐리어를 집기 위한 구동 링크(29)와, 구동 링크(29) 단부와 플랜지(31)에 의해 연결되어 있는 그리퍼부(60)로 구성되어 있다. 여기서, 그리퍼부(60)는 구동 링크(29)와 플렌지(31)에 의해서 연결되는 그리퍼 헤드(63)가 설치되어 있고, 그리퍼 헤드(63) 하부 세로 방향의 양단에는 캐리어를 집기 위해 좌우로 움직이는 한쌍의 그리퍼(85)가 설치되어 있다.The robot arm 20 has a cylindrical swing link 21 which is coupled to the upper surface of the driving unit 13 and rotates, a connecting ring 25 which is bent and connected by the pivot link 21 and the hinge 23. And a gripper portion 60 coupled by an end of the connection link 25 and a hinge portion 27 and connected by a drive link 29 for picking up a carrier, and by an end portion of the drive link 29 and a flange 31. Consists of Here, the gripper part 60 is provided with a gripper head 63 connected by the drive link 29 and the flange 31, and moves to the left and right sides of the gripper head 63 in the vertical direction to move the carrier from side to side. A pair of grippers 85 are provided.
여기서 도 3A 및 도 3B를 참조하여 그리퍼부에 대해 자세히 언급하면 다음과 같다.Herein, the gripper unit will be described in detail with reference to FIGS. 3A and 3B.
도 3A에 도시된 바와 같이 그리퍼 헤드(63) 측면에 형성되어 있는 힌지부(65)와 제 1 축(67)의 단부가 연결되어 있고, 제 1 축(67)의 하부에는 연결봉(69)이 억지 끼워 맞춤되어 고정되어 있으며, 또한 연결봉(69) 하부는 제 2 축(71)에 연결되어 있으며, 제 1 축(65)과 제 2 축(71)을 연결해주는 연결봉(69) 외부에는 충격을 흡수하고 제 2 축(71)을 복원시키는 인장 스프링(73)이 감겨져 있다. 여기서, 연결봉(69) 하부에는 도 3B에 도시된 바와 같이 연결봉(69)이 제 2 축(71)에서 이탈하는 것을 방지하기 위해서 2개의 고정 핀(75)이 설치되어 있고, 제 2 축(71)에는 연결봉(69)을 따라 제 2 축(71)이 상하로 이동할 수 있도록 연결봉(69)의 직경보다 큰 가이드 홈(77)이 형성되어 있다. 또한, 제 2 축(71)의 가이드 홈(77)이 형성되어 있는 부분에는 마그네틱 센서(78)가 설치되어 있고, 연결봉(77) 일측, 즉 마그네틱 센서와 대응되는 위치에 센서 브래킷(79)이 설치되어 있으며, 마그네틱 센서(78)와 센서 브래킷(79)은 제어부(81)와 연결되어 있으며 제어부(81)는 경보장치(83)와 연결되어 있다. 여기서, 연결봉과 인장 스프링의 재질은 스테인레스로써 연결봉과 스프링이 마찰할 경우 파티클이 발생되지 않도록 경도가 동일한 재질을 사용한다.As shown in FIG. 3A, the hinge portion 65 formed at the side of the gripper head 63 and the end of the first shaft 67 are connected, and a connecting rod 69 is provided at the lower portion of the first shaft 67. It is forcibly fitted and fixed, and the lower portion of the connecting rod 69 is connected to the second shaft 71, and an impact is applied to the outside of the connecting rod 69 connecting the first shaft 65 and the second shaft 71. A tension spring 73 is wound around which absorbs and restores the second axis 71. Here, two fixing pins 75 are provided below the connecting rod 69 to prevent the connecting rod 69 from being separated from the second shaft 71 as shown in FIG. 3B. ), A guide groove 77 larger than the diameter of the connecting rod 69 is formed to allow the second shaft 71 to move up and down along the connecting rod 69. In addition, a magnetic sensor 78 is installed at a portion where the guide groove 77 of the second shaft 71 is formed, and the sensor bracket 79 is positioned at one side of the connecting rod 77, that is, at a position corresponding to the magnetic sensor. It is installed, the magnetic sensor 78 and the sensor bracket 79 is connected to the control unit 81, the control unit 81 is connected to the alarm device (83). Here, the material of the connecting rod and the tension spring is made of stainless, and the material of the same hardness is used so that particles are not generated when the connecting rod and the spring are rubbed.
또한, 제 2 축(71) 하부면은 그리퍼(85)가 고정되어 있고, 그리퍼(85) 내측면 하부에는 웨이퍼를 집기 위한 돌출부(87)가 형성되어 있다.In addition, a gripper 85 is fixed to a lower surface of the second shaft 71, and a protrusion 87 for collecting a wafer is formed below the inner surface of the gripper 85.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 캐리어 이송장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the carrier transport apparatus according to the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 공정이 완료된 웨이퍼가 캐리어(미도시)에 적재되면 캐리어는 설비의 포트(미도시)에 놓여지고, 포트 위에 놓여진 캐리어는 이송장치(50)의 로봇 암(20)에 의해서 반송대(15)로 이송된다. 여기서, 설비의 포트 위에 놓여진 캐리어를 집기 위해서 로봇 암(20)의 선회 링크(21)는 포트가 설치되어 있는 방향으로 회전하고, 선회 링크(21)가 포트쪽으로 회전하면 연결 링크(25)와 구동 링크(29)는 캐리어가 놓여져 있는 포드 방향으로 절곡하여 그리퍼(85)가 캐리어의 턱부에 위치하도록 한다. 이때, 작업자의 실수에 의해서 캐리어가 포트에 잘못 놓여져 있을 경우 그리퍼(85)는 포트 위에 잘못 놓여진 캐리어와 충돌하게 된다. 여기서, 그리퍼(85)가 캐리어와 충돌하면 그리퍼(85)와 연결되어 있는 제 2 축(71)이 연결봉(69)에 감겨져 있는 인장 스프링(73)을 밀어 올리면서 제 2 축(71)이 연결봉(69)을 따라 상승하게 된다. 이때, 제 2 축(71)의 가이드 홈(77)에 설치되어 있는 마그네틱 센서(78)와 연결봉(69)에 설치되어 있는 센서 브래킷(78)이 대응되는 위치에 있을 때 전기적 신호가 발생되고, 마그네틱 센서(78)와 센서 브래킷(79)이 대응되는 위치에 있을 때 발생된 전기적 신호는 제어부(81)에 전달된다. 이때, 제어부(81)에 전기적 신호가 입력되면 제어부(81)는 경보장치(83)에 신호를 전달하여 경보를 발생시킴과 아울러 설비의 동작을 중단시킨다.First, when the wafer having been processed is loaded on a carrier (not shown), the carrier is placed in a port (not shown) of the facility, and the carrier placed on the port is carried by the robot arm 20 of the transfer device 50 by the carrier table 15. Is transferred to. Here, the pivot link 21 of the robot arm 20 rotates in the direction in which the port is installed in order to pick up the carrier placed on the port of the facility, and when the pivot link 21 rotates toward the port, the link link 25 and the drive are driven. The link 29 is bent in the direction of the pod where the carrier is placed so that the gripper 85 is positioned at the jaw of the carrier. At this time, when the carrier is incorrectly placed in the port by the operator's mistake, the gripper 85 collides with the carrier incorrectly placed on the port. Here, when the gripper 85 collides with the carrier, the second shaft 71 is connected to the gripper 85 by pushing up the tension spring 73 wound around the connecting rod 69. Will rise along (69). At this time, the electrical signal is generated when the magnetic sensor 78 installed in the guide groove 77 of the second shaft 71 and the sensor bracket 78 installed in the connecting rod 69 are in a corresponding position. The electrical signal generated when the magnetic sensor 78 and the sensor bracket 79 are in a corresponding position is transmitted to the controller 81. At this time, when an electrical signal is input to the controller 81, the controller 81 transmits a signal to the alarm device 83 to generate an alarm and stops the operation of the facility.
이후, 포트 위에 잘못 놓여진 캐리어가 제거되면 압축되었던 인장 스프링(73)이 인장되면서 제 2 축(71)이 복원된다. 이어서, 작업자가 캐리어를 포트 위에 정확히 놓으면 로봇 암(20)이 다시 구동되어 캐리어를 주행부(13) 상부면에 설치되어 있는 반송대(15) 위에 옮겨 놓는다. 캐리어가 반송대(15) 위에 다수개 적재되면 이송장치(50)의 주행부(13)는 레일(11)을 따라 후속 공정이 진행될 설비로 이동한 후 반송대(15) 위에 적재된 캐리어를 후속 공정이 진행될 포트 위에 적재한다.Subsequently, when the carrier misplaced on the port is removed, the tension spring 73 which has been compressed is tensioned and the second shaft 71 is restored. Subsequently, when the operator correctly places the carrier on the port, the robot arm 20 is driven again to move the carrier on the carrier table 15 provided on the upper surface of the traveling part 13. When a plurality of carriers are loaded on the carrier 15, the traveling part 13 of the transfer device 50 moves along the rail 11 to the facility where the subsequent process is to be carried out, and then the carriers loaded on the carrier 15 are transferred to the subsequent process. Load it on the port to proceed.
한편, 그리퍼(85)에 의해 이송되는 캐리어가 놓여질 위치에 다른 캐리어가 놓여진 경우 캐리어와 캐리어는 충돌되지만 상기에서 설명한 바와 같이 그리퍼부(60)에 센서(78)(79)와 스프링(73)이 설치되어 있어 그리퍼(85) 또는 캐리어가 파손되는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, when another carrier is placed at the position where the carrier to be transported by the gripper 85 is placed, the carrier and the carrier collide, but as described above, the sensor 78, 79 and the spring 73 are connected to the gripper part 60. It is provided, and it can prevent that the gripper 85 or carrier is damaged.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 그리퍼의 축에 충격을 흡수할 수 있는 스프링과 물체를 감지할 수 있는 감지부를 설치하여 캐리어와 캐리어, 또는, 그리퍼와 캐리어가 충돌하였을 경우 충격에 의해서 그리퍼 또는 캐리어가 손상되는 것을 방지함으로써 설비가 파손되는 것을 방지할 수 있고, 설비의 가동률을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention provides a spring and a detection unit for sensing an object on the axis of the gripper, so that the gripper or carrier may be damaged by impact when the carrier and the carrier, or when the gripper and the carrier collide with each other. By preventing the damage, it is possible to prevent the equipment from being damaged, and there is an effect of increasing the operation rate of the equipment.
Claims (9)
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| KR1019960072123A KR100233000B1 (en) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | Gripper structure of transfer apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960072123A KR100233000B1 (en) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | Gripper structure of transfer apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980053074A KR19980053074A (en) | 1998-09-25 |
| KR100233000B1 true KR100233000B1 (en) | 1999-12-01 |
Family
ID=19490957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960072123A KR100233000B1 (en) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | Gripper structure of transfer apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100233000B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160125042A (en) | 2015-04-21 | 2016-10-31 | 김강수 | Gripper synchronizing forward and backward of arms |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100309698B1 (en) * | 1999-09-28 | 2001-11-02 | 황인길 | Gripper of standard mechanical interface systems |
| KR100365475B1 (en) * | 2000-07-18 | 2002-12-18 | 메카텍스 (주) | Apparatus for transfrring semiconductor device |
| KR100850454B1 (en) * | 2002-02-27 | 2008-08-07 | 삼성테크윈 주식회사 | Block head assembly for dicing ? sorting system |
-
1996
- 1996-12-26 KR KR1019960072123A patent/KR100233000B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160125042A (en) | 2015-04-21 | 2016-10-31 | 김강수 | Gripper synchronizing forward and backward of arms |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980053074A (en) | 1998-09-25 |
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