JPWO2018235315A1 - Solar cell and solar cell module - Google Patents

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Abstract

pn接合を有する半導体基板と、半導体基板における受光面側において第1の方向に延在して設けられた受光面バス電極(12B)と、半導体基板における受光面と反対側を向く裏面側において第1の方向に沿って分散配置されて設けられた複数の裏面接続電極と、を備える。受光面バス電極(12B)は、受光面バス電極の厚み方向に貫通した複数の貫通孔(60)が第1の方向に沿って設けられ、裏面接続電極は、受光面バス電極(12B)における複数の貫通孔(60)を除いた領域と半導体基板の厚み方向において相対する位置に配置されている。a semiconductor substrate having a pn junction; a light receiving surface bus electrode (12B) provided extending in the first direction on the light receiving surface side of the semiconductor substrate; and a back surface side facing the opposite side of the light receiving surface of the semiconductor substrate A plurality of back surface connection electrodes provided in a distributed manner along one direction. The light-receiving surface bus electrode (12B) has a plurality of through holes (60) penetrating in the thickness direction of the light-receiving surface bus electrode along the first direction. It arrange | positions in the position which opposes the area | region except the several through-hole (60), and the thickness direction of a semiconductor substrate.

Description

本発明は、リード線で接続されることで太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルおよびこの太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールに関する。   The present invention relates to a solar battery cell constituting a solar battery module by being connected with a lead wire, and a solar battery module using the solar battery cell.

太陽電池セルをモジュール化する際には、複数の太陽電池セルを電気的に直列に接続して電気出力を取り出す目的で、平角銅線からなるリード線が各太陽電池セルにはんだ付けによって接合される。リード線は、通常、はんだ付け直後の高温状態から常温に冷却される際に収縮する。そして、リード線のはんだ付け後の太陽電池セルには、リード線の収縮によって反りが発生する。この太陽電池セルの反りは、太陽電池セルの破損の原因となっている。   When modularizing solar cells, lead wires made of rectangular copper wires are joined to each solar cell by soldering in order to connect a plurality of solar cells in series and take out the electrical output. The The lead wire usually shrinks when cooled from the high temperature state immediately after soldering to room temperature. And the solar cell after soldering of a lead wire generate | occur | produces curvature by shrinkage | contraction of a lead wire. The warpage of the solar battery cell causes damage to the solar battery cell.

太陽電池セルの受光面と裏面とには、太陽電池セルで発生した電気を取り出すためのグリッド電極と、全てのグリッド電極から電気を収集するためのバス電極とが配置される。グリッド電極は、太陽電池セルの発電面積を向上させるために、細線化と多本数化とが進んでいる。一方、バス電極は、太陽電池セルとリード線との接着強度の確保と配置精度との関係から、細線化が困難である。さらにグリッド電極とバス電極との形成時の熱処理が発電層にダメージを発生させ、太陽電池セルの発電効率を低下させるため、電極材料に高価な銀を使用することと相まってその面積を極力低減する必要がある。   A grid electrode for extracting electricity generated in the solar battery cell and a bus electrode for collecting electricity from all the grid electrodes are disposed on the light receiving surface and the back surface of the solar battery cell. The grid electrode is being thinned and increased in number in order to improve the power generation area of the solar battery cell. On the other hand, the bus electrode is difficult to be thinned because of the relationship between securing the adhesive strength between the solar battery cell and the lead wire and the placement accuracy. Furthermore, the heat treatment during the formation of the grid electrode and the bus electrode causes damage to the power generation layer and lowers the power generation efficiency of the solar battery cell, so that the area of the electrode material is reduced as much as possible in combination with the use of expensive silver. There is a need.

特許文献1には、半導体基板の主面に形成されるバスバー部が、該バスバー部の長手方向に沿って複数のスリットが配されたスリット部を部分的に有するように、電極ペーストをスクリーン印刷法によって印刷すること、が開示されている。特許文献1の技術によれば、バスバー電極とリード線との良好な接着強度を維持しつつバスバー電極の面積を低減させることができるが、リード線の接合後に発生する太陽電池セルの反りについては解決がされていない。   In Patent Document 1, the electrode paste is screen-printed so that the bus bar portion formed on the main surface of the semiconductor substrate partially has a slit portion in which a plurality of slits are arranged along the longitudinal direction of the bus bar portion. Printing by law is disclosed. According to the technique of Patent Document 1, the area of the bus bar electrode can be reduced while maintaining good adhesive strength between the bus bar electrode and the lead wire. It has not been solved.

一方、太陽電池セルの裏面については受光面と同様に裏面リード線との接合のためにバス電極が必要となるが、直線状に配置されたバス電極では電極材料を多量に必要とするため、直線状の形状ではなく、アイランド状の接合電極を配置することが検討されている。   On the other hand, for the back surface of the solar battery cell, a bus electrode is required for joining to the back surface lead wire as well as the light receiving surface, but the bus electrode arranged in a straight line requires a large amount of electrode material, Arrangement of island-shaped junction electrodes instead of linear shapes has been studied.

特許第4284368号公報Japanese Patent No. 4284368

しかしながら、近年、太陽電池セルに使用されるシリコン基板の厚さは年々減少しており、今後も減少し続けると考えられる。太陽電池モジュールの製造工程においてはリード線と太陽電池セルとの熱膨張係数の差に起因する反りが発生するため、モジュール製造工程での反りの低減が必要となる。そして、この反りの発生は、シリコン基板の厚さが薄くなるほど顕著となる。   However, in recent years, the thickness of silicon substrates used for solar cells has been decreasing year by year and is expected to continue to decrease in the future. In the manufacturing process of the solar cell module, warpage due to the difference in thermal expansion coefficient between the lead wire and the solar battery cell is generated, and thus it is necessary to reduce warpage in the module manufacturing process. The occurrence of this warpage becomes more prominent as the silicon substrate becomes thinner.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、太陽電池セルへのリード線の接合に起因した太陽電池セルの反りを抑制可能な太陽電池セルを得ることを目的とする。   This invention is made | formed in view of the above, Comprising: It aims at obtaining the photovoltaic cell which can suppress the curvature of the photovoltaic cell resulting from joining of the lead wire to a photovoltaic cell.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、pn接合を有する半導体基板と、半導体基板における受光面側において第1の方向に延在して設けられた受光面バス電極と、半導体基板における受光面と反対側を向く裏面側において第1の方向に沿って分散配置されて設けられた複数の裏面接続電極と、を備える。受光面バス電極は、受光面バス電極の厚み方向に貫通した複数の貫通孔が第1の方向に沿って設けられ、裏面接続電極は、受光面バス電極における複数の貫通孔を除いた領域と半導体基板の厚み方向において相対する位置に配置されている。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a semiconductor substrate having a pn junction, and a light-receiving surface bus electrode provided extending in the first direction on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate. And a plurality of back surface connection electrodes provided in a distributed manner along the first direction on the back surface side facing away from the light receiving surface of the semiconductor substrate. The light-receiving surface bus electrode has a plurality of through holes penetrating in the thickness direction of the light-receiving surface bus electrode along the first direction, and the back surface connection electrode has a region excluding the plurality of through-holes in the light-receiving surface bus electrode. It arrange | positions in the position which opposes in the thickness direction of a semiconductor substrate.

本発明にかかる太陽電池セルは、太陽電池セルへのリード線の接合に起因した太陽電池セルの反りを抑制可能である、という効果を奏する。   The solar cell concerning this invention has an effect that the curvature of the photovoltaic cell resulting from joining of the lead wire to a photovoltaic cell can be suppressed.

本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュールを受光面側から見た斜視図The perspective view which looked at the solar cell module concerning Embodiment 1 of this invention from the light-receiving surface side. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュールを受光面側から見た分解斜視図The exploded perspective view which looked at the solar cell module concerning Embodiment 1 of this invention from the light-receiving surface side. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュールの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the solar cell module concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池アレイを裏面側から見た斜視図The perspective view which looked at the solar cell array concerning Embodiment 1 of this invention from the back surface side 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池ストリングを受光面側から見た斜視図The perspective view which looked at the solar cell string concerning Embodiment 1 of this invention from the light-receiving surface side 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池ストリングを裏面側から見た斜視図The perspective view which looked at the solar cell string concerning Embodiment 1 of this invention from the back surface side 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図The top view which looked at the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention from the light-receiving surface side 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルを受光面側と反対側を向く裏面側から見た平面図The top view which looked at the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention from the back surface side which faced the opposite side to the light-receiving surface side. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの構成を示す断面図であり、図7におけるIX−IX線における要部断面図It is sectional drawing which shows the structure of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention, and is principal part sectional drawing in the IX-IX line in FIG. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの構成を示す断面図であり、図7におけるX−X線における要部断面図It is sectional drawing which shows the structure of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention, and is principal part sectional drawing in the XX line in FIG. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの受光面バス電極の形状を示す平面図The top view which shows the shape of the light-receiving surface bus electrode of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの受光面バス電極上にリード線をはんだ付けした状態を示す平面図The top view which shows the state which soldered the lead wire on the light-receiving surface bus electrode of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの構成を示す断面図であり、図12におけるXIII−XIII線における要部断面図It is sectional drawing which shows the structure of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention, and is principal part sectional drawing in the XIII-XIII line | wire in FIG. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの構成を示す断面図であり、図12におけるXIV−XIV線における要部断面図It is sectional drawing which shows the structure of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention, and is principal part sectional drawing in the XIV-XIV line | wire in FIG. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程の手順を説明するフローチャートThe flowchart explaining the procedure of the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの製造工程を示す要部断面図Sectional drawing which shows the principal part which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュールの製造方法の手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the procedure of the manufacturing method of the solar cell module concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図The top view which looked at the photovoltaic cell concerning Embodiment 2 of this invention from the light-receiving surface side 本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セルを受光面側と反対側を向く裏面側から見た平面図The top view which looked at the photovoltaic cell concerning Embodiment 2 of this invention from the back surface side which faced the opposite side to the light-receiving surface side. 本発明の実施の形態2にかかる太陽電池モジュールの構成を示す要部断面図Sectional drawing which shows the structure of the solar cell module concerning Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セルの受光面電極の構成条件を示す図The figure which shows the structural conditions of the light-receiving surface electrode of the photovoltaic cell concerning Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セルの裏面接続電極の構成条件を示す図The figure which shows the structure conditions of the back surface connection electrode of the photovoltaic cell concerning Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3にかかる太陽電池セルの構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the photovoltaic cell concerning Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態3にかかる太陽電池セルの受光面電極の構成条件を示す図The figure which shows the structural conditions of the light-receiving surface electrode of the photovoltaic cell concerning Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態3にかかる太陽電池セルの裏面接続電極の構成条件を示す図The figure which shows the structure conditions of the back surface connection electrode of the photovoltaic cell concerning Embodiment 3 of this invention.

以下に、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。   Below, the photovoltaic cell and solar cell module concerning embodiment of this invention are demonstrated in detail based on drawing. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュール100を受光面側から見た斜視図である。図2は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュール100を受光面側から見た分解斜視図である。図3は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュール100の要部断面図である。本実施の形態1にかかる太陽電池モジュール100は、図1から図3に示すように、太陽電池アレイ70における受光面側が受光面側封止材33および受光面保護部31で覆われ、太陽電池アレイ70における受光面と反対側を向く裏面側が裏面側封止材34および裏面保護部32で覆われているとともに、外周縁部の周囲が補強用のフレーム40で囲まれている。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a perspective view of a solar cell module 100 according to Embodiment 1 of the present invention as viewed from the light receiving surface side. FIG. 2 is an exploded perspective view of the solar cell module 100 according to the first embodiment of the present invention as viewed from the light receiving surface side. FIG. 3 is a cross-sectional view of main parts of the solar cell module 100 according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 1 to 3, in the solar cell module 100 according to the first embodiment, the light receiving surface side of the solar cell array 70 is covered with the light receiving surface side sealing material 33 and the light receiving surface protection unit 31. The back surface side facing the light receiving surface in the array 70 is covered with the back surface side sealing material 34 and the back surface protection portion 32, and the periphery of the outer peripheral edge portion is surrounded by a reinforcing frame 40.

図4は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池アレイ70を裏面側から見た斜視図である。図5は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池ストリング50を受光面側から見た斜視図である。図6は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池ストリング50を裏面側から見た斜視図である。   FIG. 4 is a perspective view of the solar cell array 70 according to the first embodiment of the present invention as viewed from the back side. FIG. 5 is a perspective view of the solar cell string 50 according to the first embodiment of the present invention viewed from the light receiving surface side. FIG. 6: is the perspective view which looked at the solar cell string 50 concerning Embodiment 1 of this invention from the back surface side.

図4に示すように、太陽電池アレイ70は、複数の太陽電池ストリング50が、横リード線25および出力リード線26で電気的および機械的に直列または並列に接合されて構成されている。   As shown in FIG. 4, the solar cell array 70 is configured by a plurality of solar cell strings 50 being electrically and mechanically joined in series or in parallel by lateral lead wires 25 and output lead wires 26.

また、図3から図6に示すように、太陽電池ストリング50は、隣り合って配置された四角形状を呈する複数の太陽電池セル10がリード線20で電気的および機械的に直列に相互に接続されて構成されている。複数の太陽電池セル10は、図3から図6に示すように、リード線20により、第1の方向である図中X方向に直列に接続されている。第1の方向は、リード線20により接続された複数の太陽電池セル10の連結方向である。   Further, as shown in FIGS. 3 to 6, the solar cell string 50 includes a plurality of solar cells 10 each having a quadrangular shape arranged adjacent to each other, electrically and mechanically connected to each other in series by lead wires 20. Has been configured. As shown in FIGS. 3 to 6, the plurality of solar cells 10 are connected in series in the X direction in the drawing, which is the first direction, by lead wires 20. The first direction is a connection direction of the plurality of solar cells 10 connected by the lead wire 20.

太陽電池ストリング50においては、隣り合う2つの太陽電池セル10のうち一方の太陽電池セル10の第1主面である受光面側に形成された電極と、隣り合う2つの太陽電池セル10のうち他方の太陽電池セル10の第2主面である裏面側に形成された電極とが、交互にリード線20で接続されている。そして、リード線20は、後述する太陽電池セル10の裏面側に形成された裏面接続電極13Bに一端側がはんだ接合され、隣接する太陽電池セル10の受光面側に形成された受光面バス電極12Bに他端側がはんだ接合されている。すなわち、太陽電池セル10の受光面側に形成された受光面バス電極12Bと接続したリード線20は、隣接する太陽電池セル10の裏面側に形成された裏面接続電極13Bに接続されることで、複数の太陽電池セル10を直列に接続している。   In the solar cell string 50, an electrode formed on the light receiving surface side which is the first main surface of one of the two adjacent solar cells 10 and the two adjacent solar cells 10. The electrodes formed on the back surface side, which is the second main surface of the other solar battery cell 10, are alternately connected by lead wires 20. The lead wire 20 is solder-bonded at one end to a back surface connection electrode 13B formed on the back surface side of the solar cell 10 to be described later, and the light receiving surface bus electrode 12B formed on the light receiving surface side of the adjacent solar cell 10. The other end side is solder-joined. That is, the lead wire 20 connected to the light receiving surface bus electrode 12 </ b> B formed on the light receiving surface side of the solar battery cell 10 is connected to the back surface connection electrode 13 </ b> B formed on the back surface side of the adjacent solar battery cell 10. A plurality of solar cells 10 are connected in series.

図7は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10を受光面側から見た平面図である。図8は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10を受光面側と反対側を向く裏面側から見た平面図である。図9は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の構成を示す断面図であり、図7におけるIX−IX線における要部断面図である。図10は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の構成を示す断面図であり、図7におけるX−X線における要部断面図である。なお、図9および図10においては、太陽電池セル10に接続されるリード線20を併せて示している。   FIG. 7 is a plan view of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention as viewed from the light receiving surface side. FIG. 8: is the top view which looked at the photovoltaic cell 10 concerning Embodiment 1 of this invention from the back surface side which faces the opposite side to the light-receiving surface side. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view of the main part along the line IX-IX in FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. 9 and 10, the lead wire 20 connected to the solar battery cell 10 is also shown.

太陽電池セル10は、不純物拡散層が形成されてpn接合が構成された四角形状を呈する半導体基板11を備える。すなわち、太陽電池セル10においては、第1導電型であるp型のシリコンからなる半導体基板1の表面である受光面側に、リン拡散によってn型の不純物が拡散された不純物拡散層であるn型不純物拡散層2が形成されている。n型不純物拡散層2は、半導体基板11の受光面11A側に形成されている。半導体基板11の外形は、半導体基板11の面方向において正方形状、すなわち長方形状を有する。   The solar cell 10 includes a semiconductor substrate 11 having a rectangular shape in which an impurity diffusion layer is formed and a pn junction is formed. That is, in the solar cell 10, n is an impurity diffusion layer in which n-type impurities are diffused by phosphorus diffusion on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate 1 made of p-type silicon which is the first conductivity type. A type impurity diffusion layer 2 is formed. The n-type impurity diffusion layer 2 is formed on the light receiving surface 11 </ b> A side of the semiconductor substrate 11. The outer shape of the semiconductor substrate 11 has a square shape, that is, a rectangular shape in the surface direction of the semiconductor substrate 11.

太陽電池セル10は、半導体基板11の第1主面である半導体基板の受光面11A側に、光の集光率を高めるためにテクスチャーエッチングにより凹凸形状が形成されている。すなわち、半導体基板11の表面には、テクスチャー構造として微小凹凸が形成されている。微小凹凸は、受光面11Aにおいて外部からの光を吸収する面積を増加し、受光面11Aにおける反射率を抑え、光を閉じ込める構造となっている。なお、図9および図10においては、便宜上、微小凹凸の図示を省略している。また、太陽電池セル10は、半導体基板11の第1主面である半導体基板の受光面11A側に、シリコン窒化膜よりなる反射防止膜3が形成されている。   In the solar cell 10, a concavo-convex shape is formed on the light receiving surface 11 </ b> A side of the semiconductor substrate, which is the first main surface of the semiconductor substrate 11, by texture etching in order to increase the light collection rate. That is, minute irregularities are formed as a texture structure on the surface of the semiconductor substrate 11. The minute unevenness increases the area of the light receiving surface 11A that absorbs light from the outside, suppresses the reflectance at the light receiving surface 11A, and has a structure for confining light. In FIG. 9 and FIG. 10, the illustration of minute irregularities is omitted for convenience. Further, in the solar cell 10, the antireflection film 3 made of a silicon nitride film is formed on the light receiving surface 11 </ b> A side of the semiconductor substrate that is the first main surface of the semiconductor substrate 11.

半導体基板1には、p型の単結晶シリコン基板またはp型多結晶のシリコン基板を用いることができる。なお、半導体基板1はこれに限定されるものではなく、n型の単結晶シリコン基板、n型多結晶のシリコン基板またはその他のシリコン系基板を用いてもよい。また、反射防止膜3には、シリコン酸化膜を用いてもよい。   As the semiconductor substrate 1, a p-type single crystal silicon substrate or a p-type polycrystalline silicon substrate can be used. The semiconductor substrate 1 is not limited to this, and an n-type single crystal silicon substrate, an n-type polycrystalline silicon substrate, or another silicon-based substrate may be used. The antireflection film 3 may be a silicon oxide film.

また、太陽電池セル10は、半導体基板の受光面11A側に受光面電極12が、半導体基板11の第2主面である半導体基板の裏面11B側に裏面電極13が形成されている。   In the solar cell 10, a light receiving surface electrode 12 is formed on the light receiving surface 11 </ b> A side of the semiconductor substrate, and a back electrode 13 is formed on the back surface 11 </ b> B side of the semiconductor substrate that is the second main surface of the semiconductor substrate 11.

半導体基板1の受光面側には、上述した受光面電極12が、反射防止膜3を突き抜けてn型不純物拡散層2に電気的に接続して設けられている。受光面電極12としては、半導体基板11の受光面11Aの面内方向において長尺細長の受光面グリッド電極12Gが複数並べて設けられている。受光面グリッド電極12Gは、太陽電池セル10で発電された光電流を半導体基板11の受光面11A側から集めるための電極である。受光面グリッド電極12Gは、底面部においてn型不純物拡散層2に電気的に接続している。受光面グリッド電極12Gは、金属粒子を有する導電性ペーストを所望の範囲に塗布して焼成することで形成されたペースト電極である。   On the light receiving surface side of the semiconductor substrate 1, the above-described light receiving surface electrode 12 is provided so as to penetrate the antireflection film 3 and be electrically connected to the n-type impurity diffusion layer 2. As the light receiving surface electrode 12, a plurality of elongated light receiving surface grid electrodes 12G are provided side by side in the in-plane direction of the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11. The light receiving surface grid electrode 12 </ b> G is an electrode for collecting the photocurrent generated by the solar battery cell 10 from the light receiving surface 11 </ b> A side of the semiconductor substrate 11. The light-receiving surface grid electrode 12G is electrically connected to the n-type impurity diffusion layer 2 at the bottom surface portion. The light receiving surface grid electrode 12G is a paste electrode formed by applying and baking a conductive paste having metal particles in a desired range.

また、受光面グリッド電極12Gと導通する受光面バス電極12Bが、半導体基板11の受光面11Aの面内方向において受光面グリッド電極12Gと直交して設けられている。受光面バス電極12Bは、図7に示すように太陽電池セル10の連結方向である第1の方向に沿って、太陽電池セル10のほぼ全長に渡ってライン状に4列に設けられている。すなわち、受光面バス電極12Bの長手方向は、上述した第1の方向と同じ方向であり、リード線20により接続された複数の太陽電池セル10の連結方向である。また、受光面バス電極12Bの配列方向は、半導体基板11の面内において第1の方向と直交する第2の方向と同じ方向とされる。受光面バス電極12Bは、全ての受光面グリッド電極12Gと接続して設けられている。受光面バス電極12Bは、底面部においてn型不純物拡散層2に電気的に接続している。なお、便宜上、図1、図2、図4および図5においては、受光面バス電極12Bが2列に設けられている場合を示している。   In addition, a light receiving surface bus electrode 12B that is electrically connected to the light receiving surface grid electrode 12G is provided orthogonal to the light receiving surface grid electrode 12G in the in-plane direction of the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11. As shown in FIG. 7, the light-receiving surface bus electrodes 12 </ b> B are provided in four lines in a line over almost the entire length of the solar cells 10 along the first direction that is the connecting direction of the solar cells 10. . That is, the longitudinal direction of the light-receiving surface bus electrode 12 </ b> B is the same direction as the first direction described above, and is a connection direction of the plurality of solar cells 10 connected by the lead wires 20. The light receiving surface bus electrode 12B is arranged in the same direction as the second direction orthogonal to the first direction in the surface of the semiconductor substrate 11. The light receiving surface bus electrode 12B is connected to all the light receiving surface grid electrodes 12G. The light-receiving surface bus electrode 12B is electrically connected to the n-type impurity diffusion layer 2 at the bottom surface portion. For convenience, FIGS. 1, 2, 4 and 5 show a case where the light receiving surface bus electrodes 12B are provided in two rows.

受光面バス電極12Bは、受光面グリッド電極12Gに集められた光電流を集電するため、およびリード線20と電気的に接合するために設けられる電極である。受光面バス電極12Bは、金属粒子を有する導電性ペーストを所望の範囲に塗布して焼成することで形成されたペースト電極である。受光面バス電極12Bには、太陽電池セル10を用いて太陽電池モジュール100を製造する際に、図9および図10に示すようにリード線20がはんだ付けされる。なお、図9および図10においては、受光面電極12のうち受光面バス電極12Bのみを示している。   The light-receiving surface bus electrode 12B is an electrode provided for collecting the photocurrent collected by the light-receiving surface grid electrode 12G and electrically joining the lead wire 20. The light-receiving surface bus electrode 12B is a paste electrode formed by applying and baking a conductive paste having metal particles in a desired range. When the solar cell module 100 is manufactured using the solar cells 10, the lead wires 20 are soldered to the light receiving surface bus electrodes 12 </ b> B as shown in FIGS. 9 and 10. 9 and 10, only the light receiving surface bus electrode 12B of the light receiving surface electrode 12 is shown.

図11は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の受光面バス電極12Bの形状を示す平面図である。受光面バス電極12Bの内側には、図7および図11に示すように、受光面バス電極12Bを厚み方向に貫通した複数の貫通孔60が、太陽電池セル10の面内方向、すなわち半導体基板11の面内方向において第1の方向に沿って飛び石状に設けられている。図7においては、一例として第1の方向に沿って7つの貫通孔60が受光面バス電極12Bに設けられている場合について示している。   FIG. 11 is a plan view showing the shape of the light-receiving surface bus electrode 12B of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 7 and 11, a plurality of through holes 60 penetrating the light receiving surface bus electrode 12B in the thickness direction are provided in the light receiving surface bus electrode 12B in the in-plane direction of the solar battery cell 10, that is, the semiconductor substrate. 11 is provided in a stepping stone shape along the first direction in the in-plane direction. FIG. 7 shows a case where seven through holes 60 are provided in the light-receiving surface bus electrode 12B along the first direction as an example.

すなわち、受光面バス電極12Bは、第1の方向において、貫通孔60が設けられていない複数の第1領域61と、貫通孔60が設けられた複数の第2領域62とを備える。複数の第1領域61と複数の第2領域62とは、受光面バス電極12Bの伸長方向において、すなわち第1の方向において交互に設けられている。第2領域62においては、受光面バス電極12Bの幅方向における外縁領域に設けられた接続部63によって、受光面バス電極12Bの伸長方向において隣り合う第1領域61同士を接続する。したがって、1本の受光面バス電極12Bにおける全ての第1領域61および第2領域62とは電気的に接続されている。   That is, the light-receiving surface bus electrode 12B includes a plurality of first regions 61 in which the through holes 60 are not provided and a plurality of second regions 62 in which the through holes 60 are provided in the first direction. The plurality of first regions 61 and the plurality of second regions 62 are alternately provided in the extending direction of the light-receiving surface bus electrode 12B, that is, in the first direction. In the second region 62, adjacent first regions 61 in the extending direction of the light-receiving surface bus electrode 12B are connected to each other by a connection portion 63 provided in the outer edge region in the width direction of the light-receiving surface bus electrode 12B. Accordingly, all the first regions 61 and the second regions 62 in one light-receiving surface bus electrode 12B are electrically connected.

また、受光面バス電極12Bへのリード線20のはんだ付けは、主として第1領域61とリード線20とのはんだ付けにより行われる。したがって、受光面バス電極12Bとリード線20とのはんだ付け面積は、第1領域61とリード線20とのはんだ付け面積に近似される。   Further, the soldering of the lead wire 20 to the light receiving surface bus electrode 12B is mainly performed by soldering the first region 61 and the lead wire 20. Therefore, the soldering area between the light receiving surface bus electrode 12 </ b> B and the lead wire 20 is approximated to the soldering area between the first region 61 and the lead wire 20.

受光面バス電極12Bに複数の貫通孔60を設けることにより、受光面バス電極12Bに使用する電極材料の使用量を低減することができ、太陽電池セル10の製造コストを低減することができる。   By providing the plurality of through holes 60 in the light-receiving surface bus electrode 12B, the amount of electrode material used for the light-receiving surface bus electrode 12B can be reduced, and the manufacturing cost of the solar battery cell 10 can be reduced.

また、貫通孔60の寸法および位置は、後述する裏面接続電極13Bの寸法および位置に合わせればよい。裏面接続電極13Bの寸法および位置は、太陽電池セル10の特性を考慮して決められる。   Further, the size and position of the through hole 60 may be matched with the size and position of the back surface connection electrode 13B described later. The dimension and position of the back connection electrode 13B are determined in consideration of the characteristics of the solar battery cell 10.

また、受光面バス電極12Bに貫通孔60を設けることに起因した受光面バス電極12Bの電気抵抗の増加は、受光面バス電極12Bの高さを高くすることによって抑制することが可能である。   Further, an increase in the electrical resistance of the light receiving surface bus electrode 12B due to the provision of the through hole 60 in the light receiving surface bus electrode 12B can be suppressed by increasing the height of the light receiving surface bus electrode 12B.

また、受光面バス電極12Bは、図11に示すように、長手方向にわたって同一幅とされており、第1領域61における幅と第2領域62における幅とが等しく、かつ第2の方向における両端部が、第1の方向に平行な直線状とされている。第2の方向は、図11においてY方向に対応する。そして、太陽電池セル10の電極へリード線20を接続して太陽電池モジュール100を製造する際には、受光面バス電極12Bと同じ幅のリード線20が、第2の方向における位置を受光面バス電極12Bに合わせて受光面バス電極12B上に重ねた状態で、受光面バス電極12Bにはんだ付けされる。   As shown in FIG. 11, the light-receiving surface bus electrode 12B has the same width in the longitudinal direction, the width in the first region 61 is equal to the width in the second region 62, and both ends in the second direction. The part is a straight line parallel to the first direction. The second direction corresponds to the Y direction in FIG. Then, when manufacturing the solar cell module 100 by connecting the lead wire 20 to the electrode of the solar battery cell 10, the lead wire 20 having the same width as the light receiving surface bus electrode 12B is positioned at the position in the second direction. The light-receiving surface bus electrode 12B is soldered to the light-receiving surface bus electrode 12B in a state of being overlapped with the bus electrode 12B.

図12は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の受光面バス電極12B上にリード線20をはんだ付けした状態を示す平面図である。図13は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の構成を示す断面図であり、図12におけるXIII−XIII線における要部断面図である。図14は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の構成を示す断面図であり、図12におけるXIV−XIV線における要部断面図である。   FIG. 12 is a plan view showing a state where the lead wire 20 is soldered onto the light-receiving surface bus electrode 12B of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 13 is a cross-sectional view showing the configuration of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII in FIG. FIG. 14 is a cross-sectional view showing the configuration of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention, and is a main-portion cross-sectional view taken along line XIV-XIV in FIG.

図13および図14に示すように、リード線20は、受光面バス電極12Bと平行に、且つリード線20の幅方向において受光面バス電極12Bと重なる位置で、受光面バス電極12B上に重ねて配置されて、受光面バス電極12Bの上面にはんだ付けされている。すなわち、受光面バス電極12Bには、第2の方向において、幅方向における受光面バス電極の側面12Baに、リード線の幅方向の側面20bが重なる状態で、リード線20がはんだ付けされる。受光面バス電極12Bにはんだ付けされた状態のリード線20の長手方向は、受光面バス電極12Bの長手方向と同じ方向であり、上述した第1の方向と同じ方向、すなわちX方向である。受光面バス電極12Bにはんだ付けされた状態のリード線20の幅方向は、受光面バス電極12Bの幅と同じ方向であり、上述した第2の方向と同じ方向、すなわちY方向である。   As shown in FIGS. 13 and 14, the lead wire 20 is overlapped on the light receiving surface bus electrode 12B in a position parallel to the light receiving surface bus electrode 12B and overlapping the light receiving surface bus electrode 12B in the width direction of the lead wire 20. And soldered to the upper surface of the light-receiving surface bus electrode 12B. That is, the lead wire 20 is soldered to the light-receiving surface bus electrode 12B in a state where the side surface 20b in the width direction of the lead wire overlaps the side surface 12Ba of the light-receiving surface bus electrode in the width direction in the second direction. The longitudinal direction of the lead wire 20 soldered to the light-receiving surface bus electrode 12B is the same direction as the longitudinal direction of the light-receiving surface bus electrode 12B, and is the same direction as the first direction described above, that is, the X direction. The width direction of the lead wire 20 soldered to the light-receiving surface bus electrode 12B is the same direction as the width of the light-receiving surface bus electrode 12B, and is the same direction as the second direction described above, that is, the Y direction.

図12に示すように、リード線20は、長手方向にわたって同一幅とされており、受光面バス電極12Bの幅と同じ幅で構成されている。したがって、図13に示すように、貫通孔60が設けられている複数の第2領域62では、リード線20の幅は、第2領域62の幅、すなわち第2の方向において対向する2つの接続部の外側の側面63a間の長さと同じ寸法である。接続部の外側の側面63aは、第2領域62における、受光面バス電極の側面12Baに対応する。図14に示すように、貫通孔60が設けられていない複数の第1領域61では、リード線20の幅は、第1領域61の幅、すなわち第2の方向における第1領域61の長さと同じ寸法である。   As shown in FIG. 12, the lead wire 20 has the same width in the longitudinal direction, and has the same width as the width of the light-receiving surface bus electrode 12B. Therefore, as shown in FIG. 13, in the plurality of second regions 62 provided with the through holes 60, the width of the lead wire 20 is the width of the second region 62, that is, two connections facing each other in the second direction. This is the same dimension as the length between the outer side surfaces 63a of the part. The outer side surface 63a of the connection portion corresponds to the side surface 12Ba of the light receiving surface bus electrode in the second region 62. As shown in FIG. 14, in the plurality of first regions 61 where the through hole 60 is not provided, the width of the lead wire 20 is the width of the first region 61, that is, the length of the first region 61 in the second direction. Same dimensions.

貫通孔60が設けられた複数の第2領域62における、受光面バス電極12Bへのリード線20のはんだ付けは、受光面バス電極12Bの幅方向における外縁領域に設けられた接続部63とリード線20とのはんだ付けにより、リード線20の幅方向における両端部で行われている。   Soldering of the lead wire 20 to the light-receiving surface bus electrode 12B in the plurality of second regions 62 provided with the through-holes 60 leads to the connection portion 63 provided in the outer edge region in the width direction of the light-receiving surface bus electrode 12B. The soldering with the wire 20 is performed at both ends in the width direction of the lead wire 20.

受光面バス電極12Bの幅は、0.6mm以上、1.2mm以下である。受光面グリッド電極12Gの幅は、30μm以上、80μm以下である。接続部63の幅は、60μm以上、160μm以下である。接続部63の幅は、受光面バス電極12Bの幅に対して、1/15以上、1/5以下程度の幅である。受光面バス電極12Bの幅が上記の範囲である場合には、受光面バス電極12Bに使用する電極材料の使用量の低減、および貫通孔60を設けることに起因した受光面バス電極12Bの電気抵抗の増加といったことを考慮すると、接続部63の幅は、受光面バス電極12Bの幅の1/10程度の幅が最も好ましい。   The width of the light receiving surface bus electrode 12B is 0.6 mm or more and 1.2 mm or less. The width of the light receiving surface grid electrode 12G is 30 μm or more and 80 μm or less. The width of the connection part 63 is 60 μm or more and 160 μm or less. The width of the connecting portion 63 is about 1/15 or more and 1/5 or less of the width of the light receiving surface bus electrode 12B. When the width of the light-receiving surface bus electrode 12B is within the above range, the amount of electrode material used for the light-receiving surface bus electrode 12B is reduced, and the electrical property of the light-receiving surface bus electrode 12B due to the provision of the through hole 60 Considering the increase in resistance, the width of the connecting portion 63 is most preferably about 1/10 of the width of the light receiving surface bus electrode 12B.

また、受光面グリッド電極12Gの幅が上記の範囲である場合には、接続部63の幅は、受光面グリッド電極12Gの幅に対して、2倍程度の幅である。受光面バス電極12Bに使用する電極材料の使用量の低減、および貫通孔60を設けることに起因した受光面バス電極12Bの電気抵抗の増加といったことを考慮すると、接続部63の幅は、受光面バス電極12Bの高さにもよるが受光面グリッド電極12Gの幅の2倍程度の幅が最も好ましい。   Further, when the width of the light receiving surface grid electrode 12G is in the above range, the width of the connecting portion 63 is about twice as large as the width of the light receiving surface grid electrode 12G. In consideration of the reduction in the amount of electrode material used for the light-receiving surface bus electrode 12B and the increase in the electrical resistance of the light-receiving surface bus electrode 12B due to the provision of the through holes 60, the width of the connecting portion 63 is the light receiving Although it depends on the height of the surface bus electrode 12B, a width of about twice the width of the light receiving surface grid electrode 12G is most preferable.

受光面グリッド電極12Gの幅を細線化した場合には、受光面グリッド電極12Gの幅を細線化した分だけ受光面グリッド電極12Gの本数を増やすと、受光量と電極抵抗損失とが同じ状態で、キャリアが受光面グリッド電極12Gに到達するまでにn型不純物拡散層2中を流れる距離が短くなるためn型不純物拡散層2での抵抗損失が減る。このため、受光面グリッド電極12Gの幅の細線化は、抵抗損失の観点から好ましい。しかしながら、受光面グリッド電極12Gの幅は、製造上の制限から、下限幅が選択される。特に、安価なスクリーン印刷で受光面グリッド電極12Gを形成する場合、細線化において形成可能な受光面グリッド電極12Gの下限幅は30μm以上、100μm以下が限界である。   When the width of the light receiving surface grid electrode 12G is thinned, if the number of the light receiving surface grid electrodes 12G is increased by the thinning of the width of the light receiving surface grid electrode 12G, the amount of received light and the electrode resistance loss are the same. Since the distance through which the carriers flow through the n-type impurity diffusion layer 2 before reaching the light-receiving surface grid electrode 12G is shortened, the resistance loss in the n-type impurity diffusion layer 2 is reduced. For this reason, the thinning of the width of the light receiving surface grid electrode 12G is preferable from the viewpoint of resistance loss. However, the lower limit width is selected as the width of the light receiving surface grid electrode 12G due to manufacturing limitations. In particular, when the light receiving surface grid electrode 12G is formed by inexpensive screen printing, the lower limit width of the light receiving surface grid electrode 12G that can be formed in thinning is 30 μm or more and 100 μm or less.

接続部63の幅についても、電極材料の使用量の低減の観点から、細線化することが好ましい。しかしながら、製造上の制限および太陽電池セル10の特性の制限から、下限幅が選択される。受光面グリッド電極12Gと接続部63とは、受光面バス電極12Bとともに1枚の印刷マスクを用いて同時にスクリーン印刷により印刷される。したがって、スクリーン印刷により印刷された、受光面グリッド電極12Gの高さと接続部63の高さと受光面バス電極12Bの高さとは、同程度の高さとなる。受光面グリッド電極12Gの高さと接続部63の高さとが同じ高さである場合、接続部63には、数本、すなわち2,3本から5,6本の受光面グリッド電極12Gに流れる分の電流が流れるため、接続部63の幅は受光面グリッド電極12Gの2倍程度とすることが好ましい。   The width of the connecting portion 63 is also preferably made thin from the viewpoint of reducing the amount of electrode material used. However, the lower limit width is selected from the manufacturing limitations and the solar cell 10 characteristics. The light receiving surface grid electrode 12G and the connecting portion 63 are simultaneously printed by screen printing using a single print mask together with the light receiving surface bus electrode 12B. Accordingly, the height of the light receiving surface grid electrode 12G, the height of the connection portion 63, and the height of the light receiving surface bus electrode 12B printed by screen printing are approximately the same. When the height of the light receiving surface grid electrode 12G and the height of the connection portion 63 are the same height, the connection portion 63 has several, ie, two, three, five, and six light receiving surface grid electrodes 12G. Therefore, the width of the connecting portion 63 is preferably about twice that of the light receiving surface grid electrode 12G.

上述したように、受光面バス電極12Bは、第2の方向における両端部が、第1の方向に平行な直線状とされている。すなわち、受光面バス電極12Bは、第2の方向において対向する2つの接続部の外側の側面63aが、第1の方向に平行な直線状とされている。そして、太陽電池セル10の電極へリード線20を接続して太陽電池モジュール100を製造する際には、受光面バス電極12Bには、第2の方向において、幅方向における受光面バス電極の側面12Baに、リード線の幅方向の側面20bが重なる状態で、リード線20がはんだ付けされる。すなわち、受光面バス電極の側面12Baの位置と、リード線の幅方向の側面20bの位置と、が半導体基板11の受光面11Aの面内方向において同じ位置とされる。   As described above, both ends of the light-receiving surface bus electrode 12B in the second direction are linearly parallel to the first direction. That is, in the light receiving surface bus electrode 12B, the outer side surface 63a of the two connecting portions facing each other in the second direction is a straight line parallel to the first direction. When the solar cell module 100 is manufactured by connecting the lead wire 20 to the electrode of the solar battery cell 10, the light-receiving surface bus electrode 12B has a side surface of the light-receiving surface bus electrode in the width direction in the second direction. The lead wire 20 is soldered in a state where the side surface 20b in the width direction of the lead wire overlaps 12Ba. That is, the position of the side surface 12Ba of the light receiving surface bus electrode and the position of the side surface 20b in the width direction of the lead wire are the same in the in-plane direction of the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11.

