KR100227618B1 - 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치 - Google Patents

전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100227618B1
KR100227618B1 KR1019960043176A KR19960043176A KR100227618B1 KR 100227618 B1 KR100227618 B1 KR 100227618B1 KR 1019960043176 A KR1019960043176 A KR 1019960043176A KR 19960043176 A KR19960043176 A KR 19960043176A KR 100227618 B1 KR100227618 B1 KR 100227618B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light source
exposure apparatus
electron beam
attached
pattern
Prior art date
Application number
KR1019960043176A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19980023677A (ko
Inventor
천병욱
Original Assignee
김영남
오리온전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김영남, 오리온전기주식회사 filed Critical 김영남
Priority to KR1019960043176A priority Critical patent/KR100227618B1/ko
Publication of KR19980023677A publication Critical patent/KR19980023677A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100227618B1 publication Critical patent/KR100227618B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/317Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
    • H01J37/3174Particle-beam lithography, e.g. electron beam lithography
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2051Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
    • G03F7/2059Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

본 발명은 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치에 관한 것으로, 광원램프를 구비한 노광장치에 있어서, 상기 광원램프의 Y축 양측면에는 전자빔 랜딩의 패턴형성이 비대칭되도록 제 1,2로드를 구비한 제 1,2실린더가 부착.고정되어 있고, 제 1,2로드가 부착된 광원부의 양측면에는 제 1,2스톱퍼가 일정길이로 부착되어 있으며, 이 제 1스톱퍼와 소정거리로 이격된 부위에는 패널의 X축과 Y축이 교차하는 중심의 위치를 설정하기 위한 위치설정스톱퍼가 부착된 구조로서, 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 전자빔 패턴의 비틀림을 보상하여, 미스랜딩 방지로 인한 색순도 향상과 제품의 성능을 극대화시킬 수 있는 것이다.

Description

전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치
본 발명은 전자빔 랜딩 패턴 형성용 광원구동장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 광원램프를 수직방향으로 왕복이동시켜, 전자빔 랜딩 패턴을 비대칭되도록 형성하고, 아울러 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 전자빔 패턴의 비틀림을 보상하도록 한 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치.
일반적으로, 칼라음극선관의 패널은 여러공정을 거쳐 완성되는데, 이 음극선관의 패널 내면에는 R.G.B의 3색 형광막을 형성시키기 위한 스크린 공정이 있으며, 이 각각의 형광막을 인하시키기 위하여 패널의 내부에 섀도우마스크를 장착 후, 노광시키게 되는 것이다.
첨부된 예시도면 도 1 및 도 2는 종래의 노광장치를 나타낸 것으로 먼저, 노광장치(10)의 상부에는 섀도우마스크(12)가 내장된 패널(14)을 고정.안착시키기 위한 면판(16)이 구비되어 있고, 이 노광장치(10)의 하단부에는 광원램프(18)를 상부에 설치한 광원부(20)가 요동장치에 의해 진동되도록 설치되어 있으며, 이 광원부(20)로부터 일정높이 이격된 부위에는 노광렌즈(22)와 이 노광렌즈(22)에서 굴절된 빛을 더욱 굴절시켜 패널(14)의 양측 곡면까지 도달될 수 있도록 보정렌즈(24)가 설치되어 있다.
상기와 같이 구성된 노광장치(10)는 먼저, 광원램프(18)에서 주사되는 광원이 섀도우마스크(12)를 통하여 패널(14)의 내면에 도포된 각 형광체에 도달되어 노광을 하게 되는 것이다.
또한, 상기 광원이 패널(14)의 내면에 도달하는 과정 중에는 먼저, 랜딩하는 전자빔의 궤도에 따르고, 노광렌즈(22)와 보정렌즈(24)를 통과하면서 패널(14)의 크기와 곡면에 의한 궤도를 보정하여 도달하게 되는 것이다.
그러나, 상기와 같이 구성된 노광장치는 먼저, 광원램프가 패널의 관종에 중심을 기준으로하여 Y축으로 이동하는 구동장치가 없으므로 해서 첨부된 예시도면 도 2에 도시된 바와 같이 (a)패턴 또는 (b)패턴의 랜딩 비틀림으로 결국, R.G.B빔 노광시 미스랜딩 및 혼색으로 인한 색순도 저하로 제품의 품질을 격하시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 전자빔 랜딩 패턴을 비대칭되도록 형성하고, 이 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 전자빔 패턴의 비틀림을 보상하도록 한 것이다.
상기와 같은 본 발명의 광원램프를 구비한 노광장치에 있어서, 상기 광원램프의 Y축 양측면에는 전자빔 랜딩의 패턴형성이 비대칭되도록 제 1,2로드를 구비한 제 1,2실린더가 부착.고정되어 있고, 제 1,2로드가 부착된 광원부의 양측면에는 제 1,2스톱퍼가 일정길이로 부착되어 있으며, 이 제 1스톱퍼와 소정거리로 이격된 부위에는 패널의 X축과 Y축이 교차하는 중심의 위치를 설정하기 위한 위치설정스톱퍼가 부착된 구조로서, 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 전자빔 패턴의 비틀림을 보상하고, 아울러 미스랜딩 방지로 인한 색순도 및 제품의 성능을 향상시킬 수 있는 것이다.
도 1은 일반적인 노광장치를 개략적으로 나타낸 도면
도 2의 (a),(b)는 도 1에 의한 전자빔 랜딩 패턴을 나타낸 도면
도 3는 본 발명의 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치를 나타낸 평면도
도 4는 R.G.B빔의 노광상태를 나타낸 도면
도 5은 본 발명의 (a),(b)는 전자빔 랜딩 패턴을 나타낸 도면이고, (C)는 (a),(b)를 합성한 전자빔 랜딩 패턴을 나타낸 도면
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 노광장치12 : 섀도우마스크
14 : 패널16 : 면판
18 : 광원램프20,30 :광원부
22 : 노광렌즈24 : 보정렌즈
32 : 제 1로드34 : 제 2로드
36 : 제 1실린더38 : 제 2실린더
40 : 제 1스톱퍼42 : 제 2스톱퍼
44 : 위치설정 스톱퍼
이하 첨부된 예시도면 도 3은 본 발명의 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치를 나타낸 도면이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 전자빔 랜딩 패턴을 나타낸 도면인 바, 도 1 및 도 2와 동일한 참조번호는 동일한 부품을 표시하므로 이에대한 설명은 생략하고 도 1 및 도 2와 상이한 점에 대해서만 설명하기로 한다.
첨부된 예시도면 도 3을 참조하면, 먼저 광원램프(18)를 내장한 광원부(30)의 Y 축 양측면에는 첨부된 예시도면 도 4 및 도 5 (A),(B)의 전자빔 랜딩 패턴을 반복 또는 연속적으로 형성하기 위하여 제 1,2로드(32,34)를 구비한 제 1,2실린더(36,38)가 부착.고정되어 있는데, 제 1,2로드(32,34)가 부착된 광원부(30)의 양측면에는 상기 (a)패턴을 형성하기 위한 제 1스톱퍼(40)가 일정길이로 부착되어 있고, 이 제 1스톱퍼(40)와 대응하는 면에는 (b)패턴을 형성하기 위한 제 2스톱퍼(42)가 일정길이로 부착되어 있으며, 이 제 1스톱퍼(40)와 소정거리로 이격된 부위에는 평면상 패널(14)의 X축과 Y축이 교차하는 중심의 위치를 설정하기 위한 위치설정스톱퍼(44)가 소정길이로 부착되도록 구성되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명은 먼저, 섀도우마스크(12)의 하부에 설치된 광원램프에서 주사되는 광원이 섀도우마스크(12)를 통하여 패널(14)의 내면에 도포된 각 형광체에 도달하여 노광을 하게 되고, 상기 광원이 패널 내면에 도달하는 과정 중 에는 먼저, 랜딩하는 전자빔의 궤도에 따르고, 노광렌즈(22)와 보정렌즈(24)를 통과하면서 패널(14)의 크기와 곡면에 의한 궤도를 보정하여 도달하게 되는 것이다.
상기와 같이 노광공정을 수행하는 과정 중에 본 발명은 먼저, 첨부된 예시도면 도 3도 및 도 4에 도시된 바와 같이 광원램프(18)의 일측에 부착된 위치설정스톱퍼(44)를 평면상 패널(14)의 X축과 Y축이 교차하는 중심과 일치하도록 설정한 상태에서 노광을 시작하고, 이와동시에 제 1실린더(36)를 작동시켜 제 1로드(32)가 전진.이동하게 되면, 이와 대응하는 제 2로드(34)는 제 2실린더(38)의 내부롤 삽입되는 것이다.
그리고, 상기와 같이 제 1실린더(36)가 작동되어 광원램프(30)가 패널(14)의 Y축방향으로 전진 이동하게 됨으로서, 결국 G빔이 이동하게 되고, 이 G빔이 패널(14)의 X축과 Y축이 교차하는 중심에서 Y축방향으로 상향 이동되는 이동량(Vs)에 따라 첨부된 예시도면 도 5 (a)의 랜딩 패턴을 형성하게 되는 것이다.
한편, 상기 제 1실린더(36)와 대응하는 제 2실린더(38)가 작동하게 되면, 이 제 2실린더(38)에 삽입된 제 2로드(34)가 전진.이동하게 되고, 이와 대응하는 제 1 로드(32)는 제 1실린더(36)의 내부로 삽입되는 것이다.
그리고, 상기와 같이 제 2실린더(38)가 작동되어 패널(14)의 Y축방향으로 전진.이동하게 됨으로서, 결국 G빔이 이동하게 되고, 이 G빔이 패널(14)의 X축과 Y축이 교차하는 중심에서 Y축방향으로 하향 이동되는 이동량(VS)에 따라 (b)의 랜딩 패턴을 형성하게 되는 것이다
즉, 상기 (a)의 랜딩 패턴 1d1은 (b)의 랜딩 패턴 1d3와 동일하고, (a)의 랜딩 패턴 1d2은 (b)의 랜딩 패턴 1d4와 동일하게 형성하여, 이와 같은 (a),(b)의 랜딩 팬턴을 반복 또는 연속적으로 형성시킴으로서, 이 비대칭 랜딩 패턴의 합성에 의해 결국, (C)와 같은 사각형 모양의 전자빔 랜딩 팬턴을 형성하게되고, 이에따라 패널 전면에 걸쳐 R.G.B빔에 대한 비틀림을 보상하게 되며, 아울러 미스랜딩 방지로 인한 색순도 및 제품의 성능을 향상시킬 수 있는 것이다.
위와 같이 본 발명은 광원램프를 수직방향으로 왕복이동시켜, 전자빔 랜딩 패턴을 비대칭되도록 형성하고, 아울러 상,하 비대칭 랜딩의 반복적인 합성에 의한 전자빔 패턴의 비틀림을 보상하여, 미스랜딩 방지로 인한 색순도 향상과 제품의 성능을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 광원램프를 구비한 노광장치에 있어서, 상기 광원램프의 Y축 양측면에는 전자빔 랜딩의 패턴형성이 비대칭되도록 제 1,2로드를 구비한 제 1,2실린더가 부착.고정되어 있고, 제 1,2로드가 부착된 광원부의 양측면에는 제 1,2스톱퍼가 일정길이로 부착되어 있으며, 이 제 1스톱퍼와 소정거리로 이격된 부위에는 패널의 X축과 Y축이 교차하는 중심의 위치를 설정하기 위한 위치설정스톱퍼가 부착된 것을 특징으로 하는 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치.
KR1019960043176A 1996-09-30 1996-09-30 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치 KR100227618B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960043176A KR100227618B1 (ko) 1996-09-30 1996-09-30 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960043176A KR100227618B1 (ko) 1996-09-30 1996-09-30 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980023677A KR19980023677A (ko) 1998-07-06
KR100227618B1 true KR100227618B1 (ko) 1999-11-01

Family

ID=19475729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960043176A KR100227618B1 (ko) 1996-09-30 1996-09-30 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100227618B1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980023677A (ko) 1998-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3888673A (en) Method and apparatus for making electroluminescent screens for color cathode ray tubes
CN1063284C (zh) 彩色阴极射线管
US3982252A (en) Light exposure apparatus for manufacturing color picture tubes
KR100227618B1 (ko) 전자빔 랜딩 패턴 형성용 노광장치의 광원구동장치
CN1108626C (zh) 彩色显像管
JPH0287443A (ja) カラー受像管用露光装置
US3971043A (en) Apparatus for making electroluminescent screens for color cathode ray tubes
SU1743374A3 (ru) Способ формировани линейного растра цветных кинескопов с щелевой маской
KR910006046B1 (ko) 칼라 브라운관 제작용 노광방법
KR19980023672A (ko) 전자빔 랜딩 패턴 형성장치 및 방법
KR200147965Y1 (ko) 브라운관 노광장치
KR100192876B1 (ko) 평면형 음극선관의 판넬 노광용 근접노광기
KR19980040915A (ko) 컬러음극선관의 형광막 형성방법
KR200145277Y1 (ko) 칼라 음극선관
KR100262630B1 (ko) 평면 칼라 브라운관의 섀도우 마스크 고정장치
KR100213788B1 (ko) 칼라브라운관의 형광막구조
KR100325860B1 (ko) 칼라 음극선관의 노광 방법
KR100252064B1 (ko) 음극선관의 노광장치
JP2590064B2 (ja) カラー受像管の螢光面形成方法およびその螢光面形成用露光装置
JPH10199417A (ja) カラー受像管の蛍光面形成方法およびその露光装置
CN1114933C (zh) 阴极射线管的荫罩框架
JPH0340334A (ja) カラー陰極線管螢光面露光方法
KR100258717B1 (ko) 신구조의 컬러음극선관용 패널 및 새도우마스크
KR100244139B1 (ko) 칼라브라운관의 노광방법
KR100225435B1 (ko) 이중노광장치에 의한 녹색 형광체 노광방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee