KR0163484B1 - 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원 - Google Patents

전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원 Download PDF

Info

Publication number
KR0163484B1
KR0163484B1 KR1019950012734A KR19950012734A KR0163484B1 KR 0163484 B1 KR0163484 B1 KR 0163484B1 KR 1019950012734 A KR1019950012734 A KR 1019950012734A KR 19950012734 A KR19950012734 A KR 19950012734A KR 0163484 B1 KR0163484 B1 KR 0163484B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light source
liquid crystal
crystal display
field emission
back light
Prior art date
Application number
KR1019950012734A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960042146A (ko
Inventor
최정옥
김한
정효수
Original Assignee
김준성
사단법인고등기술연구원 연구조합
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김준성, 사단법인고등기술연구원 연구조합 filed Critical 김준성
Priority to KR1019950012734A priority Critical patent/KR0163484B1/ko
Priority to JP8127159A priority patent/JPH09166782A/ja
Publication of KR960042146A publication Critical patent/KR960042146A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0163484B1 publication Critical patent/KR0163484B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/1336Illuminating devices
    • G02F1/133602Direct backlight
    • G02F1/133604Direct backlight with lamps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/304Field-emissive cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/025Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30Cold cathodes
    • H01J2201/304Field emission cathodes
    • H01J2201/30446Field emission cathodes characterised by the emitter material
    • H01J2201/30453Carbon types
    • H01J2201/30457Diamond

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Planar Illumination Modules (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 전계 방출 소자를 이용한 액정 표시 소자(LCD)용 배면광원은 종래의 선형광원의 형광램프를 사용하여 면광원화하는 대신 평면 초박형의 전계 방출형 발광소자를 사용한 배면광원으로써, 종래 기술의 면광원화 과정이 불필요하게 되고, 대면적화가 용이해지며, 광이용율과 휘도의 균일도가 개선된 배면 광원을 제공한다.

