KR0150695B1 - Package pusher of fabricaing semiconductor equipment - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 패키지 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 낱개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입할 때 패키지 걸림현상이 발생하면 이를 강제 진행시켜줄 수 있도록 된 패키지 푸셔에 관한 것으로서, 튜브의 선단초입부에 패키지의 걸림을 확인할 수 있는 검지수단을 구비하고, 이 검지수단으로부터 작동신호를 입력받아 튜브 선단초입부에 걸려져 있는 패키지를 강제삽입시킬 수 있는 푸셔수단을 갖춤으로써, 패키지 배출공정으로부터 연계되는 패키지 삽입공정이 원활하게 이루어질 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 푸셔를 제공하고자 한 것이다.The present invention relates to a package pusher that is capable of forcibly proceeding if a package jamming occurs when inserting a single package that has been trimmed / formed in a semiconductor package manufacturing process into a tube in a predetermined unit. The unit is provided with a detection means for checking a package jam, and a pusher means for inputting an operation signal from the detection means and forcibly inserting a package caught in the tube tip entry portion, thereby connecting from the package discharge process. An object of the present invention is to provide a package pusher for semiconductor manufacturing equipment that enables a package insertion process to be performed smoothly.
Description
도면은 본 발명의 패키지 푸셔를 나타내는 사시도로서,The figure is a perspective view which shows the package pusher of this invention,
(a)는 작동전 상태도.(a) is a state diagram before operation.
(b)는 작동후 상태도.(b) is a state diagram after operation.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 센서수단 12 : 힌지결합부10: sensor means 12: hinge coupling portion
14 : 링크푸셔 16 : 로드14: link pusher 16: rod
18 : 브라켓 20 : 실린더 구동수단18 bracket 20 cylinder driving means
22 : 구배접촉면 24 ; 힌지축22: gradient contact surface 24; Hinge shaft
26 : 핀 100 : 튜브26: pin 100: tube
110 : 슈트 120 : 슈트커버110: chute 120: chute cover
130 : 지지대 140 : 지지편130: support 140: support
150 : 슈트절개부150: chute incision
본 발명은 반도체 패키지 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 낱개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입할 때, 패키지 걸림현상이 발생하면 이를 강제 진행시켜줄 수 있도록 된 패키지 푸셔에 관한 것이다.The present invention relates to a package pusher that is capable of forcibly proceeding if a package jamming occurs when inserting individual packages that have been trimmed / formed in a semiconductor package manufacturing process into tubes in predetermined units.
일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 여러공정들을 필요로 하게 되고, 특히 패키징공정 중에는 트리밍/포밍머신을 사용하는 공정을 필요로 하게 된다. 여기에서 상하금형에 의한 여러 가지 작업 예를 들면, 댐바의 절단과 리드의 구부림을 위한 트리밍/포밍공정을 실시하게 된다.In general, manufacturing a semiconductor requires a number of processes, and in particular, during the packaging process, a process using a trimming / forming machine is required. Here, various operations by the upper and lower molds, for example, a trimming / forming process for cutting the dam bar and bending the lid are performed.
한편, 트리밍/포밍공정을 마친 각각의 패키지들은 패키지 배출부(OFF LOAD ER)로부터 경사진 자세로 설치되어 있는 슈트(CHUTE)를 따라 진행되면서 예컨대, 자체하중을 이용하여 자유낙하되면서 슈트의 하단부에 배치된 튜브내에 소정의 단위로 삽입장착된다.On the other hand, each of the packages after the trimming / forming process proceeds along the chute installed in an inclined position from the package LOAD ER and, for example, free fall using its own load, It is inserted and mounted in a predetermined unit in the arranged tube.
여기서, 상기 슈트의 하단배출부와 이곳에서부터 연장배치되는 튜브의 선단초입부 사이에는 튜브공급 및 배출수단이 갖는 허용작동오차 등을 감안하여 일정간격(G)을 두게 되는데, 이때 형성되는 간격으로 인해 패키지가 튜브내로 원활하게 진입되지 못하고 여기에 걸리게 되는 경우가 종종 있었으며, 이러한 패키지 걸림현상은 각각의 공정간의 연계작업성을 저해할 뿐만아니라 생산성 측면에서도 상당히 불리한 요인으로 작용하여 이에 대한 개선의 필요성을 갖고 있었다.Here, between the bottom discharge portion of the chute and the front end portion of the tube extending from there is a certain interval (G) in consideration of the allowable operating error of the tube supply and discharge means, etc., due to the interval formed Packages often could not be smoothly entered into the tube and caught therein, and this package jamming not only hampered the interoperability between the individual processes, but also acted as a significant disadvantage in terms of productivity, thus improving the need for improvement. Had.
따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 튜브의 선단초입부에 패키지의 걸림을 확인할 수 있는 검지수단을 구비하고, 이 검지수단으로부터 작동신호를 입력받아 튜브 선단초입부에 걸려져 있는 패키지를 강제삽입시킬 수 있는 푸셔수단을 갖춤으로, 패키지 배출공정으로부터 연계되는 패키지 삽입공정이 원활하게 이루어질 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 푸셔를 제공하는데 그 안출의 목적이 있는 것이다.Accordingly, the present invention has been made in view of such a point, and includes a detecting means for checking the jam of the package at the front end of the tube, and receives an operation signal from the detecting means and is caught in the front end of the tube. It is an object of the present invention to provide a package pusher of a semiconductor manufacturing equipment which has a pusher means capable of forcibly inserting a package in which the package is inserted, so that the package insertion process associated with the package discharge process can be performed smoothly.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 패키지 진행경로를 사이에 두고 양편에 각각 배치되면서 패키지의 걸림 상태를 검지할 수 있는 센서수단(10)과, 힌지결합부(12)를 회전중심축으로 하여 회전되는 동시에 그 상단부가 갖는 회전궤적은 패키지 진행경로와 중첩가능하게 되면서 패키지를 실질적으로 밀어줄 수 있는 링크푸셔(14)와, 로드(16)는 상기 링크푸셔(14)의 중간부에 핀결합수단을 갖춘 브라켓(18)을 매개로하여 연결되는 동시에 링크푸셔(14)의 운동범위를 제한해 주면서 이것(14)을 소정의 각도로 왕복회전운동시켜 줄 수 있는 실린더 구동수단(20)으로 구성되어 이루어진 것이다.The present invention is disposed on both sides with a package progress path between the sensor means 10 and the hinge coupling portion 12 is rotated to the center of rotation while detecting the jamming state of the package, and at the same time having the upper end The linkage pusher 14 is capable of substantially pushing the package while the rotational trajectory can be superimposed on the package progress path, and the rod 16 has a bracket 18 having a pin coupling means at an intermediate portion of the link pusher 14. It is made up of a cylinder drive means 20 that can be connected via a medium and at the same time limiting the range of motion of the link pusher 14, this 14 can be reciprocally rotated at a predetermined angle.
특히, 상기 링크푸셔(14)의 상단부에는 앞쪽을 향해 구배접촉면(22)이 형성되어 있어서, 패키지의 후면부에 완전밀착되면서 이곳을 효과적으로 가압할 수 있도록 되어 있다.In particular, the upper end of the link pusher 14 is formed with a gradient contact surface 22 toward the front, so that it can effectively press the place while being in close contact with the back of the package.
이를 좀 더 상세히 설명하면, 첨부도면은 본 발명에 따른 패키지 푸셔의 구성요소 및 설치상태를 나타내는 사시도이다. 여기서, 도면부호 10은 패키지의 걸림상태를 검지하는 센서수단이다.In more detail, the accompanying drawings are perspective views showing the components and installation state of the package pusher according to the present invention. Here, reference numeral 10 denotes a sensor means for detecting a jam state of the package.
상기 센서수단(10)은 발광센서(10a)와 수광센서(10b)로 구성되며, 튜브(100)의 선단초입부와 접하는 슈트(110)의 하단부에서 패키지의 진행경로를 사이에 두고 양편 예컨대, 상하측 또는 좌우측에 각각 위치되면서, 패키지의 걸림여부를 검지하고 이때의 검지신호를 후술하는 실린더 구동수단(20)으로 보내게 된다.The sensor means 10 is composed of a light emitting sensor (10a) and a light receiving sensor (10b), both sides, for example, between the traveling path of the package at the lower end of the chute 110 in contact with the front end of the tube 100 Located on the upper and lower sides or left and right sides, respectively, detecting whether the package is caught and sending the detection signal to the cylinder driving means 20 to be described later.
즉, 상기 발광센서(10a)와 수광센서(10b) 사이로 진행되는 패키지가 설정시간내에 이곳을 통과하게 되면 이때의 센서수단(10)은 정상적인 신호를 계속 발하게 되어 실린더 구동수단(20)에 정상신호를 보내게 되므로서, 후술하는 링크푸셔의 작동제한을 보장받을 수 있게 되며, 만일 패키지가 튜브내로 진입되지 못함에 따라 설정시간을 초과하여 양 센서(10a), (10b) 사이에 흐르는 광을 차단하게 되면, 이때의 센서수단(10)에 의한 검지신호는 실린더 구동수단(10)의 작동신호로써 입력될 수 있게 된다.That is, if the package that passes between the light emitting sensor 10a and the light receiving sensor 10b passes through this time within a set time, the sensor means 10 at this time continues to emit a normal signal, and thus a normal signal to the cylinder driving means 20. By sending a, it is possible to ensure the operation limitation of the link pusher to be described later, and if the package does not enter the tube to block the light flowing between both the sensors 10a, 10b in excess of the set time. If so, the detection signal by the sensor means 10 at this time can be input as the operation signal of the cylinder drive means (10).
이때, 상기 발광센서(10a)와 수광센서(10b)는 슈트(110)내의 좌우측이나 또는 슈트(110)와 슈트커버(120)간의 상하측에 각각 설치가능하게 되며, 링크푸셔(14)의 운동공간 확보를 위하여 슈트(110)내의 좌우측에 설치되는 것이 보다 바람직하다고 할 수 있다.In this case, the light emitting sensor 10a and the light receiving sensor 10b may be installed on the left and right sides of the chute 110 or above and below the chute 110 and the chute cover 120, respectively, and the movement of the link pusher 14 is performed. It may be said that it is more preferable to be installed on the left and right sides in the chute 110 to secure space.
또한, 도면부호 14는 링크푸셔를 나타낸다.Reference numeral 14 denotes a link pusher.
상기 링크푸셔(14)는 소정의 길이를 갖는 막대형상으로 하고 있으며, 슈트(110)의 하단배출부 아래쪽에서 수직으로 세워진 상태로 위치된다.The link pusher 14 has a rod shape having a predetermined length, and is positioned vertically under the lower end of the chute 110.
이러한 링크푸셔(14)의 하단부는 힌지축(24)을 통해 관통지지되어 자유롭게 회전가능하도록 된 힌지결합부(12)로 이루어져 있으며, 이때의 상기 힌지축(24)은 패키지 진행방향과 교차되는 방향을 따라 슈트(110)를 받치고 있는 지지대(130)상의 지지편(140)에 동시에 관통결합되므로서, 링크푸셔(14)는 하단부의 힌지결합부(12)를 중심으로 하여 전후 회전가능한 지지구조를 갖게 된다.The lower end of the link pusher 14 is composed of a hinge coupling portion 12 which is penetrated and supported by the hinge shaft 24 to be freely rotatable, wherein the hinge shaft 24 crosses the package traveling direction. Since the link pusher 14 is simultaneously penetrated by the support piece 140 on the support 130 supporting the chute 110, the link pusher 14 has a support structure rotatable back and forth around the hinge coupling part 12 of the lower end. Will have
이렇게 하단부의 힌지결합부(12)를 통한 지지구조를 갖도록 설치되는 링크푸셔(14)의 상단부는 슈트(110)상의 패키지 진행경로 윗쪽까지 위치될 수 있게 된다.Thus, the upper end of the link pusher 14 installed to have a supporting structure through the hinge coupling part 12 at the lower end may be located up to the package traveling path on the chute 110.
즉, 원호를 그리는 링크푸셔 상단부의 회전궤적과 패키지 진행경로는 중첩되는 구간을 가질 수 있게 된다.That is, the rotation trajectory of the upper end of the link pusher drawing the arc and the package progress path may have overlapping sections.
특히, 상기 상단부에는 푸셔 몸체의 길이방향에 대해 소정의 구배각을 갖는 구배접촉면(22)이 형성되어 있다. 이러한 구배접촉면(22)은 링크푸셔(14)가 운동하는 방향의 앞쪽을 향해 있게 되고, 따라서 이 구배접촉면(22)이 패키지의 후면을 밀착가압하면서 이때의 패키지를 튜브(100)내로 완전히 삽입시킨 상태로 튜브(100)의 선단초입부의 끝단면과 전면에 걸쳐 정확히 밀착가능하게 된다.In particular, the upper end portion is formed with a gradient contact surface 22 having a predetermined draft angle with respect to the longitudinal direction of the pusher body. The gradient contact surface 22 is directed toward the front of the direction in which the link pusher 14 moves, so that the gradient contact surface 22 presses the back of the package tightly and completely inserts the package into the tube 100. It is possible to be in close contact with the front end surface and the front end of the front end portion of the tube 100 in a state.
즉, 이 구배접촉면(22)은 링크푸셔(14)가 패키지 가압기능을 최대한 발휘할 수 있게 해준다.That is, the gradient contact surface 22 allows the link pusher 14 to exert the package pressing function to the maximum.
이와 같이 링크푸셔(14)의 상단부가 패키지를 가압할 수 있게 하기 위한 슈트절개부는 도면부호 150으로 표기된다.As such, the chute cutout for allowing the upper end of the link pusher 14 to pressurize the package is denoted by reference numeral 150.
이 슈트절개부(150)는 슈트(110)의 패키지 슬라이드면 폭 중앙을 따라가면서 소정의 넓이를 갖는 동시에 링크푸셔(14)의 운동구간을 포함하는 일정구간에 걸쳐서 형성되며, 이러한 슈트절개부(150)로 인해 링크푸셔(14)의 운동범위 확보가 가능하게 된다.The chute cutout 150 has a predetermined width along the center of the width of the package slide surface of the chute 110 and is formed over a predetermined section including the movement section of the link pusher 14. 150, it is possible to ensure the movement range of the link pusher (14).
또한, 도면부호 20은 실린더 구동수단, 18은 실린더 구동수단의 로드에 일체결합되는 브라켓이다.In addition, reference numeral 20 is a cylinder drive means, 18 is a bracket integrally coupled to the rod of the cylinder drive means.
상기 실린더 구동수단(20)은 클레비스형 실린더 예컨대, 후단 지지부위를 중심으로 요동가능한 실린더로서, 튜브(100)의 저부에서 수평으로 위치되며, 그 로드(16)는 뒤쪽을 향해 있게 된다.The cylinder drive means 20 is a clevis-type cylinder, for example a cylinder swingable about the rear end support, positioned horizontally at the bottom of the tube 100, with the rod 16 facing backwards.
이때의 로드(16)에는 핀결합수단을 구비한 브라켓(18)이 체결결합되고, 이것을 통하여 상기한 링크푸셔(14)에 연결된다. 즉, U자 형태로 이루어진 브라켓(18)의 양측판 안쪽에 링크푸셔(14)의 중간부가 삽입위치되고, 이것들이 함께 핀(26)으로 관통결합되므로서, 실린더 구동수단(20)과 링크푸셔(14)간의 연동구조가 이루어지게 된다.At this time, the rod 16 is fastened to the bracket 18 having a pin coupling means, it is connected to the link pusher 14 through this. That is, the intermediate portion of the link pusher 14 is inserted into the inside of both sides of the bracket 18 having a U-shape, these are penetrated together by the pin 26, the cylinder drive means 20 and the link pusher Interlocking structure between 14 is made.
이렇게 핀(26)을 통하여 상호 결합되어 있는 링크푸셔(14)와 브라켓(18)은 이때의 핀(26)과의 접촉면에 대해 상대적으로 슬라이드 접동 가능하게 되며, 이러한 핀결합구조는 실린더 구동수단(20)의 로드(16)가 갖는 직선운동 방향과 링크푸셔(14)가 갖는 회전운동방향의 차이에서 오는 작동간섭현상을 보상해 줄 수 있게 된다.The link pusher 14 and the bracket 18 coupled to each other through the pin 26 are slidable relative to the contact surface of the pin 26 at this time, and the pin coupling structure includes a cylinder driving means ( The operation interference caused by the difference between the linear motion direction of the rod 16 of the rod 20 and the rotational motion direction of the link pusher 14 can be compensated for.
따라서, 상기와 같이 구성된 본 발명의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Therefore, the operational effects of the present invention configured as described above are as follows.
트리밍/포밍공정을 완료한 패키지는 배출부로부터 튜브삽입공정으로 이송된다. 이때의 패키지는 경사진 슈트(110)에 의한 이송안내를 받으면서 미끄럼 자유낙하하게 되고, 스트립 형태로 진행되는 패키지를 소정의 단위로 끊어주는 스톱퍼(도시되지 않음)에 의한 진행단속을 받으면서 슈트(110)의 하단 배출부와 근접 배치되어 있는 튜브(100)의 안쪽부터 차례로 삽입장착되게 된다.After the trimming / forming process is completed, the package is transferred from the discharge part to the tube insertion process. At this time, the package falls freely while receiving the conveying guide by the inclined chute 110, and the chute 110 receives the interruption by the stopper (not shown) that breaks the package in the form of a strip in a predetermined unit. From the inner side of the tube 100 which is disposed in close proximity to the bottom discharge portion of the) will be inserted in order.
한편, 상기 튜브(100)의 선단초입부와 상기 슈트(110)의 하단배출부 사이에 형성되어 있는 간격(G)으로 인해 여기에 패키지가 걸려져서 튜브(100)측으로 진입되지 못하게 되는 경우, 이때의 패키지는 센서수단(10)의 발광센서(10a)와 수광센서(10b) 사이에 흐르는 광을 미리 세팅해 놓은 설정시간을 초과하면서 차단하게 되고, 이러한 센서수단(10)의 검지신호는 실린더 구동수단(20)의 작동신호로 이어지게 된다.On the other hand, due to the gap (G) formed between the front end portion of the tube 100 and the bottom discharge portion of the chute 110, the package is caught here, so that it is not possible to enter the tube 100 side, at this time The package of the sensor means 10 blocks the light flowing between the light emitting sensor 10a and the light receiving sensor 10b of the sensor means 10 over a preset time, and the detection signal of the sensor means 10 drives the cylinder. This leads to an actuation signal of the means 20.
계속해서, 센서수단(10)으로부터 패키지 걸림신호를 입력받은 실린더 구동수단(20)이 후진작동을 시작하게 되고, 이와 동시에 브라켓(18)을 포함하는 로드(16)가 당겨지면서 여기에 연결되어 있는 초기 위치상태(예컨대, 첨부도면(A)와 같이 링크푸셔의 상단부가 패키지 진행경로를 벋어나 있는 상태)의 링크푸셔(14)도 하단 힌지축(24)을 중심으로 회전되어 앞쪽으로 당겨지게 된다.Subsequently, the cylinder driving means 20 receiving the package locking signal from the sensor means 10 starts the reverse operation, and at the same time the rod 16 including the bracket 18 is pulled and connected thereto. The link pusher 14 in the initial position state (for example, the state in which the upper end of the link pusher is out of the package traveling path as in the attached drawing A) is also rotated about the lower hinge shaft 24 and pulled forward.
이렇게 회전되는 링크푸셔(14)의 상단부 특히, 구배접촉면(22)은 슈트(110)의 슈트절개부(150) 사이를 통과하면서 2~3개 단위로 연접정렬되어 있는 패키지들 중에서 가장 뒤쪽에 위치되는 패키지의 후면부를 가압하게 되므로서, 첨부도면(B)과 같이 이것을 포함한 그 앞쪽에 정렬되어 있는 패키지들까지 튜브(100) 내부로 강제삽입 가능하게 된다.The upper end of the link pusher 14 rotated in this way, in particular, the gradient contact surface 22 is located in the rearmost of the packages that are connected in two to three units while passing between the chute incision 150 of the chute 110. By pressing the rear portion of the package to be, it is possible to force the insertion into the tube 100 up to the packages that are aligned in front of it, such as the accompanying drawing (B).
한편, 이와 같이 링크푸셔(14)를 이용한 패키지의 삽입장착이 완료되면, 상기 센서수단(10)을 통한 순차제어에 의하여 실린더 구동수단(20)이 재차 전진작동되고, 이와함께 상기 링크푸셔(14)의 초기위치 복귀가 이루어지게 되어 계속적인 패키지의 진행을 가능하게 해준다.On the other hand, when the insertion and mounting of the package using the link pusher 14 is completed, the cylinder drive means 20 is further advanced by the sequential control through the sensor means 10, together with the link pusher 14 Return to the initial position allows for continued package progression.
이상에서와 같이 본 발명은 슈트와 튜브 사이에 걸려진 패키지를 튜브내부로 강제 삽입시켜줄 수 있는 패키지 푸셔를 제공함으로써, 작업흐름을 끊김없이 연속적으로 이어갈 수 있는 장점이 있으며, 이에 따른 튜브삽입공정의 효율화를 도모할 수 있는 효과가 있는 것이다.As described above, the present invention provides a package pusher capable of forcibly inserting a package caught between the chute and the tube into the tube, and thus has an advantage of continuing the work flow continuously without interruption. It is effective to aim at efficiency.
Claims (4)
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| KR1019950012207A KR0150695B1 (en) | 1995-05-17 | 1995-05-17 | Package pusher of fabricaing semiconductor equipment |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950012207A KR0150695B1 (en) | 1995-05-17 | 1995-05-17 | Package pusher of fabricaing semiconductor equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0150695B1 (en) |
-
1995
- 1995-05-17 KR KR1019950012207A patent/KR0150695B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960043079A (en) | 1996-12-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |