KR0124839Y1 - Linear speed acceleration device with improved position sensor - Google Patents

Linear speed acceleration device with improved position sensor

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KR0124839Y1
KR0124839Y1 KR2019950016029U KR19950016029U KR0124839Y1 KR 0124839 Y1 KR0124839 Y1 KR 0124839Y1 KR 2019950016029 U KR2019950016029 U KR 2019950016029U KR 19950016029 U KR19950016029 U KR 19950016029U KR 0124839 Y1 KR0124839 Y1 KR 0124839Y1
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Abstract

가공용 툴의 고속 동작이 가능하도록 된 직동배속장치가 개시되어 있다.Disclosed is a linear drive system that enables a high speed operation of a machining tool.

이 개시된 직동배속장치는 가공용 툴이 부착된 슬라이더와, 슬라이더가 일단에 움직가능하게 결합되고 이 슬라이더를 이송하는 이송부와, 이송부가 일단에 움직가능하게 결합되고 슬라이더와 이송부에 구동력을 전달하는 구동부와, 구동부에 대한 이송부의 위치를 검출하는 위치검출수단을 구비한 직동배속장치에 있어서, 위치검출수단은 구동부와 마주하는 이송부의 일면에 고정 설치된 복수개의 센서도그와, 센서도그에 감응되어 이송부의 위치를 검출하도록 센서도그와 마주하는 구동부에 설치된 복수개의 센서를 구비한 것을 특징으로 한다.The disclosed direct speed control device includes a slider having a machining tool attached thereto, a transfer unit movably coupled to one end of the slider to move the slider, a drive unit movably coupled to the transfer unit, and transmitting a driving force to the slider and the transfer unit; In the linear drive system having position detecting means for detecting the position of the conveying part relative to the driving part, the position detecting means includes a plurality of sensor dogs fixed to one surface of the conveying part facing the driving part, and the position of the conveying part in response to the sensor dog. It is characterized in that it comprises a plurality of sensors provided in the drive unit facing the sensor dog to detect.

따라서, 이송부에 포함되었던 다수의 센서용 케이블을 배제함으로써, 이송부의 질량감소 및 센서용 케이블의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Therefore, by excluding a plurality of the sensor cables included in the conveying portion, it is possible to improve the reliability of the sensor cable and the mass reduction of the conveying portion.

Description

위치검출수단을 개선한 직동배속장치Linear speed control system with improved position detection means

제1도는 직동배속장치가 적용된 산업용 로봇을 나타낸 개략적인 사시도.1 is a schematic perspective view showing an industrial robot to which a linear speed control apparatus is applied.

제2도의 (a)(b)는 종래 직동배속장치의 일형태를 도시한 정면도 및 측면도.(A) (b) of FIG. 2 is a front view and a side view which show one form of the conventional linear drive speed apparatus.

제3도의 (a)(b)는 본 발명에 따른 직동배속장치를 개략적으로 도시한 정면도 및 측면도.(A) and (b) of FIG. 3 are a front view and a side view schematically showing a linear drive system according to the present invention.

제4도는 본 발명에 따른 직동배속장치에 채용된 위치검출수단의 일실시예를 보인 개략적인 사시도.Figure 4 is a schematic perspective view showing an embodiment of the position detecting means employed in the linear direct speed transmission apparatus according to the present invention.

제5도는 본 발명에 따른 직동배속장치에 채용된 위치검출수단의 다른 실시예를 보인 개략적인 사시도.Figure 5 is a schematic perspective view showing another embodiment of the position detecting means employed in the linear drive system according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

40 : 구동부 41 : 센서40: drive unit 41: sensor

42, 47 : 리니어모터 43 : 이송부42, 47: linear motor 43: transfer unit

44 : 센서도그 45 : 프레임44: sensor dog 45: frame

46 : 커버 50 : 슬라이더46: cover 50: slider

본 고안은 위치검출수단을 개선한 직동배속(直動倍速)장치에 관한 것으로, 상세하게는 구동부에 설치된 센서도그(sensor dog)와, 직동배속축 내부에 설치된 위치검출용 센서의 위치를 상호 바꾸어 직동배속축의 부피와 질량을 감소하도록 된 위치검출수단을 개선한 직동배속장치에 관한 것이다.The present invention relates to a linear drive system having an improved position detecting means. Specifically, a sensor dog installed in a drive unit and a position detecting sensor installed inside a linear drive speed shaft are interchanged. The present invention relates to a linear drive system with improved position detecting means for reducing the volume and mass of the linear drive speed axis.