Description

전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원
제1a도는 종래의 배면 광원의 구조를 나타낸 정단면도.
제1b도는 종래 배면광원의 구조에서 확산판을 잘라 드러낸 모양의 사시도.
제2a도는 본 발명에 따른 전계 방출 소자를 이용한 배면광원의 구조를 나타낸 사시도.
제2b도는 상기 제2a도에서 점선으로 이루어진 □ABCD를 확대하여 나타낸 부분확대도.
제2c도는 상기 제2a도에서 점선으로 이루어진 □EFGH를 확대하여 나타낸 부분확대도.
제3도는 본 발명에 따른 전계 방출 소자를 이용한 배면광원의 게이트 전극 및 조절전극과 하부전극에 전압을 인가했을 때를 나타낸 정단면도.
제4도는 본 발명에 따른 전계 방출 소자를 이용한 배면광원에 부가적으로 반사판을 갖는 배면광원을 나타낸 정단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 형광램프 2 : 반사판
3 : 도광판 4 : 확산판
5 : 기판 6 : 하부전극
7 : 팁 에미터 8 : 절연체
9 : 게이트 전극 10 : 형광체
11 : 조절전극 12 : 투명판
12 : 스페이서 14 : 전원공급장치
본 발명은 전계 방출 소자를 이용한 액정 표시소자(LCD)용 배면광원에 관한 것으로, 특히 종래의 선형 형광램프를 대치하여 평면초박형의 전계 방출형 발광소자를 사용한 배면광원에 관한 것이다.
종래의 박막 트랜지스터 액정 표시소자(TFT LCD)는 액정 셀 내부에 색필터를 배치하고 배면광원 유니트로부터 필터를 통하여 선택된 적색, 청 색, 녹색광의 투과율을 제어함으로써 색을 재현시켰다. 이때의 색도는 배면광원의 스펙트럼에 의존되며 유니트의 균일한 휘도분포가 요구된다. 따라서 종래의 배면광원에서는 직경 수mm의 직관, U자관, W자관의 형광램프를 사용하여 기존 노트북 컴퓨터나 액정 TV등 박막 트랜지스터 액정 표시소자(TFT LCD) 탑재 표시 장치에 대응할 수 있도록 면광원화하고 있다. 이러한 선형광원의 형광램프를 사용하여 면광원화하는 종래 기술중의 하나로서 도광판(light pipe)을 이용한 방식이 있다.
상기 도광판 방식의 배면광원의 구조는 도광판 가장자리에 선형의 형광램프가 위치하고, 도광판 하부에는 반사판이 위치하고, 도광판 상부에는 확산판이 배치되어 있다. 상기 선형의 형광램프에서 방사된 빛의 일부는 상기 도광판을 따라서 도광되어 면광원을 형성한다. 이때 상기 도광판 표면의 한쪽 혹은 양쪽에서는 점 형태의 패턴이 형성되어 있어 광원에서부터의 거리에 따라 변화하는 광량을 일부 보상하는 기능을 하게되며, 상기 도광판 상부의 확산판에 의해 휘도를 보다 균일화하게 된다.
그러나, 상기 종래의 조광판 방식의 배면광원에서는 선광원을 면광원화하는 과정에서 본질적으로 광 손실이 크며, 휘도의 균일도가 낮다는 문제점이 있다. 또한 두께나 중량을 감소시키는데 구조적인 한계가 있다는 문제점도 있다.
따라서, 본 발명에서는 전계 방출 소자를 이용하여 액정 표시소자의 배면광원을 제조함으로써 휘도의 균일성을 높이고, 광손실을 줄이며, 휘도의 균일성과 광 이용도의 손해없이 박막화 및 대면적화가 용이하게 하고, 구조를 간단히 하고자 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 종래의 선형 형광램프를 대치하여 평면초박형의 전계 방출형 발광소자를 사용한 배면광원으로써, 투명판 일부분 이상의 상부에 배치된 조절전극 및 상기 조절전극 일부분 이상의 상부에 배치된 형광체로 이루어진 애노드와, 기판상의 일부분 이상의 상부 혹은 기판의 표면을 포함하는 기판의 소정부분에 형성된 하부전극과 팁형 에미터, 그리고 게이트 전극 및 하부전극과 게이트 전극을 전기적으로 절연시키면서 일정한 간격을 유지시켜주는 절연체로 이루어진 캐소드를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 캐소드 기판의 소정부분과 애노드 투명판의 소정 부분 사이에, 상기 캐소드와 애노드 간의 거리를 일정하게 유지시켜주는 스페이서를 부가적으로 배치하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면으로 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
제1a도 내지 제1b도는 종래의 도광판 방식의 배면광원을 나타낸 것으로써 제1a도는 도광판(3)의 가장자리에 형광램프(1)가 위치하고, 상기 도광판(3)하부에는 반사판(2)이 위치하며, 상기 도광판(3) 상부에는 확산판(4)이 배치되어 있는것을 나타낸 정단면도이고, 제1b도는 상기 제1도에 도시된 확산판(4)을 잘라서 약간 들어낸 것을 나타낸 사시도이다. 상기의 도광판 방식의 배면광원은 선형의 형광램프(1)에서 방사된 빛의 일부가 도광판(3)을 따라서 도광되어 면광원을 형성하고, 도광판(3)의 표면 한쪽 혹은 양쪽에는 점 형태의 패턴이 형성되어 있어 광원에서부터의 거리에 따라 변화하는 광량을 보상하게 되며, 상기 도광판(3) 상부의 확산판(4)은 휘도를 보다 균일화하게 한다.
다음으로 제2a도 내지 제2c도는 본 발명에 따른 전계 방출 소자를 이용한 배면광원의 구조를 나타낸 것으로써, 제2a도는 전계 방출 소자를 이용한 배면광원의 구조를 나타낸 사시도이다. 상기 배면광원의 구조는 캐소드(cathode) 부분과 애노드(anode) 부분으로 나뉘어 진다. 캐소드 부분은 기판(5) 상부에 배치된 하부전극(6)과 상기 하부전극(6) 상부의 소정부분에 형성되어 있는 하나이상의 팁 메미터(7)와 게이트 전극(9) 및 하부전극(6)과 게이트 전극을 전기적으로 절연시키면서 일정한 간격을 유지시켜주는 절연체(8)로 구성되며, 애노드 부분은 투명판(12) 상부에 배치된 조절전극(11)과 형광체(10)로 구성되어 있다. 상기 캐소드와 애노드는 서로 배면하여 수 내지 수백 ㎛ 정도의 간격을 형성하게 된다.
또한 상기 애노드와 상기 캐소드 간에 일정한 거리를 유지하기 위하여 애노드의 투명판(12)의 소정부위와 캐소드의 기판 상의 소정부분 사이에 부가적으로 스페이서(13, spacer)를 배치한 것을 나타낸 것이다. 상기의 스페이서(13)의 재료로써 금속 혹은 폴리이미드를 사용한다.
상기 하부전극(6)의 재료로서 두께 수천 Å의 금속 혹은 실리콘이 사용될 수 있으며, 이 금속 박막은 스퍼터링 혹은 진공증착에 의해 형성된다. 상기 에미터(7)는 원뿔 혹은 피라미드 모양의 팁형태이며, 전자방출 특성은 팁의 날카로움에 의존하게 된다. 또한 팁이 날카로울수록 팁 부근에 전기장이 집중되어 전자방출이 용이해진다. 상기 마이크로미터(㎛) 정도의 마이크로 팁은 주로 전자 빔 증착기를 이용한 금속의 경사증착법이나 실리콘 단결정의 등방성 또는 비등방성 식각에 의해 제조할 수 있다. 또한 팁 에미터의 또다른 재료로는 부(-)의 전자친화력 혹은 낮은 일함수를 나타내는 다이나몬드 박막을 이용할 수 있다. 여기서 다이아몬드 박막이라 함은 플라즈마 CVD등의 화학증착법, 스퍼터링이나 이온빔 증착등의 물리증착법 및 레이져 어블레이션 방법 등에 의해 합성된 다이아몬드 박막이나 다이아몬드상 탄소(Diamondlike Carbon)를 총칭하는 것으로 미세구조는 다결정(polycrystal)이나 비정질(amorphous), 혹은 이들 결정질과 비정질이 혼재된 혼합물 일 수 있다. 또한 여기서 다이아몬드 박막이라 함은 그 구성원소가 순수한 탄소만으로 구성된 것을 의미하는 것이 아니라 탄소를 주성분으로 하고 수소나 금속 혹은 반금속이 함유될 수 있다. 일반적으로 순수한 다이아몬드는 sp3결합 구조로 표시할 수 있으며 절연성인 반면에, 순수한 흑연은 sp2결함구조로 표시되며 분리전파를 갖기 때문에 전도성을 갖게 된다. 그러나 여기서 다이아몬드 박막이라 함은 탄소간의 결합이 순수한 sp3하이브리드 결합에 의한 것만을 의미하는 것이 아니며 sp2, sp1등의 결합이 혼합되어 있는 것을 나타낸다. 또한 상기 다이아몬드의 구성원소들의 성분비가 원자 %로 다음의 식: Cx-Hy-Mz (단, C는 탄소, H는 수소 M은 Cr, Mo, W, V, Nb, Ta, Ti, Zr, Hf등의 천이금속중의 적어도 하나이고, 60≤X≤100, 0≤Y≤40, 0≤Z≤40이고, X+Y+Z=100임)으로 구성된다.
또한 상기 조절전극(11) 재료로서는 가시광선 영역에서 투명한 ITO 박막이며, 이 ITO 박막은 역시 투명한 유리등과 같은 투명판 위에 형성되어 있고, 조절전극 상에는 형광체가 배치되어 있다.
다음으로 제2b도는 상기 제2a도 측면의 표시된 □ABCD를 확대하여 나타낸 것으로, 애노드 부분과 캐소드 부분을 확대하여 나타낸 것이고, 제2c도는 상기 제2a도의 에미터에 표시된 □EFGH를 확대하여 나타낸 것으로 캐소드와 애노드 사이에 놓일 스페이서(13)의 위치를 나타낸 확대도이다.
다음으로 제3도는 상기 제2b도에 도시된 상기 캐소드의 하부전극(6)과, 캐소드의 게이트전극(9) 사이에 전원공급장치(14)로 부터 전압을 인가하여, 팁 에미터(7)의 표면에서 다량의 전자가 방출되는 것을 나타낸 것이다. 상기 팁 에미터(7)에서 방출된 전자는 보다 큰 전압이 인가된 조절전극(11)을 향하여 가속되고, 가속된 전자는 형광체(10)와 충돌하여 형광체(10)를 여기시켜 빛을 방출하게 된다. 이때 방출된 빛은 휘도가 균일한 평면 광원이 된다.
다음으로 제4도는 본 발명에 따른 제2a도에 도시된 배면광원에 부가적으로 반사판(2)을 형성한 것을 나타낸 것으로 이 반사판은 휘도를 향상시킬 수 있고, 상기 반사판의 재료로는 알루미늄(Al)막등을 사용한다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 전계 방출 소자를 이용한 액정 표시소자(LCD)용 배면광원은 종래의 기술에 비해 휘도의 균일성이 높고, 광손실이 적으며, 휘도의 균일성과 광이용율의 손해없이 박막화 및 대면적화가 용이하고, 구조가 간단하다.

