KR0172280B1 - Sensing circuit of a semiconductor device - Google Patents

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KR0172280B1 KR1019950025227A KR19950025227A KR0172280B1 KR 0172280 B1 KR0172280 B1 KR 0172280B1 KR 1019950025227 A KR1019950025227 A KR 1019950025227A KR 19950025227 A KR19950025227 A KR 19950025227A KR 0172280 B1 KR0172280 B1 KR 0172280B1
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Abstract

본 발명은 반도체 소자의 센싱회로에 관한 것으로서, 레퍼런스 셀을 셀어레이 형태가 아닌 싱글 비트(Single bit)로 구성하고, 워드라인을 메인 셀의 워드라인과 독립적으로 바이어싱(Biasing) 되도록 하며, 메인 셀의 콘트롤게이트에 확인전압을 인가하지 않고 레퍼런스셀의 콘트롤게이트에 인가 하므로써, 소거시 셀의 레이아웃(Layout)이 줄어들고, 확인전압 발생 회로의 드라이브 능력이 크지않아도 되므로 회로구성이 간단해진다. 또한 확인모드로 부터 정상 독출모드로 만들어주기 위해 콘트롤게이트를 챠징(Charging) 및 디스챠징(Discharging) 시켜주는 복구시간(Recovery time)이 대폭 줄어들게 되어 전체적인 프로그램 및 소거시간을 단축시킬수 있도록 한 반도체 소자의 센싱회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensing circuit of a semiconductor device, wherein the reference cell is composed of a single bit, not a cell array type, and the word line is biased independently of the word line of the main cell. By applying the control gate of the reference cell without applying the confirmation voltage to the control gate of the cell, the layout of the cell is reduced during erasing, and the circuit configuration is simplified since the drive capability of the confirmation voltage generating circuit is not large. In addition, the recovery time for charging and discharging the control gate is drastically reduced in order to make the read mode from the read mode to the normal read mode, thereby reducing the overall program and erase time. It relates to a sensing circuit.

Description

반도체 소자의 센싱회로Sensing Circuit of Semiconductor Device

제1도는 종래의 반도체 소자의 센싱회로도.1 is a sensing circuit diagram of a conventional semiconductor device.

제2도는 제1도에서 셀의 콘트롤 게이트전압에 따른 셀전류의 특성 곡선.2 is a characteristic curve of a cell current according to a control gate voltage of a cell in FIG.

제3도는 제1도에서 소거시 콘트롤 게이트의 타이밍도.3 is a timing diagram of a control gate during erasing in FIG.

제4도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 센싱회로도.4 is a sensing circuit diagram of a semiconductor device according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : X-디코더 12 : Y-디코더11: X-decoder 12: Y-decoder

13 : 센스앰프 14 : 독출전압 발생회로13 sense amplifier 14 read voltage generation circuit

15 : 프로그램 확인 전압발생회로 16 : 소거 확인 전압발생회로15: Program confirmation voltage generation circuit 16: Erase confirmation voltage generation circuit

17 : 모드 스테이트 머신17: Mod State Machine

본 발명은 반도체 소자의 센싱회로에 관한 것으로, 특히 레퍼런스 셀(Reference cell)을 셀어레이(Cell array) 형태가 아닌 싱글비트(Single bit)로 구성하고, 워드라인(Ward line)을 메인 셀(Main cell)의 워드라인과 독립적으로 바이어싱(Biasing) 되도록 하며, 메인 셀의 콘트롤게이트로 확인전압을 인가하지 않고 레퍼런스셀의 콘트롤게이트로 인가하도록 한 반도체 소자의 센싱회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensing circuit of a semiconductor device. In particular, a reference cell is composed of a single bit, not a cell array, and a word line is a main cell. The present invention relates to a sensing circuit of a semiconductor device which is biased independently of a word line of a cell) and applied to a control gate of a reference cell without applying a confirmation voltage to a control gate of a main cell.

일반적으로 전류를 센싱하는 비휘발성 메모리 셀(Non volatile memory cell)의 데이타를 독출(Read)함에 있어서, 센싱속도는 레퍼런스 메모리 셀의 문턱전압(Vt)에 의해 좌우된다. 이러한 레퍼런스 메모리셀의 문턱전압의 변동에 영향을 받지않고 안정된 센싱속도를 필요로 하는 플래쉬 이이피롬 셀(F1ash EEPROM cell)등에 적용된다.In general, in reading data of a non-volatile memory cell that senses current, the sensing speed depends on the threshold voltage V t of the reference memory cell. It is applied to a flash EEPROM cell or the like that requires a stable sensing speed without being affected by the variation of the threshold voltage of the reference memory cell.

제1도는 종래의 반도체 소자의 센싱회로도로서, 그 동작을 설명하면 다음과 같다.1 is a sensing circuit diagram of a conventional semiconductor device, the operation of which is described below.

레퍼런스 실(M1)이 메인 셀(M2)과 셀어레이(9) 형태로 구성되고, 워드라인(W/L) 또한 메인셀(M2)과 공유하게 된다. 또한 상기 레퍼런스 셀(M1)의 콘트롤게이트로 인가되는 바이어스는 모드(Mode)에 관계없이 독출전압 발생회로(4)로 부터 독출전압이 인가된다. 한편 컴맨드 유저 인터페이스 회로(Command user interface circuit; 8)의 데이타를 입력으로하는 모드 스테이트 머신(Mode state machine; 7)의 데이타가 다수의 모드(4 내지 5)로 입력된다. 이때 메인 셀(M2)의 콘트롤게이트로 인가되는 바이어스는 먹스(MUX)회로(10)를 통해 프로그램 확인 전압발생회로(5) 및 소거 확인 전압발생회로(6)로 부터 확인전압이 인가된다. 이로인해 프로그램 및 소거 확인이 센스앰프(3)를 통해 시행되게 된다. X-디코더(1)를 입력으로 하는 워드라인(W/L) 및 Y-디코더(2)를 입력으로하는 선택 트랜지스터(N1 및 N2)의 선택에 따라 해당 레퍼런스 셀이 선택되게 된다. 이때 상기 레퍼런스 셀들은 비휘발성 소거 셀(UV Erase cell)로서, 공정의 균일성(Unifomity)이나 그밖의 요인들로 인해 셀의 문턱전압(Vt)상의 변동(Variation)이 발생되어 독출 및 확인동작에 영향을 주게된다. 확인모드의 경우, 메인 셀어레이들의 문턱전압 분포를 더욱 폭넓게 만들어 소자(Device)의 특성을 저하시키는 원인이 된다.The reference chamber M1 is configured in the form of the main cell M2 and the cell array 9, and the word line W / L is also shared with the main cell M2. In addition, the bias applied to the control gate of the reference cell M1 is applied to the read voltage from the read voltage generation circuit 4 regardless of the mode. On the other hand, data of the mode state machine 7 which inputs data of the command user interface circuit 8 is input in a plurality of modes 4 to 5. At this time, the bias applied to the control gate of the main cell M2 is applied to the confirmation voltage from the program check voltage generation circuit 5 and the erase check voltage generation circuit 6 through the MUX circuit 10. This allows the program and erase confirmation to be carried out via the sense amplifier 3. The reference cell is selected according to the selection of the word lines W / L having the X-decoder 1 as input and the selection transistors N1 and N2 having the Y-decoder 2 as input. In this case, the reference cells are UV Erase cells, and variations in the cell's threshold voltage Vt occur due to uniformity or other factors of the process, resulting in read and verify operations. Will affect. In the confirmation mode, the threshold voltage distribution of the main cell arrays is made wider, which causes deterioration of device characteristics.

제2도는 제1도에서 셀의 콘트롤 게이트전압에 따른 셀전류의 특성곡선으로서, 도면부호 Vcg는 콘트롤게이트 전압, Vcg1은 소거 확인시 콘트롤게이트 전압, Vcg2는 독출시 콘트롤게이트 전압, Vcg3는 프로그램 확인시 콘트롤게이트 전압, V1은 소거 마진(Erase margin), V2는 프로그램 마진을 나타내며, Ier은 소거 셀전류, Ip는 프로그램 셀전류, Iuer은 레퍼런스 셀전류를 나타낸다. 독출시의 마진(Margin)고려하여 프로그램 및 소거시 각기 발생시키는 확인전압들을 메인 셀의 콘트롤게이트로 인가하므로써, 셀전류를 조절하는 방식을 나타낸 특성곡선이다. 그러나 기준전압 발생회로인 확인전압 발생회로 입장에서 보았을때 로딩(Loading)이 상당히 크게 나타나며, 이에따라 프로그램 및 소거를 위한 고전압으로 축적된(Charging) 콘트롤게이트 전압을 다시 프로그램 및 소거확인 전압으로 전환시키기 위한 시간이 많이 소요되게 된다. 또한 이러한 확인전압으로 부터 독출전압의 바이어싱(Biasing)상태로 되돌리기 위한 복구단계(Recovery step)가 추가적으로 필요하게 된다. 결국 프로그램 및 소거모드로 진입한 소자가 정상독출(Normal read)상태로 되돌아 오기까지의 시간, 즉 프로그램 및 소거모드의 전체시간이 지연되는 문제점이 있으며, 이와 관련된 타이밍도를 제3도에 나타내었다. 설명되지 않은 부호 T1은 소거 셋업시간을 나타내며, T2는 소거 시간, T3는 소거확인시간 T4는 확인시간을 나타낸다. 또한 Vcg2는 독출전압, Vcg1은 소거 확인전압, Vcg4는 소거전압을 나타낸다.2 is a characteristic curve of the cell current according to the control gate voltage of the cell in FIG. Control gate voltage, V1 denotes an erase margin, V2 denotes a program margin, Ier denotes an erase cell current, Ip denotes a program cell current, and Iuer denotes a reference cell current. This is a characteristic curve showing a method of controlling the cell current by applying confirmation voltages generated during programming and erasing to the control gate of the main cell in consideration of the margin at the time of reading. However, from the standpoint of the confirmation voltage generation circuit, which is a reference voltage generation circuit, the loading is considerably large, and accordingly, the switching of the control gate voltage accumulated at the high voltage for programming and erasing to the program and erasure confirmation voltage is again performed. This will be time consuming. In addition, a recovery step for returning to the biasing state of the read voltage from the check voltage is additionally required. As a result, there is a problem in that the time until the device enters the program and erase mode is returned to the normal read state, that is, the entire time of the program and erase mode is delayed. . Unexplained code T1 denotes an erase setup time, T2 denotes an erase time, T3 denotes an erase confirmation time, and T4 denotes a confirmation time. In addition, Vcg2 represents a read voltage, Vcg1 represents an erase confirmation voltage, and Vcg4 represents an erase voltage.

따라서 본 발명은 레퍼런스 셀을 셀어레이 형태가 아닌 싱글 비트(Single bit)로 구성하고, 워드라인을 메인 셀의 워드라인과 독립적으로 바이어싱(Biasing) 되도록 하며, 메인 셀의 콘트롤게이트에 확인전압을 인가하지 않고 레퍼런스셀의 콘트롤게이트에 인가하므로써 상기한 단점을 해소할 수 있는 반도체 소자의 센싱회로를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention configures the reference cell as a single bit rather than a cell array, biases the word line independently from the word line of the main cell, and applies a confirmation voltage to the control gate of the main cell. It is an object of the present invention to provide a sensing circuit of a semiconductor device that can solve the above disadvantages by applying to a control gate of a reference cell without applying.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 셀어레이 형태가 아닌 싱글비트로 구성되는 다수의 레퍼런스 셀과, 상기 레퍼런스 셀의 셀렉트게이트로 메인 셀의 워드라인과 독립적으로 바이어싱 되도록 하기 위해 각각의 모드 데이타를 공급하기 위한 모드 스테이트머신과, 상기 레퍼런스 셀의 콘트롤게이트로 데이타를 공급하기 위한 프로그램 확인전압 발생회로, 독출전압 발생회로 및 소거 확인전압 발생회로와, X-디코더의 데이타를 입력으로하는 셀렉트게이트 및 소오스가 접지로 접속된 메인 셀과, 상기 Y-디코더의 데이타를 입력으로하는 선택 트랜지스터와, 전원전압에 접속된 저항과 상기 레퍼런스 셀의 드레인과의 접속점인 노드 및 상기 전원에 접속된 저항과 상기 선택 트랜지스터를 경유한 메인 셀의 드레인과의 접속점인 노드를 각각 입력으로 하는 센스앰프로 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a plurality of reference cells consisting of a single bit, not a cell array form, and each mode data to be biased independently of the word line of the main cell to the select gate of the reference cell A mode state machine for supplying, a program confirming voltage generating circuit, a read voltage generating circuit and an erasing confirming voltage generating circuit for supplying data to the control gate of the reference cell, a select gate for inputting data of an X-decoder; A node connected to a main cell having a source connected to ground, a select transistor for inputting data of the Y-decoder, a resistor connected to a power supply voltage and a drain of the reference cell, a resistor connected to the power supply, and Each node, which is the connection point with the drain of the main cell via the select transistor, is input to It is characterized by consisting of a sense amplifier.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제4도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 센싱 회로도로서, 셀어레이 형태가 아닌 싱글비트(Single bit)로 구성되는 다수의 레퍼런스 셀(M11 내지 M13)과, 상기 레퍼런스 셀(M11 내지 M13)의 셀렉트게이트로 메인 셀(M14)의 워드라인(W/L)과 독립적으로 바이어싱(Biasing) 되도록 하기위해 각각의 모드 데이타(PGMV, READ, ERV)를 공급하기 위한 모드 스테이트머신(17)과, 상기 레퍼런스 셀(M11 내지 M13)의 콘트롤게이트로 데이타를 공급하기 위한 프로그램 확인전압 발생회로(15), 독출전압 발생회로(14) 및 소거 확인전압 발생회로(16)와, X-디코더(11)의 데이타를 입력으로하는 셀렉트게이트(워드라인) 및 소오스가 접지(Vss)로 접속된 메인 셀(11)과, 상기 Y-디코더(12)의 데이타를 입력으로하는 선택 트랜지스터(N11)와, 전원(Vcc)에 접속된 저항(R1) 및 상기 레퍼런스 셀(M11 내지 M13)의 드레인과의 접속점인 노드(K1)와, 상기 전원(Vcc)에 접속된 저항(R2) 및 상기 선택 트랜지스터(N11)를 경유한 메인 셀(M14)의 드레인과의 접속점인 노드(K2)를 각각 입력으로 하는 센스앰프(13)로 구성되며, 그 동작을 설명하면 다음과 같다.4 is a sensing circuit diagram of a semiconductor device according to an exemplary embodiment of the present invention, wherein a plurality of reference cells M11 to M13 and single select bits of the reference cells M11 to M13 that are configured as a single bit rather than a cell array form are shown. A mode state machine 17 for supplying respective mode data PGMV, READ, and ERV to be biased independently of the word line W / L of the main cell M14, and the reference. Data of the program confirmation voltage generation circuit 15, the read voltage generation circuit 14 and the erase confirmation voltage generation circuit 16, and the X-decoder 11 for supplying data to the control gates of the cells M11 to M13. A main cell 11 having a select gate (word line) and a source connected to ground (Vss), a selection transistor N11 for inputting data of the Y-decoder 12, and a power supply Vcc. Is connected to the resistor R1 and the reference cells M11 to M13. A node K1, which is a connection point with a phosphorus, and a node K2, which is a connection point between a resistor R2 connected to the power supply Vcc and a drain of the main cell M14 via the selection transistor N11, are respectively input. It consists of a sense amplifier 13 to be described, the operation thereof is as follows.

독출시에는 모드 스테이트 머신((17)에서 독출신호(READ)가 발생되어 독출용 기준셀(M12)의 셀렉트게이트로 인가된다. 이때 상기 독출용 기준셀(M12)이 턴온되어 센스앰프(13)로 연결되어 독출동작이 실시된다.At the time of reading, the read signal READ is generated by the mode state machine 17 and applied to the select gate of the reading reference cell M12. At this time, the reading reference cell M12 is turned on and the sense amplifier 13 is turned on. ) And read operation is performed.

프로그램 확인시에는 프로그램 확인용 레퍼런스 셀(M11)의 셀렉트게이트로 모드 스테이트 머신(17)에서 프로그램 확인신호(PGMV)가 인가된다. 상기 레퍼런스 셀(M11)이 턴온되어, 결국 프로그램 확인용 레퍼런스 셀(M11)의 드레인과 센스앰프(13)가 연결되어 센싱이 이루어지게 된다. 이 때 프로그램 확인전압을 종래기술에서는 셀어레이의 콘트롤게이트에 독출전압보다 더 높은전압을 인가해서 마진을 확보하였으나, 본 발명에서는 반대로 기준셀의 콘트롤게이트에 독출전압보다 더 낮은전압을 인가하고, 셀어레이의 콘트롤게이트에는 독출전압을 인가하게 된다.In the program confirmation, the program confirmation signal PGMV is applied from the mode state machine 17 to the select gate of the program confirmation reference cell M11. The reference cell M11 is turned on, and thus, the drain of the program check reference cell M11 and the sense amplifier 13 are connected to each other, thereby sensing. In this case, the program confirmation voltage is applied to the control gate of the cell array by a voltage higher than the read voltage to secure a margin. However, in the present invention, a voltage lower than the read voltage is applied to the control gate of the reference cell. A read voltage is applied to the control gate of the array.

소거 확인동작도 상기와 같은 방법으로 동작되며, 소거 확인전압을 독출전압보다 높게 발생시켜 기준셀 전류를 독출동작때보다 많이 흐르게 하여 센스앰프(13)가 셀어레이의 데이타를 1로 독출할때 마진을 갖게 된다. 특히 소거의 경우 칩(Chip) 내지는 섹터(Sector) 단위로 소거되기 때문에 확인시 확인전압을 발생시켜 셀어레이들의 해당 콘트롤게이트에 모두 전압을 인가하는 종전의 방식과는 달리 싱글비트로 된 소거확인용 레퍼런스 셀의 콘트롤게이트에만 전압을 인가하면 된다. 그러므로 콘트롤게이트의 전압변동시간(Voltage transition time)이 크게 단축된다. 또한 종전의 방식처럼 기준셀의 셀렉트게이트가 워드라인에 접속되어 있지 않고, 독립되어 있으므로 복잡한 먹스회로를 쓰지않고도 쉽게 콘트롤 할수있는 장점이 있다.The erase check operation is operated in the same manner as described above, and the erase check voltage is generated higher than the read voltage so that the reference cell current flows more than the read operation, so that the margin when the sense amplifier 13 reads the data of the cell array to 1 Will have In particular, since erasing is performed in units of chips or sectors, a single-bit erasing confirmation reference is generated unlike the conventional method of generating a confirmation voltage and applying a voltage to the corresponding control gate of the cell array. The voltage is applied only to the control gate of the cell. Therefore, the voltage transition time of the control gate is greatly shortened. In addition, since the select gate of the reference cell is not connected to the word line and is independent as in the conventional method, it can be easily controlled without using a complex mux circuit.

상술한 바와같이 본 발명에 의하면 레퍼런스 셀을 셀어레이 형태가 아닌 싱글 비트(Single bit)로 구성하고, 워드라인을 메인 셀의 워드라인과 독립적으로 바이어싱(Biasing) 되도록 하며, 메인 셀의 콘트롤게이트에 확인전압을 인가하지않고 레퍼런스셀의 콘트롤게이트에 인가 하므로써, 소거시 셀의 레이아웃(Layout)이 줄어들고, 확인전압 발생회로의 드라이브 능력이 크지않아도 되므로 회로구성이 간단해진다. 또한 확인모드로 부터 정상 독출모드로 만들어주기 위해 콘트롤게이트를 챠징(Charging) 및 디스챠징(Discharging) 시켜주는 복구시간(Recovery time)이 대폭 줄어들게 되어 전체적인 프로그램 및 소거시간을 단축시키는데 탁월한 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the reference cell is composed of a single bit, not a cell array type, the word line is biased independently of the word line of the main cell, and the control gate of the main cell is provided. By applying to the control gate of the reference cell without applying the confirmation voltage to the cell, the layout of the cell is reduced during erasing, and the circuit configuration is simplified since the drive capability of the confirmation voltage generating circuit is not required to be large. In addition, the recovery time for charging and discharging the control gate is greatly reduced in order to make the normal read mode from the confirmation mode, which is excellent in shortening the overall program and erase time.

Claims (3)

싱글비트로 구성되는 다수의 레퍼런스 셀과, 상기 다수의 레퍼런스 셀의 셀렉트게이트로 각각의 모드 데이타를 공급하기 위한 모드 스테이트 머신과, 상기 레퍼런스 셀의 콘트롤게이트로 각각의 데이타를 공급하기 위한 다수의 전압발생회로와, X-디코더의 데이타를 입력으로하는 셀렉트게이트 및 소오스가 접지로 접속된 메인 셀과, 상기 Y-디코더의 데이타를 입력으로하는 선택 트랜지스터와, 전원전압에 접속된 저항과 상기 레퍼런스 셀의 드레인과의 접속점인 노드 및 상기 전원에 접속된 저항과 상기 선택 트랜지스터를 경유한 메인 셀의 드레인과의 접속점인 노드를 각각 입력으로 하는 센스앰프로 구성되는것을 특징으로 하는 반도체 소자의 센싱회로.A plurality of reference cells composed of a single bit, a mode state machine for supplying respective mode data to select gates of the plurality of reference cells, and a plurality of voltage generations for supplying respective data to control gates of the reference cell A main cell having a circuit, a select gate for inputting data of an X-decoder and a source connected to ground, a selection transistor for inputting data of the Y-decoder, a resistor connected to a power supply voltage, and a reference cell And a sense amplifier for inputting a node, which is a connection point with a drain, and a node, which is a connection point with a resistor connected to the power supply and a drain of a main cell via the selection transistor, respectively. 제1항에 있어서, 상기 모드 스테이트머신은 상기 다수의 레퍼런스 셀의 셀렉트게이트 및 메인 셀의 워드라인이 독립적으로 바이어싱되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 센싱회로.The sensing circuit of claim 1, wherein the mode state machine is configured to independently bias the select gates of the plurality of reference cells and the word lines of the main cells. 제1항에 있어서, 상기 다수의 전압발생회로는 프로그램 확인전압 발생회로, 독출전압 발생회로 및 소거 확인전압 발생회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 센싱회로.The sensing circuit of claim 1, wherein the plurality of voltage generation circuits comprise a program check voltage generation circuit, a read voltage generation circuit, and an erase confirmation voltage generation circuit.
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