KR100199464B1 - 스퀴즈 장치 - Google Patents

Abstract

용이하고 균일하게 띠형상 부재의 주면에서 여분의 도포액을 제거한다. 한쌍의 홀더(30)에 의해 유지된 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)는, 이 사이를 통과해서 소정 방향으로 빼내지는 띠형상 부재(10)의 양주면에서 여분의 도포액을 제거한다. 한쌍 의 스퀴즈 바(22,24)의 중심축(60)은, 홀더(30)에 설치된 2개의 홈(32,34)에 각각 끼워 넣어지고, 플런저(40)에 의해 각 홈(32,34)의 바닥면(32a,34a)으로 향해 밀려 고정되어 있다. 스퀴즈 바(22,24)의 각 중심축 사이는, 띠형상 부재(10)의 반송방향으로 거리(h)만큼 떨어져, 반송방향과 직교하는 방향에서의. 간격(P)은, 0

P

2R + t, 중심축 사이에서의 간격(L)은, L

Description

스퀴즈 장치

제1도는 본 발명의 실시형태인 스퀴즈(squeeze) 장치 및 레지스트 도포장치의 일부 단면을 나타내는 도면.

제2도는 제1도의 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)의 위치관계를 나타내는 도면.

제3도는 제1도의 스퀴즈 바를 고정 유지하는 홀더의 구성예를 나타내는 일부 단면도.

제4도는 띠(帶)형상 부재에 대한 종래의 스퀴즈 장치 및 레지스트액 도포장치의 개략 구성을 나타내는 도면.

제5도는 제4도 장치의 일부 단면을 나타내는 도면.

제6도는 제4도의 한쌍의 스퀴즈 바(82)의 위치관계를 나타내는 도면.

제7도는 제4도의 스퀴즈 장치를 사용해서 얻어지는 띠형상 부재 주면(主面)상의 레지스트층을 설명하는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 띠(帶)형상 부재 12 : 레지스트액

12a : 액면 14 : 단붙임 로울러

16,18 : 안내로울러 20 : 저장부

21 : 코일부재 22,24 : 스퀴즈 바

26 : 스키머 게이지 28 : 프레임

30 : 홀더 32,34 : 홈

40 : 플런저 60 : 중심 축부

본 발명은, 예를 들면, 새도우마스크, 애퍼처 그릴, 리드 프레임 등에 사용되는 띠(帶)형상 부재의 양주면(主面)에 도포된 도포액을 여분의 도포액을 이 띠형상 부재의 주면에서 제거하는 스퀴즈(squeeze) 장치에 관한 것이다.

긴 띠형상 금속부재(이하, 간단히 띠형상 부재라 한다)를 사용해서, 예를들면 새도우마스크를 제조찰 때, 이 띠형상 부재에는 포토에칭 방법을 사용해서 소망의 패턴에 구멍이 형성된다. 이 포토에칭 방법에서는, 우선 띠형상 부재의 양주면에 레지스트액이 도포되어 주면에 레지스트층이 형성된다. 제4도 및 제5도는, 예를 들면, 1995년 일본공개특허 제289964호 공보에 나타난 종래의 레지스트 도포장치와, 도포된 여분의 레지스트액을 긴 띠형상 부재의 주면에서 제거하는 스퀴즈 장치의 구성을 나타내고 있다.

레지스트액(12)이 소정량 채워진 저강부(20)내에는, 한쌍의 프레임(78)에 고정 유지된 단붙임 로울러(14) 및 안내로울러(16,18)가 설치되고, 또 이 한쌍의 프레임(78)의 래지스트액(12)의 액면(12a) 부근의 위치에는 한쌍의 원주 형상의 스퀴즈 바(82)가 실치되어 있다.

레지스트액(12)의 도포전에, 탈지, 산(酸)세척 및 물세척 등의 전(前)처리가 행해진 띠형상 부재(10)는, 반송로울러(미도시)에 의해 저장부(20)내로 안내된다. 이 띠형상 부재(10)는, 저장부(20)의 바닥 부근에 위치하는 단붙임 로울러(14)에 걸려 돌고 있고, 안내로울러(16,18)로 안내되어 도시하지 않은 인상수단에 의해 거의 수직방향으로 인상된다 액면(12a) 부근까지 인상된 띠형상 부재(10)는, 한쌍의 스퀴즈 바(82)의 사이를 통과하고, 여기서 띠형상 부재(10)의 주면에서 여분의 레지스트액 (12)이 제거된다.

제6도는, 제4도 및 제5도에 나타낸 한쌍의 스퀴즈 바(82)를 나타내고 있다.

스퀴즈 바(82)는, 제4도의 프레임(78)에 고정되는 중심축부(80)의 주위에 봉(棒)형상 금속부재(84)가 설치되고, 또 이 봉형상 금속부재(84)의 외주면에 금속선으로 이루어지는 코일형상 부재(86)가 감겨져 싸여 있다. 이 때문에, 스퀴즈 바(82)의 외주면에는, 코일형상 부재(86)에 의해 산(山)영역과 골짜기(谷)영역이 형성되어 있다.

한쌍의 스퀴즈 바(82)는, 서로 수직방향으로는 같은 높이이고, 또 수평방향으로는 띠형상 부재(10)의 두께에 대응한 거리만큼 떨어져 제4도의 프레임(78)에 고정되어 있다. 이렇게 배치된 한쌍의 스퀴즈 바(82)의 사이로 띠형상 부재(10)가 빼내질 때에는, 스퀴즈 바(82)의 산영역, 즉 코일형상 부재(86)가 띠형상 부재(10)에 맞닿아 레지스트액(12)이 제거된다. 한편, 스퀴즈 바(82)의 골짜기영역, 즉 봉형상 금속부재(84)에 복수회 감겨지도록 감겨 싸여진 인접 코일형상 부재(86) 사이에 구성되는 골짜기영역에 의해 띠형상 부재(10)의 주면에 레지스트액(12)이 남겨진다. 띠형상 부재(10)의 주면에 남겨진 레지스트액(12)은, 그 후 자기의 표면장력에 의해 띠형상 부재(10)의 주면상으로 퍼지고, 소정 두께의 레지스트층이 띠형상 부재(10)의 양주면에 각각 혈성된다.

그러나, 종래와 같이 수직방향으로 같은 높이로 배치된 한쌍의 스퀴즈 바(82)에 의해, 띠형상 부재(10)의 주면에서 여분의 레지스트액을 제거하는 경우에는, 수평방향의 위치조정, 즉 한쌍의 스퀴즈 바(82)의 적절한 간격조정이 어렵고, 띠형상 부재(10)의 양면에 균일한 두께의 레지스트층을 형성하는 것이 어렵다는 문제가 있었다.

종래, 제7도에 도시된 바와 같이, 한쌍의 스퀴즈 바(82)는, 그 사이로 띠형상 부재(10)의 두께에 대응한 스키머 게이지가 삽입됨과 동시에, 각 스퀴즈 바(82)가 각각 접근하는 방향으로 각 스퀴즈 바(82)의 중심축부(80)의 양단에 금속선(81) 등을 감아 부착해서 서로를 고정하였다. 그러나, 상술한 바와 같이, 각 스퀴즈 바(82)를 고정하는 구성에서는, 제7도 (b)에 도시된 바와 같이, 각 스퀴즈 바(82)의 외주면이 서로 맞닿음과 동시에 중심축부(80)에 감겨 부착된 금속선(81)에 의해 각 중심축부(80)가 서로 접근하는 방향으로 밀려지고 있다. 따라서, 이러한 구성에서는,각 스퀴즈 바(82)의 중앙부분이 바깥쪽으로 향해 구부러지고, 한쌍의 스퀴즈 바(82)의 사이를 통과할 때 띠형상 부재(10)가 휘어져 버린다. 그리고, 이러한 스퀴즈 바(82)의 사이를 통과한 띠형상 부개(10)의 양주면에는 불균일한 두께로 레지스트층이 형성되어 버린다.

제7도 (a), (c)는 제7도 (b)에 나타낸 한쌍의 스퀴프 바(B2)를 통과한 후에 띠형상 부재(10)의 양면(10a,lOb) 각각의 레지스트층 두께의 분포를 나타내고 있다. 이들 도면에 도시되어 있는 바와 같이, 띠형상 부재(10)의 주면의 내, 스퀴즈 바(82)에 접촉한 부분(90)은, 형성되는 레지스트층이 얇게되고, 반대로 접촉하지 않은 부턱(92)은, 레지스트액(92)이 충분히 제거되지 않아 두꺼운 레지스트층이 형성되어 버린다.

이상과 같이, 종래의 구성에서는, 한쌍의 스퀴즈 바(82)의 통과시에 띠형상 부재의 휘어짐을 방지할 수 없고, 그 주면에 균일한 두께의 레지스트층을 형성할 수 없었다.

본 발명은, 상기 과제를 해소하기 위해 이루어진 것으로서, 용이하고 확실하게 띠형상 부재의 양주면에 도포된 여분의 도포액을 균일하게 제거하는 것이 가능한 스퀴즈 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 스퀴즈 장치는 이하와 같은 특징을 가진다.

즉, 양주면에 도포액이 공급된 띠형상 부재를 그 긴 길이방향으로 반송하면서, 적어도 서로의 대향면측이 단면 원호형상을 가지는 한쌍의 스퀴즈 바를 이 띠형상 부재의 상기 양주면에 각각 맞닿게해서 상기 양주면에 부착한 여분의 도포액을 제거하는 스퀴즈 장치에 있어서, 한쌍의 스퀴즈 바의 양단에 각각 설치된 중심축부와, 한쌍의 스퀴즈 바를 유지하기 위한 한쌍의 홀더로서, 한쌍의 스퀴즈 바의 양단 부근에 각각 설치되고, 중심축부가 각각 끼워 넣어지는 2개의 홈을 가지는 홀더와, 홈에 끼워 넣어진 중심축부를 홈의 바닥면 방향으로 미는 부세수단을 구비한다.

이와 같이 본 발명에서는, 홀더를 설치하고, 스퀴즈의 각 중심축부를 개별적으로 이 홀더의 홈에 고정 유지한다. 따라서, 각 중심축부 자신은, 서로 접근하도록 밀려지지 않고, 중심축부 사이가 접근하는 방향으로 밀려져 스퀴즈 바가 구부러져 버리는 것을 확실히 방지할 수 있다. 또한, 스퀴즈 바가 구부러지지 않으므로 이 스퀴즈 바의 사이를 통과할 때 띠형상 부재에 휘어짐이 발생하지 않는다. 또한, 부세수단에 의해 홈에 끼워 넣어진 중심축부틀 홈의 바닥면 방향으로 미는 것에 의해, 또 위치결정의 정밀도를 향상시키는 것이 용이하게 된다.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 한쌍의 스퀴즈 바의 대향면 사이에 삽입되고 한쌍의 스쥐즈 바의 중심축 사이의 방향에서 간격을 조정하는 간격 조정부재를 더 구비하고 있다. 따라서, 띠형상 부재의 두께 등에 따라서 중심축 사이 방향의 간격을 용이하게 변경할 수 있어 작업효율이 각별하게 상승한다.

더욱이, 상기 한쌍의 스퀴즈 바는, 한쌍의 스퀴즈 바의 사이를 통과하는 상기 띠형상 부재가 S자 형상으로 구부러지도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

그리고, 이 한쌍의 스퀴즈 바는, 각 중심축부가 띠형상 부재의 반송방향에서 떨어짐과 동시에, 한쌍의 스퀴즈 바의 반경칫수를 각각 rl, r2로 하고, 띠형상 부재의 두께를 t로 하며, 띠형상 부재의 반송방향과 직교하는 방향에서 각 중심축부의 간격을 P로 하고, 또 각 중심축부의 축 사이의 방향의 간격을 L로 하면, 간격(P)은, 0

P

(rl + r2 + t)의 범위이다. 또한, 간격(L)은, L

(rl+r2+t)의 범위가 되도록 상기 한쌍의 스퀴즈 바가 배치되어 있다.

이와 같은 위치관계로 스퀴즈 바를 배치하면, 띠형상 부재의 양주면(主面)을 스퀴즈 바의 외주면(外主面)에 확실히 접촉시킬수 있고, 띠형상 부재의 주면에서 여분의 도포액을 균일하게 제거하는 것이 용이하게 된다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 사용해서 설명한다. 한편, 이미 설명한 도면과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다.

[스퀴즈 장치의 구성]

제1도는, 레지스트 도포장치 및 본 실시형태에 관한 스퀴즈 장치의 구성을 나타내고 있다. 동도에 있어서, 띠형상 부재(10)는, 도면증 화살표로 나타내는 방향으로 반송수단에 의해 반송되어(도시하지 않음), 저장부(20)내로 반입된다. 저장부(20)내에는, 띠형상 부재(10)의 주면에 도포하는 레지스드액(12)이 저장되어 있고, 이 저장부(20)내에는 한쌍의 프레임(28)이 배치되어 있다. 한쌍의 프레임(28)은, 종래와 같이, 단붙임 로울러(14), 안내로울러(16,18)의 각 긴 길이방향의 양단부를 각각 지지하고 있고, 이들이 레지스트액 도포장치를 구성하고 있다.

그리고, 레지스트액(12)의 액면(12a) 부근에는, 본 실시형태에 관한 스퀴즈 장치가 배치되어 있다. 이 스퀴즈 장치는, 후술하는 위치관계로 배친되는 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)와, 이 스퀴즈 바(22,24)를 유지하는 한쌍의 프레임(28)으로 구성되어 있다. 스퀴즈 바(22,24)는, 제6도에 나타낸 종래의 스퀴즈 바(82)와 같고, 중심축부(60)의 주위에 봉형상 금속부재가 설치되며, 이 부재의 외주면에 코일부재(21)가 감겨 싸여 있다. 그리고, 이 감겨 싸여진 코일부재(21)에 의해 스퀴즈 바(22,24)의 각각의 외주면에 산영역, 골짜기영역이 형성되어 있다. 단, 스퀴즈 바(22,24)의 구성은, 반드시 이와같은 구성에 한정되는 것은 아니다.

본 실시형태에 있어서,사용되는 띠형상 부재(10)는, 예를들면, 저탄소 알루미킬드강이나 인바재 등으로 형성되는 새도우마스크용 재료 및 애퍼쳐 그릴용 재료이다. 그리고, 이 띠형상 부재(10)는, 예를 들면, 그 두께가 0.035mm

0.40mm 정도이고, 폭 칫수는 5OOmm

800mm 정도이다. 또한, 도포액으로서의 레지스트액(12)은, 여기서는 카제인과 중크롬산염을 함유한 수용성의 포토레지스트가 사용되고 있다.

다음에, 상기 프레임(28)에 유지된 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)의 위치관계에 대해서 제2도를 사용해서 설명한다.

제2도에 도시된 바와 같이, 본 실시형태의 스퀴즈 바(22,24)는, 각각 원주형상을 가지고 있고, 각 중심축부(60)는, 띠형상 부재(10)의 반송방향(본 실시형태에서는, 수직방향)에 있어서 서로 거리(h)만큼 떨어져 있다.

또한, 띠형상 부재(10)의 반송방향과 직교하는 방향(본 실시형태에서는, 수평방향)에서 중심축 사이의 간격(P)은, 스퀴즈 바(22)의 반경을 rl, 스퀴즈 바(24)의 반경을 r2로 하고(rl, r2는, 예를 들면 15mm

25mm의 범위), 또 띠형상 부재의 두께 칫수를 t로 하면 다음 식(1)의 범위로 된다.

P

rl+r2+t

(1)

본 실시형태에서는 rl과 r2는 같고, rl = r2 = R로 하면,상기 식(1)은, 다음 식(2)으로 나타낼 수 있다.

P

2R+t

(2)

더욱이, 각 중심축부((60)의 중심축 방향에서의 간격(L)은, 다음 식(3)으로 나타낸다).

rl+r2+t+

(3)

한편, 식(3)에 있어서,

는, 예를 들면 0.05mm 정도로 하는 것이 바람직하다. 또한, 간격(L)은, 다음 식(4)의 범위 또는 다음 식(5)의 범위이다.

rl + r2 + t

(4)

2R + t

(5)

이상과 같은 위치관계로 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)가 배치되는 것에 의해 이 사이를 통과하는 띠형상 부재(10)의 반송경로는, S자(역 S자를 포함)가 되도록 설정된다. 또, 제2도의 거리(t +

)는, 간격 조정수단인 제1도에 도시되는 스키머 게이지(26)에 의해 조정 가능한 거리이고, 스키머 게이지(26)의 두께를 변경하는 것에 의해 용이하게 변경 가능하다.

이상과 같은 위치관계로 배치된 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)를 통과할 때, 띠형상 부재(10)는, 우선, 반송방향에 대해서 아래쪽에 위치하는 스퀴즈 바(22)에 접촉하고, 띠형상 부재(10)의 접촉면측에서 스퀴즈 바(22)에 의해 여분의 레지스트액이 제거된다. 다음에, 반송방향에 대해서 윗쪽에 위치하는 스퀴즈 바(24)의 표면에 띠형상 부재(10)의 다른 면이 접촉하고, 스퀴즈 바(24)에 의해 이 맞닿는 면에서 여분의 레지스트액이 제거된다.

이와 같이, 띠형상 부재(10)에 여분의 부하가 걸리지 않게 되고, 한쌍의 스퀴즈바(22,24)의 사이를 통과시키는 것만으로 띠형상 부재(10)의 양주면을 확실하게 스퀴즈 바(22,24)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 띠형상 부재(10)의 휘어짐이 발생하기 어렵고, 띠형상 부재(10)의 휘어짐에 기인하여 레지스트층의 두께에 편차가 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 띠형상 부재(10)가 얇으면(예를 들면, 두께0.08mm 이하의 띠형상 부재 10), 휘어짐이 특히 발생하기 쉽게 되지만, 상술한 위치 관계로 스퀴즈 바(22.24)를 배치하는 것에 의해 띠형상 부재(10)의 휘어짐을 방지할 수 있다.

또한, 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)의 대향면 사이의 거리(t +

)가, 띠형상 부재(10)의 두께(t)에 대해서 매우 크게 설정되어 있는 경우에도, 띠형상 부재(10)의 각 주면이 대응하는 스퀴즈 바(22,24)의 표면에 확실히 접촉한다. 따라서, 띠형상 부재(10)가 매우 얇은 경우에 있어서, 휘어짐 방지를 위해 거리(t +

)를 충분히 넓혀도, 확실히 여분의 레지스트액을 띠형상 부재(10)의 주면에서 제거할 수 있다.

다음에, 한쌍의 스퀴즈 바의 긴 길이방향에서 띠형상 부재(10)의 주면의 레지스트층 두께에 대해서, 복수의 지점에서 측정하여 얻어진 표준편차를 비교한다. 또, 레지스트층의 두께는, 상기 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)의 사이를 통해서 레지스트 건조부(도시하지 않음)로 반송하고, 여기서 건조처리를 실시하고 나서 측정한 것이다.

제6도에 도시된 종래의 스퀴즈 바(82)를 사용하고, 이 사이를 통과시켜 얻어진 띠형상 부재(10)의 주면의 레지스트층 두께의 표준편차는 0.35이다. 이것에 대해서, 본 실시형태와 같이 배치된 스퀴즈 바(22,24)를 사용하고, 이 사이를 통과시켜 얻어진 띠형상 부재(10) 주면의 레지스트층 두께의 표준편차는 0.2 정도로 된다.

따라서, 본 실시형태의 구성에 의하면, 얻어지는 레지스트층 두께의 균일성을 종래에 비해 향상시킬수 있다.

또한, 형성되는 레피스트층의 두께가 균일한 것으로부터 명백해진 바와 같이, 스퀴즈 바(22,24)는, 각각의 축방향에 있어서 그 외주면의 중앙부 및 단부의 어느 장소에서도, 띠형상 부재(10)에 대해서 거의 같은 압력으로 접촉한다. 따라서, 스퀴즈 바(22,24) 표면의 마모율이 균일하게 된다. 따라서, 국부적인 마모에 의해 띠형상 부재(10)의 주면, 특히 종래 피할수 없었던 피형상 부재(10)의 양측부에 생기는

손상

을 없앨 수 있다.

[홀더의 구성]

다음에, 제3도를 사용해서 상술한 바와 같은 위치관계로 상기 한쌍의 스퀴즈 바(22,24)를 고정 유지하기 위한 홀더의 구성예에 대해서 설명한다. 이 홀더(30)는, 제1도의 프레임(28)의 상부를 구성하던가 혹은 프레임(28)의 내부에 설치되어 있다.

제3도에 도시된 바와 같이, 홀더(30)에는, 다른 2방향으로 개구된 홈(32,34)이 형성되어 있고, 이 홈(32,34)에 스퀴즈 바(22,24)의 각 중심축부(60)가 끼워 넣어진다. 그리고, 수직방향으로 형성된 홈(32)의 바닥면(32a)은, 수평방향으로 형성된 홈(34)의 아래쪽의 측면(34b)보다도 거리(h)만큼 깊게 되도록 형성되어 있다. 한편, 수평방향의 홈(34)의 바닥면(34a)과 수직방향의 홈(32)의 측면(32b)과의 거리는, 스퀴즈 바(22,24)의 중심축의 거리가 제2도에 나타낸 간격(P)이 되도록 형성되어 있다.

각 홈(32,34)의 개구부에는 플런저(40)가 배치되어 있고, 각 플런저(40)의 선단이 각 스퀴즈 바(22,24)의 중심축부(60)에 맞닿고, 각 중심축부(60)를 홈(32,34)의 바닥면(32a, 34a) 방향을 향해서 민다. 그리고, 이 미는 힘에 의해, 각 스퀴즈 바(22,24)의 중심축부(60)는, 홈(32,34)내에 각각 고정 유지된다. 그리고, 홈(32,34)내에 각 중심축부(60)가 유지된 상태에 있어서, 각 중심축 사이의 거리가 상술의 간격으로 되어 있다.

플런저(40)는 홀더(30)에서 분해하는 것이 자유롭고, 스퀴즈 바(22,24)를 소정 기간 사용하여 그 표면이 마모한 경우에는, 이 플런저(40)를 분해하고, 스퀴즈 바(22,24)를 회전시켜 새로운 면을 띠형상 부재(10)의 주면에 맞닿게하여 여분의 레지스트액(12)의 제거를 행한다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 스퀴즈 바(22,24)의 각 중심축부(60)를 개별적으로 홀더(30)의 홈(32,34)에 고정 유지한다. 즉, 본 실시형태의 홀더(30)에 의하면, 종래와 같이, 중심축부(60) 사이가 서로 접근하도록 미는 것이 아니고 이들 중심축부(60)를 소정의 위치관계로 유지할 수 있다. 따라서, 중심축부(60) 사이가 접근하여 스퀴즈 바(22,24)가 구부러지는 것을 방지할 수 있고, 스퀴즈 바(22,24)를 통과할 때 띠형상 부재(10)에 휘어짐이 발생하여 형성되는 레지스트층 두께의 편차가 발생한다는 종래와 같은 문제의 발생을 방지할 수 있다.

[스퀴즈 바의 위치와 레지스트 액면높이와의 관계]

제1도에서는, 스퀴즈 바(22,24)가, 그 하부 표면이 레지스트액(12)에 담겨지도록 설정되어 있고, 이러한 위치관계의 경우, 최종적으로 띠형상 부재(10)의 주면에 형성되는 레지스트층의 두께는, 스퀴즈 바(22,24)와 액면(12a)과의 거리 차이의 영향을 받는다. 구체적으로는, 보다 높은 위치에 있는 스퀴즈 바(24)에 맞닿는 띠형상 부재(10)의 주면의 레지스트층 쪽이, 스퀴즈 바(22)측의 레지스트층보다도 얇게 되는 경향을 가진다. 따라서, 띠형상 부재(10)의 양면에 거의 같은 두께의 레지스트층을 형성하는 경우에는, 스퀴즈 바(22,24)의 중심축부(50)의 수직방향에서 거리(h)를 작게 설정하는 것이 바람직하다. 반대로. 띠형상 부재(10)의 양면에서 다른 두께의 레지스트층을 형성하는 경우에는, 스퀴즈 바(22.24)의 중심축부(60)의 수직방향에서 거리(h)는, 형성하는 레지스트층의 두께에 따라서 설정한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 스퀴즈 장치에 의하면, 한쌍의 스퀴즈바를 구부리지 않고, 확실하고 용이하게 소정의 위치관계로, 한쌍의 스퀴즈 바를 고정 유지할 수 있다. 따라서, 한쌍의 스퀴즈 바의 사이를 통과하는 띠형상 부재에 휘어짐이 발생하지 않고, 띠형상 부재의 양주면에서 여분의 도포액을 균일하게 제거할 수 있다.

또한, 중심축 방향에서의 간격은, 간격 조정수단을 이 한쌍의 스퀴즈 바의 대향면에 삽입하는 것으로 임의의 값으로 조정할 수 있고, 이 조정작업은 매우 용이하다.

더욱이, 한쌍의 스퀴즈 바의 사이를 통과하는 띠형상 부재의 반송경로를 거의 S자 형상으로 하였으므로, 띠형상 부재의 양면이 각각 스퀴즈 바에 확실히 접촉하고, 이 띠형상 부재의 양주면에서 여분의 도포액을 보다 균일하게 제거하는 것이 가능하게 된다.

Claims (4)

1. 양주면에 도포액이 공급된 띠형상 부재를 그 긴 길이방향으로 반송하면서, 적어도 서로의 대향면측이 단면 원호형상을 가지는 한쌍의 스퀴즈 바를 상기 띠형상 부재의 상기 양주면에 각각 맞닿게해서 상기 양주면에 부착한 여분의 도포액을 제거하는 스퀴즈 장치에 있어서, 상기 한쌍의 스퀴즈 바의 양단에 각각 설치된 중심축부와,

   상기 한쌍의 스퀴즈 바를 유지하기 위한 한쌍의 홀더로서, 상기 한쌍의 스퀴즈바의 양단 부근에 각각 설치되고, 상기 중심축부가 각각 끼워지는 2개의 홈을 가지는 홀더와, 상기 홈에는 끼워 넣어진 상기 중심축부를 상기 홈의 바닥면 방향으로 미는 부세수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 스퀴즈 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 한쌍의 스퀴즈 바의 대향면 사이에 삽입되고, 상기 한쌍의 스퀴즈 바 중심축 사이의 방향에서 간격을 조정하는 간격 조정부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스퀴즈 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 한쌍의 스퀴즈 바의 사이를 통과하는 상기 띠형상 부재가 S자 형상으로 구부러지도록, 상기 한쌍의 스퀴즈 바가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스퀴즈장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 각 중심축부가 상기 띠형상 부재의 반송방향에서 떨어짐과 동시에, 상기 한쌍의 스퀴즈 바의 반경칫수를 각각 rl, r2로 하고, 상기 띠형살 부재의두께를 t로 하며, 상기 띠형상 부재의 반송방향과 직교하는 방향에서 상기 각 중심축부의 간격을 P로 하고, 또 상기 각 중심축.부의 축 사이의 방향의 간격을 L로 하면, 상기 간격(P)은, 0

   

   P

   

   (rl + r2 + t)의 범위이고, 상기 간격(L)은, L

   

   (rl + r2 + t)의 범위가 되도록 상기 한쌍의 스퀴즈 바가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스퀴즈 장치.

Images