図１は、実施形態のベーパチャンバの例示的かつ模式的な断面図である。FIG. 1 is an exemplary and schematic cross-sectional view of the vapor chamber of the embodiment.
図２は、実施形態のレーザ溶接装置の例示的な概略構成図である。FIG. 2 is an exemplary schematic configuration diagram of the laser welding device of the embodiment.
図３は、実施形態のベーパチャンバの被溶接部位の表面上におけるレーザ光のビーム（スポット）を示す例示的な模式図である。FIG. 3 is an exemplary schematic diagram showing a beam (spot) of laser light on the surface of a portion to be welded of the vapor chamber of the embodiment.
図４は、照射するレーザ光の波長に対する各金属材料の光の吸収率を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the light absorptance of each metal material with respect to the wavelength of the irradiated laser light.
図５は、実施形態の溶接部の例示的な断面図である。FIG. 5 is an exemplary cross-sectional view of an embodiment weld.
図６は、実施形態の溶接部の一部を示す例示的な断面図である。FIG. 6 is an exemplary cross-sectional view showing a portion of the weld of the embodiment.
図７は、実施形態のレーザ溶接装置による第一レーザ光を単体で照射した場合の溶接部の幅と第二スポット径との組み合わせにおける溶接の実験結果を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing experimental results of welding in combination of the width of the welded portion and the second spot diameter when the first laser beam is irradiated singly by the laser welding apparatus of the embodiment.
図８は、実施形態のレーザ溶接装置による第一レーザ光のパワーに対する第
二レーザ光のパワーの比である出力比と、スパッタ抑制率との相関関係を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing the correlation between the output ratio, which is the ratio of the power of the second laser beam to the power of the first laser beam, and the spatter suppression rate in the laser welding apparatus of the embodiment.
図９は、実施形態の溶接部の例示的かつ模式的な断面図であって、掃引方向に沿うとともに表面と直交した断面における断面図である。FIG. 9 is an exemplary and schematic cross-sectional view of the welded portion of the embodiment, taken along the sweep direction and perpendicular to the surface.
図１０は、参考例として図９の場合と同じパワーでの第一レーザ光の単独の照射により形成された溶接部の例示的かつ模式的な断面図であって、掃引方向に沿うとともに表面と直交した断面における断面図である。FIG. 10 is an exemplary and schematic cross-sectional view of a weld formed by single irradiation of the first laser beam at the same power as in FIG. 9 as a reference example, along the sweep direction and the surface. FIG. 4 is a cross-sectional view in an orthogonal cross section;
図１１は、図９の一部の拡大図である。11 is an enlarged view of a part of FIG. 9. FIG.
図１２は、実施形態の溶接部の断面中の一つの位置について、第一基準線を適用した場合を示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram showing a case where the first reference line is applied to one position in the cross section of the welded portion of the embodiment.
図１３は、実施形態の溶接部の断面中の一つの位置について、第二基準線を適用した場合を示す説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram showing a case where the second reference line is applied to one position in the cross section of the welded portion of the embodiment.
図１４は、実施形態の溶接部の掃引方向に沿うとともに表面と直交した断面における例示的かつ模式的な断面図であって、溶接部の掃引方向の前端部の断面図である。FIG. 14 is an exemplary and schematic cross-sectional view along the sweep direction of the welded portion of the embodiment and perpendicular to the surface, and is a cross-sectional view of the front end portion of the welded portion in the sweep direction.
図１５は、参考例として図１４の場合と同じパワーでの第一レーザ光の単独の照射により形成された溶接部の掃引方向に沿うとともに表面と直交した断面における例示的かつ模式的な断面図であって、溶接部の掃引方向の前端部の断面図である。FIG. 15 is an exemplary and schematic cross-sectional view along the sweep direction and perpendicular to the surface of the weld formed by single irradiation of the first laser beam at the same power as in FIG. 14 as a reference example. and FIG. 4 is a cross-sectional view of the front end portion of the welded portion in the sweep direction.
［第一レーザ光と第二レーザ光の出力比によるスパッタの抑制］
図８は、第一レーザ光のパワー（Ｐｗ１）に対する第二レーザ光のパワー（Ｐｗ２）の比である出力比（Ｒｐ＝Ｐｗ２／Ｐｗ１）と、スパッタ抑制率との相関関係を示すグラフである。ここで、スパッタ抑制率Ｒｓは、以下の式（２）のように定義する。
Ｒｓ＝１－Ｎｈ／Ｎｉｒ ・・・（２）
ここに、Ｎｈは、第一レーザ光と第二レーザ光との双方を照射した場合に所定エリア内に生じたスパッタ数であり、Ｎｉｒは、Ｎｈの計測時と同じパワーで第一レーザ光のみを照射した場合に所定エリア内に生じたスパッタ数である。また、図８は、各出力比において複数回実験を行った結果を示している。出力比に対応した線分は当該出力比における複数サンプル（少なくとも３サンプル以上）の実験結果におけるスパッタ抑制率のばらつきの範囲を示し、□は、出力比毎のスパッタ抑制率の中央値を示している。
[Suppression of Spatter by Output Ratio of First Laser Beam and Second Laser Beam]
FIG. 8 is a graph showing the correlation between the output ratio (Rp=Pw2/Pw1), which is the ratio of the power ( Pw2 ) of the second laser beam to the power ( Pw1 ) of the first laser beam, and the spatter suppression rate. . Here, the spatter suppression rate Rs is defined by the following formula (2).
Rs=1−Nh/Nir (2)
Here, Nh is the number of spatters generated in a predetermined area when both the first laser beam and the second laser beam are irradiated, and Nir is the same power as when measuring Nh, and only the first laser beam It is the number of spatters generated in a predetermined area when irradiating . Moreover, FIG. 8 shows the results of multiple experiments at each output ratio. The line segment corresponding to the output ratio indicates the range of variation in the spatter suppression rate in the experimental results of multiple samples (at least three samples) at the output ratio, and □ indicates the median value of the spatter suppression rate for each output ratio. there is