JPWO2018016114A1 - Pressure detection device - Google Patents

Pressure detection device Download PDF

Info

Publication number
JPWO2018016114A1
JPWO2018016114A1 JP2018528394A JP2018528394A JPWO2018016114A1 JP WO2018016114 A1 JPWO2018016114 A1 JP WO2018016114A1 JP 2018528394 A JP2018528394 A JP 2018528394A JP 2018528394 A JP2018528394 A JP 2018528394A JP WO2018016114 A1 JPWO2018016114 A1 JP WO2018016114A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric sensor
piezoelectric
pressure detection
detection device
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018528394A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6586234B2 (en
Inventor
平四郎 不藤
平四郎 不藤
高井　大輔
大輔 高井
幸夫 大瀧
幸夫 大瀧
渡邊　晃弘
晃弘 渡邊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Alps Alpine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd, Alps Alpine Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Publication of JPWO2018016114A1 publication Critical patent/JPWO2018016114A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6586234B2 publication Critical patent/JP6586234B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices

Abstract

【課題】せん断力の検出感度を増大できる圧力検出装置を提供する。【解決手段】圧力検出装置は、荷重が加わる表面５ｂに対向して略平行に設けられた裏面５ａを有する本体部５と、本体部５内に先端部分３ａが位置し、基部３ｂが裏面５ａから外側に位置するように配置された圧電センサ３とを備えている。圧電センサ３は、本体部５の裏面５ａに直交する共通の直交線ＣＬに対して対称に配置され、先端部分３ａが裏面５ａに対して傾斜する角度が同等となるように４つ設けられている。共通の直交線ＣＬに対して設けられた４つの圧電センサ３の組が複数設けられている。【選択図】図３An object of the present invention is to provide a pressure detection device capable of increasing the detection sensitivity of a shear force. A pressure detection device includes a main body portion (5) having a back surface (5a) substantially parallel to a surface (5b) to which a load is applied, a tip portion (3a) in the main body portion (5), and a base portion (3b) And a piezoelectric sensor 3 disposed so as to be positioned outward from The piezoelectric sensors 3 are disposed symmetrically with respect to a common orthogonal line CL orthogonal to the back surface 5 a of the main body 5, and four piezoelectric sensors 3 are provided such that the tip portions 3 a are inclined at the same angle with respect to the back surface 5 a There is. A plurality of sets of four piezoelectric sensors 3 provided for the common orthogonal line CL are provided. [Selected figure] Figure 3

Description

本発明は、圧電センサが設けられた圧力検出装置に関するものである。   The present invention relates to a pressure detection device provided with a piezoelectric sensor.

荷重が加わったときの圧力を検出するために圧電センサが用いられる（特許文献１）。   A piezoelectric sensor is used to detect a pressure when a load is applied (Patent Document 1).

特開２０１４−３３０４８号公報JP, 2014-33048, A

しかし、該圧電センサにおいては、厚さ方向に加わる垂直荷重だけではなく、厚さ方向直交する水平方向に加わるせん断力を検出することは可能である。しかし、圧電センサは平坦であり、大きな検出感度を得ることができず、検出感度を上げることができないという問題がある。   However, in the piezoelectric sensor, it is possible to detect not only the vertical load applied in the thickness direction but also the shear force applied in the horizontal direction orthogonal to the thickness direction. However, the piezoelectric sensor is flat, and can not obtain a large detection sensitivity, and there is a problem that the detection sensitivity can not be increased.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、せん断力の検出感度を増大できる圧力検出装置を提供することを目的とする。   This invention is made in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the pressure detection apparatus which can increase the detection sensitivity of a shear force.

上記課題を解決するために、本発明の圧力検出装置は以下の手段を採用する。
すなわち、圧力検出装置は、荷重が加わる荷重面に対向して略平行に設けられた対向面を有し可撓性を有する本体部と、前記対向面側に位置する基部と、該基部から前記加重面側に延びて形成されて前記本体部内の厚さの範囲内に位置する先端部分を有する圧電センサとを備えている。In order to solve the above-mentioned subject, the pressure detection device of the present invention adopts the following means.
That is, the pressure detection device has a flexible main body portion having an opposite surface provided substantially in parallel to the load surface to which a load is applied, a base located on the opposite surface side, and the base from the base And a piezoelectric sensor having a tip portion which is formed to extend toward the load side and is located within the range of the thickness in the body portion.

