KR100230667B1 - 고해상도자기-광학판독헤드 - Google Patents

Abstract

본 발명의 자기 헤드는 기판(2') 상에 가넷(3')과, 좁은 에어갭(9)에 의해 분리된 극편(7, 8)을 각각 구비하고 있는 여러 개의 마이크로 헤드로 구성되어 있다.

Description

고해상도 자기-광학 판독 헤드

제1도는 종래의 자기-광학 판독 헤드의 간단화된 사시도.

제2도 및 제2a도는 본 발명에 따른 자기-광학 판독 헤드의 간단화된 사시도, 및 본 발명에 따른 헤드의 변형예의 간단화된 횡단면도.

제3도는 본 발명에 따른 자기-광학 헤드의 일실시예의 간단화된 부분도.

제4도는 발생된 자기력선을 나타낸 본 발명에 따른 판독 헤드의 개략적인 횡단면도.

제5도는 자기 쌍극자에 의해 발생된 자계의 영향에 따른 자기-광학 변환기의 영역의 경계의 변위를 나타낸 본 발명에 따른 판독 헤드의 개략적인 일련의 횡단면도.

제6도는 본 발명에 따른 판독 헤드를 구비한 자기-광학 판독 시스템의 일실시예의 간단화된 도면.

제7도는 본 발명에 따른 판독 헤드로 실시될 수 있는 여러가지 판독 방식을 나타낸 개략적인 일련의 횡단면도.

제8도는 본 발명에 따른 판독 헤드의 변환기의 영역의 각종 구성을 나타낸 개략적인 일련의 도면.

제9도는 본 발명에 따른 판독 헤드의 얇은 층으로 한 실시예의 개략적인 횡단면도.

제10도는 본 발명에 따른 멀티 트랙 판독 헤드의 극의 간단화된 일련의 평면도.

본 발명은 고해상도 자기-광학 판독 헤드에 관한 것이다.

자기 매체에 접촉 배치되거나 인접 배치된 강자성 가닛(ferrimagnetic garnet)의 패러데이 효과를 이용하여 자기 테이프 또는 디스크를 판독하는 자기-광학 판독에 대해서는 예컨대 티. 노무라(T. NOMURA)(NHK 컴퍼니)의 공보에 공지되어 있다. 이와 같은 판독 방식은 특히, 좁은 트랙 상에 기록하는 경우에 검출할 수 있는 최소 신호 레벨에 대해 양호한 성능을 제공한다(진폭이 노이즈의 평균 진폭에 가까울 때). 한편, 상기 판독 방식은 광학 시스템의 해상도와 상기 가닛의 공간적 밴드(spatial band)(영역의 본래 치수)에 의해 제한되는 매우 낮은 해상도를 가지고 있다. 따라서, 1 마이크로미터 이하의 파장을 가지고 있는 신호는 판독이 어려우며, 이에 반해 최근의 자기 테이프는 0.5 마이크로미터 이하의 파장을 가지고 있는 신호의 기록이 가능하다.

티. 노무라는 자기 테이프와의 커플링(coupling)을 제공하는 자기 구조체인 자기-광학 변환기로서 사용된 가닛과 관련된 해결책을 설명하고 있다. 이 구조체는 상기 가닛에 제공된 미세한 치수(두께 0.6㎛, 트랙 폭 15㎛, 높이 25㎛)를 가진 극편(pole piece)이다.

고밀도 멀티 트랙 자기 기록 내용을 판독하는데 자기-광학 변환기를 사용하는 것을 생각할 수 있지만, 트랙들 사이에서 크로스토크를 생기게 한다는 중요한 문제점이 있다. 티. 노무라의 장치로는 상기 극편에 의해 나타나는 높은 트랙-트랙 투자율(permeance)로 인해 멀티 트랙 장치를 제조할 수 없다. 따라서 상기 극편을 분할해야 하며, 이는 대량 생산에 문제가 된다.

본 발명의 목적은 제조가 용이하고 제조 비용이 낮은 멀티 트랙 판독 헤드가 될 수 있고 멀티 트랙 헤드인 경우에는 높은 해상도와 최소 크로스토크를 가지고 있는 자기-광학 판독 헤드를 제공하는데 있다.

