JPWO2018051757A1 - Galvano scanner and mirror unit - Google Patents

Galvano scanner and mirror unit Download PDF

Info

Publication number
JPWO2018051757A1
JPWO2018051757A1 JP2018539599A JP2018539599A JPWO2018051757A1 JP WO2018051757 A1 JPWO2018051757 A1 JP WO2018051757A1 JP 2018539599 A JP2018539599 A JP 2018539599A JP 2018539599 A JP2018539599 A JP 2018539599A JP WO2018051757 A1 JPWO2018051757 A1 JP WO2018051757A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
hole
bearing
mount
galvano scanner
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018539599A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6664502B2 (en
Inventor
悌史 ▲高▼橋
悌史 ▲高▼橋
浩之 竹田
浩之 竹田
森　剛
剛 森
尚弘 ▲高▼橋
尚弘 ▲高▼橋
俊之 鉾館
俊之 鉾館
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of JPWO2018051757A1 publication Critical patent/JPWO2018051757A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6664502B2 publication Critical patent/JP6664502B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

ガルバノスキャナ（１）は、レーザ光を反射して偏向するミラー（２）と、回転軸（６）を中心に回転する軸部（１４）と、ミラー（２）を固定するとともに、軸部（１４）の一端部を挿入する第１の穴（３ｂ）が形成されて軸部（１４）に固定されるマウント部（３）と、回転軸（６）を中心に軸部（１４）を回転可能に支持する第１の軸受（１２）と、第１の軸受（１２）を挟んでミラー（２）の反対側に設けられて、回転軸（６）を中心に回転可能に軸部（１４）を支持する第２の軸受（１３）と、を備える。第１の軸受（１２）の内輪（１２ａ）の内側には、マウント部（３）が嵌め込まれている。The galvano scanner (1) includes a mirror (2) that reflects and deflects laser light, a shaft portion (14) that rotates about a rotation shaft (6), and a mirror (2). 14) A first hole (3b) for inserting one end portion of the mount portion (3) is formed and fixed to the shaft portion (14), and the shaft portion (14) is rotated around the rotation shaft (6). A first bearing (12) that can be supported, and a shaft portion (14) that is provided on the opposite side of the mirror (2) across the first bearing (12) and is rotatable about the rotation shaft (6). ) Supporting the second bearing (13). A mount portion (3) is fitted inside the inner ring (12a) of the first bearing (12).

Description

本発明は、モータでミラーの角度を変化させてレーザ光を走査するガルバノスキャナおよびミラーユニットに関する。   The present invention relates to a galvano scanner and a mirror unit that scan a laser beam by changing a mirror angle with a motor.

従来、レーザ穴あけ加工においてレーザ光を走査するためにガルバノスキャナが用いられる。特許文献１に示すように、ガルバノスキャナは、ガルバノミラーとも呼ばれるミラーと、ミラーを回転させるモータを備える。   Conventionally, a galvano scanner is used to scan a laser beam in laser drilling. As shown in Patent Document 1, the galvano scanner includes a mirror called a galvano mirror and a motor that rotates the mirror.

ミラーは、ミラーマウントに接着されている。ミラーマウントは、固定部材と固定ねじとを用いて、モータのシャフトである軸部に着脱可能に固定されている。すなわち、ミラーマウントを介してモータの軸部にミラーが固定されている。また、モータは、軸部を回転可能に支持する軸受を有する。軸受は、ミラーマウントと距離をあけた位置で軸部を回転可能に支持している。   The mirror is bonded to the mirror mount. The mirror mount is detachably fixed to a shaft portion which is a shaft of the motor using a fixing member and a fixing screw. That is, the mirror is fixed to the shaft portion of the motor via the mirror mount. The motor also has a bearing that rotatably supports the shaft portion. The bearing supports the shaft portion rotatably at a position spaced apart from the mirror mount.

ミラーは、モータの軸部に固定されることで回転駆動が可能となる。回転駆動によってミラーの角度を変化させることで、レーザ光の反射角度が変化する。レーザ光の反射角度の変化によって、レーザ光が走査される。   The mirror can be rotationally driven by being fixed to the shaft portion of the motor. By changing the angle of the mirror by rotational driving, the reflection angle of the laser light changes. The laser beam is scanned by changing the reflection angle of the laser beam.

特開２００２−６２５５号公報JP 2002-6255 A

上記構成のようなガルバノスキャナでは、ミラーの重心およびミラーマウントの重心が、軸部の回転軸からずれていると、軸部の回転軸に対して垂直な方向にミラーが振動する、いわゆる面倒れ振動が発生する場合がある。面倒れ振動の振幅が大きくなると、レーザ光の走査精度が低下してしまう。   In the galvano scanner having the above configuration, when the center of gravity of the mirror and the center of gravity of the mirror mount deviate from the rotation axis of the shaft part, the mirror vibrates in a direction perpendicular to the rotation axis of the shaft part. Vibration may occur. When the amplitude of the surface tilt vibration increases, the scanning accuracy of the laser beam decreases.

面倒れ振動は、ミラーに最も近い位置で軸部を支持する軸受を支点に発生する振動である。そのため、軸部を支持する軸受からミラーの先端までの距離が大きいほど、面倒れ振動の振幅が大きくなりやすい。また、軸受よりもミラー側となる部分で軸受に直接支持されていない部分の重量が重いほど、面倒れ振動の振幅が大きくなりやすい。なお、上記構成のガルバノスキャナでは、軸受よりもミラー側となる部分で軸受に直接支持されていない部分にミラーマウントとミラーとが含まれている。   Surface tilt vibration is vibration that occurs at a fulcrum with a bearing that supports the shaft portion at a position closest to the mirror. Therefore, the greater the distance from the bearing that supports the shaft portion to the tip of the mirror, the greater the amplitude of surface tilt vibration. Further, the heavier the weight of the portion that is closer to the mirror than the bearing and is not directly supported by the bearing, the greater the amplitude of surface tilt vibration. In the galvano scanner configured as described above, the mirror mount and the mirror are included in a portion that is closer to the mirror than the bearing and is not directly supported by the bearing.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、面倒れ振動の振幅の抑制を図ることができるガルバノスキャナを得ることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a galvano scanner capable of suppressing the amplitude of surface tilt vibration.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるガルバノスキャナは、レーザ光を反射して偏向するミラーと、回転軸を中心に回転する軸部と、ミラーを固定するとともに、軸部の一端部を挿入する第１の穴が形成されて軸部に固定されるマウント部と、回転軸を中心に軸部を回転可能に支持する第１の軸受と、第１の軸受を挟んでミラーの反対側に設けられて、回転軸を中心に回転可能に軸部を支持する第２の軸受と、を備える。第１の軸受の内輪の内側には、マウント部が嵌め込まれている。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, a galvano scanner according to the present invention includes a mirror that reflects and deflects laser light, a shaft that rotates about a rotation axis, and a mirror. A first hole for inserting one end portion of the shaft portion is formed, the mount portion is fixed to the shaft portion, a first bearing that rotatably supports the shaft portion around the rotation shaft, and a first bearing. And a second bearing that is provided on the opposite side of the mirror and supports the shaft portion so as to be rotatable about the rotation shaft. A mount portion is fitted inside the inner ring of the first bearing.

本発明にかかるガルバノスキャナによれば、面倒れ振動の振幅の抑制を図ることができるという効果を奏する。   According to the galvano scanner of the present invention, there is an effect that it is possible to suppress the amplitude of the surface tilt vibration.

