JPWO2020247146A5 - - Google Patents
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Description
リング保管ステーションはまた、キャリアプレート１１０４を受け取るためのハウジングを含む。一実施態様では、ハウジングは、ベースプレート構造の上面に画定された一組のキャリア支持体１１３７を含み、ハウジング内にて受け取られたキャリアプレート１１０４を支持するように構成される。キャリア支持体１１３７は、キャリアプレート１１０４の形状に応じてベースプレート構造上に位置決めされ、キャリアプレートがキャリア支持体で受け取られたとき、キャリアプレートを所定の位置に保持するように設計されている。例えば、キャリアプレート１１０４が三角形の形状であるとき、キャリア支持体１１３７は、キャリアプレート１１０４の三角形の輪郭に沿って位置決めされる。いくつかの実施態様では、キャリア支持体は、炭素を充填したＰＥＥＫ材料で作られる。他の実施形態では、キャリア支持体１１３７は、キャリアプレート１１０４への支持を提供し、腐食および他の摩耗を防止するように選択された他の材料で作られてもよい。あるいは、キャリア支持体１１３７は、金属製、かつエポキシ、テフロン（登録商標）など、耐食性材料でコーティングされてもよい。キャリア支持体は、キャリアプレートがベースプレート構造から分離されるように、ベースプレート構造上に画定される。キャリア支持体の高さは、フィンガ支持体構造の支持柱の長さに沿ってフィンガ支持体が画定される高さから決定される。キャリアプレート１１０４は、エッジリングがリング保管ステーション１０８ａに搬入出されるとき、エッジリングを支持するために使用される。トッププレートは、複数のフィンガ支持体構造体を囲むように構成される。 Ring storage station also includes a housing for receiving carrier plate 1104 . In one embodiment, the housing includes a set of carrier supports 1137 defined on the top surface of the baseplate structure and configured to support the carrier plate 1104 received within the housing. Carrier support 1137 is positioned on the base plate structure according to the shape of carrier plate 1104 and is designed to hold the carrier plate in place when the carrier plate is received by the carrier support. For example, when carrier plate 1104 is triangular in shape, carrier support 1137 is positioned along the triangular contour of carrier plate 1104 . In some embodiments, the carrier support is made of carbon-filled PEEK material. In other embodiments, carrier support 1137 may be made of other materials selected to provide support to carrier plate 1104 and prevent corrosion and other wear. Alternatively, carrier support 1137 may be metallic and coated with a corrosion resistant material such as epoxy, Teflon, or the like. A carrier support is defined on the baseplate structure such that the carrier plate is separated from the baseplate structure. The carrier support height is determined from the height at which the finger supports are defined along the length of the support posts of the finger support structure. Carrier plate 1104 is used to support the edge ring as it is transported into and out of ring storage station 108a. A top plate is configured to surround a plurality of finger support structures.
さらにまた、いくつかの実施形態では、消耗部品は、リング保管ステーションとプロセスモジュールとの間において消耗部品を搬送中に位置検出を補助するために、材料内部または材料に１つまたは複数のレーザ彫刻マーカを有してもよい。 Furthermore, in some embodiments, the consumable part has one or more laser engravings in or on the material to aid in position detection during transport of the consumable part between the ring storage station and the process module. May have markers.
前述の実施形態は、理解を明確にする目的で、ある程度詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲内で特定の変更および修正が実施可能であることは明らかであろう。したがって、本実施形態は、例示的なものであって制限的なものではないと見なされるべきであり、本実施形態は、本明細書にて与えられた詳細に限定されるものではなく、その範囲内でおよび特許請求の等価物の範囲内で修正されてもよい。例えば、本開示は以下の形態としても実現できる。
［形態１］
基板処理システムに使用される消耗部品を供給するためのリング保管ステーションであって、
ハウジングであって、
ベースプレートと、
前記ベースプレートの上に配置された回転プレートと、
前記ハウジングの第１の側に配置されたエンドエフェクタアクセス開口部と、
前記ハウジングの第２の側に配置されたサービス窓開口部と、
対応する支持柱上に配置された支持体フィンガを含む一組のフィンガ支持体構造であ
って、前記ハウジング内で前記回転プレートに接続されている、一組のフィンガ支持体構
造と
を含む、ハウジング
を備える、リング保管ステーション。
