KR100191211B1 - Optical fiber array module and production method thereof - Google Patents

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Abstract

가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야.end. The technical field to which the invention described in the claims belongs.

본 발명은 1심 또는 다심의 광섬유를 정밀하게 정렬하고 배열시킬 수 있는 광섬유 어레이 모듈 및 그 제작 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an optical fiber array module capable of precisely aligning and arranging single-core or multi-core optical fibers and a method of manufacturing the same.

나. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제.I. The technical problem that the invention is trying to solve.

본 발명은 기판에 구멍을 형성하여 광섬유를 정렬하고 배열시키므로 공정의 단순화 및 광섬유의 단면을 연마하는 과정을 쉽게 할 수 있는 광섬유 어레이 모듈 제작 방법을 제공하는데 있다.The present invention provides a method of fabricating an optical fiber array module that forms a hole in a substrate to align and arrange the optical fiber, thereby simplifying the process and facilitating the process of polishing the cross section of the optical fiber.

다. 발명의 해결방법의 요지.All. Summary of the Solution of the Invention.

본 발명은 평평한 면의 기판과, 1심 및 다심의 광섬유를 고정시키기 위해 에폭시로 몰딩 처리된 몰딩부로 구성되어진 광섬유 어레이 모듈에 있어서, 상기 기판에는 광도파로 소자와 상기 광섬유를 서로 접속시키기 위해 상기 광섬유를 정렬하고 배열하기 위한 구멍이 일정한 간격으로 형성된 것이다.The present invention relates to an optical fiber array module comprising a substrate having a flat surface and a molding part molded with epoxy to fix a single-core and multi-core optical fiber, wherein the substrate has an optical waveguide device and the optical fiber for connecting the optical fiber to each other. Holes for aligning and arranging the holes are formed at regular intervals.

라. 발명의 중요한 용도.la. Important use of the invention.

본 발명은 광섬유와 광도파로 소자를 접속시키는 광섬유 어레이 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to an optical fiber array module for connecting an optical fiber and an optical waveguide device.

Description

광섬유 어레이 모듈 및 그 제작 방법.Optical fiber array module and its manufacturing method.

본 발명은 광도파로 소자와 광섬유와의 접속을 용이하게 하기 위한 광섬유 어레이 모듈에 관한 것으로서, 특히 1심 또는 다심의 광섬유를 정밀하게 정렬하고 배열시킬 수 있는 광섬유 어레이 모듈 및 그 제작 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an optical fiber array module for facilitating connection between an optical waveguide device and an optical fiber, and more particularly, to an optical fiber array module capable of precisely aligning and arranging single-core or multi-core optical fibers, and a manufacturing method thereof.

통상적으로, 광도파로 소자에 광섬유를 부착시킬 때 상기 광섬유를 정밀하게 정렬하고 배열시키는 것은 매우 중요한 문제이다. 이러한 문제들을 해결하기 위해 상기 광도파로 소자의 경우에는 각 도파로의 간격 및 배열은 사진식각 공정에 의해 매우 정밀하게 제작될 수 있으나, 상기 도파로에 광섬유를 부착시킬 때 1심 또는 다심의 광섬유를 정밀하게 정렬하고 배열하는 것은 매우 어려운 작업이다.In general, it is very important to precisely align and arrange the optical fiber when attaching the optical fiber to the optical waveguide device. In order to solve these problems, in the case of the optical waveguide device, the spacing and arrangement of each waveguide can be manufactured very precisely by a photolithography process. However, when attaching an optical fiber to the waveguide, one-fiber or multi-core optical fiber is precisely Sorting and arranging are very difficult tasks.

이에 따라, 종래의 방법들은 상기 광섬유를 정렬하고 배열시에 주로 실리콘 웨이퍼 또는 금속판에 1심 또는 다심의 광섬유를 실장할 수 있는 일정한 홈을 형성한 후, 상기 홈에 광섬유를 정렬하고 배열시켜 왔다.Accordingly, the conventional methods have aligned and arranged the optical fibers in the grooves after forming the constant grooves for mounting one-core or multi-core optical fibers mainly on the silicon wafer or the metal plate when the optical fibers are aligned and arranged.

따라서, 위와 같은 종래의 방법은 1심 또는 다심의 광섬유를 정렬하고 배열하기 위한 홈을 기판에 형성시키기 위한 공정이 매우 정밀해야 한다. 또한, 상기 광섬유를 기판의 홈에 실장한 후에 상기 광섬유의 단면을 연마하는 데 있어서, 상기 광섬유의 단면이 작고 얇기 때문에 정밀하고 세심하게 연마해야 한다. 또한, 상기 광섬유를 광도파로 소자와 접속시에 서로 접속되는 면적이 작기 때문에 상기 광섬유와 광도파로 간의 장력이 저하되며, 이에 따라 상기 광도파로 소자를 패키징하는 면에서 광도파로의 성능이 저하되는 문제점이 있었다.Therefore, the conventional method as described above requires a very precise process for forming grooves in the substrate for aligning and arranging single-core or multi-core optical fibers. In addition, in the polishing of the cross section of the optical fiber after mounting the optical fiber in the groove of the substrate, the cross section of the optical fiber should be polished precisely and carefully because the cross section of the optical fiber is small and thin. In addition, when the optical fiber is connected to the optical waveguide element, the area that is connected to each other is small, so that the tension between the optical fiber and the optical waveguide decreases, and thus, the performance of the optical waveguide decreases in terms of packaging the optical waveguide element. there was.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 목적은 기판에 구멍을 형성하여 광섬유를 정렬하고 배열시키므로 공정의 단순화 및 광섬유의 단면을 연마하는 과정을 쉽게 할 수 있는 광섬유 어레이 모듈 제작 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a method of fabricating an optical fiber array module that can simplify a process and polish a cross section of an optical fiber by forming holes in a substrate to align and arrange optical fibers. .

본 발명의 다른 목적은 광섬유와 광도파로 소자와의 접속 면접을 넓게 하여 접속 면적에서의 장력을 향상시킬 수 있는 광섬유 어레이 모듈을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an optical fiber array module capable of improving the tension in the connection area by widening the connection interview between the optical fiber and the optical waveguide device.

본 발명의 또 다른 목적은 광섬유를 정렬하고 배열하기 위한 기판의 구멍을 일정한 각도로 경사지게 형성하여 광섬유 단면을 연마하는 공정의 단순화 및 반사 손실을 향상시킬 수 있는 광섬유 어레이 모듈 및 그 제작 방법을 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide an optical fiber array module and a method of manufacturing the same, which can simplify the process of polishing the optical fiber cross section and improve the reflection loss by forming the holes of the substrate for arranging and arranging the optical fibers at a predetermined angle. have.

본 발명의 또 다른 목적은 광도파로 소자를 패키징하는 면에서 전체적인 광도파로의 성능을 향상시킬 수 있는 광섬유 어레이 모듈을 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide an optical fiber array module capable of improving the performance of an overall optical waveguide in terms of packaging an optical waveguide device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 평평한 면의 기판과, 1심 및 다심의 광섬유를 고정시키기 위해 에폭시로 몰딩 처리된 몰딩부로 구성되어진 광섬유 어레이 모듈에 있어서, 상기 기판에는 광도파로 소자와 상기 광섬유를 서로 접속시키기 위해 상기 광섬유를 정렬하고 배열하기 위한 구멍이 일정한 간격으로 형성됨을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is an optical fiber array module consisting of a substrate of a flat surface, and a molding part molded with epoxy to fix a single core and a multi-core optical fiber, the substrate includes an optical waveguide device and the Holes for aligning and arranging the optical fibers to connect the optical fibers with each other are formed at regular intervals.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 광섬유 어레이 모듈의 제작 방법에 있어서, 1심 또는 다심의 광섬유를 정렬하고 배열하기 위해 평평한 면으로된 기판에 다수개의 구멍을 일정한 간격으로 형성시키는 제1과정과, 상기 기판에 형성된 구멍에 상기 광섬유를 끼운 후, 정렬 기구로 정렬시키는 제2과정과, 상기 제2과정의 결과물에 에폭시로 전면을 몰딩 처리하여 상기 광섬유를 완전히 고정시키는 제3과정과, 상기 기판의 구멍을 통해 돌출되어 있는 광섬유의 끝면을 연마하는 제4과정으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing an optical fiber array module, the first process of forming a plurality of holes at regular intervals on a flat surface of the substrate to align and arrange one-core or multi-core optical fiber And inserting the optical fiber into the hole formed in the substrate, and then aligning with the alignment mechanism, and a third process of molding the entire surface with epoxy on the resultant of the second process to completely fix the optical fiber; And a fourth process of polishing an end surface of the optical fiber protruding through the hole of the substrate.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유 어레이 모듈(optical fiber array module)의 사시도.1 is a perspective view of an optical fiber array module in accordance with a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유 어레이 모듈의 평면도.2 is a plan view of an optical fiber array module according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 기판의 구멍에 광섬유가 정렬된 상태를 나타낸 정면도.3 is a front view showing a state in which the optical fiber is aligned in the hole of the substrate according to an embodiment of the present invention.

도 4a는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유를 정렬시키기 위한 기판의 구멍이 수직으로 형성된 상태를 나타낸 측면도.Figure 4a is a side view showing a state in which the hole of the substrate for aligning the optical fiber in accordance with a preferred embodiment of the present invention is formed vertically.

도 4b는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유를 정렬시키기 위한 기판의 구멍이 일정한 각도로 경사지게 형성된 상태를 나타낸 측면도.Figure 4b is a side view showing a state in which the hole of the substrate for aligning the optical fiber according to an embodiment of the present invention is formed to be inclined at a predetermined angle.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 기판 12: 구멍10: substrate 12: hole

14: 몰딩부 16: 광섬유14: molding portion 16: optical fiber

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 우선, 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 동일한 부호가 사용되고 있음에 유의해야 한다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used for the same components, even if displayed on different drawings. In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유 어레이 모듈(optical fiber array module)의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유 어레이 모듈의 평면도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 기판의 구멍에 광섬유가 정렬된 상태를 나타낸 정면도이다.1 is a perspective view of an optical fiber array module according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of an optical fiber array module according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a Front view showing a state in which the optical fiber is aligned with the hole of the substrate according to a preferred embodiment.

도 4a는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유를 정렬시키기 위한 기판의 구멍이 수직으로 형성된 상태를 나타낸 측면도이며, 도 4b는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광섬유를 정렬시키기 위한 기판의 구멍이 일정한 각도로 경사지게 형성된 상태를 나타낸 측면도이다.4A is a side view illustrating a state in which holes of a substrate for aligning optical fibers are vertically formed, and FIG. 4B is a hole of a substrate for aligning optical fibers according to a preferred embodiment of the present invention. It is a side view which shows the state formed inclined at the constant angle.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 광섬유 어레이 모듈은 크게 평평한 면을 가진 금속판 재질의 기판(10)과 에폭시로 몰딩(molding) 처리된 몰딩부(14)로 구성되어진다. 즉, 상기 기판(10)에는 1심 및 다심의 광섬유(16)와 광도파로 소자를 서로 접속시키기 위해서 상기 광섬유(16)를 정렬하고 배열하기 위한 구멍(12)이 서로 일정한 간격을 유지하면서 상기 기판(10)에 수직(직각)으로 원형 또는 사각형 모양으로 형성된다.As shown in FIGS. 1 to 3, the optical fiber array module includes a metal plate substrate 10 having a large flat surface and a molding unit 14 molded with epoxy. That is, the substrate 10 has a hole 12 for aligning and arranging the optical fibers 16 so as to connect the optical fiber 16 of the single core and the multi-core and the optical waveguide element with each other while maintaining a constant distance from each other. It is formed in the shape of a circle or a square perpendicular to (10).

이때, 상기 구멍(12)은 상기 광섬유(12)가 광도파로 소자와 접속시에 발생하는 반사 손실을 감소시키기 위해 상기 기판(10)에 일정한 각도(θ)로 경사지게 형성된다. 즉, 상기 구멍(12)은 상기 기판(10)으로 부터 1도∼20도 정도로 경사져 있다.In this case, the hole 12 is formed to be inclined at a predetermined angle θ to the substrate 10 in order to reduce the reflection loss generated when the optical fiber 12 is connected to the optical waveguide element. That is, the hole 12 is inclined from about 1 degree to 20 degrees from the substrate 10.

또한. 상기 몰딩부(14)는 상기 1심 및 다심의 광섬유(16)가 기판(10)의 구멍(12)에 끼워져 정렬되어진 후, 상기 광섬유(16)를 완전히 고정시키기 위해 열 또는 자외선에 의해 경화되는 에폭시로 몰딩 처리되어져 형성된 것이다.Also. The molding part 14 is hardened by heat or ultraviolet light to completely fix the optical fiber 16 after the one-core and multi-core optical fibers 16 are fitted and aligned in the holes 12 of the substrate 10. It is formed by molding with epoxy.

상기와 같이 구성된 광섬유 어레이 모듈(optical fiber array module)의 제작 방법을 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the optical fiber array module configured as described above is as follows.

먼저, 1심 또는 다심의 광섬유(16)를 정렬하고 배열하기 위해 평평한 면으로된 금속판 재질의 기판(10)을 도 4a에 도시된 바와 같이 수직으로 위치시킨 후, 기계적 가공 또는 사진식각 공정으로 원형 또는 사각형 모양의 다수개의 구멍(12)을 일정한 간격으로 형성시킨다.First, the substrate 10 made of flat metal plate material is placed vertically as shown in FIG. 4A for aligning and arranging the single-core or multi-core optical fibers 16, and then circularly formed by mechanical processing or photolithography. Alternatively, a plurality of rectangular holes 12 are formed at regular intervals.

이때, 상기 광섬유(16)가 광도파로 소자와 접속시에 발생하는 반사 손실을 감소시키기 위해서는 상기 기판(10)을 도 4b에 도시된 바와 같이 일정한 각도(θ)로 경사지게 위치시킨 후, 기계적 가공 또는 사진식각 공정으로 다수개의 구멍(12)을 일정한 간격으로 형성시킨다.At this time, in order to reduce the reflection loss generated when the optical fiber 16 is connected to the optical waveguide element, the substrate 10 is inclined at a constant angle θ as shown in FIG. The photolithography process forms a plurality of holes 12 at regular intervals.

그후, 상기 기판(10)에 형성된 구멍(12)에 상기 광섬유를 끼운 후, 정렬 기구로 정렬시키고 배열한 후, 상기 광섬유(16)를 열 또는 자외선에 의해 경화되는 에폭시로 전면을 몰딩 처리하여 상기 광섬유(16)를 완전히 고정시킨다. 그후, 상기 광섬유(16)가 광학 조도를 지니도록 상기 기판(10)의 구멍(12)을 통해 돌출되어 있는 광섬유(16)의 끝면을 연마하므로서 정밀한 광섬유 어레이 모듈이 제작되어진다.Thereafter, the optical fiber is inserted into the hole 12 formed in the substrate 10, and then aligned and aligned with an alignment mechanism, and then the front surface is molded by epoxy curing the optical fiber 16 by heat or ultraviolet rays. The optical fiber 16 is completely fixed. Thereafter, the optical fiber array module is manufactured by polishing the end surface of the optical fiber 16 protruding through the hole 12 of the substrate 10 so that the optical fiber 16 has optical illuminance.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 어레이 모듈 및 그 제작 방법은 광도파로 소자와 다심의 광섬유를 부착할 때, 부착되는 단면의 면적이 켜지므로서 상기 광섬유 접속시에 환경 특성의 향상 및 상기 광도파로 소자 패키지의 신뢰성이 증대되며, 금속판 재질의 기판에 구멍을 형성하여 상기 광섬유를 정렬하고 배열시키므로서 광섬유 어레이 모듈의 제작이 간편하며, 또한 단순한 제작 공정의 단계로 인해 상기 광섬유 어레이 모듈의 원가를 감소시킬 수 있으며, 또한 상기 광섬유가 끼워지는 구멍을 상기 기판의 면과 0도∼20도 사이의 각도(θ)를 유지시키므로서 상기 기판에 정렬된 광섬유가 광도파로 소자와의 정렬시에 반사 손실을 최소화 시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the optical fiber array module and the method of manufacturing the same according to the embodiment of the present invention improve the environmental characteristics when the optical fiber is connected by turning on the area of the cross section to be attached when attaching the optical waveguide element and the multi-core optical fiber. The reliability of the optical waveguide device package is increased, and fabrication of the optical fiber array module is simple by forming holes in a metal plate substrate to align and arrange the optical fiber, and also, due to the simple manufacturing process, It is possible to reduce the cost, and also maintain the angle (θ) between the surface of the substrate and the hole into which the optical fiber is inserted so that the optical fiber aligned on the substrate is aligned with the optical waveguide element. This has the effect of minimizing the return loss.

Claims (10)

평평한 면의 기판과, 1심 및 다심의 광섬유를 고정시키기 위해 에폭시로 몰딩 처리된 몰딩부로 구성되어진 광섬유 어레이 모듈에 있어서,In the optical fiber array module composed of a flat surface substrate, and a molding portion molded with epoxy to fix the one-core and multi-core optical fiber, 상기 기판(10)에는 광도파로 소자와 상기 광섬유(16)를 서로 접속시키기 위해 상기 광섬유(16)를 정렬하고 배열하기 위한 구멍(12)이 일정한 간격으로 수직으로 형성됨을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈.And a hole (12) vertically formed at regular intervals in the substrate (10) for aligning and arranging the optical waveguides (16) to connect the optical waveguide element and the optical fiber (16) to each other. 제1항에 있어서, 상기 기판(10)은 금속판으로 형성됨을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈.The optical fiber array module according to claim 1, wherein the substrate (10) is formed of a metal plate. 제1항에 있어서, 상기 기판(10)에 형성된 구멍(12)은 상기 광섬유(16)의 유동을 방지하기 위해 원형 또는 사각형으로 형성됨을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈.The optical fiber array module according to claim 1, wherein the holes (12) formed in the substrate (10) are formed in a circle or a square to prevent the flow of the optical fiber (16). 평평한 면의 기판과, 1심 및 다심의 광섬유를 고정시키기 위해 에폭시로 몰딩 처리된 몰딩부로 구성되어진 광섬유 어레이 모듈에 있어서,In the optical fiber array module composed of a flat surface substrate, and a molding portion molded with epoxy to fix the one-core and multi-core optical fiber, 상기 기판(10)에는 광도파로 소자와 상기 광섬유(16)를 서로 접속시키기 위해 상기 광섬유(16)를 정렬하고 배열함과 동시에 상기 광섬유(16)가 광도파로 소자와 접속시에 발생하는 반사 손실을 감소시키도록 하기 위한 구멍(12)이 일정한 간격으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈.In the substrate 10, the optical fiber 16 is aligned and arranged to connect the optical waveguide element and the optical fiber 16 to each other, and at the same time, the reflection loss generated when the optical fiber 16 is connected to the optical waveguide element is provided. An optical fiber array module characterized in that the holes (12) for reducing are formed to be inclined at regular intervals. 제4항에 있어서, 상기 구멍(12)은 1도∼20도 정도로 경사지게 상기 기판(10)에 형성됨을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈.The optical fiber array module according to claim 4, wherein the hole (12) is formed in the substrate (10) inclined at about 1 to 20 degrees. 광섬유 어레이 모듈의 제작 방법에 있어서,In the manufacturing method of the optical fiber array module, 1심 또는 다심의 광섬유(16)를 정렬하고 배열하기 위해 평평한 면으로된 기판(10)에 다수개의 구멍(12)을 일정한 간격으로 형성시키는 제1과정과,A first process of forming a plurality of holes 12 at regular intervals in the flat surface substrate 10 to align and arrange the single-core or multi-core optical fibers 16, 상기 기판(10)에 형성된 구멍(12)에 상기 광섬유를 끼운 후, 정렬 기구로 정렬시키는 제2과정과,Inserting the optical fiber into the hole 12 formed in the substrate 10, and then aligning with the alignment mechanism; 상기 제2과정의 결과물에 에폭시로 전면을 몰딩 처리하여 상기 광섬유(16)를 완전히 고정시키는 제3과정과,A third process of molding the entire surface of the second process with epoxy to completely fix the optical fiber 16; 상기 기판(10)의 구멍(12)을 통해 돌출되어 있는 광섬유(16)의 끝면을 연마하는 제4과정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈 제작 방법.And a fourth process of grinding the end surface of the optical fiber (16) protruding through the hole (12) of the substrate (10). 제6항에 있어서, 상기 제1과정에서 상기 기판(10)에 형성된 다수개의 구멍(12)은 기계적 가공 또는 사진식각 공정에 의해 형성되어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈 제작 방법.The method of claim 6, wherein a plurality of holes (12) formed in the substrate (10) in the first process are formed by a mechanical process or a photolithography process. 제7항에 있어서, 상기 구멍(12)은 기계적 가공 또는 사진식각 공정에 의해 원형 또는 사각형으로 형성되어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈 제작 방법.The method of claim 7, wherein the hole (12) is formed in a circular or rectangular shape by a mechanical machining or photolithography process. 제6항에 있어서, 상기 제1과정에서 상기 구멍(12)은 상기 광섬유(16)가 광도파로 소자와 접속시에 발생하는 반사 손실을 감소시키기 위해 일정한 각도로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 광성유 어레이 모듈 제작 방법.7. The optical oil of claim 6, wherein in the first process, the hole 12 is formed to be inclined at an angle to reduce the reflection loss generated when the optical fiber 16 is connected to the optical waveguide element. How to build an array module. 제9항에 있어서, 상기 구멍(12)은 상기 기판(10)을 일정한 각도로 경사지게 위치시킨 후, 기계적 가공 또는 사진식각 공정에 의해 경사진 구멍(12)으로 형성되어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 어레이 모듈 제작 방법.10. The optical fiber array of claim 9, wherein the hole 12 is formed as an inclined hole 12 by mechanically or photolithography after positioning the substrate 10 at an angle. How to build a module.
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