したがって、リード線20が受光面バス電極12Bにはんだ付けされた状態において、接続部63は、第1領域61よりも外側に突出することがない。すなわち、リード線20が受光面バス電極12Bにはんだ付けされた状態で、接続部63は、半導体基板11の受光面11Aの面内方向において、リード線20に内包されている。   Therefore, in a state where the lead wire 20 is soldered to the light receiving surface bus electrode 12 </ b> B, the connection portion 63 does not protrude outward from the first region 61. That is, in a state where the lead wire 20 is soldered to the light receiving surface bus electrode 12B, the connection portion 63 is included in the lead wire 20 in the in-plane direction of the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11.

このため、太陽電池セル10は、半導体基板11の受光面11Aの面内方向において、リード線20の下面とはんだ付けされずにリード線20からはみ出した状態の接続部63が存在することに起因した、太陽電池セル10の受光量の低下を防止できる。すなわち、リード線20からはみ出した状態の受光面バス電極12Bが半導体基板11の受光面11Aに不要な影を形成することによる受光面積の減少を防止して、光電変換効率の低下を防止できる。   For this reason, the solar cell 10 is caused by the presence of the connecting portion 63 in a state of protruding from the lead wire 20 without being soldered to the lower surface of the lead wire 20 in the in-plane direction of the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11. Thus, a decrease in the amount of received light of the solar battery cell 10 can be prevented. That is, the light receiving surface bus electrode 12B protruding from the lead wire 20 prevents an unnecessary shadow from being formed on the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11, thereby preventing a decrease in photoelectric conversion efficiency.

たとえば、接続部63が第2の方向において第1領域61よりも外側に突出して設けられた場合には、接続部63は、受光面バス電極12Bに接続されたリード線20からはみ出した面積分だけ、太陽電池セル10の受光量が低下することになり、光電変換効率の低下の原因となる。   For example, when the connection portion 63 is provided so as to protrude outward from the first region 61 in the second direction, the connection portion 63 extends from the lead wire 20 connected to the light receiving surface bus electrode 12B. As a result, the amount of received light of the solar battery cell 10 is reduced, which causes a decrease in photoelectric conversion efficiency.

また、受光面バス電極12Bは、第2の方向における両端部が、第1の方向に平行な直線状とされているため、接続部63は、第1の方向において隣り合う第1領域61を半導体基板11の面内方向において最短距離で接続する。このため、受光面バス電極12Bに集電された光電流が、第1領域61よりも幅の狭い接続部63を流れることに起因した、第2領域62における抵抗損失を抑制することができる。   Further, since both end portions in the second direction of the light-receiving surface bus electrode 12B are formed in a straight line parallel to the first direction, the connection portion 63 connects the first regions 61 adjacent in the first direction. The semiconductor substrate 11 is connected with the shortest distance in the in-plane direction. For this reason, it is possible to suppress the resistance loss in the second region 62 caused by the photocurrent collected in the light-receiving surface bus electrode 12 </ b> B flowing through the connection portion 63 having a narrower width than the first region 61.

また、受光面グリッド電極12Gとリード線20とがはんだ付けされると、受光面グリッド電極12Gにはんだ付け時の応力が集中して受光面グリッド電極12Gが断線する場合がある。太陽電池セル10では、第2領域62では接続部63がリード線20とはんだ付けされ、受光面グリッド電極12Gとリード線20とははんだ付けされない。このため、太陽電池セル10は、受光面グリッド電極12Gとリード線20とのはんだ付けによる受光面グリッド電極12Gの断線を抑制することができる。   In addition, when the light receiving surface grid electrode 12G and the lead wire 20 are soldered, stress at the time of soldering concentrates on the light receiving surface grid electrode 12G and the light receiving surface grid electrode 12G may be disconnected. In the solar cell 10, the connection portion 63 is soldered to the lead wire 20 in the second region 62, and the light receiving surface grid electrode 12 </ b> G and the lead wire 20 are not soldered. For this reason, the photovoltaic cell 10 can suppress disconnection of the light receiving surface grid electrode 12G due to soldering between the light receiving surface grid electrode 12G and the lead wire 20.

また、太陽電池セル10は、太陽電池セル10の電極へリード線20を接続して太陽電池モジュール100を製造する際には、長手方向にわたって同一幅とされた一般的なリード線20を使用可能であり、太陽電池セル10専用の形状を有するリード線20が不要である。   Further, when the solar battery cell 10 is manufactured by connecting the lead wire 20 to the electrode of the solar battery cell 10 and manufacturing the solar battery module 100, the general lead wire 20 having the same width in the longitudinal direction can be used. Thus, the lead wire 20 having a shape exclusively for the solar battery cell 10 is not necessary.

太陽電池モジュール100は、長手方向にわたって同一幅とされた一般的なリード線20を使用する。これにより、太陽電池セル10にリード線20をはんだ付けする際に、受光面バス電極12Bとリード線20との長手方向における、太陽電池セル10とリード線20との位置決め、すなわち受光面バス電極12Bとリード線20との位置決めが不要になる。したがって、太陽電池モジュール100は、受光面バス電極12Bとリード線20との長手方向における任意の位置で、受光面バス電極12Bとリード線20とをはんだ付けできるため、製造が容易である。   The solar cell module 100 uses a general lead wire 20 having the same width in the longitudinal direction. Thereby, when the lead wire 20 is soldered to the solar battery cell 10, the positioning of the solar battery cell 10 and the lead wire 20 in the longitudinal direction of the light receiving surface bus electrode 12B and the lead wire 20, that is, the light receiving surface bus electrode. Positioning of 12B and the lead wire 20 becomes unnecessary. Therefore, the solar cell module 100 can be easily manufactured because the light-receiving surface bus electrode 12B and the lead wire 20 can be soldered at an arbitrary position in the longitudinal direction between the light-receiving surface bus electrode 12B and the lead wire 20.

一方、半導体基板の裏面11B側には、図6および図8に示すようにアルミニウム(Al)を含む裏面集電電極13Aおよび銀(Ag)を含むドット状の複数の裏面接続電極13Bが形成され、裏面電極13を構成している。また、半導体基板1の裏面の表層における裏面集電電極13Aに接する領域周辺には、開放電圧および短絡電流を向上させるための裏面電界層であり裏面集電電極13Aからアルミニウムが半導体基板1の裏面側の表層に高濃度に拡散したp+領域である裏面電界(BSF:Back Surface Field)層4が形成されている。   On the other hand, on the back surface 11B side of the semiconductor substrate, as shown in FIGS. 6 and 8, a back surface collecting electrode 13A containing aluminum (Al) and a plurality of dot-like back surface connecting electrodes 13B containing silver (Ag) are formed. The back electrode 13 is configured. In addition, a region around the surface of the back surface of the semiconductor substrate 1 that is in contact with the back surface collecting electrode 13A is a back surface electric field layer for improving the open-circuit voltage and the short-circuit current. A back surface field (BSF) layer 4 which is a p + region diffused at a high concentration is formed on the surface layer on the side.

裏面集電電極13Aは、BSF層4を形成するため、および太陽電池セル10で発電された光電流を半導体基板11の裏面11B側から集めるために設けられる電極であり、太陽電池セル10の裏面のほぼ全域を覆う。裏面集電電極13Aは、電極材料であるAlの金属粒子を有する導電性ペーストを所望の範囲に塗布して焼成することで形成されたペースト電極である。   The back surface collecting electrode 13 </ b> A is an electrode provided for forming the BSF layer 4 and collecting the photocurrent generated in the solar cell 10 from the back surface 11 </ b> B side of the semiconductor substrate 11. Cover almost the whole area. The back surface collecting electrode 13A is a paste electrode formed by applying a conductive paste having Al metal particles as an electrode material to a desired range and baking it.

また、裏面接続電極13Bは、裏面集電電極13Aで集電された光電流を外部に取り出し、外部電極とコンタクトを取るために設けられる電極である。すなわち、裏面接続電極13Bは、リード線20と接合するために設けられる電極である。裏面接続電極13Bは、受光面バス電極12Bと同様に、太陽電池セル10の連結方向である第1の方向に沿って設けられている。裏面接続電極13Bは、電極材料であるAgの金属粒子を有する導電性ペーストを所望の範囲に塗布して焼成することで形成されたペースト電極である。   The back connection electrode 13B is an electrode provided for taking out the photocurrent collected by the back surface collection electrode 13A to the outside and making contact with the external electrode. That is, the back surface connection electrode 13 </ b> B is an electrode provided for joining with the lead wire 20. Similar to the light receiving surface bus electrode 12B, the back surface connection electrode 13B is provided along a first direction that is a connecting direction of the solar cells 10. The back connection electrode 13B is a paste electrode formed by applying a conductive paste having Ag metal particles as an electrode material to a desired range and baking it.

裏面接続電極13Bは、半導体基板11を挟んで、受光面バス電極12Bと対向する位置に配置されている。また、裏面接続電極13Bは、図8に示すように太陽電池セル10の連結方向である第1の方向に沿って、太陽電池セル10のほぼ全長に渡って飛び石状に分散配置されて、4列に設けられている。裏面接続電極13Bを飛び石状に形成することにより、銀の使用量を抑えて製造コストを抑制することができる。   The back connection electrode 13B is disposed at a position facing the light receiving surface bus electrode 12B with the semiconductor substrate 11 in between. Further, as shown in FIG. 8, the back surface connection electrodes 13 </ b> B are dispersed and arranged in a stepping stone shape over almost the entire length of the solar battery cells 10 along the first direction that is the connection direction of the solar battery cells 10. It is provided in a row. By forming the back connection electrode 13B in a stepping stone shape, the amount of silver used can be suppressed and the manufacturing cost can be suppressed.

そして、裏面接続電極13Bの位置は、図9および図10に示すように、太陽電池セル10の面内方向、すなわち半導体基板11の面内方向において、受光面バス電極12Bにおける貫通孔60の位置と一致しない位置とされている。換言すると、受光面バス電極12Bの第1領域61と裏面接続電極13Bとは、半導体基板11を介して半導体基板11の厚み方向において相対する位置に配置されている。したがって、受光面バス電極12Bの第1領域61と裏面接続電極13Bとは、半導体基板11の面内において対応する位置に配置されている。   9 and 10, the position of the back surface connection electrode 13B is the position of the through hole 60 in the light receiving surface bus electrode 12B in the in-plane direction of the solar battery cell 10, that is, the in-plane direction of the semiconductor substrate 11. The position does not match. In other words, the first region 61 of the light-receiving surface bus electrode 12 </ b> B and the back surface connection electrode 13 </ b> B are arranged at opposing positions in the thickness direction of the semiconductor substrate 11 with the semiconductor substrate 11 interposed therebetween. Therefore, the first region 61 of the light-receiving surface bus electrode 12B and the back surface connection electrode 13B are arranged at corresponding positions in the surface of the semiconductor substrate 11.

したがって、1つの太陽電池セル10において、受光面側において受光面バス電極12Bにはんだ付けされるリード線20と、裏面側において裏面接続電極13Bに接続されるリード線20とは、太陽電池セル10の面内方向、すなわち半導体基板11の面内方向において、同じ位置で太陽電池セル10にはんだ付けされる。すなわち、1つの太陽電池セル10において、太陽電池セル10の受光面側にはんだ付けされるリード線20と、太陽電池セル10の裏面側にはんだ付けされるリード線20とは、半導体基板11の厚み方向において相対する位置ではんだ付けされる。   Therefore, in one solar cell 10, the lead wire 20 soldered to the light receiving surface bus electrode 12B on the light receiving surface side and the lead wire 20 connected to the back surface connecting electrode 13B on the back surface side In the in-plane direction of the semiconductor substrate 11, that is, in the in-plane direction of the semiconductor substrate 11, is soldered to the solar battery cell 10 at the same position. That is, in one solar battery cell 10, the lead wire 20 soldered to the light receiving surface side of the solar battery cell 10 and the lead wire 20 soldered to the back surface side of the solar battery cell 10 Soldering is performed at an opposite position in the thickness direction.

そして、太陽電池セル10の面内方向における、受光面バス電極12Bの第1領域61の面積と、裏面接続電極13Bの面積とをほぼ同じとすることで、受光面バス電極12Bとリード線20とのはんだ付け面積と、裏面接続電極13Bとリード線20とのはんだ付け面積とがほぼ等しくなる。   Then, the area of the first region 61 of the light receiving surface bus electrode 12B and the area of the back surface connection electrode 13B in the in-plane direction of the solar battery cell 10 are substantially the same, so that the light receiving surface bus electrode 12B and the lead wire 20 are the same. And the soldering area of the back connection electrode 13B and the lead wire 20 are substantially equal.

これにより、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10においては、複数の太陽電池セル10を形成するために太陽電池セル10にリード線20をはんだ付けした際の、リード線20と受光面バス電極12Bとの接続部およびリード線20と裏面接続電極13Bとの接続部に生じる内部応力のほとんどを相殺することができる。   Thereby, in the photovoltaic cell 10 concerning this Embodiment 1, when the lead wire 20 is soldered to the photovoltaic cell 10 in order to form the several photovoltaic cell 10, the lead wire 20 and the light-receiving surface bus | bath Most of the internal stress generated in the connection portion between the electrode 12B and the connection portion between the lead wire 20 and the back surface connection electrode 13B can be offset.

太陽電池セル10の電極へリード線20を接続して太陽電池モジュール100を製造する際には、図9および図10に示すようにリード線20が受光面バス電極12Bおよび裏面接続電極13Bにはんだ付けされる。受光面バス電極12Bが貫通孔60を有しておらず、裏面接続電極13Bが飛び石状に分散配置されている場合には、半導体基板11の面内における受光面バス電極12Bの面積と、半導体基板11の面内における裏面接続電極13Bの面積との差が大きくなる。このため、太陽電池モジュール100の作製時におけるリード線20のはんだ付けに起因して生じる、リード線20と受光面バス電極12Bとの接続部に生じる内部応力と、リード線20と裏面接続電極13Bとの接続部に生じる内部応力と、の差が大きくなる。この場合、太陽電池セル10の受光面側においてリード線20と受光面バス電極12Bとの接続部に生じる内部応力と、太陽電池セル10の裏面側においてリード線20と裏面接続電極13Bとの接続部に生じる内部応力と、の釣り合いが取れず、内部応力の差が太陽電池セル10の反りの要因となる。   When the solar cell module 100 is manufactured by connecting the lead wire 20 to the electrode of the solar battery cell 10, the lead wire 20 is soldered to the light receiving surface bus electrode 12B and the back surface connection electrode 13B as shown in FIGS. Attached. When the light-receiving surface bus electrode 12B does not have the through holes 60 and the back surface connection electrodes 13B are dispersed and arranged in a stepping stone shape, the area of the light-receiving surface bus electrode 12B in the surface of the semiconductor substrate 11 and the semiconductor The difference from the area of the back connection electrode 13B in the plane of the substrate 11 becomes large. For this reason, the internal stress which arises in the connection part of the lead wire 20 and the light-receiving surface bus electrode 12B which originates in the soldering of the lead wire 20 at the time of preparation of the solar cell module 100, and the lead wire 20 and the back surface connection electrode 13B. The difference between the internal stress and the internal stress generated in the connection portion increases. In this case, internal stress generated in the connection portion between the lead wire 20 and the light-receiving surface bus electrode 12B on the light-receiving surface side of the solar battery cell 10, and connection between the lead wire 20 and the back-surface connection electrode 13B on the back surface side of the solar battery cell 10. The internal stress generated in the portion cannot be balanced, and the difference in the internal stress causes the warpage of the solar battery cell 10.

この結果、金属からなるリード線20と半導体基板11のシリコンとの熱膨張係数の差に起因する反りが発生する。一般的にはリード線20を構成する金属の熱膨張係数が、シリコンの熱膨張係数より大きい。このため、受光面バス電極12Bが貫通孔60を有しておらず裏面接続電極13Bが飛び石状に分散配置されている場合、すなわち半導体基板11の面内における受光面バス電極12Bの面積が半導体基板11の面内における裏面接続電極13Bの面積よりも大きい場合には、はんだ付け後に太陽電池セル10には裏面側に凸となる反りが発生する。   As a result, warpage due to a difference in thermal expansion coefficient between the lead wire 20 made of metal and the silicon of the semiconductor substrate 11 occurs. In general, the thermal expansion coefficient of the metal constituting the lead wire 20 is larger than that of silicon. Therefore, when the light receiving surface bus electrode 12B does not have the through holes 60 and the back surface connection electrodes 13B are dispersed and arranged in a stepping stone shape, that is, the area of the light receiving surface bus electrode 12B in the surface of the semiconductor substrate 11 is the semiconductor. When the area of the back surface connection electrode 13B in the plane of the substrate 11 is larger than the area of the back surface connection electrode 13B, the solar cell 10 is warped convexly on the back surface side after soldering.

一方、太陽電池セル10においては、受光面バス電極12Bの第1領域61と裏面接続電極13Bとが、半導体基板11の面内において対応する位置に配置され、且つ太陽電池セル10の面内方向における、受光面バス電極12Bの第1領域61の面積と、裏面接続電極13Bの面積とがほぼ同じとされることで、受光面バス電極12Bとリード線20とのはんだ付け面積と、裏面接続電極13Bとリード線20とのはんだ付け面積とがほぼ等しくなる。これにより、はんだ付けによる受光面バス電極12Bとリード線20との固定位置と、はんだ付けによる裏面接続電極13Bとリード線20との固定位置とが、半導体基板11の面内において同じ位置となり、太陽電池セル10においては、太陽電池セル10の受光面側と裏面側とにおける上述した内部応力のバランスを取ることができる。このため、太陽電池セル10は、太陽電池モジュール100の作製時における太陽電池セル10へのリード線20のはんだ付けに起因した太陽電池セル10の反りを抑制することができる。したがって、太陽電池セル10は、太陽電池モジュール100の作製時における太陽電池セル10の反りによる太陽電池セル10の破損率を低減させることが可能である。   On the other hand, in the solar cell 10, the first region 61 of the light-receiving surface bus electrode 12 </ b> B and the back surface connection electrode 13 </ b> B are arranged at corresponding positions in the surface of the semiconductor substrate 11, and the in-plane direction of the solar cell 10. The area of the first region 61 of the light receiving surface bus electrode 12B and the area of the back surface connection electrode 13B are substantially the same so that the soldering area between the light receiving surface bus electrode 12B and the lead wire 20 and the back surface connection The soldering area between the electrode 13B and the lead wire 20 becomes substantially equal. Thereby, the fixing position of the light-receiving surface bus electrode 12B and the lead wire 20 by soldering and the fixing position of the back surface connection electrode 13B and the lead wire 20 by soldering become the same position in the surface of the semiconductor substrate 11, In the solar cell 10, the above-described internal stress can be balanced on the light receiving surface side and the back surface side of the solar cell 10. For this reason, the photovoltaic cell 10 can suppress the curvature of the photovoltaic cell 10 resulting from soldering of the lead wire 20 to the photovoltaic cell 10 at the time of production of the photovoltaic cell module 100. Therefore, the solar cell 10 can reduce the damage rate of the solar cell 10 due to the warp of the solar cell 10 when the solar cell module 100 is manufactured.

そして、太陽電池セル10の面内方向における、受光面バス電極12Bの第1領域61の面積と、裏面接続電極13Bの面積とを正確に同じ面積とすることによって、太陽電池セル10の受光面側と裏面側とにおける上述した内部応力のバランスを精度良く取ることができる。   And in the in-plane direction of the photovoltaic cell 10, the area of the 1st area | region 61 of the light-receiving surface bus electrode 12B and the area of the back surface connection electrode 13B are made into the exact same area, The light-receiving surface of the photovoltaic cell 10 The balance of the internal stress described above on the side and the back side can be accurately taken.

