KR0131514Y1 - Vacuum pump having a sensor of exhaust gas - Google Patents
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술 분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
반도체 소자 제조 장치Semiconductor device manufacturing apparatus
2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem the invention is trying to solve
진공펌프 후단에 배기가스를 감지하는 장치가 없어서 배기가스의 양을 알 수 없었으므로 펌프의 동작 여부를 체크할 수 없고, 실란 가스의 누출로 인해 배기가스 라인이 막혀 폭발 위험성이 있다는 문제점을 해결하고자 함.Since there was no device to detect the exhaust gas at the back of the vacuum pump, it was impossible to check the operation of the exhaust gas, so it was not possible to check the operation of the pump. box.
3. 고안의 해결방법의 요지3. Summary of solution of design
진공펌프에 연결된 배기가스 라인에 배기가스 감지장치를 설치하여 기준치 이하의 배기가스가 감지될 때엔 램프와 스피커로 표시하여 관리자가 설비의 구동상태를 쉽게 파악할 수 있도록 하는 배기가스 감지장치를 구비한 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프를 제조하고자 함.An exhaust gas detector is installed in the exhaust gas line connected to the vacuum pump, and when the exhaust gas below the threshold value is detected, it is indicated by a lamp and a speaker so that the administrator can easily understand the driving state of the facility. To manufacture a vacuum pump for semiconductor device manufacturing apparatus.
4. 고안의 중요한 용도4. Important uses of the devise
반도체 소자 제조 장치용 진공펌프를 제조하는데 주로 이용됨.Mainly used to manufacture vacuum pumps for semiconductor device manufacturing devices.
Description
제1도는 본 고안의 배기가스 감지장치를 구비한 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프의 평면도.1 is a plan view of a vacuum pump for a semiconductor device manufacturing apparatus having an exhaust gas detecting device of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 배기가스 감지장치(exhaust sensor) 2 : 전원공급장치(power supply)1: Exhaust sensor 2: Power supply
3 : 배기가스라인 4 : 비교기3: exhaust gas line 4: comparator
5 : 낸드 게이트(NAND GATE) 6 : 램프5: NAND GATE 6: lamp
7 : 스피커7: speaker
본 고안은 일반적으로 반도체 소자 제조 장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 제조 공정에서 범용되는 진공펌프의 후단에서 배기가스(exhaust)의 양을 감지하는 감지장치를 구비하여 장비 관리자에게 장비의 구동 상태를 알릴 수 있는 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프에 관한 것이다.The present invention generally relates to a device for manufacturing a semiconductor device, and in particular, a device for detecting an amount of exhaust gas at a rear end of a vacuum pump, which is generally used in a wafer manufacturing process, to notify a device manager of a driving state of a device. The present invention relates to a vacuum pump for semiconductor device manufacturing apparatus.
반도체 소자의 웨이퍼 제조 공정에 있어서, 종래에는 진공펌프 후단에 배기가스를 감지하는 장치가 없어서 배기가스의 양을 알 수 없었으므로 진공 펌프의 동작 여부를 체크할 수 없었다. 또한 실란(SiH4) 가스의 누출로 인해 배기가스 라인이 막혀 폭발 위험성이 있다는 문제점을 가지고 있었다.In the wafer manufacturing process of the semiconductor device, conventionally, since there is no device for detecting exhaust gas at the rear end of the vacuum pump, the amount of the exhaust gas is unknown, and thus it is not possible to check whether the vacuum pump is operating. In addition, the exhaust gas line is blocked due to the leakage of silane (SiH 4 ) gas has a problem that there is an explosion risk.
따라서 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 고안은 진공펌프에 연결된 배기가스 라인에 배기가스의 양을 감지하는 감지장치를 설치하고 설정해 놓은 배기가스 적당량과 비교하여 배기가스의 양이 설정치보다 적은 경우엔 적색등이 들어오고 경보음이 울리도록 하는 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, the present invention devised to solve the above problems is to install a sensing device for detecting the amount of exhaust gas in the exhaust gas line connected to the vacuum pump and compared with the set amount of exhaust gas, the amount of exhaust gas is higher than the set value. It is an object of the present invention to provide a vacuum pump for a semiconductor device manufacturing apparatus which causes a red light to turn on and an alarm sound when there is a small case.
본 고안의 배기가스 감지장치를 구비한 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프의 구조는 진공펌프의 배기가스 라인에 연결되어 배기가스의 양을 감지하여 이에 따라 출력 전압값을 발생하기 위한 배기가스 감지수단과, 상기 배기가스 감지수단에 연결되어 전원을 공급하기 위한 전원 공급수단과, 상기 배기가스 감지수단에 연결되어 상기 출력 전압값을 기준전압값과 비교하는 비교수단 및 상기 출력 전압값이 상기 기준 전압값보다 작은 경우에 장비 관리자에게 경보신호를 보내기 위한 경보수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The structure of the vacuum pump for semiconductor device manufacturing apparatus provided with the exhaust gas sensing device of the present invention is connected to the exhaust gas line of the vacuum pump to sense the amount of exhaust gas and accordingly generate an output voltage value; Power supply means connected to the exhaust gas sensing means for supplying power, and comparing means connected to the exhaust gas sensing means to compare the output voltage value with a reference voltage value and the output voltage value is the reference voltage value. Smaller case is characterized in that it comprises an alarm means for sending an alarm signal to the equipment manager.
이제 본 고안의 배기가스 감지장치를 구비한 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프의 구조 및 동작 실시예를 첨부도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하게 된다. 먼저 제1도에 도시된 바와 같이 본 고안의 구조는 웨이퍼 제조용 진공펌프의 배기가스 라인에 연결되어 배기가스의 양에 따라 출력 전압을 내는 배기가스 감지수단과, 상기 배기가스 감지수단에 전원을 공급하기 위한 전원 공급수단과, 상기 배기가스 감지수단에 전원을 공급하기 위한 전원 공급수단과, 상기 배기가스 감지수단에서 받은 출력값과 기준 전압을 비교하는 비교수단과, 상기 출력 전압이 상기 기준 전압보다 작은 경우에 장비 관리자에게 알리기 위한 경보수단을 포함하여 이루어진다. 다음으로 배기가스 감지장치를 구비한 반도체 소자 제조 장치용 진공펌프 동작의 실시예를 제1도를 참조하여 상세하게 살펴보면, 먼저 배기가스 감지장치(exhaust sensor)(1)는 전원공급장치(power supply)(2)에서 ±15V의 전원을 공급받아 작동되어, 진공펌프의 배기가스라인(3)에서 나오는 배기가스의 양에 따라 출력전압을 비교기(4)로 보내준다. 다음으로 상기 비교기(4)에서 상기 출력 전압을 기준 전압과 비교하여 + 또는 -의 부호를 가진 출력값을 낸다. 이때 상기 기준 전압은 비교기의 -단자에 연결된 가변저항기의 값에 따라 변환설정 가능한 값이다. 다음으로 상기 비교기(4)의 출력단자에서 나온 값을 낸드 게이트(NAND GATE)(5)에서 반전하여 상기 비교기에서 나온 출력값이 음의 값인 경우에 램프(6)를 점등시키고 경보음을 스피커(7)를 통해 내어 장비 관리자에게 알린다.Now, a structure and an embodiment of a vacuum pump for a semiconductor device manufacturing apparatus having an exhaust gas detecting device of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. First, as shown in FIG. 1, the structure of the present invention is connected to an exhaust gas line of a vacuum pump for manufacturing a wafer and emits an output voltage according to the amount of exhaust gas, and supplies power to the exhaust gas sensing means. Power supply means for supplying power, power supply means for supplying power to the exhaust gas sensing means, comparing means for comparing the output value received from the exhaust gas sensing means with a reference voltage, and the output voltage is less than the reference voltage In this case, an alarm means for notifying the equipment manager is included. Next, an embodiment of a vacuum pump operation for a semiconductor device manufacturing apparatus having an exhaust gas detection device will be described in detail with reference to FIG. 1. First, the exhaust sensor 1 is a power supply. (2) is supplied with power of ± 15V, and sends the output voltage to the comparator (4) according to the amount of exhaust gas from the exhaust gas line (3) of the vacuum pump. Next, the comparator 4 compares the output voltage with a reference voltage to produce an output value having a sign of + or-. At this time, the reference voltage is a value that can be converted and set according to the value of the variable resistor connected to the negative terminal of the comparator. Next, the value from the output terminal of the comparator 4 is inverted in the NAND GATE 5 so that the lamp 6 is turned on and the alarm sound is turned on when the output value from the comparator is a negative value. Inform the equipment manager.
본 고안은 실란 가스를 사용하는 장비중 진공 펌프가 설치되어 있는 경우에 장기간 사용으로 인해 배기가스 라인이 막혀서 배기가스의 배출이 순조롭지 못하여 펌프의 수명을 단축시키고 폭발을 유발시키기도 하는데 이를 미리 알아볼 수 있게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.In the present invention, when the vacuum pump is installed in the equipment that uses the silane gas, the exhaust gas line is blocked due to long-term use, which shortens the life of the pump and causes an explosion. This can prevent safety accidents.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950020732U KR0131514Y1 (en) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | Vacuum pump having a sensor of exhaust gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950020732U KR0131514Y1 (en) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | Vacuum pump having a sensor of exhaust gas |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970011195U KR970011195U (en) | 1997-03-29 |
| KR0131514Y1 true KR0131514Y1 (en) | 1999-02-01 |
Family
ID=19420618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950020732U KR0131514Y1 (en) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | Vacuum pump having a sensor of exhaust gas |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0131514Y1 (en) |
-
1995
- 1995-08-11 KR KR2019950020732U patent/KR0131514Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970011195U (en) | 1997-03-29 |
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