KR0108027Y1 - Position controller - Google Patents
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Abstract
본 고안은 위치제어장치에 관한 것으로, 계속적으로 고전압이 공급되는 경우 발생되는 오동작과 계속적인 전류의 흐름으로 인해 발생되는 열에 의한 위치감지 스위칭수단의 불량을 방지하기 위하여 위치감지 스위칭수단을 통해 공급되는 저전압에 의해 전달회로가 동작되고, 전달회로의 출력이 접속부의 릴레이를 구동시켜 제어부에 고전압이 공급되도록 하므로써 위치감지 스위칭수단을 보호할 수 있도록 한 위치제어장치에 관한 것이다.The present invention relates to a position control device, which is supplied through the position sensing switching means in order to prevent the malfunction of the position sensing switching means due to the heat generated due to the malfunction and continuous flow of current generated when a high voltage is continuously supplied. The transfer circuit is operated by a low voltage, and the output of the transfer circuit relates to a position control device which can protect the position sensing switching means by driving a relay of the connecting portion so that a high voltage is supplied to the control unit.
Description
제1도는 종래 위치제어장치의 회로도.1 is a circuit diagram of a conventional position control apparatus.
제2(a)도는 본 고안에 따른 위치제어장치의 블럭도.2 (a) is a block diagram of a position control apparatus according to the present invention.
제2(b)도는 제2(a)도의 상세한 회로도.FIG. 2 (b) is a detailed circuit diagram of FIG. 2 (a).
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 및 1A : 위치감지 스위칭수단 2 : 보호수단1 and 1A: position sensing switching means 2: protective means
3 : 제어부 4 : 전달회로3: control unit 4: transmission circuit
5 : 릴레이 6 : 접속부5 relay 6 connection
본 고안은 위치제어장치에 관한 것으로, 특히 위치감지 스위칭수단을 통해 공급되는 저전압에 의해 전달회로가 동작되고 전달회로의 출력이 접속부의 릴레이를 구동시켜 제어부에 고전압이 공급되도록 하므로써 위치감지 스위칭수단을 보호할 수 있도록 한 위치제어장치에 관한 것이다.The present invention relates to a position control device, and in particular, the transfer circuit is operated by a low voltage supplied through the position sensing switching means, and the output of the transfer circuit drives the relay of the connecting portion so that the high voltage is supplied to the control unit. It relates to a position control device to protect.
종래의 위치제어장치는 제1도에 도시된 바와같이 위치감지 스위칭수단(1)을 통해 공급되는 고전압(예를들어 +24V)이 보호수단(2)을 거쳐 직접 제어부(3)로 공급되도록 구성된다. 상기 보호수단(2)은 상기 위치감지 스위칭수단(1)의 동작시 발생될 수 있는 과전류가 상기 제어부(3)로 유입되는 것을 방지하기 위한 것이다. 그러면 여기서 이해를 돕기 위하여 반도체소자 제조에 이용되는 식각(Etch)장비의 위치감지 스위칭수단을 예를들어 설명하면 다음과 같다.The conventional position control apparatus is configured such that a high voltage (for example, + 24V) supplied through the position sensing switching means 1 is directly supplied to the controller 3 through the protection means 2 as shown in FIG. do. The protection means (2) is to prevent the overcurrent that may be generated during the operation of the position sensing switching means 1 flows into the control unit (3). Then, the position sensing switching means of the etching (Etch) equipment used in the manufacture of semiconductor devices for the purpose of understanding here will be described as follows.
식각장비의 위치감지 스위칭수단은 챔버리프터(Chamber lifter)에 의해 그 접점이 온(ON)상태가 되도록 일정위치에 설치되는데, 상기 챔버리스터가 소정의 위치에 도달되면 상기 위치감지 스위칭수단을 통해 고전압이 제어부에 공급되어 챔버리프터의 상승을 중지시킨다. 그런데 상기 위치감지 스위칭수단은 마그네틱(Magnetic)재질로 제조되어 있기 때문에 계속적으로 고전압이 공급되는 경우 오동작이 발생되거나, 계속적인 전류의 흐름으로 인하여 발생되는 열에 의해 심각한 피해를 입게된다.The position sensing switching means of the etching equipment is installed at a predetermined position such that the contact point is turned on by a chamber lifter. When the chamber Lister reaches a predetermined position, a high voltage is applied through the position sensing switching means. It is supplied to this control part and stops raising of a chamber lifter. However, since the position sensing switching means is made of a magnetic material, a malfunction occurs when high voltage is continuously supplied, or serious damage is caused by heat generated due to continuous flow of current.
따라서 본 고안은 위치감지 스위칭수단을 통해 공급되는 저전압에 의해 전달회로가 동작되고, 전달회로의 출력이 접속부의 릴레이를 구동시켜 제어부에 고전압이 공급되도록 하므로써 상기한 단점을 해소할 수 있는 위치제어장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention operates the transfer circuit by the low voltage supplied through the position sensing switching means, and the position control device that can solve the above disadvantages by the output of the transfer circuit to drive the relay of the connection to supply a high voltage to the control unit The purpose is to provide.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안은 위치감지 스위칭수단을 통해 공급되는 저전압이 전달회로에 공급되고 상기 전달회로의 출력에 의해 접속부가 구동되며 상기 접속부의 동작에 의해 제어부에 고전압이 공급되도록 구성된 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is that the low voltage supplied through the position sensing switching means is supplied to the transfer circuit, the connection is driven by the output of the transfer circuit and the high voltage is supplied to the control unit by the operation of the connection It features.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 고안에 따른 위치제어장치는 제2(a)도에 도시된 바와같이 위치감지 스위칭수단(1A)을 통해 공급되는 저전압(예를들어 Vcc)이 전달회로(4)에 공급되고 상기 전달회로(4)의 출력에 의해 접속부(6)가 구동되며 상기 접속부(6)의 동작에 의해 제어부(3)에 고전압(예를들어 24V)이 공급되도록 구성되는데, 상기 전달회로(4)는 상기 위치감지 스위칭수단(1A)의 한단자 및 접지간에 저항(R1 및 R2)이 직렬접속되고 콜렉터(Collector)단자에서 고전압이 공급되며 에미터(Emitter)단자에는 상기 접속부(6)의 한입력단자가 접속된 다알링콘 트랜지스터(Darlington Transistor; Q)의 베이스(Base)단자에 상기 저항(R1 및 R2)의 접속점이 접속되도록 구성되며, 상기 접속부(6)는 입력단자간에 역전압방지를 위해 병렬접속된 다이오드(D)와, 하나의 접점(B)에는 고전압(예를들어 24V)이 공급되며 다른 하나의 접점(C)에는 상기 제어부(3)의 입력단자가 접속된 릴레이(5)로 구성된다.In the position control apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 2 (a), a low voltage (for example Vcc) supplied through the position sensing switching means 1A is supplied to the transfer circuit 4 and the transfer circuit ( The connection part 6 is driven by the output of 4) and a high voltage (for example, 24V) is supplied to the control part 3 by the operation of the connection part 6, and the transfer circuit 4 detects the position. The resistors R1 and R2 are connected in series between one terminal of the switching means 1A and the ground, a high voltage is supplied from the collector terminal, and one input terminal of the connecting portion 6 is connected to the emitter terminal. A connection point of the resistors R1 and R2 is connected to a base terminal of a Darlington transistor Q, and the connection part 6 includes a diode connected in parallel to prevent reverse voltage between input terminals. D) and one contact point B are supplied with a high voltage (e.g. 24V). The other contact C is composed of a relay 5 to which an input terminal of the controller 3 is connected.
상기와 같이 구성된 위치제어장치의 위치감지 스위칭수단(1A)에 소정의 대상물이 감지되어 상기 위치감지 스위칭수단(1A)이 온(ON)상태가 되는 경우, 위치감지 스위칭수단(1A)을 통해 저전압(Vcc)이 전달회로(4)에 공급되고 저항(R1 및 R2)에 의해 분배된 전압에 의해 상기 다알링톤 트랜지스터(Q)가 턴온(Turn On)된다. 그러므로 상기 다알링톤 트랜지스터(Q)의 콜렉터단자로부터 공급되는 전원전압(Vcc)이 상기 접속부(6)의 입력단자에 공급되어 릴레이(5)가 구동되고 이때 릴레이(5)의 접점(C와 B)이 접속되어 상기 제어부(3)에는 고전압(+24V)이 공급된다.When a predetermined object is detected by the position sensing switching means 1A of the position control device configured as described above and the position sensing switching means 1A is turned on, the low voltage is transmitted through the position sensing switching means 1A. (Vcc) is supplied to the transfer circuit 4 and the Darlington transistor Q is turned on by the voltage distributed by the resistors R1 and R2. Therefore, the power supply voltage Vcc supplied from the collector terminal of the Darlington transistor Q is supplied to the input terminal of the connection portion 6 so that the relay 5 is driven and the contacts C and B of the relay 5 are driven. This connection is made and a high voltage (+ 24V) is supplied to the said control part 3.
상술한 바와같이 본 발명에 의하면 위치감지 스위칭수단을 통해 공급되는 저전압에 의해 전달회로가 동작되고 전달회로의 출력이 접속부의 릴레이를 구동시켜 제어부에 고전압이 공급되도록 하므로써 장시간의 동작에도 불량이 발생되지 않도록 위치감지 스위칭수단을 보호할 수 있는 탁월한 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the transfer circuit is operated by the low voltage supplied through the position sensing switching means, and the output of the transfer circuit drives the relay of the connecting portion so that a high voltage is supplied to the controller so that no defect occurs even for a long time operation. There is an excellent effect to protect the position sensing switching means.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940031754U KR0108027Y1 (en) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | Position controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940031754U KR0108027Y1 (en) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | Position controller |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960018567U KR960018567U (en) | 1996-06-19 |
| KR0108027Y1 true KR0108027Y1 (en) | 1999-10-01 |
Family
ID=19399478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940031754U KR0108027Y1 (en) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | Position controller |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0108027Y1 (en) |
-
1994
- 1994-11-29 KR KR2019940031754U patent/KR0108027Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960018567U (en) | 1996-06-19 |
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