JPWO2018097010A1 - Resin composition, thermosetting film, cured resin, laminate, printed wiring board, and semiconductor device using the same - Google Patents
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Abstract
プリント配線板の配線に含まれている金属箔およびポリイミド等の基板材料に対して優れた接着強度を有し、かつ、高周波領域での誘電特性、具体的には、周波数1〜100GHzの領域で、低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)を示す熱硬化性フィルム、および、該熱硬化性フィルムの作製に用いる樹脂組成物の提供。(A)エポキシ樹脂、(B)周波数1〜100GHzの領域で、0.005未満の誘電正接(tanδ)を有する樹脂、および、(C)複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在するイミダゾール化合物を含む樹脂組成物。It has excellent adhesion strength to substrate materials such as metal foil and polyimide contained in the wiring of the printed wiring board, and has dielectric properties in a high frequency region, specifically, in a frequency range of 1 to 100 GHz. , A thermosetting film exhibiting a low dielectric constant (ε) and a low dielectric loss tangent (tan δ), and a resin composition used for producing the thermosetting film. (A) an epoxy resin, (B) a resin having a dielectric loss tangent (tan δ) of less than 0.005 in the frequency range of 1 to 100 GHz, and (C) having 5 or more carbon atoms at the 1-position of the heterocyclic ring The resin composition containing the imidazole compound in which the side chain which has an alkyl group exists.
Description
本開示は、樹脂組成物、および、それを用いた熱硬化性フィルム、樹脂硬化物、積層板、プリント配線板、および半導体装置に関する。 The present disclosure relates to a resin composition, and a thermosetting film, a cured resin, a laminated board, a printed wiring board, and a semiconductor device using the resin composition.
近年、電気機器および電子機器の小型化、軽量化、および、高性能化が進んでいる。これに伴い、これら機器に使用されるプリント配線板、特に多層プリント配線板に対し、さらなる高多層化、高密度化、薄型化、軽量化、高信頼性、および、成形加工性等が要求されている。また、最近のプリント配線板における伝送信号の高速化要求に伴い、伝送信号の高周波化が顕著に進んでいる。これにより、プリント配線板に使用する材料に対して、高周波領域、具体的には、周波数1GHz以上の領域での電気信号損失を低減できることが求められる。 In recent years, electric devices and electronic devices have been reduced in size, weight, and performance. Along with this, printed wiring boards used in these devices, especially multilayer printed wiring boards, are required to have higher multi-layers, higher density, thinner, lighter weight, higher reliability, and moldability. ing. In addition, with the recent demand for higher speed transmission signals in printed wiring boards, the frequency of transmission signals has increased significantly. Thereby, it is required that the material used for the printed wiring board can reduce electric signal loss in a high frequency region, specifically, in a region having a frequency of 1 GHz or more.
多層プリント配線板に使用される層間接着剤、あるいは、プリント配線板の表面保護膜(すなわち、カバーレイフィルム)として用いる接着フィルムについても、高周波領域で優れた誘電特性(低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ))を示すことが求められる。具体的には、周波数1〜10GHzの領域での誘電率が3.5以下であること、および、周波数1〜10GHzの領域での誘電正接(tanδ)が0.010以下であることが求められる。本開示において、数値範囲における「〜」は、その前後に記載される数値がその領域に含まれることを意味する。すなわち、数値範囲「X〜Y」は、X以上Y以下を意味する。上記の誘電率および誘電正接の条件を満たす接着フィルムは、例えば、特許文献1で提案されている。 Dielectric properties (low dielectric constant (ε), excellent dielectric properties in the high-frequency region) are also used for interlayer adhesives used in multilayer printed wiring boards or adhesive films used as surface protective films (ie, coverlay films) of printed wiring boards. In addition, it is required to show a low dielectric loss tangent (tan δ). Specifically, it is required that the dielectric constant in the frequency range of 1 to 10 GHz is 3.5 or less and the dielectric loss tangent (tan δ) in the frequency range of 1 to 10 GHz is 0.010 or less. . In the present disclosure, “to” in a numerical range means that numerical values described before and after the numerical value are included in the region. That is, the numerical range “X to Y” means X or more and Y or less. An adhesive film that satisfies the above conditions of dielectric constant and dielectric loss tangent has been proposed in Patent Document 1, for example.
しかしながら、プリント配線板の基板に含まれるポリイミドに対する更なる接着強度向上が求められている。そのため、特許文献1に記載の接着フィルムの有する接着強度では、必ずしも十分ではない場合もある。 However, there is a demand for further improvement in adhesion strength to polyimide contained in the substrate of the printed wiring board. Therefore, the adhesive strength of the adhesive film described in Patent Document 1 may not always be sufficient.
上記した従来技術における問題点を解決するため、本開示の目的は、以下の樹脂組成物、それを用いた熱硬化性フィルム、樹脂硬化物、積層板、プリント配線板、および半導体装置を提供することにある。この熱硬化性フィルムは、硬化後に、プリント配線板の配線に含まれている金属箔、および、ポリイミド等の基板材料、に対して優れた接着強度を有する。かつ、この熱硬化性フィルムは、高周波領域での誘電特性、具体的には、周波数1〜100GHzの領域で、低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)を示す。上記の樹脂組成物は、該熱硬化性フィルムの作製に用いることができる。 In order to solve the above-described problems in the prior art, an object of the present disclosure is to provide the following resin composition, a thermosetting film using the same, a cured resin, a laminated board, a printed wiring board, and a semiconductor device. There is. This thermosetting film has an excellent adhesive strength after curing to a metal foil contained in the wiring of the printed wiring board and a substrate material such as polyimide. Moreover, this thermosetting film exhibits a dielectric property in a high frequency region, specifically, a low dielectric constant (ε) and a low dielectric loss tangent (tan δ) in a frequency region of 1 to 100 GHz. Said resin composition can be used for preparation of this thermosetting film.
上記の目的を達成するため、本開示における1つの態様(第1態様)は、
(A)エポキシ樹脂、
(B)周波数1〜100GHzの領域で、0.005未満の誘電正接(tanδ)を有する樹脂、
および、
(C)複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在するイミダゾール化合物、
を含む樹脂組成物を提供する。In order to achieve the above object, one aspect (first aspect) of the present disclosure includes
(A) epoxy resin,
(B) a resin having a dielectric loss tangent (tan δ) of less than 0.005 in a frequency range of 1 to 100 GHz;
and,
(C) an imidazole compound in which a side chain having an alkyl group having 5 or more carbon atoms is present at the 1-position of the heterocyclic ring;
The resin composition containing this is provided.
第1態様の樹脂組成物に含まれている、前記(C)イミダゾール化合物は、好ましくは、下記式(I)で表される化合物である。
第1態様の樹脂組成物に含まれている、前記(B)樹脂は、好ましくは、変性ポリフェニレンエーテル(変性PPE)樹脂、スチレン系熱可塑性エラストマー、および、ポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも1つの樹脂である。 The resin (B) contained in the resin composition of the first aspect is preferably at least selected from the group consisting of a modified polyphenylene ether (modified PPE) resin, a styrene-based thermoplastic elastomer, and a polyimide resin. One resin.
また、本開示における第2の態様は、上記樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムを提供する。 Moreover, the 2nd aspect in this indication provides the thermosetting film formed from the said resin composition.