본 발명에 따른 자기-광학 판독 헤드는 기판 상에 형성된 적어도 하나의 마이크로 헤드를 구비하고 있고, 이 마이크로 헤드는 자기-광학 변환기와, 좁은 에어갭(air-gap)에 의해 분리된, 자성 재료로 제조된 적어도 2개의 극편을 구비하고 있다. 바람직하게, 상기 변환기와 극편은 박층 기술(thin-layer technique)을 이용하여 형성된다. 예컨대 기하학적 구조(geometry)와 구성물을 변경함으로써, 상기 극편의 자기적 특성을 국부적으로 변경할 수 있다.

또한, 가변 자계 또는 전자계를 상기 자기-광학 변환기에 제공할 수도 있다.

본 발명의 변형예에 따라, 자기-광학 변환기의 재료 부분은 경사 이방성(oblique anisotropy)을 나타내며 적어도 하나의 극편 상의 단일 영역이다.

본 발명은 비제한적인 예와 첨부 도면에 의한 여러가지 실시예의 상세한 설명으로부터 보다 잘 이해할 수 있다.

제1도에 도시된 자기-광학 판독 헤드(1)는 위에서 언급한 바와 같이 티. 노무라의 논문에 설명되어 있다. 이 공지된 헤드는 강자성 가닛층(3)을 기판(2)상에 구비하고 있다. 직사각형의 평행 6면체의 형상이고 자성 재료로 제조된 극편(4)이 상기 가닛층(3)에 제공되어 있다. 상기 극편(4)은 상기 가닛층(3)의 길이의 중간에 짧은 측면이 평행하게 설치되어 있다. 상기 극편(4)의 긴 측면은, 예컨대 상기 테이프인 자기 매체(5)의 이동 방향에 수직이다. 상기 테이프(5)는 상기 가닛층(3)에 고정된 극편(4)의 한쪽 면에 대향된 다른쪽 면에 접촉되어 있다.

본 발명에 따른 자기 헤드(6)(제2도)는, 상기 판독 헤드(1)와 마찬가지로, 기판(2')과 가닛층(3')을 구비하고 있다. 하지만, 자기 매체(5')와 상기 가닛층(3') 사이의 자기 헤드(6)의 인터페이스는 상기 판독 헤드(1)의 인터페이스와 전혀 다르다. 상기 자기 헤드(6)의 인터페이스는 좁은 에어갭(9)에 의해 분리된 2 개의 극편(7, 8)을 구비하고 있다. 제2도에 도시된 실시예의 경우에는, 상기 2개의 극편(7, 8)이 상기 가닛 층(3')의 동일한 면(테이프(5')와 마주하는 면)상에 형성된, 매우 얇은 직사각형 평행 6면체(예컨대, 두께는 수 마이크로미터임)의 형상으로 되어 있다. 제10도를 참조하여 후술되는 바와 같이, 상기 2개의 극편은 다른 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 극편의 개수는 2개보다 많을 수 있다. 제2a도에 도시된 다른 실시예에 따라, 극편들중 하나의 극편(7')이 가닛의 층(3")(기판(2") 상에 형성되어 있음)의 넓은 자유면(free face) 상에 형성되어 가닛층의 거의 전체 면적을 차지하고 있지만, 참조 번호 8'의 다른 극편은 매우 얇은 비-자기 층(9') 상에 형성되어 있고, 또한 층(2", 3", 7')들의 공통측면(테이프(5")의 이동 방향에 수직임) 상에 형성되어 있다. 상기 층(8', 9')은 상기 층(7')의 측면을 실제적으로 완전히 덮도록 설치되어 있으며, 이에 따라 상기 층(9')의 재료로 채워진 에어갭(10)을 상기 두 극편(7', 8') 사이에서 얻을 수 있다.

도시되지 않은 변형예에 따라, 에어갭들이 예컨대 서로 수직인, 2개 이상의 극편, 예컨대 4개의 극편을 동일 헤드에 형성할 수 있다.

본 발명에 따른 자기 헤드의 해상도는, 종래의 자기 헤드에서와 마차가지로, 에어갭의 폭과 관련되어 있으며, 상기 자기 헤드의 감도는 특히, 자기-광학층(3' 또는 3")과 상호 작용하는 자기 테이프에 의해 발생된 자속의 일부에 따라 좌우된다.

