KR100225676B1 - Apparatus with display for evaluating sensitivities of sensor - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 발신부(110)와 수신부(120)를 갖는 센서; 상기 센서와 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 센서의 감지 유무를 표시하는 램프(132)와, 상기 센서에 의해 단락 또는 정상으로 감지된 신호를 외부 장치에 전달함에 있어서 그 감지된 신호의 감도를 조절하는 조절 스위치(134)를 갖는 증폭기(130); 및 상기 증폭기(130)에 연결되어, 상기 센서의 위치 변화시 상기 증폭기(130)에서 출력되는 출력신호의 출력전압에 대한 출력전류의 변화량(값)을 표시하는 시각 표시기(140, 150);를 포함하며, 상기 시각표시기(140, 150)를 보면서값이 『0(零)』으로 근접할 수 있도록 상기 센서의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 시각 표시기를 갖는 센서의 감도 측정 장치에 관한 것이다. 시각 표시기는 지침 표시기, 문자 표시기 및 지침 표시기와 문자 표시기가 함께 설치된 것 중의 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.The present invention, the sensor having a transmitter 110 and the receiver 120; The lamp 132 is electrically connected to the sensor and controls the sensitivity of the detected signal in transmitting a signal detected as a short circuit or normal by the sensor to an external device. An amplifier 130 having an adjustment switch 134; And an amount of change in output current with respect to an output voltage of an output signal output from the amplifier 130 when the position of the sensor is changed. Value; displays the visual indicators (140, 150); while viewing the visual indicators (140, 150) It relates to a sensor for measuring the sensitivity of a sensor having a visual indicator, characterized in that the position of the sensor is corrected so that the value can approach "0 (零)". The visual indicator may be used by selecting one of the indicator indicator, the character indicator and the indicator indicator and the character indicator installed together.
Description
본 발명은 센서의 감도를 측정하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 센서의 위치 조절함에 있어서, 지침 표시기, 문자 표시기와 같은 시각 표시기를 전기적으로 연결하여 센서의 위치 변화를 정확하게 보정할 수 있는 시각 표시기를 갖는 센서의 감도 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for measuring the sensitivity of the sensor, and more particularly, in adjusting the position of the sensor, the time that can accurately correct the change in the position of the sensor by electrically connecting a visual indicator, such as a guide indicator, a text indicator A sensitivity measuring device of a sensor having an indicator.
반도체 장비에 사용되는 센서는 주로 전자기파의 단선 또는 정상 기능을 감지하여 구동 장치 등을 선택적으로 제어함으로써, 소정의 목적을 달성하는 장치이다. 따라서, 센서의 정확한 감지 능력은 전체적인 반도체 장비의 성능을 좌우하는 한편, 반도체 제조의 생산성과 매우 밀접한 관계를 갖고 있다.Sensors used in semiconductor equipment are devices that achieve a predetermined purpose by selectively controlling a driving device or the like by detecting disconnection or normal function of electromagnetic waves. Therefore, the accurate sensing capability of the sensor determines the performance of the overall semiconductor equipment, and is closely related to the productivity of semiconductor manufacturing.
도 1은 종래 기술에 의한 센서의 감도 측정 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing a sensitivity measuring device of a sensor according to the prior art.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 의한 감도 측정 장치는 적외선을 발신하는 발신부(10)와 그 발신된 적외선을 수신하는 수신부(20)를 갖는 센서; 그리고 상기 센서와 전기적 연결되어 있으며, 상기 센서의 감지 유무를 표시하는 램프(32) 및 상기 센서에 의해 단락 또는 정상으로 감지된 신호를 구동 장치 또는 컴퓨터 등과 같은 별도의 장치(도시 안됨)로 전달함에 있어서 그 감지된 신호의 감도를 조절하는 조절 스위치(34)를 갖는 증폭기(30)로 이루어진다.Referring to FIG. 1, a sensitivity measuring apparatus according to the related art includes a sensor having a transmitter 10 for transmitting infrared rays and a receiver 20 for receiving the transmitted infrared rays; And a lamp 32 which is electrically connected to the sensor and transmits a signal detected as a short circuit or normal by the sensor to a separate device (not shown) such as a driving device or a computer. And an amplifier 30 having an adjustment switch 34 for adjusting the sensitivity of the sensed signal.
상기 센서에 대하여 간단히 설명하면, 센서는 발신부(10)와 수신부(20)가 이격·설치되어 있는 구조이다. 이와 같은 센서에 있어서, 감지 형태의 일 실시 예는 상기 발신부(10)와 수신부(20)간을 소정의 물체가 통과함으로써, 적외선의 단락 또는 정상 기능을 감지하는 형태가 있으며, 그 밖의 다양한 감지 형태가 있을 수 있다.Briefly describing the sensor, the sensor has a structure in which the transmitter 10 and the receiver 20 are spaced apart from each other. In such a sensor, an embodiment of a sensing form may detect a short circuit or a normal function of an infrared ray by passing a predetermined object between the transmitter 10 and the receiver 20, and various other sensing methods. There may be forms.