［形態２］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記フィンガ支持体構造のうちの少なくとも２つは、インデックスピンを備えるフィンガ支持体であって、前記インデックスピンが、前記リング保管ステーションに配置されるとき、前記消耗部品を半径方向に整列させるように構成される、リング保管ステーション。
［形態３］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記回転プレートは、前記ベースプレートの中心に配置され、かつ前記回転プレートの中心を通って延びているセンターピボットピンの周囲を水平面に沿って回転するように構成される、リング保管ステーション。
［形態４］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に隣接して配置される、リング保管ステーション。
［形態５］
形態４に記載のリング保管ステーションであって、
前記フィンガ支持体構造のうちの１つは、調整可能なフィンガ支持体構造であり、前記調整可能なフィンガ支持体構造が、前記第１の側と前記第２の側との交点に画定される、リング保管ステーション。
［形態６］
形態５に記載のリング保管ステーションであって、
前記回転プレートは、前記回転プレートの上に画定されたロードパスアジャスタを含み、前記ロードパスアジャスタが、前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱に近接して画定され、かつ前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱の位置を調整するように構成される、リング保管ステーション。
［形態７］
形態６に記載のリング保管ステーションであって、
前記ロードパスアジャスタは、１つまたは複数の開チャネルと、前記消耗部品が妨げられずに前記リング保管ステーションに出入り可能な位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱を固定しているとき、前記１つまたは複数の開チャネルを介して前記回転プレートを前記ベースプレートに係合するための１つまたは複数のアジャスタピンとを有するアジャスタプレートを含む、リング保管ステーション。
［形態８］
形態５に記載のリング保管ステーションであって、
前記回転プレートは、前記調整可能なフィンガ支持体構造の第２の端部に近接して画定された第１のピボットポイントおよび第２のピボットポイントを含み、前記第１のピボットポイントおよび前記第２のピボットポイントが、第１の位置または第２の位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第２の端部を固定するために使用され、
前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第１の位置または前記第２の位置への固定は、前記基板処理システム内のモジュールの設計に基づく、リング保管ステーション。
［形態９］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に対向して配置される、リング保管ステーション。
［形態１０］
形態９に記載のリング保管ステーションであって、
前記一組のフィンガ支持体構造は、
前記リング保管ステーションの第１の側面に配置された第１の対のフィンガ支持体構造であって、前記第１の対の第１のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第１の対の第２のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第１の対のフィンガ支持体構造と、
前記リング保管ステーションの第２の側面に配置された第２の対のフィンガ支持体構造であって、前記第２の対の第３のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第２の対の第４のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第２の対のフィンガ支持体構造と
を含む、リング保管ステーション。
［形態１１］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記エンドエフェクタアクセス開口部および前記サービス窓開口部は、前記リング保管ステーションまたは前記基板処理システムを分離するために、協調して動作可能なシャッターを含む、リング保管ステーション。
［形態１２］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記回転プレートは、前記回転プレートの上に画定されたキャリアプレートハウジングを含み、前記キャリアプレートハウジングが、前記消耗部品を前記リング保管ステーションへ搬入出させるために使用されるキャリアプレートを保管するように構成される、リング保管ステーション。
［形態１３］
形態１に記載のリング保管ステーションであって、
前記消耗部品は、前記基板処理システム内のプロセスモジュールにて使用されるエッジリングである、リング保管ステーション。
［形態１４］
基板処理システムに消耗部品を供給するためのリング保管ステーションであって、
ベースプレートと、
前記リング保管ステーションの第１の側に配置された第１の開口部と、
前記リング保管ステーションの第２の側に配置された第２の開口部と、
前記ベースプレート上に画定された一組のフィンガ支持体構造であって、前記フィンガ支持体構造の各々が、支持柱と、前記支持柱から前記リング保管ステーションの中心に向かって延びている支持体フィンガとを含み、前記フィンガ支持体構造のうち少なくとも２つは、インデックスピンを備える支持体フィンガを有しており、前記インデックスピンが、消耗部品が前記リング保管ステーションに配置されるとき、前記消耗部品を半径方向に整列させるように構成される、一組のフィンガ支持体構造と
を備える、リング保管ステーション。
［形態１５］
形態１４に記載のリング保管ステーションであって、
前記ベースプレート上に画定されたキャリアプレートハウジングであって、前記キャリアプレートハウジングが、前記消耗部品を前記リング保管ステーションへ搬入出させる際に使用されるキャリアプレートを収容するように構成される、キャリアプレートハウジングをさらに備える、リング保管ステーション。
［形態１６］
形態１４に記載のリング保管ステーションであって、
サービス窓開口部を含む前記第２の側は、エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に隣接して配置される、リング保管ステーション。
［形態１７］
形態１６に記載のリング保管ステーションであって、
前記フィンガ支持体構造のうちの１つは、調整可能なフィンガ支持体構造であり、前記調整可能なフィンガ支持体構造が、前記第１の側と前記第２の側との交点に画定される、リング保管ステーション。
［形態１８］
形態１７に記載のリング保管ステーションであって、
前記ベースプレートは、前記ベースプレートの上に画定されたロードパスアジャスタを含み、前記ロードパスアジャスタが、前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱に近接して画定され、かつ前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱の位置を調整するように構成される、リング保管ステーション。
［形態１９］
形態１８に記載のリング保管ステーションであって、
前記ロードパスアジャスタは、１つまたは複数の開チャネルと、前記消耗部品が妨げられずに前記リング保管ステーションに出入り可能な位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱を固定しているとき、前記１つまたは複数の開チャネルを介して回転プレートを前記ベースプレートに係合するための１つまたは複数のアジャスタピンとを有するアジャスタプレートを含む、リング保管ステーション。
［形態２０］
形態１７に記載のリング保管ステーションであって、
前記ベースプレートは、前記調整可能なフィンガ支持体構造の第２の端部に近接して画定された第１のピボットポイントおよび第２のピボットポイントを含み、前記第１のピボットポイントおよび前記第２のピボットポイントが、第１の位置または第２の位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第２の端部を固定するために使用され、
前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第１の位置または前記第２の位置への固定は、前記基板処理システム内のモジュールの設計に基づく、リング保管ステーション。
［形態２１］
形態１４に記載のリング保管ステーションであって、
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に対向して配置される、リング保管ステーション。
［形態２２］
形態２１に記載のリング保管ステーションであって、
前記一組のフィンガ支持体構造は、
前記リング保管ステーションの第１の側面に配置された第１の対のフィンガ支持体構造であって、前記第１の対の第１のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第１の対の第２のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第１の対のフィンガ支持体構造と、
前記リング保管ステーションの第２の側面に配置された第２の対のフィンガ支持体構造であって、前記第２の対の第３のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第２の対の第４のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第２の対のフィンガ支持体構造と
を含む、リング保管ステーション。
［形態２３］
形態１４に記載のリング保管ステーションであって、
前記消耗部品は、前記消耗部品の底面に均一に画定された３つの溝を含み、前記溝が、前記少なくとも２つの前記フィンガ支持体構造上の前記インデックスピンに連携する際に使用される、リング保管ステーション。
［形態２４］
基板処理システムで使用される消耗部品を供給するためのリング保管ステーションであって、
ハウジングであって、
ベースプレートと、
前記ハウジングの第１の側に配置されたエンドエフェクタアクセス開口部と、
前記ハウジングの第２の側に配置されたサービス窓開口部と、
対応する支持柱上に配置された支持体フィンガを含む一組のフィンガ支持体構造であ
って、前記ハウジング内で前記ベースプレートに接続されており、
前記フィンガ支持体構造のうち少なくとも１つは、調整可能なフィンガ支持体構造で
ある、一組のフィンガ支持体構造と
を含む、ハウジング
を備える、リング保管ステーション。
［形態２５］
形態２４に記載のリング保管ステーションであって、
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に隣接して配置される、リング保管ステーション。
［形態２６］
形態２４に記載のリング保管ステーションであって、
前記ベースプレートは、前記ベースプレートの上に画定されたロードパスアジャスタを有し、前記ロードパスアジャスタが、前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱に近接して画定され、かつ前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱の位置を調整するように構成される、リング保管ステーション。
［形態２７］
形態２４に記載のリング保管ステーションであって、
前記ベースプレートは、前記調整可能なフィンガ支持体構造の第２の端部に近接して画定された第１のピボットポイントおよび第２のピボットポイントを含み、前記第２の端部は、前記支持柱が画定される端部に対向しており、前記第１のピボットポイントおよび前記第２のピボットポイントは、第１の位置または第２の位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第２の端部を固定するために使用され、
前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第１の位置または前記第２の位置への固定は、前記基板処理システム内のモジュールの設計に基づく、リング保管ステーション。
［形態２８］
形態２４に記載のリング保管ステーションであって、
少なくとも前記一組のフィンガ支持体構造は、インデックスピンを備えるフィンガ支持体を有し、前記インデックスピンが、前記消耗部品が前記リング保管ステーションに配置されるとき、前記消耗部品を半径方向に整列させるように構成される、リング保管ステーション。
［形態２９］
形態２４に記載のリング保管ステーションであって、
前記リング保管ステーションは、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）に結合され、かつ前記ＥＦＥＭは、マッピングセンサを備えるロボットエンドエフェクタを有し、前記マッピングセンサが、基板が前記一組のフィンガ支持体構造に関連するスロットに正しく配置されていないときに、検出するために使用される、リング保管ステーション。
Although the foregoing embodiments have been described in some detail for purposes of clarity of understanding, it will be apparent that certain changes and modifications may be practiced within the scope of the appended claims. Accordingly, the embodiments are to be considered illustrative and not restrictive, and the embodiments are not limited to the details given herein, and the may be modified within the scope and range of equivalents of the claims. For example, the present disclosure can also be implemented as the following forms.