本発明の実施の形態１にかかるガルバノスキャナの外観を示す正面図1 is a front view showing an appearance of a galvano scanner according to a first embodiment of the present invention. 実施の形態１にかかるガルバノスキャナの外観を示す平面図FIG. 3 is a plan view showing the appearance of the galvano scanner according to the first embodiment. 図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線でガルバノスキャナを切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the galvano scanner by the III-III line shown in FIG. 図１に示すＩＶ−ＩＶ線でガルバノスキャナを切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the galvano scanner by the IV-IV line shown in FIG. 実施の形態１におけるマウント部の正面図Front view of the mount part in the first embodiment 実施の形態１におけるマウント部の平面図Plan view of mount portion in the first embodiment 実施の形態１におけるマウント部の側面図Side view of mount portion in embodiment 1 実施の形態１における固定具の正面図Front view of fixture in embodiment 1 実施の形態１における固定具の平面図Plan view of fixture in embodiment 1 実施の形態１における固定具の側面図Side view of fixture in embodiment 1. 比較例として示すガルバノスキャナの断面図Sectional view of a galvano scanner shown as a comparative example 実施の形態１におけるモータにミラーを組み付ける工程について説明する図The figure explaining the process of attaching a mirror to the motor in Embodiment 1. 実施の形態１におけるモータにミラーを組み付ける工程について説明する図The figure explaining the process of attaching a mirror to the motor in Embodiment 1. 実施の形態１におけるモータにミラーを組み付ける工程について説明する図The figure explaining the process of attaching a mirror to the motor in Embodiment 1. 実施の形態１におけるモータにミラーを組み付ける工程について説明する図The figure explaining the process of attaching a mirror to the motor in Embodiment 1. 実施の形態１におけるモータにミラーを組み付ける工程について説明する図The figure explaining the process of attaching a mirror to the motor in Embodiment 1. 実施の形態１におけるモータにミラーを組み付ける工程について説明する図The figure explaining the process of attaching a mirror to the motor in Embodiment 1. 本発明の実施の形態２にかかるガルバノスキャナの外観を示す平面図Plan view showing an appearance of a galvano scanner according to a second embodiment of the present invention 図１８に示すＸＩＸ−ＸＩＸ線でガルバノスキャナを切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the galvano scanner by the XIX-XIX line | wire shown in FIG. 図１９に示すＸＸ−ＸＸ線でガルバノスキャナを切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the galvano scanner by the XX-XX line shown in FIG. 本発明の実施の形態３にかかるガルバノスキャナの断面図であって、図３に相当する図FIG. 6 is a cross-sectional view of a galvano scanner according to a third embodiment of the present invention, corresponding to FIG. 図２１に示すＸＸＩＩ−ＸＸＩＩ線でガルバノスキャナを切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the galvano scanner by the XXII-XXII line | wire shown in FIG. 実施の形態３におけるマウント部の正面図Front view of mount part in embodiment 3 実施の形態３におけるマウント部の平面図Plan view of mount portion in embodiment 3 実施の形態３におけるマウント部の側面図Side view of mount portion in embodiment 3 本発明の実施の形態４にかかるガルバノスキャナの断面図であって、図３に相当する図FIG. 6 is a sectional view of a galvano scanner according to a fourth embodiment of the present invention, corresponding to FIG. 図２６に示すＸＸＶＩＩ−ＸＸＶＩＩ線でガルバノスキャナを切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the galvano scanner by the XXVII-XXVII line shown in FIG. 実施の形態４におけるマウント部の正面図Front view of mount portion in embodiment 4 実施の形態４におけるマウント部の平面図Plan view of mount part in embodiment 4 実施の形態４におけるマウント部の側面図Side view of mount part in embodiment 4

以下に、本発明の実施の形態にかかるガルバノスキャナおよびミラーユニットを図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。   Hereinafter, a galvano scanner and a mirror unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかるガルバノスキャナの外観を示す正面図である。図２は、実施の形態１にかかるガルバノスキャナの外観を示す平面図である。図３は、図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線でガルバノスキャナを切断した断面図である。図４は、図１に示すＩＶ−ＩＶ線でガルバノスキャナを切断した断面図である。ガルバノスキャナ１は、レーザ光を反射させるミラー２と、ミラー２を回転駆動させるモータ５とを備える。以下の説明において、モータ５に対してミラー２が設けられた側を負荷側といい、その反対側を反負荷側という。Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a front view showing an appearance of a galvano scanner according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing an appearance of the galvano scanner according to the first embodiment. 3 is a cross-sectional view of the galvano scanner taken along line III-III shown in FIG. 4 is a cross-sectional view of the galvano scanner taken along line IV-IV shown in FIG. The galvano scanner 1 includes a mirror 2 that reflects laser light and a motor 5 that rotationally drives the mirror 2. In the following description, the side where the mirror 2 is provided with respect to the motor 5 is referred to as the load side, and the opposite side is referred to as the anti-load side.

図１に示すミラー２は、レーザ光を反射させる反射面が楕円形状の一例である。ＣＯ２レーザを反射させる場合は、一般的に、楕円形状の長径が３０ｍｍ〜６０ｍｍのものを用いる。なお、ミラー２の反射面の形状は、楕円形状に限られず、四角形または八角形等の様々な形状のものが用いられる。The mirror 2 shown in FIG. 1 is an example of an elliptical reflection surface that reflects laser light. When reflecting a CO 2 laser, an elliptical major axis having a major axis of 30 mm to 60 mm is generally used. The shape of the reflecting surface of the mirror 2 is not limited to an elliptical shape, and various shapes such as a square or an octagon are used.

ミラー２には、ミラーマウントとも呼ばれるマウント部３が接着されている。図５は、実施の形態１におけるマウント部３の正面図である。図６は、実施の形態１におけるマウント部３の平面図である。図７は、実施の形態１におけるマウント部３の側面図である。マウント部３の一端部３ｄには、ミラー２の外縁が嵌め込まれる第１の溝３ａが形成されている。マウント部３の他端部３ｅには、後述するモータ５の軸部が差し込まれる第１の穴である穴３ｂが形成されている。また、穴３ｂの周囲を囲む壁面には、後述するモータ５の軸部の回転軸と平行となる方向に他端部３ｅ側から第２の溝３ｃが複数形成されており、外力により穴３ｂの内径を小さく変形できるように構成されている。ミラー２は、図２および図４に示すように、マウント部３の第１の溝３ａに差し込まれて接着されている。   A mount 3 called a mirror mount is bonded to the mirror 2. FIG. 5 is a front view of the mount portion 3 according to the first embodiment. FIG. 6 is a plan view of the mount portion 3 in the first embodiment. FIG. 7 is a side view of the mount portion 3 in the first embodiment. A first groove 3 a into which the outer edge of the mirror 2 is fitted is formed at one end 3 d of the mount portion 3. The other end 3e of the mount 3 is formed with a hole 3b that is a first hole into which a shaft of a motor 5 described later is inserted. In addition, a plurality of second grooves 3c are formed on the wall surface surrounding the hole 3b from the other end 3e side in a direction parallel to the rotation axis of the shaft portion of the motor 5 described later. It is comprised so that the internal diameter of can be changed small. As shown in FIGS. 2 and 4, the mirror 2 is inserted into and bonded to the first groove 3 a of the mount portion 3.

次にモータ５について説明する。図３および図４に示すように、モータ５は、円筒形状のモータフレームであるフレーム１１を備える。フレーム１１の内部には、シャフトである軸部１４が収容されている。軸部１４は円筒形状となっており、軸部１４の中心軸が回転軸６と一致する状態でフレーム１１に収容されている。フレーム１１のうち、フレーム１１の負荷側となる端面は環状の蓋１８によって塞がれる。   Next, the motor 5 will be described. As shown in FIGS. 3 and 4, the motor 5 includes a frame 11 that is a cylindrical motor frame. A shaft portion 14 that is a shaft is accommodated inside the frame 11. The shaft portion 14 has a cylindrical shape and is accommodated in the frame 11 in a state where the central axis of the shaft portion 14 coincides with the rotation shaft 6. Of the frame 11, the end surface on the load side of the frame 11 is closed by an annular lid 18.

軸部１４の負荷側となる一端部１４ａに、マウント部３が取り付けられる。具体的には、マウント部３の他端部３ｅに形成された穴３ｂに、軸部１４の一端部１４ａが差し込まれることで、軸部１４にマウント部３が取り付けられる。マウント部３は、固定具２０を用いて軸部１４に固定される。図８は、実施の形態１における固定具２０の正面図である。図９は、実施の形態１における固定具２０の平面図である。図１０は、実施の形態１における固定具２０の側面図である。   The mount portion 3 is attached to one end portion 14a on the load side of the shaft portion 14. Specifically, the mount portion 3 is attached to the shaft portion 14 by inserting the one end portion 14 a of the shaft portion 14 into the hole 3 b formed in the other end portion 3 e of the mount portion 3. The mount portion 3 is fixed to the shaft portion 14 using a fixing tool 20. FIG. 8 is a front view of fixture 20 in the first embodiment. FIG. 9 is a plan view of fixture 20 in the first embodiment. FIG. 10 is a side view of fixture 20 in the first embodiment.

固定具２０は、マウント部３の他端部３ｅ側を貫通させる貫通口４１が形成された貫通部材４０と、貫通口４１の面積を縮小させるねじ２１とを有する。貫通部材４０は、円弧面を有する第１の部材４０ａと第２の部材４０ｂとを備えており、円弧面同士を対向させることで第１の部材４０ａと第２の部材４０ｂとの間に貫通口４１が形成される。   The fixture 20 includes a penetrating member 40 in which a penetrating port 41 that penetrates the other end 3e side of the mount unit 3 is formed, and a screw 21 that reduces the area of the penetrating port 41. The penetrating member 40 includes a first member 40a and a second member 40b each having an arc surface, and the penetrating member 40 penetrates between the first member 40a and the second member 40b by opposing the arc surfaces. A mouth 41 is formed.

第１の部材４０ａと第２の部材４０ｂとには、ねじ２１を貫通させる貫通穴４０ｃと、ねじ２１をねじ込み可能なねじ穴４０ｄとが形成されている。貫通穴４０ｃを貫通させたねじ２１をねじ穴４０ｄにねじ込むことで、第１の部材４０ａと第２の部材４０ｂとを近接させて、貫通口４１の面積を縮小させることができる。   The first member 40a and the second member 40b are formed with a through hole 40c that allows the screw 21 to pass therethrough and a screw hole 40d into which the screw 21 can be screwed. By screwing the screw 21 penetrating the through hole 40c into the screw hole 40d, the first member 40a and the second member 40b can be brought close to each other, and the area of the through hole 41 can be reduced.

固定具２０は、穴３ｂに軸部１４が差し込まれたマウント部３の他端部３ｅ側を貫通口４１に差し込んだ状態で、ねじ２１を締め込むことで、貫通口４１の面積が縮小されて、マウント部３が締め付けられる。マウント部３の他端部３ｅ側には第２の溝３ｃが形成されているので、貫通口４１の面積が縮小されることで、穴３ｂの断面積も縮小されるようにマウント部３の他端部３ｅ側となる部分が変形する。これにより、穴３ｂの壁面が軸部１４に密着して、マウント部３が軸部１４に固定される。マウント部３の他端部３ｅ側となる部分および軸部１４の一端部１４ａ側となる部分は、フレーム１１の負荷側を塞ぐ環状の蓋１８の開口を貫通している。   The fixing tool 20 is reduced in the area of the through hole 41 by tightening the screw 21 while the other end 3e side of the mount part 3 in which the shaft part 14 is inserted into the hole 3b is inserted into the through hole 41. Thus, the mount portion 3 is tightened. Since the second groove 3c is formed on the other end 3e side of the mount 3, the area of the through hole 41 is reduced, so that the cross-sectional area of the hole 3b is also reduced. The portion on the other end 3e side is deformed. Thereby, the wall surface of the hole 3b is brought into close contact with the shaft portion 14, and the mount portion 3 is fixed to the shaft portion 14. The portion on the other end 3 e side of the mount portion 3 and the portion on the one end portion 14 a side of the shaft portion 14 pass through the opening of the annular lid 18 that closes the load side of the frame 11.

固定具２０はフレーム１１の内部に収容される。フレーム１１には、フレーム１１の外部から固定具２０のねじ２１の操作を可能とする開口７が形成されている。フレーム１１の側面に形成された開口７を通してドライバー等の工具をフレーム１１の内部に差し込むことで、ねじ２１をねじ込んだり緩めたりすることが可能となる。なお、この開口７を塞ぐ蓋を設けてもよい。また、開口７は、ねじ２１を操作可能な位置に形成されていればよく、複数形成されていてもよい。   The fixture 20 is housed inside the frame 11. The frame 11 has an opening 7 that allows the screw 21 of the fixture 20 to be operated from the outside of the frame 11. By inserting a tool such as a screwdriver into the frame 11 through the opening 7 formed on the side surface of the frame 11, the screw 21 can be screwed or loosened. A lid that closes the opening 7 may be provided. Moreover, the opening 7 should just be formed in the position which can operate the screw 21, and may be formed in multiple numbers.

軸部１４の周囲には、回転子となる磁石１５が固定されている。磁石１５も軸部１４と同様にフレーム１１の内部に収容される。磁石１５の周囲には固定子となるコイル１６が設けられている。コイル１６と磁石１５との間には隙間が設けられている。コイル１６もフレーム１１の内部に収容される。   A magnet 15 serving as a rotor is fixed around the shaft portion 14. The magnet 15 is also housed inside the frame 11 like the shaft portion 14. A coil 16 serving as a stator is provided around the magnet 15. A gap is provided between the coil 16 and the magnet 15. The coil 16 is also accommodated inside the frame 11.

フレーム１１の内部には、回転軸６を中心に回転可能に軸部１４を支持する第１の軸受１２と第２の軸受１３が設けられている。軸部１４は円筒形状となっており、第１の軸受１２および第２の軸受１３に支持された状態で、軸部１４の中心軸が回転軸６と一致する。軸部１４が回転することで、軸部１４に固定されたマウント部３とミラー２も回転軸６を中心に回転する。   Inside the frame 11, a first bearing 12 and a second bearing 13 that support the shaft portion 14 so as to be rotatable about the rotation shaft 6 are provided. The shaft portion 14 has a cylindrical shape, and the central axis of the shaft portion 14 coincides with the rotating shaft 6 while being supported by the first bearing 12 and the second bearing 13. As the shaft portion 14 rotates, the mount portion 3 and the mirror 2 fixed to the shaft portion 14 also rotate around the rotation shaft 6.

第１の軸受１２は磁石１５よりも負荷側に設けられ、第２の軸受１３は磁石よりも反負荷側に設けられている。すなわち、第１の軸受１２と第２の軸受１３は、回転子となる磁石１５を挟んで互いに対向するように設けられている。第２の軸受１３は、第１の軸受１２を挟んでミラー２の反対側に設けられているとも換言できる。   The 1st bearing 12 is provided in the load side rather than the magnet 15, and the 2nd bearing 13 is provided in the anti-load side rather than the magnet. That is, the first bearing 12 and the second bearing 13 are provided so as to face each other with the magnet 15 serving as a rotor interposed therebetween. In other words, the second bearing 13 is provided on the opposite side of the mirror 2 with the first bearing 12 interposed therebetween.

第１の軸受１２は、内輪１２ａと、鋼球１２ｂと、外輪１２ｃとを備える。第１の軸受１２の外輪１２ｃは、フレーム１１の内側面に当接している。第１の軸受１２の内輪１２ａは、固定具２０よりも負荷側でマウント部３に固定されている。すなわち、第１の軸受１２は、マウント部３を介して軸部１４を支持している。上述した蓋１８は、負荷側から図示しないバネを挟んで第１の軸受１２に対して回転軸６方向に与圧をかける機能を有している。   The first bearing 12 includes an inner ring 12a, a steel ball 12b, and an outer ring 12c. The outer ring 12 c of the first bearing 12 is in contact with the inner surface of the frame 11. The inner ring 12 a of the first bearing 12 is fixed to the mount portion 3 on the load side with respect to the fixture 20. That is, the first bearing 12 supports the shaft portion 14 via the mount portion 3. The lid 18 described above has a function of applying pressure in the direction of the rotation shaft 6 to the first bearing 12 with a spring (not shown) sandwiched from the load side.

第２の軸受１３は、内輪１３ａと、鋼球１３ｂと、外輪１３ｃとを備える。第２の軸受１３の外輪１３ｃは、フレーム１１の内側面に当接して、フレーム１１に固定されている。第２の軸受１３の内輪１３ａは、磁石１５よりも反負荷側で軸部１４に固定されている。すなわち、第２の軸受１３は、軸部１４を直接支持している。   The second bearing 13 includes an inner ring 13a, a steel ball 13b, and an outer ring 13c. The outer ring 13 c of the second bearing 13 is in contact with the inner surface of the frame 11 and is fixed to the frame 11. The inner ring 13 a of the second bearing 13 is fixed to the shaft portion 14 on the side opposite to the load from the magnet 15. That is, the second bearing 13 directly supports the shaft portion 14.

フレーム１１の反負荷側には、軸部１４の回転角を検出する角度センサ１７が装着されている。角度センサ１７として、例えば、軸部１４の他端部１４ｂに固定されているエンコーダディスク１７ａと、フレーム１１に固定されているエンコーダヘッド１７ｂと、これらを覆うエンコーダカバー１７ｃを有して構成されるロータリエンコーダが挙げられる。   An angle sensor 17 that detects the rotation angle of the shaft portion 14 is attached to the opposite side of the frame 11. The angle sensor 17 includes, for example, an encoder disk 17a fixed to the other end 14b of the shaft portion 14, an encoder head 17b fixed to the frame 11, and an encoder cover 17c covering these. There is a rotary encoder.

以上説明したガルバノスキャナ１では、モータ５のコイル１６に電流を流すことで、電磁力によって磁石１５に回転トルクが働き、軸部１４が回転する。軸部１４が回転することで、ミラー２を回転させて、ミラー２の反射面の角度を変化させることができる。これにより、反射面で反射されるレーザ光の反射角度を変化させて、レーザ光を走査することが可能となる。   In the galvano scanner 1 described above, when a current is passed through the coil 16 of the motor 5, a rotational torque acts on the magnet 15 by electromagnetic force, and the shaft portion 14 rotates. By rotating the shaft portion 14, the mirror 2 can be rotated to change the angle of the reflection surface of the mirror 2. As a result, the laser beam can be scanned while changing the reflection angle of the laser beam reflected by the reflecting surface.

図１１は、比較例として示すガルバノスキャナ１００の断面図である。比較例として示すガルバノスキャナ１００では、モータ１０５において、磁石１１５よりも負荷側に設けられた軸受１１２が、軸部１１４を直接支持している。そして、軸受１１２よりも負荷側で軸部１１４に、ミラー１０２が装着されたマウント部１０３が固定されている。また、マウント部１０３を軸部１１４に固定する固定具１２０も、軸受１１２よりも負荷側に設けられている。   FIG. 11 is a cross-sectional view of a galvano scanner 100 shown as a comparative example. In the galvano scanner 100 shown as a comparative example, in the motor 105, a bearing 112 provided on the load side of the magnet 115 directly supports the shaft portion 114. The mount portion 103 to which the mirror 102 is attached is fixed to the shaft portion 114 on the load side of the bearing 112. In addition, a fixture 120 that fixes the mount portion 103 to the shaft portion 114 is also provided on the load side of the bearing 112.

このような比較例として示すガルバノスキャナ１００における軸受１１２からミラー１０２の負荷側となる先端までの距離Ｌ２は、図４に示すように本実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１における第１の軸受１２からミラー２の負荷側となる先端までの距離Ｌ１よりも長くなる。ひいては、本実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１は、比較例として示すガルバノスキャナ１００よりも面倒れ振動の増幅の抑制を図ることができる。   In the galvano scanner 100 shown as such a comparative example, the distance L2 from the bearing 112 to the tip on the load side of the mirror 102 is the first bearing 12 in the galvano scanner 1 according to the first embodiment as shown in FIG. To a tip on the load side of the mirror 2 is longer than the distance L1. As a result, the galvano scanner 1 according to the first embodiment can suppress the amplification of surface tilt vibration more than the galvano scanner 100 shown as the comparative example.

また、比較例として示すガルバノスキャナ１００では、軸受１１２よりも負荷側となる部分で軸受１１２に直接支持されていない部分にマウント部１０３が含まれる。一方、本実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１では、第１の軸受１２よりも負荷側となる部分で第１の軸受１２に直接支持されていない部分にマウント部３が含まれていない。したがって、第１の軸受１２よりも負荷側となる部分で第１の軸受１２に直接支持されていない部分の重量を、比較例として示すガルバノスキャナ１００よりも軽量化することができる。これにより、面倒れ振動の振幅のより一層の抑制を図ることができる。   Further, in the galvano scanner 100 shown as a comparative example, the mount portion 103 is included in a portion that is on the load side of the bearing 112 and is not directly supported by the bearing 112. On the other hand, in the galvano scanner 1 according to the first embodiment, the mount portion 3 is not included in a portion that is on the load side of the first bearing 12 and is not directly supported by the first bearing 12. Therefore, the weight of the portion that is not directly supported by the first bearing 12 at the portion closer to the load than the first bearing 12 can be made lighter than the galvano scanner 100 shown as the comparative example. Thereby, it is possible to further suppress the amplitude of the surface falling vibration.

次に、モータ５にミラー２を組み付ける工程について説明する。図１２から図１７は、実施の形態１におけるモータ５にミラー２を組み付ける工程について説明する図である。まず、図１２に示すように、モータ５のフレーム１１から、蓋１８と第１の軸受１２を取り外す。   Next, the process of assembling the mirror 2 to the motor 5 will be described. FIGS. 12 to 17 are diagrams illustrating a process of assembling the mirror 2 to the motor 5 according to the first embodiment. First, as shown in FIG. 12, the lid 18 and the first bearing 12 are removed from the frame 11 of the motor 5.

次に、図１３に示すように、ミラー２をマウント部３の第１の溝３ａに差し込み、接着剤等によってミラー２をマウント部３に固定する。次に、図１４に示すように、マウント部３を蓋１８に挿入する。次に、図１５に示すように、マウント部３を第１の軸受１２に挿入する。次に、図１６に示すように、固定具２０の貫通穴４０ｃにマウント部３を挿入する。このとき、図８に示すように、固定具２０は、第１の部材４０ａと第２の部材４０ｂとを予めねじ２１で組み付けた状態となっている。また、貫通穴４０ｃがマウント部３を挿入できる大きさとなるように、ねじ２１のねじ込みが調節されている。   Next, as shown in FIG. 13, the mirror 2 is inserted into the first groove 3 a of the mount portion 3, and the mirror 2 is fixed to the mount portion 3 with an adhesive or the like. Next, as shown in FIG. 14, the mount portion 3 is inserted into the lid 18. Next, as shown in FIG. 15, the mount portion 3 is inserted into the first bearing 12. Next, as shown in FIG. 16, the mount portion 3 is inserted into the through hole 40 c of the fixture 20. At this time, as shown in FIG. 8, the fixture 20 is in a state in which the first member 40 a and the second member 40 b are assembled with the screws 21 in advance. Further, the screw 21 is adjusted so that the through hole 40c can be inserted into the mount portion 3.

次に、図１２で示したように第１の軸受１２および蓋１８を外したモータ５に、図１６に示したミラー２、マウント部３、蓋１８、第１の軸受１２、固定具２０を組み付けた部材を、モータ５の軸部１４の一端部１４ａ（図３等も参照）を、マウント部３の穴３ｂに挿入させながら、フレーム１１に取り付ける。このとき、第１の軸受１２は、フレーム１１の内側に嵌め込まれる。また、蓋１８を図示しないねじでフレーム１１に固定する。次に、フレーム１１に形成された開口７を通して、固定具２０のねじ２１を締め込んで、マウント部３を軸部１４に固定する。図１７は、マウント部３の固定が完了したときのガルバノスキャナ１の外観図である。   Next, as shown in FIG. 12, the mirror 2, the mount portion 3, the lid 18, the first bearing 12, and the fixture 20 shown in FIG. 16 are attached to the motor 5 with the first bearing 12 and the lid 18 removed. The assembled member is attached to the frame 11 while inserting one end portion 14a (see also FIG. 3 and the like) of the shaft portion 14 of the motor 5 into the hole 3b of the mount portion 3. At this time, the first bearing 12 is fitted inside the frame 11. Further, the lid 18 is fixed to the frame 11 with screws (not shown). Next, through the opening 7 formed in the frame 11, the screw 21 of the fixture 20 is tightened to fix the mount portion 3 to the shaft portion 14. FIG. 17 is an external view of the galvano scanner 1 when the mounting portion 3 is fixed.

なお、フレーム１１に形成された開口７を通して、固定具２０のねじ２１を緩めることで、マウント部３を軸部１４から取り外すことが可能となるため、ミラー２が損傷した場合には、マウント部３とともにミラー２を取り外してミラー２を交換することが可能となる。   In addition, since it becomes possible to remove the mount part 3 from the axial part 14 by loosening the screw 21 of the fixing tool 20 through the opening 7 formed in the frame 11, when the mirror 2 is damaged, the mount part 3 and the mirror 2 can be removed and the mirror 2 can be replaced.

また、図１５に示したミラー２、マウント部３、蓋１８および第１の軸受１２を組み立てたもの、または、図１６に示したミラー２、マウント部３、蓋１８、第１の軸受１２および固定具２０を組み立てたものを、ミラーユニットとして用意しておけば、ミラー２を交換する際に、マウント部３に第１の軸受１２を挿入させる作業等を省略することができるので、ミラー２の交換作業の容易化を図ることができる。   Further, the mirror 2, the mount portion 3, the lid 18 and the first bearing 12 shown in FIG. 15 are assembled, or the mirror 2, the mount portion 3, the lid 18, the first bearing 12 and the first bearing 12 shown in FIG. If the assembly of the fixture 20 is prepared as a mirror unit, the operation of inserting the first bearing 12 into the mount portion 3 can be omitted when the mirror 2 is replaced. The replacement work can be facilitated.

また、固定具２０は、フレーム１１に形成された開口７を通して操作することで、マウント部３を軸部１４に固定できるものであればよい。例えば、固定具２０の貫通部材４０が２つの部材から構成されていなくてもよく、１つまたは３つ以上の部材から構成されていてもよい。また、本実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１は、軸部１４に磁石１５が固定され、フレーム１１にコイル１６が固定され、コイル１６に電流を流すことによって軸部１４が回転するムービングマグネット型のモータ５について説明したが、軸部１４にコイルが固定されて、フレーム１１に磁石が固定され、コイルに電流を流すことによって軸部１４が回転するムービングコイル型のモータであってもよい。また、マウント部３は、第１の溝３ａと第２の溝３ｃの２つの溝を持つ構成について説明したが、３つ以上の溝を持つ構成であってもよい。   Further, the fixture 20 may be any device that can fix the mount portion 3 to the shaft portion 14 by operating through the opening 7 formed in the frame 11. For example, the penetrating member 40 of the fixture 20 may not be composed of two members, and may be composed of one or three or more members. In the galvano scanner 1 according to the first embodiment, the magnet 15 is fixed to the shaft portion 14, the coil 16 is fixed to the frame 11, and the shaft portion 14 rotates by passing a current through the coil 16. Although the motor 5 is described, a moving coil type motor in which a coil is fixed to the shaft portion 14, a magnet is fixed to the frame 11, and the shaft portion 14 rotates by passing a current through the coil may be used. Moreover, although the mount part 3 demonstrated the structure which has two grooves, the 1st groove | channel 3a and the 2nd groove | channel 3c, the structure which has three or more grooves may be sufficient.

実施の形態２．
図１８は、本発明の実施の形態２にかかるガルバノスキャナ５０の外観を示す平面図である。上記実施の形態１と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。上記実施の形態１では、固定具２０のねじ２１を締め込んで、マウント部３の穴３ｂの断面積を縮小させることで、マウント部３を軸部１４に固定していた。本実施の形態２では、固定具２０の代わりに、マウント部３を軸部１４に固定する固定具にワイヤ５１を使用した例を示す。ワイヤ５１は、マウント部３の穴３ｂの周囲を囲む壁面に巻き付けられて、マウント部３の壁面を締めつけることで、マウント部３の穴３ｂの断面積を縮小させて、マウント部３を軸部１４に固定している。Embodiment 2. FIG.
FIG. 18 is a plan view showing an appearance of a galvano scanner 50 according to the second embodiment of the present invention. About the structure similar to the said Embodiment 1, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted. In the first embodiment, the mount portion 3 is fixed to the shaft portion 14 by tightening the screw 21 of the fixture 20 and reducing the cross-sectional area of the hole 3b of the mount portion 3. In the second embodiment, an example in which the wire 51 is used as a fixture for fixing the mount portion 3 to the shaft portion 14 instead of the fixture 20 will be described. The wire 51 is wound around a wall surface surrounding the hole 3b of the mount part 3, and the cross-sectional area of the hole 3b of the mount part 3 is reduced by tightening the wall surface of the mount part 3, so that the mount part 3 is connected to the shaft part. 14 is fixed.

本実施の形態２にかかるガルバノスキャナ５０の正面図は、図１に示した実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１の正面図と同じであるため省略する。図１８に示すように、本実施の形態２にかかるガルバノスキャナ５０と、図２に示す実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１とでは、開口７の位置が異なっている。   The front view of the galvano scanner 50 according to the second embodiment is the same as the front view of the galvano scanner 1 according to the first embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 18, the position of the opening 7 is different between the galvano scanner 50 according to the second embodiment and the galvano scanner 1 according to the first embodiment shown in FIG.

図１９は、図１８に示すＸＩＸ−ＸＩＸ線でガルバノスキャナ５０を切断した断面図である。図２０は、図１９に示すＸＸ−ＸＸ線でガルバノスキャナ５０を切断した断面図である。   FIG. 19 is a cross-sectional view of the galvano scanner 50 taken along line XIX-XIX shown in FIG. 20 is a cross-sectional view of the galvano scanner 50 taken along line XX-XX shown in FIG.

ワイヤ５１は、マウント部３の第２の溝３ｃを覆うようにマウント部３の穴３ｂの周囲を囲む壁面に巻き付けられる。ワイヤ５１は、穴３ｂの周囲を囲む壁面を回転軸６と直交する方向に締めつけることで、穴３ｂの断面積を縮小させ、穴３ｂに差し込まれた軸部１４にマウント部３を固定する。   The wire 51 is wound around a wall surface surrounding the hole 3b of the mount unit 3 so as to cover the second groove 3c of the mount unit 3. The wire 51 tightens the wall surface surrounding the hole 3b in a direction perpendicular to the rotation shaft 6, thereby reducing the cross-sectional area of the hole 3b and fixing the mount portion 3 to the shaft portion 14 inserted into the hole 3b.

なお、図１８および図１９に示すように、ワイヤ５１の巻き始めとなる端部と巻き終わりとなる端部をねじり合わせることで、穴３ｂの周囲を囲む壁面がワイヤ５１によって締めつけられる。ワイヤ５１をねじり合わせた部分には、ねじり合わせ部５１ａが作成される。   As shown in FIGS. 18 and 19, the wall 51 surrounding the hole 3b is tightened by the wire 51 by twisting the end of the wire 51 and the end of the wire 51 together. A twisted portion 51a is created at the portion where the wires 51 are twisted together.

フレーム１１の開口７からラジオペンチ等の工具を差し込んで、ねじり合わせ部５１ａを回転させることでワイヤ５１がマウント部３を締めつける力を調整することができる。すなわち、開口７は、開口７を通してねじり合わせ部５１ａを操作可能な位置に形成されている。マウント部３を締めつける力を調整した後、開口７からカッタ等を差し込んで、ねじり合わせ部５１ａを適当な長さに切断することで、他の部材との干渉を防止することができる。また、ねじり合わせ部５１ａを接着剤で固定することで、ねじり合わせ部５１ａの緩みを防止することができる。   The force with which the wire 51 tightens the mount portion 3 can be adjusted by inserting a tool such as radio pliers from the opening 7 of the frame 11 and rotating the twisting portion 51a. That is, the opening 7 is formed at a position where the twisting portion 51 a can be operated through the opening 7. After adjusting the force for tightening the mount portion 3, a cutter or the like is inserted from the opening 7, and the twisted portion 51 a is cut to an appropriate length, so that interference with other members can be prevented. Further, by fixing the twisted portion 51a with an adhesive, it is possible to prevent the twisted portion 51a from loosening.

なお、マウント部３を軸部１４から取り外す場合は、フレーム１１に形成された開口７を通して、開口７にカッタを差し込んでねじり合わせ部５１ａを切断することで、マウント部３の取り外しが可能となるため、ミラー２が損傷した場合には、マウント部３とともにミラー２を取り外してミラー２を交換することが可能となり、ミラー２の交換を可能としつつ、面倒れ振動の振幅の抑制を図ることができるガルバノスキャナを得ることができる。   In addition, when removing the mount part 3 from the axial part 14, it becomes possible to remove the mount part 3 by inserting a cutter into the opening 7 through the opening 7 formed in the frame 11 and cutting the twisting part 51a. Therefore, when the mirror 2 is damaged, it is possible to remove the mirror 2 together with the mount portion 3 and replace the mirror 2, and to reduce the amplitude of the surface tilt vibration while enabling the mirror 2 to be replaced. A galvano scanner that can be obtained can be obtained.

なお、上記実施の形態１と同様に、ミラー２、マウント部３、蓋１８、第１の軸受１２および固定具であるワイヤ５１を組み立てたものを、ミラーユニットとして用意しておけば、ミラー２を交換する際に、マウント部３に第１の軸受１２を挿入させる作業等を省略することができるので、ミラー２の交換作業の容易化を図ることができる。また、ワイヤ５１の素材には、通常は金属を用いるが、炭素繊維またはナイロンに例示される合成繊維を用いてもよい。   As in the first embodiment, if the mirror 2, the mount 3, the lid 18, the first bearing 12, and the wire 51 as the fixture are assembled as a mirror unit, the mirror 2 is prepared. Since the operation | work etc. which insert the 1st bearing 12 in the mount part 3 etc. can be abbreviate | omitted when replacing | exchanging, the replacement | exchange operation | work of the mirror 2 can be facilitated. Moreover, although the metal is normally used for the raw material of the wire 51, the synthetic fiber illustrated by carbon fiber or nylon may be used.

実施の形態３．
図２１は、本発明の実施の形態３にかかるガルバノスキャナの断面図であって、図３に相当する図である。図２２は、図２１に示すＸＸＩＩ−ＸＸＩＩ線でガルバノスキャナを切断した断面図である。なお、上記実施の形態１，２と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。Embodiment 3 FIG.
FIG. 21 is a sectional view of the galvano scanner according to the third embodiment of the present invention, and corresponds to FIG. 22 is a cross-sectional view of the galvano scanner cut along line XXII-XXII shown in FIG. In addition, about the structure similar to the said Embodiment 1, 2, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted.

