KR0169502B1 - Surface mount assembly and method of device using adcon interconnections - Google Patents

Surface mount assembly and method of device using adcon interconnections Download PDF

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KR0169502B1
KR0169502B1 KR1019930700928A KR930700928A KR0169502B1 KR 0169502 B1 KR0169502 B1 KR 0169502B1 KR 1019930700928 A KR1019930700928 A KR 1019930700928A KR 930700928 A KR930700928 A KR 930700928A KR 0169502 B1 KR0169502 B1 KR 0169502B1
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KR
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pressure
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heating
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KR1019930700928A
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Inventor
윌리암 데링거 도날드
마이클 라이온즈 알란
Original Assignee
오레그 이. 앨버
아메리칸 텔리폰 앤드 텔레그라프 캄파니
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 제조 능력과 신뢰성이 크게 개선된 것으로서, 인쇄 배선판(PWB)에서 캡슐화된 것과 캡슐화되지 않은 여러가지 리드된 또는 패드된 디바이스의 배치 조립을 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 압력 프레임 조립 장치는 전도성 접착제(AdCon)의 경화중에 다양한 리드 패키지 및 패드 반도체 칩에 균일한 분포압력을 적용할 수 있게하고, 또, 초기 상호연결 저항에서의 편차를 감소시키며, 이로인하여 애드콘 상호연결의 신뢰성을 강화시킨다. 디바이스의 윤곽과 이웃한 PWB의 면적을 전체적으로 덮어 씌우는 유연한 탄력 신장성 멤브레인(membrane)에 압력하에 유체를 외부에서 인가함으로써 압력이 디바이스에 가해진다. 압력의 외부인가는 애드콘을 경화하는데 필요한 열전도성을 강화시키고, 이러한 기술에 이용할 수 있는 처리변수의 범위를 넓히며, 조립시간을 단축시킨다. 다양한 표면장착 패키지에 대해 100%의 조립수율이 관찰되었으며, 이는 시스템이 매우 신뢰성이 있을 것이라는 점을 나타낸다.The present invention relates to an apparatus and method for batch assembly of various leaded or padded devices that are encapsulated in a printed wiring board (PWB) and that are not encapsulated, with greatly improved manufacturing capabilities and reliability. The pressure frame assembly allows the uniform distribution of pressure to be applied to various lead packages and pad semiconductor chips during the curing of the conductive adhesive (AdCon), and also reduces the variation in initial interconnect resistance, thereby allowing adcon interconnection. Enhance the reliability of the connection. Pressure is applied to the device by externally applying fluid under pressure to a flexible resilient stretchable membrane that entirely covers the contour of the device and the area of the neighboring PWB. The external application of pressure enhances the thermal conductivity required to cure the adcon, broadens the range of processing parameters available for this technique, and reduces assembly time. Assembly yields of 100% were observed for the various surface mount packages, indicating that the system would be very reliable.

Description

[발명의 명칭][Name of invention]

애드콘 상호 연결을 이용하는 디바이스의 표면 장착 장치 및 방법Device and Method for Surface Mounting Devices Using Adcon Interconnect

[발명의 범위][Scope of Invention]

본 발명은 애드콘(Adcon)상호 연결을 이용하는 디바이스의 표면 장착 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a surface mounting apparatus and method for a device using Adcon interconnection.

[발명의 배경][Background of invention]

전기 전도성 접착제는 전자산업에서 널리 사용되고 있다. 중요한 적용분야로서 인쇄 배선판(PWB)의 다이접착 및 조립이 있다. 제1도에는 디바이스(2)의 실예가 개략적으로 도시되어 있으며, 큰 조립체(1)의 일부를 형성하는 인쇄 배선판(4)에서 도전체(6)에 연결된 다수의 도전체 패드(5)에 대응하여 인쇄 배선판상에 표면 장착된 리드(3)가 정사각형으로 배치되어 있다. 디바이스의 크기가 계속 축소됨에 따라, PWB에 연결해야 할 디바이스의 리드수는 계속 증가하고, 인접한 리드 또는 패드중심간의 거리(즉, 피치)는 계속 감소하고, 인접한 리드를 짧게하지 않고 등방성 전도성 접착제를 정확하게 배치하기가 더욱 어렵게 되어 간다. 다른 접근 방식은 배선판에 수직인 방향(Z-방향)으로만 전도하는 비등방성 전도성 접착제를 사용하는 것이다.Electrically conductive adhesives are widely used in the electronics industry. An important application is die bonding and assembly of printed wiring boards (PWBs). An illustration of a device 2 is schematically illustrated in FIG. 1 and corresponds to a plurality of conductor pads 5 connected to the conductors 6 in a printed wiring board 4 forming part of the large assembly 1. Thus, the leads 3 surface-mounted on the printed wiring board are arranged in a square. As the size of the device continues to shrink, the number of leads of the device that need to be connected to the PWB continues to increase, the distance between adjacent leads or pad centers (i.e., the pitch) continues to decrease, and the isotropic conductive adhesive is applied without shortening the adjacent leads. It is becoming more difficult to place correctly. Another approach is to use an anisotropic conductive adhesive that only conducts in a direction perpendicular to the wiring board (Z-direction).

