KR100207588B1 - 전계발광소자및그제조방법 - Google Patents

전계발광소자및그제조방법 Download PDF

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Abstract

전계발광소자를 개시한다. 본 발명에 따른 전계발광소자는 유리 기판 상에 형성된 하부 전극과, 상기 하부 전극 상에 형성된 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 상에 형성된 후막형 청색 형광체 패턴과, 상기 후막형 청색 형광체 패턴 상에 형성된 제1 전극과, 상기 제1 전극 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 대응되게 형성된 박막형 녹색 형광체 패턴과, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴과 이격되어 상기 제1 전극 상에 형성된 박막형 적색 형광체 패턴과, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴과 박막형 적색 형광체 패턴의 전면에 형성된 제2 절연층과, 상기 제2 절연층 상에 형성된 제2 전극을 포함한다. 본 발명에 의하면, 후막형 전계발광부 상에 박막형 전계발광부를 형성하여 고해상도의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 구현할 수 있다.

Description

전계발광소자 및 그 제조방법
본 발명은 평판표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 전계발광소자[electroluminescence(EL) device] 및 그 제조방법에 관한 것이다.
어떤 정보를 나타내는 데 사용되는 표시소자로서 열전자방출 및 형광물체의 발광을 이용한 음극선관(CRT), 음극선관의 원리와 유사하지만 전자방출음극이 실선 구조로 되어 있고 전체적인 형태가 주로 평판형으로 되어 있는 형광표시관(VFD), 액정의 전기광학적 특성을 이용한 액정표시소자(LCD), 대전된 양 전극사이에서의 기체 방전 현상을 이용한 플라즈마 표시소자(PDP), 전계발광효과를 이용한 전계발광소자(EL device) 등이 있다. 이러한 표시소자들은 각각의 기능 및 구조적 특성이 상이하므로 사용 목적에 맞게 선택적으로 적용되고 있으며, 아울러 기존에 사용되는 CRT와 비교하여 표시품위가 우수한 평판평 표시소자가 출현되지 않고 있는 실정이다. 따라서, CRT와 비교하여 표시품위가 우수하면서 평판형 표시소자로 상기 소개된 여러 가지 평판형 표시소자들이 있다.
이중에서, 상기 전계발광소자는 소비전력이 적고 충격에 대하여 안정성이 우수하여 내환경특성이 강하여 내환경특성 평가장비 또는 응답속도가 빠른 의료장비 등의 표시소자에 이용되고 있다. 상기 전계발광소자는 형광체를 바인더와 혼합하여 페이스트 상태로 인쇄한 후막형 전계발광소자와 박막공정을 이용한 박막형 전계발광소자로 대별할 수 있다. 그런데, 상기 후막형 전계발광소자는 고해상도의 적색(R)을 나타내기가 힘들고 상기 박막형 전계발광소자는 고해상도의 청색(B)을 나타내기가 힘든 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 기술적 과제는 청색(B), 녹색(G) 및 적색(R)을 효과적으로 나타낼 수 있는 전계발광소자를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는 상기 전계발광소자를 제조하는 데 적합한 제조방법을 제공하는 데 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 전계발광소자를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 의한 전계발광소자를 도시한 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시한 본 발명의 전계발광소자의 제조방법을 설명하기 위하여 도시한 단면도들이다.
도 6 내지 도 9은 도 2에 도시한 본 발명의 전계발광소자의 제조방법을 설명하기 위하여 도시한 단면도들이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일예에 따른 전계발광소자는 유리 기판 상에 형성된 하부 전극과, 상기 하부 전극 상에 형성된 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 상에 형성된 후막형 청색 형광체 패턴과, 상기 후막형 청색 형광체 패턴 상에 형성된 제1 전극과, 상기 제1 전극 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 대응되게 형성된 박막형 녹색 형광체 패턴과, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴과 이격되어 상기 제1 전극 상에 형성된 박막형 적색 형광체 패턴과, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴과 박막형 적색 형광체 패턴의 전면에 형성된 제2 절연층과, 상기 제2 절연층 상에 형성된 제2 전극을 포함한다.
상기 후막형 청색 형광체 패턴, 박막형 녹색 형광체 패턴 및 박막형 적색 형광체 패턴은 각각 ZnS:Cu, ZnS:Tb 및 CaS:Eu로 구성한다. 상기 제1 전극은 Al막 또는 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성하고, 제2 전극은 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성한다.
또한, 본 발명의 다른 예에 따른 전계발광소자는 유리기판 상에 형성된 하부전극 패턴과, 상기 하부 전극 패턴 상에 형성된 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 상에 상기 하부 전극 패턴과 대응하도록 형성된 후막형 청색 형광체 패턴과, 상기 제1 절연층 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 이격되어 형성된 후막형 녹색 형광체 패턴과, 상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴 상에 형성된 제2 절연층과, 상기 제2 절연층 상에 형성된 제1 전극과, 상기 제1 전극 상에 형성된 제3 절연층과, 상기 제3 절연층 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴에 중첩되지 않게 형성된 박막형 적색 형광체 패턴과, 상기 적색 형광체 패턴 상에 형성된 제4 절연층과, 상기 제4 절연층 상에 상기 박막형 적색 형광체 패턴에 대응되도록 형성된 제2 전극을 포함한다.
상기 후막형 청색 형광체 패턴, 후막형 녹색 형광체 패턴 및 박막형 적색 형광체 패턴은 각각 ZnS:Cu, ZnS:Tb 및 CaS:Eu로 구성한다. 상기 제1 전극은 Al막 또는 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성하고, 제2 전극은 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성한다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일예에 따른 전계발광소자의 제조방법은 유리 기판 상에 하부전극을 형성하는 단계와, 상기 하부 전극 상에 제1 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제1 절연층 상에 후막형 청색 형광체 패턴을 형성하는 단계와, 상기 후막형 청색 형광체 패턴이 형성된 유리 기판의 전면에 제1 전극을 형성하는 단계와, 상기 제1 전극 상에 상기 후막형 청색 형광층 패턴에 대응되게 박막형 녹색 형광층 패턴과 상기 박막형 녹색 형광층 패턴과 이격된 박막형 적색 형광체 패턴을 형성하는 단계와, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴 및 박막형 적색 형광체 패턴이 형성된 유리 기판의 전면에 제2 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제2 절연층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 예에 따른 전계발광소자의 제조방법은 유리기판 상에 하부전극 패턴을 형성하는 단계와, 상기 하부 전극 패턴이 형성된 유리기판의 전면에 제1 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제1 절연층 상에 상기 하부 전극 패턴과 대응하도록 후막형 청색 형광체 패턴과 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 이격된 후막형 녹색 형광체 패턴을 형성하는 단계와, 상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴이 형성된 유리 기판의 전면에 제2 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제2 절연층 상에 제1 전극을 형성하는 단계와, 상기 제1 전극 상에 제3 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제3 절연층 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴에 중첩되지 않게 박막형 적색 형광체 패턴을 형성하는 단계와, 상기 적색 형광체 패턴 상에 제4 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제4 절연층 상에 상기 박막형 적색 형광체 패턴에 대응되도록 제2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 의하면, 후막형 전계발광부 상에 박막형 전계발광부를 형성하여 고해상도의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 구현할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 전계발광소자를 도시한 단면도이다.
구체적으로, 본 발명의 전계발광소자는 크게 유리기판(100) 상에 형성된 후막형 전계발광부(C)와 상기 후막형 전계발광부(C) 상에 형성되는 박막형 전계발광부(D)로 구성되어 있다. 상기 후막형 전계발광부(C)는 유리기판(100) 상에 하부전극(102), 예컨대 은 전극이 형성되어 있고, 상기 하부 전극(102) 상에 제1 절연층(104), 예컨대 BaTiO3후막이 형성되어 있다. 상기 제1 절연층(104) 상에는 후막형 청색 형광체 패턴(B:106)이 형성되어 있다. 상기 후막형 청색 형광체 패턴(106)은 발광모체가 ZnS이며 발광중심이 Cu인 ZnS:Cu로 구성한다. 그리고, 상기 박막형 전계발광부(D)는 상기 후막형 청색 형광체 패턴(106) 상에 제1 전극(108), 예컨대 Al막이나 ITO(Indium Tin Oxide)막이 형성되어 있고, 상기 제1 전극(108) 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴(106)에 대응되게 박막형 녹색 형광체 패턴(G:110)과 박막형 적색 형광체 패턴(R:111)이 형성되어 있다. 본 실시예에서 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(106)은 발광 모체가 ZnS이고 발광중심이 Tb 인 ZnS:Tb로 구성하며, 상기 박막형 적색 형광체 패턴(111)은 발광모체가 CaS이며 발광중심이 Eu인 CaS:Eu로 구성한다. 그리고 상기 녹색 형광체 패턴(110) 및 적색 형광체 패턴(111)을 덮도록 제2 절연층(112), 예컨대 Y2O3층이 형성되어 있고, 상기 제2 절연층(112) 상에 제2 전극(114), 예컨대 ITO전극이 형성되어 있다. 따라서, 본 발명의 전계발광소자는 상기 후막형 전계발광부(C)를 이용하여 청색을 구현하고, 상기 박막형 전계발광부(D)를 이용하여 녹색과 적색을 구현한다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 의한 전계발광소자를 도시한 단면도이다.
구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 의한 전계발광소자는 상기 제1 실시예와 마찬가지로 크게 유리기판(200) 상에 형성된 후막형 전계발광부(C)와 상기 후막형 전계발광부(C) 상에 형성되는 박막형 전계발광부(D)로 구성되어 있다. 상기 후막형 전계발광부(C)는 유리기판(200) 상에 하부전극 패턴(202), 예컨대 은 전극 패턴이 형성되어 있고, 상기 하부 전극 패턴(202)을 덮도록 제1 절연층(204), 예컨대 BaTiO3후막이 형성되어 있다. 상기 제1 절연층(104) 상에는 상기 하부 전극 패턴(202)과 대응하도록 후막형 청색 형광체 패턴(B:206) 및 후막형 녹색 형광체 패턴(G:208)이 형성되어 있다. 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206)은 발광모체가 ZnS이며 발광중심이 Cu인 ZnS:Cu로 구성하며, 후막형 녹색 형광체 패턴(208)은 발광 모체가 ZnS이고 발광중심이 Tb 인 ZnS:Tb로 구성한다. 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206) 및 후막형 녹색 형광체 패턴(208)이 형성된 유리 기판(200)의 전면에 제2 절연층(210), 예컨대 Y2O3층이 형성되어 있고, 상기 제2 절연층(210) 상에 제1 전극(212), 예컨대 Al막이나 ITO(Indium Tin Oxide)막이 형성되어 있다. 그리고, 상기 박막형 전계발광부(D)는 상기 제1 전극(212) 상에 제3 절연층(213), 예컨대 Y2O3층이 형성되어 있고, 상기 제3 절연층(213) 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206) 및 후막형 녹색 형광체 패턴(108)에 대응되지 않게 박막형 적색 형광체 패턴(R:214)이 형성되어 있다. 본 실시예에서 상기 박막형 적색 형광체 패턴(214)은 발광모체가 CaS이며 발광중심이 Eu인 CaS:Eu로 구성한다. 그리고 상기 적색 형광체 패턴(214)을 덮도록 제4 절연층(216), 예컨대 Y2O3층이 형성되어 있고, 상기 제4 절연층(216) 상에 상기 박막형 적색 형광체 패턴(216)에 대응되도록 제2 전극(218), 예컨대 ITO전극이 형성되어 있다. 따라서, 본 발명의 전계발광소자는 상기 후막형 전계발광부(C)를 이용하여 청색 및 녹색을 구현하고, 상기 박막형 전계발광부(D)를 이용하여 적색을 구현한다.
도 3 내지 도 5은 도 1에 도시한 본 발명의 전계발광소자의 제조방법을 설명하기 위하여 도시한 단면도들이다.
도 3을 참조하면, 유리 기판(100) 상에 하부전극(102), 예컨대 은 전극을 형성한다. 이어서, 상기 하부 전극(102) 상에 제1 절연층(104), 예컨대 BaTiO3후막으로 형성한다. 계속하여, 상기 제1 절연층(104) 상에 후막형 청색 형광체 패턴(106)을 형성한다. 상기 후막형 청색 형광체 패턴(106)은 발광 모체가 ZnS이고 발광중심이 Cu인 ZnS:Cu로 형성한다.
도 4를 참조하면, 상기 후막형 청색 형광체 패턴(106)이 형성된 유리 기판의 전면에 제1 전극(108), 예컨대 Al막이나 ITO막을 형성한다. 이어서, 상기 제1 전극 상에 상기 후막형 청색 형광층 패턴에 대응되게 박막형 녹색 형광층 패턴(110)을 형성한다. 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(110)은 발광 모체가 ZnS이고 발광중심이 Tb 혹은 Cu인 ZnS:Tb 또는 ZnS:Cu로 이루어진 발광층을 증착한 후 패터닝하여 형성한다.
도 5를 참조하면, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(110)이 형성된 유리 기판(100)의 전면에 발광모체가 CaS이며 발광중심이 Eu인 CaS:Eu로 이루어진 발광층을 형성한 후 패터닝하여 박막형 적색 형광체 패턴(111)을 형성한다. 상기 적색 형광체 패턴(111)은 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(110)과 소정거리 이격되게 형성한다.
본 실시예에서는 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(110)을 형성한 후 박막형 적색 형광체 패턴(111)을 형성하였으나, 박막형 적색 형광체 패턴(111)을 형성한 후 박막형 녹색 형광체 패턴(110)을 형성할 수 도 있다.
계속하여, 도 1에 도시한 바와 같이 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(110) 및 박막형 적색 형광체 패턴(111)이 형성된 유리 기판(100)의 전면에 Y2O3막으로 제2 절연층(112)을 형성한다. 이어서, 상기 제2 절연층(112) 상에 제2 전극(114)을 형성함으로써 전계발광소자를 완성한다. 따라서, 본 발명의 전계발광소자는 상기 후막형 청색 형광체 패턴(104) 이용하여 청색을 구현하고, 상기 박막형 녹색 형광체 패턴(110) 및 박막형 적색 형광체 패턴(111)을 이용하여 녹색과 적색을 구현한다. 도 6 내지 도 9는 도 2에 도시한 본 발명의 전계발광소자의 제조방법을 설명하기 위하여 도시한 단면도들이다.
도 6을 참조하면, 유리기판(200) 상에 하부전극 패턴(202), 예컨대 은 전극 패턴을 형성한다. 이어서, 상기 하부 전극 패턴(202)이 형성된 유리기판(200)의 전면에 고유전특성을 갖는 막, 예컨대 Y2O3막으로 제1 절연층(204)을 형성한다. 계속하여, 상기 제1 절연층(104) 상에는 상기 하부 전극 패턴(202)과 대응하도록 후막형 청색 형광체 패턴(B:206)을 형성한다. 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206)은 발광모체가 ZnS이며 발광중심이 Cu인 ZnS:Cu로 형성한다.
도 7을 참조하면, 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206)이 형성된 유리 기판(200)의 전면에 발광 모체가 ZnS이고 발광중심이 Tb 인 ZnS:Tb로 이루어진 발광층으로 후막형 녹색 형광체 패턴(208)을 형성한다. 상기 후막형 녹색 형광체 패턴(208)은 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206)과 소정거리 이격되게 형성한다.
본 실시예에서는 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206)을 형성한 후 후막형 녹색 형광체 패턴(208)을 형성하였으나, 후막형 녹색 형광체 패턴(208)을 형성한 후 후막형 청색 형광체 패턴(206)을 형성할 수 도 있다.
도 8을 참조하면, 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206) 및 후막형 녹색 형광체 패턴(208)이 형성된 유리 기판(200)의 전면에 고유전특성을 갖는 막, 예컨대 Y2O3막으로 제2 절연층(210)을 형성한다. 이어서, 상기 제2 절연층(210) 상에 Al막이나 ITO(Indium Tin Oxide)막으로 제1 전극(212)을 형성한 후, 상기 제1 전극(212) 상에 고유전특성을 갖는 막, 예컨대 Y2O3막으로 제3 절연층(213)을 형성한다.
도 9를 참조하면, 박막형 적색 형광체 패턴(R:214)은 상기 제3 절연층(213) 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴(206) 및 후막형 녹색 형광체 패턴(208)에 대응되지 않게 형성한다. 본 실시예에서 상기 박막형 적색 형광체 패턴(214)은 발광모체가 CaS이며 발광중심이 Eu인 CaS:Eu로 구성한다.
그리고 도 2에 도시한 바와 같이 상기 적색 형광체 패턴(214)을 덮도록 고유전특성을 갖는 막, 예컨대 Y2O3막으로 제4 절연층(216)을 형성한 후, 상기 제4 절연층(216) 상에 상기 박막형 적색 형광체 패턴(216)에 대응되도록 ITO막으로 제2 전극(218)을 형성함으로써 본 발명의 전계발광소자를 완성한다. 따라서, 본 발명의 전계발광소자는 상기 후막형 전계발광부를 이용하여 청색 및 녹색을 구현하고, 상기 박막형 전계발광부를 이용하여 적색을 구현한다.
본 발명이 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진자에 의하여 가능함은 명백하다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일예에 따른 전계발광소자는 유리기판 상에 청색 형광체 패턴을 구비하는 후막형 전계발광부가 형성되어 있고, 상기 후막형 전계발광부 상에 녹색 및 적색 형광체 패턴을 구비하는 박막형 전계발광부가 형성되어 있다. 따라서, 상기 후막형 전계발광부를 이용하여 청색을 구현하고 상기 박막형 전계발광부를 이용하여 녹색과 적색을 구현할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 예에 따른 전계발광소자는 유리기판 상에 청색 및 녹색 형광체 패턴을 구비하는 후막형 전계발광부가 형성되어 있고, 상기 후막형 전계발광부 상에 적색 형광체 패턴을 구비하는 박막형 전계발광부가 형성되어 있다. 따라서, 상기 후막형 전계발광부를 이용하여 청색 및 녹색을 구현하고 상기 박막형 전계발광부를 이용하여 적색을 구현할 수 있다.

