KR0149109B1 - Field emission display device and manufacturing method thereof - Google Patents
Field emission display device and manufacturing method thereofInfo
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Abstract
필드 에미션 디스플레이 소자 및 그 제조방법이 개시되었다. 필드 에미션 디스플레이의 진공 패키징시 진공 펌핑시간의 감소 및 진공도 저하 현상을 완화시키기 위해, 캐소드 기판에 다수의 구멍을 형성하고 상기 캐소드 기판의 저면에 홈이 형성된 보조 기판을 부착시켜 진공 펌핑과 실링을 함으로써 기체 유동의 컨덕턴스를 향상시킬 수 있다.Field emission display devices and methods for manufacturing the same have been disclosed. In order to reduce the vacuum pumping time and reduce the vacuum degree during the vacuum packaging of the field emission display, vacuum pumping and sealing is performed by forming a plurality of holes in the cathode substrate and attaching a grooved auxiliary substrate to the bottom of the cathode substrate. By doing so, the conductance of the gas flow can be improved.
Description
본 발명은 미세소자의 고진공 패키징 방법에 관한 것으로, 특히, 필드 에미션 디스플레이의 진공 펌핑시 캐소드 기판에 다수의 구멍을 형성하고, 상기 캐소드 기판의 저면에 진공 실링을 위한 홈이 형성된 보고 기판을 부착시켜, 미세소자내의 기체유동 컨덕턴스를 높여 펌핑시간을 크게 단축시킬 수 있는필드 에미션 디스플레이 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a high vacuum packaging method for micro devices, and more particularly, to form a plurality of holes in the cathode substrate during vacuum pumping of the field emission display, and to attach the report substrate having grooves for vacuum sealing to the bottom surface of the cathode substrate. The present invention relates to a field emission display device and a method of manufacturing the same, which can shorten the pumping time by increasing the gas flow conductance in a micro device.
일반적으로, 필드 에미션 디스플레이 소자에서 애노드 기판과 캐소드 기판의 간격을 유지시키는 지지대의 길이는 수십 내지 수백 미크론 정도가 적당하다. 플라즈마 디스플레이나 현재까지 알려진 필드 에미션 디스플레이의 진공패키징을 위한 진공 펌핑 방법은 애노드 기판 혹은 캐소드 기판의 어느 한쪽에 작은 구멍을 뚫어 그 곳에 배기용 튜브를 연결시켜 진공 펌핑 후 진공 실링을 한다. 그런데 필드 에미션 디스플레이에서 고화질의 영상을 얻기 위해서는 캐소드 기판과 애노드 기판 사이의 간격이 작아질수록 좋다. 그런데 두 기판간의 간격이 작아지게 되면, 진공 펌핑시 기체유동 컨덕턴스가 매우 나빠지게 되어 진공펌핑이 어려워져 결국 펌핑시간을 매우 길게 해야한다. 또한, 필드 에미션 디스플레이의 진공 펌핑에서, 기체유동 컨덕턴스(conductance)는 매우 중요하며, 필드 에미션 디스플레이의 화면이 수십인치 이상으로 커지게 되면, 기체유동 컨덕턴스가 매우 나빠져 종래의 방법으로는 소자내부를 10-6torr의 고진공으로 진공 펌핑하는 것이 불가능 항 수도 있다.In general, the length of the support for keeping the gap between the anode substrate and the cathode substrate in the field emission display device is suitable for several tens to several hundred microns. In the vacuum pumping method for vacuum packaging of plasma displays or field emission displays known to date, a small hole is formed in either the anode substrate or the cathode substrate, and an exhaust tube is connected thereto to perform vacuum sealing after vacuum pumping. However, in order to obtain a high quality image in a field emission display, the smaller the distance between the cathode substrate and the anode substrate is, the better. However, when the distance between the two substrates becomes smaller, the gas flow conductance becomes very bad during vacuum pumping, which makes the vacuum pumping difficult and eventually requires a long pumping time. In addition, in vacuum pumping of field emission displays, gas flow conductance is very important, and when the screen of the field emission display grows to several tens of inches or more, the gas flow conductance becomes very bad, and thus the device inside is conventionally used. It may be impossible to pump the vacuum to a high vacuum of 10 -6 torr.
