JPWO2019123922A1 - Abrasive and method for producing abrasive - Google Patents

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聡一郎 中根
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Abstract

本発明は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる研摩材及び研磨材の製造方法の提供を目的とする。本発明の研磨材は、基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材であって、上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、上記研磨部がフュームドシリカを含み、上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an abrasive and a method of manufacturing an abrasive capable of increasing the thickness of a polished portion while suppressing a decrease in a polishing rate. The abrasive of the present invention is an abrasive comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder, wherein the polishing layer has a plurality of columnar polishing parts. The polishing portion contains fumed silica, and the base material mainly contains a heat-resistant resin.

Description

本発明は、研磨材及び研磨材の製造方法に関する。   The present invention relates to an abrasive and a method for producing the abrasive.

例えばハードディスク等の電子機器に用いられるガラス基板の加工には一般に固定砥粒の研磨材が使用されている。このような研磨材として、基材の表面に砥粒及びバインダーを含む研磨層を積層して構成した研磨材が公知である。   For example, in the processing of a glass substrate used for an electronic device such as a hard disk, an abrasive of fixed abrasive is generally used. As such an abrasive, an abrasive formed by laminating a polishing layer containing abrasive grains and a binder on the surface of a base material is known.

固定砥粒の研磨材では、研磨層は複数の研磨部から構成される。このように研磨層を複数の研磨部で構成することで、被削体に接触する面積の占有率が下がり、研磨時の面圧が高まるため、高い研磨レートが発現できる。また、複数の研磨部間に形成される溝により研削屑を排除できるので、研磨材の目詰まりによる研磨レートの低下が抑止できる。   In the fixed abrasive, the polishing layer is composed of a plurality of polishing portions. By configuring the polishing layer with a plurality of polishing portions in this manner, the occupancy of the area in contact with the workpiece is reduced, and the surface pressure during polishing is increased, so that a high polishing rate can be achieved. Further, since grinding dust can be eliminated by the grooves formed between the plurality of polishing portions, a decrease in the polishing rate due to clogging of the polishing material can be suppressed.

このような研磨材では、ガラス基板の加工に伴い研磨層が徐々に磨耗するため、研磨材の高寿命化のためには、研磨部を厚くすることが求められる。研磨層は、一般に印刷法を用いて形成される。印刷法を用いる場合、研磨部を厚くするとアスペクト比が上昇するため、印刷時に液だれが生じ易く、個々の研磨部を柱状に形成することが難しくなる。このため、従来の研磨部の厚い研磨材では、錐体状の研磨部や、頂面の面積の大きい研磨部が用いられている(例えば特開2014−18893号公報参照)。   With such an abrasive, the polishing layer gradually wears with the processing of the glass substrate. Therefore, in order to extend the life of the abrasive, it is necessary to increase the thickness of the polishing portion. The polishing layer is generally formed using a printing method. In the case of using the printing method, when the polished portion is thickened, the aspect ratio is increased, so that dripping is likely to occur during printing, and it is difficult to form each polished portion in a columnar shape. For this reason, in a conventional polishing material having a thick polishing portion, a cone-shaped polishing portion or a polishing portion having a large top surface area is used (see, for example, JP-A-2014-18893).

しかしながら、研磨部を錐体状とする場合、研磨層が磨耗するにつれ研磨部の頂面の面積が大きくなるため、研磨時の面圧が下がり、研磨レートが低下するおそれがある。また、研磨部の面積を大きくする場合、面積占有率を下げるためには研磨部間の溝の幅を広くする必要が生じる。溝の幅を広げると、被削体が溝に落ち込み易くなるため、被削体に疵付きが発生するおそれがある。このため、研磨部の面積を大きくする場合、面積占有率を下げ難くなるので、研磨時の面圧が下がり、研磨レートが低下するおそれがある。   However, when the polishing portion is formed in a conical shape, the area of the top surface of the polishing portion increases as the polishing layer wears, so that the surface pressure during polishing decreases and the polishing rate may decrease. When the area of the polishing section is increased, it is necessary to increase the width of the groove between the polishing sections in order to reduce the area occupancy. When the width of the groove is widened, the workpiece easily falls into the groove, and thus the workpiece may be flawed. For this reason, when increasing the area of the polishing portion, it is difficult to reduce the area occupancy, so that the surface pressure during polishing decreases, and the polishing rate may decrease.

特開2014−18893号公報JP 2014-18893 A

本発明はこのような不都合に鑑みてなされたものであり、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる研摩材及び研磨材の製造方法の提供を目的とする。   The present invention has been made in view of such inconvenience, and an object of the present invention is to provide an abrasive and a method for manufacturing an abrasive capable of increasing the thickness of a polished portion while suppressing a decrease in a polishing rate.

本発明者らが、研磨部を厚くしても個々の研磨部を柱状に形成できる研磨材の製造方法について鋭意検討した結果、研磨部にフュームドシリカを含ませることで、研磨層を印刷により形成する際の液だれが抑止され、個々の研磨部を柱状に形成し易くなることに着目した。研磨部がフュームドシリカを含む場合、基材と研磨部との密着性が低下し、剥がれ易くなる場合がある。本発明者らは、この基材と研磨部との剥がれ易さは、基材として、耐熱性樹脂を主成分とする基材を用いることで解決できることを見出し、本発明を完成させた。   The present inventors have conducted intensive studies on a method of manufacturing an abrasive material capable of forming individual polished portions in a columnar shape even when the polished portions are thick, and by including fumed silica in the polished portions, the polishing layer is printed by Attention was paid to the fact that dripping during formation is suppressed, and individual polished portions are easily formed in a columnar shape. When the polished portion contains fumed silica, the adhesion between the substrate and the polished portion may be reduced, and the polished portion may be easily peeled off. The present inventors have found that the easiness of peeling between the base material and the polished portion can be solved by using a base material mainly composed of a heat-resistant resin as the base material, and completed the present invention.

すなわち、上記課題を解決するためになされた発明は、基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材であって、上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、上記研磨部がフュームドシリカを含み、上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする。   That is, the invention made to solve the above-mentioned problem is an abrasive material comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder, wherein the polishing layer has a plurality of polishing layers. The above-mentioned polishing part contains fumed silica, and the above-mentioned base material has a heat resistant resin as a main component.

当該研磨材は、研磨部がフュームドシリカを含むので、厚い研磨部であっても研磨部を柱状に形成することができる。このため、当該研磨材は、研磨部を錐体状としたり、研磨部の頂面の面積を大きくしたりする必要がないので、研磨層が磨耗しても研磨レートが低下し難い。また、当該研磨材は、基材が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨部がフュームドシリカを含むことによる基材と研磨部との密着性の低下を抑止できる。このため、当該研磨材は、基材と研磨部とが剥がれ難い。従って、当該研磨材は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる。   Since the polishing portion of the abrasive contains fumed silica, the polishing portion can be formed in a columnar shape even if the polishing portion is thick. For this reason, the polishing material does not need to have a polished portion in the shape of a cone or to increase the area of the top surface of the polished portion. Therefore, even if the polishing layer is worn, the polishing rate does not easily decrease. In addition, since the base material of the abrasive is a heat-resistant resin as a main component, it is possible to suppress a decrease in adhesion between the base material and the polishing part due to the polishing part containing fumed silica. For this reason, in the abrasive material, the base material and the polished portion are not easily separated. Therefore, the polishing material can make the polishing portion thicker while suppressing a reduction in the polishing rate.

上記研磨部における上記フュームドシリカの含有量としては、0.1体積%以上20体積%以下が好ましい。上記研磨部における上記フュームドシリカの含有量を上記範囲内とすることで、研磨材の製造時にフュームドシリカの含有による密着性の低下を抑止しつつ、安定して柱状の研磨部を形成できるので、さらに安定した研磨レートを発現させることができる。   The content of the fumed silica in the polishing section is preferably from 0.1% by volume to 20% by volume. By setting the content of the fumed silica in the polishing portion within the above range, it is possible to stably form the columnar polishing portion while suppressing a decrease in adhesion due to the inclusion of the fumed silica during the production of the abrasive. Therefore, a more stable polishing rate can be developed.

上記研磨部の平均厚さとしては、300μm以上5000μm以下が好ましい。上記研磨部の平均厚さを上記範囲内とすることで、研磨部のフュームドシリカの含有による安定した研磨レートの発現効果が発揮され易い。   The average thickness of the polishing portion is preferably 300 μm or more and 5000 μm or less. By setting the average thickness of the polishing portion within the above range, the effect of exhibiting a stable polishing rate due to the inclusion of fumed silica in the polishing portion is easily exerted.

