KR0117494Y1 - 가스량조절기 분해조립을 위한 지그장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조장비중 웨이퍼의 식각을 위한 가스공급 라인에 장착된 가스량 조절기를 신속하게 분해, 조립시킬 수 있는 지그장치에 관한 것으로, 상하측 가스공급라인의 소정위치에 각각 끼워져 나사에 의해 고정되는 연결구; 상기 상하 연결구에 그 일측이 장착되어 상기 가스공급라인을 가스량조절기로 부터 상하로 소정간격만큼 이격시킬 수 있도록 소정길이를 가지는 지지대; 상기 상하 지지대의 타단부에 각각 그 일측이 장착되며, 그 타측은 중심부에 연결되어 상기 지지대가 좌우로 벌려질 수 있도록 수평으로 가압하는 2절링크; 상기 상하 지지대가 끼워지며, 그 일측에는 상기 2절링크의 수평부가 끼워지도록 암나사홀이 형성된 고정구; 및 상기 고정구의 암나사홀에 체결되며, 상기 2절링크가 지지대를 가압할 수 있도록 하는 구동볼트를 구비하여 신속하게 분해조립을 하므로써 작업시간을 단축하고, 분해에 따른 팁의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

가스량 조절기 분해조립을 위한 지그장치

제 1 도는 종래의 웨이퍼 식각을 위한 식각을 위한 가스공급장치의 구성도,

제 2 도는 본 고안에 의한 가스량조절기 분해조립을 위한 지그장치의 일실시예 구성을 나타낸 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 가스공급라인1a, 2a : 팁

2 : 가스량 조절기3 : 연결구

4 : 지지대5 : 고정구

6 : 2절링크7 : 구동볼트

8 : 체결구

본 고안은 반도체 제조장비중 웨이퍼의 식각을 위한 가스공급 라인에 장착된 가스량조절기를 신속하게 분해, 조립시킬 수 있는 지그장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼의 식각공정을 수행하기 위하여 가스공급라인을 통하여 외부로 부터 많은 양의 가스를 공급하게 되는데, 제 1 도에 도시한 바와 같이 상기 가스공급라인(21)의 소정위치마다 가스량의 용량에 맞는 가스량조절기(22)가 각각 장착되어 적절히 가스량을 조절하므로써 웨이퍼의 식각공정을 위한 가스공급을 하게 된다.

여기서, 상기 가스공급라인(21)과 가스량조절기(22)는 그들의 양단에 형성된 팁(21a, 22a)을 붙히고, 소정의 볼트 및 너트로 이루어지되 증공된 형상을 가지는 체결구(23)를 끼워 연결하며, 상기 팁(21a)과 팁(22a) 사이에 소정의 가스켓을 삽입하여 가스의 누출을 방지하였다.

그러나, 상기 가스공급라인(21)을 통한 가스흐름이 불안정하거나 공정상의 문제가 발생시에는 상기 가스량조절기(22)를 교체하여야 하는데, 구조적으로 상기 가스공급라인(21)과 가스량조절기(22)의 결합 간격이 매우 밀접하게 되어 있기 때문에 상기 체결구(23)를 풀어 교체한다 하더라도 팁(21a)과 팁(22a)사이의 여유간격이 없어 가스켓을 삽입하기가 곤란하여 상기 가스공급라인(21)을 휘거나 강제로 이동시켜 가스량조절기(22)의 교환작업을 수행하였다.

이로인하여, 상기 팁과 팁이 맞부딧혀 손상을 입는 현상이 발생하고, 또한 가스켓을 제대로 삽입하지 못함에 따라 가스누출로 인한 가스공급라인의 부식과 가스량 조절기가 손실될 뿐만 아니라 교체 작업 시간이 많이 소요되는 문제점을 내포하고 있었다.

따라서, 본 고안은 상기의 제반문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 가스공급라인의 팁과 가스량 조절기의 팁사이의 소정간격을 유지하도록 하면서 신속한 분리 및 조립이 용이하도록 하는 가스량 조절기 분해조립을 위한 지그장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 외부로 부터 가스를 공급하는 가스공급라인과, 가스의 흐르는 용량에 따라 선택되어 가스량을 조절하며, 상기 가스공급라인 각각의 단부에 형성된 팁에 연결되도록 그와 동일한 팁이 그 양단에 형성된 가스량 조절기가 구비된 웨이퍼 식각을 위한 가스공급장치에서의 가스량 조절기의 분해, 조립장치에 있어서, 상기 상하측 가스공급라인의 소정위치에 각각 끼워져 나사에 의해 고정되는 연결수단; 상기 상하 연결수단에 그 일측이 장착되어 상기 가스공급라인을 가스량 조절기로 부터 상하로 소정간격만큼 이격 시킬 수 있도록 소정길이를 가지는 지지수단; 상기 상하 지지수단의 타단부에 각각 그 일측이 장착되며, 그 타측은 중심부에 연결되어 상기 지지수단이 좌우로 벌려질 수 있도록 수평으로 가압하는 링크수단; 상기 상하 지지수단이 끼워지며, 그 일측에는 상기 링크수단의 수평부가 끼워지도록 암나사홀이 형성된 고정구; 및 상기 고정구의 암나사홀에 체결되며, 풀고 조임에 따라 상기 링크수단이 지지수단을 가압할 수 있도록 하는 가압력 제공수단을 제공한다.

이하 첨부된 제 1도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.

제 1 도는 본 고안에 의한 가스량 조절기 분해조립을 위한 지그장치의 일실시예 구성을 나타낸 개략도로서, 도면에서 1은 가스공급라인, 1a, 2a는 팁, 2는 가스량 조절기, 3은 연결구, 4는 지지대, 5는 고정구, 6은 2절링크, 7은 구동볼트, 8은 체결구를 각각 나타낸다.

도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 가스량 조절기 분해조립을 위한 지그장치는 가스공급라인의 팁과 가스량 조절기의 팁간을 소정 간격만큼 이격시키기 위한 장치로, 상기 상하측 가스공급라인(1)의 소정위치에는 연결구(3)가 끼워지되, 나사에 의해 고정되어 있다.

상기 연결구(3)에는 격자로 꺽여진 지지대(4)가 각각 장착되어 외력에 의하여 가스공급라인(1)을 상하로 이동시켜 그의 팁(1a)과 가스량 조절기 팁(2a)사이가 소정간격만큼 벌려질수 있도록 한다.

상기 지지대(4)의 타단부에는 사각형상을 가지는 소정크기의 고정구(5)가 장착되되, 그의 일측부에는 소정크기의 암나사홀의 형성된다.

그리고, 상기 고정구(5)의 암나사홀에는 Y형상을 수평으로 뉘인 형상을 가지는 2절링크(6)가 끼워지되, 상기 2절링크(6)의 양단부는 상기 지지대(4)의 타단부에 고정되어 그의 타단부를 중심으로 일측부가 양측상하로 벌려질수 있도록 수평으로 가압한다.

또한, 상기 고정구(5)의 암나사홀에는 소정크기의 구동볼트(7)가 체결되되, 상기 구동볼트의 내측에는 상기 2절링크의 수평부가 끼워져 고정될 수 있도록 중공홈이 형성된다.

미설명 부호 8은 체결구로서 가스공급라인 팁과 가스량 조절기 팁이 결합되도록 고정시키는 것이다.

상기와 같이 구성된 지그장치의 작용상태를 살펴보면 다음과 같다.

상기 가스공급라인(1)으로 부터 가스량조절기(2)를 분해하고자 할 경우에 상기 상하 가스공급라인(1)에 각각 연결구(3)를 끼워 고정시킨 다음, 상기 가스공급라인 팁(1a)과 가스량조절기 팁(2a)에 장착된 체결구(8)를 풀고, 상기 구동볼트(7)를 전진방향으로 돌려 2절링크(6)를 가압한다.

이에따라, 상기 2절링크(6)의 양단부가 가압력에 의해 상하로 벌어지면서 그의 회동력만큼 지지대(4)가 벌어지도록 함으로서 가스공급라인 팁(1a)이 가스량조절기 팁(2a)으로 부터 소정간격만큼 이격되어 쉽게 교체하도록 한다.

그리고 조립시는 상기의 역순으로 가스량조절기 팁(2a)을 가스공급라인 팁(1a)이 팁(1a)에 맞춘다음 가스켓(도면에 도시하지 않음)을 삽입하고, 구동볼트(7)를 후진시켜 지지대(4)가 원위치로 좁혀지도록 하여 고정시키는 것이다.

상기과 같이 구성되어 작용하는 본 고안은 신속하게 분해조립을 하므로서 작업시간을 단축하고, 분해에 따른 팁의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 외부로 부터 가스를 공급하는 가스공급라인과, 가스의 흐르는 용량에 따라 선택되어 가스량을 조절하며, 상기 가스공급라인 각각의 단부에 형성된 팁에 연결되도록 그와 동일한 팁이 그 양단에 형성된 가스량조절기가 구비된 웨이퍼 식각을 위한 가스공급장치에서의 가스량조절기의 분해, 조립장치에 있어서,

   상기 상하측 가스공급라인의 소정위치에 각각 끼워져 나사에 의해 고정되는 연결수단;

   상기 상하 연결수단에 그 일측이 장착되어 상기 가스공급라인을 가스량조절기로 부터 상하로 소정 간격만큼 이격시킬 수 있도록 소정 길이를 가지는 지지수단;

   상기 상하 지지수단의 타단부에 각각 그 일측이 장착되며, 그 타측은 중심부에 연결되어 상기 지지수단이 좌우로 벌려질 수 있도록 수평으로 가압하는 링크수단;

   상기 상하 지지수단이 끼워지며, 그 일측에는 상기 링크수단의 수평부가 끼워지도록 암나사홀이 형성된 고정구; 및

   상기 고정구의 암나사홀에 체결되며, 풀고 조임에 따라 상기 링크수단이 지지수단을 가압할 수 있도록 하는 가압력 제공수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스량 조절기 분해조립을 위한 지그장치.