Claims (9)

  1. 투명판의 상부에 형성된 조절전극과, 상기 조절전극의 상부에 형성된 형광체로 이루어진 애노드와; 기판의 소정부분에 형성된 하부전극과, 상기 하부전극 상부의 소정부분에 형성되어 있는 하나 이상의 팁 에미터와, 상기 하부전극 상부의 게이트 전극과, 하부전극과 게이트 전극을 전기적으로 절연시키면서 일정한 간격을 유지시켜주는 절연체로 이루어져, 하부전극과 게이트전극에 전압을 인가했을 때 일부분 이상의 상부에서 전자를 방출시키는 팁 에미터로 이루어진 캐소드를 포함하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  2. 제1항에 있어서, 상기 캐소드의 소정부분과 애노드의 소정부분 사이에 상기 캐소드와 애노드간의 거리를 일정하게 유지시켜주는 스페이서를 배치하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  3. 제1항에 있어서, 상기 팁 에미터로써 다이아몬드를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  4. 제3항에 있어서, 상기 다이아몬드로써 플라즈마 화학 기상 증착법, 스퍼터링 또는 이온빔 증착의 방법을 이용하여 형성되는 다결정 다이아몬드를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  5. 제3항에 있어서, 상기 다이아몬드로써 플라즈마 화학 기상 증착법 , 스퍼터링 또는 이온빔 증착의 방법을 이용하여 형성되는 비정질 다이아몬드를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  6. 제3항에 있어서, 상기 다이아몬드로써 , 레이저 어블레이션(laser ablation)을 이용하여 형성된 비정질, 비정질과 결정질의 혼상 또는 천이금속이 함유된 다이아몬드를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  7. 제3항에 있어서, 상기 다이아몬드로써, 구성원소들의 성분비가 원자 %로 다음의 식 : Cx-Hy-Mz (단, C는 탄소, H는 수소 M은 Cr, Mo, W ,V , Nb, Ta, Ti, Zr, Hf등의 천이금속중의 적어도 하나이고, 60≤X≤100, 0≤Y≤40, 0≤Z≤40이고, X+Y+Z=100임)으로 구성되는 다이아몬드를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  8. 제1항에 있어서, 상기 투명판의 재료로써 유리를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
  9. 제1항에 있어서, 상기 배면광원에 부가적으로 형광체 하부에 배치되어 그 기능중의 일부가 휘도를 향상시키는 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원.
KR1019950012734A 1995-05-22 1995-05-22 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원 KR0163484B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950012734A KR0163484B1 (ko) 1995-05-22 1995-05-22 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원
JP8127159A JPH09166782A (ja) 1995-05-22 1996-05-22 電界放出型表示素子のバックライトを持つ液晶表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950012734A KR0163484B1 (ko) 1995-05-22 1995-05-22 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960042146A KR960042146A (ko) 1996-12-21
KR0163484B1 true KR0163484B1 (ko) 1999-01-15

Family

ID=19415032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950012734A KR0163484B1 (ko) 1995-05-22 1995-05-22 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0163484B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100459076B1 (ko) * 2002-03-09 2004-12-03 주식회사 엘지이아이 발광 다이오드를 이용한 면 광원

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100286828B1 (ko) * 1996-09-18 2001-04-16 니시무로 타이죠 플랫패널표시장치
KR100437761B1 (ko) * 2001-04-19 2004-06-26 엘지전자 주식회사 에지 발광형 led를 이용한 면광원 및 그 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100459076B1 (ko) * 2002-03-09 2004-12-03 주식회사 엘지이아이 발광 다이오드를 이용한 면 광원

Also Published As

Publication number Publication date
KR960042146A (ko) 1996-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5926239A (en) Backlights for color liquid crystal displays
US6590320B1 (en) Thin-film planar edge-emitter field emission flat panel display
US6646282B1 (en) Field emission display device
EP1814141B1 (en) Electron emission device, backlight unit (BLU) including the electron emission device, flat display apparatus including the BLU, and method of driving the electron emission device
US20070046165A1 (en) Pixel structure for an edge-emitter field-emission display
US6815877B2 (en) Field emission display device with gradient distribution of electrical resistivity
US6825607B2 (en) Field emission display device
US7646142B2 (en) Field emission device (FED) having cathode aperture to improve electron beam focus and its method of manufacture
US20080024048A1 (en) Field Emission Devices
US6838814B2 (en) Field emission display device
US6750617B2 (en) Field emission display device
KR0163484B1 (ko) 전계 방출 소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원
US7160169B2 (en) Method of forming carbon nanotube emitters and field emission display (FED) including such emitters
US6750616B2 (en) Field emission display device
KR0163482B1 (ko) 전계 방출형 발광소자를 이용한 액정 디스플레이용 배면광원
US7701127B2 (en) Field emission backlight unit
JPH09166782A (ja) 電界放出型表示素子のバックライトを持つ液晶表示装置
US6504311B1 (en) Cold-cathode cathodoluminescent lamp
KR100623097B1 (ko) 이중 에미터의 3극 구조를 갖는 전계 방출 장치
CN100561660C (zh) 一种场发射光源及使用该光源的背光模组
EP1890320A2 (en) Light emission device and display device using the light emission device as light source
TWI284342B (en) FED having polycrystalline silicon film emitters and method of fabricating polycrystalline silicon film emitters
KR200158939Y1 (ko) Fed장치용 집속 게이트
JPH09320497A (ja) 電界放出型表示装置
JP2000155537A (ja) 強誘電体冷陰極装置および平面表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20020906

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee