KR0161109B1 - 박막 자기헤드 - Google Patents

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이형도
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Abstract

이 발명은 박막 자기헤드에 관한 것으로서, 종래의 박막 자기헤드보다 두께를 줄이고 박리현상을 제거하기 위하여, AlTiC계의 페라이트 기판의 측면을 기계적 가공에 의해 소정 두께의 단차가 지도록 형성하고, 상기 기판상에 재차 NiF계 또는 FeN계의 자성물질로 된 제1자기 언더 폴층의 측면을 단차가 지도록 침적하며, 상기 제1자기 언더 폴층상에 재차 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화탄탈(TiO2)등의 절연 산화물을 스퍼터링 등의 물리적 증착방법으로 증착하여 단차가 지도록 얇은 갭층으로 형성한 후, 상기 갭층 상부의 측면 에지부 및 그 전면에 원형돔 형태의 보호막들에 의해 둘러 쌓여지고 PR 마스크층의 내부에 제1코일막과 제2코일막이 서로 어긋나게 2중 구조로 형성한 초박형 박막 자기헤드에 관한 것이다.

Description

박막 자기헤드
제1도는 종래 기술에 따른 박막 자기헤드를 나타낸 단면도.
제2도는 이 발명에 따른 박막 자기헤드를 나타낸 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 페라이트 기판 2 : 제1자기 언더 폴층
3 : 갭층 4 : 제2자기 언더 폴층
5 : 보호막 6 : 제2코일막
7 : PR마스크층 8 : 보호막
9 : 제1코일막
이 발명은 박막 자기 헤드에 관한 것으로서, 특히, 보호막에 의해 감싸여지며 제1 및 제2코일막의 하부에 형성되는 갭층, 제1자기 언더 폴층 및 페라이트 기판에 측면 에지부에 단차를 주어 종래의 박막 자기 헤드 보다 두께를 얇게하여 초박형으로 제조할 수 있는 박막 자기헤드에 관한 것이다.
일반적으로, 기록매체로서 이용되는 하드디스크 드라이브의 기록밀도가 증가하고 슬립화됨에 따라 상기 기록매체에 기록된 데이타 신호를 기록하고 재생하기 위한 자기헤드 또한 초박형으로 제조되거나 2층 적층 구조에 의한 코일막을 형성시켜서 이에 대처하고 있는 실정에 있다.
제1도는 종래 기술에 따른 박막 자기헤드를 나타낸 단면도를 도시한 것으로서, AlTiC계의 페라이트계 기판(1)상에는 NiF계 또는 FeN계의 자성물질로 된 제1자기 언더 폴층(2)이 침적되어 있다. 또한, 상기 제1자기 언더 폴층(2)상에는 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화탄탈(TiO2)등의 절연 산화물이 스퍼터링 등의 물리적 증착방법으로 증착되어 얇은 갭층(3)을 형성하고 있다. 또한, 상기 갭층(3)의 상부에는 원형돔 형태의 보호막(5)(8)에 의해 둘러 쌓여지고 PR 마스크층(7)의 내부에 제1코일막(9)과 제2코일막(6)이 서로 어긋나게 2층 구조로 형성되어 있다. 또한, 상기한 구조의 전면에는 상기 코일막(6)(9)들에 의해 자로를 형성시켜 주는 제2자기 언더 폴층(4)이 전면 침적된 구조로 되어 있다.
이와 같이 형성된 종래의 박막 자기헤드는 기록매체의 고밀도화 추세에 따라 고품질의 초박형 자기헤드로 제조하는데 있어서 자기헤드의 두께(t1) 조절이 용이하지 않으므로 고밀도의 자기헤드로 제조할 수 없다는 단점이 있고, 보호막과 PR 마스크의 계면에서 박리현상이 발생되어 헤드의 품질을 저하시키는 문제점도 있다.
따라서 이 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이 발명의 특징은, 박막 자기헤드를 구성하는 페라이트 기판을 기계적 가공방법 및 식각등을 통하여 단차를 형성시킨 후, 이 기판상에 박막 자기헤드 구성 물질을 적층시킴으로써 초박형 자기헤드로 제조되는 박막 자기헤드를 제공함에 있다.
이 발명의 다른 목적은 갭층과 자기 언더 폴층과의 단차를 감소시켜 헤드 내부에 코일막의 적층수를 상당한 부분으로 증가시킬 수 있고, 계면에서의 박리 현상을 해결할 수 있도록 한 박막 자기헤드를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 이 발명에 따른 박막 자기헤드의 특징은, AlTiC계의 페라이트 기판의 측면을 기계적 가공에 의해 소정 두께의 단차가 지도록 형성하고, 상기 기판상에 재차 NiF계 또는 FeN계의 자성물질로 된 제1자기 언더 폴층의 측면을 단차가 지도록 침적하며, 상기 제1자기 언더 폴층상에 재차 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화탄탈(TiO2)등의 절연 산화물을 스퍼터링 등의 물리적 증착방법으로 증착하여 단차가 지도록 얇은 갭층으로 형성한 후, 상기 갭층 상부의 측면 에지부 및 그 전면에 원형돔 형태의 보호막들에 의해 둘러 쌓여지고 PR 마스크층의 내부에 제1코일막과 제2코일막이 서로 어긋나게 2중 구조로 형성된 점에 있다.
이하, 이 발명에 따른 박막 자기헤드의 바람직한 하나의 실시예를 첨부도면에 의하여 상세히 설명한다.
제2도는 이 발명에 따른 박막 자기헤드를 나타낸 단면도이다.
제2도를 참조하면, AlTiC계의 페라이트 기판(1)은 그 측면 에지부를 명목 모양으로 기계적으로 가공하여 1∼500㎛ 두께로 형성하고, 상기 기판(1)상에는 NiF계 또는 FeN계의 자성물질로 된 제1자기 언더 폴층(2)이 상기 기판(1)의 측면 에지부를 따라 단차가 지도록 침적되어 있다.
또한, 상기 제1자기 언더 폴층(2)상에는 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화탄탈(TiO2) 등의 절연 산화물이 스퍼터링 등의 물리적 증착방법으로 증착되어 그 측면부에 명목 모양의 단차가 지도록 얇은 갭층(3)이 형성되어 있다.
또한, 상기와 같은 구조의 갭층(3)의 상부에는 원형돔 형태의 보호막(5)(8)에 의해 둘러 쌓여지고 PR 마스크층(7)의 내부에 제1코일막(9)과 제2코일막(6)이 서로 어긋나게 2중 구조로 형성되어 있다.
또한, 상기한 구조의 상부에는 상기 코일막(6)(9)들에 의해 자로를 형성시켜 주는 제2자기 언더 폴층(4)이 전면 침적된 구조로 되어 있다.
이와 같이 형성된 이 발명에 따른 박막 자기헤드는 기록매체의 고밀도화 추세에 따라 고품질의 초박형 자기헤드로 제조할 수 있고, 자기헤드의 두께(t2) 조절이 종래 보다 t1t2 만큼 용이하게 되어 고밀도의 자기헤드로 제조할 수 있으며, 명목 모양의 단차에 의해 보호막과 PR 마스크의 계면에서 박리현상이 발생되는 것을 방지하여 헤드의 품질을 향상시킬 수 있다.
이상에서와 같이 이 발명에 따른 박막 자기헤드에 의하면, AlTiC계의 페라이트 기판의 측면을 기계적 가공에 의해 소정 두께의 단차가 지도록 형성하고, 상기 기판상에 재차 NiF계 또는 FeN계의 자성물질로 된 제1자기 언더 폴층의 측면을 단차가 지도록 침적하며, 상기 제1자기 언더 폴층상에 재차 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화탄탈(TiO2)등의 절연 산화물을 스퍼터링 등의 물리적 증착방법으로 증착하여 단차가 지도록 얇은 갭층으로 형성한 후, 상기 갭층 상부의 측면 에지부 및 그 전면에 원형돔 형태의 보호막들에 의해 둘러 쌓여지고 PR 마스크층의 내부에 제1코일막과 제2코일막이 서로 어긋나게 2중 구조로 형성함으로써 초박형 박막 자기헤드를 얻을 수 있다.
따라서 이 발명에 따른 박막 자기헤드는, 박막 자기헤드를 구성하는 페라이트 기판을 기계적 가공방법 및 식각등을 통하여 단차를 형성시킨 후, 이 기판상에 박막 자기헤드 구성 물질을 적층시킴으로써 초박형 자기헤드로 제조할 수 있고, 갭층과 자기 언더 폴층과의 단차를 감소시켜 헤드 내부의 코일막의 적층수를 상당한 부분으로 증가시킬 수 있으며, 계면에서의 박리 현상을 해결할 수 있는 등의 이점이 있다.
또한, 이 발명의 박막 자기헤드는 PR 마스크층내에 형성되는 코일막들의 적층수를 줄여진 두께만큼 증가시켜 헤드의 높은 출력 특성을 얻을 수 있으며, 동일 권선수에서 수평으로의 선폭 공차를 여유롭게 가져갈 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

  1. AlTiC계의 페라이트 기판의 측면을 기계적 가공에 의해 소정 두께의 단차가 지도록 형성하고, 상기 기판상에 재차 NiF계 또는 FeN계의 자성물질로 된 제1자기 언더 폴층의 측면을 단차가 지도록 침적하며, 상기 제1자기 언더 폴층상에 재차 이산화실리콘(SiO2), 알루미나(Al2O3), 오산화탄탈(TiO2)등의 절연 산화물을 스퍼터링 등의 물리적 증착방법으로 증착하여 단차가 지도록 얇은 갭층으로 형성한 후, 상기 갭층 상부의 측면 에지부 및 그 전면에 원형돔 형태의 보호막들에 의해 둘러 쌓여지고 PR 마스크층의 내부에 제1코일막과 제2코일막이 서로 어긋나게 2중 구조로 형성함을 특징으로 하는 박막 자기헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 페라이트 기판의 측면 단차는 1∼500㎛의 두께로 형성됨을 특징으로 하는 박막 자기헤드.
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