KR100200699B1 - Gas leakage monitoring system of semiconductor fabricating apparatus - Google Patents
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Abstract
시스템의 각 부분에서 발생되는 가스누설을 감지하고 그 상태를 표시하여 사용자에게 알려줄 수 있는 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링(monitoring) 시스템을 개시한다. 본 발명은 가스실린더 캐비넷, 제조장비, 배관의 각 분기점 및 중화처리부에 장착되어 가스누설을 감지하는 다수의 가스감지수단과, 상기 다수의 가스감지수단의 출력신호를 입력받아 시스템의 상태를 판단하고 그 판단결과에 따라 시스템을 제어하는 마이컴과, 상기 마이컴의 제어신호에 따라 시스템의 가스누설 감지상태를 디스플레이(disply) 시키는 표시부와, 상기 다수의 가스감지수단 중 어느 하나라도 가스누설이 감지되는 경우에 상기 마이컴의 제어신호에 의해 경고음을 출력하는 경고음 발생부를 포함하여 구성된다. 그에 따라, 하나의 마이컴에서 각 가스감지수단의 출력을 입력받아 상태를 판단하기 때문에 중앙에서 통합적인 관리가 가능하게 되는 효과가 있다.Disclosed is a gas leakage monitoring system of a semiconductor manufacturing apparatus capable of detecting a gas leak occurring in each part of a system and displaying a state thereof and informing a user. The present invention is equipped with a plurality of gas detection means for detecting a gas leakage and the gas detection means mounted on each branch of the gas cylinder cabinet, manufacturing equipment, piping and the neutralization processing unit, and determines the state of the system The microcomputer controlling the system according to the determination result, a display unit for displaying the gas leakage detection state of the system according to the control signal of the microcomputer, and any one of the plurality of gas detection means detects the gas leakage. And a warning sound generator for outputting a warning sound by the control signal of the microcomputer. Accordingly, since the microcomputer determines the state by receiving the output of each gas detecting means from one microcomputer, integrated management can be centrally performed.
Description
제1도는 종래 기술에 의한 반도체 제조장치의 가스공급 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the configuration of a gas supply system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the prior art.
제2도는 종래 기술에 의한 가스감지장치의 구성을 나타내는 블록도이다.2 is a block diagram showing the configuration of a gas detection apparatus according to the prior art.
제3도는 본 발명에 의한 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템의 구성을 나타내는 블록이다.3 is a block diagram showing the configuration of the gas leakage monitoring system of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
제4도는 본 발명에 의한 다수의 가스감지수단의 장착위치를 나타내는 도면이다.4 is a view showing a mounting position of a plurality of gas detection means according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 가스감지수단 20 : 마이컴10: gas detection means 20: microcomputer
30 : 표시부 40 : 경고음 발생부30: display unit 40: warning sound generating unit
본 발명은 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링(monitroring)시스템에 관한 것으로서 특히, 시스템의 각 부분에서 발생되는 가스누설을 감지하고 그 상태를 표시하여 사용자에게 알려줄 수 있는 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gas leakage monitoring system of a semiconductor manufacturing apparatus. In particular, the present invention relates to a gas leakage monitoring system of a semiconductor manufacturing apparatus capable of detecting a gas leakage occurring in each part of the system and displaying the state thereof. It is about.
종래 기술에 의한 반도체 제조라인에 사용되는 가스공급 시스템은 제1도에 도시된 바와 같이 가스를 저장하는 가스실린더 캐비넷(gas cylinder cabinet)(110)과, 상기 가스실린더 캐비넷(110)과 배관(120)을 통해 연결된 다수의 제조장비(process equipment)(130)와, 상기 가스실린더 캐비넷(110) 및 제조장비(130) 각각에 장착되어 가수의 누설을 감지하고 그 상태를 사용자에게 알려주는 다수의 가스감지장치(140)를 포함하여 구성된다.The gas supply system used in the semiconductor manufacturing line according to the prior art is a gas cylinder cabinet (110) for storing gas as shown in Figure 1, the gas cylinder cabinet 110 and the pipe 120 A plurality of process equipments 130 connected to each other, and the gas cylinder cabinet 110 and the manufacturing equipment 130 connected to each other to detect a leak of a mantissa and inform the user of the state. It is configured to include a sensing device 140.
상기 각각의 가스감지장치(140)는 가스실린더 캐비넷(110) 및 제조장비(130) 각각에 개별적으로 존재하며, 그 구성은 제2도에 도시된 바와 같이 가수의 누설을 감지하는 감지센서(141)와, 상기 감지센서(141)의 출력신호에 따라 가스누설의 상태를 인식하는 컨트롤러(142)와, 상기 감지센서(141)에서 가스누설이 감지된 경우에 상기 컨트롤러(142)의 제어신호에 따라 경고음을 울리는 경고음 발생부(143)를 포함하여 구성된다.Each gas detection device 140 is present in each of the gas cylinder cabinet 110 and the manufacturing equipment 130, the configuration is a sensor 141 for detecting the leakage of the mantissa as shown in FIG. ), A controller 142 that recognizes a state of gas leakage according to an output signal of the detection sensor 141, and a control signal of the controller 142 when gas leakage is detected by the detection sensor 141. It is configured to include a warning sound generating unit 143 that sounds a warning sound.
상기와 같이 구성되는 가스공급 시스템에서 상기 가스실린더 캐비넷(110)에서 배관(120)을 통해 상기 각각의 제조장비(130)로 가스를 공급하여 반도체 제조공정을 수행하도록 한다. 이때, 상기 가스감지장치(140)의 감지센서(141)에서는 계속적으로 가스의 누설을 감지하고, 동작중 가스의 누설이 감지되면 상기 콘트롤러(142)에 그 상태신호를 출력한다. 상기 콘트롤러(142)에서는 상기 감지센서(141)의 출력신호를 입력받아 가스누설이 인식되면 상기 경고음 발생부(143)를 동작시켜 경보음을 울림으로서 사용자에게 알린다.In the gas supply system configured as described above, the gas is supplied from the gas cylinder cabinet 110 to the respective manufacturing equipment 130 through the pipe 120 to perform the semiconductor manufacturing process. At this time, the sensor 141 of the gas detection device 140 continuously detects the leakage of gas, and outputs the status signal to the controller 142 when the leakage of the gas is detected during operation. The controller 142 receives the output signal of the detection sensor 141 and operates a warning sound generator 143 to notify the user by operating an alarm sound generator 143 when gas leakage is recognized.
그러나, 상기와 같은 종래 기술에 의한 반도체 제조방치의 가스공급 시스템은 가스감지장치가 가스실린더 캐비넷 및 다수의 제조장비에 만 장착되기 때문에 그외의 다른 곳 예컨대 배관의 분기점에서 누설되는 가스는 감지할 수 없게 되는 문제점이 발생한다.However, the gas supply system of the semiconductor manufacturing method according to the prior art as described above is able to detect the gas leaking from elsewhere, for example, the branching point of the pipe because the gas sensing device is mounted only in the gas cylinder cabinet and a plurality of manufacturing equipment. The problem arises that there is no.
또한, 상기 가스실린더 캐비넷 및 다수의 제조장비에 장착되는 각각의 가스감지장치가 개별적으로 동작하기 때문에 전체적인 통합관리가 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem that the overall integrated management is not performed because each gas detection device mounted on the gas cylinder cabinet and a plurality of manufacturing equipment operates individually.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 가스실린더 캐비넷 및 제조장비 뿐만 아니라 배관의 각 분기점에도 가스누설을 감지할 수 있는 가스감지수단을 장착하면 모든 가스감지수단의 출력을 하나의 마이컴에서 입력받아 제어하도록 함으로서 전 시스템에서의 가스누설을 즉각적으로 감지하고 그 상태를 표시수단을 통해 사용자에게 알려줄 수 있도록 하는 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템을 제공하는 데 있다.Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the gas cylinder cabinet and manufacturing equipment, as well as the gas detection means that can detect the gas leakage at each branch point of the pipe all of the gas detection means The present invention provides a gas leakage monitoring system of a semiconductor manufacturing apparatus that allows an output to be inputted and controlled by a microcomputer to immediately detect gas leakage in an entire system and inform the user of the state through a display means.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은The present invention for achieving the above object
가스실린더 캐비넷, 제조장비, 배관의 분기점 및 중화처리부에 장착되어 가스누설을 감지하는 다수의 가스감지수단과;A plurality of gas detecting means mounted on a gas cylinder cabinet, manufacturing equipment, branching points of the pipes, and a neutralization processing unit to detect gas leakage;
상기 다수의 가스감지수단의 출력신호를 입력받아 시스템의 상태를 판단하고 그 판단결과에 따라 시스템을 제어하는 마이컴과;A microcomputer receiving the output signals of the plurality of gas sensing means to determine a state of the system and to control the system according to the determination result;
상기 마이컴의 제어신호에 따라 가스누설 감지상태를 디스플레이(disply)시키는 표시부와; 상기 다수의 가스감지수단 중 어느 하나라도 가스누설이 감지되는 경우에 상기 마이컴의 제어신호에 의해 경고음을 출력하는 경고음 발생부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템을 제공한다.A display unit configured to display a gas leakage detection state according to the control signal of the microcomputer; It provides a gas leakage monitoring system of the semiconductor manufacturing apparatus, characterized in that any one of the plurality of gas detection means comprises a warning sound generating unit for outputting a warning sound by the control signal of the microcomputer when gas leakage is detected. .
상기와 같은 본 발명은 하나의 마이컴에서 각 가스감지수단의 출력을 입력받아 상태를 판단하기 때문에 통합적인 관리가 가능하게 되는 효과가 있다.The present invention as described above has the effect that the integrated management is possible because it determines the state by receiving the output of each gas detection means in one microcomputer.
이하, 본 발명에 의한 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a gas leakage monitoring system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제3도는 본 발명에 의한 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템의 구성을 나타내는 블록도이고, 제4도는 본 발명에 의한 가스감지수단의 장착위치를 나타내는 도면이다.3 is a block diagram showing the configuration of the gas leakage monitoring system of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a view showing the mounting position of the gas detecting means according to the present invention.
제3도 및 제4도를 참조하면, 본 발명에 의한 반도체 제조장치의 가스누설 모니터링 시스템은 시스템의 각 구성요소 즉 가스실린더 캐비넷(110), 배관(120)의 각 분기점, 다수의 제조장비(130) 및 중화처리부(150)의 배기구에 장착되어 가스누설을 감지하는 다수의 가스감지수단(10)과;3 and 4, the gas leakage monitoring system of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention is a component of the system, that is, the gas cylinder cabinet 110, each branch of the pipe 120, a plurality of manufacturing equipment ( 130 and a plurality of gas detecting means (10) mounted on the exhaust port of the neutralization processor 150 for detecting gas leakage;
상기 다수의 가스감지수단(10)의 출력신호를 입력받아 가스가 누설되는지를 판단하고, 누설되는 경우 그 위치를 인식하여 그 결과에 따라 시스템을 제어하는 마이컴(20)과;A microcomputer 20 for determining whether the gas leaks by receiving the output signals of the plurality of gas detecting means 10 and recognizing the position of the gas when the leakage occurs, and controlling the system according to the result;
상기 마이컴(20)의 제어신호에 따라 시스템의 상태 즉, 가스누설 감지상태를 전체 및 각 부분에 따라 구분하는 디스플레이(disply)시키는 표시부(30)와;A display unit 30 for distributing the state of the system, that is, the gas leakage detection state according to the whole and each part according to the control signal of the microcomputer 20;
상기 다수의 가스감지수단(10) 중 어느 하나라도 가스누설이 감지되는 경우에 상기 마이컴(20)의 제어신호에 의해 경고음을 출력하는 경고음 발생부(40)를 포함하여 구성된다.Any one of the plurality of gas detection means 10 is configured to include a warning sound generating unit 40 for outputting a warning sound in response to the control signal of the microcomputer 20 when gas leakage is detected.
상기의 마이컴(20) 내부에는 각 가스감지수단(10)의 출력신호를 입력받는 PLC(Programable Logic Curcuit)가 구비되어 있으며, 각각의 PLC의 신호를 수집하는 메인PLC가 구비되어 있다.In the microcomputer 20, a programmable logic curcuit (PLC) receiving the output signal of each gas sensing means 10 is provided, and a main PLC for collecting the signals of each PLC is provided.
상기와 같이 구성된 본 발명은 상기 다수의 가스감지수단(10)에서 각 부분의 가스가 누설되는지를 각각 감지하고, 그 상태에 따라 상기 마이컴(20)으로 결과신호를 출력한다.According to the present invention configured as described above, the plurality of gas detecting means 10 detects whether each part of the gas leaks, and outputs a result signal to the microcomputer 20 according to the state.
상기 마이컴(20)에서는 상기 다수의 가스감지수단(10)의 출력신호를 입력받아 가스가 누설되는지를 판단하고, 그와 동시에 누설되는 경우 그 위치를 인식한다. 그후, 상기 표시부(30)를 통해 시스템의 상태 즉, 가스누설 감지상태를 전체 및 각 부분에 따라 구분하여 디스플레이(disply)시키는 동시에 상기 경고음 발생부(40)를 통해 상기 다수의 가스감지수단(10) 중 어느 하나라도 가스누설이 감지되는 경우에 경고음을 출력하도록하여 사용자에게 알린다.The microcomputer 20 receives the output signals of the plurality of gas sensing means 10 to determine whether the gas leaks, and at the same time recognizes the position if the gas leaks. Thereafter, the display unit 30 separately displays the state of the system, that is, the gas leakage detection state according to the whole and each part, and simultaneously displays the plurality of gas detection means 10 through the alarm sound generating unit 40. ) To alert the user by outputting a warning sound when a gas leak is detected.
상기의 경고음을 발생하여 사용자에게 알리는 한편 상기 마이컴(20)은 가스누설이 감지되는 위치를 판단하여 그 부분을 제어할 수도 있다.While generating the warning sound and notifying the user, the microcomputer 20 may determine the position where the gas leakage is detected and control the part.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 반도체 제조장치 가스누설 모니터링 시스템은 하나의 마이컴(20)에서 모든 가스감지수단(10)의 출력신호를 입력받아 그 상태를 판단하고 제어하기 때문에 중앙에서 통합적인 관리가 가능하게 되는 효과가 있다.As described above, the semiconductor manufacturing apparatus gas leakage monitoring system according to the present invention receives the output signals of all the gas sensing means 10 from one microcomputer 20 to determine and control the state thereof so that the central management is integrated. There is an effect that becomes possible.
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019960003362A KR100200699B1 (en) | 1996-02-12 | 1996-02-12 | Gas leakage monitoring system of semiconductor fabricating apparatus |
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|---|---|---|---|
| KR1019960003362A KR100200699B1 (en) | 1996-02-12 | 1996-02-12 | Gas leakage monitoring system of semiconductor fabricating apparatus |
Country Status (1)
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|---|---|
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1996
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|---|---|
| KR970063453A (en) | 1997-09-12 |
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