[Mode 1]
A ring storage station for supplying consumables used in a substrate processing system, comprising:
a housing,
a base plate;
a rotating plate positioned above the base plate;
an end effector access opening located on a first side of the housing;
a service window opening located on a second side of the housing;
A set of finger support structures including support fingers positioned on corresponding support posts.
a set of finger support structures connected to the rotating plate within the housing;
construction and
housing, including
ring storage station.
[Mode 2]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
At least two of said finger support structures are finger supports with index pins, said index pins for radially aligning said consumable components when placed in said ring storage station. configured, ring storage station.
[Form 3]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
The ring storage station, wherein the rotating plate is configured to rotate along a horizontal plane about a center pivot pin located in the center of the base plate and extending through the center of the rotating plate.
[Mode 4]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned adjacent to the first side containing the end effector access opening.
[Mode 5]
The ring storage station of aspect 4, comprising:
One of said finger support structures is an adjustable finger support structure, said adjustable finger support structure defined at the intersection of said first side and said second side. , ring storage station.
[Mode 6]
The ring storage station of aspect 5, comprising:
The rotating plate includes a loadpath adjuster defined on the rotating plate, the loadpath adjuster defined proximate to the support post of the adjustable finger support structure and the adjustable finger support structure. A ring storage station configured to adjust the position of said support posts of a finger support structure.
[Mode 7]
The ring storage station of aspect 6, comprising:
The load path adjuster secures one or more open channels and the support posts of the adjustable finger support structure in a position that allows the consumables to enter and exit the ring storage station unhindered. and an adjuster plate having one or more adjuster pins for engaging the rotating plate to the base plate through the one or more open channels.
[Mode 8]
The ring storage station of aspect 5, comprising:
The rotating plate includes a first pivot point and a second pivot point defined proximate a second end of the adjustable finger support structure, the first pivot point and the second pivot point is used to secure the second end of the adjustable finger support structure in a first position or a second position;
A ring storage station, wherein the fixing of the adjustable finger support structure to the first position or the second position is based on a modular design within the substrate processing system.
[Mode 9]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned opposite the first side containing the end effector access opening.
[Mode 10]
10. The ring storage station of aspect 9, comprising:
The set of finger support structures comprises:
a first pair of finger support structures positioned on a first side of said ring storage station, said first pair of first finger support structures positioned proximate said first side; a first pair of finger support structures such that a second finger support structure of the first pair is positioned proximate the second side;
a second pair of finger support structures located on a second side of said ring storage station, with a third finger support structure of said second pair located adjacent said first side; a second pair of finger support structures such that a fourth finger support structure of said second pair is positioned proximate said second side;
ring storage station.
[Mode 11]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
The ring storage station, wherein the end effector access opening and the service window opening include cooperatively operable shutters to separate the ring storage station or the substrate processing system.
[Mode 12]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
The rotating plate includes a carrier plate housing defined thereon, such that the carrier plate housing stores a carrier plate used to move the consumables into and out of the ring storage station. configured, ring storage station.
[Mode 13]
The ring storage station of aspect 1, comprising:
A ring storage station, wherein the consumable part is an edge ring used in a process module within the substrate processing system.
[Mode 14]
A ring storage station for supplying consumables to a substrate processing system, comprising:
a base plate;
a first opening positioned on a first side of the ring storage station;
a second opening located on a second side of the ring storage station;
a set of finger support structures defined on said base plate, each of said finger support structures comprising a support post and a support finger extending from said support post toward the center of said ring storage station; and at least two of said finger support structures having support fingers with indexing pins, said indexing pins locating said consumables when they are placed in said ring storage station. a set of finger support structures configured to radially align the
ring storage station.
[Mode 15]
15. The ring storage station of aspect 14, comprising:
A carrier plate housing defined on the base plate, wherein the carrier plate housing is configured to receive a carrier plate used in loading and unloading the consumable component to and from the ring storage station. A ring storage station, further comprising a housing.
[Mode 16]
15. The ring storage station of aspect 14, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned adjacent to the first side containing the end effector access opening.
[Mode 17]
17. The ring storage station of aspect 16, comprising:
One of said finger support structures is an adjustable finger support structure, said adjustable finger support structure defined at the intersection of said first side and said second side. , ring storage station.
[Mode 18]
18. The ring storage station of aspect 17, comprising:
The base plate includes a load path adjuster defined on the base plate, the load path adjuster defined proximate to the support posts of the adjustable finger support structure and the adjustable finger support. A ring storage station configured to adjust the position of said support post of the body structure.
[Mode 19]
19. The ring storage station of aspect 18, comprising:
The load path adjuster secures one or more open channels and the support posts of the adjustable finger support structure in a position that allows the consumables to enter and exit the ring storage station unhindered. and an adjuster plate having one or more adjuster pins for engaging the rotating plate to the base plate through the one or more open channels.
[Form 20]
18. The ring storage station of aspect 17, comprising:
The base plate includes a first pivot point and a second pivot point defined proximate a second end of the adjustable finger support structure; a pivot point is used to secure the second end of the adjustable finger support structure in a first position or a second position;
A ring storage station, wherein the fixing of the adjustable finger support structure to the first position or the second position is based on a modular design within the substrate processing system.
[Mode 21]
15. The ring storage station of aspect 14, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned opposite the first side containing the end effector access opening.
[Form 22]
22. The ring storage station of aspect 21, comprising:
The set of finger support structures comprises:
a first pair of finger support structures positioned on a first side of said ring storage station, said first pair of first finger support structures positioned proximate said first side; a first pair of finger support structures such that a second finger support structure of the first pair is positioned proximate the second side;
a second pair of finger support structures located on a second side of said ring storage station, with a third finger support structure of said second pair located adjacent said first side; a second pair of finger support structures such that a fourth finger support structure of said second pair is positioned proximate said second side;
ring storage station.
[Form 23]
15. The ring storage station of aspect 14, comprising:
wherein said consumable part comprises three grooves uniformly defined in a bottom surface of said consumable part, said grooves being used in cooperating with said indexing pins on said at least two said finger support structures. storage station.
[Form 24]
A ring storage station for supplying consumable parts used in a substrate processing system, comprising:
a housing,
a base plate;
an end effector access opening located on a first side of the housing;
a service window opening located on a second side of the housing;
A set of finger support structures including support fingers positioned on corresponding support posts.
connected to the base plate within the housing,
at least one of said finger support structures is an adjustable finger support structure;
a set of finger support structures and
housing, including
ring storage station.
[Form 25]
25. The ring storage station of aspect 24, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned adjacent to the first side containing the end effector access opening.
[Form 26]
25. The ring storage station of aspect 24, comprising:
The base plate has a load path adjuster defined on the base plate, the load path adjuster defined proximate to the support posts of the adjustable finger support structure and the adjustable finger support structure. A ring storage station configured to adjust the position of said support posts of a support structure.
[Form 27]
25. The ring storage station of aspect 24, comprising:
The base plate includes a first pivot point and a second pivot point defined proximate a second end of the adjustable finger support structure, the second end being connected to the support post. is defined, and the first pivot point and the second pivot point are aligned with the second pivot point of the adjustable finger support structure in a first position or a second position. Used to fix the ends,
A ring storage station, wherein the fixing of the adjustable finger support structure to the first position or the second position is based on a modular design within the substrate processing system.
[Form 28]
25. The ring storage station of aspect 24, comprising:
The at least one set of finger support structures has finger supports with index pins for radially aligning the consumable components when the consumable components are placed in the ring storage station. A ring storage station configured to:
[Form 29]
25. The ring storage station of aspect 24, comprising:
The ring storage station is coupled to an equipment front end module (EFEM) and the EFEM has a robotic end effector with a mapping sensor, the mapping sensor locating a substrate relative to the set of finger support structures. A ring storage station, used to detect when it is not properly placed in the slot.
Claims (29)
ハウジングであって、
ベースプレートと、
前記ベースプレートの上に配置された回転プレートと、
前記ハウジングの第１の側に配置されたエンドエフェクタアクセス開口部と、
前記ハウジングの第２の側に配置されたサービス窓開口部と、
対応する支持柱上に配置された支持体フィンガを含む一組のフィンガ支持体構造であ
って、前記ハウジング内で前記回転プレートに接続されている、一組のフィンガ支持体構
造と
を含む、ハウジング
を備える、リング保管ステーション。 A ring storage station for supplying consumables used in a substrate processing system, comprising:
a housing,
a base plate;
a rotating plate positioned above the base plate;
an end effector access opening located on a first side of the housing;
a service window opening located on a second side of the housing;
a set of finger support structures including support fingers disposed on corresponding support posts, the set of finger support structures connected to the rotating plate within the housing. , a ring storage station comprising a housing.
前記フィンガ支持体構造のうちの少なくとも２つは、インデックスピンを備えるフィンガ支持体であって、前記インデックスピンが、前記リング保管ステーションに配置されるとき、前記消耗部品を半径方向に整列させるように構成される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
At least two of said finger support structures are finger supports with index pins, said index pins for radially aligning said consumable components when placed in said ring storage station. configured, ring storage station.
前記回転プレートは、前記ベースプレートの中心に配置され、かつ前記回転プレートの中心を通って延びているセンターピボットピンの周囲を水平面に沿って回転するように構成される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
The ring storage station, wherein the rotating plate is configured to rotate along a horizontal plane about a center pivot pin located in the center of the base plate and extending through the center of the rotating plate.
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に隣接して配置される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned adjacent to the first side containing the end effector access opening.
前記フィンガ支持体構造のうちの１つは、調整可能なフィンガ支持体構造であり、前記調整可能なフィンガ支持体構造が、前記第１の側と前記第２の側との交点に画定される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 4, comprising:
One of said finger support structures is an adjustable finger support structure, said adjustable finger support structure defined at the intersection of said first side and said second side. , ring storage station.
前記回転プレートは、前記回転プレートの上に画定されたロードパスアジャスタを含み、前記ロードパスアジャスタが、前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱に近接して画定され、かつ前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱の位置を調整するように構成される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 5, comprising:
The rotating plate includes a loadpath adjuster defined on the rotating plate, the loadpath adjuster defined proximate to the support post of the adjustable finger support structure and the adjustable finger support structure. A ring storage station configured to adjust the position of said support posts of a finger support structure.
前記ロードパスアジャスタは、１つまたは複数の開チャネルと、前記消耗部品が妨げられずに前記リング保管ステーションに出入り可能な位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱を固定しているとき、前記１つまたは複数の開チャネルを介して前記回転プレートを前記ベースプレートに係合するための１つまたは複数のアジャスタピンとを有するアジャスタプレートを含む、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 6, comprising:
The load path adjuster secures one or more open channels and the support posts of the adjustable finger support structure in a position that allows the consumables to enter and exit the ring storage station unhindered. and an adjuster plate having one or more adjuster pins for engaging the rotating plate to the base plate through the one or more open channels.
前記回転プレートは、前記調整可能なフィンガ支持体構造の第２の端部に近接して画定された第１のピボットポイントおよび第２のピボットポイントを含み、前記第１のピボットポイントおよび前記第２のピボットポイントが、第１の位置または第２の位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第２の端部を固定するために使用され、
前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第１の位置または前記第２の位置への固定は、前記基板処理システム内のモジュールの設計に基づく、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 5, comprising:
The rotating plate includes a first pivot point and a second pivot point defined proximate a second end of the adjustable finger support structure, the first pivot point and the second pivot point is used to secure the second end of the adjustable finger support structure in a first position or a second position;
A ring storage station, wherein the fixing of the adjustable finger support structure to the first position or the second position is based on a modular design within the substrate processing system.
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に対向して配置される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned opposite the first side containing the end effector access opening.
前記一組のフィンガ支持体構造は、
前記リング保管ステーションの第１の側面に配置された第１の対のフィンガ支持体構造であって、前記第１の対の第１のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第１の対の第２のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第１の対のフィンガ支持体構造と、
前記リング保管ステーションの第２の側面に配置された第２の対のフィンガ支持体構造であって、前記第２の対の第３のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第２の対の第４のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第２の対のフィンガ支持体構造と
を含む、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 9, comprising:
The set of finger support structures comprises:
a first pair of finger support structures positioned on a first side of said ring storage station, said first pair of first finger support structures positioned proximate said first side; a first pair of finger support structures such that a second finger support structure of the first pair is positioned proximate the second side;
a second pair of finger support structures located on a second side of said ring storage station, with a third finger support structure of said second pair located adjacent said first side; a second pair of finger support structures such that a fourth finger support structure of said second pair is positioned proximate said second side.
前記エンドエフェクタアクセス開口部および前記サービス窓開口部は、前記リング保管ステーションまたは前記基板処理システムを分離するために、協調して動作可能なシャッターを含む、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
The ring storage station, wherein the end effector access opening and the service window opening include cooperatively operable shutters to separate the ring storage station or the substrate processing system.
前記回転プレートは、前記回転プレートの上に画定されたキャリアプレートハウジングを含み、前記キャリアプレートハウジングが、前記消耗部品を前記リング保管ステーションへ搬入出させるために使用されるキャリアプレートを保管するように構成される、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
The rotating plate includes a carrier plate housing defined thereon, such that the carrier plate housing stores a carrier plate used to move the consumables into and out of the ring storage station. configured, ring storage station.
前記消耗部品は、前記基板処理システム内のプロセスモジュールにて使用されるエッジリングである、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 1, comprising:
A ring storage station, wherein the consumable part is an edge ring used in a process module within the substrate processing system.
ベースプレートと、
前記リング保管ステーションの第１の側に配置された第１の開口部と、
前記リング保管ステーションの第２の側に配置された第２の開口部と、
前記ベースプレート上に画定された一組のフィンガ支持体構造であって、前記フィンガ支持体構造の各々が、支持柱と、前記支持柱から前記リング保管ステーションの中心に向かって延びている支持体フィンガとを含み、前記フィンガ支持体構造のうち少なくとも２つは、インデックスピンを備える支持体フィンガを有しており、前記インデックスピンが、消耗部品が前記リング保管ステーションに配置されるとき、前記消耗部品を半径方向に整列させるように構成される、一組のフィンガ支持体構造と
を備える、リング保管ステーション。 A ring storage station for supplying consumables to a substrate processing system, comprising:
a base plate;
a first opening positioned on a first side of the ring storage station;
a second opening located on a second side of the ring storage station;
a set of finger support structures defined on said base plate, each of said finger support structures comprising a support post and a support finger extending from said support post toward the center of said ring storage station; and at least two of said finger support structures having support fingers with indexing pins, said indexing pins locating said consumables when they are placed in said ring storage station. and a set of finger support structures configured to radially align a ring storage station.
前記ベースプレート上に画定されたキャリアプレートハウジングであって、前記キャリアプレートハウジングが、前記消耗部品を前記リング保管ステーションへ搬入出させる際に使用されるキャリアプレートを収容するように構成される、キャリアプレートハウジングをさらに備える、リング保管ステーション。 15. A ring storage station according to claim 14, comprising:
A carrier plate housing defined on the base plate, wherein the carrier plate housing is configured to receive a carrier plate used in loading and unloading the consumable component to and from the ring storage station. A ring storage station, further comprising a housing.
サービス窓開口部を含む前記第２の側は、エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に隣接して配置される、リング保管ステーション。 15. A ring storage station according to claim 14, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned adjacent to the first side containing the end effector access opening.
前記フィンガ支持体構造のうちの１つは、調整可能なフィンガ支持体構造であり、前記調整可能なフィンガ支持体構造が、前記第１の側と前記第２の側との交点に画定される、リング保管ステーション。 17. A ring storage station according to claim 16, comprising:
One of said finger support structures is an adjustable finger support structure, said adjustable finger support structure defined at the intersection of said first side and said second side. , ring storage station.
前記ベースプレートは、前記ベースプレートの上に画定されたロードパスアジャスタを含み、前記ロードパスアジャスタが、前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱に近接して画定され、かつ前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱の位置を調整するように構成される、リング保管ステーション。 18. A ring storage station according to claim 17, comprising:
The base plate includes a load path adjuster defined on the base plate, the load path adjuster defined proximate to the support posts of the adjustable finger support structure and the adjustable finger support. A ring storage station configured to adjust the position of said support post of the body structure.
前記ロードパスアジャスタは、１つまたは複数の開チャネルと、前記消耗部品が妨げられずに前記リング保管ステーションに出入り可能な位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱を固定しているとき、前記１つまたは複数の開チャネルを介して回転プレートを前記ベースプレートに係合するための１つまたは複数のアジャスタピンとを有するアジャスタプレートを含む、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 18, comprising:
The load path adjuster secures one or more open channels and the support posts of the adjustable finger support structure in a position that allows the consumables to enter and exit the ring storage station unhindered. and an adjuster plate having one or more adjuster pins for engaging the rotating plate to the base plate through the one or more open channels.
前記ベースプレートは、前記調整可能なフィンガ支持体構造の第２の端部に近接して画定された第１のピボットポイントおよび第２のピボットポイントを含み、前記第１のピボットポイントおよび前記第２のピボットポイントが、第１の位置または第２の位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第２の端部を固定するために使用され、
前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第１の位置または前記第２の位置への固定は、前記基板処理システム内のモジュールの設計に基づく、リング保管ステーション。 18. A ring storage station according to claim 17, comprising:
The base plate includes a first pivot point and a second pivot point defined proximate a second end of the adjustable finger support structure; a pivot point is used to secure the second end of the adjustable finger support structure in a first position or a second position;
A ring storage station, wherein the fixing of the adjustable finger support structure to the first position or the second position is based on a modular design within the substrate processing system.
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に対向して配置される、リング保管ステーション。 17. A ring storage station according to claim 16 , comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned opposite the first side containing the end effector access opening.
前記一組のフィンガ支持体構造は、
前記リング保管ステーションの第１の側面に配置された第１の対のフィンガ支持体構造であって、前記第１の対の第１のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第１の対の第２のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第１の対のフィンガ支持体構造と、
前記リング保管ステーションの第２の側面に配置された第２の対のフィンガ支持体構造であって、前記第２の対の第３のフィンガ支持体構造が前記第１の側に近接して配置され、前記第２の対の第４のフィンガ支持体構造が前記第２の側に近接して配置されるようにする、第２の対のフィンガ支持体構造と
を含む、リング保管ステーション。 A ring storage station according to claim 21, comprising:
The set of finger support structures comprises:
a first pair of finger support structures positioned on a first side of said ring storage station, said first pair of first finger support structures positioned proximate said first side; a first pair of finger support structures such that a second finger support structure of the first pair is positioned proximate the second side;
a second pair of finger support structures located on a second side of said ring storage station, with a third finger support structure of said second pair located adjacent said first side; a second pair of finger support structures such that a fourth finger support structure of said second pair is positioned proximate said second side.
前記消耗部品は、前記消耗部品の底面に均一に画定された３つの溝を含み、前記溝が、前記少なくとも２つの前記フィンガ支持体構造上の前記インデックスピンに連携する際に使用される、リング保管ステーション。 15. A ring storage station according to claim 14, comprising:
wherein said consumable part comprises three grooves uniformly defined in a bottom surface of said consumable part, said grooves being used in cooperating with said indexing pins on said at least two said finger support structures. storage station.
ハウジングであって、
ベースプレートと、
前記ハウジングの第１の側に配置されたエンドエフェクタアクセス開口部と、
前記ハウジングの第２の側に配置されたサービス窓開口部と、
対応する支持柱上に配置された支持体フィンガを含む一組のフィンガ支持体構造であ
って、前記ハウジング内で前記ベースプレートに接続されており、
前記フィンガ支持体構造のうち少なくとも１つは、調整可能なフィンガ支持体構造で
ある、一組のフィンガ支持体構造と
を含む、ハウジング
を備える、リング保管ステーション。 A ring storage station for supplying consumable parts used in a substrate processing system, comprising:
a housing,
a base plate;
an end effector access opening located on a first side of the housing;
a service window opening located on a second side of the housing;
a set of finger support structures including support fingers disposed on corresponding support posts and connected to the base plate within the housing;
A ring storage station comprising: a housing comprising: a set of finger support structures, at least one of said finger support structures being an adjustable finger support structure.
前記サービス窓開口部を含む前記第２の側は、前記エンドエフェクタアクセス開口部を含む前記第１の側に隣接して配置される、リング保管ステーション。 25. The ring storage station of claim 24, comprising:
The ring storage station, wherein the second side containing the service window opening is positioned adjacent to the first side containing the end effector access opening.
前記ベースプレートは、前記ベースプレートの上に画定されたロードパスアジャスタを有し、前記ロードパスアジャスタが、前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱に近接して画定され、かつ前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記支持柱の位置を調整するように構成される、リング保管ステーション。 25. The ring storage station of claim 24, comprising:
The base plate has a load path adjuster defined on the base plate, the load path adjuster defined proximate to the support posts of the adjustable finger support structure and the adjustable finger support structure. A ring storage station configured to adjust the position of said support posts of a support structure.
前記ベースプレートは、前記調整可能なフィンガ支持体構造の第２の端部に近接して画定された第１のピボットポイントおよび第２のピボットポイントを含み、前記第２の端部は、前記支持柱が画定される端部に対向しており、前記第１のピボットポイントおよび前記第２のピボットポイントは、第１の位置または第２の位置で前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第２の端部を固定するために使用され、
前記調整可能なフィンガ支持体構造の前記第１の位置または前記第２の位置への固定は、前記基板処理システム内のモジュールの設計に基づく、リング保管ステーション。 25. The ring storage station of claim 24, comprising:
The base plate includes a first pivot point and a second pivot point defined proximate a second end of the adjustable finger support structure, the second end being connected to the support post. is defined, and the first pivot point and the second pivot point are aligned with the second pivot point of the adjustable finger support structure in a first position or a second position. Used to fix the ends,
A ring storage station, wherein the fixing of the adjustable finger support structure to the first position or the second position is based on a modular design within the substrate processing system.
少なくとも前記一組のフィンガ支持体構造は、インデックスピンを備えるフィンガ支持体を有し、前記インデックスピンが、前記消耗部品が前記リング保管ステーションに配置されるとき、前記消耗部品を半径方向に整列させるように構成される、リング保管ステーション。 25. The ring storage station of claim 24, comprising:
The at least one set of finger support structures has finger supports with index pins for radially aligning the consumable components when the consumable components are placed in the ring storage station. A ring storage station configured to:
前記リング保管ステーションは、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）に結合され、かつ前記ＥＦＥＭは、マッピングセンサを備えるロボットエンドエフェクタを有し、前記マッピングセンサが、基板が前記一組のフィンガ支持体構造に関連するスロットに正しく配置されていないときに、検出するために使用される、リング保管ステーション。 25. The ring storage station of claim 24, comprising:
The ring storage station is coupled to an equipment front end module (EFEM) and the EFEM has a robotic end effector with a mapping sensor, the mapping sensor locating a substrate relative to the set of finger support structures. A ring storage station, used to detect when it is not properly placed in the slot.
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