また、太陽電池セル10においては、上述したように太陽電池モジュール100の作製時における太陽電池セル10の反りを抑制できるため、半導体基板11の薄板化に対応することが可能であり、より薄い半導体基板11を用いて半導体基板11のコストを低減し、安価な太陽電池セル10の実現に対応可能である。   Moreover, in the photovoltaic cell 10, since the curvature of the photovoltaic cell 10 at the time of preparation of the photovoltaic module 100 can be suppressed as described above, it is possible to cope with the thinning of the semiconductor substrate 11, and a thinner semiconductor. It is possible to reduce the cost of the semiconductor substrate 11 using the substrate 11 and to realize an inexpensive solar battery cell 10.

なお、上述した本実施の形態1にかかる太陽電池セル10の構成は一例であり、バルク型の太陽電池セルの構造については上記の記載に限定されない。   In addition, the structure of the photovoltaic cell 10 concerning this Embodiment 1 mentioned above is an example, and is not limited to said description about the structure of a bulk type photovoltaic cell.

また、図7および図8においては、代表例として受光面バス電極12Bおよび裏面接続電極13Bが4本である場合について示しているが、受光面バス電極12Bおよび裏面接続電極13Bの本数は上記の記載に限定されない。   7 and 8 show a case where the number of the light receiving surface bus electrodes 12B and the back surface connecting electrodes 13B is four as a representative example, the number of the light receiving surface bus electrodes 12B and the back surface connecting electrodes 13B is as described above. It is not limited to description.

つぎに、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10の製法方法について、図15から図22を参照して説明する。図15は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の製造工程の手順を説明するフローチャートである。図16から図22は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セル10の製造工程を示す要部断面図である。なお、図20から図22では、図9に対応した図を示している。   Next, a method for manufacturing the solar battery cell 10 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 15 to 22. FIG. 15 is a flowchart for explaining the procedure of the manufacturing process of the solar battery cell 10 according to the first embodiment of the present invention. FIGS. 16-22 is principal part sectional drawing which shows the manufacturing process of the photovoltaic cell 10 concerning Embodiment 1 of this invention. 20 to 22 show diagrams corresponding to FIG.

まず、半導体基板1として、図16に示すように、例えば民生用太陽電池向けとして最も多く使用されている正方形状のp型単結晶シリコン基板を用意する。ここで、半導体基板1の厚さおよび寸法は特に限定されるものではないが、一例として半導体基板1の厚みは200μm、半導体基板1の面方向における外形寸法は156mm×156mmである。   First, as the semiconductor substrate 1, as shown in FIG. 16, for example, a square p-type single crystal silicon substrate that is most frequently used for consumer solar cells is prepared. Here, the thickness and dimensions of the semiconductor substrate 1 are not particularly limited. As an example, the thickness of the semiconductor substrate 1 is 200 μm, and the outer dimension in the surface direction of the semiconductor substrate 1 is 156 mm × 156 mm.

半導体基板1は、溶融したシリコンを冷却固化して形成されたシリコンインゴットをワイヤーソーでスライスすることで製造されるため、表面にスライス時のダメージが残っている。そこで、まずはダメージ層の除去も兼ねて、半導体基板1を酸溶液または加熱したアルカリ溶液中に浸漬して表面をエッチングすることにより、半導体基板1の切り出し時に発生して半導体基板1の表面近くに存在するダメージ領域を取り除く。アルカリ溶液の一例としては、水酸化ナトリウム水溶液が挙げられる。   Since the semiconductor substrate 1 is manufactured by slicing a silicon ingot formed by cooling and solidifying molten silicon with a wire saw, damage at the time of slicing remains on the surface. Therefore, first, the semiconductor substrate 1 is immersed in an acid solution or a heated alkaline solution to etch the surface while also removing the damaged layer, and is generated when the semiconductor substrate 1 is cut out and close to the surface of the semiconductor substrate 1. Remove existing damage areas. An example of the alkaline solution is an aqueous sodium hydroxide solution.

つぎに、ステップS10において、半導体基板1における受光面側の表面にテクスチャー構造として図示しない微小凹凸が形成される。微小凹凸は、たとえばアルカリ性水溶液である水酸化ナトリウムとイソプロピルアルコールとの混合溶液に半導体基板1を浸漬して半導体基板1のウェットエッチングを行うことで形成される。   Next, in step S <b> 10, minute unevenness (not shown) is formed as a texture structure on the light receiving surface side surface of the semiconductor substrate 1. The minute irregularities are formed, for example, by immersing the semiconductor substrate 1 in a mixed solution of sodium hydroxide and isopropyl alcohol, which is an alkaline aqueous solution, and performing wet etching of the semiconductor substrate 1.

つぎに、ステップS20において、テクスチャー構造として表面に微小凹凸が形成された半導体基板1を熱拡散炉へ投入し、n型の不純物であるリン(P)の雰囲気下で加熱して半導体基板1の全面にpn接合を形成する。この工程によって半導体基板1の表面から半導体基板1にリンを拡散させて、図17に示すように半導体基板1の表層にn型不純物拡散層2を形成してpn接合を形成する。これにより、pn接合が構成された半導体基板11が得られる。   Next, in step S20, the semiconductor substrate 1 having fine textures formed on the surface as a texture structure is put into a thermal diffusion furnace and heated in an atmosphere of phosphorus (P) which is an n-type impurity to A pn junction is formed on the entire surface. Through this process, phosphorus is diffused from the surface of the semiconductor substrate 1 to the semiconductor substrate 1 to form an n-type impurity diffusion layer 2 on the surface layer of the semiconductor substrate 1 as shown in FIG. Thereby, the semiconductor substrate 11 having a pn junction is obtained.

n型不純物拡散層2の形成は、たとえば半導体基板1を熱拡散炉に投入し、オキシ塩化リン(POCl)ガスと酸素ガスとの混合雰囲気中において、例えば750℃から900℃程度の温度で加熱することにより行われる。半導体基板1の表層に拡散させるリンの濃度は、オキシ塩化リンガスの濃度、雰囲気温度および加熱時間などの条件により制御することが可能である。ここで、n型不純物拡散層2の形成後の表面には、リンの酸化物を主成分とするシリコン酸化膜とリン酸化物との混成物である図示しないリンガラス層が形成されている。このため、n型不純物拡散層2の表面のリンガラス層が、フッ酸水溶液といった薬剤を用いて除去される。The n-type impurity diffusion layer 2 is formed, for example, by putting the semiconductor substrate 1 into a thermal diffusion furnace and in a mixed atmosphere of phosphorus oxychloride (POCl 3 ) gas and oxygen gas, for example, at a temperature of about 750 ° C. to 900 ° C. This is done by heating. The concentration of phosphorus diffused in the surface layer of the semiconductor substrate 1 can be controlled by conditions such as the concentration of phosphorus oxychloride gas, the ambient temperature, and the heating time. Here, on the surface after the formation of the n-type impurity diffusion layer 2, a phosphor glass layer (not shown), which is a hybrid of a silicon oxide film containing phosphorous oxide as a main component and phosphorous oxide, is formed. For this reason, the phosphorus glass layer on the surface of the n-type impurity diffusion layer 2 is removed using a chemical such as a hydrofluoric acid aqueous solution.

つぎに、ステップS30において、p型電極である裏面電極13とn型電極である受光面電極12とを電気的に絶縁するpn分離工程が行われて、図18に示すように半導体基板11の端部のn型不純物拡散層2が除去される。n型不純物拡散層2は、半導体基板1の表面に一様に形成されるので、半導体基板11の受光面11Aと裏面11Bとは電気的に接続された状態にある。このため、半導体基板11に裏面電極13と受光面電極12とを形成した場合には、裏面電極13と受光面電極12とが電気的に接続される。この電気的接続を遮断するために、pn分離が行われる。pn分離は、例えばプラズマエッチングを用いた端面エッチングまたはレーザ加工を用いた溶融分離などが例示される。   Next, in step S30, a pn separation step for electrically insulating the back electrode 13 as a p-type electrode and the light-receiving surface electrode 12 as an n-type electrode is performed, and as shown in FIG. The end n-type impurity diffusion layer 2 is removed. Since the n-type impurity diffusion layer 2 is uniformly formed on the surface of the semiconductor substrate 1, the light receiving surface 11A and the back surface 11B of the semiconductor substrate 11 are in an electrically connected state. Therefore, when the back electrode 13 and the light receiving surface electrode 12 are formed on the semiconductor substrate 11, the back electrode 13 and the light receiving surface electrode 12 are electrically connected. In order to break this electrical connection, pn separation is performed. Examples of the pn separation include end face etching using plasma etching or melt separation using laser processing.

つぎに、ステップS40において、半導体基板11の受光面側に、すなわちn型不純物拡散層2上に、表面保護および光電変換効率改善のために、図19に示すように反射防止膜3としてたとえば窒化シリコン(SiN)膜が形成される。反射防止膜3の形成には、例えばプラズマ化学気相成長(Plasma−Enhanced Chemical Vapor Deposition:PECVD)法を使用し、シランとアンモニアとの混合ガスを用いて反射防止膜3として窒化シリコン膜を形成する。反射防止膜3の膜厚および屈折率は、光反射を最も抑制する値に設定する。   Next, in step S40, on the light receiving surface side of the semiconductor substrate 11, that is, on the n-type impurity diffusion layer 2, for example, nitriding as an antireflection film 3 as shown in FIG. 19 for surface protection and photoelectric conversion efficiency improvement. A silicon (SiN) film is formed. The antireflection film 3 is formed by using, for example, a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method, and a silicon nitride film is formed as the antireflection film 3 using a mixed gas of silane and ammonia. To do. The film thickness and refractive index of the antireflection film 3 are set to values that most suppress light reflection.

つぎに、電極が形成される。まず、ステップS50において、半導体基板11の受光面側に受光面電極12がスクリーン印刷によって印刷される。すなわち、図20に示すように銀とガラスフリットとを含む電極材料ペーストである銀電極ペースト12aが、半導体基板11の受光面側の反射防止膜3上に、受光面電極12の形状に印刷される。ここで、銀電極ペースト12aは、図7および図11に示した、複数の第1領域61と複数の第2領域62とを備える受光面バス電極12Bの形状に印刷される。その後、銀電極ペースト12aを乾燥させる。   Next, an electrode is formed. First, in step S50, the light receiving surface electrode 12 is printed on the light receiving surface side of the semiconductor substrate 11 by screen printing. That is, as shown in FIG. 20, a silver electrode paste 12a, which is an electrode material paste containing silver and glass frit, is printed in the shape of the light receiving surface electrode 12 on the antireflection film 3 on the light receiving surface side of the semiconductor substrate 11. The Here, the silver electrode paste 12a is printed in the shape of the light-receiving surface bus electrode 12B including the plurality of first regions 61 and the plurality of second regions 62 shown in FIGS. Thereafter, the silver electrode paste 12a is dried.

つぎに、ステップS60において、半導体基板11の裏面に裏面電極13がスクリーン印刷によって印刷される。裏面集電電極13Aの印刷と裏面接続電極13Bの印刷とは、どちらが先に行われても問題ないが、ここでは裏面接続電極13Bを先に印刷する場合について示す。   Next, in step S60, the back electrode 13 is printed on the back surface of the semiconductor substrate 11 by screen printing. The printing of the back surface collecting electrode 13A and the printing of the back surface connecting electrode 13B do not cause any problem, but here, the case where the back surface connecting electrode 13B is printed first is shown.

まず、図21に示すように半導体基板11における裏面に、銀とガラスフリットとを含む電極材料ペーストである銀電極ペースト13bが、裏面接続電極13Bの形状に印刷される。銀電極ペースト13bは、半導体基板11の裏面の面内において、半導体基板11の受光面における受光面バス電極12Bの第1領域61が形成される位置に対応した位置に開口パターンを有する印刷マスクを使用して印刷される。その後、銀電極ペースト13bを200℃の温度で5分間乾燥させる。   First, as shown in FIG. 21, a silver electrode paste 13b, which is an electrode material paste containing silver and glass frit, is printed on the back surface of the semiconductor substrate 11 in the shape of the back surface connection electrode 13B. The silver electrode paste 13b is a print mask having an opening pattern at a position corresponding to a position where the first region 61 of the light receiving surface bus electrode 12B is formed on the light receiving surface of the semiconductor substrate 11 in the back surface of the semiconductor substrate 11. Printed using. Thereafter, the silver electrode paste 13b is dried at a temperature of 200 ° C. for 5 minutes.

つぎに、図21に示すように半導体基板11における裏面に、アルミニウムとガラスフリットとを含む電極材料ペーストであるアルミニウム電極ペースト13aが裏面集電電極13Aの形状に印刷される。アルミニウム電極ペースト13aは、半導体基板11の裏面の面内において、裏面接続電極13Bの印刷領域および外縁領域の一部を除いた裏面全体に開口パターンを有する印刷マスクを使用して印刷される。なお、アルミニウム電極ペースト13aは、少なくとも一部が銀電極ペースト13bに電気的に接続する状態に印刷される。その後、アルミニウム電極ペースト13aを200℃の温度で5分間乾燥させる。   Next, as shown in FIG. 21, an aluminum electrode paste 13a, which is an electrode material paste containing aluminum and glass frit, is printed on the back surface of the semiconductor substrate 11 in the shape of the back surface collecting electrode 13A. The aluminum electrode paste 13a is printed using a print mask having an opening pattern on the entire back surface of the back surface of the semiconductor substrate 11 except for a part of the print region of the back surface connection electrode 13B and an outer edge region. The aluminum electrode paste 13a is printed so that at least a part thereof is electrically connected to the silver electrode paste 13b. Thereafter, the aluminum electrode paste 13a is dried at a temperature of 200 ° C. for 5 minutes.

その後、ステップS70において、印刷されたペーストの焼成処理を実施する電極焼成が行われる。半導体基板11に印刷された電極ペーストを焼成することで、図22に示すように受光面電極12としての受光面グリッド電極12Gおよび受光面バス電極12Bと、裏面電極13としての裏面集電電極13Aおよび裏面接続電極13Bと、が得られる。焼成は、赤外線加熱炉を用いて、大気雰囲気中において750℃以上、且つ900℃以下程度で行われる。焼成温度の選択は、太陽電池セル10の構造および電極ペーストの種類を考慮して行う。   Thereafter, in step S70, electrode firing is performed to perform a firing process on the printed paste. By firing the electrode paste printed on the semiconductor substrate 11, as shown in FIG. 22, the light receiving surface grid electrode 12G and the light receiving surface bus electrode 12B as the light receiving surface electrode 12, and the back surface collecting electrode 13A as the back electrode 13 And the back connection electrode 13B. Firing is performed at about 750 ° C. or more and 900 ° C. or less in an air atmosphere using an infrared heating furnace. The selection of the firing temperature is performed in consideration of the structure of the solar battery cell 10 and the type of electrode paste.

焼成によって、半導体基板11の受光面側では、受光面電極12の銀が絶縁膜である反射防止膜3をファイヤースルーして貫通し、n型不純物拡散層2と受光面電極12とが電気的に接続する。これにより、n型不純物拡散層2は、受光面電極12と良好な抵抗性接合を得ることができる。   By baking, on the light receiving surface side of the semiconductor substrate 11, the silver of the light receiving surface electrode 12 penetrates through the antireflection film 3 which is an insulating film through the fire, and the n-type impurity diffusion layer 2 and the light receiving surface electrode 12 are electrically connected. Connect to. Thereby, the n-type impurity diffusion layer 2 can obtain a good resistive junction with the light-receiving surface electrode 12.

一方、半導体基板11の裏面側では、アルミニウム電極ペースト13aおよび銀電極ペースト13bが焼成されて、裏面集電電極13Aと裏面接続電極13Bとが形成されると共に、アルミニウムと銀とによって構成される図示しない合金部が形成される。   On the other hand, on the back surface side of the semiconductor substrate 11, the aluminum electrode paste 13a and the silver electrode paste 13b are baked to form the back surface collecting electrode 13A and the back surface connection electrode 13B, and are configured by aluminum and silver. The alloy part which does not do is formed.

裏面集電電極13Aが形成される際、アルミニウム電極ペースト13aは、半導体基板11の裏面のp型の単結晶シリコンとも反応し、反応後に固化することによって、アルミニウムを含むp+層であるBSF層4が形成される。すなわち、半導体基板11の裏面11B側に形成されていたn型不純物拡散層2のうち裏面集電電極13Aの直下の領域が、アルミニウムの拡散によりBSF層4に変わる。また、半導体基板11の裏面側に形成されていたn型不純物拡散層2のうち、裏面集電電極13Aの直下以外の領域は、アルミニウムが拡散されてp型の領域になる。   When the back surface collecting electrode 13A is formed, the aluminum electrode paste 13a also reacts with the p-type single crystal silicon on the back surface of the semiconductor substrate 11 and solidifies after the reaction, whereby the BSF layer 4 which is a p + layer containing aluminum. Is formed. That is, in the n-type impurity diffusion layer 2 formed on the back surface 11B side of the semiconductor substrate 11, the region immediately below the back surface collecting electrode 13A is changed to the BSF layer 4 by the diffusion of aluminum. Further, in the n-type impurity diffusion layer 2 formed on the back surface side of the semiconductor substrate 11, the region other than the region immediately below the back surface collecting electrode 13 </ b> A is diffused into a p-type region.

つぎに、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10を備える太陽電池モジュール100を製造する方法について説明する。図23は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池モジュール100の製造方法の手順を示すフローチャートである。   Below, the method to manufacture the solar cell module 100 provided with the photovoltaic cell 10 concerning this Embodiment 1 is demonstrated. FIG. 23 is a flowchart showing the procedure of the method for manufacturing the solar cell module 100 according to the first embodiment of the present invention.

まず、ステップS110において、一方の太陽電池セル10の受光面バス電極12Bと他方の太陽電池セル10の裏面接続電極13Bとにリード線20をはんだ付けして接合することによって、複数の太陽電池セル10がリード線20によって電気的に接続され、太陽電池ストリング50が形成される。   First, in step S110, a plurality of solar cells are formed by soldering and joining the lead wires 20 to the light-receiving surface bus electrode 12B of one solar cell 10 and the back surface connection electrode 13B of the other solar cell 10. 10 are electrically connected by the lead wire 20, and the solar cell string 50 is formed.

つぎに、ステップS120において、受光面保護部31上に、受光面側封止材33のシート、太陽電池ストリング50、裏面側封止材34のシート、裏面保護部32が順次積層され、積層体が形成される。   Next, in step S120, the sheet of the light receiving surface side sealing material 33, the solar cell string 50, the sheet of the back surface side sealing material 34, and the back surface protection portion 32 are sequentially stacked on the light receiving surface protection portion 31, and the laminate. Is formed.

つぎに、ステップS130において、積層体をラミネート装置に装着し、140℃以上、且つ160℃以下程度の温度で30分前後の熱処理およびラミネート処理を行う。これにより、積層体の各部材が、受光面側封止材33および裏面側封止材34を介して一体化され、太陽電池モジュール100が得られる。   Next, in step S130, the laminate is mounted on a laminating apparatus, and heat treatment and laminating treatment are performed for about 30 minutes at a temperature of about 140 ° C. or higher and 160 ° C. or lower. Thereby, each member of a laminated body is integrated via the light-receiving surface side sealing material 33 and the back surface side sealing material 34, and the solar cell module 100 is obtained.

その後、太陽電池モジュール100の外縁部が全周にわたってフレーム40によって保持される。   Thereafter, the outer edge of the solar cell module 100 is held by the frame 40 over the entire circumference.

上述したように、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10は、受光面バス電極12Bに複数の貫通孔60が設けられている。これにより、太陽電池セル10においては、受光面バス電極12Bに使用する電極材料の使用量を低減することが可能であり、太陽電池セル10の製造コストを低減することが可能である。   As described above, in the solar battery cell 10 according to the first embodiment, the plurality of through holes 60 are provided in the light receiving surface bus electrode 12B. Thereby, in the photovoltaic cell 10, the usage-amount of the electrode material used for the light-receiving surface bus electrode 12B can be reduced, and the manufacturing cost of the photovoltaic cell 10 can be reduced.

また、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10は、受光面バス電極12Bの第1領域61と裏面接続電極13Bとが、半導体基板11の面内において対応する位置に配置され、半導体基板11を介して半導体基板11の厚み方向において相対している。これにより、太陽電池セル10は、太陽電池モジュール100の作製時の太陽電池セル10へのリード線20のはんだ付けに起因した太陽電池セル10の反りを抑制することができ、太陽電池モジュール100の作製時における太陽電池セル10の反りによる太陽電池セル10の破損率を低減させることが可能である。   Further, in the solar cell 10 according to the first embodiment, the first region 61 of the light-receiving surface bus electrode 12B and the back surface connection electrode 13B are arranged at corresponding positions in the surface of the semiconductor substrate 11, and the semiconductor substrate 11 Through the semiconductor substrate 11 in the thickness direction. Thereby, the photovoltaic cell 10 can suppress the curvature of the photovoltaic cell 10 resulting from the soldering of the lead wire 20 to the photovoltaic cell 10 at the time of production of the photovoltaic cell module 100. It is possible to reduce the breakage rate of the solar battery cell 10 due to the warp of the solar battery cell 10 at the time of production.

また、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10では、受光面バス電極12Bは、長手方向にわたって同一幅とされ、第2の方向における両端部が第1の方向に平行な直線状である。受光面バス電極12Bの幅は、受光面バス電極12Bの幅に接続される、長手方向にわたって同一幅とされたリード線20の幅と同じ幅とされている。そして、太陽電池モジュール100の作製時には、第2の方向における受光面バス電極12Bの両側の受光面バス電極の側面12Baの位置と、第2の方向におけるリード線20の両側のリード線の幅方向の側面20bの位置と、が半導体基板11の受光面11Aの面内方向において同じ位置とされる。受光面バス電極の側面12Baの位置と、リード線の幅方向の側面20bの位置と、が半導体基板11の受光面11Aの面内方向において同じ位置とされる。これにより、太陽電池セル10は、半導体基板11の受光面11Aの面内方向においてリード線20からはみ出した受光面バス電極12Bに起因した、太陽電池セル10の受光量の低下を防止して、光電変換効率の低下を防止できる。   Moreover, in the photovoltaic cell 10 concerning this Embodiment 1, the light-receiving surface bus electrode 12B is made into the same width | variety over a longitudinal direction, and the both ends in a 2nd direction are linear form parallel to a 1st direction. The width of the light receiving surface bus electrode 12B is the same as the width of the lead wire 20 connected to the width of the light receiving surface bus electrode 12B and having the same width in the longitudinal direction. When the solar cell module 100 is manufactured, the position of the side surface 12Ba of the light receiving surface bus electrode on both sides of the light receiving surface bus electrode 12B in the second direction and the width direction of the lead wires on both sides of the lead wire 20 in the second direction. The position of the side surface 20 b of the semiconductor substrate 11 is the same position in the in-plane direction of the light receiving surface 11 A of the semiconductor substrate 11. The position of the side surface 12Ba of the light receiving surface bus electrode and the position of the side surface 20b in the width direction of the lead wire are the same in the in-plane direction of the light receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11. Thereby, the solar cell 10 prevents a decrease in the amount of light received by the solar cell 10 due to the light-receiving surface bus electrode 12B protruding from the lead wire 20 in the in-plane direction of the light-receiving surface 11A of the semiconductor substrate 11. A decrease in photoelectric conversion efficiency can be prevented.

また、太陽電池セル10は、太陽電池モジュール100の作製時における太陽電池セル10の反りを抑制できるため、より薄い半導体基板11を用いて半導体基板11のコストを低減し、安価な太陽電池セル10の実現に対応可能である。   Moreover, since the photovoltaic cell 10 can suppress the curvature of the photovoltaic cell 10 at the time of production of the photovoltaic module 100, the cost of the semiconductor substrate 11 is reduced by using a thinner semiconductor substrate 11, and the inexpensive photovoltaic cell 10. Can be realized.

したがって、本実施の形態1にかかる太陽電池セル10によれば、太陽電池セルへのリード線の接合に起因した太陽電池セルの反りを抑制可能である、という効果を奏する。   Therefore, according to the photovoltaic cell 10 concerning this Embodiment 1, there exists an effect that the curvature of the photovoltaic cell resulting from joining of the lead wire to a photovoltaic cell can be suppressed.

実施の形態2.
図24は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セル110を受光面側から見た平面図である。図25は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セル110を受光面側と反対側を向く裏面側から見た平面図である。図26は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池モジュールの構成を示す要部断面図である。図26は、図3に対応する図であり、太陽電池セル110によって構成された本実施の形態2にかかる太陽電池モジュールの要部断面図である。図26における太陽電池セル110の断面図は、図24におけるXXIII−XXIII線における要部断面図である。図27は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セル110の受光面電極112の構成条件を示す図である。図28は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セル110の裏面接続電極113Bの構成条件を示す図である。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 24 is a plan view of the solar battery cell 110 according to the second embodiment of the present invention as viewed from the light receiving surface side. FIG. 25: is the top view which looked at the photovoltaic cell 110 concerning Embodiment 2 of this invention from the back surface side which faces the light-receiving surface side and the opposite side. FIG. 26: is principal part sectional drawing which shows the structure of the solar cell module concerning Embodiment 2 of this invention. FIG. 26 is a diagram corresponding to FIG. 3, and is a cross-sectional view of a main part of the solar cell module according to the second embodiment configured by the solar cells 110. The cross-sectional view of the solar battery cell 110 in FIG. 26 is a main-portion cross-sectional view taken along the line XXIII-XXIII in FIG. FIG. 27 is a diagram illustrating the configuration conditions of the light-receiving surface electrode 112 of the solar battery cell 110 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 28 is a diagram showing the configuration conditions of the back surface connection electrode 113B of the solar battery cell 110 according to the second embodiment of the present invention.

本実施の形態2にかかる太陽電池セル110は、受光面グリッド電極12Gと受光面バス電極12Bとによって構成される受光面電極12の代わりに、受光面グリッド電極12Gと受光面バス電極112Bとによって構成される受光面電極112を備える。また、太陽電池セル110は、裏面集電電極13Aと裏面接続電極13Bとによって構成される裏面電極13の代わりに、裏面集電電極13Aと裏面接続電極113Bとによって構成される裏面電極113を備える。太陽電池セル110は、受光面電極112および裏面電極113の構成以外は、実施の形態1にかかる太陽電池セル10と同じ構成を有する。太陽電池セル110において実施の形態1にかかる太陽電池セル10と同じ構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。   The solar battery cell 110 according to the second exemplary embodiment includes a light receiving surface grid electrode 12G and a light receiving surface bus electrode 112B instead of the light receiving surface electrode 12 including the light receiving surface grid electrode 12G and the light receiving surface bus electrode 12B. A light receiving surface electrode 112 is provided. Further, the solar battery cell 110 includes a back surface electrode 113 composed of the back surface current collecting electrode 13A and the back surface connection electrode 113B instead of the back surface electrode 13 composed of the back surface current collecting electrode 13A and the back surface connection electrode 13B. . The solar battery cell 110 has the same configuration as that of the solar battery cell 10 according to the first embodiment except for the configuration of the light-receiving surface electrode 112 and the back electrode 113. In the solar cell 110, the same configuration as that of the solar cell 10 according to the first embodiment is denoted by the same reference numeral, and detailed description thereof is omitted.

受光面バス電極112Bは、受光面バス電極12Bと配置が異なる。裏面接続電極113Bは、裏面接続電極13Bと配置が異なる。   The light receiving surface bus electrode 112B is different in arrangement from the light receiving surface bus electrode 12B. The back connection electrode 113B is different in arrangement from the back connection electrode 13B.

受光面バス電極112Bは、太陽電池セル110において4本設けられている。太陽電池セル110は、半導体基板11が長方形状を有し、互いに平行な一対の端部である第1端辺部と第2端辺部とを有する。ここでは、第1端辺部は、第1の方向における太陽電池セル110の一方の端部である一端101側の辺である。また、第2端辺部は、第1の方向における太陽電池セル110の他方の端部であって、一端101と平行であり第1の方向において一端101と反対側の他端102側の辺である。各々の受光面バス電極112Bにおいて、第1の方向において太陽電池セル110の一端101側から他端102側に向かって、第1領域611、第1領域612、第1領域613、第1領域614、第1領域615、第1領域616、第1領域617、第1領域618が配置されている。   Four light-receiving surface bus electrodes 112 </ b> B are provided in the solar battery cell 110. In the solar cell 110, the semiconductor substrate 11 has a rectangular shape, and has a first end side portion and a second end side portion which are a pair of end portions parallel to each other. Here, the first end side portion is a side on one end 101 side which is one end portion of the solar battery cell 110 in the first direction. The second end side portion is the other end portion of the solar battery cell 110 in the first direction, which is parallel to the one end 101 and on the other end 102 side opposite to the one end 101 in the first direction. It is. In each light-receiving surface bus electrode 112B, the first region 611, the first region 612, the first region 613, and the first region 614 from the one end 101 side to the other end 102 side in the first direction in the first direction. , A first region 615, a first region 616, a first region 617, and a first region 618 are arranged.

ここで、第1の方向における太陽電池セル110の一端101側は、受光面バス電極112Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置される側の端部側であり、図24から図26における太陽電池セル110の左側に対応する。太陽電池セル110において、受光面バス電極112Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置される側の端部は、受光面側における相互接続側の端部である。   Here, the one end 101 side of the solar cell 110 in the first direction is an end portion side on the side where the adjacent solar cell 110 to which the light-receiving surface bus electrode 112B is connected by the lead wire 20 is arranged. 24 corresponds to the left side of the solar battery cell 110 in FIG. In the solar cell 110, the end portion on the side where the adjacent solar cell 110 to which the light-receiving surface bus electrode 112B is connected by the lead wire 20 is disposed is the end portion on the interconnection side on the light-receiving surface side.

また、第1の方向における太陽電池セル110の他端102側は、受光面バス電極112Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置されない側の端部側であり、図24から図26における太陽電池セル110の右側に対応する。太陽電池セル110において、受光面バス電極112Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置されない側の端部は、受光面側における非相互接続側の端部である。   In addition, the other end 102 side of the solar cell 110 in the first direction is an end portion side on the side where the adjacent solar cell 110 to which the light receiving surface bus electrode 112B is connected by the lead wire 20 is not disposed, and FIG. 26 corresponds to the right side of the solar battery cell 110 in FIG. In the solar cell 110, the end on the side where the adjacent solar cell 110 to which the light receiving surface bus electrode 112B is connected by the lead wire 20 is not disposed is the end on the non-interconnect side on the light receiving surface side.

また、受光面バス電極112Bの長手方向における第1領域の長さ、すなわち第1の方向における第1領域の長さは、第1領域611の長さが第1領域長さA1、第1領域612の長さが第1領域長さA2、第1領域613の長さが第1領域長さA3、第1領域614の長さが第1領域長さA4、第1領域615の長さが第1領域長さA5、第1領域616の長さが第1領域長さA6、第1領域617の長さが第1領域長さA7、第1領域618の長さが第1領域長さA8である。   The length of the first region in the longitudinal direction of the light-receiving surface bus electrode 112B, that is, the length of the first region in the first direction is the length of the first region 611, the first region length A1, the first region. The length of 612 is the first region length A2, the length of the first region 613 is the first region length A3, the length of the first region 614 is the first region length A4, and the length of the first region 615 is The first region length A5, the length of the first region 616 is the first region length A6, the length of the first region 617 is the first region length A7, and the length of the first region 618 is the first region length. A8.

また、第1の方向において、太陽電池セル110の一端101から第1領域611までの距離が距離B1、第1領域611と第1領域612との間の距離が距離B2、第1領域612と第1領域613との間の距離が距離B3、第1領域613と第1領域614との間の距離が距離B4、第1領域614と第1領域615との間の距離が距離B5、第1領域615と第1領域616との間の距離が距離B6、第1領域616と第1領域617との間の距離が距離B7、第1領域617と第1領域618との間の距離が距離B8、第1領域618から太陽電池セル110の他端102までの距離が距離B9である。   In the first direction, the distance from one end 101 of the solar battery cell 110 to the first region 611 is a distance B1, the distance between the first region 611 and the first region 612 is a distance B2, and the first region 612 is The distance between the first region 613 is a distance B3, the distance between the first region 613 and the first region 614 is a distance B4, the distance between the first region 614 and the first region 615 is a distance B5, The distance between the first region 615 and the first region 616 is a distance B6, the distance between the first region 616 and the first region 617 is a distance B7, and the distance between the first region 617 and the first region 618 is A distance from the first region 618 to the other end 102 of the solar battery cell 110 is a distance B9.

裏面接続電極113Bは、太陽電池セル110において4本設けられている。半導体基板11の面内において第1領域61に対応する位置に、受光面バス電極112Bの第1領域61の数量と同数の裏面接続電極113Bが設けられている。各々の裏面接続電極113Bにおいて、第1の方向において太陽電池セル110の一端101側から他端102側に向かって、裏面接続電極1131、裏面接続電極1132、裏面接続電極1133、裏面接続電極1134、裏面接続電極1135、裏面接続電極1136、裏面接続電極1137、裏面接続電極1138が配置されている。   Four back surface connection electrodes 113B are provided in the solar battery cell 110. The same number of back surface connection electrodes 113B as the number of the first regions 61 of the light receiving surface bus electrode 112B are provided at positions corresponding to the first regions 61 in the surface of the semiconductor substrate 11. In each back connection electrode 113B, the back connection electrode 1131, the back connection electrode 1132, the back connection electrode 1133, the back connection electrode 1134, from the one end 101 side to the other end 102 side of the solar battery 110 in the first direction, A back connection electrode 1135, a back connection electrode 1136, a back connection electrode 1137, and a back connection electrode 1138 are arranged.

裏面接続電極113Bは、半導体基板11の面内において第1領域61に対応する位置に配置されている。したがって、半導体基板11の面内において、裏面接続電極1131は、第1領域611と対応する位置に、裏面接続電極1132は、第1領域612と対応する位置に、裏面接続電極1133は、第1領域613と対応する位置に、裏面接続電極1134は、第1領域614と対応する位置に、裏面接続電極1135は、第1領域615と対応する位置に、裏面接続電極1136は、第1領域616と対応する位置に、裏面接続電極1137は、第1領域617と対応する位置に、裏面接続電極1138は、第1領域618と対応する位置に配置されている。   The back surface connection electrode 113 </ b> B is disposed at a position corresponding to the first region 61 within the surface of the semiconductor substrate 11. Therefore, in the plane of the semiconductor substrate 11, the back surface connection electrode 1131 is at a position corresponding to the first region 611, the back surface connection electrode 1132 is at a position corresponding to the first region 612, and the back surface connection electrode 1133 is at the first position. In the position corresponding to the region 613, the back surface connection electrode 1134 is in a position corresponding to the first region 614, the back surface connection electrode 1135 is in the position corresponding to the first region 615, and the back surface connection electrode 1136 is in the first region 616. The back connection electrode 1137 is disposed at a position corresponding to the first region 617, and the back connection electrode 1138 is disposed at a position corresponding to the first region 618.

ここで、上述した第1の方向における太陽電池セル110の一端101側は、裏面接続電極113Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置されない側の端部側である。太陽電池セル110において、裏面接続電極113Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置されない側の端部は、裏面側における非相互接続側の端部である。   Here, the one end 101 side of the solar cell 110 in the first direction described above is an end side on the side where the adjacent solar cell 110 to which the back surface connection electrode 113B is connected by the lead wire 20 is not disposed. In the solar cell 110, the end on the side where the adjacent solar cell 110 to which the back connection electrode 113B is connected by the lead wire 20 is not disposed is the end on the non-interconnect side on the back side.

また、第1の方向における太陽電池セル110の他端102側は、裏面接続電極113Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置される側の端部側である。太陽電池セル110において、裏面接続電極113Bがリード線20によって接続される隣接する太陽電池セル110が配置される側の端部は、裏面側における相互接続側の端部である。   Moreover, the other end 102 side of the solar battery cell 110 in the first direction is an end portion side on the side where the adjacent solar battery cell 110 to which the back surface connection electrode 113B is connected by the lead wire 20 is disposed. In the solar cell 110, the end on the side where the adjacent solar cell 110 to which the back connection electrode 113B is connected by the lead wire 20 is disposed is an end on the interconnect side on the back side.

また、第1の方向における裏面接続電極113Bの長さは、裏面接続電極1131の長さが裏面接続電極長さC1、裏面接続電極1132の長さが裏面接続電極長さC2、裏面接続電極1133の長さが裏面接続電極長さC3、裏面接続電極1134の長さが裏面接続電極長さC4、裏面接続電極1135の長さが裏面接続電極長さC5、裏面接続電極1136の長さが裏面接続電極長さC6、裏面接続電極1137の長さが裏面接続電極長さC7、裏面接続電極1138の長さが裏面接続電極長さC8である。   The length of the back surface connection electrode 113B in the first direction is such that the back surface connection electrode 1131 is the back surface connection electrode length C1, the back surface connection electrode 1132 is the back surface connection electrode length C2, and the back surface connection electrode 1133 is long. Is the back connection electrode length C3, the back connection electrode 1134 is the back connection electrode length C4, the back connection electrode 1135 is the back connection electrode length C5, and the back connection electrode 1136 is the back surface. The connection electrode length C6, the length of the back connection electrode 1137 is the back connection electrode length C7, and the length of the back connection electrode 1138 is the back connection electrode length C8.

また、第1の方向において、太陽電池セル110の一端101から裏面接続電極1131までの距離が距離D1、裏面接続電極1131と裏面接続電極1132との間の距離が距離D2、裏面接続電極1132と裏面接続電極1133との間の距離が距離D3、裏面接続電極1133と裏面接続電極1134との間の距離が距離D4、裏面接続電極1134と裏面接続電極1135との間の距離が距離D5、裏面接続電極1135と裏面接続電極1136との間の距離が距離D6、裏面接続電極1136と裏面接続電極1137との間の距離が距離D7、裏面接続電極1137と裏面接続電極1138との間の距離が距離D8、裏面接続電極1138から太陽電池セル110の他端102までの距離が距離D9である。   In the first direction, the distance from one end 101 of the solar battery cell 110 to the back surface connection electrode 1131 is a distance D1, the distance between the back surface connection electrode 1131 and the back surface connection electrode 1132 is a distance D2, and the back surface connection electrode 1132 is The distance between the back surface connection electrode 1133 is a distance D3, the distance between the back surface connection electrode 1133 and the back surface connection electrode 1134 is a distance D4, the distance between the back surface connection electrode 1134 and the back surface connection electrode 1135 is a distance D5, and the back surface The distance between the connection electrode 1135 and the back connection electrode 1136 is a distance D6, the distance between the back connection electrode 1136 and the back connection electrode 1137 is a distance D7, and the distance between the back connection electrode 1137 and the back connection electrode 1138 is The distance D8 and the distance from the back connection electrode 1138 to the other end 102 of the solar battery cell 110 are the distance D9.

半導体基板11は、例えば156mm角の正方形状である。第1領域長さA1、第1領域長さA2、第1領域長さA3、第1領域長さA4、第1領域長さA5、第1領域長さA6および第1領域長さA7は、例えば5mmである。第1領域長さA8は、第1領域長さA1から第1領域長さA7よりも長く、例えば11mmである。距離B1および距離B9は、例えば0.5mmである。距離B2および距離B8は、例えば7mmである。距離B3、距離B4、距離B5、距離B6および距離B7は、例えば19mmである。   The semiconductor substrate 11 has, for example, a 156 mm square shape. The first region length A1, the first region length A2, the first region length A3, the first region length A4, the first region length A5, the first region length A6 and the first region length A7 are: For example, 5 mm. The first region length A8 is longer than the first region length A1 to the first region length A7, for example, 11 mm. The distance B1 and the distance B9 are, for example, 0.5 mm. The distance B2 and the distance B8 are, for example, 7 mm. The distance B3, the distance B4, the distance B5, the distance B6, and the distance B7 are, for example, 19 mm.