上記基材がポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートであるとよい。上記基材をポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートとすることで、基材と研磨部との密着性が高まり、基材と研磨部とをさらに剥がれ難くすることができる。   The base material is preferably polycarbonate or biaxially stretched polyethylene terephthalate. When the base material is made of polycarbonate or biaxially stretched polyethylene terephthalate, the adhesion between the base material and the polished portion is enhanced, and the base material and the polished portion can be made harder to peel off.

上記課題を解決するためになされた別の発明は、基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材の製造方法であって、研磨層用組成物の印刷により上記研磨層を形成する工程を備え、上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、上記研磨層用組成物がフュームドシリカを含み、上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする。   Another invention made in order to solve the above-mentioned problem is a method for producing an abrasive material comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder, wherein the polishing layer Forming the polishing layer by printing a composition for polishing, the polishing layer has a plurality of columnar polishing portions, the composition for polishing layer contains fumed silica, the base material is a heat-resistant resin As a main component.

当該研磨材の製造方法では、研磨層用組成物がフュームドシリカを含むので、印刷により研磨層を形成する際にこのフュームドシリカが研磨層用組成物にチキソトロピー性を与え、液だれを抑止できる。このため、当該研磨材の製造方法を用いることで、厚い研磨部であっても柱状の研磨部を形成できる。また、当該研磨材の製造方法では、基材が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨層用組成物がフュームドシリカを含む場合であっても基材と研磨部とが剥がれ難い。従って、当該研磨材の製造方法を用いることで、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部が厚い研磨材を製造することができる。   In the method for producing an abrasive, since the composition for the polishing layer contains fumed silica, the fumed silica imparts thixotropy to the composition for the polishing layer when forming the polishing layer by printing, and prevents dripping. it can. For this reason, by using the method for manufacturing an abrasive, a columnar polishing portion can be formed even in a thick polishing portion. In addition, in the method for producing an abrasive, since the base material contains a heat-resistant resin as a main component, even when the polishing layer composition contains fumed silica, the base material and the polished portion are not easily separated. Therefore, by using the method for manufacturing an abrasive, it is possible to manufacture an abrasive having a thick polished portion while suppressing a decrease in the polishing rate.

ここで、「主成分」とは、最も含有量の多い成分を意味し、好ましくは含有量が50質量%以上、より好ましくは90質量%以上の成分をいう。   Here, the "main component" means a component having the largest content, preferably a component having a content of 50% by mass or more, more preferably 90% by mass or more.

以上説明したように、本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる。従って、本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、安定した研磨レートを発現させつつ、高寿命化できる。   As described above, the polishing material of the present invention and the polishing material manufactured by the method of manufacturing the polishing material of the present invention can make the polishing portion thicker while suppressing a decrease in the polishing rate. Therefore, the abrasive of the present invention and the abrasive manufactured by the method of manufacturing an abrasive of the present invention can have a long life while exhibiting a stable polishing rate.

本発明の一実施形態に係る研磨材を示す模式的部分平面図である。FIG. 1 is a schematic partial plan view showing an abrasive according to an embodiment of the present invention. 図1のA−A線での模式的部分断面図である。FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1. 本発明の一実施形態に係る研磨材の製造方法を示すフロー図である。It is a flow figure showing a manufacturing method of an abrasive concerning one embodiment of the present invention. 図2とは異なる実施形態に係る研磨材を示す模式的部分断面図である。FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view illustrating an abrasive according to an embodiment different from FIG. 2.

以下、本発明の一実施形態について適宜図面を参照しつつ詳説する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

[研磨材]
図1及び図2に示す研磨材1は、基材10と、この基材10の表面側に積層される研磨層20と、基材10の裏面側に積層される接着層30とを備える。また、研磨層20は、複数の研磨部20aと、この研磨部20a間に配設される溝20bとを有する。
[Abrasive]
The abrasive 1 shown in FIGS. 1 and 2 includes a substrate 10, a polishing layer 20 laminated on the front side of the substrate 10, and an adhesive layer 30 laminated on the back side of the substrate 10. The polishing layer 20 has a plurality of polishing portions 20a and grooves 20b provided between the polishing portions 20a.

当該研磨材1は、例えばガラス材料の表面研磨、とりわけカバーガラスやハードディスク等に用いられるアルミノシリケートガラス基板の表面研磨のための固定砥粒研磨材として好適に用いられる。   The polishing material 1 is suitably used as a fixed abrasive polishing material for polishing the surface of a glass material, particularly for polishing the surface of an aluminosilicate glass substrate used for a cover glass, a hard disk or the like.

<基材>
基材10は、研磨層20を支持するための板状又はシート状の部材である。
<Substrate>
The base material 10 is a plate-shaped or sheet-shaped member for supporting the polishing layer 20.

基材10は、耐熱性樹脂を主成分とする。このような耐熱性樹脂としては、ポリカーボネート、二軸延伸ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド等を挙げることができる。中でも、ポリカーボネート及び二軸延伸ポリエチレンテレフタレートが好ましく、ポリカーボネートがより好ましい。基材10をポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートとすることで、基材10と研磨部20aとの密着性が高まり、基材10と研磨部20aとを剥がれ難くすることができる。   The base material 10 contains a heat-resistant resin as a main component. Examples of such a heat-resistant resin include polycarbonate, biaxially stretched polyethylene terephthalate, polyimide, and polyamide. Among them, polycarbonate and biaxially stretched polyethylene terephthalate are preferred, and polycarbonate is more preferred. When the base material 10 is made of polycarbonate or biaxially stretched polyethylene terephthalate, the adhesion between the base material 10 and the polishing part 20a is increased, and the base material 10 and the polishing part 20a can be hardly peeled off.

基材10のガラス転移温度の下限としては、60℃が好ましく、80℃がより好ましく、100℃がさらに好ましい。基材10のガラス転移温度が上記下限未満であると、耐熱性が不足し、研磨部20aを形成する際の熱で基材10が変形し易くなる。このため、基材10と研磨部20aとの密着性が低下するおそれがある。一方、基材10のガラス転移温度の上限としては、特に限定されないが、例えば基材10のガラス転移温度は、500℃以下とされる。   As a minimum of glass transition temperature of substrate 10, 60 ° C is preferred, 80 ° C is more preferred, and 100 ° C is still more preferred. When the glass transition temperature of the base material 10 is lower than the lower limit, heat resistance is insufficient, and the base material 10 is easily deformed by heat when forming the polishing part 20a. For this reason, there is a possibility that the adhesion between the base material 10 and the polishing portion 20a may be reduced. On the other hand, the upper limit of the glass transition temperature of the substrate 10 is not particularly limited. For example, the glass transition temperature of the substrate 10 is set to 500 ° C. or less.

また、基材10は可撓性を有するとよい。このように基材10が可撓性を有することで、当該研磨材1が被削体の表面形状に追従し、研磨面と被削体との接触面積が大きくなるため、研磨レートを高められる。   Further, the base material 10 preferably has flexibility. Since the base material 10 has flexibility as described above, the abrasive 1 follows the surface shape of the work, and the contact area between the polished surface and the work is increased, so that the polishing rate can be increased. .

なお、基材10の表面に化学処理、コロナ処理、プライマー処理等の接着性を高める処理が行われてもよい。   In addition, the surface of the base material 10 may be subjected to a treatment for enhancing adhesiveness such as a chemical treatment, a corona treatment, and a primer treatment.

基材10の形状及び大きさとしては、特に限定されないが、例えば一辺が140mm以上160mm以下の正方形状、直径200mm以上2022mm以下の円盤状、外径200mm以上2022mm以下及び内径100mm以上658mm以下の円環状等とすることができる。また、平面上に並置した複数の基材10が単一の支持体により支持される構成であってもよい。   The shape and size of the base material 10 are not particularly limited, but are, for example, a square shape having a side of 140 mm or more and 160 mm or less, a disc shape having a diameter of 200 mm or more and 2022 mm or less, a circle having an outer diameter of 200 mm or more and 2022 mm or less and an inner diameter of 100 mm or more and 658 mm or less. It can be annular or the like. Further, a configuration in which a plurality of base materials 10 juxtaposed on a plane are supported by a single support may be employed.

基材10の平均厚さの下限としては、70μmが好ましく、300μmがより好ましく、500μmがさらに好ましい。一方、基材10の平均厚さの上限としては、3000μmが好ましく、2000μmがより好ましい。基材10の平均厚さが上記下限未満であると、研磨部20aが厚い場合、基材10の反りが発生し易くなるおそれがある。逆に、基材10の平均厚さが上記上限を超えると、基材10が被削体の表面形状に追従し難くなり、研磨レートが低下するおそれがある。   As a minimum of average thickness of substrate 10, 70 micrometers is preferred, 300 micrometers is more preferred, and 500 micrometers is still more preferred. On the other hand, as a maximum of average thickness of substrate 10, 3000 micrometers is preferred and 2000 micrometers is more preferred. If the average thickness of the base material 10 is less than the above lower limit, the warp of the base material 10 may easily occur when the polishing portion 20a is thick. Conversely, when the average thickness of the base material 10 exceeds the above upper limit, the base material 10 becomes difficult to follow the surface shape of the workpiece, and the polishing rate may be reduced.

<研磨層>
研磨層20は、研磨部20aに砥粒21、バインダー22及びフュームドシリカ23を含む。また、研磨部20aは充填剤(不図示)を含む。
<Polishing layer>
The polishing layer 20 includes abrasive grains 21, a binder 22, and a fumed silica 23 in a polishing section 20a. The polishing section 20a includes a filler (not shown).

(砥粒)
砥粒21としては、ダイヤモンド砥粒、アルミナ砥粒、シリカ砥粒、セリア砥粒、炭化ケイ素砥粒等が挙げられる。中でも他の砥粒より硬質であるダイヤモンド砥粒が好ましい。上記砥粒21をダイヤモンド砥粒とすることで、研磨力が向上し、研磨レートをさらに向上できる。
(Abrasive grains)
Examples of the abrasive grains 21 include diamond abrasive grains, alumina abrasive grains, silica abrasive grains, ceria abrasive grains, and silicon carbide abrasive grains. Among them, diamond abrasive grains which are harder than other abrasive grains are preferable. By using the diamond grains as the abrasive grains 21, the polishing power is improved, and the polishing rate can be further improved.

なお、ダイヤモンド砥粒のダイヤモンドとしては、単結晶でも多結晶でもよく、またNiコーティング等の処理がされたダイヤモンドであってもよい。中でも単結晶ダイヤモンド及び多結晶ダイヤモンドが好ましい。単結晶ダイヤモンドは、他のダイヤモンドより硬質であり研削力が高い。また、多結晶ダイヤモンドは多結晶を構成する微結晶単位で劈開し易く目つぶれが進行し難いので、長期間研磨を行っても研磨レートの低下が小さい。   The diamond of the diamond abrasive grains may be a single crystal or polycrystal, or may be a diamond that has been subjected to a treatment such as Ni coating. Among them, single crystal diamond and polycrystalline diamond are preferred. Single crystal diamond is harder than other diamonds and has higher grinding power. In addition, polycrystalline diamond is easily cleaved in units of microcrystals constituting the polycrystal and is less likely to be blinded. Therefore, even if polishing is performed for a long period of time, a reduction in polishing rate is small.

砥粒21の平均粒子径は、研磨レートと研磨後の被削体の表面粗さとの観点から適宜選択される。砥粒21の平均粒子径の下限としては、2μmが好ましく、10μmがより好ましく、15μmがさらに好ましい。一方、砥粒21の平均粒子径の上限としては、150μmが好ましく、125μmがより好ましく、100μmがさらに好ましい。砥粒21の平均粒子径が上記下限未満であると、当該研磨材1の研磨力が不足し、研磨レートが低下するおそれがある。逆に、砥粒21の平均粒子径が上記上限を超えると、研磨精度が低下するおそれがある。ここで、「平均粒子径」とは、レーザー回折法等により測定された体積基準の累積粒度分布曲線の50%値(50%粒子径、D50)をいう。   The average particle diameter of the abrasive grains 21 is appropriately selected from the viewpoint of the polishing rate and the surface roughness of the workpiece after polishing. As a minimum of average particle diameter of abrasive grain 21, 2 micrometers is preferred, 10 micrometers is more preferred, and 15 micrometers is still more preferred. On the other hand, the upper limit of the average particle diameter of the abrasive grains 21 is preferably 150 μm, more preferably 125 μm, and still more preferably 100 μm. If the average particle size of the abrasive grains 21 is less than the above lower limit, the polishing power of the abrasive 1 may be insufficient, and the polishing rate may be reduced. Conversely, if the average particle diameter of the abrasive grains 21 exceeds the above upper limit, polishing accuracy may be reduced. Here, the “average particle diameter” refers to a 50% value (50% particle diameter, D50) of a volume-based cumulative particle size distribution curve measured by a laser diffraction method or the like.

研磨部20aにおける砥粒21の含有量の下限としては、0.5体積%が好ましく、2体積%がより好ましく、4体積%がさらに好ましい。一方、上記砥粒21の含有量の上限としては、55体積%が好ましく、45体積%がより好ましく、35体積%がさらに好ましい。上記砥粒21の含有量が上記下限未満であると、研磨層20の研磨力が不足するおそれがある。逆に、上記砥粒21の含有量が上記上限を超えると、研磨層20が砥粒21を保持できないおそれがある。   The lower limit of the content of the abrasive grains 21 in the polishing section 20a is preferably 0.5% by volume, more preferably 2% by volume, and still more preferably 4% by volume. On the other hand, the upper limit of the content of the abrasive grains 21 is preferably 55% by volume, more preferably 45% by volume, and still more preferably 35% by volume. When the content of the abrasive grains 21 is less than the lower limit, the polishing force of the polishing layer 20 may be insufficient. Conversely, if the content of the abrasive grains 21 exceeds the upper limit, the polishing layer 20 may not be able to hold the abrasive grains 21.

(バインダー)
バインダー22の主成分としては、特に限定されないが、樹脂又は無機物が挙げられる。中でも基材10との密着性の観点から樹脂が好ましい。
(binder)
The main component of the binder 22 is not particularly limited, but includes a resin or an inorganic substance. Above all, a resin is preferred from the viewpoint of adhesion to the substrate 10.

上記樹脂としては、ポリウレタン、ポリフェノール、エポキシ、ポリエステル、セルロース、エチレン共重合体、ポリビニルアセタール、ポリアクリル酸及びその塩、ポリアクリル酸エステル、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド等の樹脂を挙げることができる。中でも基材への良好な密着性が確保し易いポリアクリル酸エステル、エポキシ、ポリエステル及びポリウレタンが好ましい。なお、上記樹脂は、少なくとも一部が架橋していてもよい。   Examples of the resin include resins such as polyurethane, polyphenol, epoxy, polyester, cellulose, ethylene copolymer, polyvinyl acetal, polyacrylic acid and salts thereof, polyacrylate, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, and polyamide. Can be mentioned. Among them, preferred are polyacrylates, epoxies, polyesters, and polyurethanes, which easily ensure good adhesion to a substrate. The resin may be at least partially crosslinked.

また、上記無機物としては、ケイ酸塩、リン酸塩、多価金属アルコキシド等を挙げることができる。中でも砥粒保持力が高いケイ酸塩が好ましい。このようなケイ酸塩としてはケイ酸ナトリウムやケイ酸カリウム等を挙げることができる。   Examples of the inorganic substance include silicates, phosphates, and polyvalent metal alkoxides. Among them, a silicate having a high abrasive grain holding power is preferable. Examples of such silicates include sodium silicate and potassium silicate.

なお、バインダー22には、分散剤、カップリング剤、界面活性剤、潤滑剤、消泡剤、着色剤等の各種助剤及び添加剤などを目的に応じて適宜含有させてもよい。   The binder 22 may appropriately contain various assistants and additives such as a dispersant, a coupling agent, a surfactant, a lubricant, an antifoaming agent, and a coloring agent according to the purpose.

(フュームドシリカ)
フュームドシリカ23は、乾式シリカの一種で微粒子(粉体)である。その組成は、アモルファスシリカ又は高純度ガラスである。
(Fumed silica)
The fumed silica 23 is a kind of dry silica and is a fine particle (powder). Its composition is amorphous silica or high purity glass.

フュームドシリカ23の平均一次粒子径の下限としては、5nmが好ましく、7nmがより好ましい。一方、フュームドシリカ23の平均一次粒子径の上限としては、100nmが好ましく、60nmがより好ましく、40nmがさらに好ましい。フュームドシリカ23の平均一次粒子径が上記下限未満であると、舞い易くなり、当該研磨材1の製造時の取扱いが困難となるおそれがある。逆に、フュームドシリカ23の平均一次粒子径が上記上限を超えると、当該研磨材1の製造時のフュームドシリカ23によるチキソトロピー性が不足し、研磨部20aを柱状とできないおそれがある。   The lower limit of the average primary particle diameter of the fumed silica 23 is preferably 5 nm, more preferably 7 nm. On the other hand, the upper limit of the average primary particle diameter of the fumed silica 23 is preferably 100 nm, more preferably 60 nm, and still more preferably 40 nm. If the average primary particle diameter of the fumed silica 23 is less than the above lower limit, the fumed silica 23 tends to flutter, and handling of the abrasive 1 during manufacture may be difficult. Conversely, if the average primary particle size of the fumed silica 23 exceeds the upper limit, the thixotropy of the fumed silica 23 at the time of manufacturing the abrasive 1 may be insufficient, and the polishing portion 20a may not be columnar.

研磨部20aにおけるフュームドシリカ23の含有量の下限としては、0.1体積%が好ましく、1体積%がより好ましい。一方、フュームドシリカ23の含有量の上限としては、20体積%が好ましく、10体積%がより好ましく、8体積%がさらに好ましい。フュームドシリカ23の含有量が上記下限未満であると、当該研磨材1の製造時のフュームドシリカ23によるチキソトロピー性が不足し、研磨部20aを柱状とできないおそれがある。逆に、フュームドシリカ23の含有量が上記上限を超えると、研磨部20aの摩耗が進み易くなり当該研磨材1の寿命が低下するおそれや、基材10と研磨部20aとの密着性が低下するおそれがある。   The lower limit of the content of the fumed silica 23 in the polishing section 20a is preferably 0.1% by volume, more preferably 1% by volume. On the other hand, the upper limit of the content of the fumed silica 23 is preferably 20% by volume, more preferably 10% by volume, and still more preferably 8% by volume. If the content of the fumed silica 23 is less than the above lower limit, the thixotropy of the fumed silica 23 during the production of the abrasive 1 may be insufficient, and the polishing portion 20a may not be columnar. Conversely, when the content of the fumed silica 23 exceeds the above upper limit, abrasion of the polishing portion 20a is likely to proceed, and the life of the abrasive 1 may be reduced, or the adhesion between the base material 10 and the polishing portion 20a may be reduced. It may decrease.

(充填剤)
充填剤としては、例えばアルミナ、シリカ、酸化セリウム、酸化マグネシウム、ジルコニア、酸化チタン等の酸化物及びシリカ−アルミナ、シリカ−ジルコニア、シリカ−マグネシア等の複合酸化物を挙げることができる。これらは単独で又は必要に応じて2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でも高い研磨力が得られるアルミナが好ましい。
(filler)
Examples of the filler include oxides such as alumina, silica, cerium oxide, magnesium oxide, zirconia, and titanium oxide, and composite oxides such as silica-alumina, silica-zirconia, and silica-magnesia. These may be used alone or in combination of two or more as necessary. Among them, alumina capable of obtaining high polishing power is preferable.

上記充填剤の平均粒子径は砥粒21の平均粒子径にも依存するが、上記充填剤の平均粒子径の下限としては、0.01μmが好ましく、2μmがより好ましい。一方、上記充填剤の平均粒子径の上限としては、40μmが好ましく、20μmがより好ましく、15μmがさらに好ましい。上記充填剤の平均粒子径が上記下限未満であると、上記充填剤によるバインダー22の弾性率向上効果の不足により、研磨レートが低下するおそれがある。一方、上記充填剤の平均粒子径が上記上限を超えると、充填剤が砥粒21の研磨力を阻害するおそれがある。   Although the average particle size of the filler also depends on the average particle size of the abrasive grains 21, the lower limit of the average particle size of the filler is preferably 0.01 μm, more preferably 2 μm. On the other hand, the upper limit of the average particle diameter of the filler is preferably 40 μm, more preferably 20 μm, and still more preferably 15 μm. If the average particle size of the filler is less than the lower limit, the polishing rate may be reduced due to the insufficient effect of the filler on improving the elastic modulus of the binder 22. On the other hand, when the average particle diameter of the filler exceeds the upper limit, the filler may hinder the polishing power of the abrasive grains 21.

また、上記充填剤の平均粒子径は砥粒21の平均粒子径よりも小さいとよい。砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比の下限としては、0.01が好ましく、0.05がより好ましく、0.1がさらに好ましい。一方、砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比の上限としては、0.8が好ましく、0.6がより好ましい。砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比が上記下限未満であると、上記充填剤によるバインダー22の弾性率向上効果の不足により、研磨レートが低下するおそれがある。逆に、砥粒21の平均粒子径に対する上記充填剤の平均粒子径の比が上記上限を超えると、充填剤が砥粒21の研磨力を阻害するおそれがある。   The average particle diameter of the filler is preferably smaller than the average particle diameter of the abrasive grains 21. The lower limit of the ratio of the average particle diameter of the filler to the average particle diameter of the abrasive grains 21 is preferably 0.01, more preferably 0.05, and still more preferably 0.1. On the other hand, the upper limit of the ratio of the average particle diameter of the filler to the average particle diameter of the abrasive grains 21 is preferably 0.8, and more preferably 0.6. If the ratio of the average particle diameter of the filler to the average particle diameter of the abrasive grains 21 is less than the lower limit, the polishing rate may decrease due to the insufficient effect of the filler to improve the elastic modulus of the binder 22. Conversely, if the ratio of the average particle size of the filler to the average particle size of the abrasive grains 21 exceeds the upper limit, the filler may hinder the polishing power of the abrasive grains 21.

上記充填剤の研磨部20aに対する含有量は、砥粒21の含有量にも依存するが、上記充填剤の研磨部20aに対する含有量の下限としては、15体積%が好ましく、30体積%がより好ましい。一方、上記充填剤の含有量の上限としては、75体積%が好ましく、72体積%がより好ましい。上記充填剤の含有量が上記下限未満であると、上記充填剤によるバインダー22の弾性率向上効果の不足により、研磨レートが低下するおそれがある。逆に、上記充填剤の含有量が上記上限を超えると、充填剤が砥粒21の研磨力を阻害するおそれがある。   Although the content of the filler in the polishing portion 20a depends on the content of the abrasive grains 21, the lower limit of the content of the filler in the polishing portion 20a is preferably 15% by volume, and more preferably 30% by volume. preferable. On the other hand, the upper limit of the content of the filler is preferably 75% by volume, and more preferably 72% by volume. If the content of the filler is less than the lower limit, the polishing rate may be reduced due to the lack of the effect of the filler on improving the elastic modulus of the binder 22. Conversely, when the content of the filler exceeds the upper limit, the filler may hinder the polishing power of the abrasive grains 21.

(研磨部)
研磨部20aは柱状である。つまり、研磨部20aの底面の面積は、研磨部20aの頂面の面積の0.9倍以上1.5倍以下、好ましくは0.93倍以上1.2倍以下、より好ましくは0.95倍以上1.05倍以下である。
(Polishing unit)
The polishing part 20a is columnar. That is, the area of the bottom surface of the polishing portion 20a is 0.9 times or more and 1.5 times or less, preferably 0.93 times or more and 1.2 times or less, more preferably 0.95 times or more of the area of the top surface of the polishing portion 20a. It is not less than twice and not more than 1.05 times.

複数の研磨部20aは、同一形状で規則的に配列されたブロックパターン状である。研磨部20aの頂面の形状としては、特に限定されないが、図1のような正方形状とできる他、円形状や多角形状等とすることができる。   The plurality of polishing units 20a are in the form of a block pattern regularly arranged in the same shape. The shape of the top surface of the polishing portion 20a is not particularly limited, but may be a square shape as shown in FIG. 1, a circular shape, a polygonal shape, or the like.

研磨部20aの頂面の平均面積の下限としては、1mmが好ましく、2mmがより好ましい。一方、研磨部20aの頂面の平均面積の上限としては、150mmが好ましく、130mmがより好ましい。研磨部20aの頂面の平均面積が上記下限未満であると、研磨部20aが基材10から剥離するおそれがある。逆に、研磨部20aの頂面の平均面積が上記上限を超えると、研磨時に研磨層20の被削体への接触面積が大きくなるため、摩擦抵抗により研磨レートが低下するおそれがある。The lower limit of the average area of the top surface of the polishing unit 20a, preferably 1 mm 2, 2 mm 2 is more preferable. In contrast, the upper limit of the average area of the top surface of the polishing unit 20a, preferably 150 mm 2, 130 mm 2 and more preferably. If the average area of the top surface of the polishing section 20a is less than the above lower limit, the polishing section 20a may peel off from the base material 10. Conversely, if the average area of the top surface of the polishing portion 20a exceeds the above upper limit, the contact area of the polishing layer 20 with the workpiece during polishing increases, and the polishing rate may decrease due to frictional resistance.

複数の研磨部20aの研磨層20全体に対する面積占有率の下限としては、5%が好ましく、10%がより好ましい。一方、上記研磨部20aの面積占有率の上限としては、60%が好ましく、55%がより好ましい。上記研磨部20aの面積占有率が上記下限未満であると、研磨時に加える圧力が狭い研磨部20aに集中し過ぎるため、研磨部20aが基材10から剥離するおそれがある。逆に、上記研磨部20aの面積占有率が上記上限を超えると、研磨時に研磨層20の被削体への接触面積が大きくなるため、摩擦抵抗により研磨レートが低下するおそれがある。なお、「研磨層全体の面積」は、研磨層の溝の面積も含む概念である。   The lower limit of the area occupation ratio of the plurality of polishing portions 20a to the entire polishing layer 20 is preferably 5%, more preferably 10%. On the other hand, the upper limit of the area occupancy of the polishing section 20a is preferably 60%, and more preferably 55%. If the area occupancy of the polishing section 20a is less than the lower limit, the pressure applied during polishing is too concentrated on the narrow polishing section 20a, and the polishing section 20a may be separated from the base material 10. Conversely, if the area occupancy of the polishing section 20a exceeds the upper limit, the polishing layer 20 has a large contact area with the workpiece during polishing, and the polishing rate may decrease due to frictional resistance. The “area of the entire polishing layer” is a concept including the area of the groove of the polishing layer.

研磨部20aの平均厚さの下限としては、300μmが好ましく、500μmがより好ましい。一方、研磨部20aの平均厚さの上限としては、5000μmが好ましく、3000μmがより好ましい。研磨部20aの平均厚さが上記下限未満であると、寿命が不足するおそれや、研磨部20aのフュームドシリカ23の含有による製造時の研磨部20aの形状安定化効果が十分に発現しないおそれがある。逆に、研磨部20aの平均厚さが上記上限を超えると、研磨部20aを柱状とできないおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the polishing section 20a is preferably 300 μm, more preferably 500 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the polishing portion 20a is preferably 5000 μm, and more preferably 3000 μm. When the average thickness of the polished portion 20a is less than the lower limit, the life may be insufficient, or the shape stabilizing effect of the polished portion 20a at the time of manufacturing due to the inclusion of the fumed silica 23 in the polished portion 20a may not be sufficiently exhibited. There is. Conversely, if the average thickness of the polishing portion 20a exceeds the above upper limit, the polishing portion 20a may not be columnar.

(溝)
溝20bの底面は、基材10の表面で構成されている。
(groove)
The bottom surface of the groove 20b is constituted by the surface of the base material 10.

溝20bの平均幅は、研磨部20aの頂面の面積や面積占有率により決定されるが、溝20bの平均幅の下限としては、0.3mmが好ましく、0.5mmがより好ましい。一方、溝20bの平均幅の上限としては、10mmが好ましく、8mmがより好ましい。溝20bの平均幅が上記下限未満であると、研磨により発生する研磨粉が溝20bに詰まるおそれがある。逆に、溝20bの平均幅が上記上限を超えると、研磨時に被削体が溝20bに落ち込み易くなるため、被削体に傷が生じるおそれがある。   The average width of the groove 20b is determined by the area of the top surface and the area occupancy of the polishing portion 20a, and the lower limit of the average width of the groove 20b is preferably 0.3 mm, more preferably 0.5 mm. On the other hand, the upper limit of the average width of the groove 20b is preferably 10 mm, more preferably 8 mm. If the average width of the groove 20b is less than the above lower limit, polishing powder generated by polishing may clog the groove 20b. Conversely, if the average width of the groove 20b exceeds the above upper limit, the workpiece tends to fall into the groove 20b during polishing, so that the workpiece may be damaged.

<接着層>
接着層30は、当該研磨材1を支持し研磨装置に装着するための支持体に当該研磨材1を固定する層である。
<Adhesive layer>
The adhesive layer 30 is a layer that fixes the abrasive 1 to a support for supporting the abrasive 1 and mounting the abrasive 1 in a polishing apparatus.

この接着層30に用いられる接着剤としては、特に限定されないが、例えば反応型接着剤、瞬間接着剤、ホットメルト接着剤、貼り替え可能な接着剤である粘着剤等を挙げることができる。   The adhesive used for the adhesive layer 30 is not particularly limited, and examples thereof include a reactive adhesive, an instant adhesive, a hot melt adhesive, and a pressure-sensitive adhesive that is a replaceable adhesive.

この接着層30に用いられる接着剤としては、粘着剤が好ましい。接着層30に用いられる接着剤として粘着剤を用いることで、支持体から当該研磨材1を剥がして貼り替えることができるため当該研磨材1及び支持体の再利用が容易になる。このような粘着剤としては、特に限定されないが、例えばアクリル系粘着剤、アクリル−ゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤、ブチルゴム系等の合成ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤等が挙げられる。   The adhesive used for the adhesive layer 30 is preferably an adhesive. By using an adhesive as the adhesive used for the adhesive layer 30, the abrasive 1 can be peeled off from the support and replaced, so that the abrasive 1 and the support can be easily reused. Examples of such an adhesive include, but are not particularly limited to, an acrylic adhesive, an acrylic-rubber adhesive, a natural rubber adhesive, a synthetic rubber adhesive such as butyl rubber, a silicone adhesive, and a polyurethane adhesive. Agents and the like.

接着層30の平均厚さの下限としては、0.05mmが好ましく、0.1mmがより好ましい。一方、接着層30の平均厚さの上限としては、0.3mmが好ましく、0.2mmがより好ましい。接着層30の平均厚さが上記下限未満であると、接着力が不足し、当該研磨材1が支持体から剥離するおそれがある。逆に、接着層30の平均厚さが上記上限を超えると、例えば接着層30の厚みのため当該研磨材1を所望する形状に切る際に支障をきたすなど、作業性が低下するおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the adhesive layer 30 is preferably 0.05 mm, more preferably 0.1 mm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the adhesive layer 30 is preferably 0.3 mm, more preferably 0.2 mm. If the average thickness of the adhesive layer 30 is less than the above lower limit, the adhesive strength may be insufficient, and the abrasive 1 may be separated from the support. Conversely, when the average thickness of the adhesive layer 30 exceeds the upper limit, the workability may be reduced, for example, the thickness of the adhesive layer 30 may hinder the cutting of the abrasive 1 into a desired shape. .

<利点>
当該研磨材1は、研磨部20aがフュームドシリカ23を含むので、厚い研磨部20aであっても研磨部20aを柱状に形成することができる。このため、当該研磨材1は、研磨部20aを錐体状としたり、研磨部20aの頂面の面積を大きくしたりする必要がないので、研磨層20が磨耗しても研磨レートが低下し難い。また、当該研磨材1は、基材10が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨部20aがフュームドシリカ23を含むことによる基材10と研磨部20aとの密着性の低下を抑止できる。このため、当該研磨材1は、基材10と研磨部20aとが剥がれ難い。従って、当該研磨材1は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部20aを厚くできる。
<Advantages>
Since the polishing portion 20a of the polishing material 1 includes the fumed silica 23, the polishing portion 20a can be formed in a columnar shape even if the polishing portion 20a is thick. For this reason, the polishing material 1 does not require the polishing portion 20a to have a conical shape or increase the area of the top surface of the polishing portion 20a, so that the polishing rate is reduced even if the polishing layer 20 is worn. hard. Further, in the polishing material 1, since the base material 10 is mainly composed of a heat-resistant resin, it is possible to suppress a decrease in adhesion between the base material 10 and the polishing part 20a due to the polishing part 20a including the fumed silica 23. . For this reason, the base material 10 and the polishing portion 20a of the polishing material 1 are not easily separated. Therefore, the polishing material 1 can make the polishing portion 20a thicker while suppressing a reduction in the polishing rate.

[研磨材の製造方法]
図3に示す研磨材の製造方法は、調製工程S1と、研磨層形成工程S2と、接着層貼付工程S3とを主に備える。当該研磨材の製造方法を用いることで、例えば図1及び図2に示す基材10と、この基材10の表面側に積層され、砥粒21及びバインダー22を含む研磨層20とを備える研磨材1を製造することができる。
[Abrasive manufacturing method]
3 mainly includes a preparation step S1, a polishing layer forming step S2, and an adhesive layer attaching step S3. By using the method for manufacturing an abrasive material, for example, polishing including the base material 10 shown in FIGS. 1 and 2 and the polishing layer 20 laminated on the surface side of the base material 10 and including the abrasive grains 21 and the binder 22 is performed. Material 1 can be manufactured.

<調製工程>
調製工程S1では、砥粒21、バインダー22及びフュームドシリカ23を含む研磨層用組成物を調製する。
<Preparation process>
In the preparation step S1, a composition for a polishing layer containing abrasive grains 21, a binder 22, and a fumed silica 23 is prepared.

具体的には、砥粒21、フェームドシリカ23、及びバインダー22の形成材料を含む研磨層用組成物を塗工液として準備する。なお、固形分中の砥粒21及びフェームドシリカ23の含有量が、それぞれ製造後の研磨部20aの砥粒21及びフェームドシリカ23の含有量となるので、研磨部20aにおける含有量が所望の値となるように固形分の量を適宜決定する。   Specifically, a composition for a polishing layer including the forming materials of the abrasive grains 21, the fumed silica 23, and the binder 22 is prepared as a coating liquid. Since the contents of the abrasive grains 21 and the fumed silica 23 in the solid content are the contents of the abrasive grains 21 and the fumed silica 23 of the polishing unit 20a after the production, respectively, the content in the polishing unit 20a is desired. The amount of the solid content is appropriately determined so as to obtain the value of

また、塗工液の粘度や流動性を制御するために、水、アルコール等の希釈剤を添加する。この希釈により、研磨部20aに含まれる砥粒21の一部をバインダー22の表面から突出させることができる。つまり、希釈剤を添加することで、研磨層形成工程S2で研磨層用組成物を乾燥させたときにバインダー22の厚さが減少し、砥粒21の突出量を増やすことができる。従って、この希釈により研磨の初期から高い研磨レートを発現させることができる。   Further, a diluent such as water or alcohol is added to control the viscosity and fluidity of the coating liquid. By this dilution, a part of the abrasive grains 21 included in the polishing section 20a can be projected from the surface of the binder 22. That is, by adding the diluent, the thickness of the binder 22 decreases when the polishing layer composition is dried in the polishing layer forming step S2, and the protrusion amount of the abrasive grains 21 can be increased. Therefore, a high polishing rate can be developed from the beginning of polishing by this dilution.

<研磨層形成工程>
研磨層形成工程S2では、調製工程S1で準備した研磨層用組成物の印刷により研磨層20を形成する。研磨層形成工程S2は、塗工工程と乾燥工程とを備える。
<Polishing layer forming step>
In the polishing layer forming step S2, the polishing layer 20 is formed by printing the polishing layer composition prepared in the preparation step S1. The polishing layer forming step S2 includes a coating step and a drying step.

(塗工工程)
塗工工程では、上記研磨層用組成物を基材10の表面に塗工する。基材10としては、耐熱性樹脂を主成分とするものを用いる。
(Coating process)
In the coating step, the polishing layer composition is coated on the surface of the substrate 10. As the base material 10, a material having a heat-resistant resin as a main component is used.

具体的には、調製工程S1で準備した塗工液を用い、基材10の表面に印刷法により複数の研磨部20a及びこの研磨部20a間に配設される溝20bを有する研磨層20を形成する。この溝20bを形成するために、溝20bの形状に対応する形状を有するマスクを用意し、このマスクを介して上記塗工液を印刷する。この印刷方式としては、例えばスクリーン印刷、メタルマスク印刷等を用いることができる。   Specifically, using the coating liquid prepared in the preparation step S1, the polishing layer 20 having a plurality of polishing portions 20a and grooves 20b provided between the polishing portions 20a is formed on the surface of the base material 10 by a printing method. Form. In order to form the groove 20b, a mask having a shape corresponding to the shape of the groove 20b is prepared, and the coating liquid is printed through the mask. As this printing method, for example, screen printing, metal mask printing, or the like can be used.

上記印刷用のマスクとしては、SUS製又はフッ素樹脂製のマスクが好ましい。SUS製又はフッ素樹脂製のマスクはマスクを厚くできるので、平均厚さの大きい研磨部20aを容易に作製することができる。   As the printing mask, a SUS or fluororesin mask is preferable. Since the mask made of SUS or fluororesin can be made thicker, the polished portion 20a having a large average thickness can be easily manufactured.

研磨部20aの厚さは、主にマスクの厚みと塗工量とにより調整することができる。従って、この塗工工程で、研磨部20aの平均厚さを300μm以上、より好ましくは500μm以上とするように上記研磨層用組成物の塗工量を調整するとよい。研磨部20aの平均厚さを上記下限以上とするように塗工量を調整することで、研磨材1の寿命を向上できる。一方、塗工工程で調整される研磨部20aの平均厚さの上限としては、特に限定されないが、製造コストの観点から、5000μmが好ましく、3000μmがより好ましい。   The thickness of the polishing section 20a can be adjusted mainly by the thickness of the mask and the coating amount. Therefore, in this coating step, the coating amount of the composition for a polishing layer may be adjusted so that the average thickness of the polishing portion 20a is 300 μm or more, more preferably 500 μm or more. By adjusting the coating amount so that the average thickness of the polishing portion 20a is not less than the above lower limit, the life of the polishing material 1 can be improved. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the polishing section 20a adjusted in the coating step is not particularly limited, but is preferably 5000 μm, more preferably 3000 μm, from the viewpoint of manufacturing cost.

(乾燥工程)
乾燥工程では、上記塗工工程後の塗工液(研磨層用組成物)を加熱乾燥する。この加熱乾燥により塗工液が硬化し、研磨層20が形成される。
(Drying process)
In the drying step, the coating liquid (composition for the polishing layer) after the above-mentioned coating step is heated and dried. The coating liquid is cured by the heating and drying, and the polishing layer 20 is formed.

この乾燥工程は、マスクを除去して行われる。当該研磨材の製造方法では、研磨層用組成物がフュームドシリカ23を含むので、フュームドシリカ23が研磨層用組成物にチキソトロピー性を与える。このため、加熱中の研磨層用組成物の粘度が適度に制御され、液だれを抑止できる。従って、研磨部20aが厚い場合であっても、柱状の研磨部20aを形成できる。   This drying step is performed after removing the mask. In the method for producing an abrasive, since the composition for the polishing layer contains fumed silica 23, the fumed silica 23 imparts thixotropic properties to the composition for the polishing layer. Therefore, the viscosity of the polishing layer composition during heating is appropriately controlled, and dripping can be suppressed. Therefore, even when the polishing portion 20a is thick, the columnar polishing portion 20a can be formed.

乾燥工程での加熱温度の下限としては、80℃が好ましく、100℃がより好ましい。一方、上記加熱温度の上限としては、300℃が好ましく、200℃がより好ましい。上記加熱温度が上記下限未満であると、研磨層用組成物が十分に硬化せず、摩耗量が増大し、研磨材1の寿命が短くなるおそれがある。逆に、上記加熱温度が上記上限を超えると、研磨部20aが熱により変質するおそれがある。   The lower limit of the heating temperature in the drying step is preferably 80 ° C, more preferably 100 ° C. On the other hand, the upper limit of the heating temperature is preferably 300 ° C, more preferably 200 ° C. When the heating temperature is lower than the lower limit, the composition for the polishing layer is not sufficiently cured, the amount of wear increases, and the life of the polishing material 1 may be shortened. Conversely, if the heating temperature exceeds the upper limit, the polishing section 20a may be deteriorated by heat.

乾燥工程での加熱時間は、加熱温度にもよるが、上記加熱時間の下限としては、2時間が好ましく、2.5時間がより好ましい。一方、上記加熱時間の上限としては、40時間が好ましく、32時間がより好ましく、20時間がさらに好ましい。上記加熱時間が上記下限未満であると、研磨層用組成物が十分に硬化せず、摩耗量が増大し、研磨材1の寿命が短くなるおそれがある。逆に、上記加熱時間が上記上限を超えると、製造効率が低下するおそれがある。   The heating time in the drying step depends on the heating temperature, but the lower limit of the heating time is preferably 2 hours, more preferably 2.5 hours. On the other hand, the upper limit of the heating time is preferably 40 hours, more preferably 32 hours, and even more preferably 20 hours. If the heating time is shorter than the lower limit, the polishing layer composition may not be sufficiently cured, the amount of wear may increase, and the life of the abrasive 1 may be shortened. Conversely, if the heating time exceeds the upper limit, the production efficiency may decrease.

<接着層貼付工程>
接着層貼付工程S3では、基材10の裏面側に接着層30を積層する。具体的には、例えば予め形成されたテープ状の接着層30を基材10の裏面に貼り付ける。
<Adhesive layer sticking process>
In the adhesive layer attaching step S3, the adhesive layer 30 is laminated on the back surface side of the base material 10. Specifically, for example, a tape-shaped adhesive layer 30 formed in advance is attached to the back surface of the base material 10.

