KR0124753Y1 - 반도체 제조장비의 피딩샤프트 스톱퍼 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조장비에서 피딩샤프트의 스트로크를 규제하는 스톱퍼에 관한 것으로서, 일괄처리공정으로 진행되는 트리밍/포밍공정에 필수적으로 사용되는 피딩샤프트의 정확한 스프로크를 보장할 수 있고, 다양한 종류의 리드프레임에 적용가능한 호환성을 지닌 스트로크 규제수단 즉, 스톱퍼를 제공하고자 한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 피딩샤프트 스톱퍼

제1도는 반도체 제조장비의 개략구성을 나타내는 평면도.

제2도는 본 고안에 따른 피딩샤프트 스톱퍼의 설치상태를 나타내는 일부 절단사시도.

제3도는 본 고안에 따른 피딩샤프트 스톱퍼의 분해사시도.

제4도는 종래 피딩샤프트 스톱퍼의 설치상태를 나타내는 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 리드프레임 공급부 20 : 상승 및 이송계

21 : 플로팅샤프트 22 : 피딩샤프트

23 : 핑거 30 : 가공부

40 : 패키지 배출부 50 : 스톱퍼

51 : 지지블럭 52 : 로크너트

53 : 완충부재 54 : 걸림턱

55 : 지지체 56 : 스트로크 세팅블럭

57 : 회전체 58 : 베어링

59 : 볼플런저 60 : 베이스 플레이트

본 고안은 반도체 제조장비에서 피딩샤프트의 스트로크를 규제하는 스톱퍼에 관한 것으로서, 특히 길이가 다른 여러개의 스트로크 세팅블럭을 함께 구비하여 리드프레임의 종류에 따른 피딩샤프트의 스트로크를 용이하게 조절 가능하게 함으로써, 정도높은 스트로크를 실현하고 스트로크 변경에 따른 교체작업의 불편함을 해소한 반도체 제조장비의 피딩샤프트 스톱퍼에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 여러공정들을 필요로 하게 되고, 특히 패키징공정 중에는 트리밍/포밍머신을 사용하는 공정을 필요로 하게 된다. 여기에서는 상하 금형에 의한 여러가지 작업 예를 들면, 댐바의 절단과 리드의 구부림을 위한 트리밍/포밍공정을 실시하게 된다.

이때 리드프레임을 상하금형내로 인입시키기 위한 이송은 필수적이며, 이러한 이송은 일정 스트로크로 왕복운동을 하는 이송수단 즉, 핑거를 포함하는 피딩샤프트를 통하여 이루어지게 된다. 본 고안은 이와 같은 동작특성을 갖는 피딩샤프트의 스트로크를 규제하는 스톱퍼에 관한 것이다.

첨부도면 제1도는 트리밍/포밍공정을 위한 개략적인 구성을 나타낸다.

여기서, 도면의 우측과 상부측에는 리드프레임 공급부(10 ; ON LOADER)와 상승 및 이송계(20 ; FLOATER FEEDING SYSTEM), 중앙에는 실제로 공정을 실시하기 위한 하 금형을 포함하는 가공부(30 ; TOOL SET), 좌측 및 하부측에는 가공이 끝난 리드프레임(L)을 배출하고 튜브에 삽입하기 위한 패키지 배출부(40 ; OFF LOAER)가 각각 배치되어 있다.

특히, 상기 상승 및 이송계(20)에는 리드프레임(L)을 어느 위치에서 다른 위치로 한스텝 이송시키기 위해 일정 스트로크로 왕복운동하는 플로팅샤프트(21)와 피딩샤프트(22)가 구비되어 있다. 미설명부호 23은 피딩샤프트에 일체 장착되는 핑거이다.

한편, 첨부도면 제4도에 나타낸 바와 같이, 상기 피딩샤프트(22)는 소정의 스트로크로 왕복운동을 하기 위하여 자신의 동작을 규제하는 스톱퍼(50)를 가지고 있다.

