KR100207789B1 - Poligon mirror control apparatus - Google Patents

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KR100207789B1 KR1019970001696A KR19970001696A KR100207789B1 KR 100207789 B1 KR100207789 B1 KR 100207789B1 KR 1019970001696 A KR1019970001696 A KR 1019970001696A KR 19970001696 A KR19970001696 A KR 19970001696A KR 100207789 B1 KR100207789 B1 KR 100207789B1
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Abstract

본 발명은 스케닝 모타의 폴리건미러 압착력 유지장치에 관한 것으로, 하우징 내에 스테이터와 로우터가 구비되고, 로우터에 장착된 슬리브상에 폴리건미러가 결합되며, 상기 폴리건미러가 슬리브상에서 일정한 압착력을 받으며 고정되도록 하기 위하여 압착력 유지수단을 포함하는 스케닝모타에 있어서, 상기 압착력 유지수단이 슬리브의 상단의 외주에서 돌출형성되는 돌출턱; 및 상기 돌출턱의 저면과 폴리건미러의 상면 사이에서 폴리건미러에 일정한 압착력을 부여하며 설치되는 압착력 유지부재를 포함하는 폴리건미러의 압착력 유지장치를 제공하여, 폴리건미러가 보다 안정적으로 고정되고 정확한 회전이 이루어 지도록 하여 제품의 오동작을 효율적으로 방지하고, 작업의 편이를 및 제조원가도 낮출 수 있게 한 유용한 발명이다.The present invention relates to a polygon gun mirror pressing force maintaining device of a scanning motor, comprising a stator and a rotor in a housing, a poly gun mirror coupled to a sleeve mounted on the rotor, and allowing the polygon gun mirror to be fixed under a constant pressing force on the sleeve. In the scanning motor including a pressing force holding means for, The pressing force holding means protruding jaw protruding from the outer periphery of the upper end of the sleeve; And a pressing force holding member installed to impart a predetermined pressing force to the polygun mirror between the bottom surface of the protruding jaw and the upper surface of the polygun mirror, so that the polygon mirror is more stably fixed and precisely rotated. It is a useful invention to prevent the malfunction of the product to be made efficiently, to reduce the ease of operation and manufacturing cost.

Description

폴리건미러의 압착력유지장치Pressing force maintaining device of poly gun mirror

본 발명은 스케닝 모타의 폴리건미러 압착력 유지장치에 관한 것으로, 상세하게는 로우터의 슬리브상에 폴리건미러를 장착하는 구조를 개선하여 폴리건미러의 회전이 보다 안정적으로 수행되도록하고, 압착력유지부재를 가공이 쉽고 낮은 단가의 재료를 사용하도록 한 폴리곤 미러의 압착력 유지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a polygon gun mirror pressing force maintaining device of a scanning motor, and more particularly, to improve the structure of mounting the poly gun mirror on the sleeve of the rotor so that the rotation of the poly gun mirror is performed more stably, and the pressing force holding member can be processed. The present invention relates to a pressing force maintaining device of a polygon mirror that enables easy and low cost materials.

일반적으로 폴리건미러는 스케너나 레이저 프린터등에 설치되는 스케닝모타의 내부에서 로우터 - 일반적인 회전자를 표시함 - 의 슬리브에 장착되며, 로우터가 회전됨에따라 동시에 회전하여, 소정위치에서 방사되어진 레이저 빔을 반사시켜, 상기 빔을 인쇄드럼측 방향으로 편향시킬 수 있도록 한 것이다.In general, the polygon mirror is mounted on the sleeve of the rotor (indicative of the general rotor) inside the scanning motor installed in the scanner or laser printer, and rotates at the same time as the rotor is rotated to reflect the laser beam radiated from the predetermined position. In this way, the beam can be deflected in the printing drum side direction.

상기 폴리건미러는 레이저 빔의 반사면이 미세하게 불균일 하여도 레이저빔의 반사방향이 틀려지는 등 상당히 민감한 작용을 하게되는 것으로, 슬리브와 결합시 미세한 형상의 변화도 없도록 하기 위하여 작업시 쉽게 형상변화가 유발되는 압입이나 열을 이용한 접착 등은 행하지 못하고, 도 1에서와 같이 압착력 유지부재를 사용하여 결합하는 작업만을 실시하게 된다.The polygon mirror has a very sensitive function such that the reflection direction of the laser beam is incorrect even when the reflecting surface of the laser beam is minutely uneven, and the shape change is easily performed during work so as not to change the minute shape when combined with the sleeve. Induced indentation or heat adhesion may not be performed, and as shown in FIG. 1, only the bonding operation is performed using the pressing force holding member.

즉, 폴리건미러의 결합은 슬리브 상에서 느슨하게 결합된 폴리건미러에 얼만큼 안정적으로 압착력을 가해주는가에 그 의미를 갖게된다.In other words, the combination of the polygon mirror has a meaning in how to stably apply the pressing force to the loosely coupled polygon mirror on the sleeve.

상기와같은 종래 폴리건미러에 압착력을 가해주기 위한 압착력 유지장치를 설명하면 다음과 같다.Referring to the pressing force holding device for applying a pressing force to the conventional polygun mirror as described above.

도 1은 종래의 압착력 유지장치를 적용한 스케닝모타의 단면도를 나타낸 것으로 모타(100)는 하우징(10)내부에 스테이터(20)와 로우터(30)가 구비되고, 상기 로우터(30)에 장착된 슬리브(40)에는 폴리건미러(50)가 느슨하게 결합되며, 폴리건미러(50)는 슬리브(40)에 지지되는 압착력 유지부재(60)에 의해 고정된다.1 is a cross-sectional view of a scanning motor to which a conventional pressing force maintaining device is applied. The motor 100 includes a stator 20 and a rotor 30 inside a housing 10, and a sleeve mounted to the rotor 30. Polygon mirror 50 is loosely coupled to the 40, the polygon mirror 50 is fixed by the pressing force holding member 60 supported by the sleeve (40).

상기 압착력 유지부재(60)는 도 2a 및 도 2b에 나타낸 바와같은 판스프링을 사용하는데, 상기 스프링은 원판(62)상에 방사상으로 다수개의 탄성편(61)이 돌출형성되고, 돌출된 탄성편(61)은 각각 도 2b에서와같이 절곡되어 구성된다.The pressing force holding member 60 uses a leaf spring as shown in Figures 2a and 2b, the spring is a plurality of elastic pieces 61 are projected radially on the disc 62, protruding elastic pieces 61 is each bent and comprised as shown in FIG. 2B.

상기와 같은 압착력 유지부재(60)는 금속재의 판스프링으로 제작되기 때문에 하기와 같은 제반 문제점이 유발된다.Since the pressing force holding member 60 is made of a leaf spring of a metal material, the following problems are caused.

판스프링은 폴리건미러를 고정시키기 위하여 별도로 제작된 것으로, 제작시 탄성편을 돌출 형성하기위하여 컷팅작업을 하거나, 폴리건미러의 접촉면을 연마해주어야하는 작업등이 번거로왔을 뿐만아니라, 금속재로된 재질 특성상 부식되기가 쉽고, 이에 따른 형상변화의 위험성이 높아 장기간 사용하면 다수개의 각 탄성편마다 폴리건미러를 눌러 주는 압착력이 상이해져, 로우터의 회전시 상기 약한 압착력을 받는 폴리건미러의 부분이 슬리브에서 떠올라, 결국 폴리건미러의 회전밸런스가 맞지 않아 제품의 오동작 요인이 되기도 한다.The leaf spring is manufactured separately to fix the poly mirror, and the work of cutting or polishing the contact surface of the poly gun mirror is cumbersome due to the protruding elastic pieces during the manufacturing process. It is easy to be used, and there is a high risk of shape change, and if it is used for a long time, the pressing force for pressing the polymirror for each of the elastic pieces is different. Polygon mirror's rotation balance is not suitable, which may cause product malfunction.

그리고, 압착력 유지부재가 폴리건미러를 고정시키는 압착력이 약해지게되어 상기 압착력이 슬리브의 회전력보다 낮아지게 되면, 이로인하여 폴리건미러가 슬리브상에서 헛돌아, 상기 슬리브와 폴리건미러가 동일한 회전수를 갖지 못하는 슬라이딩 현상이 발생되고, 따라서 방사된 레이저 빔은 정해진 각도로 반사되지 못한 체 인쇄드럼에 주사되어 스케너나 레이저프린터등의 제품에 치명적인 오동작이 발생된다.When the pressing force holding member fixes the polygon mirror, the pressing force is weakened so that the pressing force is lower than the rotational force of the sleeve. As a result, the polygon mirror floats on the sleeve, so that the sleeve and the polygon mirror do not have the same rotation speed. The phenomenon occurs, and thus the emitted laser beam is scanned onto a body-printed drum that is not reflected at a predetermined angle, thereby causing a fatal malfunction in a product such as a scanner or a laser printer.

또한, 상기와같은 금속가공품은 그 단가가 높으며, 가공공수가 많아져 제작경비가 높아지는 문제점이 발생된다.In addition, the metal workpiece as described above has a high unit cost, there is a problem that the manufacturing cost is increased due to the number of processing times.

본 발명은 상기 문제점을 해소하기위하여 안출된 것으로써, 슬리브상에 폴리건미러가 고정되도록한 구조를 개선하여, 폴리건미러의 회전이 보다 안정적으로 수행되도록하고, 압착력유지부재를 가공이 쉽고 낮은 단가의 재료를 사용하도록 한 폴리곤 미러의 압착력 유지장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by improving the structure to fix the poly-mirror on the sleeve, so that the rotation of the poly-mirror is carried out more stably, the pressing force holding member is easy to process and low cost It is an object of the present invention to provide a pressing force holding device for a polygon mirror that uses a material.

상기 목적을 달성하기 위한 수단으로 본 발명은 하기와 같은 특징을 갖는다.As a means for achieving the above object, the present invention has the following features.

하우징 내에 스테이터와 로우터가 구비되고, 로우터에 장착된 슬리브상에 폴리건미러가 결합되며, 상기 폴리건미러가 슬리브상에서 일정한 압착력을 받으며 고정되도록 하기 위하여 압착력 유지수단을 포함하는 스케닝모타에 있어서, 상기 압착력 유지수단은 슬리브의 상단의 외주에서 돌출형성되는 돌출턱; 및 상기 돌출턱의 저면과 폴리건미러의 상면 사이에서 폴리건미러에 일정한 압착력을 부여하며 설치되는 압착력 유지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In a scanning motor provided with a stator and a rotor in a housing, a polygun mirror is coupled to a sleeve mounted to the rotor, and a compression force maintaining means for fixing the polygun mirror under constant compression on the sleeve. The means includes a protruding jaw protruding from the outer circumference of the upper end of the sleeve; And a pressing force holding member installed while giving a predetermined pressing force to the polygon mirror between the bottom surface of the protruding jaw and the upper surface of the polygon mirror.

상기 압착력 유지부재는 자체적으로 일정한 탄성력을 갖는 링형상의 부재로 됨을 특징으로 한다.The pressing force holding member is characterized in that the ring-shaped member having a constant elastic force itself.

상기 이유로, 상기 압착력 유지부재는 고무재의 링으로 형성됨을 특징으로 한다.For this reason, the pressing force holding member is characterized in that formed of a ring of rubber material.

도 1은 종래 폴리건미러가 설치된 스케닝 모타의 단면도1 is a cross-sectional view of a scanning motor installed with a conventional polygon mirror

도 2a는 종래 폴리곤 미러의 압착력유지부재를 나타낸 평면도Figure 2a is a plan view showing a pressing force holding member of the conventional polygon mirror

도 2b는 도 2a의 A - A 선 단면도FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 2A

도 3은 본 발명이 적용된 스케닝 모타의 단면도3 is a cross-sectional view of a scanning motor to which the present invention is applied.

도 4는 본 발명의 주요부를 일부절개하여 나타낸 사시도4 is a perspective view showing a partial cutaway of the main part of the present invention;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

20 : 스테이터 21: 코일20: stator 21: coil

30 : 로우터 31: 마그네트30: rotor 31: magnet

32 : 베어링 40, 70 : 슬리브32: bearing 40, 70: sleeve

50 : 폴리건미러 60, 80 : 압착력 유지부재50: polygon mirror 60, 80: pressing force holding member

71: 돌출턱 90 : 압착력 유지수단71: protruding jaw 90: pressure holding means

이하, 전술된 바와같은 특징이 적용된 본발명의 일 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention to which the features as described above are applied will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본발명을 적용한 스케닝모타의 단면도이고, 도 4는 폴리건미러가 슬리브상에서 장착된상태를 나타내기 위한 주요부 절개 사시도이다.3 is a cross-sectional view of a scanning motor to which the present invention is applied, and FIG. 4 is a perspective view of a main part cutaway to show a state in which a polygon mirror is mounted on a sleeve.

모타(100)는 하우징(10) 내부에 코일(21)이 구비된 스테이터(20)가 설치되고, 하우징(10)의 중앙에 설치된 축(11)에 베어링(32) 및, 상기 베어링(32)상에서 상기 스테이터(20)의 코일(21)과 대응되는 작용을 하도록 마그네트(31)가 장착되어 로우터(30)가 구성되며, 로우터(30)에는 슬리브(70)가 장착되어 폴리건미러(50)가 설치되도록 하고, 상기 폴리건미러(50)가 슬리브(70)상에서 고정되도록 항상 균일한 압착력을 제공하는 압착력 유지수단(90)이 구비되는 구성을 갖게된다.The motor 100 has a stator 20 provided with a coil 21 in the housing 10, and a bearing 32 and the bearing 32 on a shaft 11 installed at the center of the housing 10. The magnet 31 is mounted on the rotor 30 so as to correspond to the coil 21 of the stator 20, and the rotor 30 is mounted on the rotor 30, and the polygon mirror 50 is mounted on the rotor 30. To be installed, it has a configuration that is provided with a pressing force holding means 90 which always provides a uniform pressing force so that the polygon mirror 50 is fixed on the sleeve (70).

여기서, 상기 슬리브(70)에는 상단의 외주에서 소정길이 돌출된 돌출턱(71)가 형성되고, 상기 돌출턱(71)의 저면과 폴리건미러(50)의 상면사이에는 압착력 유지부재(80)가 장착되어 압착력 유지수단(90)이 구성된다.Here, the sleeve 70 is formed with a protruding jaw 71 protruding a predetermined length from the outer periphery of the upper end, the pressing force holding member 80 is formed between the bottom surface of the protruding jaw 71 and the top surface of the polygon mirror 50 The pressing force holding means 90 is configured.

상기 폴리건미러(50)는 슬리브(70) 상단부에서 외삽되어 장착되는 것으로, 이 때 슬리브(70)와 폴리건미러(50)는 느슨하게 결합되어 형상변화의 우려를 배제한다.The polygon mirror 50 is extrapolated and mounted at the upper end of the sleeve 70, and the sleeve 70 and the polygon mirror 50 are loosely coupled to eliminate the fear of shape change.

상기 압착력 유지부재(80)는 링 형상 - 도면상으로는 원형의 링 형상으로 도시되었지만 이는 주지의 슬리브 외주형상에 기인한 것으로, 슬리브의 외주형상의 변화나 필요에 따라서는 사각 또는 그 외의 형상이 되어도 무방한 것임 - 으로 상단과 하단에 걸쳐 균일한 탄성력을 갖는 것으로 함이 바람직하다.The pressing force holding member 80 is shown in a ring shape-a circular ring shape in the drawing, but this is due to a known sleeve outer peripheral shape, and may be a square or other shape depending on the change in the outer peripheral shape of the sleeve or if necessary. It is preferable to have a uniform elastic force across the top and bottom.

상기 조건을 만족하는 부재로 발포수지나 경화스폰지 등이 가능하겠지만, 마찰계수 및 탄성력이 비교적 높은 고무재의 링으로 함이 바람직하다.Although foaming resin, hardened sponge, etc. can be used as a member which satisfy | fills the said conditions, it is preferable to set it as the ring of rubber | gum materials with comparatively high coefficient of friction and elasticity.

상기의 구성을 갖는 실시예에의해 발생되는 본고안의 작용은 다음과 같다.The operation of the present invention generated by the embodiment having the above configuration is as follows.

모타(100)가 작동된다 함은 스테이터(20)의 코일(21)과 로우터(30)의 마그네트(31)가 상호 전자기적 작용에의해 상기 로우터(30)가 회전됨을 의미하는 것으로, 이 때의 회전수는 4000rpm - 18000rpm 정도의 고속회전을 하게된다.The operation of the motor 100 means that the rotor 21 is rotated by the mutual electromagnetic action of the coil 21 of the stator 20 and the magnet 31 of the rotor 30. Rotation speed is about 4000rpm-18000rpm.

이와같은 고속회전으로 인하여 슬리브(70)상의 폴리건미러(50)는 슬리브(70)의 상측으로 향하는 부양력이 발생되고, 상기부양력은 돌출턱(70)의 저면에 밀착된 압착력 유지부재(80)에 의해 제한된다.Due to such a high speed rotation, the polygon mirror 50 on the sleeve 70 generates a buoyancy force toward the upper side of the sleeve 70, and the buoyancy force is applied to the pressing force holding member 80 in close contact with the bottom surface of the protruding jaw 70. Limited by

뿐만아니라, 슬리브(70)와 폴리건미러(50) 사이의 압착력 유지부재(80)는 마찰계수가 높은 고무재의 링으로 제작된 것으로, 고속회전시 상기와 같이 느슨하게 결합된 슬리브(70)와 폴리건미러(50) 사이에서 발생되는 슬라이딩현상, 즉 전술된 문제점에서 압착력 유지부재(80)가 폴리건미러(50)를 고정시키는 압착력이 약해져 폴리건미러(50)가 슬리브(70)상에서 헛도는 현상을 방지하게된다.In addition, the pressing force holding member 80 between the sleeve 70 and the polygon mirror 50 is made of a ring of rubber material with a high coefficient of friction, and the sleeve 70 and the polygon mirror which are loosely coupled as described above at high speed rotation. Sliding phenomenon occurring between the 50, that is, in the above-described problems, the pressing force holding member 80, the pressing force for fixing the polygon mirror 50 is weakened to prevent the phenomenon that the polygon mirror 50 is idle on the sleeve 70 Will be done.

또한, 상기 압착력 유지부재(80)를 고무재질로 한 이유로는 형상 및 탄성의 변화가 적어 장기간 사용하여도 압착력이 쉽게 약해지지 않고, 마찰계수가 높을 뿐만아니라, 가공이 용이하고 자제의 단가가 낮다는 것에 있다.In addition, since the pressing force holding member 80 is made of a rubber material, the change in shape and elasticity is small, so that the pressing force is not easily weakened even after long-term use, the friction coefficient is high, the processing is easy, and the unit cost is low. Is in.

이상에서와 같이 본 발명은 압착력 유지부재를 형상 및 탄성의 변화가 적고 마찰계수가 높은 고무재의 링으로 형성하여 폴리건미러가 보다 안정적으로 고정됨과 동시에 정확한 회전이 이루어 지도록 하여 제품의 오동작을 효율적으로 방지하고, 상기 고무재질은 재질 특성상 가공이 용이하고 작업의 편이를 제공하며 부재의 단가가 낮아 제조원가도 낮출 수 있게 한 유용한 발명이다.As described above, the present invention forms the pressing force holding member with a ring of rubber material having a small change in shape and elasticity and a high coefficient of friction so that the polygon mirror can be more stably fixed and accurate rotation can be effectively prevented from malfunctioning of the product. In addition, the rubber material is a useful invention that can be easily processed due to the characteristics of the material, provides a convenience of operation, and lowers the manufacturing cost due to the low cost of the member.

Claims (3)

하우징 내에 스테이터와 로우터가 구비되고, 로우터에 장착된 슬리브상에 폴리건미러가 결합되며, 상기 폴리건미러가 슬리브상에서 일정한 압착력을 받으며 고정되도록 하기 위하여 압착력 유지수단을 포함하는 스케닝모타에 있어서, 상기 압착력 유지수단이 슬리브의 상단의 외주에서 돌출형성되는 돌출턱 및 상기 돌출턱의 저면과 폴리건미러의 상면 사이에서 폴리건미러에 일정한 압착력을 부여하며 설치되는 압착력 유지부재를 포함하는 것을 특징으로하는 폴리건미러의 압착력 유지장치.In a scanning motor provided with a stator and a rotor in a housing, a polygun mirror is coupled to a sleeve mounted to the rotor, and a compression force maintaining means for fixing the polygun mirror under constant compression on the sleeve. Pressing means of the polygon mirror, characterized in that the means comprising a protruding jaw protruding from the outer periphery of the upper end of the sleeve and a compressive force holding member installed to impart a constant compressive force to the polymirror mirror between the bottom surface of the protruding jaw and the upper surface of the polygun mirror. Retaining device. 제 1 항에 있어서, 압착력 유지부재는 자체적으로 일정한 탄성력을 갖는 링형상의 부재로 됨을 특징으로하는 폴리건미러의 압착력 유지장치.The pressing force holding device of claim 1, wherein the pressing force holding member is a ring-shaped member having a constant elastic force. 제 1 항에 있어서, 압착력 유지부재는 고무재의 링으로 형성됨을 특징으로 하는 폴리건미러의 압착력 유지장치.The apparatus of claim 1, wherein the pressing force holding member is formed of a ring of rubber material.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210088710A (en) 2018-12-18 2021-07-14 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20210090248A (en) 2018-12-25 2021-07-19 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20210092813A (en) 2018-12-25 2021-07-26 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20220046675A (en) 2019-12-17 2022-04-14 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Method for manufacturing passivation film
KR20220050175A (en) 2019-11-19 2022-04-22 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20220051214A (en) 2019-11-12 2022-04-26 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210088710A (en) 2018-12-18 2021-07-14 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20210090248A (en) 2018-12-25 2021-07-19 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20210092813A (en) 2018-12-25 2021-07-26 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20220051214A (en) 2019-11-12 2022-04-26 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
KR20220050175A (en) 2019-11-19 2022-04-22 쇼와 덴코 가부시키가이샤 Adhesive removal method and film formation method
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