따라서, 본 발명은 캐소드 기판에 다수의 구멍을 형성하고, 상기 캐소드 기판의 저면에 홈이 형성된 보조 기판을 부착시킨 구조를 제공함으로써, 필드 에미션 디스플레이에서 기체유동 컨덕턴스를 증가시키는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to increase the gas flow conductance in a field emission display by providing a structure in which a plurality of holes are formed in the cathode substrate, and an auxiliary substrate having a groove formed on the bottom surface of the cathode substrate is attached.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 표면에 형광체가 도포된 애노드 기판과, 표면에 에미터가 형성된 캐소드 기판과, 상기 애노드 기판과 캐소드 기판 사이를 공간으로 유지시키기 위한 지지대와, 상기 캐소드 기판 하부에 부착되어 기체유동 컨덕턴스를 크게 하기위한 홈이 형성된 보조 기판을 포함하는 필드 에미션 디스플레이 소자를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an anode substrate with a phosphor coated on the surface, a cathode substrate having an emitter formed on the surface, a support for maintaining a space between the anode substrate and the cathode substrate, and the lower portion of the cathode substrate Provided is a field emission display device comprising an auxiliary substrate having grooves formed thereon for increasing gas flow conductance.
또한, 본 발명은 표면에 형광체가 도포된 애노드 기판을 형성하는 단계와, 표면에 전자방출용 에미터가 형성된 캐소드 기판을 형성하는 단계와, 상기 캐소드 기판의 소정 위치에 다수의 구멍을 형성하는 단게와, 상기 애노드 기판과 캐소드 기판 사이를 공간으로 유지시키기 위해 지지대를 형성하는 단게와, 상기 캐소드 기판 저면에 부착되며, 홈이 형성되고, 배기용 튜브와 연결된 보조 기판을 형성하는 단계와, 밀봉제를 사용하여 상기 애노드 기판, 캐소드 기판 및 보조 기판을 배열하여 밀봉시켜 디스플레이 소자를 형성하는 단계와, 상기 보조 기판에 연결된 배기용 튜브를 통해 진공 펌핑 후 진공 실링하는 단계와, 상기 디스플레이 소자내부의 진공도를 높이기 위해 게터 처리를 하는 단계를 포함하는 필드 에미션 디스플레이 소자 형성 방법을 제공한다.In addition, the present invention comprises the steps of forming an anode substrate coated with a phosphor on the surface, forming a cathode substrate having an electron-emitting emitter formed on the surface, and forming a plurality of holes in a predetermined position of the cathode substrate And forming a support for maintaining a space between the anode substrate and the cathode substrate, and forming an auxiliary substrate attached to the bottom surface of the cathode substrate, having a groove, and connected to the exhaust tube. Arranging and sealing the anode substrate, the cathode substrate and the auxiliary substrate to form a display element, vacuum pumping and vacuum sealing through an exhaust tube connected to the auxiliary substrate, and vacuum degree inside the display element. A method of forming a field emission display device comprising the step of performing getter processing to increase the The.
본 발명은 공지된 종래의 방법에 의해 전극의 종류와 에미터의 구조에 제한을 두지 않고 필드 에미션 디스플레이를 제작할 수 있다.The present invention can produce a field emission display by limiting the type of the electrode and the structure of the emitter by a known conventional method.
제1도는 본 발명의 캐소드 기판에 보조 기판이 형성된 필드 에미션 디스플레이의 정단면도.1 is a front sectional view of a field emission display in which an auxiliary substrate is formed on a cathode substrate of the present invention.
제2도는 제1도의 필드 에미션 디스플레이의 구성요소 중 캐소드부의 평면도.2 is a plan view of the cathode portion of the components of the field emission display of FIG.
제3도는 제1도의 필드 에미션 디스플레이의 구성요소 중 보조 기판 부의 평면도.3 is a plan view of an auxiliary substrate portion of the components of the field emission display of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 애노드 기판 2 : 형광체1: anode substrate 2: phosphor
3 : 에미터 4 : 캐소드 기판3: emitter 4: cathode substrate
5 : 게터 6 : 지지대5: getter 6: support
6A : 받침대 7 : 밀봉제6A: Base 7: Sealant
8 : 내부구멍 9 : 배기용 튜브8: inside hole 9: exhaust tube
10 : 보조 기판 10A : 홈10: auxiliary substrate 10A: groove
11 : 종래의 진공 패키징부11: conventional vacuum packaging unit
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 필드 에미션 디스플레이 소자 및 그 제조방법을 더욱 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a field emission display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도1은 본 발명의 캐소드 기판(4)에 보조 기판이 부착된 필드 에미션 디스플레이의 정단면도이다. 필드 에미션 디스플레이이는 서로 상응하는 사각평판 형상의 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(4)으로 구성된다. 애노드 기판(1)에는 애노드 전극과 형광체가 도포되어 잇으며, 캐소드 기판(4)에는 전자를 방출하는 소자인 캐소드 전극과 에미터 등이 형성되어 있다. 필드 에미션 디스플레이는 캐소드 기판(4)의 에미터에서 전자가 방출되어 애노드 기판 상의 형광체를 충돌해서 나오는 빛을 이용하여 문자나 패턴을 표시한다.1 is a front sectional view of a field emission display in which an auxiliary substrate is attached to the cathode substrate 4 of the present invention. The field emission display is composed of an anode substrate 1 and a cathode substrate 4 having a rectangular flat plate shape corresponding to each other. An anode electrode and a phosphor are coated on the anode substrate 1, and a cathode electrode, an emitter, or the like, which is an element that emits electrons, is formed on the cathode substrate 4. Field emission displays display letters or patterns using light emitted from the emitter of the cathode substrate 4 and colliding with the phosphor on the anode substrate.
필드 에미션 디스플레이는 사용되는 전극의 종류에 따라서 3극형과 2극형 필드 에미션 디스플레이로 구분되며, 2극형은 애노드 전극과 캐소드 전극만 있으며, 3극형은 애노드 전극과 캐소드 전글 이외에 게이트 전극이 있다. 또한, 전자를 방출하는 에미터는 크게 두가지로 분류되는데, 즉 팁형 에미터와 박막형 에미터로 분류된다. 일반적으로 3극형에는 팁형 에미터가 사용되고 2극형에는 박막형 에미터가 사용된다.Field emission displays are classified into three-pole and two-pole field emission displays according to the type of electrode used. The two-pole type has only an anode electrode and a cathode electrode, and the three-pole type has a gate electrode in addition to the anode electrode and the cathode electrode. In addition, there are two types of emitters that emit electrons, namely, tip type emitters and thin film type emitters. In general, tip type emitters are used for the 3-pole type and thin film type emitters are used for the 2-pole type.
애노드 기판과 캐소드 기판(4)상에 상기의 소자들이 제작되면 진공 패키징을 하게 된다. 종래의 방법에 따르면, 진공 패키징은 애노드 기판과 캐소드 기판(4)사이에 스페이서를 설치해서 소정의 간격을 갖도록 한 후 상기 두 기판을 실링제를 사용해서 패널을 밀봉하는 공정을 거친다.When the above elements are fabricated on the anode substrate and the cathode substrate 4, vacuum packaging is performed. According to the conventional method, the vacuum packaging is provided with a spacer between the anode substrate and the cathode substrate 4 to have a predetermined interval, and then the two substrates are sealed using a sealing agent to seal the panel.
도1에 도시된 바와 같이 내부구멍(8)의 배열 및 보조 기판(10)의 사용이 종래의 방법과 근본적으로 다른 점이다. 즉, 종래의 방법은 도 1에서 도면부호(11)로 표시된 부분만 진공패키징을 하며, 캐소드 기판(4)의 가장자리 주위에 보통 한개의 구멍을 뚫어 그곳에 배기용 튜브를 직접 연결시켜 진공 펌핑 후 진공 실링을 한다. 그러나, 본 발명에 의하면, 도시된 바와 같이 캐소드 기판(4) 저면에, 캐소드 기판(4)에 대향하는 면에 홈(10A)이 형성된 보조 기판(10)을 덧붙여 캐소드 기판(4)에 내부구멍 (8)을 한개 이상 뚫어 기체의 유동을 자유롭게 한다. 여기서 보조 기판(10)에 파여진 홈(10A)의 깊이는 지지대(6)의 길이에 비해 훨씬 깊게 만들며, 배기용 튜브(9)를 통해 진공 펌핑을 할 때 기체 유동 컨덕턴스를 향상시키기 위해 보조 기판(10)은, 도1및 도3에 도시된 바와 같이 가능한 한 단순하게 만든다. 이때, 상기 캐소드 기판(4)의 기계적 안정성을 위해 보조 기판(10)의 중앙부에 하나 이상의 받침대(6A)를 형성시켜 캐소드 기판(4)을 지지하도록 할 수 있다. 또한, 도2에 도시된 바와 같이, 캐소드 기판(4)에 형성된 내부구멍(8)을 통해 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(4) 사이로 기체가 쉽게 이동해 두 기판사이의 진공도는 보조 기판(10)의 홈(10A)에서의 진공도와 쉽게 평형을 이룬다. 또한, 상기 캐소드 기판(4)에 형성되는 구멍은 가장자리의 것은 크게 하고 형광체 사이의 것은 작게 만든다. 즉 본 발명의 방법으로 진공패키징을 하면 동일한 크기의 디스플레이를 만들때 기체 유동의 컨덕턴스가 향상되므로써 종래의 방법보다 진공 펌핑을 해야하는데 걸리는 시간을 훨씬 단축시킬 수 있다.As shown in Fig. 1, the arrangement of the inner holes 8 and the use of the auxiliary substrate 10 are fundamentally different from the conventional method. That is, the conventional method is vacuum packaging only the portion indicated by the reference numeral 11 in Fig. 1, usually by drilling a hole around the edge of the cathode substrate 4 and directly connected to the exhaust tube there vacuum pumping and vacuum Seal. However, according to the present invention, as shown, the auxiliary substrate 10 having the groove 10A formed on the surface of the cathode substrate 4 opposite to the cathode substrate 4 is added to the cathode substrate 4, and the inner hole is provided. Drill at least one (8) to free the flow of gas. The depth of the groove 10A cut into the auxiliary substrate 10 here is much deeper than the length of the support 6, and to improve the gas flow conductance when vacuum pumping through the exhaust tube 9 Numeral 10 is made as simple as possible as shown in Figs. In this case, for mechanical stability of the cathode substrate 4, at least one pedestal 6A may be formed at the center of the auxiliary substrate 10 to support the cathode substrate 4. In addition, as shown in FIG. 2, the gas easily moves between the anode substrate 1 and the cathode substrate 4 through the inner hole 8 formed in the cathode substrate 4 so that the degree of vacuum between the two substrates is reduced. Equilibrium easily with vacuum in groove 10A Further, the holes formed in the cathode substrate 4 are made larger at the edges and smaller at the phosphors. That is, the vacuum packaging by the method of the present invention can improve the conductance of the gas flow when making the display of the same size, it is possible to significantly shorten the time required to vacuum pump than the conventional method.
본 발명의 필드 에미션 디스플레이 소자의 제조공정을 좀더 상세하게 설명하면, 전자방출용 에미터를 캐소드 기판(4)에 형성하고, 캐소드 기판 (4)의 소정 위치에 다수개의 내부구멍(8)을 뚫는다. 이때, 도2에 도시된 바와 같이, 가장자리의 것은 크게, 형광체와 형광체사이의 것은 수백 미크론 이내로 작게 뚫는다. 내부 구멍(8)을 뚫는 방법은 다이아몬드 드릴법 혹은 샌드 블라스트(sand blast)법을 사용하는 기계적인 방법과 불산 용액을 사용한 화학적 에칭에 의한 방법이 있다. 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(4) 사이의공간을 유지하기 위한 지지대(6)와 밀봉제(7)를 사용해 표면에 형광체(2)가 형성된 애노드 기판(1), 캐소드 기판(4), 홈(10A)이 파여진 보조 기판(10)을 배열시킨 후 결합시켜 디스플레이 소자를 만든다.Referring to the manufacturing process of the field emission display device of the present invention in more detail, an electron-emitting emitter is formed in the cathode substrate 4, and a plurality of internal holes 8 are formed at predetermined positions of the cathode substrate 4; Drilled. At this time, as shown in Fig. 2, the edges are large and the ones between the phosphors and the phosphors are drilled small within several hundred microns. The internal holes 8 are drilled by a mechanical method using a diamond drill method or a sand blast method and a chemical etching method using a hydrofluoric acid solution. An anode substrate 1, a cathode substrate 4, on which a phosphor 2 is formed on a surface using a support 6 and a sealant 7 for maintaining a space between the anode substrate 1 and the cathode substrate 4; The auxiliary substrate 10 in which the grooves 10A are dug up is arranged and joined to form a display element.
다음에 보조 기판(10)에 연결된 배기용 튜브(9)를 통해 진공 펌핑 후 진공 실링한다. 그후, 디스플레이 소자 내부의 진공도를 더욱 높이기 위해 게터(5) 처리를 함으로써, 본 발명의 캐소드 기판에 보조 기판(10)이 부착된 필드 에미션 디스플레이 소자를 완성한다.Next, the vacuum sealing is performed after vacuum pumping through the exhaust tube 9 connected to the auxiliary substrate 10. Thereafter, the getter 5 is processed to further increase the degree of vacuum inside the display element, thereby completing a field emission display element having the auxiliary substrate 10 attached to the cathode substrate of the present invention.
도 3은 본 발명의 디스플레이의 구성요소 중 보조 기판(10)의 평면도로서, 도시된 바와 같이, 보조 기판(10) 에 배기용 튜브(9)가 연결되어 있다. 보조 기판(10)을 제조하는 방법으로서는 일반적으로 잘 알려진 몰딩 기술을 이용하는 것이 바람직하며, 원하는 형상의 형틀을 제작한 후 유리를 부어 제작하면 된다. 필드 에미션 디스플레이의 진공펌핑시, 기체유동의 컨덕턴스는 분자유동 범위에서 매우 중요하다. 즉 캐소드 기판(4)에 뚫어야 하는 내부구멍(8)의 크기나 개수는 컨덕턴스를 개선하기 위해 매우 중요하며 본 발명의 경우는 마치 몇 개의 진공 펌핑용 튜브를 병렬로 연결한 것 같은 효과를 가지기 때문에 컨덕턴스의 병렬연결과 등가이다. 여기서 캐소드 기판에 형성되는 내부구멍(8)이 클수록, 내부구멍(8)의 개수가 많을수록 컨덕턴스는 좋아진다. 그러나 내부구멍(8)의 위치, 크기 및 개수는 디스플레이 소자의 여러가지 동작과 제조공정상의 난이도 등을 고려해야 하며 가능한 한 최대의 컨덕턴스를 갖도록 설계하므로써 진공 펌핑 시간을 현저히 줄일 수 있다.3 is a plan view of the auxiliary substrate 10 among the components of the display of the present invention, and as shown, an exhaust tube 9 is connected to the auxiliary substrate 10. It is preferable to use well-known molding technique as a method of manufacturing the auxiliary substrate 10, and what is necessary is just to produce a mold of a desired shape, and to pour glass. In vacuum pumping field emission displays, the conductance of gas flow is very important in the molecular flow range. That is, the size or number of the inner holes 8 to be drilled in the cathode substrate 4 is very important for improving the conductance, and in the case of the present invention, since it has the effect of connecting several vacuum pumping tubes in parallel, It is equivalent to the parallel connection of conductance. The larger the number of the inner holes 8 formed in the cathode substrate and the larger the number of the inner holes 8, the better the conductance is. However, the position, size, and number of the inner holes 8 need to consider various operations of the display element, difficulty in manufacturing process, etc., and can be designed to have the maximum conductance as much as possible, thereby significantly reducing the vacuum pumping time.
본 발명은 마치 몇개의 진공 펌핑용 튜브를 병렬로 연결한 것 같은 효과를 가지기 때문에 기체 유동의 컨덕턴스가 향상되므로써 진공 펌핑 시간을 현저히 줄일 수 있다.Since the present invention has an effect as if several vacuum pumping tubes are connected in parallel, the conduction of the gas flow can be improved, thereby significantly reducing the vacuum pumping time.
또, 종래기술에 대한 본 발명의 장점은 진공 실링을 해야하는 부피가 훨씬 커지기 때문에 필드 에미션 디스플레이를 구동할 때 형광체나 혹은 소자내부의 그 어느 곳에서 발생하는 미소량의 가스로 인한 소자내부의 진공도 저하현상이 훨씬 완화될 수 있다.In addition, the advantage of the present invention over the prior art is that the vacuum degree inside the device due to the small amount of gas generated in the phosphor or anywhere in the device when driving the field emission display because the volume required for vacuum sealing is much larger. Degradation can be alleviated much.
본 발명은 공지된 종래의 방법에 의해 전극의 종류와 에미터의 구조에 제한을 두지 않고 필드 에미션 디스플레이를 제작할 수 있다.The present invention can produce a field emission display by limiting the type of the electrode and the structure of the emitter by a known conventional method.
이상에서는 실시예를 이용하여 본 발명이 설명되었으나 본 발명이 상기 실시예에 의하여 한정되지 아니하고 본 발명의 사상 및 범위내에서 다양한 변형예가 실시될 수 있음은 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명확하다.Although the present invention has been described above using an embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the spirit and scope of the present invention. Clear to
Claims (6)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100370415B1 (en) * | 1996-09-24 | 2003-03-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | Apparatus and method for sealing substrates of field emission display device |
-
1995
- 1995-02-28 KR KR1019950004080A patent/KR0149109B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100370415B1 (en) * | 1996-09-24 | 2003-03-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | Apparatus and method for sealing substrates of field emission display device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20020521 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |