JPWO2021118935A5 - - Google Patents
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Description
本開示のいくつかの実施形態は、方法を含む。図７を参照すると、液体前駆体を気化する方法７００における動作は、７０２において、液体前駆体気化器を提供することであって、前記気化器が、入口および出口と、第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアとを含む気化器を提供することと、７０４において、前記液体前駆体が前記気化器の前記入口と前記出口との間の前記経路における前記複数の蛇行経路を通過するようにすることとを含んでもよい。
本発明の主題のそのような実施形態は、本明細書において個別におよび／または集合的に「発明」という用語で呼ばれる場合があるが、これは単に便宜上の問題であり、実際に複数が開示されている場合、本出願の範囲を任意の単一の発明または発明概念に自発的に限定する意図はない。したがって、本明細書では特定の実施形態を図示し、説明してきたが、同じ目的を達成するために算定された任意の構成が、示した特定の実施形態の代替となり得ることを理解されたい。本開示は、様々な実施形態のすべての適応または変形を網羅することを意図している。上記の実施形態と、本明細書に具体的に記載されていない他の実施形態との組み合わせは、上記の説明を検討すれば、当業者には明らかであろう。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１：
液体前駆体気化器であって、
入口と、
出口と、
第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアと
を備える、気化器。
適用例２：
請求項１に記載の気化器であって、
前記複数の蛇行経路のうちの少なくとも１つは、一連の交互のピンチ領域および拡張領域を含む、気化器。
適用例３：
請求項１に記載の気化器であって、
前記第１の気化器コアと通信する第２の気化器コアをさらに備え、前記第１および第２の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間に前記液体前駆体のための前記経路を画定する、気化器。
適用例４：
請求項３に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲するシースをさらに備える、気化器。
適用例５：
請求項４に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲する前記シースは、アルミニウム材料を含む、気化器。
適用例６：
請求項５に記載の気化器であって、
前記アルミニウム材料は、前記第１および第２の気化器コアの各々の中心容積内に延在している、気化器。
適用例７：
請求項１に記載の気化器であって、
前記第１の気化器コアは、付加製造（ＡＭ）プロセスによって製造される、気化器。
適用例８：
請求項５に記載の気化器であって、
前記ＡＭプロセスは、ＡＭ材料としてレーザー溶融インコネル７１８の使用を含む、気化器。
適用例９：
請求項６に記載の気化器であって、
前記ＡＭプロセスは、多孔性を除去するためにポストアニール動作を含む、気化器。
適用例１０：
請求項１に記載の気化器であって、
ヒータをさらに含む、気化器。
適用例１１：
請求項５に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアの間に配置された少なくとも１つのヒータをさらに含む、気化器。
適用例１２：
液体前駆体を気化する方法であって、
前記方法が、
液体カーソル気化器を提供することであって、
前記気化器が、
入口および出口と、
第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアと
を含む、気化器を提供することと、
前記液体前駆体が前記気化器の前記入口と前記出口との間の前記経路における前記複数の蛇行経路を通過するようにすることと
を含む、方法。
適用例１３：
請求項１２に記載の方法であって、
前記複数の蛇行経路のうちの少なくとも１つは、一連の交互のピンチ領域および拡張領域を含む、方法。
適用例１４：
請求項１２に記載の方法であって、
前記第１の気化器コアと通信する第２の気化器コアをさらに備え、前記第１および第２の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間に前記液体前駆体のための前記経路を画定する、方法。
適用例１５：
請求項１４に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲するシースをさらに備える、方法。
適用例１６：
請求項１５に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲する前記シースは、アルミニウム材料を含む、方法。
適用例１７：
請求項１６に記載の方法であって、
前記アルミニウム材料は、前記第１および第２の気化器コアの各々の中心容積内に延在している、方法。
適用例１８：
請求項１２に記載の方法であって、
付加製造（ＡＭ）プロセスを使用して前記第１の気化器コアを製造することをさらに含む、方法。
適用例１９：
請求項１８に記載の方法であって、
前記ＡＭプロセスは、ＡＭ材料としてレーザー溶融インコネル７１８の使用を含む、方法。
適用例２０：
請求項６に記載の方法であって、
前記ＡＭプロセスは、多孔性を除去するためにポストアニール動作を含む、方法。
適用例２１：
請求項１４に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアの間に少なくとも１つのヒータを提供することをさらに含む、方法。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１：
液体前駆体気化器であって、
入口と、
出口と、
第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアと
を備える、気化器。
適用例２：
請求項１に記載の気化器であって、
前記複数の蛇行経路のうちの少なくとも１つは、一連の交互のピンチ領域および拡張領域を含む、気化器。
適用例３：
請求項１に記載の気化器であって、
前記第１の気化器コアと通信する第２の気化器コアをさらに備え、前記第１および第２の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間に前記液体前駆体のための前記経路を画定する、気化器。
適用例４：
請求項３に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲するシースをさらに備える、気化器。
適用例５：
請求項４に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲する前記シースは、アルミニウム材料を含む、気化器。
適用例６：
請求項５に記載の気化器であって、
前記アルミニウム材料は、前記第１および第２の気化器コアの各々の中心容積内に延在している、気化器。
適用例７：
請求項１に記載の気化器であって、
前記第１の気化器コアは、付加製造（ＡＭ）プロセスによって製造される、気化器。
適用例８：
請求項５に記載の気化器であって、
前記ＡＭプロセスは、ＡＭ材料としてレーザー溶融インコネル７１８の使用を含む、気化器。
適用例９：
請求項６に記載の気化器であって、
前記ＡＭプロセスは、多孔性を除去するためにポストアニール動作を含む、気化器。
適用例１０：
請求項１に記載の気化器であって、
ヒータをさらに含む、気化器。
適用例１１：
請求項５に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアの間に配置された少なくとも１つのヒータをさらに含む、気化器。
適用例１２：
液体前駆体を気化する方法であって、
前記方法が、
液体カーソル気化器を提供することであって、
前記気化器が、
入口および出口と、
第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアと
を含む、気化器を提供することと、
前記液体前駆体が前記気化器の前記入口と前記出口との間の前記経路における前記複数の蛇行経路を通過するようにすることと
を含む、方法。
適用例１３：
請求項１２に記載の方法であって、
前記複数の蛇行経路のうちの少なくとも１つは、一連の交互のピンチ領域および拡張領域を含む、方法。
適用例１４：
請求項１２に記載の方法であって、
前記第１の気化器コアと通信する第２の気化器コアをさらに備え、前記第１および第２の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間に前記液体前駆体のための前記経路を画定する、方法。
適用例１５：
請求項１４に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲するシースをさらに備える、方法。
適用例１６：
請求項１５に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲する前記シースは、アルミニウム材料を含む、方法。
適用例１７：
請求項１６に記載の方法であって、
前記アルミニウム材料は、前記第１および第２の気化器コアの各々の中心容積内に延在している、方法。
適用例１８：
請求項１２に記載の方法であって、
付加製造（ＡＭ）プロセスを使用して前記第１の気化器コアを製造することをさらに含む、方法。
適用例１９：
請求項１８に記載の方法であって、
前記ＡＭプロセスは、ＡＭ材料としてレーザー溶融インコネル７１８の使用を含む、方法。
適用例２０：
請求項６に記載の方法であって、
前記ＡＭプロセスは、多孔性を除去するためにポストアニール動作を含む、方法。
適用例２１：
請求項１４に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアの間に少なくとも１つのヒータを提供することをさらに含む、方法。
Claims (21)
- 液体前駆体気化器であって、
入口と、
出口と、
第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアと
を備える、気化器。 - 請求項１に記載の気化器であって、
前記複数の蛇行経路のうちの少なくとも１つは、一連の交互のピンチ領域および拡張領域を含む、気化器。 - 請求項１に記載の気化器であって、
前記第１の気化器コアと通信する第２の気化器コアをさらに備え、前記第１および第２の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間に前記液体前駆体のための前記経路を画定する、気化器。 - 請求項３に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲するシースをさらに備える、気化器。 - 請求項４に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲する前記シースは、アルミニウム材料を含む、気化器。 - 請求項５に記載の気化器であって、
前記アルミニウム材料は、前記第１および第２の気化器コアの各々の中心容積内に延在している、気化器。 - 請求項１に記載の気化器であって、
前記第１の気化器コアは、付加製造（ＡＭ）プロセスによって製造される、気化器。 - 請求項７に記載の気化器であって、
前記ＡＭプロセスは、ＡＭ材料としてレーザー溶融インコネル７１８の使用を含む、気化器。 - 請求項７に記載の気化器であって、
前記ＡＭプロセスは、多孔性を除去するためにポストアニール動作を含む、気化器。 - 請求項１に記載の気化器であって、
ヒータをさらに含む、気化器。 - 請求項５に記載の気化器であって、
前記第１および第２の気化器コアの間に配置された少なくとも１つのヒータをさらに含む、気化器。 - 液体前駆体を気化する方法であって、
前記方法が、
液体前駆体気化器を提供することであって、
前記気化器が、
入口および出口と、
第１の気化器コアであって、前記第１の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間の経路に液体前駆体が通過可能な複数の蛇行経路を画定する複数の入れ子状のセルを含む第１の気化器コアと
を含む、気化器を提供することと、
前記液体前駆体が前記気化器の前記入口と前記出口との間の前記経路における前記複数の蛇行経路を通過するようにすることと
を含む、方法。 - 請求項１２に記載の方法であって、
前記複数の蛇行経路のうちの少なくとも１つは、一連の交互のピンチ領域および拡張領域を含む、方法。 - 請求項１２に記載の方法であって、
前記第１の気化器コアと通信する第２の気化器コアをさらに備え、前記第１および第２の気化器コアが、前記液体前駆体気化器の前記入口と前記出口との間に前記液体前駆体のための前記経路を画定する、方法。 - 請求項１４に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲するシースをさらに備える、方法。 - 請求項１５に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアを包囲する前記シースは、アルミニウム材料を含む、方法。 - 請求項１６に記載の方法であって、
前記アルミニウム材料は、前記第１および第２の気化器コアの各々の中心容積内に延在している、方法。 - 請求項１２に記載の方法であって、
付加製造（ＡＭ）プロセスを使用して前記第１の気化器コアを製造することをさらに含む、方法。 - 請求項１８に記載の方法であって、
前記ＡＭプロセスは、ＡＭ材料としてレーザー溶融インコネル７１８の使用を含む、方法。 - 請求項１９に記載の方法であって、
前記ＡＭプロセスは、多孔性を除去するためにポストアニール動作を含む、方法。 - 請求項１４に記載の方法であって、
前記第１および第２の気化器コアの間に少なくとも１つのヒータを提供することをさらに含む、方法。
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