이때의 스톱퍼(50)는 암나사부를 갖는 지지블럭(51)과, 여기에 수평관통되면서 로크너트(52)를 통해 체결고정되는 완충부재(53)로 구성되어 있으며, 따라서 이 완충부재(53)의 선단부에 운동이 제한되면서 피딩샤프트(22)의 스트로크가 규제될 수 있게 되어 이다.

그러나, 이와 같은 기존의 스톱퍼(50)는 한종류의 리드프레임 이송시에만 적용가능한 단점을 갖고 있었다. 즉, 피딩샤프트(22)의 스트로크가 일정범위로 한정되어 있기 때문에 다양한 단위 이송거리를 갖는 여러 리드프레임에 모두 적용할 수 없었던 단점이 있었다. 또한, 이로 인해 리드프레임이 바뀔때마다 지지블럭(51)을 포함한 스톱퍼(50) 전체를 교체해야 하는 작업성 측면에서의 불편함이 있었다.

따라서, 본 고안은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 그 목적을 일괄처리공정으로 진행되는 트리밍/포밍공정에 필수적으로 사용되는 피딩샤프트의 정확한 스트로크를 보장할 수 있고, 다양한 종류의 리드프레임에 적용가능한 호환성을 지닌 스트로크 규제수단 즉, 스톱퍼를 제공함에 있다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안은 지지블럭(51)의 중앙에는 선단부에 걸림턱(54)을 갖는 원통형의 지지체(54)를 수평으로 관통시키는 동시에 후단부의 로크너트(52) 체결을 통해 고정설치되게 하고, 전면에는 원주방향을 따라 균등배치된 다수의 스트로크 세팅블럭(56)을 갖는 원판형의 회전체(57)를 밀착결합하되, 이 회전체(57)의 중심이 베어링(58)을 매개로 하여 상기 지지체(55)에 축설되어 회전가능하게 되며 동시에 그 후면부의 볼플런저(59)에 의하여 회전이 단속하도록 이루어진 것이다.

특히, 상기 각각의 스트로크 세팅블럭(56)은 서로 차별화된 높이를 갖게되며, 어느 한방향으로 진행될수록 그 높이가 점차 높아지거나 또는 낮아지는 순서로 배열된다.

이를 좀더 상세히 설명하면, 첨부도면 제3도는 본 고안의 피딩샤프트 스톱퍼를 나타내는 분해사시도이다.

여기서, 도면부호 51은 지지블럭, 55는 여기에 고정설치되는 지지체이다.

상기 지지블럭(51)은 베이스 플레이트(60)상에 놓여지는 받침부재(51a)와, 이 받침부재(51a)의 윗면에서부터 직립형성되는 수직부재(51b)로 구성되어 있으며, 상기 수직부재(51b)의 상측 중심부에는 상기 지지체(55)를 삽입 설치하기 위한 관통구멍이 형성되어 있다. 이때의 관통구멍의 중심축선은 피딩샤프트의 중심가로축선과 동일 수평선상에 놓여지게 된다.

또한, 상기 관통구멍의 주위에는 일정깊이를 갖는 소정의 장공(51c)이 동일원주선상에서 등간격으로 형성되어 있다. 예컨대, 이때의 장공(51c)은 원주선상의 정점위치를 포함하여 적어도 4개소 이상에 형성된다.

이러한 장공(51c)에는 스프링(59a)과 볼(59b)로 구성된 볼플런저(59)가 장착된다.

즉, 상기 장공(51c)의 안쪽에서부터 스프링(59a)과 볼(59b)이 차례로 삽입되며, 뒷쪽의 스프링(59a)에 의해 탄성지지를 받는 볼(59b)이 후술하는 회전체(57)의 이면부에 형성된 요홈부(57c)에 선택적으로 걸려지게 되므로서, 이 회전체(57)의 회전을 단계적으로 단속하게 된다.