また、本開示における第3の態様は、硬化された、上記樹脂組成物または上記熱硬化性フィルムである、樹脂硬化物を提供する。 Moreover, the 3rd aspect in this indication provides resin hardened material which is the above-mentioned resin composition or the above-mentioned thermosetting film hardened.
また、本開示における第4の態様は、上記樹脂硬化物を含む積層板を提供する。 Moreover, the 4th aspect in this indication provides the laminated board containing the said resin hardened | cured material.
また、本開示における第5の態様は、上記樹脂硬化物を含むプリント配線板を提供する Moreover, the 5th aspect in this indication provides the printed wiring board containing the said resin hardened | cured material.
また、本開示における第6の態様は、上記樹脂硬化物を含む半導体装置を提供する。 Moreover, the 6th aspect in this indication provides the semiconductor device containing the said resin hardened | cured material.
上記した第1の態様の樹脂組成物により形成される熱硬化性フィルムは、硬化後に、プリント配線板の配線に含まれている金属箔、および、ポリイミド等の基板材料、に対して優れた接着強度を有し、かつ、高周波領域での誘電特性、具体的には、周波数1〜100GHzの領域で低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)を示す。 The thermosetting film formed from the resin composition of the first aspect described above has excellent adhesion to a metal foil contained in the wiring of the printed wiring board and a substrate material such as polyimide after curing. It has strength and exhibits dielectric characteristics in a high frequency region, specifically, a low dielectric constant (ε) and a low dielectric loss tangent (tan δ) in a frequency region of 1 to 100 GHz.
以下、本開示における一実施形態について詳細に説明する。
本実施形態の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)周波数1〜100GHzの領域で、0.005未満の誘電正接(tanδ)を有する樹脂、および、(C)複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を含む側鎖を有するイミダゾール化合物を含む。本実施形態の樹脂組成物の各成分について、以下に記載する。Hereinafter, an embodiment of the present disclosure will be described in detail.
The resin composition of the present embodiment includes (A) an epoxy resin, (B) a resin having a dielectric loss tangent (tan δ) of less than 0.005 in the frequency range of 1 to 100 GHz, and (C) the first position of the heterocyclic ring. In addition, an imidazole compound having a side chain containing an alkyl group having 5 or more carbon atoms is included. Each component of the resin composition of this embodiment is described below.
(A)エポキシ樹脂
(A)成分のエポキシ樹脂の例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、シロキサン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、および、アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂が挙げられる。本実施形態の樹脂組成物において、ここで例示した化合物は単独で用いられてもよいし、2つ以上の化合物が混合して用いられてもよい。(A) Epoxy resin Examples of the epoxy resin of component (A) include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, siloxane type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin. Glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, epoxy resin having naphthalene skeleton, and epoxy resin having anthracene skeleton. In the resin composition of the present embodiment, the compounds exemplified here may be used alone, or two or more compounds may be mixed and used.
また、誘電特性向上の観点から、(A)成分のエポキシ樹脂は、好ましくは、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂のいずれかを含む。市販のビフェニル型エポキシ樹脂の例としては、日本化薬株式会社製のNC−3000H、市販のナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂の例としては、DIC株式会社製のHP4032D、および、市販のアントラセン骨格を有するエポキシ樹脂の例としては、三菱化学株式会社製のJERYX8800、を挙げることができる。 Moreover, from the viewpoint of improving dielectric properties, the epoxy resin of component (A) preferably contains any of a biphenyl type epoxy resin, an epoxy resin having a naphthalene skeleton, and an epoxy resin having an anthracene skeleton. Examples of commercially available biphenyl type epoxy resins include NC-3000H manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and examples of commercially available epoxy resins having a naphthalene skeleton include HP4032D manufactured by DIC Corporation, and a commercially available anthracene skeleton. As an example of the epoxy resin, JERIX8800 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation can be given.
誘電特性、および、銅箔に対するピール強度向上の観点から、(A)成分のエポキシ樹脂は、好ましくはナフタレン型エポキシ樹脂である。 From the viewpoint of improving dielectric properties and peel strength with respect to the copper foil, the epoxy resin of component (A) is preferably a naphthalene type epoxy resin.
(A)成分のエポキシ樹脂の含有量は、(A)成分と(B)成分との合計100質量部に対し、好ましくは2〜30質量部、より好ましくは2〜20質量部、さらに好ましくは2〜10質量部である。(A)成分が少なすぎると、本実施形態の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムの接着性が悪化する。(A)成分が多すぎると相対的に(B)成分の量が減少するため、熱硬化性フィルムの高周波領域の誘電特性が悪化する。 The content of the epoxy resin as the component (A) is preferably 2 to 30 parts by mass, more preferably 2 to 20 parts by mass, and still more preferably 100 parts by mass in total of the component (A) and the component (B). 2 to 10 parts by mass. When there are too few (A) components, the adhesiveness of the thermosetting film formed from the resin composition of this embodiment will deteriorate. When the amount of the component (A) is too large, the amount of the component (B) is relatively decreased, so that the dielectric properties in the high frequency region of the thermosetting film are deteriorated.
(B)成分の樹脂は、周波数1〜100GHzの領域で、0.005未満の誘電正接(tanδ)を有する。このことは、本開示の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムの、高周波領域での優れた誘電特性、すなわち、周波数1GHz以上の領域での低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)に寄与する。 The resin of component (B) has a dielectric loss tangent (tan δ) of less than 0.005 in the frequency range of 1 to 100 GHz. This is because the thermosetting film formed from the resin composition of the present disclosure has excellent dielectric properties in a high frequency region, that is, a low dielectric constant (ε) in a frequency region of 1 GHz or more and a low dielectric loss tangent. Contributes to (tan δ).
(B)成分の樹脂は、好ましくは、変性ポリフェニレンエーテル(変性PPE)樹脂、スチレン系熱可塑性エラストマー、および、ポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも1つの樹脂である。これら樹脂のいずれか1つのみが使用されてもよく、また、2以上の樹脂が併用されてもよい。 The resin of component (B) is preferably at least one resin selected from the group consisting of a modified polyphenylene ether (modified PPE) resin, a styrenic thermoplastic elastomer, and a polyimide resin. Only one of these resins may be used, or two or more resins may be used in combination.
(B)成分として、変性PPE樹脂が用いられる場合、好ましくは、下記一般式(1)で示される化合物が用いられる。
式(2)中、R1、R2、R3、R7、およびR8は、炭素原子数6以下のアルキル基またはフェニル基であり、互いに同一または異なってもよい。R4、R5、R6は、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基、またはフェニル基であり、互いに同一または異なってもよい。In formula (2), R 1 , R 2 , R 3 , R 7 , and R 8 are alkyl groups or phenyl groups having 6 or less carbon atoms, and may be the same or different from each other. R 4 , R 5 and R 6 are a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and may be the same or different from each other.
式(3)中、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、およびR16は、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基、またはフェニル基であり、互いに同一または異なってもよい。−A−は、炭素原子数20以下の直鎖状、分岐状、または環状の2価の炭化水素基である。In Formula (3), R 9 , R 10 , R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , and R 16 are a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, They may be the same or different from each other. -A- is a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms.
式(1)中、−(Y−O)−は、一般式(4)で表される。式(1)では、式(4)で表される、1種類の構造または2種類以上の構造がランダムに配列している。
式(1)中、aおよびbは、0〜100の整数を示す。ただし、aおよびbのうちの少なくとも一方は、0でない。 In Formula (1), a and b show the integer of 0-100. However, at least one of a and b is not 0.
式(3)における−A−の例としては、メチレン、エチリデン、1−メチルエチリデン、1,1−プロピリデン、1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)、1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)、シクロヘキシリデン、フェニルメチレン、ナフチルメチレン、および1−フェニルエチリデン、等の2価の有機基が挙げられる。ただし、この2価の有機基は、これらの基に限定されない。 Examples of -A- in formula (3) include methylene, ethylidene, 1-methylethylidene, 1,1-propylidene, 1,4-phenylenebis (1-methylethylidene), 1,3-phenylenebis (1- And divalent organic groups such as methylethylidene), cyclohexylidene, phenylmethylene, naphthylmethylene, and 1-phenylethylidene. However, this divalent organic group is not limited to these groups.
式(1)で示される化合物中、好ましくは、R1、R2、R3、R7、R8、R17、およびR18が炭素原子数3以下のアルキル基であり、かつ、R4、R5、R6、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R19、およびR20が水素原子または炭素原子数3以下のアルキル基である。特に好ましくは、一般式(2)または一般式(3)で表される−(O−X−O)−が、一般式(5)、一般式(6)、または一般式(7)であり、より好ましくは、一般式(4)で表される−(Y−O)−が、式(8)または式(9)である。Among the compounds represented by the formula (1), R 1 , R 2 , R 3 , R 7 , R 8 , R 17 , and R 18 are preferably an alkyl group having 3 or less carbon atoms, and R 4 , R 5 , R 6 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 19 , and R 20 are a hydrogen atom or an alkyl group having 3 or less carbon atoms is there. Particularly preferably, — (O—X—O) — represented by the general formula (2) or the general formula (3) is the general formula (5), the general formula (6), or the general formula (7). More preferably,-(YO)-represented by the general formula (4) is the formula (8) or the formula (9).
式(1)で示される化合物の製造方法は、特に限定されない。例えば、2官能フェノール化合物と、1官能フェノール化合物と、を酸化カップリングさせて得られる2官能フェニレンエーテルオリゴマーの末端フェノール性水酸基をビニルベンジルエーテル化することにより製造することができる。 The method for producing the compound represented by the formula (1) is not particularly limited. For example, it can be produced by vinylbenzyl etherifying a terminal phenolic hydroxyl group of a bifunctional phenylene ether oligomer obtained by oxidative coupling of a bifunctional phenol compound and a monofunctional phenol compound.
式(1)で示される化合物の数平均分子量は、GPC法によるポリスチレン換算で、好ましくは500〜3、000の範囲、より好ましくは1000〜2500の範囲である。数平均分子量が500以上であれば、本実施形態の樹脂組成物を塗膜状にした際にべたつきが少ない。また、数平均分子量が3000以下であれば、溶剤への溶解性の低下を抑制することができる。 The number average molecular weight of the compound represented by the formula (1) is preferably in the range of 500 to 3,000, more preferably in the range of 1000 to 2500 in terms of polystyrene by the GPC method. When the number average molecular weight is 500 or more, there is little stickiness when the resin composition of this embodiment is formed into a coating film. Moreover, if a number average molecular weight is 3000 or less, the fall of the solubility to a solvent can be suppressed.
(B)成分としてのスチレン系熱可塑性エラストマーとは、スチレン、その同族体、あるいはその類似体を含有する熱可塑性エラストマーを指す。(B)成分としてのスチレン系熱可塑性エラストマーの例としては、ポリスチレン−ポリ(エチレン−エチレン/プロピレン)ブロック−ポリスチレン(SEEPS)、ポリスチレン−ポリ(エチレン/ブチレン)ブロック−ポリスチレン(SEBS)、スチレン−ブタジエンブロック共重合体(SBS)、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体(SIS)、およびポリブタジエン(PB)が挙げられる。ここで例示したエラストマーの1つが単独で用いられてもよいし、2つ以上のエラストマーが混合して用いられてもよい。プリント配線板の配線に含まれている金属箔、および、ポリイミド等の基板材料、に対する誘電特性向上の観点からは、SEEPSが好ましい。 The styrene-based thermoplastic elastomer as the component (B) refers to a thermoplastic elastomer containing styrene, a homologue thereof, or an analogue thereof. Examples of the styrenic thermoplastic elastomer as the component (B) include polystyrene-poly (ethylene-ethylene / propylene) block-polystyrene (SEEPS), polystyrene-poly (ethylene / butylene) block-polystyrene (SEBS), styrene- Examples include butadiene block copolymer (SBS), styrene-isoprene-styrene block copolymer (SIS), and polybutadiene (PB). One of the elastomers exemplified here may be used alone, or two or more elastomers may be mixed and used. From the viewpoint of improving the dielectric properties with respect to the metal foil contained in the wiring of the printed wiring board and the substrate material such as polyimide, SEEPS is preferable.
(B)成分として、ポリイミド樹脂が使用される場合、好ましくは、溶剤可溶性ポリイミド樹脂が用いられる。本実施形態において、溶剤可溶性とは、以下に示される溶剤の中から選ばれる少なくとも一つの溶剤に23℃で20重量%以上溶解することを意味する。この溶剤とは、炭化水素系溶剤のトルエン、キシレン、ケトン系溶剤のアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、エーテル系溶剤の1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、グリコールエーテル系溶剤のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、エステル系溶剤として、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、ガンマブチロラクトン、ベンジルアルコール、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、およびN,N−ジメチルアセトアミドである。 When a polyimide resin is used as the component (B), a solvent-soluble polyimide resin is preferably used. In the present embodiment, the term “solvent soluble” means that 20% by weight or more is dissolved in at least one solvent selected from the solvents shown below at 23 ° C. This solvent is a hydrocarbon solvent such as toluene, xylene, ketone solvent acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, ether solvent 1,4-dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, glycol ether solvent. Methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, gamma butyrolactone, benzyl alcohol, N- Methyl pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, and N, N-dimethylacetamide.
本実施形態の溶剤可溶性ポリイミドは、ジアミンとテトラカルボン酸成分とを130℃以上の温度で反応させて、イミド化反応させることによって得ることができる。好ましくは、溶剤可溶性ポリイミドは、優れた、柔軟性、強靭性、および耐熱性を有するポリイミド樹脂である。ポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸成分とダイマージアミンとを反応させることにより得られる。この溶剤可溶性ポリイミドを生じる反応では、ダイマージアミンの一部がシリコーンジアミンに置き換えられてもよい。 The solvent-soluble polyimide of the present embodiment can be obtained by reacting a diamine and a tetracarboxylic acid component at a temperature of 130 ° C. or higher to cause an imidization reaction. Preferably, the solvent-soluble polyimide is a polyimide resin having excellent flexibility, toughness, and heat resistance. The polyimide resin is obtained by reacting a tetracarboxylic acid component with dimer diamine. In this reaction that produces a solvent-soluble polyimide, a portion of dimer diamine may be replaced by silicone diamine.
ここで用いられるテトラカルボン酸成分の例としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3、4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物、および4,4’−(4,4’−イソプロピリデンジフェノキシ)ジフタル酸二無水物等が挙げられる。 Examples of tetracarboxylic acid components used here include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenylsulfone. Tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl Ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1, 2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfide dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyl) Noxi) diphenylsulfone dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (Triphenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenyl ether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenylmethane dianhydride, and 4,4 Examples include '-(4,4'-isopropylidenediphenoxy) diphthalic dianhydride.
また、ダイマージアミンの例としては、バーサミン551(商品名、BASFジャパン株式会社製;3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル))シクロヘキセン)と、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン株式会社製、;バーサミン551の水添物)と、PRIAMINE1075およびPRIAMINE1074(いずれも商品名、クローダジャパン株式会社製、)とが挙げられる。 Examples of dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd .; 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl)) cyclohexene) and Versamine 552 (trade name, manufactured by Cognics Japan, Inc .; hydrogenated product of Versamine 551), PRIAMINE 1075, and PRIAMINE 1074 (both are trade names, manufactured by Croda Japan Co., Ltd.).
溶剤可溶性ポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸成分とダイマージアミンとが反応することにより生ずるポリイミドの分子構造を持つ。その分子構造の末端には、酸無水物基又はアミノ基が存在する。ダイマージアミンの原料であるダイマー酸は、炭素原子数18の不飽和脂肪酸(オレイン酸、リノール酸、リノレン酸等の混合物)を2量化することにより得られる。2量化反応により、その反応確率に応じた量の、直鎖、脂環、または二重結合を持つ脂環または芳香環を持つ反応生成物を含む混合物が得られる。この反応混合物をそのままアミン化することにより、ダイマージアミンが得られる。そのため、テトラカルボン酸とダイマージアミンとの重合により得られる溶剤可溶性ポリイミド樹脂は、上記反応混合物に含まれているダイマー酸の各分子が不規則に結合した結果生ずる、複雑な分子構造を有する。この複雑な分子構造を、明確に特定することはできない。ただし、推察できる分子構造の例として、下記化学構造式に示す分子構造が挙げられる。本実施形態に用いられる溶剤可溶性ポリイミド樹脂は、これら分子構造を有するポリイミド樹脂の混合物であると考えられる。(これら構造式はあくまで例示である。本実施形態に用いられる溶剤可溶性ポリイミド樹脂の分子構造は、これらに限定されない。)
(B)成分の樹脂含有量は、(A)成分と(B)成分との合計100質量部に対し、好ましくは70〜98質量部、より好ましくは80〜98質量部、さらに好ましくは90〜98質量部である。
(B)成分の樹脂が少なすぎると、本実施形態の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムの、所望の高周波領域における誘電特性が得られにくくなる。(B)成分の樹脂が多すぎると、相対的に(A)成分の量が減少する。そのため、本実施形態の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムの接着性および硬化性が悪化する。The resin content of the component (B) is preferably 70 to 98 parts by mass, more preferably 80 to 98 parts by mass, and still more preferably 90 to 100 parts by mass with respect to the total of 100 parts by mass of the component (A) and the component (B). 98 parts by mass.
When there is too little resin of (B) component, it will become difficult to obtain the dielectric characteristic in the desired high frequency area | region of the thermosetting film formed from the resin composition of this embodiment. When there is too much resin of (B) component, the quantity of (A) component will reduce relatively. Therefore, the adhesiveness and sclerosis | hardenability of the thermosetting film formed from the resin composition of this embodiment deteriorate.
(C)成分のイミダゾール化合物の作用は、(B)成分として使用する樹脂により、異なる。(B)成分として使用する樹脂が、ポリイミド樹脂のように、(A)成分のエポキシ樹脂との硬化反応を起こす樹脂である場合は、(C)成分のイミダゾール化合物は、その硬化触媒として作用する。一方、(B)成分として使用する樹脂が、変性PPE樹脂またはスチレン系熱可塑性エラストマーのように、(A)成分のエポキシ樹脂と反応しない樹脂である場合、(C)成分のイミダゾール化合物は、(A)成分のエポキシ樹脂自身の硬化触媒として作用する。 The action of the (C) component imidazole compound varies depending on the resin used as the (B) component. When the resin used as the component (B) is a resin that causes a curing reaction with the epoxy resin of the component (A), such as a polyimide resin, the imidazole compound of the component (C) acts as a curing catalyst. . On the other hand, when the resin used as component (B) is a resin that does not react with the epoxy resin of component (A), such as a modified PPE resin or a styrene thermoplastic elastomer, the imidazole compound of component (C) is ( A) It acts as a curing catalyst for the epoxy resin itself.
イミダゾール化合物は、エポキシ樹脂の硬化剤または硬化触媒として、従来から使用されている。本実施形態の樹脂組成物では、(C)成分として、複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在する、特定の構造を有するイミダゾール化合物が使用される。これにより、樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムが、プリント配線板の配線に含まれている金属箔およびポリイミド等の基板材料に対して、優れた接着強度を有し、かつ、高周波領域での誘電特性、具体的には、周波数1〜100GHzの領域で低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)を示す。この理由について以下に詳述する。 Imidazole compounds are conventionally used as curing agents or curing catalysts for epoxy resins. In the resin composition of this embodiment, an imidazole compound having a specific structure in which a side chain having an alkyl group having 5 or more carbon atoms is present at the 1-position of the heterocyclic ring as the component (C). . Thereby, the thermosetting film formed from the resin composition has excellent adhesive strength with respect to the substrate material such as metal foil and polyimide contained in the wiring of the printed wiring board, and in the high frequency region. In particular, the low dielectric constant (ε) and the low dielectric loss tangent (tan δ) are shown in the frequency range of 1 to 100 GHz. The reason for this will be described in detail below.
イミダゾール化合物が、エポキシ樹脂の硬化剤または硬化触媒として作用する際には、その複素環の3位にある窒素原子の非共有電子対が、その硬化反応に寄与する。一方、複素環の1位にある炭素原子数が5以上のアルキル基のような長鎖の炭化水素鎖は、高周波領域の誘電特性の向上、すなわち、周波数1〜100GHzの領域での低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)に寄与する。複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在するイミダゾール化合物は、エポキシ樹脂の硬化剤硬化触媒として作用する際の反応性を損なうことなく、周波数1〜100GHzの領域での低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)を達成できる。この点については、後述する実施例の結果からも明らかである。後述する比較例3で使用したイミダゾール化合物は、複素環の側鎖として、長鎖の炭化水素鎖を有する。しかし、側鎖は、複素環の2位に存在している。そのため、立体障害により、エポキシ樹脂の硬化剤または硬化触媒として作用する際に、その反応性が損なわれる。また、実施例で使用されるイミダゾール化合物が熱分解すると、2−エチル−4−メチルイミダゾールと、2−エチルヘキシルとが発生する。しかし、これらを使用しても、エポキシ樹脂の硬化剤または硬化触媒として作用する際の反応性が不十分であることが、後述する比較例3および5により明らかになる。 When the imidazole compound acts as a curing agent or curing catalyst for the epoxy resin, the unshared electron pair of the nitrogen atom at the 3-position of the heterocyclic ring contributes to the curing reaction. On the other hand, a long-chain hydrocarbon chain such as an alkyl group having 5 or more carbon atoms at the 1-position of the heterocyclic ring improves the dielectric properties in the high-frequency region, that is, has a low dielectric constant in the frequency region of 1 to 100 GHz. (Ε) and low dielectric loss tangent (tan δ). An imidazole compound in which a side chain having an alkyl group having 5 or more carbon atoms is present at the 1-position of the heterocyclic ring has a frequency of 1 to 100 GHz without impairing the reactivity when acting as a curing agent curing catalyst for an epoxy resin. A low dielectric constant (ε) and a low dielectric loss tangent (tan δ) can be achieved. This point is also apparent from the results of Examples described later. The imidazole compound used in Comparative Example 3 described later has a long hydrocarbon chain as a side chain of the heterocyclic ring. However, the side chain is at the 2-position of the heterocycle. Therefore, the reactivity is impaired when acting as a curing agent or curing catalyst for an epoxy resin due to steric hindrance. Further, when the imidazole compound used in the examples is thermally decomposed, 2-ethyl-4-methylimidazole and 2-ethylhexyl are generated. However, even if these are used, it becomes clear from Comparative Examples 3 and 5 described later that the reactivity when acting as a curing agent or a curing catalyst for the epoxy resin is insufficient.
(C)成分のイミダゾール化合物は、複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在する限り、特に限定されない。例えば、下記式(I)で表されるイミダゾール化合物を用いることができる。
(C)成分のイミダゾール化合物の好適な例として、下記式(I1)〜(I4)が挙げられる。これらイミダゾール化合物の例のうちの1つのみが用いられてもよく、2以上のイミダゾール化合物が併用されてもよい。これらの中でも、100GHzの領域での低誘電率(ε)、および、低誘電正接(tanδ)の観点から、下記式(I3)、(I4)が好ましい。反応性の制御の観点からは、下記式(I4)がより好ましい。
(C)成分のイミダゾール化合物の含有量は、(A)成分のエポキシ樹脂と、(B)成分との樹脂の合計100質量部に対して、好ましくは0.1〜5.0質量部、より好ましくは0.5〜3.0質量部である。(C)成分の含有量が少なすぎると、本実施形態の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムの硬化性が悪化し、さらに、熱硬化性フィルムの接着性、強靭性、および耐熱性が低下するおそれがある。一方、(C)成分の含有量が多すぎると、本実施形態の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムのシェルフライフが悪化するおそれがある。また、熱硬化性フィルムの硬化物本来の物性が損なわれた結果、その硬化物の接着性、強靭性、および耐熱性が低下するおそれがある。 The content of the imidazole compound as the component (C) is preferably 0.1 to 5.0 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the epoxy resin as the component (A) and the resin as the component (B). Preferably it is 0.5-3.0 mass parts. When there is too little content of (C) component, the sclerosis | hardenability of the thermosetting film formed from the resin composition of this embodiment will deteriorate, Furthermore, the adhesiveness of the thermosetting film, toughness, and heat resistance May decrease. On the other hand, when there is too much content of (C) component, there exists a possibility that the shelf life of the thermosetting film formed from the resin composition of this embodiment may deteriorate. In addition, as a result of the deterioration of the original physical properties of the cured product of the thermosetting film, there is a possibility that the adhesiveness, toughness, and heat resistance of the cured product may be reduced.
本実施形態の樹脂組成物は、上記(A)〜(C)成分、および、必要に応じて添加するその他の成分を含む原料を、有機溶剤に溶解又は分散等させることにより、得ることができる。その他の成分には、特に制限はない。その他の成分の例として、シリカフィラー等の無機フィラー、難燃剤、カップリング剤、レベリング剤、分散剤、および消泡剤が挙げられる。これらの原料の溶解又は分散等のための装置には、特に限定はない。加熱装置を備えた攪拌機として、デゾルバー、プラネタリーミキサー、ライカイ機、3本ロールミル、ボールミル、あるいはビーズミル等を使用することができる。また、これら装置が適宜組み合わされて使用されてもよい。 The resin composition of the present embodiment can be obtained by dissolving or dispersing the raw materials containing the above components (A) to (C) and other components added as necessary in an organic solvent. . There is no restriction | limiting in particular in another component. Examples of other components include inorganic fillers such as silica filler, flame retardants, coupling agents, leveling agents, dispersants, and antifoaming agents. There are no particular limitations on the apparatus for dissolving or dispersing these raw materials. As a stirrer provided with a heating device, a dissolver, a planetary mixer, a lyric machine, a three-roll mill, a ball mill, a bead mill, or the like can be used. These devices may be used in combination as appropriate.
本実施形態の樹脂組成物は、以下に示す好適な特性を有している。まず、本実施形態の樹脂組成物は、その樹脂硬化物が十分な接着強度を有している。具体的には、樹脂硬化物の、JISC6481に準拠して測定したポリイミドフィルムに対するピール強度(180度ピール)は、好ましくは6.5N/cm以上、より好ましくは7.0N/cm以上、さらに好ましくは7.5N/cm以上である。また、樹脂硬化物は、JISC6481に準拠して測定した銅箔光沢面に対するピール強度(180度ピール)は、好ましくは6.5N/cm以上、より好ましくは7.0N/cm以上、さらに好ましくは7.5N/cm以上である。 The resin composition of this embodiment has the following suitable characteristics. First, as for the resin composition of this embodiment, the cured resin has sufficient adhesive strength. Specifically, the peel strength (180 degree peel) of the cured resin with respect to the polyimide film measured in accordance with JIS C6481 is preferably 6.5 N / cm or more, more preferably 7.0 N / cm or more, and still more preferably. Is 7.5 N / cm or more. Further, the cured resin has a peel strength (180 degree peel) with respect to the glossy copper foil surface measured in accordance with JIS C6481, preferably 6.5 N / cm or more, more preferably 7.0 N / cm or more, and still more preferably. 7.5 N / cm or more.
本実施形態の樹脂組成物の硬化物は、高周波領域で、好適に、優れた誘電特性を有する。具体的には、硬化物の、周波数1〜100GHzの領域での誘電率(ε)は、好ましくは3.5以下、より好ましくは3.0以下である。また、周波数1〜100GHzの領域での誘電正接(tanδ)は、好ましくは0.010以下、より好ましくは0.0095以下である。 The cured product of the resin composition of the present embodiment preferably has excellent dielectric properties in a high frequency region. Specifically, the dielectric constant (ε) of the cured product in the frequency region of 1 to 100 GHz is preferably 3.5 or less, more preferably 3.0 or less. The dielectric loss tangent (tan δ) in the frequency region of 1 to 100 GHz is preferably 0.010 or less, more preferably 0.0095 or less.
本実施形態の熱硬化性フィルムは、上述の樹脂組成物から形成される。具体的には、熱硬化性フィルムは、所望の支持体の少なくとも一面に塗布された樹脂組成物を、乾燥することにより得られる。支持体としては、熱硬化性フィルムの製造方法に応じた、所望の形態を有する支持体が適宜選択される。具体的な支持体は、特に限定されない。用いることのできる支持体の例として、銅およびアルミニウム等の金属箔と、ポリエステルおよびポリエチレン等の樹脂のキャリアフィルムと、が挙げられる。本実施形態の熱硬化性フィルムが、支持体から剥離されたフィルムの形態で提供される場合、好ましくは、支持体は、シリコーン化合物等の離型剤で離型処理されている。 The thermosetting film of the present embodiment is formed from the above resin composition. Specifically, the thermosetting film is obtained by drying a resin composition applied on at least one surface of a desired support. As a support body, the support body which has a desired form according to the manufacturing method of a thermosetting film is selected suitably. A specific support is not particularly limited. Examples of the support that can be used include metal foils such as copper and aluminum, and carrier films of resins such as polyester and polyethylene. When the thermosetting film of the present embodiment is provided in the form of a film peeled from the support, the support is preferably subjected to a release treatment with a release agent such as a silicone compound.
樹脂組成物を支持体に塗布する方法は、特に限定されない。好ましい方法は、薄膜化および膜厚制御の点から、マイクログラビア法、スロットダイ法、あるいはドクターブレード法である。スロットダイ法により、例えば5〜500μm の厚みを有するフィルムを得ることができる。 The method for applying the resin composition to the support is not particularly limited. A preferable method is a micro gravure method, a slot die method, or a doctor blade method from the viewpoint of thinning and controlling the film thickness. A film having a thickness of, for example, 5 to 500 μm can be obtained by the slot die method.
乾燥条件は、樹脂組成物に使用される有機溶剤の種類、その量、および塗布の厚み等に応じて、適宜、設定することができる。例えば、乾燥を、50〜120℃で、1〜30分程度の条件下で行うことができる。なお、フィルムは、所望のタイミングで、支持体から剥離されてもよい。 Drying conditions can be appropriately set according to the type of organic solvent used in the resin composition, the amount thereof, the thickness of coating, and the like. For example, drying can be performed at 50 to 120 ° C. for about 1 to 30 minutes. The film may be peeled from the support at a desired timing.
上記の手順で得られるフィルムは、例えば、130℃以上250℃以下、好ましくは150℃以上200℃以下の温度で、30〜180分間熱硬化させることができる。上記の手順で得られるフィルムを電気あるいは電子用途の接着フィルムあるいは層間接着フィルムとして使用する場合、好ましくは、樹脂組成物が、上記硬化条件でプレス硬化される。 The film obtained by the above procedure can be thermally cured at a temperature of 130 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, preferably 150 ° C. or higher and 200 ° C. or lower for 30 to 180 minutes. When the film obtained by the above procedure is used as an adhesive film or an interlayer adhesive film for electric or electronic applications, the resin composition is preferably press-cured under the above-mentioned curing conditions.
上記の手順で得られるフィルムの厚さは、好ましくは5μm以上200μm以下である。フィルムの厚さが5μm未満の場合、絶縁性などの、要求されるフィルム特性が得られなくなるおそれがある。フィルムの厚さは、より好ましくは15μm以上150μm以下、さらに好ましくは20μm 以上100μm 以下である。 The thickness of the film obtained by the above procedure is preferably 5 μm or more and 200 μm or less. When the thickness of the film is less than 5 μm, required film characteristics such as insulation may not be obtained. The thickness of the film is more preferably 15 μm or more and 150 μm or less, and further preferably 20 μm or more and 100 μm or less.
樹脂硬化物が上述した特性を有する本実施形態の熱硬化フィルムは、電気あるいは電子用途の接着フィルム、層間接着フィルム、およびカバーレイフィルムに好適である。 The thermosetting film of the present embodiment in which the resin cured product has the above-described properties is suitable for an adhesive film for electric or electronic use, an interlayer adhesive film, and a coverlay film.
本実施形態の半導体装置では、その構成要素の層間接着に、本開示の樹脂組成物が用いられている。具体的には、たとえば、電子部品と基板との層間接着に、本開示の樹脂組成物が用いられる。または、電子部品を含む半導体装置内に、本実施形態の樹脂組成物から形成される熱硬化性フィルムが用いられる。 In the semiconductor device of this embodiment, the resin composition of the present disclosure is used for interlayer adhesion of the constituent elements. Specifically, for example, the resin composition of the present disclosure is used for interlayer adhesion between an electronic component and a substrate. Or the thermosetting film formed from the resin composition of this embodiment is used in the semiconductor device containing an electronic component.
以下、実施例により、本実施形態を詳細に説明する。ただし、本実施形態は、これら実施例に限定されない。 Hereinafter, the present embodiment will be described in detail by way of examples. However, this embodiment is not limited to these examples.
(実施例1〜11、比較例1〜4)
下記表に示す配合で、所定量の各樹脂(A−1、A−2、A−3、B−1、B−2、B−3、B−4、およびB−5)と、所定量のトルエンと、が容器に量り取られた。次いで、樹脂とトルエンとの混合物が、加熱攪拌機を用いて加熱溶解されたあと、室温まで冷却された。引き続き、その混合物に、所定量のイミダゾール化合物等(C−1、C’−1、C’−2、C’−3、およびC’−4)投入された。そして、得られた(A)成分と、(B)成分と、(C)または(C’)成分との混合物を、自転あるいは公転式の攪拌機(マゼルスター(商品名)、倉敷紡績株式会社製))で、3分間攪拌混合することにより、樹脂組成物が調製された。ただし、実施例11では、さらに、無機フィラーとして、溶融球状シリカフィラー(株式会社龍森製MP−15EF、平均粒径1.5μm)が樹脂組成物に添加されたのち、ビーズミルを使用して、シリカフィラーが樹脂組成物に分散された。このようにして得られた樹脂組成物の粘度をトルエンで調整することにより、樹脂組成物を含む塗工液が調製された。(Examples 1-11, Comparative Examples 1-4)
A predetermined amount of each resin (A-1, A-2, A-3, B-1, B-2, B-3, B-4, and B-5) and a predetermined amount in the composition shown in the following table Of toluene was weighed into a container. Subsequently, the mixture of resin and toluene was heated and dissolved using a heating stirrer, and then cooled to room temperature. Subsequently, a predetermined amount of an imidazole compound or the like (C-1, C′-1, C′-2, C′-3, and C′-4) was added to the mixture. Then, the mixture of the obtained component (A), component (B), and component (C) or (C ′) is rotated or revolved (Mazerustar (trade name), manufactured by Kurashiki Boseki Co., Ltd.). ), The resin composition was prepared by stirring and mixing for 3 minutes. However, in Example 11, as the inorganic filler, a fused spherical silica filler (MP-15EF manufactured by Tatsumori Co., Ltd., average particle size 1.5 μm) was added to the resin composition, and then a bead mill was used. Silica filler was dispersed in the resin composition. A coating liquid containing the resin composition was prepared by adjusting the viscosity of the resin composition thus obtained with toluene.
樹脂組成物の作成時に使用した成分は以下の通り。
(A)成分:エポキシ樹脂
(A−1):
ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、HP4032D(商品名)、DIC株式会社製、エポキシ当量136〜148(A−2);
アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂、JERYX8800(商品名)、三菱化学株式会社製、エポキシ当量180(A−3);および、
ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、NC−3000H(商品名)、日本化薬株式会社製、エポキシ当量288The components used when creating the resin composition are as follows.
Component (A): Epoxy resin (A-1):
Epoxy resin having a naphthalene skeleton, HP4032D (trade name), manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalents 136 to 148 (A-2);
An epoxy resin having an anthracene skeleton, JERYX8800 (trade name), manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 180 (A-3); and
Epoxy resin having biphenyl skeleton, NC-3000H (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 288
(B)成分:周波数1〜100GHzの領域で、0.005未満のtanδを有する樹脂
(B−1):下記手順により合成された溶剤可溶性ポリイミド樹脂
撹拌機、分水器、温度計、および窒素ガス導入管を備えた反応容器に、市販の芳香族テトラカルボン酸二無水物(BTDT−UP(商品名)、エボニックジャパン株式会社製)210.0g、シクロヘキサノン1008.0g、およびメチルシクロヘキサン201.6gが仕込まれた。反応容器内の溶液が60℃まで加熱された。次いで、市販のダイマージアミン(PRIAMINE(商品名)1075、クローダジャパン株式会社製)341.7gが、反応溶液に滴下された。その後、140℃で、10時間、イミド化反応が行われた。その後、溶剤の減圧留去、および、トルエン置換を行うことにより、溶剤可溶性ポリイミド樹脂(A−2)の溶液(不揮発分30.1%)が得られた。GPC測定による数平均分子量(Mn)は、15000であった。後述する手順で測定された誘電正接(tanδ)は、0.0029であった。
(B−2):下記手順により合成された溶剤可溶性ポリイミド樹脂
(B−1)と同じ反応容器に、市販の芳香族テトラカルボン酸二無水物(BTDA−PF(商品名)、エボニックジャパン株式会社製)190.0g、シクロヘキサノン912.0g、およびメチルシクロヘキサン182.4gが仕込まれた。反応容器内の溶液が60℃まで加熱された。次いで、市販のダイマージアミン(PRIAMINE1075(商品名)、クローダジャパン株式会社製)288.1g、および、市販のシリコーンジアミン(KF−8010(商品名)、信越化学工業株製)24.7gが、反応溶液に滴下された。その後、140℃で、10時間、イミド化反応が行われた。これにより、ポリイミド樹脂の溶液(不揮発分30.8%)が得られた。GPC測定による数平均分子量(Mn)は、14000であった。後述する手順で測定された誘電正接(tanδ)は、0.0036であった。
(B−3):下記手順により合成された溶剤可溶性ポリイミド樹脂
(B−1)と同じ反応容器に、市販の芳香族テトラカルボン酸二無水物(BisDA1000(商品名)、SABICジャパン株式会社製)65.0g、シクロヘキサノン266.5g、およびメチルシクロヘキサン44.4gが仕込まれた。反応容器内の溶液が60℃まで加熱された。次いで、市販のダイマージアミン(PRIAMINE(商品名)1075、クローダジャパン株式会社製)43.7g、および、1、3−ビスアミノメチルシクロヘキサン5.4gが反応溶液に滴下された。その後、140℃で、10時間、イミド化反応が行われた。これにより、溶剤可溶性ポリイミド樹脂(B−1)の溶液(不揮発分29.5%)が得られた。GPC測定による数平均分子量(Mn)は、15000であった。後述する手順で測定された誘電正接(tanδ)は、0.0019であった。
(B−4):上記一般式(1)で示される変性PPE樹脂、OPE−2St(Mn=2200)、三菱ガス化学株式会社製
(B−1)と同じ手順で測定された誘電正接(tanδ)は、0.0040であった。
(B−5):熱可塑性エラストマー(SEEPS)、セプトン4044(商品名)、株式会社クラレ製
(B−1)と同じ手順で測定された誘電正接(tanδ)は、0.0008であった。(B) Component: Resin having a tan δ of less than 0.005 in the frequency range of 1 to 100 GHz (B-1): Solvent-soluble polyimide resin synthesized by the following procedure Stirrer, water separator, thermometer, and nitrogen In a reaction vessel equipped with a gas introduction tube, 210.0 g of commercially available aromatic tetracarboxylic dianhydride (BTDT-UP (trade name), manufactured by Evonik Japan Co., Ltd.), 1008.0 g of cyclohexanone, and 201.6 g of methylcyclohexane. Was charged. The solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 341.7 g of a commercially available dimer diamine (PRIAMINE (trade name) 1075, manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) was dropped into the reaction solution. Then, imidation reaction was performed at 140 degreeC for 10 hours. Then, the solvent (nonvolatile content 30.1%) of the solvent soluble polyimide resin (A-2) was obtained by performing depressurizing distillation of the solvent and toluene substitution. The number average molecular weight (Mn) by GPC measurement was 15000. The dielectric loss tangent (tan δ) measured by the procedure described later was 0.0029.
(B-2): Solvent-soluble polyimide resin synthesized by the following procedure (B-1), commercially available aromatic tetracarboxylic dianhydride (BTDA-PF (trade name), Evonik Japan Co., Ltd.) 190.0 g, cyclohexanone 912.0 g, and methylcyclohexane 182.4 g were charged. The solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Subsequently, 288.1 g of a commercially available dimer diamine (PRIAMINE 1075 (trade name), manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) and 24.7 g of a commercially available silicone diamine (KF-8010 (trade name), manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are reacted. Added dropwise to the solution. Then, imidation reaction was performed at 140 degreeC for 10 hours. As a result, a polyimide resin solution (non-volatile content: 30.8%) was obtained. The number average molecular weight (Mn) by GPC measurement was 14000. The dielectric loss tangent (tan δ) measured by the procedure described later was 0.0036.
(B-3): Solvent-soluble polyimide resin synthesized by the following procedure (B-1) In the same reaction vessel, commercially available aromatic tetracarboxylic dianhydride (BisDA1000 (trade name), manufactured by SABIC Japan Co., Ltd.) 65.0 g, cyclohexanone 266.5 g, and methylcyclohexane 44.4 g were charged. The solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 43.7 g of a commercially available dimer diamine (PRIAMINE (trade name) 1075, manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) and 5.4 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane were added dropwise to the reaction solution. Then, imidation reaction was performed at 140 degreeC for 10 hours. Thereby, a solution (nonvolatile content: 29.5%) of the solvent-soluble polyimide resin (B-1) was obtained. The number average molecular weight (Mn) by GPC measurement was 15000. The dielectric loss tangent (tan δ) measured by the procedure described later was 0.0019.
(B-4): Modified PPE resin represented by the above general formula (1), OPE-2St (Mn = 2200), dielectric loss tangent (tan δ) measured by the same procedure as (B-1) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. ) Was 0.0040.
(B-5): Thermoplastic elastomer (SEEPS), Septon 4044 (trade name), manufactured by Kuraray Co., Ltd. The dielectric loss tangent (tan δ) measured by the same procedure as in (B-1) was 0.0008.
(C)成分:イミダゾール化合物
(C−1):下記式に示す構造を有するイミダゾール化合物、EH−2021(商品名)、株式会社ADEKA製
(C´−2):2−エチル−4−メチルイミダゾール、2E4MZ(商品名)、四国化成工業株式会社製
(C´−3):1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、C11ZCN(商品名)、四国化成工業株式会社製
(C´−4):アクリル酸−2−エチルヘキシル、ナカライテスク株式会社製(C) Component: Imidazole compound (C-1): Imidazole compound having a structure represented by the following formula, EH-2021 (trade name), manufactured by ADEKA Corporation
上記の手順により調製された塗工液を用いて、以下の評価が実施された。
1.PIピール強度
離型剤を施した50μm厚のPETフィルムの基材表面上に、乾燥塗膜が25±5μmの膜厚になるように、塗布機を用いて、塗工液が塗布された。塗工液で塗布された基材が80℃×15min間乾燥された。これにより作製された未硬化フィルムから基材が剥離された。その後、未硬化フィルムを2枚のポリイミドフィルム(ユーピレックス(登録商標)12.5CA、宇部興産株式会社製)の間に挟むことにより得られた積層フィルムを、真空プレス機でプレス硬化(200℃×60分1MPa)した。得られた、硬化フィルムを含む積層フィルムを、10mm幅にカットすることにより、試験片が得られた。オートグラフで、試験片の2枚のポリイミドフィルムの各々を互いに正反対方向に、硬化フィルムから引きはがすことにより、硬化フィルムのピール強度が測定された。5回の測定で得られた値の平均値が、ピーク強度の測定値として、算出された。
2.誘電率(ε)、誘電正接(tanδ)
1.で得られた未硬化フィルムが基材表面上で200℃×60min間硬化した後、基材が硬化フィルムから剥離された。130×70mmに裁断された硬化フィルムの、εおよびtanδが、SPDR法により、誘電体共振周波数2GHzにて、測定された。結果を下記表に示す。The following evaluation was performed using the coating liquid prepared by the above procedure.
1. PI peel strength The coating liquid was applied on the surface of a 50 μm-thick PET film coated with a release agent using an applicator so that the dried coating film had a thickness of 25 ± 5 μm. The substrate coated with the coating solution was dried at 80 ° C. for 15 minutes. The base material was peeled from the uncured film thus produced. Thereafter, the laminated film obtained by sandwiching the uncured film between two polyimide films (Upilex (registered trademark) 12.5CA, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is press-cured with a vacuum press (200 ° C. × 1 MPa for 60 minutes). A test piece was obtained by cutting the obtained laminated film containing a cured film into a width of 10 mm. The peel strength of the cured film was measured by peeling each of the two polyimide films of the test piece from the cured film in the opposite direction to each other by autograph. The average value of the values obtained by the five measurements was calculated as the peak intensity measurement value.
2. Dielectric constant (ε), dissipation factor (tan δ)
1. After the uncured film obtained in the above was cured on the substrate surface for 200 ° C. for 60 minutes, the substrate was peeled from the cured film. Ε and tan δ of the cured film cut to 130 × 70 mm were measured by the SPDR method at a dielectric resonance frequency of 2 GHz. The results are shown in the table below.
実施例1〜11では、いずれも、7.0N/cm以上のPIピール強度、3.0以下の誘電率(ε)、および、0.010以下の誘電正接(tanδ)が示された。なお、実施例2および3と、実施例1とは、(C)成分のイミダゾール化合物の配合割合が異なる。実施例4および5と、実施例1とは、(A)成分のエポキシ樹脂の種類が異なる。実施例6〜9と、実施例1とは、(B)成分の樹脂の種類が異なる。実施例10〜11と、実施例1とは、(A)成分に対する(B)成分の配合割合異なる。このうち、実施例11では、さらに、シリカフィラーが用いられている。比較例1では、(C)成分のイミダゾール化合物の代わりに、複素環の1位に、ベンジル基が存在するイミダゾール化合物が使用されている。比較例2では、イミダゾール化合物の複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基が存在しない。比較例3では、(C)成分のイミダゾール化合物の代わりに、複素環の2位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在するイミダゾール化合物が使用されている。比較例4では、実施例で使用したイミダゾール化合物(C−1)の熱分解生成物に相当する化合物が配合されている。比較例1〜4では、いずれも、7.0N/cm未満のPIピール強度、および、0.010を超得る、誘電正接(tanδ)が示された。
本開示の実施形態に係る樹脂組成物は、以下の第1〜3の樹脂組成物であってもよい。
上記第1の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)周波数1〜100GHzの領域の誘電正接(tanδ)が0.005未満の樹脂、および、(C)複素環の1位に、C5以上のアルキル基を有する側鎖が存在するイミダゾール化合物を含む。
上記第2の樹脂組成物は、前記(C)イミダゾール化合物が、下記式(I)である、上記第1の樹脂組成物である。
上記第3の樹脂組成物は、前記(B)樹脂が、変性ポリフェニレンエーテル(変性PPE)樹脂、スチレン系熱可塑性エラストマー、および、ポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも1種である、上記第1または2の樹脂組成物である。
本開示の実施形態に係る熱硬化性フィルムは、上記第1〜3のいずれかの樹脂組成物により形成されてもよい。
本開示の実施形態に係る樹脂硬化物は、上記第1〜3のいずれかの樹脂組成物、または、上記熱硬化性フィルムを硬化させた樹脂硬化物であってもよい。
本開示の実施形態に係る積層板は、上記樹脂硬化物を含む積層板であってもよい。
本開示の実施形態に係るプリント配線板は、上記樹脂硬化物を含むプリント配線板であってもよい。
本開示の実施形態に係る半導体装置は、上記樹脂硬化物を含む半導体装置であってもよい。
In each of Examples 1 to 11, a PI peel strength of 7.0 N / cm or more, a dielectric constant (ε) of 3.0 or less, and a dielectric loss tangent (tan δ) of 0.010 or less were shown. In addition, Example 2 and 3 and Example 1 differ in the mixture ratio of the imidazole compound of (C) component. Examples 4 and 5 are different from Example 1 in the type of component (A) epoxy resin. Examples 6-9 and Example 1 differ in the type of the resin of component (B). Examples 10-11 and Example 1 differ in the blending ratio of the component (B) to the component (A). Among these, in Example 11, the silica filler is further used. In Comparative Example 1, an imidazole compound having a benzyl group at the 1-position of the heterocyclic ring is used in place of the imidazole compound as the component (C). In Comparative Example 2, there is no alkyl group having 5 or more carbon atoms at the 1-position of the heterocyclic ring of the imidazole compound. In Comparative Example 3, an imidazole compound having a side chain having an alkyl group having 5 or more carbon atoms at the 2-position of the heterocyclic ring is used in place of the imidazole compound of component (C). In Comparative Example 4, a compound corresponding to the thermal decomposition product of the imidazole compound (C-1) used in the examples is blended. In each of Comparative Examples 1 to 4, a PI peel strength of less than 7.0 N / cm and a dielectric loss tangent (tan δ) that exceeded 0.010 were shown.
The following 1st-3rd resin composition may be sufficient as the resin composition which concerns on embodiment of this indication.
The first resin composition includes (A) an epoxy resin, (B) a resin having a dielectric loss tangent (tan δ) in a region of a frequency of 1 to 100 GHz, and (C) the first position of the heterocyclic ring. Including imidazole compounds in which a side chain having a C5 or higher alkyl group is present.
The second resin composition is the first resin composition in which the (C) imidazole compound is represented by the following formula (I).
In the third resin composition, the (B) resin is at least one selected from the group consisting of a modified polyphenylene ether (modified PPE) resin, a styrene-based thermoplastic elastomer, and a polyimide resin. 1 or 2 resin composition.
The thermosetting film according to the embodiment of the present disclosure may be formed of any one of the first to third resin compositions.
The cured resin according to the embodiment of the present disclosure may be any one of the first to third resin compositions or a cured resin obtained by curing the thermosetting film.
The laminated board which concerns on embodiment of this indication may be a laminated board containing the said resin hardened | cured material.
The printed wiring board according to the embodiment of the present disclosure may be a printed wiring board including the resin cured product.
The semiconductor device according to the embodiment of the present disclosure may be a semiconductor device including the cured resin.
Claims (8)
(B)周波数1〜100GHzの領域で、0.005未満の誘電正接(tanδ)を有する樹脂と、
および、
(C)複素環の1位に、炭素原子数が5以上のアルキル基を有する側鎖が存在するイミダゾール化合物と、を含む樹脂組成物。(A) an epoxy resin;
(B) a resin having a dielectric loss tangent (tan δ) of less than 0.005 in a frequency range of 1 to 100 GHz;
and,
(C) A resin composition comprising an imidazole compound having a side chain having an alkyl group having 5 or more carbon atoms at the 1-position of a heterocyclic ring.
A semiconductor device comprising the cured resin product according to claim 5.
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