JPWO2019123922A1 - Abrasive and method for producing abrasive - Google Patents
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Abstract
本発明は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる研摩材及び研磨材の製造方法の提供を目的とする。本発明の研磨材は、基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材であって、上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、上記研磨部がフュームドシリカを含み、上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an abrasive and a method of manufacturing an abrasive capable of increasing the thickness of a polished portion while suppressing a decrease in a polishing rate. The abrasive of the present invention is an abrasive comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder, wherein the polishing layer has a plurality of columnar polishing parts. The polishing portion contains fumed silica, and the base material mainly contains a heat-resistant resin.
Description
本発明は、研磨材及び研磨材の製造方法に関する。 The present invention relates to an abrasive and a method for producing the abrasive.
例えばハードディスク等の電子機器に用いられるガラス基板の加工には一般に固定砥粒の研磨材が使用されている。このような研磨材として、基材の表面に砥粒及びバインダーを含む研磨層を積層して構成した研磨材が公知である。 For example, in the processing of a glass substrate used for an electronic device such as a hard disk, an abrasive of fixed abrasive is generally used. As such an abrasive, an abrasive formed by laminating a polishing layer containing abrasive grains and a binder on the surface of a base material is known.
固定砥粒の研磨材では、研磨層は複数の研磨部から構成される。このように研磨層を複数の研磨部で構成することで、被削体に接触する面積の占有率が下がり、研磨時の面圧が高まるため、高い研磨レートが発現できる。また、複数の研磨部間に形成される溝により研削屑を排除できるので、研磨材の目詰まりによる研磨レートの低下が抑止できる。 In the fixed abrasive, the polishing layer is composed of a plurality of polishing portions. By configuring the polishing layer with a plurality of polishing portions in this manner, the occupancy of the area in contact with the workpiece is reduced, and the surface pressure during polishing is increased, so that a high polishing rate can be achieved. Further, since grinding dust can be eliminated by the grooves formed between the plurality of polishing portions, a decrease in the polishing rate due to clogging of the polishing material can be suppressed.
このような研磨材では、ガラス基板の加工に伴い研磨層が徐々に磨耗するため、研磨材の高寿命化のためには、研磨部を厚くすることが求められる。研磨層は、一般に印刷法を用いて形成される。印刷法を用いる場合、研磨部を厚くするとアスペクト比が上昇するため、印刷時に液だれが生じ易く、個々の研磨部を柱状に形成することが難しくなる。このため、従来の研磨部の厚い研磨材では、錐体状の研磨部や、頂面の面積の大きい研磨部が用いられている(例えば特開2014−18893号公報参照)。 With such an abrasive, the polishing layer gradually wears with the processing of the glass substrate. Therefore, in order to extend the life of the abrasive, it is necessary to increase the thickness of the polishing portion. The polishing layer is generally formed using a printing method. In the case of using the printing method, when the polished portion is thickened, the aspect ratio is increased, so that dripping is likely to occur during printing, and it is difficult to form each polished portion in a columnar shape. For this reason, in a conventional polishing material having a thick polishing portion, a cone-shaped polishing portion or a polishing portion having a large top surface area is used (see, for example, JP-A-2014-18893).
しかしながら、研磨部を錐体状とする場合、研磨層が磨耗するにつれ研磨部の頂面の面積が大きくなるため、研磨時の面圧が下がり、研磨レートが低下するおそれがある。また、研磨部の面積を大きくする場合、面積占有率を下げるためには研磨部間の溝の幅を広くする必要が生じる。溝の幅を広げると、被削体が溝に落ち込み易くなるため、被削体に疵付きが発生するおそれがある。このため、研磨部の面積を大きくする場合、面積占有率を下げ難くなるので、研磨時の面圧が下がり、研磨レートが低下するおそれがある。 However, when the polishing portion is formed in a conical shape, the area of the top surface of the polishing portion increases as the polishing layer wears, so that the surface pressure during polishing decreases and the polishing rate may decrease. When the area of the polishing section is increased, it is necessary to increase the width of the groove between the polishing sections in order to reduce the area occupancy. When the width of the groove is widened, the workpiece easily falls into the groove, and thus the workpiece may be flawed. For this reason, when increasing the area of the polishing portion, it is difficult to reduce the area occupancy, so that the surface pressure during polishing decreases, and the polishing rate may decrease.
本発明はこのような不都合に鑑みてなされたものであり、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる研摩材及び研磨材の製造方法の提供を目的とする。 The present invention has been made in view of such inconvenience, and an object of the present invention is to provide an abrasive and a method for manufacturing an abrasive capable of increasing the thickness of a polished portion while suppressing a decrease in a polishing rate.
本発明者らが、研磨部を厚くしても個々の研磨部を柱状に形成できる研磨材の製造方法について鋭意検討した結果、研磨部にフュームドシリカを含ませることで、研磨層を印刷により形成する際の液だれが抑止され、個々の研磨部を柱状に形成し易くなることに着目した。研磨部がフュームドシリカを含む場合、基材と研磨部との密着性が低下し、剥がれ易くなる場合がある。本発明者らは、この基材と研磨部との剥がれ易さは、基材として、耐熱性樹脂を主成分とする基材を用いることで解決できることを見出し、本発明を完成させた。 The present inventors have conducted intensive studies on a method of manufacturing an abrasive material capable of forming individual polished portions in a columnar shape even when the polished portions are thick, and by including fumed silica in the polished portions, the polishing layer is printed by Attention was paid to the fact that dripping during formation is suppressed, and individual polished portions are easily formed in a columnar shape. When the polished portion contains fumed silica, the adhesion between the substrate and the polished portion may be reduced, and the polished portion may be easily peeled off. The present inventors have found that the easiness of peeling between the base material and the polished portion can be solved by using a base material mainly composed of a heat-resistant resin as the base material, and completed the present invention.
すなわち、上記課題を解決するためになされた発明は、基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材であって、上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、上記研磨部がフュームドシリカを含み、上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする。 That is, the invention made to solve the above-mentioned problem is an abrasive material comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder, wherein the polishing layer has a plurality of polishing layers. The above-mentioned polishing part contains fumed silica, and the above-mentioned base material has a heat resistant resin as a main component.
当該研磨材は、研磨部がフュームドシリカを含むので、厚い研磨部であっても研磨部を柱状に形成することができる。このため、当該研磨材は、研磨部を錐体状としたり、研磨部の頂面の面積を大きくしたりする必要がないので、研磨層が磨耗しても研磨レートが低下し難い。また、当該研磨材は、基材が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨部がフュームドシリカを含むことによる基材と研磨部との密着性の低下を抑止できる。このため、当該研磨材は、基材と研磨部とが剥がれ難い。従って、当該研磨材は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる。 Since the polishing portion of the abrasive contains fumed silica, the polishing portion can be formed in a columnar shape even if the polishing portion is thick. For this reason, the polishing material does not need to have a polished portion in the shape of a cone or to increase the area of the top surface of the polished portion. Therefore, even if the polishing layer is worn, the polishing rate does not easily decrease. In addition, since the base material of the abrasive is a heat-resistant resin as a main component, it is possible to suppress a decrease in adhesion between the base material and the polishing part due to the polishing part containing fumed silica. For this reason, in the abrasive material, the base material and the polished portion are not easily separated. Therefore, the polishing material can make the polishing portion thicker while suppressing a reduction in the polishing rate.
上記研磨部における上記フュームドシリカの含有量としては、0.1体積%以上20体積%以下が好ましい。上記研磨部における上記フュームドシリカの含有量を上記範囲内とすることで、研磨材の製造時にフュームドシリカの含有による密着性の低下を抑止しつつ、安定して柱状の研磨部を形成できるので、さらに安定した研磨レートを発現させることができる。 The content of the fumed silica in the polishing section is preferably from 0.1% by volume to 20% by volume. By setting the content of the fumed silica in the polishing portion within the above range, it is possible to stably form the columnar polishing portion while suppressing a decrease in adhesion due to the inclusion of the fumed silica during the production of the abrasive. Therefore, a more stable polishing rate can be developed.
上記研磨部の平均厚さとしては、300μm以上5000μm以下が好ましい。上記研磨部の平均厚さを上記範囲内とすることで、研磨部のフュームドシリカの含有による安定した研磨レートの発現効果が発揮され易い。 The average thickness of the polishing portion is preferably 300 μm or more and 5000 μm or less. By setting the average thickness of the polishing portion within the above range, the effect of exhibiting a stable polishing rate due to the inclusion of fumed silica in the polishing portion is easily exerted.
上記基材がポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートであるとよい。上記基材をポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートとすることで、基材と研磨部との密着性が高まり、基材と研磨部とをさらに剥がれ難くすることができる。 The base material is preferably polycarbonate or biaxially stretched polyethylene terephthalate. When the base material is made of polycarbonate or biaxially stretched polyethylene terephthalate, the adhesion between the base material and the polished portion is enhanced, and the base material and the polished portion can be made harder to peel off.
上記課題を解決するためになされた別の発明は、基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材の製造方法であって、研磨層用組成物の印刷により上記研磨層を形成する工程を備え、上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、上記研磨層用組成物がフュームドシリカを含み、上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする。 Another invention made in order to solve the above-mentioned problem is a method for producing an abrasive material comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder, wherein the polishing layer Forming the polishing layer by printing a composition for polishing, the polishing layer has a plurality of columnar polishing portions, the composition for polishing layer contains fumed silica, the base material is a heat-resistant resin As a main component.
当該研磨材の製造方法では、研磨層用組成物がフュームドシリカを含むので、印刷により研磨層を形成する際にこのフュームドシリカが研磨層用組成物にチキソトロピー性を与え、液だれを抑止できる。このため、当該研磨材の製造方法を用いることで、厚い研磨部であっても柱状の研磨部を形成できる。また、当該研磨材の製造方法では、基材が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨層用組成物がフュームドシリカを含む場合であっても基材と研磨部とが剥がれ難い。従って、当該研磨材の製造方法を用いることで、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部が厚い研磨材を製造することができる。 In the method for producing an abrasive, since the composition for the polishing layer contains fumed silica, the fumed silica imparts thixotropy to the composition for the polishing layer when forming the polishing layer by printing, and prevents dripping. it can. For this reason, by using the method for manufacturing an abrasive, a columnar polishing portion can be formed even in a thick polishing portion. In addition, in the method for producing an abrasive, since the base material contains a heat-resistant resin as a main component, even when the polishing layer composition contains fumed silica, the base material and the polished portion are not easily separated. Therefore, by using the method for manufacturing an abrasive, it is possible to manufacture an abrasive having a thick polished portion while suppressing a decrease in the polishing rate.
ここで、「主成分」とは、最も含有量の多い成分を意味し、好ましくは含有量が50質量%以上、より好ましくは90質量%以上の成分をいう。 Here, the "main component" means a component having the largest content, preferably a component having a content of 50% by mass or more, more preferably 90% by mass or more.
以上説明したように、本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる。従って、本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、安定した研磨レートを発現させつつ、高寿命化できる。 As described above, the polishing material of the present invention and the polishing material manufactured by the method of manufacturing the polishing material of the present invention can make the polishing portion thicker while suppressing a decrease in the polishing rate. Therefore, the abrasive of the present invention and the abrasive manufactured by the method of manufacturing an abrasive of the present invention can have a long life while exhibiting a stable polishing rate.
以下、本発明の一実施形態について適宜図面を参照しつつ詳説する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
[研磨材]
図1及び図2に示す研磨材1は、基材10と、この基材10の表面側に積層される研磨層20と、基材10の裏面側に積層される接着層30とを備える。また、研磨層20は、複数の研磨部20aと、この研磨部20a間に配設される溝20bとを有する。[Abrasive]
The abrasive 1 shown in FIGS. 1 and 2 includes a
当該研磨材1は、例えばガラス材料の表面研磨、とりわけカバーガラスやハードディスク等に用いられるアルミノシリケートガラス基板の表面研磨のための固定砥粒研磨材として好適に用いられる。
The
<基材>
基材10は、研磨層20を支持するための板状又はシート状の部材である。<Substrate>
The
基材10は、耐熱性樹脂を主成分とする。このような耐熱性樹脂としては、ポリカーボネート、二軸延伸ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド等を挙げることができる。中でも、ポリカーボネート及び二軸延伸ポリエチレンテレフタレートが好ましく、ポリカーボネートがより好ましい。基材10をポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートとすることで、基材10と研磨部20aとの密着性が高まり、基材10と研磨部20aとを剥がれ難くすることができる。
The
基材10のガラス転移温度の下限としては、60℃が好ましく、80℃がより好ましく、100℃がさらに好ましい。基材10のガラス転移温度が上記下限未満であると、耐熱性が不足し、研磨部20aを形成する際の熱で基材10が変形し易くなる。このため、基材10と研磨部20aとの密着性が低下するおそれがある。一方、基材10のガラス転移温度の上限としては、特に限定されないが、例えば基材10のガラス転移温度は、500℃以下とされる。
As a minimum of glass transition temperature of
また、基材10は可撓性を有するとよい。このように基材10が可撓性を有することで、当該研磨材1が被削体の表面形状に追従し、研磨面と被削体との接触面積が大きくなるため、研磨レートを高められる。
Further, the
なお、基材10の表面に化学処理、コロナ処理、プライマー処理等の接着性を高める処理が行われてもよい。
In addition, the surface of the
基材10の形状及び大きさとしては、特に限定されないが、例えば一辺が140mm以上160mm以下の正方形状、直径200mm以上2022mm以下の円盤状、外径200mm以上2022mm以下及び内径100mm以上658mm以下の円環状等とすることができる。また、平面上に並置した複数の基材10が単一の支持体により支持される構成であってもよい。
The shape and size of the
基材10の平均厚さの下限としては、70μmが好ましく、300μmがより好ましく、500μmがさらに好ましい。一方、基材10の平均厚さの上限としては、3000μmが好ましく、2000μmがより好ましい。基材10の平均厚さが上記下限未満であると、研磨部20aが厚い場合、基材10の反りが発生し易くなるおそれがある。逆に、基材10の平均厚さが上記上限を超えると、基材10が被削体の表面形状に追従し難くなり、研磨レートが低下するおそれがある。
As a minimum of average thickness of
<研磨層>
研磨層20は、研磨部20aに砥粒21、バインダー22及びフュームドシリカ23を含む。また、研磨部20aは充填剤(不図示)を含む。<Polishing layer>
The
(砥粒)
砥粒21としては、ダイヤモンド砥粒、アルミナ砥粒、シリカ砥粒、セリア砥粒、炭化ケイ素砥粒等が挙げられる。中でも他の砥粒より硬質であるダイヤモンド砥粒が好ましい。上記砥粒21をダイヤモンド砥粒とすることで、研磨力が向上し、研磨レートをさらに向上できる。(Abrasive grains)
Examples of the
なお、ダイヤモンド砥粒のダイヤモンドとしては、単結晶でも多結晶でもよく、またNiコーティング等の処理がされたダイヤモンドであってもよい。中でも単結晶ダイヤモンド及び多結晶ダイヤモンドが好ましい。単結晶ダイヤモンドは、他のダイヤモンドより硬質であり研削力が高い。また、多結晶ダイヤモンドは多結晶を構成する微結晶単位で劈開し易く目つぶれが進行し難いので、長期間研磨を行っても研磨レートの低下が小さい。 The diamond of the diamond abrasive grains may be a single crystal or polycrystal, or may be a diamond that has been subjected to a treatment such as Ni coating. Among them, single crystal diamond and polycrystalline diamond are preferred. Single crystal diamond is harder than other diamonds and has higher grinding power. In addition, polycrystalline diamond is easily cleaved in units of microcrystals constituting the polycrystal and is less likely to be blinded. Therefore, even if polishing is performed for a long period of time, a reduction in polishing rate is small.
砥粒21の平均粒子径は、研磨レートと研磨後の被削体の表面粗さとの観点から適宜選択される。砥粒21の平均粒子径の下限としては、2μmが好ましく、10μmがより好ましく、15μmがさらに好ましい。一方、砥粒21の平均粒子径の上限としては、150μmが好ましく、125μmがより好ましく、100μmがさらに好ましい。砥粒21の平均粒子径が上記下限未満であると、当該研磨材1の研磨力が不足し、研磨レートが低下するおそれがある。逆に、砥粒21の平均粒子径が上記上限を超えると、研磨精度が低下するおそれがある。ここで、「平均粒子径」とは、レーザー回折法等により測定された体積基準の累積粒度分布曲線の50%値(50%粒子径、D50)をいう。
The average particle diameter of the
研磨部20aにおける砥粒21の含有量の下限としては、0.5体積%が好ましく、2体積%がより好ましく、4体積%がさらに好ましい。一方、上記砥粒21の含有量の上限としては、55体積%が好ましく、45体積%がより好ましく、35体積%がさらに好ましい。上記砥粒21の含有量が上記下限未満であると、研磨層20の研磨力が不足するおそれがある。逆に、上記砥粒21の含有量が上記上限を超えると、研磨層20が砥粒21を保持できないおそれがある。
The lower limit of the content of the
(バインダー)
バインダー22の主成分としては、特に限定されないが、樹脂又は無機物が挙げられる。中でも基材10との密着性の観点から樹脂が好ましい。(binder)
The main component of the
上記樹脂としては、ポリウレタン、ポリフェノール、エポキシ、ポリエステル、セルロース、エチレン共重合体、ポリビニルアセタール、ポリアクリル酸及びその塩、ポリアクリル酸エステル、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド等の樹脂を挙げることができる。中でも基材への良好な密着性が確保し易いポリアクリル酸エステル、エポキシ、ポリエステル及びポリウレタンが好ましい。なお、上記樹脂は、少なくとも一部が架橋していてもよい。 Examples of the resin include resins such as polyurethane, polyphenol, epoxy, polyester, cellulose, ethylene copolymer, polyvinyl acetal, polyacrylic acid and salts thereof, polyacrylate, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, and polyamide. Can be mentioned. Among them, preferred are polyacrylates, epoxies, polyesters, and polyurethanes, which easily ensure good adhesion to a substrate. The resin may be at least partially crosslinked.
また、上記無機物としては、ケイ酸塩、リン酸塩、多価金属アルコキシド等を挙げることができる。中でも砥粒保持力が高いケイ酸塩が好ましい。このようなケイ酸塩としてはケイ酸ナトリウムやケイ酸カリウム等を挙げることができる。 Examples of the inorganic substance include silicates, phosphates, and polyvalent metal alkoxides. Among them, a silicate having a high abrasive grain holding power is preferable. Examples of such silicates include sodium silicate and potassium silicate.
なお、バインダー22には、分散剤、カップリング剤、界面活性剤、潤滑剤、消泡剤、着色剤等の各種助剤及び添加剤などを目的に応じて適宜含有させてもよい。
The
(フュームドシリカ)
フュームドシリカ23は、乾式シリカの一種で微粒子(粉体)である。その組成は、アモルファスシリカ又は高純度ガラスである。(Fumed silica)
The fumed
フュームドシリカ23の平均一次粒子径の下限としては、5nmが好ましく、7nmがより好ましい。一方、フュームドシリカ23の平均一次粒子径の上限としては、100nmが好ましく、60nmがより好ましく、40nmがさらに好ましい。フュームドシリカ23の平均一次粒子径が上記下限未満であると、舞い易くなり、当該研磨材1の製造時の取扱いが困難となるおそれがある。逆に、フュームドシリカ23の平均一次粒子径が上記上限を超えると、当該研磨材1の製造時のフュームドシリカ23によるチキソトロピー性が不足し、研磨部20aを柱状とできないおそれがある。
The lower limit of the average primary particle diameter of the fumed
研磨部20aにおけるフュームドシリカ23の含有量の下限としては、0.1体積%が好ましく、1体積%がより好ましい。一方、フュームドシリカ23の含有量の上限としては、20体積%が好ましく、10体積%がより好ましく、8体積%がさらに好ましい。フュームドシリカ23の含有量が上記下限未満であると、当該研磨材1の製造時のフュームドシリカ23によるチキソトロピー性が不足し、研磨部20aを柱状とできないおそれがある。逆に、フュームドシリカ23の含有量が上記上限を超えると、研磨部20aの摩耗が進み易くなり当該研磨材1の寿命が低下するおそれや、基材10と研磨部20aとの密着性が低下するおそれがある。
The lower limit of the content of the fumed
(充填剤)
充填剤としては、例えばアルミナ、シリカ、酸化セリウム、酸化マグネシウム、ジルコニア、酸化チタン等の酸化物及びシリカ−アルミナ、シリカ−ジルコニア、シリカ−マグネシア等の複合酸化物を挙げることができる。これらは単独で又は必要に応じて2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でも高い研磨力が得られるアルミナが好ましい。(filler)
Examples of the filler include oxides such as alumina, silica, cerium oxide, magnesium oxide, zirconia, and titanium oxide, and composite oxides such as silica-alumina, silica-zirconia, and silica-magnesia. These may be used alone or in combination of two or more as necessary. Among them, alumina capable of obtaining high polishing power is preferable.
上記充填剤の平均粒子径は砥粒21の平均粒子径にも依存するが、上記充填剤の平均粒子径の下限としては、0.01μmが好ましく、2μmがより好ましい。一方、上記充填剤の平均粒子径の上限としては、40μmが好ましく、20μmがより好ましく、15μmがさらに好ましい。上記充填剤の平均粒子径が上記下限未満であると、上記充填剤によるバインダー22の弾性率向上効果の不足により、研磨レートが低下するおそれがある。一方、上記充填剤の平均粒子径が上記上限を超えると、充填剤が砥粒21の研磨力を阻害するおそれがある。
Although the average particle size of the filler also depends on the average particle size of the
また、上記充填剤の平均粒子径は砥粒21の平均粒子径よりも小さいとよい。砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比の下限としては、0.01が好ましく、0.05がより好ましく、0.1がさらに好ましい。一方、砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比の上限としては、0.8が好ましく、0.6がより好ましい。砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比が上記下限未満であると、上記充填剤によるバインダー22の弾性率向上効果の不足により、研磨レートが低下するおそれがある。逆に、砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比が上記上限を超えると、充填剤が砥粒21の研磨力を阻害するおそれがある。
The average particle diameter of the filler is preferably smaller than the average particle diameter of the
上記充填剤の研磨部20aに対する含有量は、砥粒21の含有量にも依存するが、上記充填剤の研磨部20aに対する含有量の下限としては、15体積%が好ましく、30体積%がより好ましい。一方、上記充填剤の含有量の上限としては、75体積%が好ましく、72体積%がより好ましい。上記充填剤の含有量が上記下限未満であると、上記充填剤によるバインダー22の弾性率向上効果の不足により、研磨レートが低下するおそれがある。逆に、上記充填剤の含有量が上記上限を超えると、充填剤が砥粒21の研磨力を阻害するおそれがある。
Although the content of the filler in the polishing
(研磨部)
研磨部20aは柱状である。つまり、研磨部20aの底面の面積は、研磨部20aの頂面の面積の0.9倍以上1.5倍以下、好ましくは0.93倍以上1.2倍以下、より好ましくは0.95倍以上1.05倍以下である。(Polishing unit)
The polishing
複数の研磨部20aは、同一形状で規則的に配列されたブロックパターン状である。研磨部20aの頂面の形状としては、特に限定されないが、図1のような正方形状とできる他、円形状や多角形状等とすることができる。
The plurality of polishing
研磨部20aの頂面の平均面積の下限としては、1mm2が好ましく、2mm2がより好ましい。一方、研磨部20aの頂面の平均面積の上限としては、150mm2が好ましく、130mm2がより好ましい。研磨部20aの頂面の平均面積が上記下限未満であると、研磨部20aが基材10から剥離するおそれがある。逆に、研磨部20aの頂面の平均面積が上記上限を超えると、研磨時に研磨層20の被削体への接触面積が大きくなるため、摩擦抵抗により研磨レートが低下するおそれがある。The lower limit of the average area of the top surface of the
複数の研磨部20aの研磨層20全体に対する面積占有率の下限としては、5%が好ましく、10%がより好ましい。一方、上記研磨部20aの面積占有率の上限としては、60%が好ましく、55%がより好ましい。上記研磨部20aの面積占有率が上記下限未満であると、研磨時に加える圧力が狭い研磨部20aに集中し過ぎるため、研磨部20aが基材10から剥離するおそれがある。逆に、上記研磨部20aの面積占有率が上記上限を超えると、研磨時に研磨層20の被削体への接触面積が大きくなるため、摩擦抵抗により研磨レートが低下するおそれがある。なお、「研磨層全体の面積」は、研磨層の溝の面積も含む概念である。
The lower limit of the area occupation ratio of the plurality of polishing
研磨部20aの平均厚さの下限としては、300μmが好ましく、500μmがより好ましい。一方、研磨部20aの平均厚さの上限としては、5000μmが好ましく、3000μmがより好ましい。研磨部20aの平均厚さが上記下限未満であると、寿命が不足するおそれや、研磨部20aのフュームドシリカ23の含有による製造時の研磨部20aの形状安定化効果が十分に発現しないおそれがある。逆に、研磨部20aの平均厚さが上記上限を超えると、研磨部20aを柱状とできないおそれがある。
The lower limit of the average thickness of the
(溝)
溝20bの底面は、基材10の表面で構成されている。(groove)
The bottom surface of the
溝20bの平均幅は、研磨部20aの頂面の面積や面積占有率により決定されるが、溝20bの平均幅の下限としては、0.3mmが好ましく、0.5mmがより好ましい。一方、溝20bの平均幅の上限としては、10mmが好ましく、8mmがより好ましい。溝20bの平均幅が上記下限未満であると、研磨により発生する研磨粉が溝20bに詰まるおそれがある。逆に、溝20bの平均幅が上記上限を超えると、研磨時に被削体が溝20bに落ち込み易くなるため、被削体に傷が生じるおそれがある。
The average width of the
<接着層>
接着層30は、当該研磨材1を支持し研磨装置に装着するための支持体に当該研磨材1を固定する層である。<Adhesive layer>
The
この接着層30に用いられる接着剤としては、特に限定されないが、例えば反応型接着剤、瞬間接着剤、ホットメルト接着剤、貼り替え可能な接着剤である粘着剤等を挙げることができる。
The adhesive used for the
この接着層30に用いられる接着剤としては、粘着剤が好ましい。接着層30に用いられる接着剤として粘着剤を用いることで、支持体から当該研磨材1を剥がして貼り替えることができるため当該研磨材1及び支持体の再利用が容易になる。このような粘着剤としては、特に限定されないが、例えばアクリル系粘着剤、アクリル−ゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤、ブチルゴム系等の合成ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤等が挙げられる。
The adhesive used for the
接着層30の平均厚さの下限としては、0.05mmが好ましく、0.1mmがより好ましい。一方、接着層30の平均厚さの上限としては、0.3mmが好ましく、0.2mmがより好ましい。接着層30の平均厚さが上記下限未満であると、接着力が不足し、当該研磨材1が支持体から剥離するおそれがある。逆に、接着層30の平均厚さが上記上限を超えると、例えば接着層30の厚みのため当該研磨材1を所望する形状に切る際に支障をきたすなど、作業性が低下するおそれがある。
The lower limit of the average thickness of the
<利点>
当該研磨材1は、研磨部20aがフュームドシリカ23を含むので、厚い研磨部20aであっても研磨部20aを柱状に形成することができる。このため、当該研磨材1は、研磨部20aを錐体状としたり、研磨部20aの頂面の面積を大きくしたりする必要がないので、研磨層20が磨耗しても研磨レートが低下し難い。また、当該研磨材1は、基材10が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨部20aがフュームドシリカ23を含むことによる基材10と研磨部20aとの密着性の低下を抑止できる。このため、当該研磨材1は、基材10と研磨部20aとが剥がれ難い。従って、当該研磨材1は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部20aを厚くできる。<Advantages>
Since the polishing
[研磨材の製造方法]
図3に示す研磨材の製造方法は、調製工程S1と、研磨層形成工程S2と、接着層貼付工程S3とを主に備える。当該研磨材の製造方法を用いることで、例えば図1及び図2に示す基材10と、この基材10の表面側に積層され、砥粒21及びバインダー22を含む研磨層20とを備える研磨材1を製造することができる。[Abrasive manufacturing method]
3 mainly includes a preparation step S1, a polishing layer forming step S2, and an adhesive layer attaching step S3. By using the method for manufacturing an abrasive material, for example, polishing including the
<調製工程>
調製工程S1では、砥粒21、バインダー22及びフュームドシリカ23を含む研磨層用組成物を調製する。<Preparation process>
In the preparation step S1, a composition for a polishing layer containing
具体的には、砥粒21、フェームドシリカ23、及びバインダー22の形成材料を含む研磨層用組成物を塗工液として準備する。なお、固形分中の砥粒21及びフェームドシリカ23の含有量が、それぞれ製造後の研磨部20aの砥粒21及びフェームドシリカ23の含有量となるので、研磨部20aにおける含有量が所望の値となるように固形分の量を適宜決定する。
Specifically, a composition for a polishing layer including the forming materials of the
また、塗工液の粘度や流動性を制御するために、水、アルコール等の希釈剤を添加する。この希釈により、研磨部20aに含まれる砥粒21の一部をバインダー22の表面から突出させることができる。つまり、希釈剤を添加することで、研磨層形成工程S2で研磨層用組成物を乾燥させたときにバインダー22の厚さが減少し、砥粒21の突出量を増やすことができる。従って、この希釈により研磨の初期から高い研磨レートを発現させることができる。
Further, a diluent such as water or alcohol is added to control the viscosity and fluidity of the coating liquid. By this dilution, a part of the
<研磨層形成工程>
研磨層形成工程S2では、調製工程S1で準備した研磨層用組成物の印刷により研磨層20を形成する。研磨層形成工程S2は、塗工工程と乾燥工程とを備える。<Polishing layer forming step>
In the polishing layer forming step S2, the
(塗工工程)
塗工工程では、上記研磨層用組成物を基材10の表面に塗工する。基材10としては、耐熱性樹脂を主成分とするものを用いる。(Coating process)
In the coating step, the polishing layer composition is coated on the surface of the
具体的には、調製工程S1で準備した塗工液を用い、基材10の表面に印刷法により複数の研磨部20a及びこの研磨部20a間に配設される溝20bを有する研磨層20を形成する。この溝20bを形成するために、溝20bの形状に対応する形状を有するマスクを用意し、このマスクを介して上記塗工液を印刷する。この印刷方式としては、例えばスクリーン印刷、メタルマスク印刷等を用いることができる。
Specifically, using the coating liquid prepared in the preparation step S1, the
上記印刷用のマスクとしては、SUS製又はフッ素樹脂製のマスクが好ましい。SUS製又はフッ素樹脂製のマスクはマスクを厚くできるので、平均厚さの大きい研磨部20aを容易に作製することができる。
As the printing mask, a SUS or fluororesin mask is preferable. Since the mask made of SUS or fluororesin can be made thicker, the
研磨部20aの厚さは、主にマスクの厚みと塗工量とにより調整することができる。従って、この塗工工程で、研磨部20aの平均厚さを300μm以上、より好ましくは500μm以上とするように上記研磨層用組成物の塗工量を調整するとよい。研磨部20aの平均厚さを上記下限以上とするように塗工量を調整することで、研磨材1の寿命を向上できる。一方、塗工工程で調整される研磨部20aの平均厚さの上限としては、特に限定されないが、製造コストの観点から、5000μmが好ましく、3000μmがより好ましい。
The thickness of the
(乾燥工程)
乾燥工程では、上記塗工工程後の塗工液(研磨層用組成物)を加熱乾燥する。この加熱乾燥により塗工液が硬化し、研磨層20が形成される。(Drying process)
In the drying step, the coating liquid (composition for the polishing layer) after the above-mentioned coating step is heated and dried. The coating liquid is cured by the heating and drying, and the
この乾燥工程は、マスクを除去して行われる。当該研磨材の製造方法では、研磨層用組成物がフュームドシリカ23を含むので、フュームドシリカ23が研磨層用組成物にチキソトロピー性を与える。このため、加熱中の研磨層用組成物の粘度が適度に制御され、液だれを抑止できる。従って、研磨部20aが厚い場合であっても、柱状の研磨部20aを形成できる。
This drying step is performed after removing the mask. In the method for producing an abrasive, since the composition for the polishing layer contains fumed
乾燥工程での加熱温度の下限としては、80℃が好ましく、100℃がより好ましい。一方、上記加熱温度の上限としては、300℃が好ましく、200℃がより好ましい。上記加熱温度が上記下限未満であると、研磨層用組成物が十分に硬化せず、摩耗量が増大し、研磨材1の寿命が短くなるおそれがある。逆に、上記加熱温度が上記上限を超えると、研磨部20aが熱により変質するおそれがある。
The lower limit of the heating temperature in the drying step is preferably 80 ° C, more preferably 100 ° C. On the other hand, the upper limit of the heating temperature is preferably 300 ° C, more preferably 200 ° C. When the heating temperature is lower than the lower limit, the composition for the polishing layer is not sufficiently cured, the amount of wear increases, and the life of the polishing
乾燥工程での加熱時間は、加熱温度にもよるが、上記加熱時間の下限としては、2時間が好ましく、2.5時間がより好ましい。一方、上記加熱時間の上限としては、40時間が好ましく、32時間がより好ましく、20時間がさらに好ましい。上記加熱時間が上記下限未満であると、研磨層用組成物が十分に硬化せず、摩耗量が増大し、研磨材1の寿命が短くなるおそれがある。逆に、上記加熱時間が上記上限を超えると、製造効率が低下するおそれがある。 The heating time in the drying step depends on the heating temperature, but the lower limit of the heating time is preferably 2 hours, more preferably 2.5 hours. On the other hand, the upper limit of the heating time is preferably 40 hours, more preferably 32 hours, and even more preferably 20 hours. If the heating time is shorter than the lower limit, the polishing layer composition may not be sufficiently cured, the amount of wear may increase, and the life of the abrasive 1 may be shortened. Conversely, if the heating time exceeds the upper limit, the production efficiency may decrease.
<接着層貼付工程>
接着層貼付工程S3では、基材10の裏面側に接着層30を積層する。具体的には、例えば予め形成されたテープ状の接着層30を基材10の裏面に貼り付ける。<Adhesive layer sticking process>
In the adhesive layer attaching step S3, the
<利点>
当該研磨材の製造方法では、研磨層用組成物がフュームドシリカ23を含むので、印刷により研磨層20を形成する際にこのフュームドシリカ23が研磨層用組成物にチキソトロピー性を与え、液だれを抑止できる。このため、当該研磨材の製造方法を用いることで、厚い研磨部20aであっても柱状の研磨部20aを形成できる。また、当該研磨材の製造方法では、基材10が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨層用組成物がフュームドシリカ23を含む場合であっても基材10と研磨部20aとが剥がれ難い。従って、当該研磨材の製造方法を用いることで、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部20aが厚い研磨材を製造することができる。<Advantages>
In the method for manufacturing an abrasive, the composition for the polishing layer contains fumed
[その他の実施形態]
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記態様の他、種々の変更、改良を施した態様で実施することができる。[Other Embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be embodied with various changes and improvements in addition to the above-described aspects.
上記実施形態では、研磨部がブロックパターン状である場合を説明したが、研磨部はブロックパターン状に限定されるものではない。つまり、複数の研磨部は、異なる形状であったり、不規則に配列されたりしてもよい。ただし、研磨の異方性を低減する観点から、研磨部はブロックパターン状であることが好ましい。 In the above embodiment, the case where the polishing unit has a block pattern shape has been described, but the polishing unit is not limited to the block pattern shape. That is, the plurality of polishing units may have different shapes or may be irregularly arranged. However, from the viewpoint of reducing polishing anisotropy, it is preferable that the polished portion has a block pattern.
上記実施形態では、研磨部が充填剤を含む場合を説明したが、充填剤は必須の構成要件ではなく、充填剤を含まない研磨部を有する研磨材も本発明の意図するところである。 In the above embodiment, the case where the polishing portion contains a filler has been described. However, the filler is not an essential constituent element, and an abrasive having a polishing portion containing no filler is also intended by the present invention.
上記実施形態では、研磨材が接着層を有する場合を説明したが、接着層は必須の構成要件ではなく、省略可能である。研磨材が接着層を有さない場合は、研磨材の製造方法の接着層貼付工程は省略される。 In the above embodiment, the case where the abrasive has the adhesive layer has been described, but the adhesive layer is not an essential component and can be omitted. When the abrasive does not have an adhesive layer, the adhesive layer attaching step of the method for producing an abrasive is omitted.
あるいは、図4に示すように当該研磨材2は裏面側の接着層30を介して積層される支持体40及びその支持体40の裏面側に積層される第2接着層31を備えてもよい。当該研磨材2が支持体40を備えることにより、当該研磨材2の取扱いが容易となる。
Alternatively, as shown in FIG. 4, the abrasive 2 may include a
上記支持体40の主成分としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ塩化ビニル等の熱可塑性を有する樹脂やポリカーボネート、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート等のエンジニアリングプラスチックを挙げることができる。上記支持体40の主成分にこのような材質を用いることにより上記支持体40が可撓性を有し、当該研磨材2が被削体の表面形状に追従し、研磨面と被削体とが接触し易くなるため研磨レートがさらに向上する。
Examples of the main component of the
上記支持体40の平均厚さとしては、例えば0.5mm以上3mm以下とすることができる。上記支持体40の平均厚さが上記下限未満であると、当該研磨材2の強度が不足するおそれがある。一方、上記支持体40の平均厚さが上記上限を超えると、上記支持体40を研磨装置に取り付け難くなるおそれや上記支持体40の可撓性が不足するおそれがある。
The average thickness of the
上記第2接着層31は、接着層30と同様の接着剤を用いることができる。また、第2接着層31は、接着層30と同様の平均厚さとできる。
The same adhesive as the
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、当該発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.
[実施例1]
ダイヤモンド砥粒(Sino Crystal Diamond社の「SCMD−C12−22」、平均粒子径16μm)、充填剤としてのアルミナ(Al2O3、太平洋ランダム株式会社の「LA4000」、平均粒子径4μm)、フュームドシリカ(アエロジル社の「aerosil200」)、及びバインダーとしてのエポキシ樹脂(三菱化学株式会社の「JER828」)を混合し、固形分中のダイヤモンド砥粒の含有量が3体積%、充填剤の含有量が71体積%、及びフュームドシリカの含有量が5体積%となるよう調整し、塗工液を得た。[Example 1]
Diamond abrasive grains (“SCMD-C12-22” from Sino Crystal Diamond, average particle diameter 16 μm), alumina as filler (Al 2 O 3 , “LA4000” from Taiheiyo Random Corporation, average particle diameter 4 μm), fume Dosilica (“Aerosil 200” from Aerosil) and epoxy resin (“JER828” from Mitsubishi Chemical Corporation) as a binder are mixed, the content of diamond abrasive grains in the solid content is 3% by volume, and the content of filler The amount was adjusted to 71% by volume and the content of fumed silica was 5% by volume to obtain a coating liquid.
基材として耐熱性樹脂であるポリカーボネートを主成分とする基材(平均厚さ300μm)を用意し、上記塗工液を用いてこの基材の表面に印刷により塗工した。印刷のパターンとして、平面視で直径6mmの円形状(平均面積28.27mm2)の開口部を面積占有率44%で有し、平均厚さが1000μmであるフッ素樹脂製のマスクを用いた。なお、上記開口部は、ブロックパターン状である。また、塗工量は、研磨部の平均厚さが1000μmとなるように調整した。塗工液は、オーブンで120℃、16時間の乾燥を行い硬化させた。A base material (average thickness: 300 μm) mainly composed of polycarbonate as a heat-resistant resin was prepared as a base material, and was coated on the surface of the base material by printing using the above-mentioned coating solution. As a printing pattern, a fluororesin mask having a circular opening having a diameter of 6 mm (average area 28.27 mm 2 ) in plan view at an area occupation ratio of 44% and an average thickness of 1000 μm was used. The opening has a block pattern. The coating amount was adjusted so that the average thickness of the polished portion was 1000 μm. The coating liquid was cured by drying at 120 ° C. for 16 hours in an oven.
また、基材を支持し研磨装置に固定する支持体として平均厚さ1mmの硬質塩化ビニル樹脂板を用い、上記基材の裏面と上記支持体の表面との間、及び上記支持体の裏面と後述する研磨機の定盤との間を、それぞれ平均厚さ130μmの粘着剤で貼り合わせた。上記粘着剤としては、両面テープ(積水化学株式会社の「#5605HGD」)を用いた。 Further, a rigid vinyl chloride resin plate having an average thickness of 1 mm is used as a support for supporting the base material and fixing to the polishing apparatus, and between the back surface of the base material and the front surface of the support, and the back surface of the support. An adhesive having an average thickness of 130 μm was attached to a polishing machine platen to be described later. As the pressure-sensitive adhesive, a double-sided tape (“# 5605HGD” manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) was used.
このようにして実施例1の研磨材を得た。 Thus, the abrasive of Example 1 was obtained.
[実施例2]
塗工量を研磨部の平均厚さが300μmとなるように調整した以外は実施例1と同様にして実施例2の研磨材を得た。[Example 2]
An abrasive of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the amount of coating was adjusted so that the average thickness of the polished portion was 300 μm.
[実施例3]
基材として、耐熱性樹脂である二軸延伸ポリエチレンテレフタレートを主成分とする基材(平均厚さ75μm)を用意した以外は、実施例1と同様にして実施例3の研磨材を得た。[Example 3]
A polishing material of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1, except that a base material (average thickness: 75 μm) containing biaxially oriented polyethylene terephthalate as a heat-resistant resin as a main component was prepared.
[比較例1]
実施例1の塗工液で、フュームドシリカを含まず、固形分中のダイヤモンド砥粒の含有量が3体積%及び充填剤の含有量が76体積%となるよう調整した以外は、実施例1と同様にして比較例1の研磨材を得た。[Comparative Example 1]
Except that the coating liquid of Example 1 did not contain fumed silica and was adjusted so that the content of diamond abrasive grains in the solid content was 3% by volume and the content of filler was 76% by volume. In the same manner as in Example 1, an abrasive of Comparative Example 1 was obtained.
[比較例2]
基材として、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートを主成分とする基材(平均厚さ300μm)を用意した以外は、比較例1と同様にして比較例2の研磨材を得た。[Comparative Example 2]
A polishing material of Comparative Example 2 was obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that a base material (average thickness: 300 μm) containing biaxially stretched polyethylene terephthalate as a main component was prepared.
[比較例3]
基材としてアルミニウム板(平均厚さ300μm)を用意した以外は、比較例1と同様にして比較例3の研磨材を得た。[Comparative Example 3]
An abrasive of Comparative Example 3 was obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that an aluminum plate (average thickness 300 μm) was prepared as a substrate.
[比較例4]
基材としてアルミニウム板(平均厚さ300μm)を用意した以外は、実施例1と同様にして比較例4の研磨材を得た。[Comparative Example 4]
An abrasive of Comparative Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that an aluminum plate (average thickness 300 μm) was prepared as a substrate.
[評価]
実施例1〜3及び比較例1〜4の研磨材について、研磨材の寿命、基材と研磨部との剥がれ及び印刷時の液だれについて、以下の判断基準で評価を行った。結果を表1に示す。[Evaluation]
With respect to the abrasives of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4, the following criteria were used to evaluate the life of the abrasive, the separation between the base material and the polished portion, and the dripping during printing. The results are shown in Table 1.
<研磨材の寿命>
研磨材の寿命は研磨部の平均厚さにより決まると考えられる。そこで、以下の判断基準とした。
A:研磨部の平均厚さが1000μmであり、高寿命である。
B:研磨部の平均厚さが300μmであり、寿命がやや短い。<Abrasive life>
It is considered that the life of the abrasive is determined by the average thickness of the polished portion. Therefore, the following criteria were used.
A: The average thickness of the polished part is 1000 μm, and the life is long.
B: The average thickness of the polished part is 300 μm, and the life is slightly short.
<基材と研磨部との剥がれ>
得られた研磨材を撓ませた後、目視により、基材と研磨部との剥がれが生じているか否かを判断した。
A:基材と研磨部との剥がれが認められる。
B:基材と研磨部との剥がれが認められない。<Peeling between base material and polishing part>
After bending the obtained abrasive, it was visually determined whether or not peeling between the substrate and the polished portion had occurred.
A: Peeling between the substrate and the polished part is observed.
B: Peeling between the substrate and the polished portion was not observed.
<印刷時の液だれ>
印刷時に液だれが生じると、乾燥硬化後に印刷パターンに対して変形が生じる。得られた研磨材の目視により、この変形が生じているか否かを判断した。
A:乾燥硬化後に印刷パターンの変形が認められない。
B:乾燥硬化後に印刷パターンの変形が認められる。<Drip when printing>
If dripping occurs during printing, the printed pattern will be deformed after drying and curing. It was determined whether or not this deformation had occurred by visual inspection of the obtained abrasive.
A: No deformation of the printed pattern is observed after drying and curing.
B: Deformation of the printed pattern is observed after drying and curing.
表1で、基材の「PC」はポリカーボネート、「PET」は二軸延伸ポリエチレンテレフタレート、「Al」はアルミニウム板を意味する。 In Table 1, "PC" of the substrate means polycarbonate, "PET" means biaxially stretched polyethylene terephthalate, and "Al" means an aluminum plate.
表1から、実施例1〜3の研磨材では、基材と研磨部との剥がれも、液だれによる乾燥硬化後の印刷パターンの変形も、研磨部の厚さに関わらず認められない。一方、比較例1〜3の研磨材では、液だれによる乾燥硬化後の印刷パターンの変形が認められ、比較例4の研磨材では、基材と研磨部との剥がれが認められる。 From Table 1, in the abrasives of Examples 1 to 3, peeling between the base material and the polished portion and deformation of the printed pattern after drying and curing due to dripping are not recognized regardless of the thickness of the polished portion. On the other hand, in the abrasives of Comparative Examples 1 to 3, deformation of the printed pattern after drying and curing due to dripping is observed, and in the abrasive of Comparative Example 4, peeling between the base material and the polished portion is observed.
比較例1〜3の研磨材では、フュームドシリカを含まないため、液だれが発生し乾燥硬化後の印刷パターンの変形が認められたと考えられる。比較例4の研磨材では、フュームドシリカを含むことで液だれによる乾燥硬化後の印刷パターンの変形は抑止できたものの、基材がアルミニウム板であるため基材と研磨部との剥がれが生じたと考えられる。 It is considered that since the abrasives of Comparative Examples 1 to 3 did not contain fumed silica, dripping occurred and deformation of the printed pattern after drying and curing was observed. In the abrasive of Comparative Example 4, although the deformation of the printed pattern after drying and curing due to dripping was suppressed by including fumed silica, peeling between the substrate and the polished portion occurred because the substrate was an aluminum plate. It is considered that
以上の結果から、研磨部にフュームドシリカを含有させ、基材の主成分を耐熱性樹脂とすることで、液だれを抑止し、柱状の厚い研磨部を形成することができるので、研磨レートの低下を抑止しつつ、高寿命化できることが分かる。 From the above results, by adding fumed silica to the polished portion and using a heat-resistant resin as the main component of the base material, dripping can be suppressed and a columnar thick polished portion can be formed. It can be understood that the life can be prolonged while suppressing the decrease in the temperature.
本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる。従って、本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、安定した研磨レートを発現させつつ、高寿命化できる。 The polishing material of the present invention and the polishing material manufactured by the method of manufacturing the polishing material of the present invention can increase the thickness of the polished portion while suppressing a decrease in the polishing rate. Therefore, the abrasive of the present invention and the abrasive manufactured by the method of manufacturing an abrasive of the present invention can have a long life while exhibiting a stable polishing rate.
1、2 研磨材
10 基材
20 研磨層
20a 研磨部
20b 溝
21 砥粒
22 バインダー
23 フュームドシリカ
30 接着層
31 第2接着層
40 支持体1, 2
Claims (5)
上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、
上記研磨部がフュームドシリカを含み、
上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする研磨材。A polishing material comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder,
The polishing layer has a plurality of columnar polishing portions,
The polishing section contains fumed silica,
An abrasive whose base material is mainly a heat-resistant resin.
研磨層用組成物の印刷により上記研磨層を形成する工程を備え、
上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、
上記研磨層用組成物がフュームドシリカを含み、
上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする研磨材の製造方法。A method for producing an abrasive, comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder,
Comprising a step of forming the polishing layer by printing a polishing layer composition,
The polishing layer has a plurality of columnar polishing portions,
The composition for the polishing layer contains fumed silica,
A method for producing an abrasive wherein the base material is mainly composed of a heat-resistant resin.
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