JPWO2020072950A5 - - Google Patents

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基板処理装置であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
ＳＣＡＲＡアームであって、前記ＳＣＡＲＡアームが、前記ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節で前記フレームに枢動可能に取り付けられ、前記ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、前記２リンクアームが、一端で前記ショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、および前記ＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するように前記アッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心に前記フォアアームに対して回転するように、前記ＳＣＡＲＡアームのリスト関節で前記フォアアームに枢動可能に接合される、ＳＣＡＲＡアームと、
前記ショルダ関節でショルダ軸を中心に前記ＳＣＡＲＡアームを回転させ、前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介して前記ＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
を備え、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの少なくとも高さ部分が前記リスト関節の少なくとも高さ部分とオーバーラップするように、リスト関節プーリに連結され、前記リスト関節プーリは、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、前記リスト関節プーリおよび連結された前記少なくとも１つのエンドエフェクタの、前記フォアアームに対する、前記リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらすように構成され、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記リスト関節の合計スタック高さが、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、前記リスト関節のスタック高さプロファイル内にある、基板処理装置。 A substrate processing apparatus, the substrate processing apparatus comprising:
a frame;
a SCARA arm, said SCARA arm being pivotally attached to said frame at a shoulder joint of said SCARA arm, said SCARA arm being a two-link arm from which at least one end effector depends; an arm including at one end said shoulder joint and defining a defining upper arm and a forearm pivotally joined to said upper arm to define an elbow joint of said SCARA arm; said at least one end; a SCARA arm pivotally joined to the forearm at a wrist joint of the SCARA arm such that each effector rotates relative to the forearm about a wrist joint axis;
at least one degree of freedom operably coupled to the SCARA arm via a transmission to rotate the SCARA arm about a shoulder axis at the shoulder joint and articulate the SCARA arm in extension and retraction; a drive section having
with
The at least one end effector is coupled to a wrist joint pulley such that at least a height portion of the at least one end effector overlaps at least a height portion of the wrist joint, and the wrist joint pulley is connected to the SCARA arm. extension and retraction of the wrist joint pulley and the coupled at least one end effector with respect to the forearm as a unit about the wrist joint axis;
The height of the at least one end effector is sized such that the total stack height of the at least one end effector and the wrist joint fits into and passes through a slot valve pass-through. , within a stack height profile of said wrist joint. 前記リスト関節の前記スタック高さプロファイルが前記リスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長が、前記少なくとも１つのエンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部を、前記スロットバルブの前記パススルーを通して伸長させる、請求項１記載の基板処理装置。 The stack height profile of the wrist joint includes the wrist joint pulley, and extension of the SCARA arm extends the at least one end effector and at least a portion of the wrist joint pulley through the pass-through of the slot valve. 2. The substrate processing apparatus according to claim 1. 前記リスト関節プーリの回転をもたらす、前記リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループをさらに備え、前記バンドセグメントの少なくとも１つが、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成する前記リスト関節プーリのレベル面に対して接触して着座するエンドエフェクタのレベル接触面を横切って直立してまたがる高さを有する、請求項１記載の基板処理装置。 further comprising a segmented transmission loop of separate band segments coupled to said wrist joint pulley for effecting rotation of said wrist joint pulley, at least one of said band segments being part of a coupling between a pulley and an end effector; 2. The substrate processing apparatus of claim 1, having a height that spans upright across a level contact surface of an end effector that seats against the level surface of said wrist articulation pulley forming a . 別のＳＣＡＲＡアームをさらに備え、前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記ショルダ軸が前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、前記フレームに取り付けられる、請求項１記載の基板処理装置。 2. The method of claim 1, further comprising another SCARA arm, said another SCARA arm attached to said frame such that said shoulder axis is a common shoulder axis for both said SCARA arm and said another SCARA arm. substrate processing equipment. 前記別のＳＣＡＲＡアームが、別のリスト関節に別のエンドエフェクタを有し、前記別のエンドエフェクタおよび前記別のリスト関節が、前記スロットバルブの前記パススルーに適合し、前記スロットバルブの前記パススルーを通過するように寸法決めされた合計スタック高さを有する別のスタック高さプロファイルを画定する、請求項４記載の基板処理装置。 said another SCARA arm having another end effector at another wrist joint, said another end effector and said another wrist joint fitting said pass-through of said slot valve and said pass-through of said slot valve; 5. The substrate processing apparatus of claim 4, defining another stack height profile having a total stack height dimensioned to pass through. 前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタがそれぞれ、互いに積み重ねられた異なる移送面を画定するように、構成されている、請求項５記載の基板処理装置。 6. The substrate of claim 5, wherein the SCARA arm and the another SCARA arm are configured such that the at least one end effector and the another end effector each define different transfer planes stacked together. processing equipment. 前記駆動セクションが、前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つに動作可能に接続されたＺ軸駆動部を含み、前記Ｚ軸駆動部が、それぞれのスタック高さプロファイルのそれぞれの合計スタック高さと前記パススルーとの間の間隙に基づいて、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する、請求項５記載の基板処理装置。 The drive section includes a Z-axis drive operably connected to at least one of the SCARA arm and the further SCARA arm, the Z-axis drive providing a total stack for each of the respective stack height profiles. 6. The substrate processing apparatus of claim 5, generating one or more Z-axis movements of said at least one end effector and said another end effector based on a gap between height and said pass-through. 前記リスト関節プーリが、別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループによって前記駆動セクションに連結され、少なくとも１つの別個のバンドセグメントが、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに隣接した前記リスト関節プーリのレベル縁部に近接して配置され、前記リスト関節プーリに対して着座した前記少なくとも１つのエンドエフェクタのレベル着座面から前記少なくとも１つのエンドエフェクタに向かって突出する、請求項１記載の基板処理装置。 The wrist joint pulley is coupled to the drive section by a segmented transmission loop of separate band segments, with at least one separate band segment at a level edge of the wrist joint pulley adjacent the at least one end effector. 2. The substrate processing apparatus of claim 1, protruding toward said at least one end effector from a level seating surface of said at least one end effector that is closely spaced and seated against said wrist joint pulley. 前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つが前記プーリ上に巻き付き、それにより、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに最も近接し、少なくとも１つの別個のバンドセグメントの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、前記巻き付きのレベルまたはそれより下に配置されるように、前記別個のバンドセグメントの各々を前記リスト関節プーリに接合するバンドアンカーポイントが配置される、請求項８記載の基板処理装置。 At least one of the discrete band segments wraps on the pulley such that the pulley peripheral edge closest to the at least one end effector and opposite the wrap of the at least one discrete band segment is wrapped around the pulley. 9. The substrate processing apparatus of claim 8, wherein band anchor points are positioned to join each of the discrete band segments to the wrist articulation pulley so as to be positioned at or below level. 前記リスト関節プーリが、前記フレームに対するエンドエフェクタレベルを画定する、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面を有し、前記エンドエフェクタインターフェース着座面が、前記リスト関節プーリに連結された前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つと共通するまたはそれより下のレベルにある、請求項８記載の基板処理装置。 The wrist joint pulley has an end effector interface seating surface seated against the at least one end effector defining an end effector level relative to the frame, the end effector interface seating surface coupled to the wrist joint pulley. 9. The substrate processing apparatus of claim 8, at a level common to or below at least one of said separate band segments. 基板処理装置であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
ＳＣＡＲＡアームであって、前記ＳＣＡＲＡアームが、前記ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節で前記フレームに枢動可能に取り付けられ、前記ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、前記２リンクアームが、一端で前記ショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、および前記ＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するように前記アッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心に前記フォアアームに対して回転するように、前記ＳＣＡＲＡアームのリスト関節で前記フォアアームに枢動可能に接合される、ＳＣＡＲＡアームと、
前記ショルダ関節でショルダ軸を中心に前記ＳＣＡＲＡアームを回転させ、前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介して前記ＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
を備え、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタがリスト関節プーリに連結され、前記リスト関節プーリは、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、前記リスト関節プーリおよび連結された前記少なくとも１つのエンドエフェクタの、前記フォアアームに対する、前記リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらすように構成され、
前記リスト関節プーリが、別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループによって前記駆動セクションに連結され、前記リスト関節プーリが、前記フレームに対するエンドエフェクタレベルを画定する、前記エンドエフェクタに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面を有し、前記エンドエフェクタインターフェース着座面が、前記リスト関節プーリに連結された前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つと共通するまたはそれより下のレベルで、前記リスト関節プーリ内に凹状にされている、基板処理装置。 A substrate processing apparatus, the substrate processing apparatus comprising:
a frame;
a SCARA arm, said SCARA arm being pivotally attached to said frame at a shoulder joint of said SCARA arm, said SCARA arm being a two-link arm from which at least one end effector depends; an arm including at one end said shoulder joint and defining a defining upper arm and a forearm pivotally joined to said upper arm to define an elbow joint of said SCARA arm; said at least one end; a SCARA arm pivotally joined to the forearm at a wrist joint of the SCARA arm such that each effector rotates relative to the forearm about a wrist joint axis;
at least one degree of freedom operably coupled to the SCARA arm via a transmission to rotate the SCARA arm about a shoulder axis at the shoulder joint and articulate the SCARA arm in extension and retraction; a drive section having
with
The at least one end effector is coupled to a wrist joint pulley, wherein the extension and retraction of the SCARA arm is controlled by the wrist joint pulley and the at least one coupled end effector relative to the forearm. configured to provide joint rotation as a unit about the wrist joint axis,
an end effector interface seated relative to the end effector, wherein the wrist joint pulley is coupled to the drive section by a segmented transmission loop of a separate band segment, the wrist joint pulley defining an end effector level relative to the frame; a seating surface, the end effector interface seating surface being recessed into the wrist joint pulley at a level common to or below at least one of the discrete band segments coupled to the wrist joint pulley; substrate processing equipment . 前記少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記リスト関節の合計スタック高さが、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、前記リスト関節のスタック高さプロファイル内にある、請求項１１記載の基板処理装置。 The height of the at least one end effector is sized such that the total stack height of the at least one end effector and the wrist joint fits into and passes through a slot valve pass-through. , within the stack height profile of the wrist joint. 前記リスト関節の前記スタック高さプロファイルが前記リスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長が、前記少なくとも１つのエンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部を、前記パススルーを通して伸長させる、請求項１２記載の基板処理装置。 13. The stack height profile of the wrist joint includes the wrist joint pulley, and extension of the SCARA arm extends the at least one end effector and at least a portion of the wrist joint pulley through the pass-through. A substrate processing apparatus as described. 前記バンドセグメントの少なくとも１つが、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成する、前記リスト関節プーリの前記インターフェース着座面のレベル面に対して接触して着座する前記エンドエフェクタのレベル接触面を横切ってまたがる、直立して起立する高さを有する、請求項１１記載の基板処理装置。 a level contact of the end effector seated against a level surface of the interface seating surface of the wrist articulation pulley wherein at least one of the band segments forms part of the connection between the pulley and the end effector; 12. The substrate processing apparatus of claim 11, having an upstanding height that spans across the plane. 前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つが前記プーリ上に巻き付き、それにより、前記エンドエフェクタに最も近接し、前記少なくとも１つの別個のバンドセグメントの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、前記巻き付きのレベルまたはそれより下に配置されるように、前記別個のバンドセグメントの各々を前記リスト関節プーリに接合するバンドアンカーポイントが配置される、請求項１１記載の基板処理装置。 At least one of said discrete band segments wraps on said pulley such that the pulley peripheral edge closest to said end effector and opposite the winding of said at least one discrete band segment is at the level of said wrap or 12. The substrate processing apparatus of claim 11, wherein a band anchor point is positioned to join each of the discrete band segments to the wrist articulation pulley so as to be positioned below it. 別のＳＣＡＲＡアームをさらに備え、前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記ショルダ軸が前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、前記フレームに取り付けられる、請求項１１記載の基板処理装置。 12. The method of claim 11, further comprising another SCARA arm, said another SCARA arm attached to said frame such that said shoulder axis is a common shoulder axis for both said SCARA arm and said another SCARA arm. substrate processing equipment. 基板処理装置において基板を処理する方法であって、前記方法が、
前記基板処理装置に、フレームと、前記フレームに連結され、少なくとも１つの自由度を有する、駆動セクションを含む基板搬送装置と、前記駆動セクションによって駆動されるＳＣＡＲＡアームとを設ける工程であって、前記ＳＣＡＲＡアームが、エンドエフェクタを加えた２リンクアームであり、前記エンドエフェクタが、リスト関節プーリによって前記２リンクアームのフォアアームに枢動可能に連結され、前記リスト関節プーリは、前記フレームに対するエンドエフェクタレベルが、前記リスト関節プーリによって設定され、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、前記リスト関節プーリに接合された別個のバンドセグメントのトランスミッションループを介して、前記フォアアームに対するエンドエフェクタの回転をもたらすように構成されている、工程と、
前記駆動セクションの少なくとも１つの自由度で前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮させることによって、前記基板を前記エンドエフェクタで搬送する工程と、
を含み、
搬送中、前記バンドセグメントの１つが、前記リスト関節プーリ上に巻き付き、前記フレームに対してエンドエフェクタレベルを設定する前記リスト関節プーリの着座面に対して着座した前記エンドエフェクタの接触面の上方を横切った周りおよび上に巻き付く、方法。 A method of processing a substrate in a substrate processing apparatus, the method comprising:
providing the substrate processing apparatus with a frame, a substrate transport apparatus including a drive section coupled to the frame and having at least one degree of freedom, and a SCARA arm driven by the drive section, comprising: The SCARA arm is a two-link arm plus an end effector, the end effector pivotally connected to the forearm of the two-link arm by a wrist joint pulley, the wrist joint pulley connecting an end to the frame. Effector level is set by the wrist joint pulley such that extension and retraction of the SCARA arm results in rotation of the end effector relative to the forearm through a separate band segment transmission loop joined to the wrist joint pulley. a process comprising:
transporting the substrate with the end effector by extending and retracting the SCARA arm in at least one degree of freedom of the drive section;
including
During transport, one of the band segments wraps over the wrist joint pulley and over the contact surface of the end effector seated against the seating surface of the wrist joint pulley which sets the end effector level with respect to the frame. A method of wrapping around and over across . 前記エンドエフェクタを、前記駆動セクションの別の自由度で、Ｚ軸に沿って、前記フレームに接続されたスロットバルブのパススルーによって画定された基板搬送面に移動させる工程をさらに含み、前記基板を搬送する工程は、前記エンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部が、前記スロットバルブのパススルーを通過するように、前記エンドエフェクタを前記基板搬送面に沿って移動させることを含む、請求項１７記載の方法。 further comprising moving the end effector in another degree of freedom of the drive section along a Z-axis to a substrate transfer plane defined by a pass-through of a slot valve connected to the frame; 18. The step of claim 17, wherein the step of: moving the end effector along the substrate transfer surface such that the end effector and at least a portion of the wrist joint pulley pass through a pass-through of the slot valve. described method. 基板処理装置のフレームを提供する工程と、
ＳＣＡＲＡアームを提供する工程であって、前記ＳＣＡＲＡアームが、前記ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節で前記フレームに枢動可能に取り付けられ、前記ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、前記２リンクアームが、一端で前記ショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、および前記ＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するように前記アッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心に前記フォアアームに対して回転するように、前記ＳＣＡＲＡアームのリスト関節で前記フォアアームに枢動可能に連結され、リスト関節プーリに連結されている、工程と、
前記ショルダ関節でショルダ軸を中心に前記ＳＣＡＲＡアームを回転させ、前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介して前記ＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションを提供する工程と、
前記ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮の際に、前記リスト関節プーリおよび連結された前記少なくとも１つのエンドエフェクタの、前記フォアアームに対する、前記リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらす工程と、
を含む方法であって、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタの少なくとも高さ部分が、前記リスト関節プーリの少なくとも高さ部分とオーバーラップし、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記リスト関節の合計スタック高さが、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、前記リスト関節のスタック高さプロファイル内にある、方法。 providing a frame for a substrate processing apparatus;
providing a SCARA arm, said SCARA arm being pivotally attached to said frame at a shoulder joint of said SCARA arm, said SCARA arm being a two-link arm from which at least one end effector depends. , said two-link arm defines an upper arm that includes and determines said shoulder joint at one end, and a forearm pivotally joined to said upper arm so as to define an elbow joint of said SCARA arm; Each of the at least one end effector is pivotally coupled to the forearm at a wrist joint of the SCARA arm and coupled to a wrist joint pulley for rotation relative to the forearm about a wrist joint axis. the process and
at least one degree of freedom operably coupled to the SCARA arm via a transmission to rotate the SCARA arm about a shoulder axis at the shoulder joint and articulate the SCARA arm in extension and retraction; providing a drive section having
effecting joint rotation of the wrist joint pulley and the coupled at least one end effector relative to the forearm as a unit about the wrist joint axis during extension and retraction of the SCARA arm;
a method comprising
At least a height portion of the at least one end effector overlaps at least a height portion of the wrist joint pulley, and the height of the at least one end effector is the sum of the at least one end effector and the wrist joint. within the stack height profile of the wrist joint such that the stack height is sized to fit and pass through the slot valve pass-through. 前記リスト関節の前記スタック高さプロファイルが前記リスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長が、前記少なくとも１つのエンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部を、前記スロットバルブの前記パススルーを通して伸長させる、請求項１９記載の方法。 The stack height profile of the wrist joint includes the wrist joint pulley, and extension of the SCARA arm extends the at least one end effector and at least a portion of the wrist joint pulley through the pass-through of the slot valve. 20. The method of claim 19. 前記リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループを用いて前記リスト関節プーリの回転をもたらす工程であって、前記バンドセグメントの少なくとも１つが、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成する前記リスト関節プーリのレベル面に対して接触して着座する前記エンドエフェクタのレベル接触面を横切って直立してまたがる高さを有する、工程をさらに含む、請求項１９記載の方法。 effecting rotation of the wrist joint pulley using a segmented transmission loop of separate band segments coupled to the wrist joint pulley, wherein at least one of the band segments is a coupling between a pulley and an end effector; 20. The step of claim 19, further comprising the step of having a height that stands upright across a level contact surface of the end effector that seats against a level surface of the wrist articulation pulley forming part of a Method. 別のＳＣＡＲＡアームを提供する工程であって、前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記ショルダ軸が前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、前記フレームに取り付けられる、工程をさらに含む、請求項１９記載の方法。 providing another SCARA arm, said another SCARA arm being attached to said frame such that said shoulder axis is a common shoulder axis for both said SCARA arm and said another SCARA arm; 20. The method of claim 19, further comprising: 前記別のＳＣＡＲＡアームが、別のリスト関節に別のエンドエフェクタを有し、前記別のエンドエフェクタおよび前記別のリスト関節が、前記スロットバルブの前記パススルーに適合し、前記スロットバルブの前記パススルーを通過するように寸法決めされた合計スタック高さを有する別のスタック高さプロファイルを画定する、請求項２２記載の方法。 said another SCARA arm having another end effector at another wrist joint, said another end effector and said another wrist joint fitting said pass-through of said slot valve and said pass-through of said slot valve; 23. The method of claim 22, defining another stack height profile having a total stack height dimensioned to pass through. 前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタがそれぞれ、互いに積み重ねられた異なる移送面を画定するように、構成されている、請求項２３記載の方法。 24. The method of claim 23, wherein the SCARA arm and the another SCARA arm are configured such that the at least one end effector and the another end effector each define different transfer planes stacked together. . 前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つに動作可能に接続された前記駆動セクションのＺ軸駆動部を用いて、それぞれのスタック高さプロファイルのそれぞれの合計スタック高さと前記パススルーとの間の間隙に基づいて、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する工程をさらに含む、請求項２３記載の方法。 between the total stack height of each respective stack height profile and the pass-through using a Z-axis drive of the drive section operably connected to at least one of the SCARA arm and the further SCARA arm. 24. The method of claim 23, further comprising generating one or more Z-axis movements of the at least one end effector and the another end effector based on the gap between . 前記リスト関節プーリが、別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループによって前記駆動セクションに連結され、少なくとも１つの別個のバンドセグメントが、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに隣接した前記リスト関節プーリのレベル縁部に近接して配置され、前記リスト関節プーリに対して着座した前記少なくとも１つのエンドエフェクタのレベル着座面から前記少なくとも１つのエンドエフェクタに向かって突出する、請求項１９記載の方法。 The wrist joint pulley is coupled to the drive section by a segmented transmission loop of separate band segments, with at least one separate band segment at a level edge of the wrist joint pulley adjacent the at least one end effector. 20. The method of claim 19, protruding toward the at least one end effector from a level seating surface of the at least one end effector that is closely spaced and seated against the wrist joint pulley. 前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つが前記プーリ上に巻き付き、それにより、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに最も近接し、少なくとも１つの別個のバンドセグメントの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、前記巻き付きのレベルまたはそれより下に配置されるように、前記別個のバンドセグメントの各々を前記リスト関節プーリに接合するバンドアンカーポイントが配置される、請求項２６記載の方法。 At least one of the discrete band segments wraps on the pulley such that the pulley peripheral edge closest to the at least one end effector and opposite the wrap of the at least one discrete band segment is wrapped around the pulley. 27. The method of claim 26, wherein band anchor points joining each of the discrete band segments to the wrist articulation pulley are positioned so as to be positioned at or below level. 前記リスト関節プーリが、前記フレームに対するエンドエフェクタレベルを画定する、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面を有し、前記エンドエフェクタインターフェース着座面が、前記リスト関節プーリに連結された前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つと共通するまたはそれより下のレベルにある、請求項２６記載の方法。 The wrist joint pulley has an end effector interface seating surface seated against the at least one end effector defining an end effector level relative to the frame, the end effector interface seating surface coupled to the wrist joint pulley. 27. The method of claim 26, at a level common to or below at least one of the discrete band segments that are formed. 基板処理装置であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
前記フレームに連結された基板搬送装置と、
を備え、前記基板搬送装置が、
少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
前記駆動セクションによって駆動されるＳＣＡＲＡアームであって、前記ＳＣＡＲＡアームが、エンドエフェクタを加えた２リンクアームであり、前記エンドエフェクタが、リスト関節プーリによって前記２リンクアームのフォアアームに枢動可能に連結され、前記リスト関節プーリは、前記フレームに対するエンドエフェクタレベルが、前記リスト関節プーリによって設定され、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、前記リスト関節プーリに接合された別個のバンドセグメントのトランスミッションループを介して、前記フォアアームに対するエンドエフェクタの回転をもたらすように構成されている、ＳＣＡＲＡアームと、
を含み、
前記エンドエフェクタが、前記駆動セクションの少なくとも１つの自由度で前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮させることによって前記基板を搬送するように構成され、
搬送中、前記バンドセグメントの１つが、前記リスト関節プーリ上に巻き付き、前記フレームに対してエンドエフェクタレベルを設定する前記リスト関節プーリの着座面に対して着座した前記エンドエフェクタの接触面の上方を横切った周りおよび上に巻き付く、基板処理装置。 A substrate processing apparatus, the substrate processing apparatus comprising:
a frame;
a substrate transport device coupled to the frame;
wherein the substrate transport device comprises
a drive section having at least one degree of freedom;
A SCARA arm driven by the drive section, the SCARA arm being a two-link arm plus an end effector, the end effector being pivotable to the forearm of the two-link arm by a wrist joint pulley. The wrist joint pulleys are connected so that the end effector level relative to the frame is set by the wrist joint pulleys, and extension and retraction of the SCARA arm is via transmission loops of separate band segments joined to the wrist joint pulleys. a SCARA arm configured to provide rotation of an end effector relative to the forearm;
including
the end effector is configured to transport the substrate by extending and retracting the SCARA arm in at least one degree of freedom of the drive section;
During transport, one of the band segments wraps over the wrist joint pulley and over the contact surface of the end effector seated against the seating surface of the wrist joint pulley which sets the end effector level with respect to the frame. Substrate processing equipment that wraps around and over across . 前記駆動セクションの別の自由度によって、前記エンドエフェクタを、Ｚ軸に沿って、前記フレームに接続されたスロットバルブのパススルーによって画定された基板搬送面に移動させ、前記エンドエフェクタは、前記エンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部が、前記スロットバルブのパススルーを通過するように、前記基板を前記基板搬送面に沿って搬送する、請求項２９記載の基板処理装置。 Another degree of freedom of the drive section moves the end effector along the Z-axis to a substrate transfer plane defined by a pass-through of a slot valve connected to the frame, the end effector moving the end effector , and at least a portion of the wrist articulation pulley transports the substrate along the substrate transport surface past the slot valve pass-through.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11535460B2 (en) 2018-05-31 2022-12-27 Brooks Automation Us, Llc Substrate processing apparatus
JP7183635B2 (en) * 2018-08-31 2022-12-06 東京エレクトロン株式会社 SUBSTRATE TRANSFER MECHANISM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD
US11235935B2 (en) * 2020-01-23 2022-02-01 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
WO2021156985A1 (en) * 2020-02-05 2021-08-12 株式会社安川電機 Transport system, transport method, and transport device
US11985798B2 (en) * 2020-10-06 2024-05-14 Arris Enterprises Llc Method and system for flexible heat spreader attachment
CN114043464B (en) * 2021-11-26 2023-11-03 四川建安工业有限责任公司 Telescopic manipulator

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5064340A (en) 1989-01-20 1991-11-12 Genmark Automation Precision arm mechanism
US6428266B1 (en) * 1995-07-10 2002-08-06 Brooks Automation, Inc. Direct driven robot
US6062798A (en) 1996-06-13 2000-05-16 Brooks Automation, Inc. Multi-level substrate processing apparatus
JP3863671B2 (en) 1998-07-25 2006-12-27 株式会社ダイヘン Transfer robot
JP4558981B2 (en) 2000-11-14 2010-10-06 株式会社ダイヘン Transfer robot
US20070269297A1 (en) 2003-11-10 2007-11-22 Meulen Peter V D Semiconductor wafer handling and transport
US8398355B2 (en) 2006-05-26 2013-03-19 Brooks Automation, Inc. Linearly distributed semiconductor workpiece processing tool
TWI660446B (en) 2007-05-08 2019-05-21 美商布魯克斯自動機械公司 Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism
US8267636B2 (en) 2007-05-08 2012-09-18 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
US8016542B2 (en) 2007-05-31 2011-09-13 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for extending the reach of a dual scara robot linkage
JP5480562B2 (en) * 2009-08-26 2014-04-23 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP2011119556A (en) 2009-12-07 2011-06-16 Yaskawa Electric Corp Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same
KR102223624B1 (en) 2010-11-10 2021-03-05 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 A Substrate Processing Apparatus
TWI614831B (en) * 2011-03-11 2018-02-11 布魯克斯自動機械公司 Substrate processing tool
US9076829B2 (en) * 2011-08-08 2015-07-07 Applied Materials, Inc. Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing
JP6665095B2 (en) 2013-08-26 2020-03-13 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド Substrate transfer device
US11270904B2 (en) 2016-07-12 2022-03-08 Brooks Automation Us, Llc Substrate processing apparatus

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