本実施の形態３にかかるガルバノスキャナ５２は、実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１で用いた固定具２０の代わりに、ねじ５５を用いてマウント部３を軸部１４に固定している。具体的には、軸部１４には、回転軸６に直交する方向に沿って第２の穴である穴１４ｃが形成されている。また、マウント部３には、穴３ｂの周辺を囲む壁面に第３の穴である穴３ｆが形成されている。マウント部３の穴３ｂに軸部１４を挿入した状態において、穴１４ｃと穴３ｆとが連通する。連通した穴１４ｃと穴３ｆとにねじ５５を貫通させ、貫通させたねじ５５にナット５６が嵌め込まれることで、マウント部３が軸部１４に固定される。すなわち、本実施の形態３にかかるガルバノスキャナ５２では、ねじ５５とナット５６とを有して固定具が構成される。   In the galvano scanner 52 according to the third embodiment, the mount portion 3 is fixed to the shaft portion 14 using screws 55 instead of the fixture 20 used in the galvano scanner 1 according to the first embodiment. Specifically, a hole 14 c that is a second hole is formed in the shaft portion 14 along a direction orthogonal to the rotation shaft 6. The mount 3 is formed with a hole 3f, which is a third hole, on a wall surface surrounding the periphery of the hole 3b. In a state where the shaft portion 14 is inserted into the hole 3b of the mount portion 3, the hole 14c and the hole 3f communicate with each other. A screw 55 is passed through the communicating hole 14c and the hole 3f, and a nut 56 is fitted into the passed screw 55, whereby the mount portion 3 is fixed to the shaft portion 14. That is, the galvano scanner 52 according to the third embodiment includes a screw 55 and a nut 56 to constitute a fixture.

本実施の形態３にかかるガルバノスキャナ５２では、フレーム１１の壁面のうち回転軸６を挟んで対向する位置に開口７が形成されている。すなわち、フレーム１１には２つの開口７が形成されている。また、軸部１４には、軸部１４の回転軸６に直交する方向に沿って穴１４ｃが形成されている。本実施の形態３にかかるガルバノスキャナ５２では、開口７の個数を除いて実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１と同様であるため、図示を省略している。   In the galvano scanner 52 according to the third embodiment, an opening 7 is formed at a position on the wall surface of the frame 11 that faces the rotation shaft 6. That is, two openings 7 are formed in the frame 11. Further, a hole 14 c is formed in the shaft portion 14 along a direction orthogonal to the rotation shaft 6 of the shaft portion 14. Since the galvano scanner 52 according to the third embodiment is the same as the galvano scanner 1 according to the first embodiment except for the number of openings 7, the illustration is omitted.

図２３は、実施の形態３におけるマウント部の正面図である。図２４は、実施の形態３におけるマウント部の平面図である。図２５は、実施の形態３におけるマウント部３の側面図である。マウント部３には、穴３ｂの周辺を囲む壁面のうち回転軸６を挟んで対向する位置に穴３ｆが形成されている。すなわち、穴３ｂの周辺を囲む壁面には２つの穴３ｆが形成されている。マウント部３の穴３ｆは、穴３ｂの周辺を囲む壁面にねじ５５を挿入できる直径で形成されている。図２１に示すように、穴３ｆは、マウント部３を軸部１４に挿入した際に、第１の軸受１２と磁石１５の間になる位置に形成されている。   FIG. 23 is a front view of the mount portion in the third embodiment. FIG. 24 is a plan view of the mount portion in the third embodiment. FIG. 25 is a side view of the mount portion 3 according to the third embodiment. A hole 3f is formed in the mount 3 at a position on the wall surface surrounding the periphery of the hole 3b that faces the rotation shaft 6 therebetween. That is, two holes 3f are formed in the wall surface surrounding the periphery of the hole 3b. The hole 3f of the mount 3 is formed with a diameter that allows the screw 55 to be inserted into the wall surface surrounding the periphery of the hole 3b. As shown in FIG. 21, the hole 3 f is formed at a position between the first bearing 12 and the magnet 15 when the mount portion 3 is inserted into the shaft portion 14.

また、図２１に示すように、ねじ５５は、軸部１４の穴１４ｃとマウント部３の２つの穴３ｆを貫通する。貫通したねじ５５の先端部にはナット５６が嵌め込まれている。マウント部３と軸部１４を回転軸６に直交する方向に締めつける力は、ねじ５５を回転させてナット５６にねじ込ませることで発生する。ねじ５５を回転させることで、ねじ５５の頭部とナット５６との距離が短くなり、マウント部３の穴３ｂの内径が小さくなるように穴３ｂの周辺を囲む壁面が変形する。穴３ｂの周辺を囲む壁面が変形することで、マウント部３と軸部１４が固定される。すなわち、本実施の形態３では、実施の形態１の固定具２０に対応する固定具がねじ５５となっている。   Further, as shown in FIG. 21, the screw 55 passes through the hole 14 c of the shaft portion 14 and the two holes 3 f of the mount portion 3. A nut 56 is fitted into the tip of the penetrating screw 55. The force for fastening the mount portion 3 and the shaft portion 14 in the direction perpendicular to the rotation shaft 6 is generated by rotating the screw 55 and screwing it into the nut 56. By rotating the screw 55, the distance between the head of the screw 55 and the nut 56 is shortened, and the wall surface surrounding the periphery of the hole 3b is deformed so that the inner diameter of the hole 3b of the mount portion 3 is reduced. By deforming the wall surface surrounding the periphery of the hole 3b, the mount portion 3 and the shaft portion 14 are fixed. That is, in the third embodiment, the fixing tool corresponding to the fixing tool 20 of the first embodiment is the screw 55.

なお、ねじ５５は、マウント部３の穴３ｂに軸部１４を差し込み、マウント部３の穴３ｆと軸部１４の穴１４ｃとの芯出しを行ったあと、フレーム１１に形成された開口７を通じて、ピンセット等の工具を用いて穴３ｆおよび穴１４ｃに挿入して貫通させる。次に、ナット５６は、ねじ５５を挿入した開口７とは反対側に形成された開口７からピンセット等を用いてねじ５５の先端部に嵌め、ねじ５５とナット５６とで穴３ｆと穴１４ｃとを挟むようにする。その後、開口７から差し込んだドライバー等の工具でねじ５５を回転させて、マウント部３と軸部１４を固定する。   The screw 55 is inserted through the opening 7 formed in the frame 11 after the shaft portion 14 is inserted into the hole 3b of the mount portion 3 and the hole 3f of the mount portion 3 and the hole 14c of the shaft portion 14 are centered. Using a tool such as tweezers, the hole 3f and the hole 14c are inserted and penetrated. Next, the nut 56 is fitted to the tip of the screw 55 using tweezers or the like from the opening 7 formed on the side opposite to the opening 7 into which the screw 55 is inserted, and the hole 3f and the hole 14c are formed by the screw 55 and the nut 56. And so that. Thereafter, the screw 55 is rotated with a tool such as a screwdriver inserted from the opening 7 to fix the mount portion 3 and the shaft portion 14.

また、マウント部３を軸部１４から取り外す場合は、フレーム１１に形成された開口７を通して、ねじ５５を弛めて引き抜くことでマウント部３を取り外すことが可能となるため、ミラー２が損傷した場合には、マウント部３とともにミラー２を取り外してミラー２を交換することが可能となる。また、ナット５６の代わりに、軸部１４の穴１４ｃをねじ５５がねじ込まれるねじ穴、すなわちねじ山が形成された穴とすることで、穴１４ｃにねじ５５をねじ込むだけでマウント部３の穴３ｂの内径を小さくするように変形させることができるようにしてもよい。この場合には、ナット５６を挿入させる開口７をフレーム１１に形成しなくてもよい。   Further, when removing the mount portion 3 from the shaft portion 14, it is possible to remove the mount portion 3 by loosening and pulling out the screw 55 through the opening 7 formed in the frame 11, so that the mirror 2 is damaged. In this case, it is possible to remove the mirror 2 together with the mount unit 3 and replace the mirror 2. Further, instead of the nut 56, the hole 14c of the shaft portion 14 is a screw hole into which the screw 55 is screwed, that is, a hole in which a screw thread is formed, so that the hole of the mount portion 3 is simply screwed into the hole 14c. You may make it deform | transform so that the internal diameter of 3b may be made small. In this case, the opening 7 for inserting the nut 56 may not be formed in the frame 11.

このように、軸部１４に形成された穴１４ｃと、マウント部３に形成された穴３ｆと、穴１４ｃと穴３ｆにねじ５５を挿入することでマウント部３と軸部１４を簡単に固定することが可能となり、ミラー２の交換を可能としつつ、面倒れ振動の振幅の抑制を図ることができるガルバノスキャナを得ることができる。   Thus, the mount part 3 and the shaft part 14 are simply fixed by inserting the screw 55 into the hole 14c formed in the shaft part 14, the hole 3f formed in the mount part 3, and the hole 14c and hole 3f. Thus, it is possible to obtain a galvano scanner capable of suppressing the amplitude of the surface tilt vibration while allowing the mirror 2 to be replaced.

なお、上記実施の形態１と同様に、ミラー２、マウント部３、蓋１８、および第１の軸受１２を組み立てたものを、ミラーユニットとして用意しておけば、ミラー２を交換する際に、マウント部３に第１の軸受１２を挿入させる作業等を省略することができるので、ミラー２の交換作業の容易化を図ることができる。   As in the first embodiment, if the mirror 2, the mount 3, the lid 18, and the first bearing 12 are assembled as a mirror unit, when the mirror 2 is replaced, Since the operation | work etc. which insert the 1st bearing 12 in the mount part 3 can be abbreviate | omitted, the replacement | exchange operation | work of the mirror 2 can be facilitated.

実施の形態４．
図２６は、本発明の実施の形態４にかかるガルバノスキャナの断面図であって、図３に相当する図である。図２７は、図２６に示すＸＸＶＩＩ−ＸＸＶＩＩ線でガルバノスキャナを切断した断面図である。なお、上記実施の形態１，２，３と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態４にかかるガルバノスキャナ６０は、実施の形態１の固定具２０、実施の形態２のワイヤ５１、実施の形態３のねじ５５のような固定具を用いずにマウント部３と軸部１４を固定している。本実施の形態４にかかるガルバノスキャナ６０では、フレーム１１に開口７が形成されていない点を除いて実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１と同様であるため、図示を省略している。Embodiment 4 FIG.
FIG. 26 is a cross-sectional view of the galvano scanner according to the fourth embodiment of the present invention, and corresponds to FIG. 27 is a cross-sectional view of the galvano scanner cut along the line XXVII-XXVII shown in FIG. In addition, about the structure similar to the said Embodiment 1, 2, 3, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted. The galvano scanner 60 according to the fourth embodiment includes the mount unit 3 and the shaft without using the fixing tool 20 of the first embodiment, the wire 51 of the second embodiment, and the screw 55 of the third embodiment. The part 14 is fixed. Since the galvano scanner 60 according to the fourth embodiment is the same as the galvano scanner 1 according to the first embodiment except that the opening 7 is not formed in the frame 11, illustration is omitted.

図２８は、実施の形態４におけるマウント部の正面図である。図２９は、実施の形態４におけるマウント部の平面図である。図３０は、実施の形態４におけるマウント部の側面図である。本実施の形態４におけるマウント部３は、実施の形態１，２，３におけるマウント部３に比べて、第２の溝３ｃが形成されていない点で異なっている。   FIG. 28 is a front view of the mount portion according to the fourth embodiment. FIG. 29 is a plan view of the mount portion in the fourth embodiment. FIG. 30 is a side view of the mount portion in the fourth embodiment. The mount portion 3 according to the fourth embodiment is different from the mount portion 3 according to the first, second, and third embodiments in that the second groove 3c is not formed.

また、本実施の形態４におけるガルバノスキャナ６０では、マウント部３の穴３ｂに挿入した接着剤を用いてマウント部３と軸部１４とを接着させることで、固定具を用いずにマウント部３と軸部１４とを固定させている。   In the galvano scanner 60 according to the fourth embodiment, the mount portion 3 and the shaft portion 14 are bonded using an adhesive inserted into the hole 3b of the mount portion 3 so that the mount portion 3 is not used. And the shaft portion 14 are fixed.

マウント部３と軸部１４とを接着剤で接着するので、接着後は取り外すことはできないが、固定具を用いずにマウント部３を軸部１４に簡単に固定できる。また、固定具を用いないことで構造の簡素化を図ることができる。構造の簡素化によって、軸部１４の低慣性化も可能となる。   Since the mount portion 3 and the shaft portion 14 are bonded with an adhesive, they cannot be removed after bonding, but the mount portion 3 can be easily fixed to the shaft portion 14 without using a fixture. Further, the structure can be simplified by not using a fixture. By simplifying the structure, the inertia of the shaft portion 14 can be reduced.

なお、固定具を用いずにマウント部３と軸部１４とを固定する手法は、接着剤を用いた接着に限られない。例えば、マウント部３と軸部１４とを焼きばめによって固定してもよい。   In addition, the method of fixing the mount part 3 and the axial part 14 without using a fixing tool is not restricted to the adhesion | attachment using an adhesive agent. For example, the mount portion 3 and the shaft portion 14 may be fixed by shrink fitting.

このように、マウント部３と軸部１４とを固定具を用いずに固定することで、固定作業の簡素化を図りつつ、面倒れ振動の振幅の抑制を図ることができる。   In this way, by fixing the mount portion 3 and the shaft portion 14 without using a fixture, it is possible to suppress the amplitude of the face-to-face vibration while simplifying the fixing operation.

なお、上記実施の形態１と同様に、ミラー２、マウント部３、蓋１８、および第１の軸受１２を組み立てたものであって、マウント部３と軸部１４とを固定具を用いずに固定したものをミラーユニットとして用意しておけば、ミラー２を交換する際に、マウント部３に第１の軸受１２を挿入させる作業等を省略することができるので、ミラー２の交換作業の容易化を図ることができる。   As in the first embodiment, the mirror 2, the mount portion 3, the lid 18, and the first bearing 12 are assembled, and the mount portion 3 and the shaft portion 14 are used without using a fixture. If a fixed unit is prepared as a mirror unit, when the mirror 2 is replaced, the operation of inserting the first bearing 12 into the mount portion 3 can be omitted, so that the mirror 2 can be easily replaced. Can be achieved.

以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。   The configuration described in the above embodiment shows an example of the contents of the present invention, and can be combined with another known technique, and can be combined with other configurations without departing from the gist of the present invention. It is also possible to omit or change the part.

１，５０，５２，６０ ガルバノスキャナ、２ ミラー、３ マウント部、３ａ 第１の溝、３ｂ 穴、３ｃ 第２の溝、３ｄ 一端部、３ｅ 他端部、３ｆ 穴、５ モータ、６ 回転軸、７ 開口、１１ フレーム、１２ 第１の軸受、１２ａ 内輪、１２ｂ 鋼球、１２ｃ 外輪、１３ 第２の軸受、１３ａ 内輪、１３ｂ 鋼球、１３ｃ 外輪、１４ 軸部、１４ａ 一端部、１４ｂ 他端部、１４ｃ 穴、１５ 磁石、１６ コイル、１７ 角度センサ、１７ａ エンコーダディスク、１７ｂ エンコーダヘッド、１７ｃ エンコーダカバー、１８ 蓋、２０ 固定具、２１ ねじ、４０ 貫通部材、４０ａ 第１の部材、４０ｂ 第２の部材、４０ｃ 貫通穴、４０ｄ ねじ穴、４１ 貫通口、５１ ワイヤ、５５ ねじ、５６ ナット。   1, 50, 52, 60 Galvano scanner, 2 mirror, 3 mount part, 3a first groove, 3b hole, 3c second groove, 3d one end part, 3e other end part, 3f hole, 5 motor, 6 rotation shaft 7 Opening, 11 Frame, 12 First bearing, 12a Inner ring, 12b Steel ball, 12c Outer ring, 13 Second bearing, 13a Inner ring, 13b Steel ball, 13c Outer ring, 14 Shaft, 14a One end, 14b Other end Part, 14c hole, 15 magnet, 16 coil, 17 angle sensor, 17a encoder disk, 17b encoder head, 17c encoder cover, 18 lid, 20 fixture, 21 screw, 40 penetrating member, 40a first member, 40b second 40c through hole, 40d screw hole, 41 through port, 51 wire, 55 screw, 56 nut.

Claims (8)

レーザ光を反射して偏向するミラーと、
回転軸を中心に回転する軸部と、
前記ミラーを固定するとともに、前記軸部の一端部を挿入する第１の穴が形成されて前記軸部に固定されるマウント部と、
前記回転軸を中心に前記軸部を回転可能に支持する第１の軸受と、
前記第１の軸受を挟んで前記ミラーの反対側に設けられて、前記回転軸を中心に回転可能に前記軸部を支持する第２の軸受と、を備え、
前記第１の軸受の内輪の内側には、前記マウント部が嵌め込まれていることを特徴とするガルバノスキャナ。A mirror that reflects and deflects laser light;
A shaft that rotates about a rotation axis;
A mount portion for fixing the mirror and forming a first hole for inserting one end portion of the shaft portion to be fixed to the shaft portion;
A first bearing that rotatably supports the shaft portion around the rotation shaft;
A second bearing that is provided on the opposite side of the mirror across the first bearing and supports the shaft portion so as to be rotatable about the rotation shaft,
The galvano scanner, wherein the mount portion is fitted inside an inner ring of the first bearing. 前記第１の軸受と前記第２の軸受との間で、前記マウント部を前記軸部に固定させる固定具をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。   The galvano scanner according to claim 1, further comprising: a fixture that fixes the mount portion to the shaft portion between the first bearing and the second bearing. 前記固定具を内部に収容するフレームをさらに備え、
前記固定具は、前記マウント部を貫通させる貫通口が形成された貫通部材と、前記貫通部材の前記貫通口の面積を縮小させるねじと、を有し、
前記フレームには、前記ねじの操作を可能とする開口が形成されることを特徴とする請求項２に記載のガルバノスキャナ。Further comprising a frame for accommodating the fixture therein;
The fixture includes a penetrating member in which a through-hole penetrating the mount portion is formed, and a screw for reducing the area of the through-hole of the penetrating member,
The galvano scanner according to claim 2, wherein an opening that allows the screw to be operated is formed in the frame. 前記固定具を内部に収容するフレームをさらに備え、
前記固定具は、前記マウント部に巻き付けられるワイヤを有し、
前記フレームには、前記ワイヤの端部をねじり合わせたねじり合わせ部の操作を可能とする開口が形成されることを特徴とする請求項２に記載のガルバノスキャナ。Further comprising a frame for accommodating the fixture therein;
The fixture has a wire wound around the mount part,
The galvano scanner according to claim 2, wherein the frame is formed with an opening that allows an operation of a twisted portion obtained by twisting ends of the wires. 前記固定具を内部に収容するフレームをさらに備え、
前記軸部には第２の穴が形成され、
前記マウント部には第３の穴が形成され、
前記マウント部の前記第１の穴に前記軸部の前記一端部が挿入された状態において、前記第２の穴と前記第３の穴とが連通し、
前記固定具は、前記第２の穴と前記第３の穴とに貫通されたねじを有し、
前記フレームには、前記ねじの操作を可能とする開口が形成されることを特徴とする請求項２に記載のガルバノスキャナ。Further comprising a frame for accommodating the fixture therein;
A second hole is formed in the shaft portion,
A third hole is formed in the mount part,
In the state where the one end of the shaft portion is inserted into the first hole of the mount portion, the second hole and the third hole communicate with each other,
The fixture has a screw penetrating through the second hole and the third hole,
The galvano scanner according to claim 2, wherein an opening that allows the screw to be operated is formed in the frame. ミラーと、
前記ミラーに固定されたマウント部と、
前記マウント部が内輪の内側に嵌め込まれた軸受と、を備えることを特徴とするミラーユニット。Mirror,
A mount portion fixed to the mirror;
A mirror unit comprising: the mount portion; and a bearing fitted inside the inner ring. 前記軸受を挟んで前記ミラーの反対側に設けられた固定具をさらに備え、
前記固定具は、前記マウント部を貫通させる貫通口が形成された貫通部材と、前記貫通部材の前記貫通口の面積を縮小させるねじと、を有することを特徴とする請求項６に記載のミラーユニット。Further comprising a fixture provided on the opposite side of the mirror across the bearing,
The mirror according to claim 6, wherein the fixture includes a penetrating member in which a through-hole that penetrates the mount portion is formed, and a screw that reduces an area of the through-hole of the penetrating member. unit. 前記軸受を挟んで前記ミラーの反対側に設けられた固定具をさらに備え、
前記固定具は、前記マウント部に巻き付けたワイヤを有することを特徴とする請求項６に記載のミラーユニット。Further comprising a fixture provided on the opposite side of the mirror across the bearing,
The mirror unit according to claim 6, wherein the fixture includes a wire wound around the mount portion.
JP2018539599A 2016-09-13 2017-08-24 Galvano scanner Active JP6664502B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016178906 2016-09-13
JP2016178906 2016-09-13
PCT/JP2017/030329 WO2018051757A1 (en) 2016-09-13 2017-08-24 Galvanoscanner and mirror unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2018051757A1 true JPWO2018051757A1 (en) 2019-02-14
JP6664502B2 JP6664502B2 (en) 2020-03-13

Family

ID=61619944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018539599A Active JP6664502B2 (en) 2016-09-13 2017-08-24 Galvano scanner

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6664502B2 (en)
KR (2) KR20200102537A (en)
CN (1) CN109690383B (en)
TW (1) TWI643692B (en)
WO (1) WO2018051757A1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019164961A1 (en) 2018-02-21 2019-08-29 Innovusion Ireland Limited Lidar systems with fiber optic coupling
US20190265339A1 (en) 2018-02-23 2019-08-29 Innovusion Ireland Limited Distributed lidar systems
CN112243563A (en) * 2018-06-26 2021-01-19 三美电机株式会社 Rotary reciprocating drive actuator
US11422267B1 (en) * 2021-02-18 2022-08-23 Innovusion, Inc. Dual shaft axial flux motor for optical scanners

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH068919U (en) * 1992-06-30 1994-02-04 松下電器産業株式会社 Rotary polygon mirror drive
JPH08370U (en) * 1993-09-03 1996-02-20 キヤノン株式会社 Light beam scanning device
JP2004029109A (en) * 2002-06-21 2004-01-29 Hitachi Via Mechanics Ltd Scanner and method for preventing torsional vibration of mirror in scanner
US20070183067A1 (en) * 2003-11-24 2007-08-09 Gsi Group Corporation Mirror mounting structures and methods for scanners employing limited rotation motors
JP2012148324A (en) * 2011-01-20 2012-08-09 Keyence Corp Laser beam machining apparatus
JP2013186442A (en) * 2012-03-12 2013-09-19 Sumitomo Heavy Ind Ltd Galvano scanner

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6921893B1 (en) * 2000-06-15 2005-07-26 Scanlab Ag Position detector for a scanning device
JP2002006255A (en) 2000-06-23 2002-01-09 Hitachi Via Mechanics Ltd Scanner and laser beam machine
CN1279483C (en) * 2004-08-19 2006-10-11 杜瑞 Bar code scanner and its bar cod scanning method
CN202736074U (en) * 2012-08-20 2013-02-13 王清辉 Engine device of barcode scanner
JP5714196B1 (en) * 2014-04-23 2015-05-07 三菱電機株式会社 Galvano scanner and laser processing equipment

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH068919U (en) * 1992-06-30 1994-02-04 松下電器産業株式会社 Rotary polygon mirror drive
JPH08370U (en) * 1993-09-03 1996-02-20 キヤノン株式会社 Light beam scanning device
JP2004029109A (en) * 2002-06-21 2004-01-29 Hitachi Via Mechanics Ltd Scanner and method for preventing torsional vibration of mirror in scanner
US20070183067A1 (en) * 2003-11-24 2007-08-09 Gsi Group Corporation Mirror mounting structures and methods for scanners employing limited rotation motors
JP2012148324A (en) * 2011-01-20 2012-08-09 Keyence Corp Laser beam machining apparatus
JP2013186442A (en) * 2012-03-12 2013-09-19 Sumitomo Heavy Ind Ltd Galvano scanner

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200102537A (en) 2020-08-31
CN109690383A (en) 2019-04-26
JP6664502B2 (en) 2020-03-13
CN109690383B (en) 2021-07-30
WO2018051757A1 (en) 2018-03-22
TWI643692B (en) 2018-12-11
KR102312469B1 (en) 2021-10-13
TW201825219A (en) 2018-07-16
KR20190037309A (en) 2019-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2018051757A1 (en) Galvanoscanner and mirror unit
US5739602A (en) Method of and device using adhesively connected parts for preventing motor rotational imbalance caused by thermal expansion
US11413654B2 (en) Ultrasonic vibration processing device
EP2979531B1 (en) Trimmer head for a vegetation cutting machine
JP2004336841A (en) Stepping motor
KR20080047258A (en) Motor
JP2009086409A (en) Polygon mirror scanner motor
JP6469415B2 (en) Fixing structure of driven member to motor and rotating shaft
JP4540001B2 (en) motor
JP2019176712A (en) Motor shaft, rotor, motor, and blower
JP2020192661A (en) robot
JP2017087392A (en) Joint device of robot
JP4468071B2 (en) Encoder mounting method and jig
JPH11190826A (en) Rotary polygon mirror driving device
JP6687661B2 (en) Multicopter
JP6455060B2 (en) Robot adjustment method
JP6647414B2 (en) Robot, motor unit, coupling unit
JP2007097240A (en) Method and structure for fixing rotating disc of encoder in dynamo-electric machine
JP2018096492A (en) Rotary damper
WO2022124073A1 (en) Direct drive motor
JP2007174789A (en) Motor with position adjusting mechanism
JP2000041359A (en) Shaft fixing type motor
WO2019189339A1 (en) Motor shaft, rotor, motor and blower
JP2020150569A (en) Motor shaft, rotor, motor and blower
JP2021078298A (en) Rotor, motor, and light scanning device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181011

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181011

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190723

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190918

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200121

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200218

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6664502

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250