KR100190109B1

KR100190109B1 - Connector for gas tube and fitting method using the same

Info

Publication number: KR100190109B1
Application number: KR1019960052389A
Authority: KR
Inventors: 하정민
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1996-11-06
Filing date: 1996-11-06
Publication date: 1999-06-01
Also published as: KR19980034359A

Abstract

스웨이지록형과 VCR형의 장점을 모두 실현하는 가스튜브의 커넥터 및 이를 이용한 피팅방법을 개시한다. 본 발명에 따른 가스튜브의 커넥터는, 한 쌍의 금속제 가스튜브의 각 일단부 외부표면에 장착되고, 그 일단부에 각각 압착턱을 구비한 한 쌍의 압착용 너트와; 상기 한 쌍의 금속제 가스튜브의 외부표면과 상기 한 쌍의 압착용 너트의 내부면 사이에 각각 삽입되는 각각 한 쌍인 후방페룰 및 전방페룰과; 상기 금속제 가스튜브의 일단부에 장착되고, 상기 한 쌍의 전방페룰과 상기 압착용 너트의 사이에서 그 양단부가 압착되도록 형성된 스웨이지록 보디; 및 상기 한 쌍인 전방페룰과 상기 스웨이지록 보디의 사이에 각각 개입되는 한 쌍의 개스킷을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Disclosed are a gas tube connector and a fitting method using the same. The connector of the gas tube according to the present invention comprises: a pair of crimping nuts mounted on an outer surface of each end of a pair of metal gas tubes, each of which has a crimping jaw; A pair of rear ferrules and a front ferrule respectively inserted between an outer surface of the pair of metal gas tubes and an inner surface of the pair of crimping nuts; A swage lock body mounted at one end of the metal gas tube and formed at both ends of the pair of front ferrules and the pressing nut; And a pair of gaskets interposed between the pair of front ferrules and the swage lock body, respectively.

Description

Gas tube connector and fitting method using the same

본 발명은 가스튜브의 커넥터에 대한 것으로, 상세하게는 스웨이지록형과 VCR형의 장점을 모두 실현하는 가스튜브의 커넥터 및 이를 이용한 피팅방법에 대한 것이다.The present invention relates to a connector of a gas tube, and more particularly, to a connector of a gas tube and a fitting method using the same, realizing both advantages of a swage lock type and a VCR type.

반도체 제조공정을 포함하여 가스를 사용하는 모든 공정에서는 가스 공급라인으로서 통상 스테인레스 스틸로 된 튜브를 사용한다. 이때 가스 누설이 생기지 않도록 완벽하게 실링을 해야 하는데 그 실링방법에 따라 피팅(fittings)류를 두 가지 형으로 분류할 수 있다.In all processes using gas, including semiconductor manufacturing processes, tubes of stainless steel are commonly used as gas supply lines. At this time, the sealing should be done completely to prevent gas leakage. According to the sealing method, the fittings can be classified into two types.

하나는 이른바 스웨이지록(swagelok)형으로서, 페룰(ferrule)을 튜브에 끼워서 압착시키고 페룰과 스웨이지록 보디의 내벽이 밀착되도록 조이는 방식이다. 이 방식은 작업이 간단하고 가격이 저렴한 장점이 있는 반면에 개스킷을 사용하지 않기 때문에 진공실링 성능이 저하되는 단점이 있다.One is a so-called swageok type, in which a ferrule is pressed into a tube and pressed to tighten the inner wall of the ferrule and the swage lock body. This method has the advantage of simple operation and low cost, whereas the vacuum sealing performance is deteriorated since the gasket is not used.

제1도는 기존의 스웨이지록형의 피팅을 간략히 도시한 단면도이다.1 is a sectional view briefly showing a conventional swaging lock type fitting.

