KR100207583B1 - Field emission display with ion pump - Google Patents
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Abstract
본 발명은 필드에미션 디스플레이(Field Emission display) 내부의 진공도를 향상시키고 그 진공도를 적절하게 유지시키기 위해 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극 및 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체가 마련된 에노드전극을 구비한 필드 에미션 디스플레이에 있어서, 상기 필드 에미션 디스플레이의 내부공간에 유입되는 외부공기와 기존에 존재하는 공기원소 및 상기 내부공간에서 생성되는 불요원소를 흡착하는 흡착성 원소를 구비하여 상기 필드 에미션 디스플레이의 내부공간의 진공도를 소정범위까지 유지시키는 이온펌프 수단을 포함함으로써, 상기 필드에미션 디스플레이의 안정적인 동작을 향상시킬 수 있는 이점을 제공한다.The present invention relates to a field emission display with an ion pump to improve the degree of vacuum inside a field emission display and to maintain the degree of vacuum appropriately. To this end, the present invention provides a substrate, a plurality of field emitter tips protruding from the substrate, and a plurality of gate electrodes for forming an electric field around the electron emitter at the field emitter tips and the emission. A field emission display having an anode electrode provided with a phosphor that emits light by collision of electrons, the field emission display comprising: an external air introduced into an internal space of the field emission display, an existing air element, and an internal air element; Including an ion pump means for adsorbing unnecessary elements to maintain the vacuum degree of the internal space of the field emission display to a predetermined range, it provides an advantage that can improve the stable operation of the field emission display .
Description
제1도는 일반적인 필드에미션 디스플레이의 기본 단우구성을 도시한 구성도.1 is a block diagram showing a basic danwoo configuration of a general field emission display.
제2도는 금속 또는 실리콘 표면에 있어서의 터널링 효과를 설명하기 위한 밴드 다이아그램.2 is a band diagram illustrating the tunneling effect on a metal or silicon surface.
제3도는 본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이를 도시한 구성도.3 is a block diagram showing a field emission display with an ion pump according to the present invention.
제4도(a), (b)는 본 발명에 적용되는 이온펌프를 도시한 사시도 및 그 작용도.Figure 4 (a), (b) is a perspective view showing the ion pump applied to the present invention and its operation.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
22 : 에노드전극 26 : 필드에미터 팁22: anode electrode 26: field emitter tip
28 : 게이트전극 29 : 내부공간28: gate electrode 29: internal space
32 : 기판 50 : 이온펌프32: substrate 50: ion pump
본 발명은 필드에미션 디스플레이(Field Emission display)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 필드에미션 디스플레이 내부의 진공도를 향상시키고 그 진공도를 적절하게 유지시키기 위해 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a field emission display, and more particularly to a field emission display with an ion pump in order to improve the degree of vacuum inside the field emission display and to maintain the vacuum level appropriately. .
일반적으로 필드에미션 디스플레이는 진공관과 달리 전자를 방출하기 위해 열적방출을 이용하는 것이 아니라 실리콘이나 금속팁을 캐소오드로 이용하고 게이트 전극을 상기 팁 가까이 위치시킴으로써 팁끝에 형성된 강한 전기장으로 전자를 방출시키는 필드에미션을 이용한다.In general, field emission displays, unlike vacuum tubes, do not use thermal emission to emit electrons, but instead use a silicon or metal tip as a cathode and place a gate electrode near the tip to emit electrons with a strong electric field formed at the tip. Use the emission.
상기와 같은 필드에미션 디스플레이의 기본구성을 제1도에 나타내보였다 제1도를 참조하면, 필드에미션 디스플레이를 구성하는 최소단위는 마이크로 단위의 3극 진공관의 형태와 유사하다. 즉, 그 표면상에 형광체(4)가 도포 또는 증착된 투명전극(2;또는 에노드전극), 게이트(8), 기판(12)의 팁(6)이, 진공관의 에노드, 그리드, 캐소드와 각각 대응된다고 볼 수 있다. 이와 같이 필드에미션 디스플레이의 구성에 있어서, 팁(6)(또는, 필드에미터 팁)과 게이트(8) 및 에노드전극(2)간에 충분한 전압이 인가되면 강한 전계에 의하여 전자들이 필드에미터 팁(6)으로부터 터널링되어 외부로 방출된다. 필드에미터 팁(6)으로부터 방출된 전자들은 게이트(8)를 통과하면서 가속이 되어 에노드전극(2)상의 형광체(4)의 화소에 높은 에너지를 가지고 충돌하여 해당 형광체를 발광시키게 된다. 이때, 필드에미터 팁(6)에서 방출되는 전자들은 게이트(8)에 거의 흡수되지 않고 형광체(4)에 도달하기 때문에 필드에미션 디스플레이는 높은 발광 효율을 갖게 된다. 여기서, 부재번호 10은 기판(12)과 게이트(8)사이에 개재되어 이들을 절연하는 절연체이다.The basic configuration of the field emission display as described above is shown in FIG. 1. Referring to FIG. 1, the minimum unit constituting the field emission display is similar to that of a three-pole vacuum tube in micro units. That is, the transparent electrode 2 (or anode electrode), the gate 8, and the tip 6 of the substrate 12 having the phosphor 4 coated or deposited on the surface thereof include the anode, grid, and cathode of the vacuum tube. And correspond to each. In this configuration of the field emission display, when a sufficient voltage is applied between the tip 6 (or the field emitter tip) and the gate 8 and the anode electrode 2, electrons are attracted to the field emitter by a strong electric field. It is tunneled from the tip 6 and discharged outward. Electrons emitted from the field emitter tip 6 are accelerated while passing through the gate 8 and collide with high energy to the pixel of the phosphor 4 on the anode electrode 2 to emit the phosphor. At this time, the field emission display has a high luminous efficiency since electrons emitted from the field emitter tip 6 reach the phosphor 4 with little absorption at the gate 8. Here, the member number 10 is an insulator interposed between the substrate 12 and the gate 8 to insulate them.
상기와 같이 필드에미터 팁(6)에서 전자들이 터널링되어 방출되는 원리를 제2도에 나타내 보였다. 제2도는 금속표면 또는 실리콘 표면의 밴드 다이아그램으로서, 이것을 참조하면, 정상상태(바이어스가 없는 상태의 진공레벨)에서 금속표면의 전도대에 있는 전자는 진공장벽에 의해 금속표면 밖으로 방출되지 못하지만, 금속표면에 강한 전기장이 형성(바이어스상태의 진공레벨)되면 진공장벽의 두께가 얇아지면서 전자가 금속표면밖으로 터널링될 수가 있게 된다. 여기서, 필드에미터 팁(6) 주변에 형성되는 전기장은 게이트(8) 전극에 인가되는 전압과 전극의 위치 및 필드에미터 팁(6)의 기하학적 모양에 의해 결정된다.As shown above, the principle in which electrons are tunneled and emitted at the field emitter tip 6 is shown in FIG. FIG. 2 is a band diagram of a metal surface or silicon surface. Referring to this, in the normal state (vacuum level without bias), electrons in the conduction band of the metal surface are not released out of the metal surface by the vacuum barrier, but the metal When a strong electric field is formed on the surface (a vacuum level in a biased state), the thickness of the vacuum barrier becomes thinner and electrons can be tunneled out of the metal surface. Here, the electric field formed around the field emitter tip 6 is determined by the voltage applied to the gate 8 electrode, the position of the electrode and the geometry of the field emitter tip 6.
그러나, 상술한 바와 같은 필드에미션 디스플레이는 그 내부공간의 진공도를 적절하게 유지하여야만 상기 필드에미션 디스플레이의 정상적인 동작이 이루어지는데, 여러 가지 원인, 예를 들면 상기 필드에미터 팁(6)과 게이트전극(8)등을 포함하는 내부공간의 부적절한 실링(sealing), 그 실링상태의 노후에 기인하여 외부공기가 유입되어 상기 내부공간의 진공도가 저하되며, 또한 상기 방출전자에 의한 2차적인 원소의 생성등에 의해서도 그 내부공간 진공도가 떨어지게 된다.However, in the field emission display as described above, the normal operation of the field emission display is achieved only when the degree of vacuum of the internal space is properly maintained. There are various causes, for example, the field emitter tip 6 and the gate. Due to the improper sealing of the internal space including the electrode 8 and the like, and the deterioration of the sealing state, the external air flows in and the vacuum degree of the internal space is reduced, and the secondary element by the emission electrons The inner space vacuum degree also drops due to generation.
상기와 같은 원인에 의해 필드에미션 디스플레이의 내부진공도가 저하되면, 즉, 상기 내부공간에 외부 공기원소가 유입되고, 불필요한 2차적인 원소가 생성되면, 상기 공기원소 및 2차적인 불요원소들은 상기 필드에미터 팁(6)에 부착되어 이 필드에미터 팁(6)에서의 전자방출 성능을 저하시키게 되고, 이로써 필드에미션 디스플레이의 전체적인 성능이 저하되게 된다.When the internal vacuum degree of the field emission display decreases due to the above causes, that is, when an external air element is introduced into the internal space and an unnecessary secondary element is generated, the air element and the secondary unnecessary elements are Attached to the field emitter tip 6 degrades the electron emission performance at the field emitter tip 6, thereby degrading the overall performance of the field emission display.
따라서, 필드에미션 디스플레이의 내부 진공도 저하에 따른 필드에미션 디스플레이의 안정적인 동작(실질적으로는 필드에미터 팁(6)의 안정적인 동작)을 보장하기 위해 필드에미션 디스플레이의 내부는 통산 고진공도(대략 1×10-8에서 1×10-9Torr)를 유지하여야 할 필요가 있게 된다. 또한, 제2도와 관련되서 설명된 진공레벨을 높이기 위해서도 필드에미션 디스플레이 내부의 진공도를 높이는 것이 필요하게 된다.Therefore, in order to ensure stable operation of the field emission display (actually, stable operation of the field emitter tip 6) according to the decrease in the internal vacuum degree of the field emission display, the inside of the field emission display has a high overall vacuum degree (approximately). 1 × 10 -8 to 1 × 10 -9 Torr). It is also necessary to increase the degree of vacuum inside the field emission display in order to increase the vacuum level described in connection with FIG.
상기와 같이 필드에미션 디스플레이의 공간내부를 고진공도로 유지하고, 상기 내부공간에 유입되는 외부공기와 그 내부공간에서 불요하게 생성되는 2차적인 원소들을 제거하기 위해 종래에는 필드에미션 디스플레이에 진공펌프등을 설치하고 있지만, 상기 진공펌프는 그 구동장치가 복잡하고, 그 크기와 성능 및 가격등이 적절하지 않아 비효율적인 점이 많이 있었다.As described above, in order to maintain a high vacuum inside the space of the field emission display and to remove external air introduced into the internal space and secondary elements unnecessarily generated in the internal space, a vacuum pump is conventionally used in the field emission display. The vacuum pump has many inefficiencies due to its complicated driving device and its size, performance and price.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 그 그조가 단순하고 성능은 우수하며 가격이 경제적인 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and its object is to provide a field emission display with an ion pump having a simple, excellent performance and economical price.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이는,Field emission display having an ion pump according to the present invention for achieving the above object,
기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극 및 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체가 마련된 에노드전극을 구비한 필드 에미션 디스플레이에 있어서,Luminescence by a collision between a substrate, a plurality of field emitter tips protruding from the substrate, and a plurality of gate electrodes which form an electric field around the electron emitter at the field emitter tips, and the emission electrons In a field emission display having an anode electrode provided with a phosphor,
상기 필드 에미션 디스플레이의 내부공간에 유입되는 외부공기 및 상기 내부공간에서 불요하게 생성되는 원소들을 흡착하는 흡착성 물질을 구비하여 상기 필드 에미션 디스플레이의 내부의 진공도를 소정범위까지 유지시키는 이온펌프 수단을 구비한 점에 그 특징이 있다.An ion pump means having an external air flowing into the interior space of the field emission display and an adsorbent material adsorbing elements unnecessarily generated in the interior space to maintain a vacuum degree inside the field emission display to a predetermined range; This feature is also provided.
본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이에 있어서,In the field emission display with an ion pump according to the invention,
상기 이온펌프는, 상기 내부공간에 유입된 외부공기와 상기 불요원소를 수집하는 흡착성 물질로 이루어진 수집수단과, 상기 수집수단에서 떨어져나온 흡착성 원소를 전기화학작용처리하는 흡착처리수단과, 상기 흡착처리수단에 의해 처리된 흡착성 원소를 집적시키는 집적수단을 바람직하게 구비한다.The ion pump comprises: collecting means consisting of an adsorbent material for collecting external air and the undesired elements introduced into the inner space; adsorption treatment means for electrochemically treating the adsorptive element separated from the collecting means; An accumulation means for accumulating the adsorptive element treated by the means is preferably provided.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a field emission display with an ion pump according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이는 상기 필드에미션 디스플레이 내부의 진공도를 최적으로 유지시켜 그 성능 및 내구성을 향상시키기 위해 그 내부공간에 유입되는 외부공기와 상기 내부공간에서 생성되는 불요원소를 흡착하는 흡착성 원소를 생성하는 이온펌프를 부착한 것으로서, 기판(32)과, 이 기판(32)상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁(26)과, 상기 필드에미터 팁(26)에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극(28) 및 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체(24)가 형성된 에노드전극(22)을 포함하며, 상기 필드 에미션 디스플레이의 동작시 그 내부공간에 유입되는 외부공기와 그 내부공간에서 생성되는 불요 전자 및 소정의 물질을 흡착하는 흡착성 물질을 구비하여 상기 필드에미션 디스플레이의 내부에 진공도를 소정범위까지 유지시키는 이온펌프장치(50)를 포함한다. 여기서, 부재번호 30은 기판(32)과 게이트(28)사이에 개재되어 이들을 절연하는 절연체들이다.Field emission display having an ion pump according to the present invention is generated in the internal space and the outside air introduced into the internal space to maintain the optimum degree of vacuum inside the field emission display to improve its performance and durability Attached is an ion pump that generates an adsorptive element that adsorbs an undesired element, and includes a substrate 32, a plurality of field emitter tips 26 protruding from the substrate 32, and emitting electrons. And a plurality of gate electrodes 28 forming an electric field around the tips 26 to emit electrons at the tip 26, and an anode electrode 22 having phosphors 24 emitting light due to the collision of the emitted electrons. When the field emission display is operated, it is provided with external air flowing into the internal space, unwanted electrons generated in the internal space, and an adsorbent material for adsorbing a predetermined substance. And an ion pump device 50 for maintaining a degree of vacuum within a predetermined range inside the field emission display. Here, reference numeral 30 is an insulator interposed between the substrate 32 and the gate 28 to insulate them.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드 에미션 디스플레이의 동작 및 작용을 상세하게 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation and operation of the field emission display with an ion pump according to the present invention configured as described above in detail as follows.
제3도를 참조하면, 기판(32)과 복수의 게이트전극(28) 및 에노드전극(22)에 미도시된 전압발생원에 의해 소정의 전압이 인가되면, 필드에미터 팁(26) 주위에 전기장이 형성된다. 필드에미터 팁(26) 주위에 전기장이 형성되면 이 전기장에 의해 전자들이 필드에미터 팁(26)으로부터 터널링되어 외부로 방출된다. 이때, 에노드전극(22)과 게이트전극(28)사이에 외부와 밀폐(sealing)되어 형성된 내부 공간(29)에는 부적절한 실링, 실링상태의 노후 및 기타 원인에 의해 외부에서 공기가 유입된다. 또한, 상기와 같이 필드에미터 팁(26)으로부터 방출된 전자들은 에노드전극(22)에 형성된 형광체(24)로 진행하여 그 형광체(24)를 발광시키거나 에노드전극(22)과 게이트전극(28)사이에 형성된 내부공간(29)에 존재하는 공기원소 또는 필드에미션 디스플레이(100)를 구성하는 구성원소들과 충돌하여 2차적인 불요 원소들을 생성한다.Referring to FIG. 3, when a predetermined voltage is applied to the substrate 32, the plurality of gate electrodes 28, and the anode electrode 22 by a voltage source not shown, the field emitter tip 26 is surrounded by the field emitter tip 26. An electric field is formed. When an electric field is formed around the field emitter tip 26, electrons are tunneled out of the field emitter tip 26 and emitted outward. At this time, air is introduced into the internal space 29 formed between the anode electrode 22 and the gate electrode 28 by being sealed with the outside due to improper sealing, deterioration of the sealing state, and other causes. In addition, the electrons emitted from the field emitter tip 26 proceed to the phosphor 24 formed on the anode electrode 22 to emit light of the phosphor 24 or the anode electrode 22 and the gate electrode. Secondary unnecessary elements are generated by colliding with the air elements existing in the internal space 29 formed between the 28 and the member elements constituting the field emission display 100.
상기 내부공간(29)에 유입된 외부공기와 2차적으로 생성된 전자들은 상기 내부공간(29)에 존재하다가 필드에미터 팁(26)에 부착되어 필드에미터 팁(26)에서 방출되는 전자의 양을 감소시키며, 내부공간(29)의 진공도를 저하시키는 불요한 작용을 하게 되지만, 이때 상기 필드에미션 디스플레이(100) 내부공간(29)의 고진공도를 유지시키기 위한 이온펌프(50)가 동작하게 되어, 이온펌프(50)내에 구비된 흡착성 물질은 디스플레이(100)내에 유입된 외부공기 및 2차적으로 발생되는 불요 원소들을 흡수하여 그 내부공간(29)의 진공도를 직절하게 유지하는 작용을 한다. 여기서, 부재번호 52는 필드에미션 디스플레이(100)와 이온펌프(50)사이에 개재되어 사익 필드에미션 디스플레이(100)에서 상기 이온펌프(50)로 유입되는 외부 공기 및 불요원소의 양을 조절하는 밸브(52)이다.The electrons generated by the external air introduced into the internal space 29 and the secondary generated in the internal space 29 are attached to the field emitter tip 26 and are discharged from the field emitter tip 26. While reducing the amount, it is an unnecessary action to lower the vacuum degree of the internal space 29, but at this time the ion pump 50 for maintaining a high vacuum of the internal space 29 of the field emission display 100 is operated As a result, the adsorbent material provided in the ion pump 50 absorbs the external air introduced into the display 100 and the unnecessary elements that are generated secondarily to maintain the vacuum degree of the internal space 29 directly. . Here, the reference numeral 52 is interposed between the field emission display 100 and the ion pump 50 to adjust the amount of external air and unnecessary elements introduced into the ion pump 50 in the field field display 100 It is a valve 52.
제4도 (a), (b)는 이온펌프의 실질적인 외관구조 및 그 작용을 나타내 보인 것으로서, 상기 필드에미션 디스플레이 내부공간(29)과 연관되어 그 내부공간(29;제3도)에 유입되는 외부공기 및 2차적인 불요원소들을 수집하는 수집판(41)과, 상기 공기 및 불요원소들이 수집판에 수집될 때, 상기 수집판(41)으로부터 떨어져나온 흡착성 원소들을 전기화학작용처리 하는 작용벌통구(43)와, 상기 수집판(41) 및 작용벌통구(43)에 의해 소정이 전기화학작용된 상기 흡착성 원소들을 집적시키는 집적판(45)을 구비하여 되어 있다.4 (a) and 4 (b) show the substantial external structure and its function of the ion pump, which is associated with the field emission display internal space 29 and flows into the internal space 29 (FIG. 3). A collection plate 41 for collecting external air and secondary unnecessary elements to be used, and when the air and unnecessary elements are collected in the collection plate, the action of electrochemical treatment of the adsorptive elements separated from the collection plate 41 A beehive port 43 and an integrated plate 45 for accumulating the adsorptive elements electrochemically acted by the collecting plate 41 and the acting beehive port 43 are provided.
따라서, 제3도에 도시된 바와 같이 필드에미션 디스플레이(100)의 내부공간(29)에 유입된 외부공기 및 필드에미터 팁(26)에서 방출된 전자에 의해 생성되는 2차적인 불요원소는 내부공간(29)의 진공도를 저하시키는데, 이들 외부공기와 불요원소들은 이온펌프(50)의 수집판(41)에 흡수되어, 그로부터 떨어져나온 흡착성 원소들은 작용벌통구(43)에서 처리되고 집적판(45)에 집적된다. 이로써, 필드에미션 디스플레이(100) 내부공간(29)에 유입된 외부공기 및 필드에미터 팁(26)에서 방출된 전자들에 의해 불요하게 생성되는 2차적인 원소에 의해 발생되는 내부공간(29)의 진공도 저하 및 방출전자들이 저감문제가 해결될 수 있게 된다. 상기 수집판(41), 작용벌통구(43) 및 집적판(45)에 제공되는 흡착원소들은 외부공기와 2차적인 원소들을 최적으로 흡착하는 어떤 원소라도 상관없지만 타이타늄(Ti)원소로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 이온펌프를 동작시키기 위해서는 상기 작용벌통구(43)와 집적판(45)사이에 소정의 전압이 인가되어야 함은 물론이다. 제4도 (b)에서 +기호는 외부공기 및 불요원소를 통칭적으로 나타낸 것이다.Accordingly, as shown in FIG. 3, the secondary unnecessary elements generated by the external air introduced into the internal space 29 of the field emission display 100 and the electrons emitted from the field emitter tip 26 are The degree of vacuum in the inner space 29 is reduced, and these external air and unnecessary elements are absorbed by the collecting plate 41 of the ion pump 50 so that the adsorptive elements separated therefrom are processed at the working bulb opening 43 and the integrated plate. It is integrated in 45. As a result, the internal space 29 generated by the secondary elements unnecessarily generated by the external air introduced into the internal space 29 of the field emission display 100 and the electrons emitted from the field emitter tip 26. The reduction of vacuum degree and emission electron emission can be solved. The adsorption elements provided to the collecting plate 41, the working bead opening 43, and the integrated plate 45 may be any element that optimally adsorbs external air and secondary elements, but it is a titanium element. desirable. In addition, in order to operate the ion pump, a predetermined voltage must be applied between the working bulb opening 43 and the integrated plate 45. In FIG. 4 (b), the + symbol generally refers to external air and unnecessary elements.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이는 그 내부공간에 유입되는 외부공기와 그 내부공간에서 발생되는 불요원소들을 적절하게 제거하고 공간진공도를 최적으로 유지시킴으로써, 필드에미션 디스플레이의 안정적인 동작을 향상시킬 수 있는 이점을 제공한다.As described above, the field emission display equipped with the ion pump according to the present invention properly removes the external air flowing into the internal space and unnecessary elements generated in the internal space and maintains the optimal space vacuum, It provides the advantage of improving the stable operation of the mission display.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950010556A KR100207583B1 (en) | 1995-04-29 | 1995-04-29 | Field emission display with ion pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950010556A KR100207583B1 (en) | 1995-04-29 | 1995-04-29 | Field emission display with ion pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960039060A KR960039060A (en) | 1996-11-21 |
| KR100207583B1 true KR100207583B1 (en) | 1999-07-15 |
Family
ID=19413443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950010556A KR100207583B1 (en) | 1995-04-29 | 1995-04-29 | Field emission display with ion pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100207583B1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006066265A (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Canon Inc | Image display device |
-
1995
- 1995-04-29 KR KR1019950010556A patent/KR100207583B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| KR960039060A (en) | 1996-11-21 |
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