KR0157346B1 - Program protecting method for nonvolatile semiconductor memory - Google Patents

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술 분야;1. the technical field to which the invention described in the claims belongs;

불휘발성 반도체 메모리에 관한 것이다.A nonvolatile semiconductor memory.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제;2. The technical problem to be solved by the invention;

프로그램 방지시 오동작을 제거시킬수 있는 프로그램 방지 방법을 제공한다.Provides a program protection method that can eliminate malfunctions when a program is prevented.

3. 발명의 해결방법의 요지;3. Summary of the Solution of the Invention;

선택된 메모리 셀을 프로그램시키기 위해 선택된 워드라인에 프로그램 전압을 인가하고, 상기 선택된 워드라인에 접속된 프로그램 되지 않아야할 메모리 셀을 프로그램시키지 않기 위한 패스전압을 인가하고, 상기 패스전압을 인가하기 전에 상기 메모리 셀들의 프리차아지시키기 위한 프리차이자전압을 인가하고, 상기 선택된 메모리 셀의 비트라인에는 접지전원을 인가하고, 상기 비선택된 메모리 셀의 비트라인에는 전원전압을 인가함을 특징으로 하는 프로그램 방지 방법을 구비한다.Applying a program voltage to a selected word line to program a selected memory cell, applying a pass voltage for not programming a memory cell that should not be programmed to be connected to the selected word line, and before applying the pass voltage Applying a pre-charge voltage for precharging cells, applying ground power to bit lines of the selected memory cells, and applying power voltages to bit lines of the unselected memory cells. It is provided.

4. 발명의 중요한 용도;4. Significant use of the invention;

불휘발성 반도체 메모리에 적합하게 사용된다.It is suitably used for nonvolatile semiconductor memory.

Description

불휘발성 반도체 메모리의 프로그램 방지방법Program Prevention Method of Nonvolatile Semiconductor Memory

제1도는 불휘발성 반도체 메모리의 개략적 회로도이다.1 is a schematic circuit diagram of a nonvolatile semiconductor memory.

제2도는 플로팅 게이트 모오스트랜지스터의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a floating gate MOS transistor.

제3도는 종래의 불휘발성 반도체 메모리와 본 발명에 의한 불휘발성 반도체 메모리의 패스전압 인가신호를 비교해 나타낸 것이다.3 shows a comparison of a pass voltage application signal between a conventional nonvolatile semiconductor memory and a nonvolatile semiconductor memory according to the present invention.

제4도는 종래의 불휘발성 반도체 메모리와 본 발명에 의한 불휘발성 반도체 메모리의 패스전압 인가에 의한 채널 포텐샬을 비교한 것이다.FIG. 4 compares the channel potential of the conventional nonvolatile semiconductor memory with the pass voltage of the nonvolatile semiconductor memory according to the present invention.

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 불휘발성 반도체 메모리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor memory devices, and more particularly to a nonvolatile semiconductor memory device that is electrically erasable and programmable.

최근의 컴퓨터 또는 마이크로 프로세서에 의해 제어되는 여러 장치들은 고밀도의 전기적으로 소거 및 프로그램 가능 불휘발성 반도체 메모리 장치(이하 EEPROM)의 개발을 요구하고 있다.Many devices controlled by modern computers or microprocessors require the development of high density electrically erasable and programmable nonvolatile semiconductor memory devices (hereinafter referred to as EEPROMs).

제1도는 낸드형 플래쉬 메모리의 메모리 셀 어레이를 나타낸 것이다.1 shows a memory cell array of NAND flash memory.

제1도를 참조하면, 플로팅 게이트 모오스트랜지스터(소오스, 드레인, 플로팅게이트 및 제어게이트를 가지는 모오스트랜지스터를 말함; 이하 메모리 트랜지스터라 칭함)들은 제1선택트랜지스터 ST1의 소오스와 제2선택트랜지스터 ST2의 드레인사이에 드레인-소오스 통로들이 직렬로 접속된 메모리 트랜지스터들 M1∼M8로 구성되어 있다. 상기 제1 및 제2선택트랜지스터들 ST1, ST2의 게이트들과 상기 메모리 트랜지스터들 M1∼M8의 제어 게이트들은 비트라인들 BL1∼BLn에 수직한 제1 및 제2선택하인 SL1, SL2와 워드라인들 WL1∼WL8에 각각 접속되어 있다. 그러므로 상기 메모리 트랜지스터들 M1∼M8은 상기 워드라인들 WL1∼WL8과 상기 비트라인들 BL1∼BLn사이의 교차점들에 각각 위치한다. 상기 제1선택트랜지스터들 ST1의 드레인들은 대응 비트라인들 BL1∼BLn과 각각 접속되고, 상기 제2선택트랜지스터들 ST2의 소오스들은 공통 소오스라인 CSL에 접속되어 있다. 결국 상기 메모리 셀 어레이는 메모리 셀들로 구성된다. 상기 메모리 셀들중 하나의 메모리 셀을 선택하여 프로그램시키고자 할 경우를 설명하는데 있어, 상기 비트라인들 BL∼BLn중 도면에 도시된 네 개의 비트라인 BL1∼BL4만을 가지고 설명할 것이다. 상기 선택된 메모리 셀이 상기 메모리 트랜지스터 M22라고 하면 상기 메모리 셀 M22의 채널영역으로부터 플로팅 게이트로 전자들이 터널링(Tunneling)할 수 있도록 상기 선택된 워드라인 WL2에 18∼20V 정도의 높은 프로그램 전압을 인가한다. 상기 프로그램 전압이 인가된 선택된 워드라인 WL2에 공통으로 접속되어 있으면서 소거된(Erased) 상태를 그대로 유지하거나, 프로그램이 완료된 비 선택 메모리 셀들 M12, M32, M42은 상기 높은 프로그램 전압이 인가되어도 더 이상 프로그램 되지 않도록 방지(Inhibit) 상태를 만들어 주어야 하는데 이러한 조건을 만족시키기 위해 상기 비 선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42에 접속된 비트라인들 BL1, BL3, BL4에는 전원전압 VCC을 인가하고 상기 선택된 비트라인 BL2에는 접지전원 VSS을 인가한다. 한편 상기 비선택된 워드라인들 WL1, WL3∼WL8에는 8V∼11V 정도의 패스전압을 인가하는데, 상기 패스전압은 상기 비선택된 비트라인 BL2에 인가된 포텐tif(Potential)이 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42의 소오스와 드레인에 충분히 전달될 수 있도록 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42의 문턱 전압(Threshold Voltage, 이하 Vt)보다 1V∼2V 정도 더 높게 상기 비선택된 워드라인들 WL1, WL3∼WL8에 인가되는 전압을 말한다. 그리고 좀 더 상세한 설명은 하기에 제2도를 참조하여 나타낼 것이다.Referring to FIG. 1, floating gate MOS transistors (referring to MOS transistors having a source, a drain, a floating gate, and a control gate; hereinafter referred to as memory transistors) are the source of the first selection transistor ST1 and the drain of the second selection transistor ST2. The drain-source passages are composed of memory transistors M1 to M8 connected in series. The gates of the first and second selection transistors ST1 and ST2 and the control gates of the memory transistors M1 to M8 are SL1 and SL2 and word lines under first and second selections perpendicular to the bit lines BL1 to BLn. It is connected to each of WL1 to WL8. Therefore, the memory transistors M1 to M8 are located at intersections between the word lines WL1 to WL8 and the bit lines BL1 to BLn, respectively. Drains of the first select transistors ST1 are connected to the corresponding bit lines BL1 to BLn, respectively, and sources of the second select transistors ST2 are connected to the common source line CSL. As a result, the memory cell array is composed of memory cells. A case in which one of the memory cells is to be selected and programmed will be described with only four bit lines BL1 to BL4 shown in the drawing among the bit lines BL to BLn. When the selected memory cell is referred to as the memory transistor M22, a high program voltage of about 18 to 20V is applied to the selected word line WL2 to allow electrons to tunnel from the channel region of the memory cell M22 to the floating gate. The non-selected memory cells M12, M32, and M42, which are commonly connected to the selected word line WL2 to which the program voltage is applied and remain erased, or whose program is completed, are no longer programmed even when the high program voltage is applied. In order to satisfy this condition, a power supply voltage VCC is applied to the bit lines BL1, BL3, and BL4 connected to the unselected memory cells M12, M32, and M42. Apply the ground power supply VSS. On the other hand, a pass voltage of about 8V to 11V is applied to the unselected word lines WL1 and WL3 to WL8, and the pass voltage is the non-selected memory cells M12 and the potential applied to the unselected bit line BL2. The unselected word lines WL1 and WL3 to 1V to 2V higher than the threshold voltages (Vt) of the unselected memory cells M12, M32 and M42 so as to be sufficiently delivered to the sources and drains of the M32 and M42. The voltage applied to WL8. A more detailed description will be presented with reference to FIG. 2 below.

제2도는 플로팅 게이트 모오스 트랜지스터에 대한 단면도이다.2 is a cross sectional view of a floating gate mode transistor.

제2도를 참조하면, 상기 플로팅 게이트 모오스 트랜지스터는 피형 기판(1)내에 고농도 도핑(Doping)되어 형성된 엔형 영역들(2,3)과 상기 엔형 영역들(2,3)사이에 형성된 채널 영역(4)과 상기 피형 기판(1)상에 형성된 플로팅 게이트(5)와 상기 플로팅 게이트(5)상에 형성된 제어 게이트(6)를 가진다.Referring to FIG. 2, the floating gate mode transistor includes a channel region formed between the N-type regions 2 and 3 and the N-type regions 2 and 3 formed by being heavily doped in the substrate 1. 4) and a floating gate 5 formed on the substrate 1 and a control gate 6 formed on the floating gate 5.

데이터를 원한는 메모리 셀에 프로그램을 시키기 위하여, 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42에 대한 상기 프로그램 방지동작이 잘 되어야 하는데 상기 프로그램 방지란 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42의 게이트에 공통으로 프로그램 전압이 인가되므로 상기 채널 영역(4)과 상기 플로팅 게이트(5)사이에 파울러 노다임(Fowler-Nordheim) 터널링이 발생할 수 있는 충분한 전압이 유기되지 않도록 해 주는 것이다. 이것은 상기 채널영역(4)의 포텐샬을 상기 패스전압에 의한 캐패시터 커플링(Capacitor Coupling)효과를 이용하여, 상기 채널 영역(4)과 상기 플로팅 게이트(5)사이의 전압차이를 줄여주어 프로그램을 방지할 수 있다. 또한 페이지 버퍼 구조를 갖는 기존의 낸드형 플래쉬 메모리 장치에서는 프로그램 동작을 수행할 때 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42에 대해서 상기한 프로그램 방지 동작을 적용하고 있는데, 이때 캐패시터 커플링 효과에 의해 채널 영역의 포텐샬이 증가되는 변화량이 작을 경우에는 충분한 프로그램 방지가 이루어지지 않게된다. 또한 프로그램 횟수가 증가됨에 따라 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42에 프로그램 전압에 스트레스(VPGM STRESS)가 증가되어 프로그램이 되지 않아야 할 메모리 셀이라도 프로그램 횟수가 증가되면 프로그램이 이루어지게 되어 오동작을 유발시킨다. 이 오동작의 원인을 제거하기 위해서는 패스전압을 높여주어 차아지 커플링 효과에 의한 채널 포텐샬의 증가를 크게하는 방법이 있으나 이 경우 패스전압에 의한 스트레스가 발생하므로 일정 수준 이상으로 패스 전압을 계속 증가시키기는 불가능하다는 문제점을 가진다.In order to program a memory cell that desires data, the program protection operation for the unselected memory cells M12, M32, and M42 should be performed well. The program protection is common to the gates of the unselected memory cells M12, M32, and M42. The program voltage is applied so that sufficient voltage for Fowler-Nordheim tunneling may not be induced between the channel region 4 and the floating gate 5. This reduces the voltage difference between the channel region 4 and the floating gate 5 by using the capacitor coupling effect of the potential of the channel region 4 by the pass voltage. can do. In addition, the conventional NAND type flash memory device having a page buffer structure applies the program protection operation to the unselected memory cells M12, M32, and M42 when performing a program operation. If the amount of change that increases the potential of the region is small, sufficient program protection will not be achieved. In addition, as the number of programs increases, a stress (VPGM STRESS) increases in program voltages in the non-selected memory cells M12, M32, and M42, and even if a memory cell that should not be programmed is programmed, the program is performed, causing a malfunction. Let's do it. To eliminate the cause of the malfunction, there is a method of increasing the channel potential by increasing the pass voltage by increasing the pass voltage, but in this case, the stress caused by the pass voltage causes the pass voltage to continue to increase above a certain level. Has the problem that it is impossible.

따라서 본 발명의 목적은 패스전압을 증가시키지 않고 프로그램 전압에 의한 스트레스를 줄이는 방법을 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for reducing stress caused by a program voltage without increasing the pass voltage.

본 발명의 다른 목적은 패스전압과 프로그램 전압이 인가되기 전에 채널 포텐샬을 일정 수준으로 미리 프리차아지 시켜 프로그램 방지시의 채널 포텐샬을 증가시키는 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of increasing channel potential during program prevention by precharging the channel potential to a predetermined level before the pass voltage and the program voltage are applied.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따르면, 선택된 메모리 셀을 프로그램시키기 위해 선택된 워드라인에 프로그램 전압을 인가하고, 상기 선택된 워드라인에 접속된 프로그램 되지 않아야할 메모리 셀을 프로그램시키지 않기 위한 패스전압을 인가하고, 상기 패스전압을 인가하기 전에 상기 메모리 셀들의 프리차아지시키기 위한 프리차이자전압을 인가하고, 상기 선택된 메모리 셀의 비트라인에는 접지전원을 인가하고, 상기 비선택된 메모리 셀의 비트라인에는 전원전압을 인가함을 특징으로 하는 프로그램 방지 방법을 가짐을 특징으로 한다.According to the inventive concept of the present invention, a program voltage is applied to a selected word line to program a selected memory cell, and a memory cell not to be programmed to be connected to the selected word line is programmed. Applying a pass voltage, applying a pre-charge voltage for precharging the memory cells before applying the pass voltage, applying ground power to the bit line of the selected memory cell, The bit line has a program prevention method characterized by applying a power supply voltage.

이하 본 발명의 바람직한 실시예들의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다.DETAILED DESCRIPTION A detailed description of preferred embodiments of the present invention will now be described with reference to the accompanying drawings.

도면들중 동일한 구성요소 및 부분들은 가능한한 어느곳에서든지 동일한 부호들을 나타내고 있음을 유의하여야 한다.It should be noted that like elements and parts in the figures represent the same numerals wherever possible.

본 발명은 낸드형 플래쉬 메모리의 셀 어레이를 나타낸 제1도를 통하여 설명될 것이다.The present invention will be explained with reference to FIG. 1, which shows a cell array of NAND flash memory.

제1도를 참조하여 상기 프로그램 방지방법을 적용시킬 때 발생하는 문제점을 요약하면, 상기 선택된 스트링(상기 공통 소오스 라인 CSL과 상기 제2선택 트랜지스터 ST2사이의 메모리 셀들을 말함)내의 비선택된 워드라인들 WL1, WL3∼WL8에 연결된 메모리 셀들이 온상태로 있을 대에 비하여 최종적인 채널 포텐샬이 낮아져 여러번의 프로그램을 반복 수행할 경우 높은 프로그램 전압에 의한 스트레스가 커져, 상기 비선택된 메모리 셀들 M12, M32, M42이 원하지 않는 프로그램 동작을 하게 된다는 것이다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 상기 패스전압과 상기 프로그램 전압이 인가되기 전에 메모리 셀들의 채널 포텐샬을 일정한 수준으로 프리차아지시켜 차아지 커플링 효과에 의해 채널 포텐샬이 더 많이 증가되도록 하였다. 이러한 방법은 상기 프로그램 전압과 패스전압이 인가되기 전에 비트 라인들 BL1∼BLn을 프리차아지시키기 위한 전압을 인가하는 것이다. 이러한 도면은 제3도에 도시되어 있다.Summarizing the problem occurring when the program prevention method is applied with reference to FIG. 1, unselected word lines in the selected string (refering to memory cells between the common source line CSL and the second selection transistor ST2). Compared to when the memory cells connected to WL1 and WL3 to WL8 are in an on state, the final channel potential is lowered, so that the stress caused by a high program voltage increases when a plurality of programs are repeatedly executed. This will cause unwanted program behavior. In order to solve this problem, the channel potential of the memory cells is precharged to a predetermined level before the pass voltage and the program voltage are applied, so that the channel potential is increased by the charge coupling effect. This method applies a voltage for precharging bit lines BL1 to BLn before the program voltage and the pass voltage are applied. This figure is shown in FIG.

제3도는 종래의 패스전압 인가신호와 본 발명에 의한 패스전압 인가하기 전에 인가되는 프리차아지 신호를 나타낸 것이다.3 shows a conventional pass voltage application signal and a precharge signal applied before the pass voltage application according to the present invention.

제3도를 참조하면, 상기 프리차아지 신호는 4∼8볼트사이의 전압값을 가진다.Referring to FIG. 3, the precharge signal has a voltage value between 4 and 8 volts.

제4도는 종래의 패스전압대 문턱전압과 본 발명에 의한 패스전압대 문턱전압사이의 차이점을 비교한 도면이다.4 is a diagram comparing the difference between the conventional pass voltage band threshold voltage and the pass voltage band threshold voltage according to the present invention.

도면을 참조하면, 낮은 패스전압에서 본 발명에 의한 낸드형 플래쉬 메모리가 높은 문턱전압을 가짐을 알 수 있다.Referring to the drawings, it can be seen that the NAND flash memory according to the present invention has a high threshold voltage at a low pass voltage.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 낸드형 플래쉬 메모리는 패스전압을 증가시키지 않고 프로그램 전압에 의한 스트레스를 줄일 수 있는 이점이 있다. 또한 프로그램 방지시 오동작 유발을 제거시킬 수 있는 이점을 가진다.As described above, the NAND flash memory according to the present invention has an advantage of reducing stress caused by the program voltage without increasing the pass voltage. In addition, there is an advantage that can eliminate the cause of malfunction when the program is prevented.

Claims (3)

메모리 셀들을 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 불휘발성 반도체 메모리의 비선택된 메모리 셀을 프로그램 방지시키기위한 방법에 있어서: 상기 선택된 워드라인에 접속된 프로그램 되지 않아야 할 메모리 셀을 프로그램시키지 않기 위하여 패스전압을 인가하기전에 상기 메모리 셀을 프리차아지시키기 위해 프리차아지 전압을 인가함을 특징으로 하는 프로그램 방지방법.CLAIMS 1. A method for programmatically erasing memory cells and programming-protecting non-selected memory cells of a nonvolatile semiconductor memory, the method comprising: applying a pass voltage so as not to program a memory cell that should not be connected to the selected word line; And applying a precharge voltage to precharge the memory cell before. 제1항에 있어서, 상기 패스전압은 8볼트에서 11볼트사이의 전압값을 가짐을 특징으로 하는 프로그램 방지 방법.The method of claim 1, wherein the pass voltage has a voltage value between 8 volts and 11 volts. 제1항에 있어서, 상기 프리차아지 전압은 4볼트에서 8볼트사이의 전압값을 가짐을 특징으로 하는 프로그램 방지 방법.The method of claim 1, wherein the precharge voltage has a voltage value between 4 volts and 8 volts.
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