비등방성 전도성 접착제(이하 애드콘이라함)(접착성 접속기용)는 브리칭(bridging)개념으로 공식화된 전기전도성 접착제 재료의 한 종류이다. 이 재료는 접착제 혼합물을 형성하는 절연 폴리머 매트릭스에 전기전도성 입자를 분산시킴으로써 만들어진다. 통상적으로, 접착성 혼합물은 전도성 접착제의 막을 스텐실 프린팅, 스크린-프린팅 또는 라미네이팅 함에 의하여 PWB의 표면에 도포된다. 도전체 패드(5)를 갖는 PWB의 표면에 도포된다. 도전체 패드(5)를 갖는 PWB(4)의 일부, PWB상에서의 애드콘(7)의 영역및 , 도전체 패드에 접속해야 할 리드(3)를 갖는 디바이스(2)가 제2도에 개략적으로 도시되어 있다. 디바이스를 PWB에 배치하고, PWB 기층에서의 도전체 패드와 디바이스의 리드사이에서 배치력이 애드콘으로부터 제거된 후에, 단일 입자 두께를 갖는 에드콘의 한층이 각 리드와 도전체 패드 사이에 남아 있게되고, 이것이 제3도에 개략적으로 도시되어 있다. 개별 입자는 디바이스간의 틈을 메꾸게 되고, 전기적 상호 연결을 형성한다. 유사한 방식으로, 도전체 패드를 갖는 반도체 칩이 PWB상에 표면 장착될 수 있다.Anisotropic conductive adhesives (hereinafter referred to as adcons) (for adhesive connectors) are a type of electrically conductive adhesive material formulated with the concept of bridging. This material is made by dispersing electrically conductive particles in an insulating polymer matrix forming an adhesive mixture. Typically, the adhesive mixture is applied to the surface of the PWB by stencil printing, screen-printing or laminating a film of conductive adhesive. It is applied to the surface of the PWB having the conductor pads 5. A device 2 having a portion of the PWB 4 having the conductor pads 5, an area of the adcon 7 on the PWB, and a lead 3 to be connected to the conductor pads is schematically shown in FIG. 2. Is shown. After the device is placed in the PWB and the placement force between the conductor pads at the PWB substrate and the lead of the device is removed from the adcon, a layer of edcone having a single particle thickness remains between each lead and conductor pad. This is schematically shown in FIG. Individual particles fill the gaps between the devices and form electrical interconnects. In a similar manner, a semiconductor chip with conductor pads can be surface mounted on a PWB.

종래에, 애드콘 상호연결의 형성은 통상적으로 각 패키지를 정렬하여 가압하에 배치하고, 경화로에서 개별적으로 경화시키는 일련의 공정을 경유하여 실시되었다. 그러한 공정의 실예로서, 제임스 알. 크레멘츠(James R, Clements) 씨등에게 허여된 1987년 5월 26일 공고의 미국특허 제 4,667, 401호 및 제 4,868,637호에 공지된 기술과, 1988년 8월 발행된 커넥션 테크놀러지(Connection Technology)의 31면, 32면에 기재된 더 페이스트 커넥터-수직 전도성 접착제로서 브라이언 선(Brian Sun)씨의 본문에 공지된 기술이 있다. 그러나 이러한 방식의 공정은 적용한 압력을 적절히 제어하지 못함으로써 비전도성 조인트를 불충분하게 형성하여 결국 리드와 상호 연결부에 피해를 입힐 수 있다. 이러한 방법은 고성능의 입력/출력(I/O) 표면 장착 패키지와 미소한 칩에 대해서는 실시하기 어려웠는데, 왜냐하면 낮은 스루풋 때문에, 또한 조립 공정이 PWB와 패키지와 조립 도구가 동일 평면상에 있을 것을 요구하기 때문이다. 시스템에서 평면성이 없으면 생산성능과 신뢰성이 문제를 초래할 수 있다. 게다가, 매우 작은 반도체 칩은 칩을 손상시킬 위험이 없어 작은 면적에 큰 힘을 적용할 필요가 있다. 그러므로, 하나의 디바이스 또는 치수 및 높이가 다른 디바이스를 가로질러서, 균일한 압력을 적용하는 방법이 필요할뿐 만 아니라 이 방법을 실시하는 장치도 필요하며, 상기 문제점을 극복하기 위한 효과적인 방법이 필요하다.Conventionally, the formation of adcon interconnects has typically been done via a series of processes in which each package is aligned, placed under pressure, and individually cured in a curing furnace. As an example of such a process, James R. James R, Clements et al., Published in US Patent Nos. 4,667, 401 and 4,868,637, issued May 26, 1987, and Connection Technology, issued August 1988. There is a technique known in the text of Brian Sun as the paste connector-vertical conductive adhesive described on page 31, 32. However, this type of process can result in insufficient formation of non-conductive joints due to inadequate control of the applied pressure, resulting in damage to leads and interconnects. This method was difficult to implement for high performance input / output (I / O) surface mount packages and small chips, because of the low throughput, the assembly process also required the PWB, package and assembly tool to be coplanar. Because. Without planarity in the system, productivity and reliability can cause problems. In addition, very small semiconductor chips do not have a risk of damaging the chip and therefore need to apply a large force to a small area. Therefore, there is a need not only for a method of applying a uniform pressure across one device or a device of different dimensions and height, but also an apparatus for implementing the method, and an effective method for overcoming the above problem.

본 발명은 제조 능력과 신뢰성이 크게 개선된 것으로서, 인쇄 배선판(PWB)에서 캡슐화된 것과 캡슐화되지 않은 여러가지 리드된 또는 패드된 디바이스의 배치 조립을 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 압력 프레임 조립 장치는 전도성 접착제(AdCon)의 경화중에 다양한 리드 패키지 및 패드 반도체칩에 균일한 분포 압력을 적용할 수 있게 하고, 또 초기 상호 연결 저항에서의 편차를 감소시키며, 이로 인하여 애드콘 상호 연결의 신뢰성을 강화시킨다. 다비이스의 윤곽과 이웃한 PWB의 면적을 전체적으로 덮어 씌우는 유연한 탄력 신장성 멤브래인(membrane)에 압력하의 유체를 외부에서 인가함으로써 압력이 디바이스에 가해진다. 압력의 외부인가는 에드콘을 경화하는데 필요한 열전도성을 강화시키,고 이러한 기술에 이용할 수 있는 처리 변수의 범위를 넓히며, 조립시간을 단축시킨다. 다양한 표면 정착 패키지에 대해 100%의 조립수율이 관찰되었으며, 이는 시스템이 매우 신뢰성이 있을 것이라는 점을 나타낸다.The present invention relates to an apparatus and method for batch assembly of various leaded or padded devices that are encapsulated in a printed wiring board (PWB) and that are not encapsulated, with greatly improved manufacturing capabilities and reliability. The pressure frame assembly allows the uniform distribution pressure to be applied to various lead packages and pad semiconductor chips during the curing of the conductive adhesive (AdCon), and also reduces the variation in the initial interconnect resistance, thereby adduct interconnection To enhance the reliability. The pressure is applied to the device by externally applying a fluid under pressure to a flexible elastically stretchable membrane that entirely covers the contour of the device and the area of the neighboring PWB. External application of pressure enhances the thermal conductivity needed to cure Edcon, broadens the range of processing parameters available for this technique, and shortens assembly time. An assembly yield of 100% was observed for the various surface fixation packages, indicating that the system would be very reliable.

[도면의 간단한 설명][Brief Description of Drawings]

제1도는 PWB의 일부분과 PWB에 표면 장착된 정사각형 디바이스의 개략적인 사시도.1 is a schematic perspective view of a portion of a PWB and a square device surface mounted to the PWB.

제2도는 애드콘의 얇은 층이 놓인 PWB의 한 부분과 조립전의 리드 전도성 요소의 개략도.2 is a schematic of a portion of a PWB in which a thin layer of adcon is placed and a lead conductive element prior to assembly.

제3도는 제2도에 도시한 배치에서 압력 인가후에 에드콘의 전도성 입자를 경유하여 디바이스의 리드와 전기적 접촉을 하는 PWB상의 전도성 요소(패드)를 갖는 배치의 개략도.3 is a schematic view of a layout having conductive elements (pads) on the PWB which are in electrical contact with the leads of the device via conductive particles of edcone after application of pressure in the arrangement shown in FIG.

제4도는 애드콘 상호 연결의 배치 조립을 위해 사용된 압력 프레임 장치의 한 단면의 전면 분해도.4 is an exploded front view of a cross section of a pressure frame device used for batch assembly of an adcon interconnect.

제5도는 폐쇄된 작동 위치에 있는 제4도의 압력 프레임 장치의 한 단면의 전면 개략도.5 is a front schematic view of a cross section of the pressure frame device of FIG. 4 in a closed operating position.

제6도는 제4도에 도시된 장치의 분해사시도.6 is an exploded perspective view of the device shown in FIG.

제7도는 제5도에 도시된 장치의 개략적인 사시도.7 is a schematic perspective view of the apparatus shown in FIG.

제8도는 PWB에 표면 장착된 정사각형 디바이스와 이 디바이스에 접속된 케이블 피그테일 접속부를 갖는 PWB의 일부분의 개력적인 사시도.8 is a schematic perspective view of a portion of a PWB having a square device surface mounted to the PWB and a cable pigtail connection connected to the device.

제9도는 케이블 피그테일 접속부를 포함하여 제6도의 장치의 개략적인 사시도.9 is a schematic perspective view of the apparatus of FIG. 6 including a cable pigtail connection.

[발명의 상세한 설명]Detailed description of the invention

납땜 기술에 비하여 전기적 비등방성 전도성 접착제를 갖는 전자회로의 조립은 PWB의 제조와 환경상의 효과에 여러가지 장점을 제공한다. 접착제를 경화하는데 필요한 낮은 온도는 패키지와 PWB에 또한 해 열적 및 물리적 피해를 최소로 줄인다. 접착제 시스템은 불충분한 납땜을 형성함이 없이 훌륭한 피치성분의 조립을 허용하고, 또 조립가공원가를 줄일 수 있다. 환경면에서, 비등방성 전도성 접착제는 클로로플루오르카본(CFCS)과 같은 환경적으로 해로운 화합제를 갖는 잔류물을 플럭스 세척할 필요를 제거하고, 용해파 납땜 욕조 또는 리플로우 오븐에 작업자가 노출되는 정도를 줄인다.The assembly of electronic circuits with electrically anisotropic conductive adhesives, compared to soldering techniques, offers a number of advantages for the fabrication of PWBs and environmental effects. The low temperature required to cure the adhesive also minimizes thermal and physical damage to the package and PWB. The adhesive system allows for the assembly of good pitch components without forming insufficient soldering, and also reduces assembly costs. Environmentally, anisotropic conductive adhesives eliminate the need to flux wash residues with environmentally harmful compounds such as chlorofluorocarbons (CFC S ) and expose workers to melt wave solder baths or reflow ovens. Reduce the degree

본 발명을 실시하는 장치가 제4도 및 5도에 개략적으로 도시되어 있다. 또한 이 장치의 사시도가 제6도 및 7도에 각각 도시되어 있다. 간편성을 위해 장치의 요소와 디바이스는 일정한 비율로 축척되어 있지 않다. 제4도에 분해사시도로 도시된 장치(14)는 베이스(12), 스페이서(13), 멤브레인(14)및, 상기 멤브래인의 상단에서 압력하에서 공기와 같은 적절한 유체를 흡입하기 위한 입구(16)가 설치된 덮개(15)를 포함한다. 멤브래인(14)은 스페이서와 덮개 사이의 주변에 고정된 폴리실록산 고무와 같은 유연한 탄력신장성 재료이다. 멤브래인과 덮개로 둘러싸인 제한된 공간내에 유체를 도입하여 압력을 가했을 때 , 멤브래인은 디바이스 및 리드의 표면과, 베이스(12)에서 PWB의 이웃한 표면의 윤곽에 고분고분하게 정합(整合)한다. 압력 인가전에 멤브래인은 PWB 및 디바이스와 덮개와 적응성에 악영향을 미칠 수 있는 비틀림과 주름이 생기지 않게 잘 정리된 방법으로 디바이스 위의 공간을 균일하게 덮어야 한다는 것에 주의를 요한다. 스페이서(13)에는 멤브래인(14)아래에서 공기를 배출시키는 배출구(18)가 적어도 한개 설치되어 있었다. 스페이서(13)는 기본적으로 베이스(12)의 플로어(19)를 편리하게 세척하기 위한 목적으로 제거식 유닛으로써 제공된다. 그러나, 스페이서(13)는 베이스(12)에 영구적으로 또는 제거가능하게 고정될 수 있다. 임의로 베이스(12)의 플로어(19)상에 그리드(grid)(도시되지 않음)을 제공할 수도 있다. 그리드는 플로어에서 스크린이나 로드(rod)의 배열 또는 베이스에서 플로어 상에 형성된 격자의 형태로 될 수 있고, 다른 형태로도 될 수 있다. 그리드의 주 목적은 pwb의 바닥과 베이스의 플로어 사이에서 에어포켓(air pocket)이 나타날 가능성을 줄이도 또, 압력 및 열의 인가후에 베이스에서부터 PWB의 제거를 편리하게 하는데 있다.An apparatus for practicing the present invention is schematically illustrated in FIGS. 4 and 5. A perspective view of this device is also shown in FIGS. 6 and 7, respectively. For simplicity, the elements of the device and the device are not to scale. The device 14, shown in exploded perspective view in FIG. 4, has a base 12, a spacer 13, a membrane 14, and an inlet for inhaling a suitable fluid, such as air, under pressure at the top of the membrane. 16 includes a cover 15 installed. Membrane 14 is a flexible resilient material, such as polysiloxane rubber, fixed around the spacer and the cover. When the fluid is introduced and pressurized in a confined space surrounded by a membrane and a cover, the membrane conforms reliably to the surface of the device and the lid and the contour of the neighboring surface of the PWB at the base 12. . Before applying pressure, it is important to note that the membrane must cover the space on the device uniformly in a well-organized manner that avoids twisting and wrinkling, which can adversely affect the PWB and the device and the cover and adaptability. The spacer 13 was provided with at least one discharge port 18 through which the air is discharged under the membrane 14. The spacer 13 is basically provided as a removable unit for the purpose of conveniently cleaning the floor 19 of the base 12. However, the spacer 13 may be fixed permanently or removably to the base 12. Optionally, a grid (not shown) may be provided on the floor 19 of the base 12. The grid may be in the form of a grid of screens or rods on the floor or a grid formed on the floor at the base, or may be in other forms. The main purpose of the grid is to reduce the possibility of air pockets appearing between the bottom of the pwb and the floor of the base, and to facilitate the removal of the PWB from the base after application of pressure and heat.

압력하에서 유체를 도입하면 장치의 구성부품, 예를들어 베이스(12)와 덮개(15)가 서로 분리되는 경향이 있다. 그러므로, 장치에는 부품들을 함께 유지하는 어떤 수단이 제공되어야 한다. 그러나, 이러한 수단은 사용과 조립에 불편을 일으키고 파손 위험이 나타날 수도 있다. 유용한 방법으로서, 수직 나사나 레버로써 적절한 방법으로 작동할 수 있는 북바인더(bookbinder)프레스와 같은 간단한 프레스를 사용할 수 있고, 다른 방법으로서 라미네이팅 프레스( laminating press)와 같은 프레스를 사용하는 것이 더 유용할 것이다.Introducing fluid under pressure tends to separate components of the device, such as the base 12 and the lid 15, from each other. Therefore, the device must be provided with some means for holding the parts together. However, such means may be inconvenient to use and assemble and may present a risk of breakage. As a useful method, it is possible to use a simple press, such as a bookbinder press, which can be operated in a suitable way with a vertical screw or lever, and as a further alternative, a press such as a laminating press may be more useful. will be.

양호한 실시예에서, 장치(11)는 전형적인 라미네이팅 프레스(도시되지 않음)의 상부 가압판(20)과 하부 가압판(21)사이에 위치할 수 있다. 장치의 횡단 방향으로 프레스에 의해 전개된 압력은 장치의 부품들을 다함께 유지하고 또 멤브래인과 덮개 사이에서 유체의 누설을 충분히 방지하면서도, 스페이서와 덮개의 이웃한 부분간에 배치된 멤브래인(14)의 부분에 피해를 크게 주지 않을 정도가 되어야 한다. 베이스(12), 스페이서(13) 및 가요성 멤브래인(14)은 처리해야 할 제품을 베이스에 배치하고 처리한 제품을 제거하기 위한 목적으로서 프레스에서 제거가능하게 되어 있다. 또한 덮개(15)도 장치의 나머지와 함께 프레스에서 제거가능하게 되어도 좋다. 다른 방법으로서, 덮개 (15)는 프레스의 상부 가압판(20)에 고정될 수 있으며 또 이 상부 가압판과 함께 수직이동이 가능하여야 한다. 또한, 베이스(12)는 하부 가압판(21)에 고정될 수 있다. 양호한 실시예에서, 스페이서(13)는 베이스(12)에서 제거가능하게 되어 있지만, 베이스(12)에 고정되어도 좋다. 다른 방법으로서, 스페이서(13)는 상부 가압판(20)에 부착될 수 있고 또 덮개와 함께 수직 이동될수 도 있다. 후자의 경우에, 스페이서와 덮개 사이에 멤브리엔(14)을 고정하거나 또는 필요할때 멤브래인을 재배치 할수 있는 수단이 만들어져야 할 것이다. 이것은 덮개에 제거가능하게 스페이서(13)를 부착시킬 것을 필요로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the device 11 may be located between the upper press plate 20 and the lower press plate 21 of a typical laminating press (not shown). The pressure developed by the press in the transverse direction of the device maintains the parts of the device together and prevents the leakage of fluid between the membrane and the cover, while the membrane 14 disposed between the spacer and the adjacent part of the cover. ) Should not be so much damage to the part of). The base 12, spacer 13 and flexible membrane 14 are made removable from the press for the purpose of placing the product to be treated in the base and removing the treated product. The lid 15 may also be removable from the press along with the rest of the apparatus. Alternatively, the lid 15 may be fixed to the upper press plate 20 of the press and should be capable of vertical movement with the upper press plate. In addition, the base 12 may be fixed to the lower pressing plate 21. In the preferred embodiment, the spacer 13 is removable from the base 12 but may be secured to the base 12. Alternatively, the spacer 13 may be attached to the upper press plate 20 and may be moved vertically with the lid. In the latter case, a means should be made to fix the membrane 14 between the spacer and the cover or to reposition the membrane when necessary. This may necessitate attaching the spacer 13 removably to the lid.

장치(11)의 크기는 단 하나의 PWB를 수용하면 충분하다. 다른 방법으로서, 크기가 여러가지인 표준 PWB를 다수 가지는 PWB시트 또는 여러개의 PWB를 수용할 수 있는 크기로 할수 있고, 이것은 라미네이팅 프레스의 크기에 의해서만 제한을 받는다.The size of the device 11 is sufficient to accommodate only one PWB. Alternatively, it can be a PWB sheet having multiple standard PWBs of various sizes or a size that can accommodate several PWBs, which is limited only by the size of the laminating press.

작동에서, PWB와, 이 PWB의 접촉 패드에 있는 애드콘과, 이 애드콘과 접촉하는 리드(또는 패드)를 갖는 적어도 하나의 디바이스( 또는 반도체칩)의 조립체가 베이스(12)의 플로어(19)상에 배치되고, 스페이서(13)가 베이스(12)의 주변부상에 배치되고, 멤브래인(14)은 베이스와 스페이서로서 형성된 공간을 둘러싸면서 스페이서(13)상에 배치되고, 덮개(15)는 스페이서와 덮개사이에 멤브래인의 주변 영역을 고정하면서 멤브래인(14)에 덮인다. 그후에 장치(11)가 하부 가압판(21)에 배치되고, 프레스가 작동되어 하부 가압판(20)을 덮개와 접촉하도록 이동시킨다. 공기와 같은 적절한 가압 유체가 입구(16)를 거쳐 멤브래인(14)의 상단에서 유입되어서, 덮개(14)와 디바이스가 정합 접촉하도록 하고 또 PWB와 베이스의 노출된 상부면에 양호하게 정합되게 한다. PWB로 향하는 디바이스에 힘을 가하는 압력을 미리 선택하여 디바이스의 리드 또는 패드와 PWB의 패드(5)와의 접촉면 사이에서 과다한 접착제를 제거하고, 단일 입자의 두께로서 얇은 입자층을 남기면서 동시에 접착제층내의 입자가 접촉면간의 전기적 접속을 형성하게 한다. 그러나, 상기 압력은 디비이스에 어떠한 피해를 주는 원인, 예를들어 리드를 납작하게 만들거나 구부리거나 또는 파손시키는 원인이 될 정도로 과다하게 부여되지는 않아야 한다.In operation, an assembly of a PWB, at least one device (or semiconductor chip) having an adcon at a contact pad of the PWB and a lead (or pad) in contact with the adcon, is provided on the floor 19 of the base 12. ), A spacer 13 is disposed on the periphery of the base 12, the membrane 14 is disposed on the spacer 13, surrounding the space formed as the base and the spacer, the lid 15 ) Is covered by membrane 14 while fixing the peripheral area of the membrane between the spacer and the cover. The device 11 is then placed on the lower press plate 21 and the press is operated to move the lower press plate 20 in contact with the lid. Appropriate pressurized fluid, such as air, enters the top of the membrane 14 via the inlet 16 to bring the cover 14 into contact with the device and to ensure good registration with the exposed top surface of the PWB and the base. do. Preselection of the pressure exerting force on the device directed to the PWB removes excess adhesive between the lead or pad of the device and the contact surface of the pad 5 of the PWB, while leaving a thin layer of particles as the thickness of a single particle, while simultaneously To form an electrical connection between the contact surfaces. However, the pressure should not be exaggerated enough to cause any damage to the device, such as flattening, bending or breaking the lead.

공기와 같은 가압 유체의 적절한 공급원(도시되지 않음)에 연결된 입구(16)를 통하여 유체가 멤브래인(14)상에 적용되어서 PWB및 디바이스를 향해 멤브래인에 힘을 가한다.Fluid is applied onto membrane 14 to force the membrane towards the PWB and the device through an inlet 16 connected to a suitable source of pressurized fluid such as air (not shown).

디바이스에서 멤브래인에 의해 작용된 압력은 조립체에 어떠한 피해를 입히지 않으면서도 디바이스의 리드간에 연속적인 전도성 경로를 확립하고 또 PWB에서 금속화를 달성할 정도로 리드(또는 패드)를 애드콘의 금속입자와 접촉하도록 이동시키기에 충분한 압력이어야 한다. 접착 목적에 필요한 압력을 제공할 수 있는 상업상 유용한 에어 콤프레서는 공기 압력원으로써 유용할 것이다. 5내지 500psi의 범위내에 있는 유압이 멤브래인에 가해질 수 있다. 멤브래인을 경유하여 디바이스에 작용하는 실제 압력은 가해진 압력이 멤브래인의 신장에 의해 전개된 힘과 조합하기 때문에 가해진 압력보다 다소 크다. 통상적으로 5내지 25psi양호하게는 15psi의 범위에 속하는 유압이면 대부분의 IC패키지 분야에서 충분하다. 예외적으로, 예를들어 1/8인치 제곱 또는 이보다 작은 비캡슐화 반도체 칩과 같이 극도로 작은 패키지에서는 200내지 300spi에 속하는 매우 큰 압력의 인가를 요구할 수 있다.The pressure exerted by the membranes in the device causes the leads (or pads) to adsorb the metal particles of the adcon to establish a continuous conductive path between the leads of the device without any damage to the assembly and to achieve metallization in the PWB. There must be sufficient pressure to move to contact with. Commercially useful air compressors that can provide the necessary pressure for bonding purposes will be useful as an air pressure source. Hydraulic pressure in the range of 5 to 500 psi can be applied to the membrane. The actual pressure acting on the device via the membrane is somewhat greater than the pressure applied because the pressure applied combines with the force developed by the extension of the membrane. Hydraulics, typically in the range of 5 to 25 psi, preferably 15 psi, are sufficient for most IC packaging applications. Exceptionally, extremely small packages, such as, for example, 1/8 inch squared or smaller unencapsulated semiconductor chips, may require the application of very large pressures ranging from 200 to 300 spi.

실험에서, 애드콘용 폴리머 매트릭스는 비스페놀 F의 디글리시딜 에테르(diglycidyl ether)(Dainippon Ink and Chemical Co., Epiclon 830(등록상표))에서 준비하였다.In the experiments, the polymer matrix for adcon was prepared from diglycidyl ether of bisphenol F (Dainippon Ink and Chemical Co., Epiclon 830®).

방향성 실리카 딕소트로프(silica thixotrope(Cabot, TS-720)를 5phr(parts per hundred resin)농도로서 Waring(등록상표)혼합기에서 에폭시 수지내에 침지시켰다. 농도 1내지 10phr범위의 딕소트로프가 유용하다. 이 혼합물의 정제수(aliquot)에, 10phr의 2-에틸, 4-메틸리미다졸 경화제(Pacific Anchor Chemical, EMI-24)를 전도성 입자와 함께 첨가하였다. 애드콘을 성공적으로 만들기 위해서는, 접착제 혼합물에 충분한 수의 입자가 나타나서 PWB 와 디바이스의 리드 또는 패드간(Z- 방향)에 신뢰성 있는 전기 전도성을 보장하며 동시에 이웃한 전도체 패드와 리드간 (x-y방향)에 전기절연이 유지되도록 금속 입자의 농도를 제어하여야 한다. 실제로, 이웃한 리드(3)나 또는 이웃한 전도체 패드(5)간에 어떠한 단락을 일으키지 않고 최대량의 전도성 입자를 제공하게 될 금속입자의 필요한 체적농도를 접착제 혼합물에서 얻으려고 노력해야 한다. 또한, 기계적으로 튼튼한 상호 연결을 유지하기 위해서 적절한 접착제 성능이 필요하다. 형성물은 수동으로 혼합되어서, 사용전에 30분동안 진공(15μmHg)하에서 가스를 빼내었다. 실험에서, 입자는 크기가 8내지 20μm이며 평균직경이 14μm인 은도금된 유리 구형체였다.(Potters Induystries에서 얻을 수 있음) 입자들은 10내지 15체적 %(26내지 36 중량%), 양호하게는 12.5 체적 %(29중량 %)의 양이 첨가되었다.Aromatic silica thixotrope (Cabot, TS-720) was immersed in the epoxy resin in a Waring® mixer at a concentration of 5 phrs (parts per hundred resin), which is useful for concentrations ranging from 1 to 10 phr. To the aliquot of the mixture, 10 phr of 2-ethyl, 4-methylimidazole hardener (Pacific Anchor Chemical, EMI-24) was added along with the conductive particles. The concentration of the metal particles should be controlled to ensure that the particles of P and B appear to ensure reliable electrical conductivity between the PWB and the leads or pads of the device (Z-direction) while maintaining electrical insulation between neighboring conductor pads and leads (xy direction). In practice, the required volume of metal particles that will provide the maximum amount of conductive particles without causing any short circuit between adjacent leads 3 or adjacent conductor pads 5. Efforts should be made to obtain the concentration in the adhesive mixture, and proper adhesive performance is required to maintain a mechanically strong interconnect The formations are mixed manually, degassing under vacuum (15 μmHg) for 30 minutes before use In the experiments, the particles were silver-plated glass spheres with a size of 8 to 20 μm and an average diameter of 14 μm (available from Potters Induystries). The particles were 10 to 15 vol% (26 to 36 wt%), preferably An amount of 12.5% by volume (29% by weight) was added.

시험 PWB에서 패키지의 조립체는 아래의 다단계 공정을 거쳐 만들어졌다. 애드콘을 혼합하고, 가스를 빼내고, 닥터 블레이드(doctotr blade) 및 쉼(shim)을 사용하여 약 2mil의 두께로 또는 수동 조작식 스텐슬 프린터(Henry Mann AP-810)로서 약 5mil의 두께로 PWB상에 스텐슬처리를하였다. 몇개의 패키지는 수동으로 스텐슬된 PWB에 수동으로 배치하였고, 몇개는 적절한 공구(예를들어 마닉스 또는 싱글 사이트 솔더머신[SSSM]를 사용하여 배치하였다. 가압판(20, 21)사이에 위치한 장치(11)내에 조립한 판을 배치하고, 여기서 제5도에 도시한 바와 같이 열 및 압력하에서 접착제 상호 연결부를 강화하였다.The assembly of the package in the test PWB was made through the following multi-step process. Mix adcon, degas, PWB to approximately 2 mils thick with a doctor blade and shim or about 5 mils as a manual stencil printer (Henry Mann AP-810) Stencil treatment was carried out on. Some packages were placed manually in a stenciled PWB and some were placed using a suitable tool (eg, a manics or single site solder machine [SSSM]) located between the platens 20 and 21. The plate assembled in (11) was placed, where the adhesive interconnect was strengthened under heat and pressure as shown in FIG.

PWB는 기본적으로 온도 100내지 350℃의 범위에서, 양호하게는 125℃에서 베이스(12)의 바닥으로부터 가열된다. 구성 부품, 접착제 매트릭스 형성물 및 경화속도 조건에 따라 더 높은 온도가 사용될 수 있다. 열은 여러가지 방법중에서, a)베이스(12)와 하부 가압판(21)사이에 배치된 가열판 : b)베이스에 파묻힌 열 코일 : 또는 c) 소정범위내에서 열을 제공하기 위해 하부 가압판에 설치된 적절한 가열수단, 예를 들어 열코일, 전기코일, 가열수 또는 증기가열과 같은 방법에 의해 공급될 수 있다. 추가의 가열은 장치의 바닥부분을 가열하는 방법과 유사한 방법으로서 장치의 상단으로부터 제공될 수 있다.The PWB is basically heated from the bottom of the base 12 at a temperature in the range of 100 to 350 ° C., preferably at 125 ° C. Higher temperatures may be used depending on component parts, adhesive matrix formation, and cure rate conditions. The heat may be, among other methods, a) a heating plate disposed between the base 12 and the lower press plate 21: b) a thermal coil embedded in the base, or c) a suitable heating installed in the lower press plate to provide heat within a predetermined range. It can be supplied by means, for example by means of a hot coil, an electric coil, heated water or steam heating. Additional heating may be provided from the top of the device in a similar way to heating the bottom of the device.

그러나, 오버헤드 가열은 바닥 가열에 필요한 열의 소량만이 필요로하며, 기본적으로는 경화시간이 늘어나는 점을 회피하기 위하여 장치의 부품, 예를들어 덮개(15)와 상부 가압판(20)에 의하여 베이스(12)와 하부 가압판(21)이 냉각하는 것을 회피하기 위한 것이다. 오버헤드 가열온도는 30내지 350℃의 범위에 있고, 양호하게는 55℃이다. 다른 방법으로서, 장치(11)위에서와 장치 아래에서 더 높은 양호한 도를 가하는 배치로하여 가열 구조를 역전시킬 수 있다.However, overhead heating requires only a small amount of heat required for floor heating, and basically the base by means of parts of the device, for example the lid 15 and the upper press plate 20, to avoid lengthening the curing time. This is to avoid cooling of the 12 and the lower press plate 21. The overhead heating temperature is in the range of 30 to 350 ° C, preferably 55 ° C. Alternatively, the heating structure can be reversed in an arrangement that applies a higher degree of goodness above and below the device 11.

압력은 베이스(12)와 스페이서(13)로서 형성된 공간위에 배치된 유연한 신장성 멤브레인(14)에 의하여 베이스상의 조립체에 인가된다. 유체에 의해 멤브레인(14)상에 가해진 압력은 멤브레인(14)을 신장하며 여기에 힘을 가하여 패키지와 정합접촉하도록 한다. 멤브레인은 개별 패캐지 치수에 대하여 압력하에서 정합하도록 충분히 신장될 수 있어야 하고, 따라서 PWB에 대해 접선 방향으로 균일한 압력인가를 보장하게 된다. 멤브레인은 유체에 의해 가해진 힘이 제거되었을 때 본래의 신장되지 않은 위치로 귀환할 수 있는 그러한 탄성재료로 제조되어야 한다. 가열된 베이스에서 PWB를 분리하는 그리드로써 사용된 와이어 스크린은 스페이서(13)의 배출구(18)로 접근하지 못하게 멤브레인을 보호한다. 각 조립체의 경화작동중에 경화시간은 30초 내지 60분으로서 평균 2내지 4분이었다.Pressure is applied to the assembly on the base by a flexible extensible membrane 14 disposed over the space formed as the base 12 and the spacer 13. The pressure exerted on the membrane 14 by the fluid extends the membrane 14 and forces it into mating contact with the package. The membrane must be able to stretch sufficiently to match under pressure to individual package dimensions, thus ensuring a uniform tangential application of the PWB. The membrane must be made of such an elastic material that can be returned to its original unextended position when the force exerted by the fluid is removed. The wire screen used as a grid to separate the PWB from the heated base protects the membrane from access to the outlet 18 of the spacer 13. During the curing operation of each assembly, the curing time ranged from 30 seconds to 60 minutes with an average of 2 to 4 minutes.

다양한 리드 또는 상호 연결부를 갖는 디바이스를 사용하여 상기 장치의 응용성을 시험하였다. 이 장치는 이중 리드식 분리 저항기, (50mil 피치의 납땜도포된 걸윙리드를 갖는 12개의 14-리드식 SOIC(Small Outline Integreted Circuit), 및 25mil 피치의 납땜 도포된 걸윙리드를 갖는 45개의 132-리드식 데이지 체인드(daisy-chained PQFP(Plastic Quad Flat Package)(총 3,148개의 상호 연결부)를 포함하였다.The applicability of the apparatus was tested using devices having various leads or interconnects. The device features a double-lead disconnect resistor, (12 14-lead Small Outline Integreted Circuits (SOIC) with soldered lead wings of 50 mil pitch, and 45 132-leads with solder coated gullwing leads of 25 mil pitch). A daisy-chained Plastic Quad Flat Package (PQFP) (3,148 total interconnects) was included.

사용된 PWB는 구리포일로 덮히고 납땜으로 도포된 유리섬유 강화 에폭시로 제조된 내화등급 4(FR-4)의 보드(board)였다.The PWB used was a board of refractory grade 4 (FR-4) made of glass fiber reinforced epoxy covered with copper foil and applied by soldering.

상술한 바와 같이 조립되고 경화된 저항기, SOIC및 PQFP는 단락과 상호 연결에 대해 시험하였다. 모든 패키지에서 유용한 상호 연결부의 100%의 조립수율이 관찰되었다. 유용한 상호 연결부는 이중리드식 저항기와 14리드식 SOIC에 대해서는 100mΩ보다 작은 저항값과, 132리드식 PQFP에 대해서는 각 16리드당 1Ω보다 작은 저항값을 가지는 상호 연결부로써 규정하였다. 인접한 리드와 패드 간에는 단락이 관찰되지 않았다.The resistors, SOIC and PQFP assembled and cured as described above were tested for shorts and interconnects. An assembly yield of 100% of the useful interconnects was observed in all packages. Useful interconnects are defined as interconnects with resistances less than 100mΩ for double-lead resistors and 14-lead SOICs, and resistance values less than 1Ω for each 16-lead for 132-lead PQFPs. No short circuit was observed between adjacent leads and pads.

본 발명은 PWB에서 가요성 평면 케이블(또는 케이블 피그테일)을 도전체에 접속하는데 사용될 수 있다. 예를들어 제8도 및 9도에 도시한 바와 같이, 접점(도시되지 않음)이 제공된 평면 케이블(17)의 단부는 PWB상에 증착된 애드콘에 의하여 PWB의 도전체(6)에 접속될 수 있다. 제8도에 단일 디바이스에 대한 그러한 접속이 도시되고, 제9도에는 케이블이 적어도 2개의 디바이스에 접속되어 있다. 케이블이 장치(11)의 외주를 지나갈 정도로 연장하는 길이를 가질 때 스페이서(13)에는 배출구(18)에 덧붙여 또는 그 대신에 기다란 구멍(22)이 제공되어서, 케이블이 구멍(22)을 통과하여 장치(11)를지나서 연장하도록 허용한다.The invention can be used to connect a flexible flat cable (or cable pigtail) to a conductor in a PWB. For example, as shown in FIGS. 8 and 9, the ends of the flat cable 17 provided with contacts (not shown) may be connected to the conductors 6 of the PWB by means of adcons deposited on the PWB. Can be. Such a connection to a single device is shown in FIG. 8 and in FIG. 9 a cable is connected to at least two devices. When the cable has a length that extends beyond the periphery of the device 11, the spacer 13 is provided with an elongated hole 22 in addition to or instead of the outlet 18, so that the cable passes through the hole 22. Allow to extend past the device (11).