상기 지지체(55)는 원통형으로 이루어져 있으며, 이 지지체(55)의 선후단부에는 걸림턱(54)과 나사부가 각각 형성되어 있다. 상기 나사부는 상기 수직부재(51b)의 관통구멍을 통과하면서 뒷쪽가지 돌출위치되어 그곳에서 로크너트(52)의 체결을 가능하게 하며, 상기 걸림턱(54)은 수직부재(51b)의 전면으로부터 일정거리 쪽으로 연장위치되면서 회전체(57)의 전면 중앙에 형성된 걸림턱 안착요부(57a)에 형합되어 이 회전체(57)가 앞쪽으로 탈거되는 것을 방지해 주게 된다.

또한, 도면부호 57은 회전체를 나타낸다.

상기 회전체(57)는 중심부에 그 두께를 관통하는 구멍을 갖는 원판형으로 이루어져 있다. 이 회전체(57)는 상기 구멍을 이용하여 상기 지지체(55)상에 삽입결합 되면서 자유롭게 회전될 수 있게 되는데, 이를 위하여 회전체(57)의 전면부에는 구멍을 중심으로 소정의 반경을 갖는 동시에 일정깊이 예컨대, 지지체(55)의 걸림턱(54)이 갖는 두께에 상응하는 깊이를 갖는 걸림턱 안착요부(57a)가 형성되어 있고, 이 안착요부(57a)의 대향위치 즉, 후면부에는 베어링 안착요부(57b)가 형성되어 있어서, 상기 걸림턱 안착요부(57a)로는 지지체(55)의 걸림턱(54)이 위치되어 회전방향으로의 슬라이드 접동이 가능하게 되고, 상기 베어링 안착요부(57b)로는 베어링(58)이 삽입되는 동시에 이것(58)이 지지체(55)의 외주부에 결착되므로서, 상기 회전체(57)는 지지체(55)를 회전중심축으로 하여 자유롭게 회전될 수 있게 된다.

이때의 회전체(57)는 상기 수직부재(51b)의 전면부에 밀착되면서 회전하게 되는데, 그 후면부에는 상기한 볼플런저(59)의 볼(58b)이 걸려질 수 있는 요홈부(57c) 예컨대, 볼(59b)이 일부만이 안착될 수 있는 반구형의 요홈부(57c)가 후술하는 각각의 스트로크 세텅블럭(56)의 위치와 일대일 대응되는 위치마다 하나씩 형성되어 있어서, 이러한 각각의 요홈부(57c)중에서 선택된 어느 하나에 상기 볼(59b)이 걸려지게 됨에 따라 그때의 회전이 제한되면서 그 위치에서 회전체(57)의 세팅위치가 결정될 수 있게 된다.

특히, 상기 회전체(57)의 전면부에는 피딩샤프트의 스트로크를 실질적으로 제한해주게 되는 다수의 스트로크 세팅블럭(56)이 부착되어 있다. 이와 같은 스트로크 세틱블럭(56)은 비교적 높이가 낮은 원기둥 형상(예컨대, 원판형상에 더 가까운 형상)으로 이루어져 있으며, 회전체(57)의 테두리부위를 따라가면서 균등간격으로 배치된다. 이때의 배치순서는 높이가 높은순서에서 점차 낮아지는 순서로 이루어지게 되며, 각각의 스트로크 세팅블럭(56)의 바로 뒷쪽에는 상술한 바 있는 볼플런저(59)가 위치될 수 있게 되어 있어서, 서로 이웃하는 스트로크 세팅블럭(56)간의 원주거리를 한 피치로 하는 회전체(57)의 한스텝 회전거리가 결정될 수 있게 된다.