<利点>
当該研磨材の製造方法では、研磨層用組成物がフュームドシリカ23を含むので、印刷により研磨層20を形成する際にこのフュームドシリカ23が研磨層用組成物にチキソトロピー性を与え、液だれを抑止できる。このため、当該研磨材の製造方法を用いることで、厚い研磨部20aであっても柱状の研磨部20aを形成できる。また、当該研磨材の製造方法では、基材10が耐熱性樹脂を主成分とするので、研磨層用組成物がフュームドシリカ23を含む場合であっても基材10と研磨部20aとが剥がれ難い。従って、当該研磨材の製造方法を用いることで、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部20aが厚い研磨材を製造することができる。
<Advantages>
In the method for manufacturing an abrasive, the composition for the polishing layer contains fumed silica 23, so that when forming the polishing layer 20 by printing, the fumed silica 23 imparts thixotropic properties to the composition for the polishing layer. Who can be deterred. For this reason, by using the method for manufacturing the abrasive, the pillar-shaped polishing portion 20a can be formed even with the thick polishing portion 20a. In addition, in the method for manufacturing an abrasive, since the base material 10 is mainly composed of a heat-resistant resin, even when the polishing layer composition contains fumed silica 23, the base material 10 and the polishing portion 20a are in contact with each other. It is hard to come off. Therefore, by using the method for manufacturing an abrasive, it is possible to manufacture an abrasive having a thicker polishing portion 20a while suppressing a decrease in the polishing rate.

[その他の実施形態]
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記態様の他、種々の変更、改良を施した態様で実施することができる。
[Other Embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be embodied with various changes and improvements in addition to the above-described aspects.

上記実施形態では、研磨部がブロックパターン状である場合を説明したが、研磨部はブロックパターン状に限定されるものではない。つまり、複数の研磨部は、異なる形状であったり、不規則に配列されたりしてもよい。ただし、研磨の異方性を低減する観点から、研磨部はブロックパターン状であることが好ましい。   In the above embodiment, the case where the polishing unit has a block pattern shape has been described, but the polishing unit is not limited to the block pattern shape. That is, the plurality of polishing units may have different shapes or may be irregularly arranged. However, from the viewpoint of reducing polishing anisotropy, it is preferable that the polished portion has a block pattern.

上記実施形態では、研磨部が充填剤を含む場合を説明したが、充填剤は必須の構成要件ではなく、充填剤を含まない研磨部を有する研磨材も本発明の意図するところである。   In the above embodiment, the case where the polishing portion contains a filler has been described. However, the filler is not an essential constituent element, and an abrasive having a polishing portion containing no filler is also intended by the present invention.

上記実施形態では、研磨材が接着層を有する場合を説明したが、接着層は必須の構成要件ではなく、省略可能である。研磨材が接着層を有さない場合は、研磨材の製造方法の接着層貼付工程は省略される。   In the above embodiment, the case where the abrasive has the adhesive layer has been described, but the adhesive layer is not an essential component and can be omitted. When the abrasive does not have an adhesive layer, the adhesive layer attaching step of the method for producing an abrasive is omitted.

あるいは、図4に示すように当該研磨材2は裏面側の接着層30を介して積層される支持体40及びその支持体40の裏面側に積層される第2接着層31を備えてもよい。当該研磨材2が支持体40を備えることにより、当該研磨材2の取扱いが容易となる。   Alternatively, as shown in FIG. 4, the abrasive 2 may include a support 40 laminated via the adhesive layer 30 on the back surface and a second adhesive layer 31 laminated on the back surface of the support 40. . The provision of the support 40 in the abrasive 2 facilitates handling of the abrasive 2.

上記支持体40の主成分としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ塩化ビニル等の熱可塑性を有する樹脂やポリカーボネート、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート等のエンジニアリングプラスチックを挙げることができる。上記支持体40の主成分にこのような材質を用いることにより上記支持体40が可撓性を有し、当該研磨材2が被削体の表面形状に追従し、研磨面と被削体とが接触し易くなるため研磨レートがさらに向上する。   Examples of the main component of the support 40 include thermoplastic resins such as polypropylene, polyethylene, polytetrafluoroethylene, and polyvinyl chloride, and engineering plastics such as polycarbonate, polyamide, and polyethylene terephthalate. By using such a material as a main component of the support body 40, the support body 40 has flexibility, the abrasive 2 follows the surface shape of the work, and the polishing surface and the work Are more likely to come into contact with each other, so that the polishing rate is further improved.

上記支持体40の平均厚さとしては、例えば0.5mm以上3mm以下とすることができる。上記支持体40の平均厚さが上記下限未満であると、当該研磨材2の強度が不足するおそれがある。一方、上記支持体40の平均厚さが上記上限を超えると、上記支持体40を研磨装置に取り付け難くなるおそれや上記支持体40の可撓性が不足するおそれがある。   The average thickness of the support 40 can be, for example, 0.5 mm or more and 3 mm or less. If the average thickness of the support 40 is less than the lower limit, the strength of the abrasive 2 may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the support 40 exceeds the upper limit, the support 40 may be difficult to be attached to a polishing apparatus, and the flexibility of the support 40 may be insufficient.

上記第2接着層31は、接着層30と同様の接着剤を用いることができる。また、第2接着層31は、接着層30と同様の平均厚さとできる。   The same adhesive as the adhesive layer 30 can be used for the second adhesive layer 31. The second adhesive layer 31 can have the same average thickness as the adhesive layer 30.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、当該発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

[実施例1]
ダイヤモンド砥粒(Sino Crystal Diamond社の「SCMD−C12−22」、平均粒子径16μm)、充填剤としてのアルミナ(Al、太平洋ランダム株式会社の「LA4000」、平均粒子径4μm)、フュームドシリカ(アエロジル社の「aerosil200」)、及びバインダーとしてのエポキシ樹脂(三菱化学株式会社の「JER828」)を混合し、固形分中のダイヤモンド砥粒の含有量が3体積%、充填剤の含有量が71体積%、及びフュームドシリカの含有量が5体積%となるよう調整し、塗工液を得た。
[Example 1]
Diamond abrasive grains (“SCMD-C12-22” from Sino Crystal Diamond, average particle diameter 16 μm), alumina as filler (Al 2 O 3 , “LA4000” from Taiheiyo Random Corporation, average particle diameter 4 μm), fume Dosilica (“Aerosil 200” from Aerosil) and epoxy resin (“JER828” from Mitsubishi Chemical Corporation) as a binder are mixed, the content of diamond abrasive grains in the solid content is 3% by volume, and the content of filler The amount was adjusted to 71% by volume and the content of fumed silica was 5% by volume to obtain a coating liquid.

基材として耐熱性樹脂であるポリカーボネートを主成分とする基材(平均厚さ300μm)を用意し、上記塗工液を用いてこの基材の表面に印刷により塗工した。印刷のパターンとして、平面視で直径6mmの円形状(平均面積28.27mm)の開口部を面積占有率44%で有し、平均厚さが1000μmであるフッ素樹脂製のマスクを用いた。なお、上記開口部は、ブロックパターン状である。また、塗工量は、研磨部の平均厚さが1000μmとなるように調整した。塗工液は、オーブンで120℃、16時間の乾燥を行い硬化させた。A base material (average thickness: 300 μm) mainly composed of polycarbonate as a heat-resistant resin was prepared as a base material, and was coated on the surface of the base material by printing using the above-mentioned coating solution. As a printing pattern, a fluororesin mask having a circular opening having a diameter of 6 mm (average area 28.27 mm 2 ) in plan view at an area occupation ratio of 44% and an average thickness of 1000 μm was used. The opening has a block pattern. The coating amount was adjusted so that the average thickness of the polished portion was 1000 μm. The coating liquid was cured by drying at 120 ° C. for 16 hours in an oven.

また、基材を支持し研磨装置に固定する支持体として平均厚さ1mmの硬質塩化ビニル樹脂板を用い、上記基材の裏面と上記支持体の表面との間、及び上記支持体の裏面と後述する研磨機の定盤との間を、それぞれ平均厚さ130μmの粘着剤で貼り合わせた。上記粘着剤としては、両面テープ(積水化学株式会社の「#5605HGD」)を用いた。   Further, a rigid vinyl chloride resin plate having an average thickness of 1 mm is used as a support for supporting the base material and fixing to the polishing apparatus, and between the back surface of the base material and the front surface of the support, and the back surface of the support. An adhesive having an average thickness of 130 μm was attached to a polishing machine platen to be described later. As the pressure-sensitive adhesive, a double-sided tape (“# 5605HGD” manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) was used.

このようにして実施例1の研磨材を得た。   Thus, the abrasive of Example 1 was obtained.

[実施例2]
塗工量を研磨部の平均厚さが300μmとなるように調整した以外は実施例1と同様にして実施例2の研磨材を得た。
[Example 2]
An abrasive of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the amount of coating was adjusted so that the average thickness of the polished portion was 300 μm.

[実施例3]
基材として、耐熱性樹脂である二軸延伸ポリエチレンテレフタレートを主成分とする基材(平均厚さ75μm)を用意した以外は、実施例1と同様にして実施例3の研磨材を得た。
[Example 3]
A polishing material of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1, except that a base material (average thickness: 75 μm) containing biaxially oriented polyethylene terephthalate as a heat-resistant resin as a main component was prepared.

[比較例1]
実施例1の塗工液で、フュームドシリカを含まず、固形分中のダイヤモンド砥粒の含有量が3体積%及び充填剤の含有量が76体積%となるよう調整した以外は、実施例1と同様にして比較例1の研磨材を得た。
[Comparative Example 1]
Except that the coating liquid of Example 1 did not contain fumed silica and was adjusted so that the content of diamond abrasive grains in the solid content was 3% by volume and the content of filler was 76% by volume. In the same manner as in Example 1, an abrasive of Comparative Example 1 was obtained.

[比較例2]
基材として、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートを主成分とする基材(平均厚さ300μm)を用意した以外は、比較例1と同様にして比較例2の研磨材を得た。
[Comparative Example 2]
A polishing material of Comparative Example 2 was obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that a base material (average thickness: 300 μm) containing biaxially stretched polyethylene terephthalate as a main component was prepared.

[比較例3]
基材としてアルミニウム板(平均厚さ300μm)を用意した以外は、比較例1と同様にして比較例3の研磨材を得た。
[Comparative Example 3]
An abrasive of Comparative Example 3 was obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that an aluminum plate (average thickness 300 μm) was prepared as a substrate.

[比較例4]
基材としてアルミニウム板(平均厚さ300μm)を用意した以外は、実施例1と同様にして比較例4の研磨材を得た。
[Comparative Example 4]
An abrasive of Comparative Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that an aluminum plate (average thickness 300 μm) was prepared as a substrate.

[評価]
実施例1〜3及び比較例1〜4の研磨材について、研磨材の寿命、基材と研磨部との剥がれ及び印刷時の液だれについて、以下の判断基準で評価を行った。結果を表1に示す。
[Evaluation]
With respect to the abrasives of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4, the following criteria were used to evaluate the life of the abrasive, the separation between the base material and the polished portion, and the dripping during printing. The results are shown in Table 1.

<研磨材の寿命>
研磨材の寿命は研磨部の平均厚さにより決まると考えられる。そこで、以下の判断基準とした。
A:研磨部の平均厚さが1000μmであり、高寿命である。
B:研磨部の平均厚さが300μmであり、寿命がやや短い。
<Abrasive life>
It is considered that the life of the abrasive is determined by the average thickness of the polished portion. Therefore, the following criteria were used.
A: The average thickness of the polished part is 1000 μm, and the life is long.
B: The average thickness of the polished part is 300 μm, and the life is slightly short.

<基材と研磨部との剥がれ>
得られた研磨材を撓ませた後、目視により、基材と研磨部との剥がれが生じているか否かを判断した。
A:基材と研磨部との剥がれが認められる。
B:基材と研磨部との剥がれが認められない。
<Peeling between base material and polishing part>
After bending the obtained abrasive, it was visually determined whether or not peeling between the substrate and the polished portion had occurred.
A: Peeling between the substrate and the polished part is observed.
B: Peeling between the substrate and the polished portion was not observed.

<印刷時の液だれ>
印刷時に液だれが生じると、乾燥硬化後に印刷パターンに対して変形が生じる。得られた研磨材の目視により、この変形が生じているか否かを判断した。
A:乾燥硬化後に印刷パターンの変形が認められない。
B:乾燥硬化後に印刷パターンの変形が認められる。
<Drip when printing>
If dripping occurs during printing, the printed pattern will be deformed after drying and curing. It was determined whether or not this deformation had occurred by visual inspection of the obtained abrasive.
A: No deformation of the printed pattern is observed after drying and curing.
B: Deformation of the printed pattern is observed after drying and curing.

Figure 2019123922
Figure 2019123922

表1で、基材の「PC」はポリカーボネート、「PET」は二軸延伸ポリエチレンテレフタレート、「Al」はアルミニウム板を意味する。   In Table 1, "PC" of the substrate means polycarbonate, "PET" means biaxially stretched polyethylene terephthalate, and "Al" means an aluminum plate.

表1から、実施例1〜3の研磨材では、基材と研磨部との剥がれも、液だれによる乾燥硬化後の印刷パターンの変形も、研磨部の厚さに関わらず認められない。一方、比較例1〜3の研磨材では、液だれによる乾燥硬化後の印刷パターンの変形が認められ、比較例4の研磨材では、基材と研磨部との剥がれが認められる。   From Table 1, in the abrasives of Examples 1 to 3, peeling between the base material and the polished portion and deformation of the printed pattern after drying and curing due to dripping are not recognized regardless of the thickness of the polished portion. On the other hand, in the abrasives of Comparative Examples 1 to 3, deformation of the printed pattern after drying and curing due to dripping is observed, and in the abrasive of Comparative Example 4, peeling between the base material and the polished portion is observed.

比較例1〜3の研磨材では、フュームドシリカを含まないため、液だれが発生し乾燥硬化後の印刷パターンの変形が認められたと考えられる。比較例4の研磨材では、フュームドシリカを含むことで液だれによる乾燥硬化後の印刷パターンの変形は抑止できたものの、基材がアルミニウム板であるため基材と研磨部との剥がれが生じたと考えられる。   It is considered that since the abrasives of Comparative Examples 1 to 3 did not contain fumed silica, dripping occurred and deformation of the printed pattern after drying and curing was observed. In the abrasive of Comparative Example 4, although the deformation of the printed pattern after drying and curing due to dripping was suppressed by including fumed silica, peeling between the substrate and the polished portion occurred because the substrate was an aluminum plate. It is considered that

以上の結果から、研磨部にフュームドシリカを含有させ、基材の主成分を耐熱性樹脂とすることで、液だれを抑止し、柱状の厚い研磨部を形成することができるので、研磨レートの低下を抑止しつつ、高寿命化できることが分かる。   From the above results, by adding fumed silica to the polished portion and using a heat-resistant resin as the main component of the base material, dripping can be suppressed and a columnar thick polished portion can be formed. It can be understood that the life can be prolonged while suppressing the decrease in the temperature.

本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、研磨レートの低下を抑止しつつ、研磨部を厚くできる。従って、本発明の研磨材及び本発明の研磨材の製造方法により製造される研磨材は、安定した研磨レートを発現させつつ、高寿命化できる。   The polishing material of the present invention and the polishing material manufactured by the method of manufacturing the polishing material of the present invention can increase the thickness of the polished portion while suppressing a decrease in the polishing rate. Therefore, the abrasive of the present invention and the abrasive manufactured by the method of manufacturing an abrasive of the present invention can have a long life while exhibiting a stable polishing rate.

1、2 研磨材
10 基材
20 研磨層
20a 研磨部
20b 溝
21 砥粒
22 バインダー
23 フュームドシリカ
30 接着層
31 第2接着層
40 支持体
1, 2 Abrasive material 10 Base material 20 Polishing layer 20a Polishing portion 20b Groove 21 Abrasive grains 22 Binder 23 Fumed silica 30 Adhesive layer 31 Second adhesive layer 40 Support

Claims (5)

基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材であって、
上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、
上記研磨部がフュームドシリカを含み、
上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする研磨材。
A polishing material comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder,
The polishing layer has a plurality of columnar polishing portions,
The polishing section contains fumed silica,
An abrasive whose base material is mainly a heat-resistant resin.
上記研磨部における上記フュームドシリカの含有量が0.1体積%以上20体積%以下である請求項1に記載の研磨材。   2. The abrasive according to claim 1, wherein the content of the fumed silica in the polishing section is 0.1% by volume or more and 20% by volume or less. 上記研磨部の平均厚さが300μm以上5000μm以下である請求項1又は請求項2に記載の研磨材。   The abrasive according to claim 1, wherein the abrasive has an average thickness of 300 μm or more and 5000 μm or less. 上記基材がポリカーボネート又は二軸延伸ポリエチレンテレフタレートである請求項1、請求項2又は請求項3に記載の研磨材。   The abrasive according to claim 1, wherein the base material is polycarbonate or biaxially stretched polyethylene terephthalate. 基材と、この基材の表面側に積層され、砥粒及びバインダーを含む研磨層とを備える研磨材の製造方法であって、
研磨層用組成物の印刷により上記研磨層を形成する工程を備え、
上記研磨層が複数の柱状の研磨部を有し、
上記研磨層用組成物がフュームドシリカを含み、
上記基材が耐熱性樹脂を主成分とする研磨材の製造方法。
A method for producing an abrasive, comprising a base material and a polishing layer laminated on the surface side of the base material and containing abrasive grains and a binder,
Comprising a step of forming the polishing layer by printing a polishing layer composition,
The polishing layer has a plurality of columnar polishing portions,
The composition for the polishing layer contains fumed silica,
A method for producing an abrasive wherein the base material is mainly composed of a heat-resistant resin.
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