被圧力測定部材が本体部の加重面に接触しつつ、加重面方向に変位すると本体部に対してせん断力が加わる。せん断力が加わると、荷重面と、加重面に対して略平行に設けられた対向面とが互いにずれる方向に変形し、この変形に応じて、本体部内に位置する圧電センサの先端部分も変形する。一方、圧電センサの基部は本体部の対向面側に位置するように配置されているので、本体部の変形の影響を受けにくくなる。これにより、圧電センサの先端部分と基部との間に大きな変形を生じさせて圧電センサからの出力を大きくすることができるので、本体部に加わったせん断力の検出感度を増大させることができる。   When the pressure measuring member is in contact with the load surface of the main body and displaced in the direction of the load surface, shear force is applied to the main body. When a shear force is applied, the load surface and the opposing surface provided substantially parallel to the load surface are deformed in the direction in which they are mutually offset, and in response to this deformation, the tip portion of the piezoelectric sensor located in the main body is also deformed Do. On the other hand, since the base of the piezoelectric sensor is disposed on the opposite surface side of the main body, the base of the piezoelectric sensor is not easily affected by the deformation of the main body. As a result, a large deformation can be generated between the distal end portion and the base portion of the piezoelectric sensor, and the output from the piezoelectric sensor can be increased, so that the detection sensitivity of the shear force applied to the main body can be increased.

さらに、前記圧電センサは、前記本体部の前記対向面に直交する共通の直交線に対して対称に配置され、前記先端部分が前記対向面に対して傾斜する角度が同等となるように３つ以上設けられている。   Furthermore, the piezoelectric sensors are disposed symmetrically with respect to a common orthogonal line orthogonal to the facing surface of the main body portion, and three such that the tip end portions are inclined at the same angle with respect to the facing surface The above is provided.

本体部の対向面に直交する共通の直交線に対して対称に配置され、先端部分が対向面に対して傾斜する角度が同等となるように、圧電センサが３つ以上設けられている。これにより、対向面に垂直に向かう垂直荷重に対しては同等の出力がそれぞれの圧電センサから検出され、せん断力荷重に対してはせん断力の方向に応じて異なる出力がそれぞれの圧電センサから検出されるので、垂直荷重だけでなく、せん断力の大きさ及び方向を得ることができる。
例えば、直交線周りに４つの圧電センサを９０°間隔で設ける。Three or more piezoelectric sensors are provided so as to be disposed symmetrically with respect to a common orthogonal line orthogonal to the facing surface of the main body portion and so that the tip end portions are inclined at the same angle with respect to the facing surface. Thereby, the same output is detected from each of the piezoelectric sensors for the vertical load directed perpendicularly to the facing surface, and for the shear load, different outputs are detected from the respective piezoelectric sensors in accordance with the direction of the shear force. Thus, not only the vertical load but also the magnitude and direction of the shear force can be obtained.
For example, four piezoelectric sensors are provided at 90 ° intervals around orthogonal lines.

さらに、共通の前記直交線に対して設けられた３つ以上の前記圧電センサの組が、複数設けられている。   Furthermore, a plurality of sets of three or more of the piezoelectric sensors provided for the common orthogonal line are provided.

共通の直交線に対して設けられた３つ以上の圧電センサの組を複数設けることにより、圧力検出装置の各位置におけるせん断力の大きさと方向を検出することができる。   By providing a plurality of sets of three or more piezoelectric sensors provided to a common orthogonal line, it is possible to detect the magnitude and direction of the shear force at each position of the pressure detection device.

さらに、前記圧電センサの前記基部は、前記本体部の外側に設けられ、前記圧電センサは、前記対向面との交線で折り曲げられた折曲部を有している。   Furthermore, the base portion of the piezoelectric sensor is provided on the outer side of the main body portion, and the piezoelectric sensor has a bending portion bent at an intersection line with the facing surface.

圧電センサは、本体部の対向面との交線で折り曲げられた折曲部を有しているので、この折曲部近傍が、せん断力が加わった際の回動の支点となり、大きな歪み速度を得ることができる。これにより、せん断力が加わったときの圧電センサの検出感度を大きくすることができる。   Since the piezoelectric sensor has a bent portion that is bent at an intersection line with the opposing surface of the main body portion, the vicinity of the bent portion serves as a fulcrum of rotation when a shearing force is applied, and a large strain rate You can get This makes it possible to increase the detection sensitivity of the piezoelectric sensor when a shear force is applied.

さらに、前記圧電センサは、円板形状とされており、該円板形状の直径位置に前記折曲部が設けられている。   Furthermore, the piezoelectric sensor has a disk shape, and the bent portion is provided at a diameter position of the disk shape.

円板形状とされた圧電センサの中心を通る直径位置に折曲部を設けることとしたので、折曲部を最も長くすることができる。これにより、歪み速度が大きくなる部分が増大し、圧電センサの検出感度を大きくすることができる。   Since the bent portion is provided at a diameter position passing through the center of the disc-shaped piezoelectric sensor, the bent portion can be longest. As a result, the portion where the strain rate increases is increased, and the detection sensitivity of the piezoelectric sensor can be increased.

圧力検出装置の本体部内に位置した圧電センサの先端部分と、本体部の外に位置した基部との間に大きな変形を生じさせることができ、圧力検出装置に加わったせん断力の検出感度を増大することができる。   A large deformation can be caused between the tip of the piezoelectric sensor located in the main body of the pressure detection device and the base located outside the main body, thereby increasing the detection sensitivity of the shear force applied to the pressure detection device can do.

本発明の一実施形態に係る圧力検出装置を示した平面図である。It is the top view which showed the pressure detection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１の圧電センサが４つ一組で配置された状態を示した平面図である。It is the top view which showed the state which the piezoelectric sensor of FIG. 1 was arrange | positioned by 4 groups. 図２のIII−IIIにおける断面図である。It is sectional drawing in III-III of FIG. スペーサ部材と圧電センサの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of a spacer member and a piezoelectric sensor. ４つ一組で配置された圧電センサの模式図である。It is a schematic diagram of the piezoelectric sensor arrange | positioned by 4 sets. 圧電センサの出力を示し、（ａ）が垂直荷重付加時、（ｂ）がせん断力付加時を示すグラフである。The output of a piezoelectric sensor is shown, (a) is a graph which shows the time of shear force addition at the time of perpendicular load addition, and (b). 図４に示した圧電センサの変形例１を示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed the modification 1 of the piezoelectric sensor shown in FIG. 図４に示した圧電センサの変形例２を示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed the modification 2 of the piezoelectric sensor shown in FIG. 図４に示した圧電センサの変形例３を示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed the modification 3 of the piezoelectric sensor shown in FIG. 図２に示した圧電センサの変形例４を示した平面図である。It is the top view which showed the modification 4 of the piezoelectric sensor shown in FIG. 図２に示した圧電センサの変形例５を示した平面図である。It is the top view which showed the modification 5 of the piezoelectric sensor shown in FIG. 図２に示した圧電センサの変形例６を示した平面図である。It is the top view which showed the modification 6 of the piezoelectric sensor shown in FIG.

以下、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。
図１には、複数の圧電センサ３が取り付けられた圧力検出装置１が示されている。圧力検出装置１は、例えば、椅子の座面に配置され、座った後の荷重分布の変化を得る際に使用される。圧力検出装置１は、エラストマー等の弾性材料で構成されたスペーサ部材（本体部）５が椅子の座面に対応した全体形状をなし、スペーサ部材５内に複数の圧電センサ３の一部が埋め込まれている。
圧電センサ３は、図１のように圧力検出装置１を平面視した場合に、円板形状とされ、４つで一組となって配置されており、圧力検出装置１の全体にわたって複数組が各所に設けられている。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described using the drawings.
FIG. 1 shows a pressure detection device 1 to which a plurality of piezoelectric sensors 3 are attached. The pressure detection device 1 is disposed, for example, on a seating surface of a chair, and is used to obtain a change in load distribution after sitting. The pressure detection device 1 has an overall shape in which a spacer member (main body) 5 made of an elastic material such as an elastomer corresponds to a seat surface of a chair, and some of the plurality of piezoelectric sensors 3 are embedded in the spacer member 5 It is done.
The piezoelectric sensor 3 is formed in a disc shape when the pressure detection device 1 is viewed in plan as shown in FIG. 1, and is arranged in a set of four, and a plurality of sets are provided throughout the pressure detection device 1. It is provided in each place.