일반적으로 직동배속장치는 산업용 로봇에 설치되어 작업을 수행하는 장치이다. 제1도는 직동배속장치가 적용된 산업용 로봇을 나타낸 개략적인 사시도이다. 산업용로봇은 툴(미도시)을 장착한 슬라이더(3)를 삼차원적으로 움직이면서, 작업을 수행한다. 이를 위하여 산업용 로봇은 직동배속장치(1)와, 이 직동배속장치(1)를 도시한 Z방향으로 움직이는 Z축방향 이송수단(11)과, 이 Z축방향 이송수단을 Y축방향으로 움직이는 Y축방향 이송수단(13)을 구비한다. 상기 직동배속장치(1)는 상기 Z축방향 이송수단 하단에 설치된 구동부(7)와, 이 구동부(7)에서 전달되는 동력에 의해 X축방향으로 움직가능하게 설치된 이송부(5)와, 이 이송부(5)에 대하여 독립적을 움직일 수 있도록 상기 이송부(5)의 일부에 설치된 슬라이더(3)를 구비한다. 독립적으로 운동가능한 상기 슬라이더(3)는 상기 구동부(7)에서 보면, 상기 이송부(5)의 움직임 속도와, 슬라이더(3)의 움직임 속도를 합한 속도로 움직이므로, 이 슬라이더(3)에 장착된 툴(tool)은 고속으로 작업을 수행할 수 있다.In general, the linear direct speed device is a device installed in an industrial robot to perform a task. 1 is a schematic perspective view showing an industrial robot to which a linear speed control apparatus is applied. The industrial robot performs work by moving the slider 3 equipped with the tool (not shown) in three dimensions. To this end, the industrial robot includes a linear direct speed device (1), a Z-axis feed means (11) moving in the Z direction showing the linear drive speed (1), and a Y moving the Z axis feed means in the Y axis direction. An axial feed means (13). The linear drive device 1 includes a drive unit 7 installed at the lower end of the Z-axis transfer means, a transfer unit 5 movably installed in the X-axis direction by the power transmitted from the drive unit 7, and the transfer unit. The slider 3 is provided in a part of the said conveyance part 5 so that it may move independently with respect to (5). The slider 3, which is independently movable, moves at the speed of combining the movement speed of the feeder 5 and the movement speed of the slider 3 when viewed from the drive unit 7, and thus is mounted on the slider 3. The tool can perform work at high speed.

종래에는 제2도의 (a)(b)에 도시한 바와 같은 직동배속장치를 사용하였다. 제2도의 (a)는 종래 직동배속장치의 일형태를 도시한 정면도이고, 제2도의 (b)는 측면도이다.In the related art, a linear drive system as shown in Fig. 2 (a) and (b) is used. (A) of FIG. 2 is a front view which shows one form of the conventional linear drive speed apparatus, and (b) of FIG. 2 is a side view.

이 직동배속장치는 그 기능에 따라 구동부(21)와, 이 구동부(21)에 대하여 움직가능하게 설치된 이송부(25)와, 이 이송부(25)에 대하여 움직가능하게 설치된 슬라이더(30)로 대별된다.This linear drive system is roughly divided into a drive unit 21, a transfer unit 25 movably installed with respect to the drive unit 21, and a slider 30 movably installed with respect to the transfer unit 25 according to its function. .