구체적으로 sus 튜브(100)에 너트(1), 전방 페룰(2)과 후방 페룰(3)을 끼운 상태에서 스웨이지록 보디(4)와 맞붙인다. 다음 스웨이지록 보디(4) 쪽으로 금속제 튜브, 예컨데 sus 튜브(100)를 밀면서 스웨이지록 보디(4)와 너트(1)를 꽉 조여 맞물린다. 이렇게 되면 전방 페룰(2)이 후방 페룰(3)의 미는 힘을 받아 sus 튜브(100)의 표면을 연마하면서 물게 된다. 이렇게 물려진 부분은 실링을 이루게 되고 너트를 풀어도 페룰이 튜브에서 빠지지 않으므로 필요에 따라 조임과 풀림을 반복 할 수 있다.Specifically, the nut 1, the front ferrule 2, and the rear ferrule 3 are fitted to the susage tube 100, and are engaged with the swage lock body 4. Next, the swage lock body 4 and the nut 1 are tightly engaged by pushing the metal tube, for example, the sus tube 100, toward the swage lock body 4. This causes the front ferrule 2 to bite while polishing the surface of the sus tube 100 by the pushing force of the rear ferrule 3. The bite is then sealed and the ferrule does not fall out of the tube even if the nut is loosened, so it can be tightened and loosened as needed.

그러나 스웨이지록 보디(4)의 내벽과 전방 페룰(2)이 sus 튜브(100)의 매끈 한 표면 위에서 변형없이 단순한 힘에 의한 접촉으로 실링되므로 실링이 불완전한 문제점이 있다. 따라서 스웨이지록형 피팅은 유독성 가스나 순수 가스가 요구되는 공정에는 사용할 수 없는 한편, 가격이 저렴하고 작업이 간단하므로 공기, 질소 등의 가스 튜브 피팅에는 많이 사용되어진다.However, since the inner wall of the swaging lock body 4 and the front ferrule 2 are sealed by simple force contact without deformation on the smooth surface of the sus tube 100, the sealing is incomplete. Therefore, swage lock-type fittings cannot be used for processes requiring toxic gas or pure gas, but are widely used for gas tube fittings such as air and nitrogen because they are inexpensive and simple to operate.

또다른 하나는 이른바 VCR형으로서, 글랜드(gland)를 튜브에 용접하고 두 글랜드 사이에 금속 개스킷을 삽입하고 조임으로써 실링하는 방법인데, 이는 진공실링이 뛰어나지만 가격이 비싸고 글랜드를 용접해야 하는 작업상의 번거로움이 있다.The other is the so-called VCR type, which is a method of sealing gland to a tube and sealing by inserting and tightening a metal gasket between two glands, which is excellent in vacuum sealing but expensive and requires welding the gland. There's a lot of work to do.

제2도는 기존의 VCR형의 피팅을 간략히 도시한 단면도이다.2 is a sectional view briefly showing a conventional VCR type fitting.

구체적으로 sus 튜브(100)에 너트(5)를 끼우고 글랜드(6)을 용접(9)하여 붙인다 두 글랜드 사이에 개스킷(7)을 삽입하고 볼트(8)와 너트(5)를 조여서 두 글랜드 사이를 개스킷으로 압착시킨다. 이러한 VCR형의 피팅은 실링이 완전할 뿐만 아니라 개스킷을 교체함으로써 풀림과 조임을 반복하여 사용할 수 있는 장점이 있는 한편, 가격이 높고 용접을 해야 하는 작업 상의 번거로움이 있다.Specifically, insert the nut (5) into the sus tube (100) and weld (9) the gland (6). Insert the gasket (7) between the two glands and tighten the bolt (8) and nut (5) Gasket between two glands. Such VCR type fittings are not only complete sealing but also have the advantage of repeated use of loosening and tightening by replacing the gasket, high cost and hassle in the work that requires welding.

본 발명의 목적은 용접을 하지 않고도 실링이 완전하도록 스웨이지록형의 커넥터에 개스킷을 사용하는 가스튜브의 커넥터를 제공하는 것이다. 본 발명의 또다른 목적은 상기 가스튜브의 커넥터를 사용하는 피팅방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a connector of a gas tube which uses a gasket in a swaging lock type connector so that the sealing is complete without welding. Another object of the present invention is to provide a fitting method using the connector of the gas tube.

제1도는 종래의 스웨이지록형의 피팅을 간략히 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional swage lock fitting.

제2도는 종래의 VCR형의 피팅을 간략히 도시한 단면도이다.2 is a sectional view briefly showing a conventional VCR type fitting.

제3도는 본 발명에 따른 가스튜브의 커넥터를 간략히 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view schematically showing the connector of the gas tube according to the present invention.

제4도는 본 발명에 따른 가스튜브의 피팅방법을 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a fitting method of a gas tube according to the present invention.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 가스튜브의 커넥터는, 한 쌍의 금속제 가스튜브의 각 일단부 외부표면에 장착되고, 그 일단부에 각각 압착턱을 구비한 한 쌍의 압착용 너트와, 상기 한 쌍의 금속제 가스튜브의 외부표면과 상기 한 쌍의 압착용 너트의 내부면 사이에 각각 삽입되는 각각 한 쌍인 후방페룰 및 전방페룰과, 상기 금속제 가스튜브의 일단부에 장착되고, 그 양단부가 각각 상기 전방페룰과 상기 압착용 너트의 사이에서 압착되도록 형성된 스웨이지록 보디, 및 상기 한 쌍인 전방페룰과 상기 스웨이지록 보디의 사이에 각각 개입되는 한 쌍의 개스킷을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The connector of the gas tube of the present invention for achieving the above object is a pair of crimping nuts, which are mounted on the outer surface of each end of a pair of metal gas tubes, each of which has a crimping jaw; A pair of rear ferrules and front ferrules respectively inserted between an outer surface of a pair of metal gas tubes and an inner surface of the pair of crimping nuts, and mounted at one end of the metal gas tube, and both ends thereof And a pair of gaskets interposed between the front ferrule and the swage lock body, which are formed to be compressed between the front ferrule and the crimping nut.

상기 본 발명의 또다른 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 한 쌍의 금속제 가스튜브의 각 단부 외부표면에 한 쌍의 압착용 너트를 장착하는 단계와, 상기 한 쌍의 압착용 너트의 내부에 각각 한 쌍인 후방 및 전방페룰을 장착하는 단계와, 압착용 스패어 보디를 사용하여 상기 한 쌍인 전방페룰과 상기 한 쌍의 금속제 가스튜브를 압착시키는 단계와, 상기 한 쌍인 전방페룰 및 상기 금속제 가스튜브로부터 상기 압착용 스패어 보디를 분리하는 단계와, 한 쌍의 개스킷을 각각 상기 한 쌍의 전방페룰의 전면에 장착하는 단계, 및 스웨이지록 보디를 상기 금속제 가스튜브의 각 단부 사이에 개입시키되 , 상기 압착용 너트를 이용하여 상기 스웨이지록 보디를 상기 개스킷 및 상기 전방페룰에 압착시키는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스튜브 커넥터의 피팅방법을 제공한다.The present invention for achieving another object of the present invention, the step of mounting a pair of crimping nut on the outer surface of each end of a pair of metal gas tube, and each inside of the pair of crimping nut Mounting a pair of rear and front ferrules; compressing the pair of front ferrules and the pair of metallic gas tubes using a crimped spare body; and from the pair of front ferrules and the metallic gas tubes Separating the crimped spare body, mounting a pair of gaskets on the front of the pair of front ferrules, and intervening a swage lock body between each end of the metallic gas tube, Compressing the swaging lock body to the gasket and the front ferrule by using a nut for the gas tube. It provides a way of fitting the connector.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

제3도를 참조하면, 금속제 튜브, 예컨데 sus 튜브(100)에 너트(13), 전방 페룰(11)과 후방 페룰(11')을 끼워 스웨이지록 보디(12)와 맞붙이되, 상기 전방페룰(11)과 스웨이지록 보디(12) 사이에 개스킷(10)을 개입시킨다. 상기 스웨이지록 보디(12)와 전방 및 후방페룰들(11, 11')은 너트(13)를 통하여 서로 압착되어진다.Referring to FIG. 3, the nut 13, the front ferrule 11, and the rear ferrule 11 ′ are attached to a metal tube, for example, the sus tube 100, to be attached to the swaging lock body 12, and the front ferrule ( The gasket 10 is interposed between 11) and the swage lock body 12. The swage lock body 12 and the front and rear ferrules 11 and 11 'are pressed together through a nut 13.

본 발명의 피팅은 기존의 스웨이지록형 피팅과 달리, 전방 페룰(11)과 스웨이지록 보디(12) 사이에 개스킷(10)을 끼워 압착시킬 수 있도록 한 점에 그 특징이 있다. 즉 스웨이지록형 피팅의 장점인 용접없이 페룰로 튜브를 압착하는 것과 VCR형 피팅의 장점인 개스킷 실링을 결합한 것이다.Unlike the conventional swage lock type fittings, the fitting of the present invention is characterized in that the gasket 10 is sandwiched between the front ferrule 11 and the swage lock body 12 to be crimped. In other words, it combines the crimping of the tube with ferrules without welding, which is the advantage of swage lock fittings, and the gasket sealing, which is the advantage of VCR fittings.

본 발명의 또다른 목적을 달성하기 위한 실시예에서는 상기 본 발명의 가스 튜브 커넥터를 이용한 피팅 방법이 제공된다.In another embodiment of the present invention to provide a fitting method using the gas tube connector of the present invention.

상기 제3도의 장치를 종래와 같은 방식으로 연결하면 전방 페룰과 스웨이지록 보디가 먼저 압착되므로 페룰이 금속제 튜브(100), 예컨데 sus튜브를 확실히 압착시키지 못하는 한계가 있다.If the apparatus of FIG.

이에 본 발명의 바람직한 실시예에서는 압착용 스패어 보디를 이용하여 페룰과 sus튜브의 압착을 더욱 확실하게 한다.Accordingly, in the preferred embodiment of the present invention, the crimping of the ferrule and the sus tube is more reliably performed by using the crimping spare body.

상기 바람직한 실시예를 설명하기 위한 단면도인 제4도를 참조하면, 개스킷(제3도의 10) 삽입 전에 전방 페룰(14)과 sus 튜브(100)가 압착될 수 있도록 압착용 스패어 보디(15)로 먼저 조였다가 풀고 그 다음에 상기 제3도에서와 같은 피팅 작업을 한다. 이 스패어 보디는 1개만 있으면 매 피팅작업시마다 사용될 수 있는 간편한 장점이 있다.Referring to FIG. 4, which is a cross-sectional view for explaining the preferred embodiment, the pressing spare body 15 for pressing the front ferrule 14 and the sus tube 100 before pressing the gasket (10 in FIG. 3) is inserted. First tighten, loosen, and then perform the same fitting as in FIG. This spare body has the advantage that it can be used for every fitting work with just one spare body.

본 발명의 가스튜브 커넥터에 의하면, 가격이 저렴하고 작업이 간단한 스웨이지록형 피팅의 장점과 개스킷을 이용하여 완벽한 실링을 하는 VCR형 피팅의 장점이 모두 실현되어지는 효과가 있다.According to the gas tube connector of the present invention, it is possible to realize both the advantages of the low cost and simple operation of the swage lock type fittings and the advantages of the VCR type fittings with perfect sealing using gaskets.

Claims

A pair of crimping nuts mounted on an outer surface of each end of the pair of metal gas tubes, each of which has a crimping jaw, and an outer surface of the pair of metal gas tubes and the pair of crimping Swages which are respectively mounted on the rear ferrule and the front ferrule respectively inserted between the inner surfaces of the nut, and mounted on one end of the metal gas tube, and whose both ends are compressed between the front ferrule and the crimping nut. And a pair of gaskets interposed between the lock body and the pair of front ferrules and the swage lock body, respectively.

Mounting a pair of crimping nuts on the outer surface of each end of the pair of metal gas tubes, and mounting a pair of rear and front ferrules respectively inside the pair of crimping nuts; Compressing the pair of front ferrules and the pair of metal gas tubes using an air body; separating the crimped spare body from the pair of front ferrules and the metal gas tubes; Mounting a gasket on the front surface of the pair of front ferrules, respectively, and intervening a swage lock body between each end of the metal gas tube, wherein the swage lock body is connected to the gasket and the front by using the pressing nut And fitting the ferrule into the ferrule.