Claims (10)

  1. 유리 기판 상에 형성된 하부 전극;
    상기 하부 전극 상에 형성된 제1 절연층;
    상기 제1 절연층 상에 형성된 후막형 청색 형광체 패턴;
    상기 후막형 청색 형광체 패턴 상에 형성된 제1 전극;
    상기 제1 전극 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 대응되게 형성된 박막형 녹색 형광체 패턴;
    상기 박막형 녹색 형광체 패턴과 이격되어 상기 제1 전극 상에 형성된 박막형 적색 형광체 패턴;
    상기 박막형 녹색 형광체 패턴과 박막형 적색 형광체 패턴의 전면에 형성된 제2 절연층; 및
    상기 제2 절연층 상에 형성된 제2 전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 후막형 청색 형광체 패턴, 박막형 녹색 형광체 패턴 및 박막형 적색 형광체 패턴은 각각 ZnS:Cu, ZnS:Tb 및 CaS:Eu로 구성하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 절연층은 BaTiO3후막으로 구성하고, 제2 절연층은 Y2O3막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 전극은 Al막 또는 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성하고, 제2 전극은 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  5. 유리기판 상에 형성된 하부전극 패턴;
    상기 하부 전극 패턴 상에 형성된 제1 절연층;
    상기 제1 절연층 상에 상기 하부 전극 패턴과 대응하도록 형성된 후막형 청색 형광체 패턴;
    상기 제1 절연층 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 이격되어 형성된 후막형 녹색 형광체 패턴;
    상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴 상에 형성된 제2 절연층;
    상기 제2 절연층 상에 형성된 제1 전극;
    상기 제1 전극 상에 형성된 제3 절연층;
    상기 제3 절연층 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴에 중첩되지 않게 형성된 박막형 적색 형광체 패턴;
    상기 적색 형광체 패턴 상에 형성된 제4 절연층; 및
    상기 제4 절연층 상에 상기 박막형 적색 형광체 패턴에 대응되도록 형성된 제2 전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  6. 제5항에 있어서, 상기 후막형 청색 형광체 패턴, 후막형 녹색 형광체 패턴 및 박막형 적색 형광체 패턴은 각각 ZnS:Cu, ZnS:Tb 및 CaS:Eu로 구성하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1 절연층은 BaTiO3후막으로 구성하고, 제2 내지 제4 절연층은 Y2O3막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1 전극은 Al막 또는 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성하고, 제2 전극은 ITO(indium Tin Oxide)막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자.
  9. 유리 기판 상에 하부전극을 형성하는 단계;
    상기 하부 전극 상에 제1 절연층을 형성하는 단계;
    상기 제1 절연층 상에 후막형 청색 형광체 패턴을 형성하는 단계;
    상기 후막형 청색 형광체 패턴이 형성된 유리 기판의 전면에 제1 전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 전극 상에 상기 후막형 청색 형광층 패턴에 대응되게 박막형 녹색 형광층 패턴과 상기 박막형 녹색 형광층 패턴과 이격된 박막형 적색 형광체 패턴을 형성하는 단계;
    상기 박막형 녹색 형광체 패턴 및 박막형 적색 형광체 패턴이 형성된 유리 기판의 전면에 제2 절연층을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 절연층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광소자의 제조방법.
  10. 유리기판 상에 하부전극 패턴을 형성하는 단계;
    상기 하부 전극 패턴이 형성된 유리기판의 전면에 제1 절연층을 형성하는 단계;
    상기 제1 절연층 상에 상기 하부 전극 패턴과 대응하도록 후막형 청색 형광체 패턴과 상기 후막형 청색 형광체 패턴과 이격된 후막형 녹색 형광체 패턴을 형성하는 단계;
    상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴이 형성된 유리 기판의 전면에 제2 절연층을 형성하는 단계;
    상기 제2 절연층 상에 제1 전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 전극 상에 제3 절연층을 형성하는 단계;
    상기 제3 절연층 상에 상기 후막형 청색 형광체 패턴 및 후막형 녹색 형광체 패턴에 중첩되게 않게 박막형 적색 형광체 패턴을 형성하는 단계;
    상기 적색 형광체 패턴 상에 제4 절연층을 형성하는 단계; 및
    상기 제4 절연층 상에 상기 박막형 적색 형광체 패턴에 대응되도록 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광소자의 제조방법.
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