図２には、４つ一組で配置された圧電センサ３が示されている。各圧電センサ３からは上面電極及び下面電極のそれぞれに接続されたリード線４が取り出されている。各リード線４は、図示しない制御部に接続されている。また、各リード線４を図示しない無線通信部に接続し、圧力検出装置１とは別の位置に設けた制御部に対して無線通信によってデータの送受信を行っても良い。
４つの圧電センサ３は、それぞれ同じ形状とされており、共通の中心Ｏ１周りに９０°間隔で対称に配置されている。The piezoelectric sensor 3 arrange | positioned by 4 sets is shown by FIG. Lead wires 4 connected to the upper surface electrode and the lower surface electrode are taken out from the respective piezoelectric sensors 3. Each lead 4 is connected to a control unit (not shown). Further, each lead wire 4 may be connected to a wireless communication unit (not shown), and data may be transmitted / received to / from the control unit provided at a position different from the pressure detection device 1 by wireless communication.
Each of the four piezoelectric sensors 3 has the same shape, and is disposed symmetrically at 90 ° intervals around a common center O1.

図３に示すように、スペーサ部材５の裏面（対向面）５ａ側から圧電センサ３が取り付けられている。スペーサ部材５の裏面５ａは、スペーサ部材５の表面（荷重面）５ｂに対向して設けられており、これら裏面５ａと表面５ｂとは略平行となっている。表面５ｂは、座っている人の荷重を受ける荷重面となる。裏面５ａは、座面の下方側に位置する面となる。   As shown in FIG. 3, the piezoelectric sensor 3 is attached from the back surface (facing surface) 5 a side of the spacer member 5. The back surface 5a of the spacer member 5 is provided to face the front surface (load surface) 5b of the spacer member 5, and the back surface 5a and the front surface 5b are substantially parallel. The surface 5b is a load surface that receives the load of a seated person. The back surface 5a is a surface located below the seat surface.

圧電センサ３の先端部分３ａがスペーサ部材５内の厚さの範囲内に位置し、基部３ｂはスペーサ部材５の外に位置して、基部３ｂが裏面５ａから外側に位置している。
先端部分３ａは、スペーサ部材５に形成した切り込みや溝に挿入することによって配置される。なお、先端部分３ａがスペーサ部材５内に位置するようにインサート成形してもよい。基部３ｂは、裏面５ａに沿って配置されている。
圧電センサ３は、中央部分で折り曲げられている。図２には、各圧電センサ３に設けた折曲部３ｃが示されている。折曲部３ｃは、中心Ｏ１と各圧電センサ３の中心とを通る直線に対して直交するように設けられている。折曲部３ｃは、円形とされた圧電センサ３の直径位置に設けられている。図３に示すように、折曲部３ｃは、圧電センサ３と裏面５ａとが交差する位置に設けられている。The tip portion 3a of the piezoelectric sensor 3 is located within the thickness range in the spacer member 5, the base 3b is located outside the spacer member 5, and the base 3b is located outside from the back surface 5a.
The distal end portion 3 a is disposed by being inserted into a notch or a groove formed in the spacer member 5. In addition, it may insert-mold so that tip part 3a may be located in spacer member 5. The base 3 b is disposed along the back surface 5 a.
The piezoelectric sensor 3 is bent at a central portion. The bending part 3c provided in each piezoelectric sensor 3 is shown by FIG. The bending portion 3 c is provided to be orthogonal to a straight line passing through the center O 1 and the centers of the piezoelectric sensors 3. The bent portion 3 c is provided at a diameter position of the circular piezoelectric sensor 3. As shown in FIG. 3, the bending part 3c is provided in the position where the piezoelectric sensor 3 and the back surface 5a cross | intersect.

図３に示すように、圧電センサ３は、中心Ｏ１（図２参照）を通りスペーサ部材５の裏面５ａに直交する共通の直交線ＣＬに対して対称に配置されている。そして、各圧電センサ３の先端部分３ａが裏面５ａに対して折曲部３ｃにて折り曲げられており、裏面５ａに対して傾斜する角度θが同等とされている。角度θの値としては、せん断力が加わった際に屈曲部３ｃ回りに曲げモーメントが生じる程度の角度であれば良く、０°よりも大きく９０°未満、好ましくは５°以上４５°以下とされる。   As shown in FIG. 3, the piezoelectric sensors 3 are disposed symmetrically with respect to a common orthogonal line CL perpendicular to the back surface 5 a of the spacer member 5 passing through the center O1 (see FIG. 2). Then, the tip portion 3a of each piezoelectric sensor 3 is bent at the bending portion 3c with respect to the back surface 5a, and the inclination angles θ with respect to the back surface 5a are equal. The value of the angle θ may be any angle that causes a bending moment around the bending portion 3c when a shear force is applied, and is more than 0 ° and less than 90 °, preferably 5 ° or more and 45 ° or less Ru.

図４には、スペーサ部材５に対して取り付けられた圧電センサ３の縦断面が示されている。なお、実際には、厚さの関係は誇張表示してあり、スペーサ部材５には溝が設けられている。
圧電センサ３は、基材１０と、基材１０上に配置された下面電極１１と、下面電極１１上に配置された圧電素子１２と、圧電素子１２上に配置された上面電極１３とを備えている。なお、図示を省略しているが、下面電極１１、圧電素子１２及び上面電極１３を覆うようにオーバコート層が設けられている。FIG. 4 shows a longitudinal cross section of the piezoelectric sensor 3 attached to the spacer member 5. In fact, the relationship of thickness is exaggerated and the groove is provided in the spacer member 5.
The piezoelectric sensor 3 includes a base 10, a lower electrode 11 disposed on the base 10, a piezoelectric element 12 disposed on the lower electrode 11, and an upper electrode 13 disposed on the piezoelectric element 12. ing. Although not shown, an overcoat layer is provided to cover the lower electrode 11, the piezoelectric element 12 and the upper electrode 13.

基材１０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：Polyethylene terephthalate）等の熱可塑性樹脂からなるシート状のフィルム基材であり、可撓性を有している。
なお、可撓性の基材１０に、他の熱可塑性の合成樹脂、例えば、ポリエチレン（ＰＥ、Polyethylene）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ：Polyethylene naphthalate）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：Poly Phenylene Sulfide）等のフィルム基材を用いても良い。また、熱変形が可能な基材１０であれば良く、例えば、熱硬化性樹脂である、ポリイミド（ＰＩ：polyimide）、アラミド樹脂（芳香族ポリアミド：Aromatic polyamid）等のフィルム基材であっても良いし、前述した材質に無機フィラーを充填したフィラー入りのフィルム基材であっても良い。さらには、天然ゴムなど合成樹脂に限るものでもない。The substrate 10 is a sheet-like film substrate made of a thermoplastic resin such as polyethylene terephthalate (PET) and has flexibility.
The flexible substrate 10 may be made of other thermoplastic synthetic resin, such as polyethylene (PE, polyethylene), polyethylene naphthalate (PEN: polyethylene naphthalate), and films such as polyphenylene sulfide (PPS: Poly phenylene sulfide). You may use a base material. In addition, it is sufficient that the substrate 10 can be thermally deformed, for example, a film substrate such as polyimide (PI: polyimide) or aramid resin (aromatic polyamide: a thermosetting resin). It may be a film substrate containing a filler in which the above-described material is filled with an inorganic filler. Furthermore, it is not limited to synthetic resins such as natural rubber.

下面電極１１は、例えばポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂からなる第１バインダ樹脂と、第１バインダ樹脂中のマトリックスに分散した、例えば導電性のカーボン粉等の第１導電性粒子とを有して構成されている。その際には、第１バインダ樹脂中の第１導電性粒子の含有率は、５〜７０（ｖｏｌ％）になるように調整され、その厚みは、５〜２０μｍ程度である。   The lower surface electrode 11 has, for example, a first binder resin made of a thermoplastic resin such as polyester resin, and first conductive particles such as conductive carbon powder dispersed in a matrix in the first binder resin. It is configured. At that time, the content of the first conductive particles in the first binder resin is adjusted to 5 to 70 (vol%), and the thickness thereof is about 5 to 20 μm.