Claims (21)

플라스틱 캡슐화 디바이스의 표면 장착용 장치에 있어서, 베이스를 구비하고, 스페이서는 상기 베이스의 주변부에 위치하여 베이스와 함께 공간을 규정하며, 이 공간에는 인쇄배선판과 전도성 접착제(애드콘)와, 이 애드콘을 경유하여 PWB상의 패드 또는 도전체에 전기전도식으로 상호 연결하게 될 리드 또는 패드를 갖는 적어도 하나의 디바이스와의 조립체가 배치되고, 탄력 신장성 멤브레인이 상기 공간을 둘러싸며 스페이서와 주변에서 결합하고, 강성 덮개는 멤브레인을 덮어씌우며 스페이서와 덮개의 주변 부위와의 사이에서 멤브레인을 주변에서 고정하고, 덮개와 멤브레인사이에서 가압 유체를 유입시키는 입구를 구비하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.A device for surface mounting of a plastic encapsulation device, comprising a base, the spacer being located at the periphery of the base to define a space with the base, the space having a printed wiring board and a conductive adhesive (adcon) and the adcon. An assembly with at least one device having leads or pads that will be electrically conductively interconnected to a pad or conductor on the PWB via a resilient, extensible membrane surrounds the space and engages with the spacer and the periphery And the rigid cover covers the membrane and secures the membrane between the spacer and the peripheral portion of the cover and has an inlet for introducing pressurized fluid between the cover and the membrane. Device. 제1항에 있어서, 가압 유체의 영향을 받아 장치의 부품이 분리되는 것을 방지하기 위한 고정 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.2. A surface mounting apparatus according to claim 1, wherein a fixing means is provided for preventing the parts of the apparatus from being separated under the influence of the pressurized fluid. 제2항에 있어서, 상기 고정수단은 멤브레인의 상단에서 인가된 압력을 받아 장치의 부품이 분리되는 것을 방지하기 위한 가압판을 갖는 프레스 장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면장착용장치.3. The surface mounting apparatus according to claim 2, wherein the fixing means comprises a press device having a pressure plate for preventing the parts of the device from being separated under the pressure applied at the top of the membrane. 제1항에 있어서, 유연한 탄성 멤브레인의 재료는 폴리실록산으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.The surface mounting apparatus of claim 1, wherein the material of the flexible elastic membrane is made of polysiloxane. 제1항에 있어서, 애드콘의 경화를 촉진하기 위하여 최소한 베이스를 가열하는 가열 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치2. A surface mounting apparatus according to claim 1, wherein heating means are provided for heating at least the base to promote curing of the adcon. 제1항에 있어서, 상기 가열 수단은 온도가 100내지 350℃의 범위에서 베이스를 가열하는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.The surface mounting apparatus according to claim 1, wherein the heating means heats the base at a temperature in the range of 100 to 350 ° C. 제6항에 있어서, 상기 온도는 약 125℃인 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.7. The surface mounting apparatus of claim 6, wherein the temperature is about 125 ° C. 제1항에 있어서, 온도가 30내지 350℃의 범위에서 덮개를 가열하는 가열 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 표면장착용 장치.The surface mounting apparatus according to claim 1, wherein heating means for heating the lid is provided at a temperature in the range of 30 to 350 캜. 제8항에 있어서, 상기 덮개 가열온도는 약 55℃인 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.The surface mounting apparatus of claim 8, wherein the lid heating temperature is about 55 ° C. 10. 제1항에 있어서, 유체는 5내지 500psi의 범위내에 속하는 압력을 받아서 공급되는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.The surface mounting apparatus of claim 1, wherein the fluid is supplied at a pressure in the range of 5 to 500 psi. 제10항에 있어서, 상기 압력을 5내지 25psi의 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.The surface mounting apparatus of claim 10, wherein the pressure is in the range of 5 to 25 psi. 제1항에 있어서, 상기 유체는 공기로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 장착용 장치.2. The surface mounting apparatus of claim 1, wherein the fluid consists of air. 도전성 리드 또는 패드를 갖는 적어도 하나의 디바이스를 인쇄 배선판에 표면 장착하는 방법에 있어서, PWB상의 도전체 패드 위에 전도성 접착제를 인가하는 단계와, 전도성 리드 또를 패드를 갖는 적어도 하나의 디바이스를 애드콘과 접촉하도록 만들어 상기 디바이스의 리드 또는 패드를 PWB상의 도전체 패드와 정렬된 일치 상태로 조립하는 단계와, 상기 조립체를 베이스 및 스페이서로 구성되는 공간내에 배치하는 단계와, 상기 공간을 탄력 신장성 재료의 멤브레인으로 둘러싸는 단계와, 상기 멤브레인을 신장시켜서 적어도 하나의 디바이스와 정합 접촉을 하도록 힘을 가하기 위하여 멤브레인의 상단에서 균일하게 분포된 유압을 인가하는 단계와, 디바이스와 PWB에서 도전체를 전기 전도성 상호 연결상태로 유지하기 위하여 애드콘을 경화하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.A method of surface mounting at least one device having conductive leads or pads to a printed wiring board, the method comprising applying a conductive adhesive over a conductive pad on a PWB, and at least one device having a conductive lead or pad, wherein Contacting and assembling the leads or pads of the device in alignment with the conductor pads on the PWB, placing the assembly in a space consisting of a base and a spacer, and placing the space in a resilient stretchable material Enclosing the membrane, applying an evenly distributed hydraulic pressure at the top of the membrane to stretch the membrane to force the mating contact with the at least one device, and electrically conducting conductors in the device and the PWB. Curing adcon to keep connected Surface mounting method comprising the system. 제13항에 있어서, 상기 멤브레인은 폴리실록산으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.The method of claim 13, wherein the membrane consists of polysiloxane. 제13항에 있어서, 상기 경화는 조립체를 가열함에 의하여 촉진되는 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.The method of claim 13, wherein the curing is facilitated by heating the assembly. 제15항에 있어서, 상기 가열은 온도 100내지 350℃의 범위에서 바닥에서부터 조립체를 가열함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.The surface mounting method of claim 15, wherein the heating is performed by heating the assembly from the bottom in a temperature range of 100 to 350 ° C. 16. 제16항에 있어서, 상기 온도는 약 125℃인 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.The method of claim 16, wherein the temperature is about 125 ° C. 18. 제15항에 있어서, 상기 가열은 온도 30내지 350℃의 범위에서 위에서부터 조립체를 가열함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.The method of claim 15, wherein the heating is performed by heating the assembly from above in the range of temperature 30 to 350 ° C. 16. 제18항에 있어서, 상기 온도는 약55℃인 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.19. The method of claim 18, wherein the temperature is about 55 ° C. 제13항에 있어서, 상기 유압은 5내지 500psi의 범위내에 속하는 압력으로 인가되는 것을 특징으로 하는 표면 장착방버.The surface mount chamber of claim 13, wherein the hydraulic pressure is applied at a pressure within a range of 5 to 500 psi. 제20항에 있어서, 상기 압력은 5내지 25psi의 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 표면 장착방법.21. The method of claim 20, wherein said pressure is in the range of 5 to 25 psi.
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