제3도에는 본 발명에 따른 자기 헤드의 멀티 트랙 실시예가 도시되어 있다. 이 실시예에서는, 극편은 가닛의 표면 상에서 주기적으로 예컨대 일렬로 재생된다.

제3도에는 가닛층(11)과 복수 쌍의 극편(12A와 12B, 13A와 13B, 14A와 14B ...,)만이 도시되어 있고, 각각의 에어갭(12C, 13C, 14C)은 자기 테이프(15)의 이동 방향에 수직인 방향으로 일렬로 되어 있다.

이제, 본 발명에 따른 자기 헤드의 기능에 대해서 제 4 도 내지 제 8 도를 참조하여 설명한다.

제4도에는 자기-광학 판독 헤드(17)에 있어서 자기 테이프(16)에 의해 생성된 자속의 분포가 도시되어 있다. 이 헤드(17)의 경우에는 에어갭(21)을 가지고 있는 극편(19, 20)과, 가닛층(18)만이 도시되어 있다.

상기 에어갭(21)이 아래의 통로에서는, 상기 자기 테이프(16)의 자기 쌍극자(22)가 상기 에어갭(21)의 부근에서 대략 원통형인 자계 분포를 생성하는, 2개의 극사이에 자기 전위차를 부과한다. 박층인 자기-광학 가닛(18)을 통과하는 자계의 수직 성분은 상기 가닛의 자기 영역과 상호 작용하여, 상기 영역의 배열 및 각각의 영역을 변경시킨다.

제5도에는 가닛(18)의 4개의 자기 영역(22 내지 25)이 자기 테이프(16)의 이동 방향으로 정렬된 특수한 경우의 상기 상호 작용이 도시되어 있다. 상기 영역(22, 23)은 극편(19)에 의해 덮여 있고, 상기 영역(24, 25)은 극편(20)에 의해 덮여 있다. 이 구조에 있어서, 상기 극편(19, 20)의 에지와 에어갭(21)은 상기 영역들의 대응하는 경계의 위치를 결정하며, 상기 극편의 중앙의 레벨에 위치된 중앙경계(영역(22, 23) 사이의 경계 및 영역(24, 25) 사이의 경계)만이 상기 자기 테이프(16)에 의해 생성된 자계의 영향을 받아 이동한다. 자기 쌍극자의 에어갭(21)의 아래의 통로에 의해 중간 경계가 이동되는데, 즉 방향이 상기 쌍극자의 극성에 좌우되어 이동된다. 제 5 도의 (a)에는 정지 상태의 영역이 도시되어 있다. 제 5 도의 (b)는 에어갭(21)의 아래를 통과하는 쌍극자(26)가 상기 극편(19)쪽에 북극을 가지고 있고 상기 극편(20)쪽에 남극을 가지고 있는 경우에 관한 것이다. 이때, 상기 영역(23, 24)은 상기 영역(22, 25)의 희생으로 넓어지는 경향이 있다.

제5도의 (c)는 반대의 경우, 즉 에어갭(21)의 아래를 통과하는 쌍극자(27)가 제5도의 (b)의 쌍극자(26)의 극성과 반대인 극성을 가지고 있는 경우에 관한 것이다. 이 경우에, 영역(22, 25)은 상기 영역(23, 24)의 희생으로 넓어지는 경향이 있다.

상기 영역(22, 23)과 영역(24, 25)을 분리하는 경계의 이동은 자기-광학 디스크 판독 헤드의 광학 시스템과 유사한 광학 시스템을 사용하여 측정될 수 있으며 제 6 도에 개략적으로 도시되어 있다. 이 시스템은 원래 잘 알려져 있기 때문에, 본 명세서에서는 단지 간단하게 설명한다. 상기 시스템은 레이저 다이오드 광원(28)을 필수적으로 구비하고 있으며, 상기 광원의 레이저 비임은 편광자(polarizer)(29)와, 본 발명에 따른 판독 헤드(도시되지 않음)의 가닛(31)의 이동 경계중 하나의 경계에 레이저 비임을 집중시키는 렌즈(30)를 통과한다. 상기 가닛에 의해 반사된 비임은 상기 렌즈(30)를 통과하고, 상기 렌즈(30)와 상기 편광자(29) 사이에 설치된 비임 분리기(32)에 의해 필터(34)를 통해 포토 다이오드 분석 장치(33)쪽으로 편향된다.

제1실시예(제7도의 (a)에 따라, 상기 렌즈(30)에 의해 상기 가닛(31)상에 집중된 비임이 2개의 극편중 하나의 극편의 방향으로, 예컨대 극편(19)의 방향으로 투사된다. 제2실시예(제7도의 (b))에 따라, 비임이 각각의 극편(19', 20')의 방향으로 투사되며, 이에 따라 차동 측정 시스템이 생성되게 되며, 이 실시예의 상세한 것은 당업자에게 명백하다. 제3실시예(제7도의 (c))에 따라, 단일 비임이 상기 가닛(18)의 전체에 투사되고, 이 가닛의 전체 영역에 의해 생성된 회절 패턴이 이용되게 된다. 이와 같은 시스템의 실시예의 상세한 것은 당업자에게 명백하다.

본 발명에 따른 판독 헤드의 기능은 실제적으로는 항상 일어나는 것이 아닌 4개의 영역을 가지고 있는 가닛의 구조의 경우에서 위에서 설명되었다. 실제로, 가닛의 자기 영역의 구조는 본 발명의 판독 헤드에 사용될 수도 있는 각종 형상을 가정할 수 있다. 제8도의 (a)에 도시된 바와 같이, 미로(maze) 형태의 배열을 종종 볼 수 있다. 이 배열은 외부 제약 없이 가닛의 자기 영역에 의해 자연적으로 가정된 구성이다. 이 경우에, 판독 헤드의 비임 스포트(spot)는 일반적으로 서로 수직인 두 방향을 향한 자기 영역의 상대적 영역 변화를 측정한다. 상기 가닛에서 자기 테이프에 의해 발생된 자속밀도는 에어갭의 부근에서 가장 높고, 스포트(35)는 실질적으로 직사각형이고 에어갭과 평행한 것이 바람직하다(제8도의 (a)).

제8도의 (b) 내지 (d)에 도시된 바와 같이, 가닛의 영역이 에어갭과 평행한 스트립(3 개 이상의 스트립)의 형태이면, 판독 스포트(36)는 실질적으로 직사각형이고 에어갭에 평행한 연장된 형태인 것이 바람직하고, 이 형태는 기생 경계 이동에 관련된 노이즈를 최소화시킨다.

제8도의 (e) 및 (f)에 도시된 바와 같이, 가닛의 영역이 에어갭에 수직이고, 적어도 2개의 스트립을 구비한 구조를 가지고 있으면, 스포트는 가능한 한 에어갭에 가깝게 집중되는데, 그 이유는 경계들의 변위가 최대 진폭을 가지고 있기 때문이다.

제9도에는 본 발명에 따른 판독 헤드의 실시예가 도시되어 있다. 판독 헤드(37)는 예컨대 GGG(가돌리늄(Gadolinium), 갈륨, 가닛)으로 제조된 기판(38)을 구비하고 있다. 상기 기판(38) 상에는, 액상(liquid phase)의 에피텍셜 성장에 의해, 얇은 자기-광학층(39), 예컨대 비스머스(Bismuth) 또는 세륨(Cerium)이 도핑된 희토 산화물 및 철(iron)의 가닛이 형성되어 있다. 상기 자기-광학층(39) 상에는 예컨대 프랑스 특허출원 제 86 14974 호에 기재된 박층의 자기 헤드를 제조하는 플래너 기술(planar technique)에 따라 극편(40, 41)과 에어갭(42)이 형성되어 있다. 상기 극편(40, 41)은 센더스트(Sendust)로 제조되는 것이 유리하고, 상기 에어갭(42)은 알루미나(alumina)로 제조되는 것이 유리하다. 이와 같은 공정은 멀티 트랙 헤드의 제조에 특히 접합한데, 그 이유는 상기 공정이 서로 에 대해 위치한 다수의 마이크로 헤드의 대량 제조를 가능하게 하고, 상기 극편의 에칭 마스크의 정밀도와 동일한 기하학적 정밀도를 얻을 수 있기 때문이다.

기생 신호의 판독이 가능하도록, 상기 극편으로부터 떨어진 자기테이프와 가닛이 직접 연결될 가능성을 제거하기 위해서, 상기 극편의 에칭을 허용하는 공정과 동일한 공정 중에 얇은 가닛층(39)을 에칭하는 것이 바람직하다. 유리하게는, 에어갭(42)로부터 떨어진 극편(40, 41)의 부분들이 얇게 될 수 있고, 판독될 자기 테이프와 접촉되도록 된 극편의 면을 편평하게 유지하기 위해서, 있어야 할 곳에 없는(missing) 자성 재료가 비-자성 재료(43, 44)로 대체된다.

제9도의 헤드의 실시예에 따른 전형적인 치수는 대략 다음과 같다 :

- 가닛층(39)의 두께 : 2㎛

- 극편(40, 41)(예컨대, 센더스트로 제조된 극편)의 두께 : 1㎛

- 에어갭의 폭 : 0.25㎛

- 마이크로 헤드의 치수(가닛층(39)의 레벨에서) : 20㎛ × 20㎛

상기 극편(40, 41)의 형상은 다음과 같은 인자에 따라 좌우된다 :

- 테이프로부터 가닛(39)으로의 자속 이동 효율(테이프에 의해 발생된 자속의 약 20%는 가닛의 영역의 경계를 변위시키는 역할을 함)

- 상기 영역의 원하는 기하학적 구조

- 애지머스(azimuth)의 유무

- 에어갭(42)에 대향된 극편의 에지에서의 "의사 갭" 영향의 최소화

- 멀티 트랙 구조에서의 크로스토크 최소화

이들 인자를 감안하기 위해, 예컨대 제 10 도를 참조하여 후술되는 바와 같이 형상(직사각형 이외의 형상)을 변경시킴으로써 상기 극편의 자기적 특성을 국부적으로 변경시킬 수 있다.

또한, 고정되지 않은 경계가 고진폭 변위되도록 판독될 크기에 의해 변조되도록 하기 위해 가닛에 가변 자계 또는 전자계를 제공할 수 있다.

제10도에는 멀티 트랙 헤드에 적합한 극편 형상에 대한 3 가지의 예가 도시되어 있다. 제10도의 (a)에서, 극편(45, 46)은 이등변삼각형의 형상으로 되어 있다. 각각의 마이크로 헤드의 경우에, 이들 삼격형은 서로 마주하는 밑변을 가지고 있고, 에어갭(47)은 이들 밑변 사이에 형성되어 있다. 상이한 마이크로 헤드들의 에어갭들이 일렬로 되어 있다.

제10도의 (b)에는 상기 극편(45, 46)의 형상에 가까운 형상을 가지고 있는 극편(48, 49)이 도시되어 있지만, 밑변 이외의 에지는 둥글게 되어 있고 실질적으로 사인 곡선의 1/2의 형태의 외형을 가질 수 있다. 에어갭(50)은 극편(48, 49)의 마주하는 밑변들 사이에 형성되어 있다. 상이한 마이크로 헤드들의 에어갭들이 일렬로 되어 있다.

제10도의 (c)에서, 극편(51, 52, 51a, 52a ....)은 이등변삼각형이 아닌 삼각형의 형상이다. 각각의 에어갭(53, 53a...)은 일렬로 되어 있지 않으며 애지머스 변화를 허용하는 재그형(jagged) 라인을 형성하고 있다(자기 테이프의 트랙(54, 54a ...)은 일렬로 되어 있지 않으며, 이에 따라 인접한 트랙들 사이에서의 크로스토크가 개선된다).

상기 자기-광학 변환기는 다른 방식으로도 동작할 수 있다. 즉, 예컨대, 이트륨(Yttrium) 및 도핑되지 않은 철 가닛(iron garnet)과 같은 경사 이방성을 가진 박층에 자기-광학 재료를 사용하면, 상기 층에 대한 법선으로부터 45°자화되는 경우에, 테이프에 의해 제공된 자속의 영향에 따른 상기 각도의 변화를 관찰할 수 있다. 상기 가넷의 도핑을 변화시킴으로써 상기 층에 대한 법선과 상기 층에 평행한 라인 사이의 이방성 각도를 변화시킬 수 있다. 분석 광 비임이 겪는 패러데이 회전은 상기 비임의 전달 축을 따르는 자화 성분에 비례한다. 따라서, 상기 테이프상에 기록된 정보의 속도로 변조되게 된다.

이 동작 방식에 있어서, 장치 전체에 걸쳐 또는 두 극편의 각각에 걸쳐 상기 재료 부분은 단일 영역으로 제조하는 것이 바람직하다. 이는 상기 극편의 치수와, 상기 층의 두께 또는 상기 재료 부분의 특성의 분별있는 선택에 의해, 또는 상기 장치 전체에 균일한 자계를 인가함으로써 얻을 수 있다.

상기 변환기의 판독 비임은 상기 단일 영역의 넓이에 따라, 제7도의 (a) 내지 (c)중 하나의 도면에 따라 투사된다. 상기 단일 영역이 상기 두 극편에 의해 점유된 영역과 대략 동일한 영역에 걸쳐 뻗어 있는 경우에는 상기 에어갭의 레벨에서 상기 단일 영역의 중간에 가깝게 판독 비임을 집중시키는 것이 바람직하다.

Claims (16)

1. (2회정정) 고해상도 자기-광학 판독 헤드에 있어서, 자기 매체에 실질적으로 평행한 제1주평면을 가지고 있는 자기-광학 변환기 재료 부분을 구비한 기판과; 자성 재료를 포함하고 있는 제1세트의 제1 및 제2극편으로서, 상기 제1세트의 제1극편은 상기 제1주평면의 제1영역 상에 설치되어 있고, 상기 제1세트의 제2극편은 상기 제1주평면의 제2영역 상에 설치되어 있는 제1세트의 제1 및 제2극편을 구비하고 있으며, 상기 제2영역은 상기 제1영역과 다르고, 상기 제1세트의 각각의 제1 및 제2극편의 에지가 에어갭을 가로질러 서로 대향된 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
2. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 자기-광학 변환기와 극편은 박층 기술(제9도)을 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
3. (2회 정정) 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 극편의 자기적 특성이 국부적으로 변경된 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
4. (2회정정) 제 3 항에 있어서, 상기 극편의 기하학적 구조가 변경된 것(제10도)을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
5. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 극편의 구성물이 변경된 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독헤드.
6. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 가변 자계가 상기 자기-광학 변환기에 인가되는 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
7. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 가변 전자계가 상기 자기-광학 변환기에 인가되는 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
8. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 극편들이 상기 자기-광학 변환기의 넓은 자유면(free face) 상에 형성된 것(제2도, 제3도, 제9도)을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
9. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 극편중 하나의 극편(7')이 상기 자기-광학 변환기(3")의 넓은 자유면상에 형성되어 있고, 다른 극편(8')이 상기 자기-광학 변환기의 측면 상에 형성된 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
10. (2회정정) 제 4 항에 있어서, 상기 극편(40, 41)은 상기 에어갭(42)으로부터 떨어진 영역에 줄어든 두께를 가지고 있고, 있어야 할 곳에 없는(missing) 자성 재료가 비자성 재료(43, 44)로 대체되는 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
11. (2회정정) 제1항에 있어서, 상기 판독 헤드를 형성하는 마이크로 헤드들의 에어갭들이 일직선으로 되어 있는 것(제3도, 제10도의 (a), (b))을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
12. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 판독 헤드를 형성하는 연속된 마이크로 헤드들의 에어갭들이 재그형(jagged) 라인을 형성하고 있는 것(제10도의 (c))을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
13. (2회정정) 제1항에 있어서, 상기 판독 헤드는 광학 판독 시스템(제6도)과 함께 동작하며, 상기 광학 판독 시스템의 비임은 상기 2 개의 극편중 하나의 극편(19, 제7도의 (a))의 방향으로 집중 및 투사되는 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
14. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 판독 헤드는 광학 판독 시스템(제 6 도)과 함께 동작하며, 상기 광학 판독 시스템의 비임은 상기 2 개의 극편중 각각의 극편(19', 20', 제 7 도의 (b))의 방향으로 집중 및 투사되는 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
15. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 판독 헤드는 광학 판독 시스템(제6도)과 함께 동작하며, 상기 광학 판독 시스템의 비임은 상기 자기-광학 변환기(18, 제7도의 (c))의 전체에 집중 및 투사되는 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.
16. (2회정정) 제 1 항에 있어서, 상기 자기-광학 변환기의 재료 부분은 경사 이방성을 나타내고, 상기 2개의 극편중 적어도 하나의 극편 상의 단일 영역인 것을 특징으로 하는 고해상도 자기-광학 판독 헤드.