KR0128254Y1 - 엠비피의 로터 회전 감지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 엠비피의 로터 회전 감지장치에 관한 것으로, 공정 진행중 증착시 퍼니스는 일정한 압력을 유지하여야 하는데, 이때, 엠비피 모터 사이에 작은 이물질이 끼게 되면, 엠비피 모터(1)는 튜브내의 압력이 1000Pa 이상 될때까지 회전하게 되고, 이 회전력은 로터(4),(6)에 전달됨에 따라 튜브(13)내의 압력이 1000Pa이 되기전에 이물질이 0.2MM 정도로 분해되므로 로터(4),(6)는 계속해서 회전하게 되며, 이때, 퍼니스는 일정한 압력을 유지하지 못하므로 증착이 충분히 이루어지지 않고, 이에따라 이벤트가 점프되어 소정 매수의 웨이퍼를 담은 퍼니스는 공정을 종료하게 되는 문제점이 있었다. 본 고안은 이를 해결하기 위하여 튜브(13)내에 구슬(14)을 넣어 오일이(12) 소정 레벨을 유지할때 그 구슬(14)에 의하여 포토커플러의 적외선이 차단되고, 이에 의하여 발광다이오드(LED)가 점등되게함으로써 사용자가 이를 인지할 수 있게한 것이다.

Description

엠비피의 로터 회전 감지장치

제1도는 종래 엠비피의 로터 회전장치에 대한 개략도.

제2도의 (a)는 제2도에서 커플링의 측면도이고,

(b)는 사이드 글래스의 정면도.

제3도는 본 고안 엠비피의 로터 회전 감지장치에 대한 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 사이드 글래스 12 : 오일

13 : 튜브 14 : 플라스틱 구슬

15 : 발광부 16 : 수광부

T : 타이머 릴레이 LED : 발광다이오드

BZ : 부저

본 고안은 엠비피(MBP:Mechanical Booster Pump)의 로터(Rotor)의 회전을 감지하는 기술에 관한 것으로, 특히 버티컬 퍼니스(Vertical Furnace)의 엘피-씨브이디(Low Pressure-Chemical Vapor Deposion) 공정상에서 펌핑시 홀드되는 것과 증착(Deposition)시 엠비피로인한 튜브내의 순간적인 압력을 감지하는데 적당하도록한 엠비피의 로터 회전 감지장치에 관한 것이다.

제1도는 종래 엠비피의 로터 회전장치의 개략도로서 이에 도시한 바와 같이, 모터(1)로 부터 회전력을 전달받아 오일에 회전력을 인가하는 제1커플링(2)과, 상기 오일로 부터 회전력을 전달받아 그 회전력을 다시 로터(4)에 전달하는 제2커플링(3)과, 타이밍 기어(5)를 통해 상기 로터(4)로 부터 회전력을 전달받아 그 로터(4)의 회전수에 비해 소정의 배수로 회전되는 로터(6)로 구성된 것으로, 이와 같이 구성된 종래 장치의 작용을 제2도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

모터(1)가 구동되면, 그 모터(1)의 구동축에 결합된 제1커플링(2)이 회전되고, 이때, 그 제1커플링(2)내에 제2도의 (a)에서와 같이 형성된 갈퀴가 오일을 쳐주어 그 오일이 회전되며, 이 오일의 회전력이 다시 제2커플링(3)에 전달되어 그 제2커플링(3)과 결합된 로터(4)가 회전되고, 이때, 로터(6)는 타이밍 기어(5)를 통해 상기 로터(4)로 부터 회전력을 전달받아 회전 된다.

상기와 같은 과정에 의하여 로터(4),(6)가 소정(0.2MM)의 공차를 두고 맞물려 회전되므로 펌핑 속도는 배가되며, 이때, 상기 타이밍 기어(5)는 오일속에 2/3정도 잠긴 상태에서 회전하게 되는데, 이때, 타이밍 기어(5)에 의하여 제2도의 (b)와 같이 오일 레벨관측용 사이드 글래스의 80%선의 오일이 30%선으로 하강 된다.

이와 같이 동작하는 엠비피는 공정 진행중 튜브내의 압력이 1000Pa 이하일때 자동적으로 온되며, 1000Pa 이하일때 자동적으로 오프되면서 공정을 진행하게 된다.

그러나, 이와 같은 종래의 장치에 있어서는 공정 진행중 증착시 퍼니스는 일정한 압력을 유지하여야 하는데, 이때, 엠비피 모터 사이에 작은 이물질이 끼게되면, 엠비피 모터는 튜브내의 압력이 1000Pa 이상 될때까지 회전하게 되고, 이 회전력은 로터에 전달되어 그 로터에 의하여 튜브내의 압력이 1000Pa이 되기전에 이물질이 0.2MM 정도로 분해되므로 로터는 계속해서 회전하게 되며, 이때, 퍼니스는 일정한 압력을 유지하지 못하므로 증착이 충분히 이루어지지 않고, 이에따라 이벤트가 점프되어 소정 매수의 웨이퍼를 담은 퍼니스는 공정을 종료하게 되는 문제점이 있었다.

본 고안은 이와 같은 종래의 결함을 해결하기 위하여 펌프의 오버홀(Overhole) 주기를 연장하고 불시의 시스템 다운 현상을 방지할 수 있게 안출한 것으로, 이를 첨부한 도면에 의하여 상세히 설명한다.

제3도는 본 고안 로터 회전 감지장치의 회로도로서 이에 도시한 바와 같이, 오일레벨을 관찰할 수 있도록 형성된 사이드 글래스(11)와 동일 수직면에 설치되어 내부에 오일(12)을 저장하고 있는 튜브(13)와, 상기 튜브(13)내의 오일(12)에 부유되어 있는 프라스틱 구슬(14)과, 상기 튜브(13)의 상측에 서로 대향지게 설치되어 있는 발광부(15) 및 수광부(16)로 구성되어 상기 플라스틱 구슬(14)이 오일(12)의 부력에 의해 소정 레벨로 상승될때 그 발광부(15)에서 수광부(16)측으로 투사되는 적외선이 그 구슬(14)에 의해 차단되고, 이에 의해 고전위를 출력하는 포토커플러와, 상기 포토커플러의 고전위 출력에 의하여 온되는 발광다이오드(LED) 및 부저(BZ)로 구성한 것으로, 이와 같이 구성한 본 고안의 작용 및 효과를 상세히 설명하면 다음과 같다.

로터(4),(6)가 회전되면, 타이밍 기어(5)에 의하여 오일(12)의 레벨이 사이드 글래스(11)의 80% 선에서 30%선 정도로 낮아지게 된다.

스위치(SW)를 통해 엠비피의 구동전압(24V)이 공급되면 타이머 릴레이(T)에 의하여 소정의 지연시간(약 10초)을 갖은 후, 엠비피가 구동을 시작하게 되는데, 이후, 오일(12)의 레벨이 30%선으로 떨어지지 않게 되면, 튜브(13)내의 오일(12)의 유막에 부상해있던 플라스틱 구슬(14)에 의하여 포토커플러(도면에 미표시)의 발광다이오드에서 투사된 적외선이 차단되므로 그 포토커플러의 수광 트랜지스터에 적외선이 입사되지 않할 그 트랜지스터가 오프되고, 이때, 그 포토커플러에서 발광다이오드(LED)측으로 고전위가 출력되어 그 발광다이오드(LED)가 점등되는 동시에 부저(BZ)가 구동되어 사용자는 현재의 사실을 인지하게 된다.

또한, 엠비피가 동작중 로터(4),(6)에 이물질이 끼어 그 로터(4),(6)의 회전이 순간적으로 정지되는 경우, 상기와 같이 튜브(13)내의 오일의 레벨이 변화되고, 이때, 상기 플라스틱 구슬(14)에 의하여 적외선이 차단되므로 상기와 같이 발광다이오드(LED)가 점등되는 동시에 부저(BZ)가 구동된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안은 오일에 부상하는 구슬 및 포토커플러를 이용하여 엠비피 모터가 순간적으로 정지하였다가 다시 회전하여 웨이퍼상에 이상 증착되는 것을 한 순간에 확인할 수 있게하므로써 펌프의 오버홀 주기를 연장시키고, 불시의 시스템 다운 현상을 예방하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 모터(1)의 회전력을 전달받아 오일에 회전력을 전달하는 제1커플링(2)과, 상기 오일로 부터 회전력을 전달받아 그 회전력을 다시 로터(4)에 전달하는 제2커플링(3)과, 상기 로터(4)로 부터 타이밍기어(5)를 통해 회전력을 전달받아 회전하는 로터(6)와, 상기 오일레벨 관측용 사이드글래스(11)로 구성된 엠비피에 있어서, 내부에 사이드글래스(11)의 오일 레벨과 동일한 수준을 가지고, 오일을 저장하는 튜브(13)와, 상기 튜브(13)내의 오일에 부유되어 있는 구슬(14)과, 상기 튜브(13)의 소정위치에 서로 대향지게 설치된 발광부(15), 수광부(16)로 구성되어 상기 플라스틱 구슬(14)이 오일(12)의 부력에 의해 소정 레벨로 상승되는 것을 검출하는 포토커플러와, 상기 포토커플러의 검출신호에 의해 구동되어 오일이 소정레벨로 상승되었음을 나타내는 표시기를 더 포함하여 구성한 것을 특징으로하는 엠비피의 로터 회전 감지장치.
2. 제1항에 있어서, 발광부(15)에서 수광부(16)측으로 투사되는 광은 적외선임을 특징으로하는 엠비피의 로터 회전 감지장치.
3. 제1항에 있어서, 구슬(14)은 플라스틱재질로 형성된 것을 특징으로하는 엠비피의 로터 회전 감지장치.