상기 구동부(21)는 로봇에 장착될 수 있는 구조를 가지며, 그 내부에 모터, 감속수단 및 동력전달수단등이 설치되어 있어 상기 이송부(25) 및 슬라이더(30)가 직선운동하도록 구동력을 전달한다. 또한, 이 구동부(21)에는 상기 이송부(25)에 설치된 센서들에 의한 신호를 감지할 수 있도록 된 센서도그(22)가 설치되어 있다.The driving unit 21 has a structure that can be mounted on the robot, and a motor, a deceleration means, a power transmission means, and the like are installed therein to transmit a driving force so that the transfer unit 25 and the slider 30 move linearly. . In addition, the drive unit 21 is provided with a sensor dog 22 to detect a signal by the sensors installed in the transfer unit 25.

상기 이송부(25)는 상기 구동부(21)의 하단에 마련된 제1가이드바(23)에 움직가능하게 결합되며, 그 일단에는 상기 슬라이더(30)가 움직가능하게 결합될 수 있도록 제2가이드바(29)를 가진다. 또한, 그 내부에는 언급한 센서(24)들을 가진다. 이 센서(24)들은 이 이송부(25)의 좌우측 이동상황을 감지하는 센서로 좌측한계 감지센서(24a)와 우측한계 감지센서(24c) 및 상기 이송부(25)의 초기위치를 감지할 수 있는 센터 감지센서(24b)로 이루어져 있다. 이 센서들은 상기 센서도그(22)와의 상대적 위치에 따라 감응되며, 이 감응된신호는 상기 각 센서(24)들과 상기 구동부(21) 사이에 연결된 케이블(26)을 통하여 전달된다. 상기 이송부(25)의 내부에는 상기 케이블(26)들이 상기 센서들에 감응되지 않도록 된 브라켓(27)과, 상기 케이블(26)을 보호하는 커버(28)가 구비되어 있다. 상기 슬라이더(30)는 상기 제2가이드바(29)에 선형운동 가능하게 결합되어 있다. 이 슬라이더(30)는 상기 구동부(21)에 대하여 상대적으로 배속(倍速)으로 운동하며, 이 슬라이더(30)의 저면에 가공용 툴(tool:미도시)이 결합된다.The transfer unit 25 is movably coupled to the first guide bar 23 provided at the lower end of the driving unit 21, and at one end thereof, a second guide bar ( 29). It also has the sensors 24 mentioned therein. The sensors 24 are sensors for detecting left and right movements of the transfer unit 25, and a center capable of detecting an initial position of the left limit detection sensor 24a, the right limit detection sensor 24c, and the transfer unit 25. It consists of a detection sensor 24b. These sensors are sensed according to their relative position with the sensor dog 22, and these sensed signals are transmitted via a cable 26 connected between the respective sensors 24 and the drive 21. The inside of the transfer part 25 is provided with a bracket 27 so that the cables 26 are not sensitive to the sensors, and a cover 28 protecting the cable 26. The slider 30 is linearly coupled to the second guide bar 29. The slider 30 moves at a relatively double speed with respect to the drive unit 21, and a machining tool is coupled to the bottom of the slider 30.

이와같이 상기 이송부 내부에 상기 이송부의 위치 한계를 설정하는 센서들을 구비하는 경우, 상기 센서들의 감지된 신호를 전달하기 위하여 복수의 케이블이 상기 구동부와 결합되어 있어야 한다. 그러므로, 상기 이송부 내부에 상기 제2이송부와 결합된 케이블과, 에어튜브 및 언급한 센서용 케이블들이 설치되어 있어 내장된 전체 케이블이 두꺼워지므로 상기 이송부의 부피 및 질량이 커야한다는 문제점이 있었다.As such, when the sensors are provided to set the position limits of the conveying unit, the plurality of cables must be coupled with the driving unit to transmit the sensed signals of the sensors. Therefore, the cable coupled with the second transfer unit, the air tube and the aforementioned sensor cables are installed inside the transfer unit, so that the entire built-in cable is thickened, so there is a problem that the volume and mass of the transfer unit should be large.

따라서, 본 고안은 상술한 바와 같은 점들을 감안하여 안출된 것으로써, 이송부에 설치된 센서 및 센서용 케이블을 배제하여 이송부를 컴팩트화한 위치검출수단을 개선한 직동배속장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described points, and an object thereof is to provide a linear speed delivery apparatus that improves a position detecting means having a compact conveying part by excluding a sensor and a sensor cable installed in the conveying part. .

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 위치검출수단을 개선한 직동배속장치는, 가공용 툴이 부착되는 슬라이더와, 상기 슬라이더가 일단에 움직가능하게 결합되고 이 슬라이더를 이송하는 이송부와, 상기 이송부가 일단에 움직가능하게 결합되고 상기 슬라이더와 이송부에 구동력을 전달하는 구동부와, 상기 구동부에 대한 상기 이송부의 위치를 검출하는 위치검출수단을 구비한 직동배속장치에 있어서, 상기 위치검출수단은 상기 구동부와 마주하는 이송부의 일면에 고정 설치된 복수개의 센서도그와, 상기 센서도그에 감응되어 상기 이송부의 위치를 검출하도록 상기 센서도그와 마주하는 상기 구동부에 설치된 복수개의 센서를 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the linear drive system having improved position detecting means according to the present invention includes a slider to which a machining tool is attached, a transfer part to which the slider is movably coupled and transfer the slider, and the transfer part A linear drive system having a drive unit movably coupled to one end and transmitting a driving force to the slider and the transfer unit, and position detection means for detecting a position of the transfer unit relative to the drive unit, wherein the position detection unit is connected to the drive unit. And a plurality of sensor dogs fixedly installed on one surface of the facing transfer part, and a plurality of sensors mounted on the driving part facing the sensor dog so as to detect the position of the transfer part in response to the sensor dog.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제3도(a)는 본 고안에 따른 직동배속장치의 정면도이고, 제3도(b)는 측면도이다.3 (a) is a front view of the linear drive system according to the present invention, 3 (b) is a side view.

이 직동배속장치는 가공용 툴이 부착되는 슬라이더(50)와, 상기 슬라이더(50)가 일단에 움직가능하게 결합되고 이 슬라이더(50)를 이송하는 이송부(43)와, 상기 이송부(43)가 일단에 움직가능하게 결합되고 상기 슬라이더(50)와 이송부(43)에 구동력을 전달하는 구동부(40)와, 상기 구동부(40)에 대한 상기 이송부(43)의 위치를 검출하는 위치검출수단을 구비한다.The linear drive system includes a slider 50 to which a machining tool is attached, a transfer part 43 which is movably coupled to one end of the slider 50, and which feeds the slider 50, and one end of the transfer part 43. And a drive unit 40 movably coupled to the slider 50 and a transfer unit 43 for transmitting a driving force to the slider 50 and the transfer unit 43, and position detection means for detecting the position of the transfer unit 43 relative to the drive unit 40. .

상기 이송부(43)는 양단에 가이드레일(47)이 위치하는 프레임(45)과, 상기 슬라이더(50)를 구동하기 위한 다수의 케이블(미도시)과, 상기 케이블을 보호하기 위한 커버(46)를 구비한다. 또한, 상기 이송부(43)에는 상기 위치검출수단이 일부가 후술하는 바와 같이 형성되어 있다.The transfer part 43 has a frame 45 at which both ends of the guide rail 47 are located, a plurality of cables (not shown) for driving the slider 50, and a cover 46 for protecting the cables. It is provided. In addition, a part of said position detecting means is formed in the said conveyance part 43 so that it may mention later.

상기 구동부(40)는 산업용 로봇에 결합될 수 있는 구조로 상기 이송부(43)와 마주하는 위치에 상기 위치검출수단의 일부가 형성되어 있다.The drive unit 40 is a structure that can be coupled to the industrial robot has a portion of the position detecting means is formed at a position facing the transfer unit 43.

상기 위치검출수단은 상기 구동부(40)와 마주하는 이송부(43)의 일면에 고정 설치된 복수개의 센서도그(44)와, 상기 센서도그(44)에 감응되어 상기 이송부(43)의 위치를 검출하도록 상기 센서도그(44)와 마주하는 상기 구동부(40)에 설치된 복수개의 센서(41)를 구비한다.The position detecting means is configured to detect a position of the transfer part 43 in response to the plurality of sensor dogs 44 fixed to one surface of the transfer part 43 facing the driving part 40 and the sensor dog 44. A plurality of sensors 41 are provided in the drive unit 40 facing the sensor dog 44.

상기 이송부(43)의 위치를 감지하는 상기 센서(41)들은 그 좌측한계위치를 검출하는 제1센서(41a)와, 초기 위치를 검출하는 제2센서(41b)와, 우측한계위치를 검출하는 제3센서(41c)로 이루어지고, 상기 이송부(43)에 고정 설치된 상기 센서도그(44)들은 그 좌측한계기준위치에 마련되어 상기 제1센서(41a)에 감응하도록 된 제1센서도그(44a)와, 초기 기준위치에 마련되어 상기 제2센서(41b)에 감응하도록 된 제2센서도그(44b)와, 우측한계 기준위치에 마련되어 상기 제3센서(41c)에 감응하도록 된 제3센서도그(44c)로 이루어진 것이 바람직하다.The sensors 41 for detecting the position of the transfer part 43 include a first sensor 41a for detecting the left limit position, a second sensor 41b for detecting the initial position, and a right limit position for detecting the position of the transfer part 43. The first sensor dog 44a formed of a third sensor 41c and fixed to the transfer part 43 is provided at the left limit reference position so as to be sensitive to the first sensor 41a. And a second sensor dog 44b provided at an initial reference position to respond to the second sensor 41b, and a third sensor dog 44c provided at the right limit reference position to respond to the third sensor 41c. It is preferable to consist of).

제5도는 센서들과 센서도그들의 결합관계의 일 실시예를 나타낸 사시도이다.5 is a perspective view illustrating an embodiment of a coupling relationship between sensors and sensor dogs.

상기 이송부(43)가 상기 구동부(40)에 대하여 이송 중 상기 제1(41a) 및 제3센서(41c)가 상기 제2센서도그(44b)에 걸리지 않도록 하기 위하여 상기 제2센서도그(44b)의 높이를 상기 제1 및 제3센서도그(44a,44c)에 비하여 낮게 형성하고, 상기 제2센서(41b)의 높이가 상기 제1 및 제3센서(41a,41c)의 높이에 비하여 낮게 형성하였다.The second sensor dog 44b to prevent the first 41a and the third sensor 41c from being caught by the second sensor dog 44b while the conveying unit 43 is conveyed with respect to the driving unit 40. Is formed lower than the height of the first and third sensor dog (44a, 44c), the height of the second sensor (41b) is formed lower than the height of the first and third sensor (41a, 41c). It was.

제6도는 센서들과 센서도그들의 결합관계의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.6 is a perspective view showing another embodiment of a coupling relationship between sensors and sensor dogs.

상기 센서들과 센서도그들을 동일 형태로 구비하고, 그 배열 위치를 다르게 하여 상기 제2센서도그(44b)에 상기 제1센서(41a) 및 제3센서(41c)가 걸리지 않도록 할 수 있다.The sensors and the sensor dogs may be provided in the same shape, and the arrangement positions thereof may be different so that the first sensor 41a and the third sensor 41c are not caught by the second sensor dog 44b.

상기 센서들은 상기 제1 내지 제3센서도그(44a,44c)에 감응되어 상기 이송부(43)의 위치를 검출한 후 이를 케이블을 통하여 구동부(40)에 전달한다.The sensors are sensed by the first to third sensor dogs 44a and 44c to detect the position of the transfer part 43 and then transfer them to the driving part 40 through a cable.