한편, 첨부도면 제2도에 도시한 바와 같이, 상기한 구성요소들의 조합으로 이루어진 본 고안의 스톱퍼(50)는 피딩샤프트의 전후 운동방향 앞쪽으로 일정거리 떨어진 위치에서 고정설치 된다. 이렇게 설치되는 스톱퍼(50)의 중심 예컨대, 회전체(57)의 회전중심은 피딩샤프트(22)의 중심가로축선과 일치하게 되고, 이곳에서부터 동일한 반경선상에 배치되어 있는 각 스트로크 세팅블럭(56)의 회전궤적 정점은 피딩샤프트(22)의 선단부에 일체고정되는 완충부재(53)의 중심가로축선과 일치하게 된다.

따라서, 상기 피딩샤프트(22)의 완충부재(53)는 첨부도면 제2도에 나타낸 스트로크(S)로 운동을 하게 되고, 이때의 완충부재(53)는 전진운동 한계 위치에 있는 스톱퍼(50)의 스트로크 세팅블럭(56)에 맞닿으면서 그 충격을 흡수하는 동시에 피딩샤프트(22)의 진행을 제한하게 된다.

한편, 리드프레임의 적용대상 변경에 따라 피딩샤프트(22)의 스트로크를 조절해야할 필요성이 있는 경우에는 상기 회전체(47)를 필요한 스텝만큼 회전시키는 간편한 수동조작을 통해서 용이하게 피딩샤프트(22)의 스트로크를 조절할 수 있게 된다. 즉, 변경된 리드프레임에 따라 선정되어진 어느 하나의 스트로크 세팅블럭(56)이 이것(56)이 갖는 회전궤적의 정점에 순차적으로 위치 될때마다 바로 뒷쪽의 볼플런저(59)를 통해 그 위치에서 고정가능하게 되고, 이에 따라 다양한 리드프레임의 각각의 이송피치에 맞도록 설정되어 있는 스트로크 세팅블럭(56)을 완충부재(53)의 운동선상에 위치시키게 되므로서, 피딩샤프트(22)의 스트로크를 손쉽게 가변 조절할 수 있게 된다.

그러므로, 종래와 같이 피딩샤프트(22)의 스트로크를 조절하기 위해 스톱퍼(50) 전체를 탈거후 교체하는 것이 아니라, 다양한 스트로크 범위를 갖는 스트로크 세팅블럭(56)의 위치를 가변시키는 것이기 때문에 스트로크 조절에 따른 불필요했던 작업 소요시간을 절감할 수 있으며, 스톱퍼(50)의 교체에 따른 작업상의 오차를 배제할 수 있으므로 보다 정확한 스트로크를 실현할 수 있는 효과가 있다.

따라서, 고정밀도의 트리밍/포밍공정을 수행할 수 있게 되어 반도체 제조장비에 있어서의 생산성 및 처리율을 높일 수 있게 된다.

Claims (3)

1. 지지블럭(51)의 중앙에는 선단부에 걸림턱(54)을 갖는 원통형의 지지체(55)를 수평으로 관통시키는 동시에 후단부의 로크너트(52) 체결을 통해 고정설치되게 하고, 전면에는 원주방향을 따라 균등배치된 다수의 스트로크 세팅블럭(56)을 갖는 원판형의 회전체(57)를 밀착결합하되, 이 회전체(57)의 중심이 베어링(58)을 매개로 하여 상기 지지체(55)에 축설되어 회전가능하게 하는 동시에 그 후면부의 볼플런저(59)에 의해 이때의 회전이 단속될 수 있게 한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 피딩샤프트 스톱퍼.
2. 제1항에 있어서, 상기 각각의 스트로크 세팅블럭(56)은 서로 차별화된 높이를 갖게되며, 어느 한방향으로 진행될수록 그 높이가 점차 높아지거나 낮아지는 순서로 배열되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 피딩샤프트 스톱퍼.
3. 제1항에 있어서, 상기 볼플런저(59)는 스트로크 세팅블럭(56)이 갖는 회전궤적선상에 배치되어지되, 상기 회전궤적의 정점위치를 포함하여 적어도 4개소에 등간격으로 배치되어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 피딩샤프트 스톱퍼.