이와 같은 장치는 센서의 위치 변함에 대하여, 상기 증폭기의 감지 램프를 주시(注視)하면서 센서의 위치를 보정하기 때문에 보정의 정밀도가 저하되는 한편, 그 부정확한 보정으로 인하여 반도체 장비의 오동작을 유발할 수 있는 단점이 있다.Since such a device corrects the position of the sensor while watching the sense lamp of the amplifier against the change of the position of the sensor, the accuracy of the correction decreases, and the incorrect correction may cause malfunction of the semiconductor equipment. There is a disadvantage.
따라서, 본 발명의 목적은 센서의 위치 변화에 따른 출력전압에 대한 출력전류의 변화량을 시각적으로 표시하여 센서의 정확한 위치 보정(補正)을 할 수 있도록 하는 시각 표시기를 갖는 센서의 감도 측정 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a sensor for measuring the sensitivity of a sensor having a visual indicator to visually display the amount of change in the output current with respect to the output voltage according to the change in the position of the sensor to enable accurate position correction of the sensor. It is.
도 1은 종래 기술에 의한 센서의 감도 측정 장치를 개략적으로 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure which shows schematically the sensitivity measuring apparatus of the sensor by a prior art.
도 2는 본 발명에 의한 시각 표시기를 갖는 센서의 감도 측정 장치를 개략적으로 나타내는 도면.2 is a diagram schematically showing an apparatus for measuring sensitivity of a sensor having a visual indicator according to the present invention;
도 3은 도 2의 증폭기와 지침 표시기간의 전기적 연결 관계를 나타내는 회로도.3 is a circuit diagram showing an electrical connection relationship between the amplifier of FIG. 2 and the guideline display period.
※도면의 주요 부분에 대한 설명※※ Description of main part of drawing ※
110 : 발신부(transfer lenz) 120 : 수신부(receiver lenz)110: transfer lenz 120: receiver lenz
130 : 증폭기(amplifer) 132 : 감지 램프130: amplifer 132: detection lamp
134 : 조절 스위치 140 : 지침 표시기(analog meter)134: control switch 140: indicator (analog meter)
150 : 문자 표시기(digital meter)150: digital meter
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 발신부(110)와 수신부(120)를 갖는 센서; 상기 센서와 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 센서의 감지 유무를 표시하는 램프(132)와, 상기 센서에 의해 단락 또는 정상으로 감지된 신호를 외부 장치에 전달함에 있어서 그 감지된 신호의 감도를 조절하는 조절 스위치(134)를 갖는 증폭기(130); 및 상기 증폭기(130)에 연결되어, 상기 센서의 위치 변화시 상기 증폭기(130)에서 출력되는 출력신호의 출력전압에 대한 출력전류의 변화량(값)을 표시하는 시각 표시기(140, 150);를 포함하며, 상기 시각표시기(140, 150)를 보면서값이 『0(零)』으로 근접할 수 있도록 상기 센서의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 시각 표시기를 갖는 센서의 감도 측정 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a sensor having a transmitter 110 and a receiver 120; The lamp 132 is electrically connected to the sensor and controls the sensitivity of the detected signal in transmitting a signal detected as a short circuit or normal by the sensor to an external device. An amplifier 130 having an adjustment switch 134; And an amount of change in output current with respect to an output voltage of an output signal output from the amplifier 130 when the position of the sensor is changed. Value; displays the visual indicators (140, 150); while viewing the visual indicators (140, 150) Provided is a sensor for measuring the sensitivity of a sensor having a visual indicator, characterized in that the position of the sensor is corrected so that the value is close to " 0 ".
이하 참조 도면을 참조하여 본 발명의 구체적 실시예를 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 의한 시각 표시기를 갖는 센서의 감도 측정 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.2 is a diagram schematically illustrating an apparatus for measuring sensitivity of a sensor having a visual indicator according to the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 센서의 감도 측정 장치는 적외선을 발신하는 발신부(110)와 그 발신된 적외선을 수신하는 수신부(120)를 갖는 센서; 상기 센서와 전기적 연결되어 있으며, 상기 센서의 감지 유무를 표시하는 램프(132) 및 상기 센서에 의해 단락 또는 정상으로 감지된 신호를 구동 장치 또는 컴퓨터 등과 같은 별도의 장치(도시 안됨)로 전달함에 있어서 그 감지된 신호의 감도를 조절하는 조절 스위치(134)를 갖는 증폭기(130); 및 그 증폭기(13)에 연결되어, 상기 센서의 위치 변화시 상기 증폭기(130)에서 출력되는 출력신호의 출력전압에 대한 출력전류의 변화량(값)을 표시하는 시각 표시기(140, 150)를 포함하며, 상기 시각 표시기(140, 150)를 보면서값이 『0(零)』으로 근접할 수 있도록 상기 센서의 위치를 보정한다.2, a sensor for measuring the sensitivity of the sensor according to the present invention includes a sensor having a transmitter 110 for transmitting infrared rays and a receiver 120 for receiving the transmitted infrared rays; The lamp 132 which is electrically connected to the sensor and transmits a signal detected as a short circuit or normal by the sensor to a separate device (not shown) such as a driving device or a computer. An amplifier 130 having an adjustment switch 134 for adjusting the sensitivity of the sensed signal; And an amount of change in output current with respect to an output voltage of an output signal output from the amplifier 130 when the position of the sensor is changed. Values), and the visual indicators 140 and 150 are displayed, while viewing the visual indicators 140 and 150. The position of the sensor is corrected so that the value is close to " 0 ".
시각 표시기(140, 150)는 지침 표시기(analog meter), 문자 표시기(digital meter) 및 지침 표시기와 문자 표시기가 함께 설치된 것 중의 어느 하나를 선택하여 사용하게 되며, 도 2에서는 지침 표시기(140)와 문자 표시기(150)가 함께 설치된 상태를 도시하고 있다.The visual indicators 140 and 150 may use any one of an indicator meter, a digital meter, and one having an indicator indicator and a character indicator installed together. In FIG. 2, the indicators 140 and 150 may be used. The character display 150 is shown installed together.
시각 표시기(140,150)에 표시되는값은 상기 증폭기(130)에 별도 내장된값 검출기(도시 안됨)에 의해 표시될 수 있으며, 표시 기능 이외에 검출 기능을 갖은 시각 표시기(140, 150)에 의해서도 구현될 수 있다.Displayed on the visual indicators 140,150 The value is built into the amplifier 130 separately It may be displayed by a value detector (not shown), and may also be implemented by visual indicators 140 and 150 having a detection function in addition to the display function.
본 발명의 실시 예에서는 시각 표시기(140, 150)가 지침 및 문자의 두 종류가 모두 사용되었으나, 그 중의 하나만을 선택함도 무방하다.In the embodiment of the present invention, the visual indicators 140 and 150 use both types of instructions and characters, but only one of them may be selected.
시각 표시기(140, 150)가 상기 센서에 의한 미세한 전기 신호를 감지 및 검출하여 표시할 수 있는 경우에 있어서는 상기 증폭기(130)와 전기적 연결될 필요가 없다.In the case where the visual indicators 140 and 150 can detect, detect, and display a minute electric signal by the sensor, it is not necessary to be electrically connected to the amplifier 130.
도 3에서 나타나 있는 PS 23 및 PS 24, PS 26∼PS 29는 센서, T/S는 토글 스위치(toggle switch) 및 AMP는 증폭기이다.PS 23 and PS 24 shown in FIG. 3, PS 26 to PS 29 are sensors, T / S is a toggle switch, and AMP is an amplifier.
본 발명은 전술된 실시예에 한(限)하여 설명되었지만, 이에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 분야의 통상적인 지식을 갖은 자로서는 본 발명을 이용하여 다양한 변형·실시 예를 구현할 수 있음은 자명(自明)한 것이다.Although the present invention has been described with reference to the above-described embodiments, it should be understood that various modifications and embodiments of the present invention can be implemented by those skilled in the art without being limited thereto. It is self-made.
본 발명에 의한 구조에 의하면, 표시된값을 주시(注視)하면서 『0(零)』으로 접근케 함으로써, 센서의 위치 변화를 정확하게 보정(補正)할 수 있도록 하는 효과가 있다.According to the structure according to the invention, the By observing the value and approaching "0 (零)", there is an effect of accurately correcting the positional change of the sensor.
Claims (2)
Priority Applications (1)
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| KR1019960077189A KR100225676B1 (en) | 1996-12-30 | 1996-12-30 | Apparatus with display for evaluating sensitivities of sensor |
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Publications (2)
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| KR19980057884A KR19980057884A (en) | 1998-09-25 |
| KR100225676B1 true KR100225676B1 (en) | 1999-10-15 |
Family
ID=19492456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR (1) | KR100225676B1 (en) |
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1996
- 1996-12-30 KR KR1019960077189A patent/KR100225676B1/en not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| KR19980057884A (en) | 1998-09-25 |
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