이와 같이 상기 구동부(40)에 센서들을 위치시키고, 상기 이송부(43)에 센서도그(44)를 위치시킴으로써 상기 이송부(43) 내의 케이블 수를 대폭 줄일 수 있어서, 이송부의 질량감소, 구조의 단순화 및 센서용 케이블의 신뢰성을 향상시킬 수 있는등 매우 유용하다.By placing the sensors in the drive unit 40 and the sensor dog 44 in the transfer unit 43 as described above, the number of cables in the transfer unit 43 can be greatly reduced, thereby reducing the mass of the transfer unit, simplifying the structure and This is very useful for improving the reliability of the sensor cable.

Claims (2)

가공용 툴이 부착된 슬라이더와, 상기 슬라이더가 일단에 움직가능하게 결합되고 이 슬라이더를 이송하는 이송부와, 상기 이송부가 일단에 움직가능하게 결합되고 상기 슬라이더와 이송부에 구동력을 전달하는 구동부와, 상기 구동부에 대한 상기 이송부의 위치를 검출하는 위치검출수단을 구비한 직동배속장치에 있어서, 상기 위치검출수단은 상기 구동부와 마주하는 이송부의 일면에 고정 설치된 복수개의 센서도그와, 상기 센서도그에 감응되어 상기 이송부의 위치를 검출하도록 상기 센서도그와 마주하는 상기 구동부에 설치된 복수개의 센서를 구비한 것을 특징으로 하는 직동배속장치.A slider having a machining tool attached thereto, a transfer unit movably coupled to one end of the slider and transferring the slider, a drive unit movably coupled to one end of the transfer unit and transmitting driving force to the slider and the transfer unit; In a linear drive system having a position detecting means for detecting the position of the conveying portion relative to the drive unit, the position detecting means is a plurality of sensor dogs fixed to one surface of the conveying portion facing the drive unit, in response to the sensor dog And a plurality of sensors provided in the drive unit facing the sensor dog so as to detect a position of a transfer unit. 제1항에 있어서, 상기 이송부의 위치를 감지하는 상기 센서들은 그 좌측한계위치를 검출하는 제1센서와, 초기 위치를 검출하는 제2센서와, 우측한계위치를 검출하는 제3센서로 이루어지고, 상기 이송부에 고정 설치된 상기 센서도그들은 그 좌측한계기준위치에 마련되어 상기 제1센서에 감응하도록 된 제1센서도그와, 초기 기준위치에 마련되어 상기 제2센서에 감응하도록 된 제2센서도그와, 우측한계 기준위치에 마련되어 상기 제3센서에 감응하도록 된 제3센서도그로 이루어진 것을 특징으로 하는 직동배속장치.The sensor of claim 1, wherein the sensors for detecting the position of the transfer part comprise a first sensor for detecting the left limit position, a second sensor for detecting the initial position, and a third sensor for detecting the right limit position. The sensor dogs fixed to the conveying unit are provided at a left limit reference position of the first sensor dog and adapted to respond to the first sensor, and a second sensor dog provided at an initial reference position to respond to the second sensor; And a third sensor dog provided at the right limit reference position so as to respond to the third sensor.
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KR101016920B1 (en) * 2004-03-15 2011-02-25 주성엔지니어링(주) Sensing system for detecting up-down moving of electrostatic chuck
KR101142705B1 (en) * 2009-06-18 2012-05-10 오승국 A simulator for a game
KR101147566B1 (en) * 2009-12-23 2012-05-17 (주)네오하나텍 Forward and backward sliding speed and transportation device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101016920B1 (en) * 2004-03-15 2011-02-25 주성엔지니어링(주) Sensing system for detecting up-down moving of electrostatic chuck
KR101142705B1 (en) * 2009-06-18 2012-05-10 오승국 A simulator for a game
KR101147566B1 (en) * 2009-12-23 2012-05-17 (주)네오하나텍 Forward and backward sliding speed and transportation device

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