裏面接続電極長さC1、裏面接続電極長さC2、裏面接続電極長さC3、裏面接続電極長さC4、裏面接続電極長さC5、裏面接続電極長さC6、裏面接続電極長さC7および裏面接続電極長さC8は、例えば5mmである。距離D9は距離D1よりも長く、距離D1<距離D9の関係がある。例えば距離D1=0.5mm、距離D9=6.5mmである。距離D2および距離D8は、例えば7mmである。距離D3、距離D4、距離D5、距離D6および距離D7は、例えば19mmである。   Back connection electrode length C1, back connection electrode length C2, back connection electrode length C3, back connection electrode length C4, back connection electrode length C5, back connection electrode length C6, back connection electrode length C7 and back The connection electrode length C8 is, for example, 5 mm. The distance D9 is longer than the distance D1, and there is a relationship of distance D1 <distance D9. For example, the distance D1 = 0.5 mm and the distance D9 = 6.5 mm. The distance D2 and the distance D8 are 7 mm, for example. The distance D3, the distance D4, the distance D5, the distance D6, and the distance D7 are, for example, 19 mm.

太陽電池セル110の受光面側では、第1の方向において、太陽電池セル110の両端まで受光面バス電極112Bを設けることが好ましい。一方で、太陽電池セル110の裏面側では、特にリード線接続側となる他端102側では、第1の方向において、太陽電池セル110の端面から裏面接続電極113Bまでの距離を長くすることが好ましい。   On the light receiving surface side of the solar battery cell 110, it is preferable to provide the light receiving surface bus electrode 112B up to both ends of the solar battery cell 110 in the first direction. On the other hand, on the back surface side of the solar battery cell 110, particularly on the other end 102 side that is the lead wire connection side, the distance from the end surface of the solar battery cell 110 to the back surface connection electrode 113B can be increased in the first direction. preferable.

太陽電池セル110の受光面側は、凸状の曲面となる。すなわち、アルミニウムを含む電極材料を使用した裏面集電電極13Aが太陽電池セル110の裏面全体に形成されているため、アルミニウムとシリコンの熱膨張係数の差に起因する反りが太陽電池セル110に発生する。一般的にはアルミニウムの熱膨張係数がシリコンの熱膨張係数より大きいため、電極の焼成の熱処理後に太陽電池セル110には受光面側に凸となる反りが発生する。   The light receiving surface side of the solar battery cell 110 is a convex curved surface. That is, since the back surface collecting electrode 13A using an electrode material containing aluminum is formed on the entire back surface of the solar battery cell 110, warpage due to the difference in thermal expansion coefficient between aluminum and silicon occurs in the solar battery cell 110. To do. In general, since the thermal expansion coefficient of aluminum is larger than the thermal expansion coefficient of silicon, the solar battery cell 110 is warped to protrude toward the light receiving surface after the heat treatment for firing the electrodes.

そして、太陽電池セル110にリード線20をはんだ付けした際には、受光面が凸状であるので、太陽電池セル110とリード線20との間において、太陽電池セル110の受光面と垂直方向にリード線20を剥離する応力が発生する。そして、この剥離する応力は、太陽電池セル110の端部で最も大きくなる。   When the lead wire 20 is soldered to the solar battery cell 110, the light receiving surface is convex, and therefore, between the solar battery cell 110 and the lead wire 20, it is perpendicular to the light receiving surface of the solar battery cell 110. The stress which peels the lead wire 20 occurs. And the stress which peels becomes the largest in the edge part of the photovoltaic cell 110. FIG.

そこで、太陽電池セル110の受光面側では、第1の方向における半導体基板11の両端まで受光面バス電極112Bを設けることにより、太陽電池セル110の端部側における受光面バス電極112Bとリード線20との間の接合強度を強くすることができる。すなわち、上述したように、第1の方向において距離B1および距離B9が0.5mmとされる位置まで、受光面グリッド電極12Gを形成する。そして、第1の方向における両端の受光面グリッド電極12Gまで受光面バス電極112Bを設け、第1の方向における半導体基板11の両端の位置まで受光面バス電極112Bを設ける。これにより、太陽電池セル110は、端部側における受光面バス電極112Bとリード線20との間の接合強度をより強くすることができる。そして、第1の方向における受光面バス電極112Bの両端が第1領域によって構成されることで、端部側における受光面バス電極112Bとリード線20との間の接合強度を強くすることができる。第1の方向における受光面バス電極112Bの両端が第2領域62によって構成されている場合には、受光面バス電極112Bの端部では接続部63のみでリード線20とはんだ付けされるため、接合強度が低下する。   Therefore, on the light receiving surface side of the solar battery cell 110, the light receiving surface bus electrode 112B on the end side of the solar battery cell 110 and the lead wire are provided by providing the light receiving surface bus electrode 112B to both ends of the semiconductor substrate 11 in the first direction. The joint strength between 20 and 20 can be increased. That is, as described above, the light-receiving surface grid electrode 12G is formed up to a position where the distance B1 and the distance B9 are 0.5 mm in the first direction. Then, the light receiving surface bus electrodes 112B are provided up to the light receiving surface grid electrodes 12G at both ends in the first direction, and the light receiving surface bus electrodes 112B are provided up to the positions at both ends of the semiconductor substrate 11 in the first direction. Thereby, the photovoltaic cell 110 can further increase the bonding strength between the light receiving surface bus electrode 112B and the lead wire 20 on the end side. Further, since both ends of the light-receiving surface bus electrode 112B in the first direction are configured by the first region, the bonding strength between the light-receiving surface bus electrode 112B and the lead wire 20 on the end side can be increased. . When both ends of the light-receiving surface bus electrode 112B in the first direction are configured by the second region 62, the end portion of the light-receiving surface bus electrode 112B is soldered to the lead wire 20 only by the connection portion 63. Bond strength decreases.

また、太陽電池セル110では、半導体基板11が、第1の方向における太陽電池セル110の端部である第1端辺部と、第1の方向における第1端辺部と反対側の太陽電池セル110の端部である第2端辺部と、を有する長方形状を有する。そして、第2端辺部に隣り合う裏面接続電極113Bと第2端辺部との距離が、第1端辺部に隣り合う裏面接続電極113Bと第1端辺部との距離よりも長くされている。   Moreover, in the solar cell 110, the semiconductor substrate 11 has a first end side that is an end of the solar cell 110 in the first direction and a solar cell on the opposite side to the first end side in the first direction. A rectangular shape having a second end side which is an end of the cell 110; Then, the distance between the back connection electrode 113B adjacent to the second end side and the second end side is made longer than the distance between the back connection electrode 113B adjacent to the first end side and the first end side. ing.

上述した実施の形態1にかかる太陽電池セル10は、第1の方向において、第1の方向における中央位置に対して対称の構成を有する。したがって、太陽電池セル10同士をリード線20によって接続した場合、図3に示すようにリード線20が、図中の左下から右上にわたって配置されて、隣り合う太陽電池セル10同士を接続する構成と、図3に示す隣り合う太陽電池セル10に対して、リード線20が左上から右下にわたって配置されて、隣り合う太陽電池セル10同士を接続する構成とは等価の構成である。   The solar battery cell 10 according to the first embodiment described above has a symmetric configuration in the first direction with respect to the center position in the first direction. Therefore, when the photovoltaic cells 10 are connected to each other by the lead wires 20, as shown in FIG. 3, the lead wire 20 is arranged from the lower left to the upper right in the drawing, and the adjacent photovoltaic cells 10 are connected to each other. 3 is equivalent to the configuration in which the lead wires 20 are arranged from the upper left to the lower right and the adjacent solar cells 10 are connected to each other with respect to the adjacent solar cells 10 shown in FIG.

これに対して、本実施の形態2にかかる太陽電池セル110は、第1の方向において、第1の方向における中央位置に対して非対称の構成を有する。したがって、太陽電池セル110同士をリード線20によって接続した場合、図26に示すようにリード線20が、図中の左下から右上にわたって配置されて、隣り合う太陽電池セル110同士を接続する構成と、図26に示す隣り合う太陽電池セル110に対して、リード線20が左上から右下にわたって配置されて、隣り合う太陽電池セル110同士を接続する構成とは等価の構成とはならない。   On the other hand, the solar battery cell 110 according to the second embodiment has an asymmetric configuration in the first direction with respect to the center position in the first direction. Therefore, when the photovoltaic cells 110 are connected to each other by the lead wires 20, as shown in FIG. 26, the lead wires 20 are arranged from the lower left to the upper right in the drawing, and the adjacent solar cells 110 are connected to each other. 26, the lead wires 20 are arranged from the upper left to the lower right, and the adjacent solar cells 110 are not equivalent to the configuration of connecting the adjacent solar cells 110 to each other.

ここで、リード線20が左下から右上にわたって配置されて、隣り合う太陽電池セル10同士を接続する構成は、図3に示すように左右に配置された太陽電池セル10のうち、左側の太陽電池セル10の裏面接続電極13Bと、右側の太陽電池セル10の受光面バス電極12Bとがリード線20によって接続される構成である。また、リード線20が左上から右下にわたって配置されて、隣り合う太陽電池セル10同士を接続する構成は、左右に配置された太陽電池セル10のうち、左側の太陽電池セル10の受光面バス電極12Bと、右側の太陽電池セル10の裏面接続電極13Bとがリード線20によって接続される構成である。   Here, the configuration in which the lead wires 20 are arranged from the lower left to the upper right and connect the adjacent solar cells 10 to each other is the left solar cell among the solar cells 10 arranged on the left and right as shown in FIG. The back surface connection electrode 13 </ b> B of the cell 10 and the light receiving surface bus electrode 12 </ b> B of the right solar cell 10 are connected by a lead wire 20. In addition, the configuration in which the lead wire 20 is arranged from the upper left to the lower right and connects the adjacent solar cells 10 is the light receiving surface bus of the left solar cell 10 among the solar cells 10 arranged on the left and right. In this configuration, the electrode 12 </ b> B and the back surface connection electrode 13 </ b> B of the right solar cell 10 are connected by the lead wire 20.

上記の構成を有する太陽電池セル110の裏面側では、太陽電池セル110における裏面側の相互接続側の端部である太陽電池セル110の他端102側で、太陽電池セル110の端面から裏面接続電極113Bまでの距離、すなわち裏面接続電極1138から太陽電池セル110の他端102までの距離D9を長くすることにより、以下の効果がある。   On the back surface side of the solar battery cell 110 having the above-described configuration, the back surface connection from the end face of the solar battery cell 110 is performed on the other end 102 side of the solar battery cell 110 that is the end portion of the solar battery cell 110 on the back side. Increasing the distance to the electrode 113B, that is, the distance D9 from the back connection electrode 1138 to the other end 102 of the solar battery cell 110 has the following effects.

図26に示すように、本実施の形態2にかかる太陽電池モジュールは、複数の太陽電池セル110をリード線20で接続して一方の太陽電池セル110aの裏面側から、他方の太陽電池セル110bの受光面側に曲線状にリード線20が接続される。すなわち、本実施の形態2にかかる太陽電池モジュールは、図26において左側に配置されている一方の太陽電池セル110の第2端辺部と、図26において右側に配置されている他方の太陽電池セル110の第1端辺部とが対向した状態で配置されて、一方の太陽電池セル110と他方の太陽電池セル110とが第1の方向において隣り合っている。また、本実施の形態2にかかる太陽電池モジュールは、一方の太陽電池セル110の裏面接続電極113Bと、他方の太陽電池セル110の受光面バス電極112Bと、を接続するリード線20を有する。そして、リード線20は、一方の太陽電池セル110における第2端辺部側の裏面接続電極113Bと、他方の太陽電池セル110における第1端辺部側の受光面バス電極112Bと、を接続する。   As shown in FIG. 26, the solar cell module according to Embodiment 2 is configured such that a plurality of solar cells 110 are connected by lead wires 20 and the other solar cell 110b is connected from the back side of one solar cell 110a. The lead wire 20 is connected in a curved shape to the light receiving surface side. That is, the solar cell module according to Embodiment 2 includes the second end side portion of one solar cell 110 disposed on the left side in FIG. 26 and the other solar cell disposed on the right side in FIG. It arrange | positions in the state which the 1st edge part of the cell 110 opposed, and the one photovoltaic cell 110 and the other photovoltaic cell 110 are adjacent in a 1st direction. In addition, the solar cell module according to the second embodiment includes the lead wire 20 that connects the back surface connection electrode 113B of one solar cell 110 and the light receiving surface bus electrode 112B of the other solar cell 110. Then, the lead wire 20 connects the back surface connection electrode 113B on the second end side in one solar cell 110 and the light receiving surface bus electrode 112B on the first end side in the other solar cell 110. To do.

距離D1<距離D9とし、且つ太陽電池セル110aの裏面側から隣の太陽電池セル110bの受光面側にリード線20を配線することで、リード線20を曲線状に曲げる曲げ部20aの長さが長くなるため、リード線20の曲げ部20aの曲げ半径が大きくなり、リード線20の曲げ部20aへの応力集中が低減する。特に、太陽電池モジュールは10年以上の寿命を期待して設計されるが、受光面保護部31となる受光面ガラスとリード線20との線膨張係数の差等に起因して、昼夜の温度サイクルによりリード線20の曲げ部20aに繰返し応力が発生して断線が発生し、故障の要因になる。ここで、リード線20の曲げ部20aの曲げ半径を大きくすることで、曲げ部20aに掛かる繰り返し応力を小さくすることができるため、長期信頼性に優れた太陽電池モジュールが実現できる。   The length of the bending portion 20a that bends the lead wire 20 in a curved shape by setting the distance D1 <distance D9 and wiring the lead wire 20 from the back surface side of the solar cell 110a to the light receiving surface side of the adjacent solar cell 110b. Therefore, the bending radius of the bent portion 20a of the lead wire 20 is increased, and the stress concentration on the bent portion 20a of the lead wire 20 is reduced. In particular, the solar cell module is designed with a life expectancy of 10 years or longer. However, due to the difference in coefficient of linear expansion between the light receiving surface glass serving as the light receiving surface protection unit 31 and the lead wire 20, the temperature of day and night Due to the cycle, repeated stress is generated in the bent portion 20a of the lead wire 20 to cause disconnection, which causes failure. Here, by increasing the bending radius of the bent portion 20a of the lead wire 20, the repeated stress applied to the bent portion 20a can be reduced, so that a solar cell module excellent in long-term reliability can be realized.

太陽電池セル110では、受光面側における非相互接続側の端部側以外の第1領域61、すなわち他端102側以外の第1領域61と、裏面接続電極113Bとは、受光面と裏面とで対応する位置に設けることが好ましい。すなわち、第1領域611から第1領域617は、それぞれ裏面接続電極1131から裏面接続電極1137と、太陽電池セル110の面内において対応する位置に設けることが好ましい。これにより、第1領域618と裏面接続電極1138と以外は、受光面バス電極112Bとリード線20との固定位置と、はんだ付けによる裏面接続電極113Bとリード線20との固定位置とが、半導体基板11の面内において同じ位置となる。これにより、太陽電池セル110は、上述した太陽電池セル10と同様に、太陽電池モジュールの作製時における太陽電池セル110へのリード線20のはんだ付けに起因した太陽電池セル110の反りを抑制することができる。したがって、太陽電池セル110は、太陽電池モジュールの作製時における太陽電池セル110の反りによる太陽電池セル110の破損率を低減させることが可能である。   In the solar battery 110, the first region 61 other than the end portion on the non-interconnection side on the light receiving surface side, that is, the first region 61 other than the other end 102 side, and the back surface connection electrode 113B include the light receiving surface and the back surface. It is preferable to provide in the corresponding position. That is, the first region 611 to the first region 617 are preferably provided at positions corresponding to the back surface connection electrode 1131 to the back surface connection electrode 1137 in the plane of the solar battery cell 110, respectively. Thereby, except for the first region 618 and the back surface connection electrode 1138, the fixing position between the light receiving surface bus electrode 112B and the lead wire 20 and the fixing position between the back surface connection electrode 113B and the lead wire 20 by soldering are the semiconductor. The position is the same in the plane of the substrate 11. Thereby, the photovoltaic cell 110 suppresses the curvature of the photovoltaic cell 110 resulting from the soldering of the lead wire 20 to the photovoltaic cell 110 at the time of production of the photovoltaic module, similarly to the photovoltaic cell 10 described above. be able to. Therefore, the solar battery cell 110 can reduce the damage rate of the solar battery cell 110 due to the warp of the solar battery cell 110 when the solar battery module is manufactured.

受光面バス電極112Bにおいて、第1の方向の端部側において隣り合う第1領域間の間隔は、第1の方向の中央部において隣り合う第1領域間の間隔を含む、第1の方向の内部側において隣り合う第1領域間の間隔よりも短いことが好ましい。すなわち、受光面バス電極112Bにおいて、第1の方向の端部側の第2領域の長さは、第1の方向の内部側の第2領域の長さよりも短いことが好ましい。したがって、(距離B2=距離D2=距離B8=距離D8)<(距離B3=距離D3、距離B4=距離D4、距離B5=距離D5、距離B6=距離D6、距離B7=距離D7)とすることが好ましい。   In the light-receiving surface bus electrode 112B, the interval between the first regions adjacent on the end portion side in the first direction includes the interval between the first regions adjacent in the central portion in the first direction. It is preferable that the distance is shorter than the interval between adjacent first regions on the inner side. That is, in the light-receiving surface bus electrode 112B, the length of the second region on the end side in the first direction is preferably shorter than the length of the second region on the inner side in the first direction. Therefore, (distance B2 = distance D2 = distance B8 = distance D8) <(distance B3 = distance D3, distance B4 = distance D4, distance B5 = distance D5, distance B6 = distance D6, distance B7 = distance D7). Is preferred.

上記のように、太陽電池セル110にリード線20をはんだ付けした際には、太陽電池セル110は、受光面側が凸状であるので、太陽電池セル110とリード線20との間において、太陽電池セル110の受光面に垂直な方向にリード線20を剥離する応力は第1の方向の端部側で最も大きくなる。これに対して、第1の方向の端部側の第2領域の長さを、第1の方向の内部側の第2領域の長さよりも短くすることで、第1の方向の端部側の受光面バス電極112Bとリード線20との接合強度を強くすることができる。   As described above, when the lead wire 20 is soldered to the solar cell 110, the solar cell 110 has a convex light-receiving surface side. Therefore, the solar cell 110 has a solar cell between the solar cell 110 and the lead wire 20. The stress at which the lead wire 20 is peeled in the direction perpendicular to the light receiving surface of the battery cell 110 is greatest on the end side in the first direction. On the other hand, by making the length of the second region on the end side in the first direction shorter than the length of the second region on the inner side in the first direction, the end portion side in the first direction The bonding strength between the light receiving surface bus electrode 112B and the lead wire 20 can be increased.

上述したように、本実施の形態2にかかる太陽電池セル110においては、第1領域618と裏面接続電極1138と以外は、受光面バス電極112Bとリード線20との固定位置と、はんだ付けによる裏面接続電極113Bとリード線20との固定位置とが、半導体基板11の面内において同じ位置となる。これにより、太陽電池セル110は、上述した太陽電池セル10と同様に、太陽電池モジュールの作製時における太陽電池セル110の反りによる太陽電池セル110の破損率を低減させることが可能である。   As described above, in the solar battery cell 110 according to the second embodiment, except for the first region 618 and the back surface connection electrode 1138, the fixing position between the light receiving surface bus electrode 112B and the lead wire 20, and soldering The fixing position of the back connection electrode 113B and the lead wire 20 is the same position in the surface of the semiconductor substrate 11. Thereby, the photovoltaic cell 110 can reduce the damage rate of the photovoltaic cell 110 by the curvature of the photovoltaic cell 110 at the time of preparation of a photovoltaic module similarly to the photovoltaic cell 10 mentioned above.

また、本実施の形態2にかかる太陽電池セル110においては、太陽電池セル110における裏面側における相互接続側の端部である太陽電池セル110の他端102側で、太陽電池セル110の端面から裏面接続電極113Bまでの距離を長くする。これにより、隣り合う太陽電池セル110を接続するリード線20を曲線状に曲げる曲げ部20aの長さが長くなる。これにより、リード線20の曲げ部20aへの応力集中を低減することができ、受光面保護部31となる受光面ガラスとリード線20との線膨張係数の差等に起因して、昼夜の温度サイクルによって曲げ部20aに掛かる繰り返し応力を小さくすることができるため、長期信頼性に優れた太陽電池モジュールが実現できる。   Moreover, in the photovoltaic cell 110 concerning this Embodiment 2, it is from the end surface of the photovoltaic cell 110 in the other end 102 side of the photovoltaic cell 110 which is the edge part of the interconnection side in the back surface side in the photovoltaic cell 110. The distance to the back connection electrode 113B is increased. Thereby, the length of the bending part 20a which bends the lead wire 20 which connects the adjacent photovoltaic cell 110 to curve shape becomes long. As a result, the stress concentration on the bent portion 20a of the lead wire 20 can be reduced, and due to the difference in coefficient of linear expansion between the light receiving surface glass serving as the light receiving surface protecting portion 31 and the lead wire 20, the daytime and nighttime can be reduced. Since the repeated stress applied to the bent portion 20a by the temperature cycle can be reduced, a solar cell module excellent in long-term reliability can be realized.

実施の形態3.
図29は、本発明の実施の形態3にかかる太陽電池セル210の構成を示す断面図である。図29は、貫通孔60を通る、受光面電極212の長手方向に沿った断面であり、理解の容易のため裏面集電電極13Aの図示を省略している。図30は、本発明の実施の形態3にかかる太陽電池セル210の受光面電極212の構成条件を示す図である。図31は、本発明の実施の形態3にかかる太陽電池セル210の裏面接続電極213Bの構成条件を示す図である。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 29 is a cross-sectional view showing the configuration of the solar battery cell 210 according to the third embodiment of the present invention. FIG. 29 is a cross-section along the longitudinal direction of the light-receiving surface electrode 212 that passes through the through hole 60, and illustration of the back surface collecting electrode 13A is omitted for easy understanding. FIG. 30 is a diagram illustrating the configuration conditions of the light-receiving surface electrode 212 of the solar battery cell 210 according to the third embodiment of the present invention. FIG. 31 is a diagram showing the configuration conditions of the back surface connection electrode 213B of the solar battery cell 210 according to the third embodiment of the present invention.

本実施の形態3にかかる太陽電池セル210は、受光面バス電極112Bの代わりに受光面バス電極212Bを有する、受光面電極212を備える。また、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210は、裏面接続電極113Bの代わりに裏面接続電極213Bを有する、裏面電極213を備える。太陽電池セル210は、受光面電極212および裏面電極213の構成以外は、実施の形態2にかかる太陽電池セル110と同じ構成を有する。太陽電池セル210において実施の形態1にかかる太陽電池セル10または実施の形態2にかかる太陽電池セル110と同じ構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。   The photovoltaic cell 210 according to the third embodiment includes a light receiving surface electrode 212 having a light receiving surface bus electrode 212B instead of the light receiving surface bus electrode 112B. Moreover, the solar cell 210 according to the third embodiment includes a back surface electrode 213 having a back surface connection electrode 213B instead of the back surface connection electrode 113B. Solar cell 210 has the same configuration as that of solar cell 110 according to the second embodiment except for the configuration of light-receiving surface electrode 212 and back electrode 213. In the solar cell 210, the same reference numerals are given to the same configurations as those of the solar cell 10 according to the first embodiment or the solar cell 110 according to the second embodiment, and detailed description thereof is omitted.

受光面バス電極212Bは、受光面バス電極112Bと配置が異なる。裏面接続電極213Bは、裏面接続電極113Bと配置が異なる。   The light receiving surface bus electrode 212B is different in arrangement from the light receiving surface bus electrode 112B. The rear surface connection electrode 213B is different in arrangement from the rear surface connection electrode 113B.

受光面バス電極212Bは、受光面バス電極112Bと同様に、太陽電池セル210において4本設けられている。また、各々の受光面バス電極212Bにおいては、受光面バス電極112Bと同様に、第1領域611、第1領域612、第1領域613、第1領域614、第1領域615、第1領域616、第1領域617、第1領域618が第1の方向に沿って配置されている。裏面接続電極213Bは、裏面接続電極113Bと同様に、第1の方向に沿って、太陽電池セル210のほぼ全長に渡って飛び石状に8箇所に分散配置されて、4列に設けられている。   The four light receiving surface bus electrodes 212B are provided in the solar battery cell 210 in the same manner as the light receiving surface bus electrode 112B. In each light-receiving surface bus electrode 212B, the first region 611, the first region 612, the first region 613, the first region 614, the first region 615, and the first region 616 are the same as the light-receiving surface bus electrode 112B. The first region 617 and the first region 618 are arranged along the first direction. Similarly to the back surface connection electrode 113B, the back surface connection electrodes 213B are distributed in 8 locations in a stepping stone shape over the substantially entire length of the solar cell 210 along the first direction, and are provided in 4 rows. .

半導体基板11の面内において第1領域61に対応する位置に、受光面バス電極212Bの第1領域61の数量と同数の裏面接続電極213Bが設けられている。   The same number of back surface connection electrodes 213B as the number of the first regions 61 of the light receiving surface bus electrode 212B are provided at positions corresponding to the first regions 61 in the surface of the semiconductor substrate 11.

そして、受光面バス電極212Bにおいて第1の方向における端部側以外に位置する、すなわち第1の方向において内部側に位置する第1領域61と、裏面接続電極213Bとは、半導体基板11の面内方向に垂直な方向から半導体基板11を透視した場合に、第1の方向における中心位置が同じ位置とされている。すなわち、第1の方向において、第1領域612の中心位置は、裏面接続電極1132の中心位置と同じ位置とされている。第1領域613の中心位置と裏面接続電極1133との中心位置、第1領域614の中心位置と裏面接続電極1134との中心位置、第1領域615の中心位置と裏面接続電極1135との中心位置、第1領域616の中心位置と裏面接続電極1136との中心位置、および第1領域617の中心位置と裏面接続電極1137の中心位置についても同様である。   The first region 61 located on the light receiving surface bus electrode 212B other than the end side in the first direction, that is, located on the inner side in the first direction, and the back surface connection electrode 213B are the surfaces of the semiconductor substrate 11. When the semiconductor substrate 11 is seen through from a direction perpendicular to the inward direction, the center position in the first direction is the same position. That is, in the first direction, the center position of the first region 612 is the same position as the center position of the back surface connection electrode 1132. The center position of the first region 613 and the center position of the back surface connection electrode 1133, the center position of the first region 614 and the center position of the back surface connection electrode 1134, the center position of the first region 615 and the center position of the back surface connection electrode 1135 The same applies to the center position of the first region 616 and the back surface connection electrode 1136, and the center position of the first region 617 and the center position of the back surface connection electrode 1137.

一方、受光面バス電極212Bにおいて第1の方向における端部側に位置する第1領域611と、裏面接続電極1131とは、半導体基板11の面内方向に垂直な方向から半導体基板11を透視した場合に、第1の方向における中心位置が同じ位置とされていない。すなわち、第1の方向において、第1領域611の中心位置は、裏面接続電極1131の中心位置とは異なる。同様に、第1の方向において、第1領域618の中心位置は、裏面接続電極1138の中心位置とは異なる。   On the other hand, the first region 611 located on the end side in the first direction in the light-receiving surface bus electrode 212B and the back surface connection electrode 1131 are seen through the semiconductor substrate 11 from a direction perpendicular to the in-plane direction of the semiconductor substrate 11. In this case, the center position in the first direction is not the same position. That is, in the first direction, the center position of the first region 611 is different from the center position of the back surface connection electrode 1131. Similarly, in the first direction, the center position of the first region 618 is different from the center position of the back surface connection electrode 1138.

第1の方向の内部側において隣り合う2つの第1領域61の配置ピッチは、全て同じ配置ピッチである。また、第1の方向における内部側において隣り合う2つの裏面接続電極213Bの配置ピッチは、全て同じ配置ピッチである。そして、第1の方向における内部側において隣り合う2つの第1領域61の配置ピッチと、第1の方向における内部側において隣り合う2つの裏面接続電極213Bの配置ピッチとは、同じ配置ピッチである。第1領域61の配置ピッチは、第1の方向における第1領域61の中心位置間の距離である。裏面接続電極213Bの配置ピッチは、第1の方向における裏面接続電極213Bの中心位置間の距離である。   The arrangement pitch of the two first regions 61 adjacent on the inner side in the first direction is the same arrangement pitch. In addition, the arrangement pitch of the two back connection electrodes 213B adjacent on the inner side in the first direction is the same arrangement pitch. The arrangement pitch of the two first regions 61 adjacent on the inner side in the first direction and the arrangement pitch of the two back surface connection electrodes 213B adjacent on the inner side in the first direction are the same arrangement pitch. . The arrangement pitch of the first regions 61 is a distance between the center positions of the first regions 61 in the first direction. The arrangement pitch of the back surface connection electrodes 213B is the distance between the center positions of the back surface connection electrodes 213B in the first direction.

すなわち、第1領域612と第1領域613との配置ピッチ、第1領域613と第1領域614との配置ピッチ、第1領域614と第1領域615との配置ピッチ、第1領域615と第1領域616との配置ピッチ、第1領域616と第1領域617との配置ピッチ、裏面接続電極1132と裏面接続電極1133との配置ピッチ、裏面接続電極1133と裏面接続電極1134との配置ピッチ、裏面接続電極1134と裏面接続電極1135との配置ピッチ、裏面接続電極1135と裏面接続電極1136との配置ピッチ、裏面接続電極1136と裏面接続電極1137との配置ピッチは、同じ配置ピッチである。   That is, the arrangement pitch between the first area 612 and the first area 613, the arrangement pitch between the first area 613 and the first area 614, the arrangement pitch between the first area 614 and the first area 615, and the first area 615 and the first area 615. An arrangement pitch between the first region 616, an arrangement pitch between the first region 616 and the first region 617, an arrangement pitch between the back surface connection electrode 1132 and the back surface connection electrode 1133, an arrangement pitch between the back surface connection electrode 1133 and the back surface connection electrode 1134, The arrangement pitch of the back connection electrode 1134 and the back connection electrode 1135, the arrangement pitch of the back connection electrode 1135 and the back connection electrode 1136, and the arrangement pitch of the back connection electrode 1136 and the back connection electrode 1137 are the same arrangement pitch.

第1領域長さA2、第1領域長さA3、第1領域長さA4、第1領域長さA5、第1領域長さA6および第1領域長さA7は、同じである。裏面接続電極長さC2、裏面接続電極長さC3、裏面接続電極長さC4、裏面接続電極長さC5、裏面接続電極長さC6および裏面接続電極長さC7は、同じである。そして、第1領域長さA2は、裏面接続電極長さC2よりも長い。   The first region length A2, the first region length A3, the first region length A4, the first region length A5, the first region length A6, and the first region length A7 are the same. The back surface connection electrode length C2, the back surface connection electrode length C3, the back surface connection electrode length C4, the back surface connection electrode length C5, the back surface connection electrode length C6, and the back surface connection electrode length C7 are the same. The first region length A2 is longer than the back surface connection electrode length C2.

距離B3、距離B4、距離B5、距離B6および距離B7は、同じである。距離D3、距離D4、距離D5、距離D6および距離D7は、同じである。そして、距離D3は、距離B3よりも長い。   The distance B3, the distance B4, the distance B5, the distance B6, and the distance B7 are the same. The distance D3, the distance D4, the distance D5, the distance D6, and the distance D7 are the same. The distance D3 is longer than the distance B3.

したがって、(第1領域長さA2+距離B3)=(第1領域長さA3+距離B4)=(第1領域長さA4+距離B5)=(第1領域長さA5+距離B6)=(第1領域長さA6+距離B7)=(裏面接続電極長さC2+距離D3)=(裏面接続電極長さC3+距離D4)=(裏面接続電極長さC4+距離D5)=(裏面接続電極長さC5+距離D6)=(裏面接続電極長さC6+距離D7)である。   Therefore, (first area length A2 + distance B3) = (first area length A3 + distance B4) = (first area length A4 + distance B5) = (first area length A5 + distance B6) = (first area Length A6 + Distance B7) = (Back connection electrode length C2 + Distance D3) = (Back connection electrode length C3 + Distance D4) = (Back connection electrode length C4 + Distance D5) = (Back connection electrode length C5 + Distance D6) = (Back connection electrode length C6 + distance D7).

第1の方向における第1領域612の中心位置と第1の方向における裏面接続電極1132の中心位置とを一致させるために、第1の方向において、太陽電池セル210の一端101から第1領域612の中心位置までの距離と、太陽電池セル210の一端101から裏面接続電極1132の中心位置までの距離と、は同じ距離とされている。すなわち、(距離B1+第1領域長さA1+距離B2+第1領域長さA2/2)=(距離D1+裏面接続電極長さC1+距離D2+裏面接続電極長さC2/2)とされている。   In order to make the center position of the first region 612 in the first direction coincide with the center position of the back surface connection electrode 1132 in the first direction, the first region 612 from the one end 101 of the solar battery cell 210 in the first direction. The distance from the center position of the solar battery cell 210 to the center position of the back surface connection electrode 1132 is the same distance. That is, (distance B1 + first region length A1 + distance B2 + first region length A2 / 2) = (distance D1 + back surface connection electrode length C1 + distance D2 + back surface connection electrode length C2 / 2).

第1の方向における第1領域617の中心位置と第1の方向における裏面接続電極1137の中心位置とを一致させるために、第1の方向において、太陽電池セル210の他端102から第1領域617の中心位置までの距離と、太陽電池セル210の他端102から裏面接続電極1137の中心位置までの距離と、は同じ距離とされている。すなわち、(距離B9+第1領域長さA8+距離B8+第1領域長さA7/2)=(距離D9+裏面接続電極長さC8+距離D8+裏面接続電極長さC7/2)とされている。   In order to make the center position of the first region 617 in the first direction coincide with the center position of the back surface connection electrode 1137 in the first direction, the first region from the other end 102 of the solar cell 210 in the first direction. The distance to the center position of 617 and the distance from the other end 102 of the solar battery cell 210 to the center position of the back surface connection electrode 1137 are the same distance. That is, (distance B9 + first region length A8 + distance B8 + first region length A7 / 2) = (distance D9 + back surface connection electrode length C8 + distance D8 + back surface connection electrode length C7 / 2).

第1領域長さA1は、裏面接続電極長さC1よりも長い。半導体基板11の面内方向に垂直な方向から半導体基板11を透視した場合に、第1の方向において、裏面接続電極1131は、第1領域611の内側において第1領域611に重なる位置、すなわち、第1の方向において、裏面接続電極1131は、第1領域611に包含される位置に配置されている。   The first region length A1 is longer than the back surface connection electrode length C1. When the semiconductor substrate 11 is seen through from a direction perpendicular to the in-plane direction of the semiconductor substrate 11, the back surface connection electrode 1131 overlaps the first region 611 inside the first region 611 in the first direction, that is, In the first direction, the back surface connection electrode 1131 is disposed at a position included in the first region 611.

第1領域長さA8は、裏面接続電極長さC8よりも長い。半導体基板11の面内方向に垂直な方向から半導体基板11を透視した場合に、第1の方向において、裏面接続電極1138は、第1領域618の内側において第1領域618に重なる位置、すなわち、第1の方向において、裏面接続電極1138は、第1領域618に包含される位置に配置されている。   The first region length A8 is longer than the back surface connection electrode length C8. When the semiconductor substrate 11 is seen through from a direction perpendicular to the in-plane direction of the semiconductor substrate 11, the back surface connection electrode 1138 overlaps the first region 618 inside the first region 618 in the first direction, that is, In the first direction, the back connection electrode 1138 is disposed at a position included in the first region 618.

裏面接続電極長さC1および裏面接続電極長さC8は、裏面接続電極長さC2と同じである。   The back connection electrode length C1 and the back connection electrode length C8 are the same as the back connection electrode length C2.

第1の方向において、第1の方向の端部側において隣り合う2つの第1領域61の配置ピッチは、第1の方向の内部側において隣り合う2つの第1領域61の配置ピッチよりも短い。すなわち、受光面バス電極212Bにおいて、第1の方向の端部側において隣り合う2つの第1領域61間の間隔は、第1の方向の中央部において隣り合う2つの第1領域61間の間隔を含む、第1の方向の内部側において隣り合う2つの第1領域61間の間隔よりも短い。したがって、距離B2および距離B8は、距離B3、距離B4、距離B5、距離B6および距離B7よりも短い。   In the first direction, the arrangement pitch of the two first regions 61 adjacent on the end side in the first direction is shorter than the arrangement pitch of the two first regions 61 adjacent on the inner side in the first direction. . That is, in the light-receiving surface bus electrode 212B, the interval between the two first regions 61 adjacent on the end side in the first direction is the interval between the two first regions 61 adjacent in the central portion in the first direction. Shorter than the interval between two adjacent first regions 61 on the inner side in the first direction. Therefore, the distance B2 and the distance B8 are shorter than the distance B3, the distance B4, the distance B5, the distance B6, and the distance B7.

第1の方向において、第1の方向の端部側において隣り合う2つの裏面接続電極213Bの配置ピッチは、第1の方向の内部側において隣り合う2つの裏面接続電極213Bの配置ピッチよりも短い。すなわち、1列の裏面接続電極213Bにおいて、第1の方向の端部側において隣り合う2つの裏面接続電極213B間の間隔は、第1の方向の中央部において隣り合う2つの裏面接続電極213B間の間隔を含む、第1の方向の内部側において隣り合う2つの裏面接続電極213B間の間隔よりも短い。したがって、距離D2および距離D8は、距離D3、距離D4、距離D5、距離D6および距離D7よりも短い。   In the first direction, the arrangement pitch of the two back connection electrodes 213B adjacent on the end side in the first direction is shorter than the arrangement pitch of the two back connection electrodes 213B adjacent on the inner side in the first direction. . That is, in one row of back surface connection electrodes 213B, the interval between the two back surface connection electrodes 213B adjacent on the end portion side in the first direction is between the two back surface connection electrodes 213B adjacent in the center portion in the first direction. This is shorter than the interval between two adjacent back surface connection electrodes 213B on the inner side in the first direction. Therefore, the distance D2 and the distance D8 are shorter than the distance D3, the distance D4, the distance D5, the distance D6, and the distance D7.

本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、第1の方向における受光面バス電極212Bの第1領域長さの合計が、実施の形態2にかかる太陽電池セル110の受光面バス電極112Bの第1領域長さの合計よりも大幅に長くされている。すなわち、図30に示すように、太陽電池セル210における第1領域長さの合計、すなわち第1領域長さA1から第1領域長さA8までの合計は、76mmである。一方、図27に示すように、実施の形態2にかかる太陽電池セル110の受光面バス電極112Bにおける第1領域長さの合計、すなわち第1領域長さA1から第1領域長さA8までの合計は、46mmである。   In the solar cell 210 according to the third embodiment, the total of the first region lengths of the light receiving surface bus electrode 212B in the first direction is the light receiving surface bus electrode 112B of the solar cell 110 according to the second embodiment. The length of the first region is significantly longer than the total of the first region lengths. That is, as shown in FIG. 30, the total first region length in the solar battery cell 210, that is, the total from the first region length A1 to the first region length A8 is 76 mm. On the other hand, as shown in FIG. 27, the total of the first region lengths in the light receiving surface bus electrode 112B of the solar battery cell 110 according to the second embodiment, that is, from the first region length A1 to the first region length A8. The total is 46 mm.

受光面バス電極212Bへのリード線20のはんだ付けは、主として第1領域61とリード線20とのはんだ付けにより行われる。したがって、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さは、第1領域長さの合計に近似される。したがって、第1領域長さの合計は、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さと考えられる。   Soldering of the lead wire 20 to the light receiving surface bus electrode 212B is mainly performed by soldering the first region 61 and the lead wire 20. Therefore, the length of the connection region between the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction is approximate to the total length of the first region. Therefore, the total length of the first region is considered to be the length of the connection region between the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction.

また、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、第1の方向における受光面バス電極212Bの第1領域長さの合計が、第1の方向における裏面接続電極213Bの長さの合計よりも長い。したがって、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さは、第1の方向における裏面接続電極213Bとリード線20との接続領域の長さよりも長い。すなわち、図31に示すように、裏面接続電極長さC1から裏面接続電極長さC8までの合計は、48mmである。一方、図30に示すように、第1領域長さの合計、すなわち第1領域長さA1から第1領域長さA8までの合計は、76mmである。   In the solar cell 210 according to the third embodiment, the total length of the first regions of the light receiving surface bus electrode 212B in the first direction is the total length of the back surface connection electrode 213B in the first direction. Longer than. Therefore, in the solar cell 210 according to the third embodiment, the length of the connection region between the light-receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction is equal to that of the back surface connection electrode 213B and the lead in the first direction. It is longer than the length of the connection area with the line 20. That is, as shown in FIG. 31, the total from the back surface connection electrode length C1 to the back surface connection electrode length C8 is 48 mm. On the other hand, as shown in FIG. 30, the total of the first area length, that is, the total from the first area length A1 to the first area length A8 is 76 mm.

太陽電池セル210は、アルミニウムを含む電極材料を使用した裏面集電電極13Aが太陽電池セル210の裏面全体に形成されているため、電極の焼成の熱処理後に太陽電池セル210には受光面側に凸となる反りが発生する。このため、凸状の曲面である太陽電池セル210の受光面側では、電極とリード線20との間に、リード線20を剥離する応力が太陽電池セル210の裏面側よりも多く掛かる。   In the solar cell 210, the back surface collecting electrode 13A using an electrode material containing aluminum is formed on the entire back surface of the solar cell 210. Therefore, after the heat treatment for firing the electrode, the solar cell 210 has a light receiving surface side. Convex warpage occurs. For this reason, on the light receiving surface side of the solar battery cell 210 that is a convex curved surface, a greater stress is applied between the electrode and the lead wire 20 than the back surface side of the solar battery cell 210.

太陽電池セル210においては、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さが、第1の方向における裏面接続電極213Bの長さよりも長くされている。そして、太陽電池セル210においては、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さが、実施の形態2にかかる太陽電池セル110での第1の方向における受光面バス電極112Bとリード線20との接続領域の長さよりも、長くされている。これにより、太陽電池セル210は、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さを長く確保することで、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接合強度を高めて、リード線20の剥離を抑制することができる。   In the solar cell 210, the length of the connection region between the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction is longer than the length of the back surface connection electrode 213B in the first direction. In solar cell 210, the length of the connection region between light-receiving surface bus electrode 212B and lead wire 20 in the first direction is the light reception in the first direction in solar cell 110 according to the second embodiment. The length is longer than the length of the connection region between the surface bus electrode 112 </ b> B and the lead wire 20. Thereby, the photovoltaic cell 210 ensures the length of the connection region between the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction so that the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire in the first direction are long. The bonding strength with 20 can be increased, and the peeling of the lead wire 20 can be suppressed.

一方、銀を含む電極材料を使用した銀ペーストが塗布および焼成されて形成される銀ペースト電極である裏面接続電極213Bは、銀ペースト電極である受光面電極212よりも、焼成処理後の状態において、ガラス成分が多い構成とされている。銀ペースト電極は、焼成処理後は、大半の部分が銀とガラスとで構成される。銀ペースト電極において、銀は電流を流す機能を有する。銀ペースト電極において、ガラスは、半導体基板11と電極との接合強度を保つ機能を有する。   On the other hand, the back surface connection electrode 213B, which is a silver paste electrode formed by applying and baking a silver paste using an electrode material containing silver, is in a state after the baking treatment, rather than the light receiving surface electrode 212 that is a silver paste electrode. The composition is rich in glass components. Most of the silver paste electrode is composed of silver and glass after the baking treatment. In the silver paste electrode, silver has a function of flowing current. In the silver paste electrode, the glass has a function of maintaining the bonding strength between the semiconductor substrate 11 and the electrode.

銀ペースト電極である受光面電極212と銀ペースト電極である裏面接続電極213Bとを比較すると、受光面電極212は、電極での抵抗を下げるために、電極材料における銀の比率が裏面接続電極213Bよりも高くされている。受光面電極212では、電極での抵抗を下げるために、電極材料における銀の比率を極力高くすることが好ましい。一方、太陽電池セル210の裏面側では、半導体基板11からの集電の機能は、アルミニウムを含む電極材料を使用した裏面集電電極13Aが受け持つ。このため、裏面接続電極213Bでは、電極材料における銀の比率を低くして、電極材料におけるガラス成分の比率を高くすることで、半導体基板11との接合強度を高めることができる。   Comparing the light receiving surface electrode 212 that is a silver paste electrode and the back surface connection electrode 213B that is a silver paste electrode, the light receiving surface electrode 212 has a ratio of silver in the electrode material of the back surface connection electrode 213B in order to reduce resistance at the electrode. Is higher than. In the light-receiving surface electrode 212, it is preferable to increase the ratio of silver in the electrode material as much as possible in order to reduce the resistance at the electrode. On the other hand, on the back surface side of the solar battery cell 210, the function of collecting current from the semiconductor substrate 11 is handled by the back surface collecting electrode 13A using an electrode material containing aluminum. For this reason, in the back surface connection electrode 213B, the bonding strength with the semiconductor substrate 11 can be increased by reducing the ratio of silver in the electrode material and increasing the ratio of the glass component in the electrode material.

したがって、太陽電池セル210は、焼成処理後の状態の裏面接続電極213Bでの電極材料におけるガラス成分の比率を、焼成処理後の状態の受光面電極212での電極材料におけるガラス成分の比率よりも高くすることで、半導体基板11と裏面接続電極213Bとの間の接合強度を、裏面接続電極213Bが剥離しない高いレベルに保つことが可能である。これにより、太陽電池セル210は、第1の方向における裏面接続電極213Bの長さの合計を、第1の方向における受光面バス電極212Bの第1領域長さの合計の長さよりも短くしても、半導体基板11と裏面接続電極213Bとの間の接合強度を、裏面接続電極213Bが剥離しない高いレベルに保つことが可能である。   Therefore, the solar cell 210 has a ratio of the glass component in the electrode material in the back surface connection electrode 213B in the state after the firing process, rather than a ratio of the glass component in the electrode material in the light receiving surface electrode 212 in the state after the firing process. By making it high, it is possible to maintain the bonding strength between the semiconductor substrate 11 and the back surface connection electrode 213B at a high level at which the back surface connection electrode 213B does not peel off. Thereby, the solar battery 210 makes the total length of the back surface connection electrode 213B in the first direction shorter than the total length of the first region length of the light receiving surface bus electrode 212B in the first direction. In addition, the bonding strength between the semiconductor substrate 11 and the back surface connection electrode 213B can be maintained at a high level at which the back surface connection electrode 213B does not peel off.

上述したように、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、受光面バス電極212Bの第1領域61と裏面接続電極213Bとは、半導体基板11の面内において対応する位置に配置されている。これにより、太陽電池セル210は、上述した太陽電池セル10および太陽電池セル210と同様に、太陽電池モジュールの作製時における太陽電池セル210の反りによる太陽電池セル210の破損率を低減させることが可能である。   As described above, in the solar cell 210 according to the third embodiment, the first region 61 of the light receiving surface bus electrode 212B and the back surface connection electrode 213B are arranged at corresponding positions in the surface of the semiconductor substrate 11. ing. Thereby, the photovoltaic cell 210 can reduce the damage rate of the photovoltaic cell 210 by the curvature of the photovoltaic cell 210 at the time of manufacture of a photovoltaic module similarly to the photovoltaic cell 10 and the photovoltaic cell 210 mentioned above. Is possible.

また、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、太陽電池セル210における裏面側における相互接続側の端部である太陽電池セル210の他端102側で、太陽電池セル210の端面から裏面接続電極213Bまでの距離を長くする。これにより、実施の形態2にかかる太陽電池セル110と同様に、リード線20の曲げ部20aへの応力集中を低減することができ、受光面保護部31となる受光面ガラスとリード線20との線膨張係数の差等に起因して、昼夜の温度サイクルによって曲げ部20aに掛かる繰り返し応力を小さくすることができるため、長期信頼性に優れた太陽電池モジュールが実現できる。   Moreover, in the photovoltaic cell 210 concerning this Embodiment 3, it is from the end surface of the photovoltaic cell 210 in the other end 102 side of the photovoltaic cell 210 which is the edge part of the interconnection side in the back surface side in the photovoltaic cell 210. The distance to the back connection electrode 213B is increased. Thereby, similarly to the solar battery cell 110 according to the second exemplary embodiment, the stress concentration on the bent portion 20a of the lead wire 20 can be reduced, and the light receiving surface glass and the lead wire 20 serving as the light receiving surface protection portion 31 can be reduced. Due to the difference in the linear expansion coefficient, etc., it is possible to reduce the repeated stress applied to the bent portion 20a due to the temperature cycle of day and night, so that a solar cell module having excellent long-term reliability can be realized.

また、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さが、第1の方向における裏面接続電極213Bとリード線20との接続領域の長さよりも長くされている。これにより、太陽電池セル210は、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接続領域の長さを長く確保することで、第1の方向における受光面バス電極212Bとリード線20との接合強度を高めて、リード線20の剥離を抑制することができる。   Further, in the solar cell 210 according to the third embodiment, the length of the connection region between the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction is equal to that of the back surface connection electrode 213B and the lead in the first direction. It is longer than the length of the connection area with the line 20. Thereby, the photovoltaic cell 210 ensures the length of the connection region between the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire 20 in the first direction so that the light receiving surface bus electrode 212B and the lead wire in the first direction are long. The bonding strength with 20 can be increased, and the peeling of the lead wire 20 can be suppressed.

以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、実施の形態の技術同士を組み合わせることも可能であり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。   The configuration shown in the above embodiment shows an example of the contents of the present invention, and the technologies of the embodiment can be combined with each other, and can be combined with another known technology. It is also possible to omit or change a part of the configuration without departing from the gist of the present invention.

1,11 半導体基板、2 n型不純物拡散層、3 反射防止膜、4 BSF層、10,110,210 太陽電池セル、11A 受光面、11B 裏面、12,112,212 受光面電極、12B,112B,212B 受光面バス電極、12Ba 受光面バス電極の側面、12G 受光面グリッド電極、12a,13b 銀電極ペースト、13,113,213 裏面電極、13A 裏面集電電極、13B,113B,213B,1131,1132,1133,1134,1135,1136,1137,1138 裏面接続電極、13a アルミニウム電極ペースト、20 リード線、20a 曲げ部、20b リード線の幅方向の側面、25 横リード線、26 出力リード線、31 受光面保護部、32 裏面保護部、33 受光面側封止材、34 裏面側封止材、40 フレーム、50 太陽電池ストリング、60 貫通孔、61,611,612,613,614,615,616,617,618 第1領域、62 第2領域、63 接続部、63a 接続部の外側の側面、70 太陽電池アレイ、100 太陽電池モジュール、101 一端、102 他端、A1,A2,A3,A4,A5,A6,A7,A8 第1領域長さ、B1,B2,B3,B4,B5,B6,B7,B8,B9 距離、C1,C2,C3,C4,C5,C6,C7,C8 裏面接続電極長さ、D1,D2,D3,D4,D5,D6,D7,D8,D9 距離。   1,11 Semiconductor substrate, 2 n-type impurity diffusion layer, 3 antireflection film, 4 BSF layer, 10,110,210 solar cell, 11A light receiving surface, 11B back surface, 12, 112, 212 light receiving surface electrode, 12B, 112B , 212B Light receiving surface bus electrode, 12Ba Light receiving surface bus electrode side surface, 12G Light receiving surface grid electrode, 12a, 13b Silver electrode paste, 13, 113, 213 Back electrode, 13A Back surface collecting electrode, 13B, 113B, 213B, 1131 1132, 1133, 1134, 1135, 1136, 1137, 1138 Back connection electrode, 13a Aluminum electrode paste, 20 lead wire, 20a bent portion, 20b Side surface in the width direction of the lead wire, 25 lateral lead wire, 26 output lead wire, 31 Light-receiving surface protection part, 32 Back surface protection part, 33 Light-receiving surface side sealing material, 4 Back side sealing material, 40 frame, 50 solar cell string, 60 through-hole, 61, 611, 612, 613, 614, 615, 616, 617, 618 first region, 62 second region, 63 connecting portion, 63a Side surface outside the connecting portion, 70 solar cell array, 100 solar cell module, 101 one end, 102 other end, A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7, A8 first region length, B1, B2, B3 , B4, B5, B6, B7, B8, B9 Distance, C1, C2, C3, C4, C5, C6, C7, C8 Back connection electrode length, D1, D2, D3, D4, D5, D6, D7, D8 , D9 distance.

上述したように、本実施の形態3にかかる太陽電池セル210においては、受光面バス電極212Bの第1領域61と裏面接続電極213Bとは、半導体基板11の面内において対応する位置に配置されている。これにより、太陽電池セル210は、上述した太陽電池セル10および太陽電池セル110と同様に、太陽電池モジュールの作製時における太陽電池セル210の反りによる太陽電池セル210の破損率を低減させることが可能である。 As described above, in the solar cell 210 according to the third embodiment, the first region 61 of the light receiving surface bus electrode 212B and the back surface connection electrode 213B are arranged at corresponding positions in the surface of the semiconductor substrate 11. ing. Thereby, the photovoltaic cell 210 can reduce the damage rate of the photovoltaic cell 210 by the curvature of the photovoltaic cell 210 at the time of manufacture of a photovoltaic module similarly to the photovoltaic cell 10 and the photovoltaic cell 110 which were mentioned above. Is possible.

Claims (10)

pn接合を有する半導体基板と、
前記半導体基板における受光面側において第1の方向に延在して設けられた受光面バス電極と、
前記半導体基板における前記受光面と反対側を向く裏面側において前記第1の方向に沿って分散配置されて設けられた複数の裏面接続電極と、
を備え、
前記受光面バス電極は、前記受光面バス電極の厚み方向に貫通した複数の貫通孔が前記第1の方向に沿って設けられ、
前記裏面接続電極は、前記受光面バス電極における前記複数の貫通孔を除いた領域と前記半導体基板の厚み方向において相対する位置に配置されていること、
を特徴とする太陽電池セル。
a semiconductor substrate having a pn junction;
A light-receiving surface bus electrode provided extending in the first direction on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate;
A plurality of back surface connection electrodes provided in a distributed manner along the first direction on the back surface side facing the light receiving surface of the semiconductor substrate;
With
The light-receiving surface bus electrode is provided with a plurality of through-holes extending in the thickness direction of the light-receiving surface bus electrode along the first direction,
The back connection electrode is disposed at a position facing the region of the light receiving surface bus electrode excluding the plurality of through holes and in the thickness direction of the semiconductor substrate;
A solar cell characterized by.
前記受光面バス電極は、前記半導体基板の面内において前記第1の方向と直交する第2の方向における両端部が前記第1の方向に平行な直線状であること、
を特徴とする請求項1に記載の太陽電池セル。
The light-receiving surface bus electrode has a linear shape in which both end portions in a second direction orthogonal to the first direction are parallel to the first direction in the plane of the semiconductor substrate;
The solar battery cell according to claim 1.
前記受光面バス電極は、
前記第1の方向において、前記貫通孔が設けられていない複数の第1領域と、
前記第1の方向において、前記貫通孔が設けられた複数の第2領域と、
を備え、
前記裏面接続電極は、前記複数の第1領域と前記半導体基板の厚み方向において相対する位置に配置されていること、
を特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池セル。
The light-receiving surface bus electrode is
A plurality of first regions in which the through holes are not provided in the first direction;
A plurality of second regions provided with the through holes in the first direction;
With
The back surface connection electrode is disposed at a position facing the plurality of first regions in the thickness direction of the semiconductor substrate;
The solar battery cell according to claim 1, wherein:
前記第1の方向における受光面バス電極の両端が前記第1領域によって構成されていること、
を特徴とする請求項3に記載の太陽電池セル。
Both ends of the light-receiving surface bus electrode in the first direction are constituted by the first region,
The solar battery cell according to claim 3.
前記半導体基板が、前記第1の方向における前記太陽電池セルの端部である第1端辺部と、前記第1の方向における前記第1端辺部と反対側の前記太陽電池セルの端部である第2端辺部と、を有する長方形状を有し、
前記第2端辺部に隣り合う前記裏面接続電極と前記第2端辺部との距離が、前記第1端辺部に隣り合う前記裏面接続電極と前記第1端辺部との距離よりも長いこと、
を特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の太陽電池セル。
The semiconductor substrate has a first end side that is an end of the solar cell in the first direction, and an end of the solar cell opposite to the first end in the first direction. A second end side that is a rectangular shape,
The distance between the back connection electrode adjacent to the second end side and the second end side is greater than the distance between the back connection electrode adjacent to the first end side and the first end side. For a long time,
The solar battery cell according to any one of claims 1 to 4, wherein:
前記第1の方向の端部側において隣り合う前記第1領域間の間隔は、前記第1の方向の内部側において隣り合う前記第1領域間の間隔よりも短いこと、
を特徴とする請求項3から5のいずれか1つに記載の太陽電池セル。
An interval between the first regions adjacent on the end side in the first direction is shorter than an interval between the first regions adjacent on the inner side in the first direction;
The solar battery cell according to any one of claims 3 to 5, wherein:
前記第1の方向において、前記受光面バス電極の第1領域は、前記半導体基板の厚み方向において相対する位置に配置されている前記裏面接続電極よりも長いこと、
を特徴とする請求項3から6のいずれか1つに記載の太陽電池セル。
In the first direction, the first region of the light-receiving surface bus electrode is longer than the back surface connection electrode arranged at a position facing in the thickness direction of the semiconductor substrate,
The solar cell according to any one of claims 3 to 6, wherein:
請求項1から7のいずれか1つに記載の複数の太陽電池セルと、
前記第1の方向において隣り合う2つの前記太陽電池セルにおいて、一方の前記太陽電池セルの前記受光面バス電極と、他方の前記太陽電池セルの前記裏面接続電極と、を接続するリード線と、
を備えることを特徴とする太陽電池モジュール。
A plurality of solar cells according to any one of claims 1 to 7;
In the two solar cells adjacent in the first direction, a lead wire that connects the light receiving surface bus electrode of one of the solar cells and the back surface connection electrode of the other solar cell,
A solar cell module comprising:
一方の太陽電池セルの前記第2端辺部と他方の太陽電池セルの前記第1端辺部とが対向した状態で配置されて前記第1の方向において隣り合う請求項5に記載の2つの太陽電池セルと、
前記一方の太陽電池セルの前記裏面接続電極と、前記他方の太陽電池セルの前記受光面バス電極と、を接続するリード線と、
を備え、
前記リード線は、一方の前記太陽電池セルにおける前記第2端辺部側の前記裏面接続電極と、前記他方の太陽電池セルにおける前記第1端辺部側の前記受光面バス電極と、を接続すること、
を特徴とする太陽電池モジュール。
6. The two according to claim 5, wherein the second end side part of one solar battery cell and the first end side part of the other solar battery cell are arranged so as to face each other and are adjacent in the first direction. Solar cells,
A lead wire connecting the back surface connection electrode of the one solar cell and the light receiving surface bus electrode of the other solar cell;
With
The lead wire connects the back surface connection electrode on the second end side in one of the solar cells and the light receiving surface bus electrode on the first end side in the other solar cell. To do,
A solar cell module characterized by.
前記受光面バス電極の幅と、前記リード線の幅とが等しく、
前記リード線は、前記半導体基板の面内において前記第1の方向と直交する第2の方向における前記受光面バス電極の両側の側面の位置と、前記第2の方向における前記リード線の両側の側面の位置と、が同じ位置とされて前記受光面バス電極に重ねて接続されていること、
を特徴とする請求項8または9に記載の太陽電池モジュール。
The width of the light receiving surface bus electrode is equal to the width of the lead wire,
The lead wires are positioned on both sides of the light-receiving surface bus electrode in a second direction orthogonal to the first direction in the plane of the semiconductor substrate, and on both sides of the lead wire in the second direction. The position of the side surface is the same position and is overlapped and connected to the light receiving surface bus electrode;
The solar cell module according to claim 8 or 9.
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