圧電素子１２は、例えばポリエステル樹脂やポリウレタン樹脂等の熱可塑性樹脂からなる有機バインダと、有機バインダのマトリックス中に分散した圧電体粒子とを有して構成されている。そして、圧電素子１２は、有機バインダに圧電体粒子が含有された層を形成しており、層厚方向に分極処理がされている。有機バインダとしては、２５０℃における溶融粘度が３００Ｐａ・ｓ以上で、１４０℃における貯蔵弾性率が１ＭＰａ以上で、かつ損失弾性率が０．１ＭＰａ以上である特性を有した合成樹脂を用いている。   The piezoelectric element 12 is configured to include, for example, an organic binder made of a thermoplastic resin such as a polyester resin or a polyurethane resin, and piezoelectric particles dispersed in a matrix of the organic binder. The piezoelectric element 12 forms a layer in which piezoelectric particles are contained in an organic binder, and polarization processing is performed in the layer thickness direction. As the organic binder, a synthetic resin having a melt viscosity at 250 ° C. of 300 Pa · s or more, a storage elastic modulus at 140 ° C. of 1 MPa or more, and a loss elastic modulus of 0.1 MPa or more is used.

圧電体粒子として、ペロブスカイト構造の結晶構造であるニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ3）を好適に用いている。これにより、より感度特性が良い圧電素子１２が得られ、出力性能がより優れたものとなる。なお、圧電体粒子として、圧電体粒子のキュリー温度が２５０℃以上、好ましくは３７５℃以上の温度の特性を有した圧電体（強誘電体）を用いるのが良い。例えば、３７５℃以上のキュリー温度を有した、４３５℃のニオブ酸カリウム、４９０℃のチタン酸鉛、５７０℃のメタニオブ酸鉛、５７３℃の水晶及び１２１０℃のニオブ酸リチウム等や、例えば、２５０℃以上のキュリー温度を有した、３２０℃のチタン酸ジルコン酸鉛（所謂ＰＺＴ）及び３６５℃のニオブ酸ナトリウム、４２０℃のニオブ酸ナトリウムカリウム等が挙げられる。   As piezoelectric particles, potassium niobate (KNbO3) which is a crystal structure of a perovskite structure is suitably used. As a result, the piezoelectric element 12 having better sensitivity characteristics can be obtained, and the output performance can be further improved. As the piezoelectric particles, it is preferable to use a piezoelectric (ferroelectric) having a characteristic that the Curie temperature of the piezoelectric particles is 250 ° C. or higher, preferably 375 ° C. or higher. For example, potassium niobate at 435 ° C., lead titanate at 490 ° C., lead metaniobate at 570 ° C., quartz at 573 ° C., lithium niobate at 1210 ° C., or the like, for example, having a Curie temperature of 375 ° C. or higher Lead zirconate titanate (so-called PZT) at 320 ° C., sodium niobate at 365 ° C., sodium potassium niobate at 420 ° C., and the like having a Curie temperature of at least ° C. can be mentioned.

圧電素子１２は、上記のように合成樹脂との複合材なので、可撓性を有している。特に、非晶性ポリエステル樹脂またはポリウレタン樹脂は、常温で、適度な柔軟性を有しているので、圧電素子１２が変形しても、圧電素子１２に発生するクラック等を抑えることができる。更に、非晶性ポリエステル樹脂及びポリウレタン樹脂は、一般に広く使用され、容易にしかも安価に入手することができるので、好適に使用することができる。   Since the piezoelectric element 12 is a composite material with a synthetic resin as described above, it has flexibility. In particular, since the amorphous polyester resin or polyurethane resin has appropriate flexibility at normal temperature, it is possible to suppress cracks and the like generated in the piezoelectric element 12 even if the piezoelectric element 12 is deformed. Furthermore, non-crystalline polyester resins and polyurethane resins can be suitably used because they are generally widely used and easily and inexpensively available.

圧電素子１２は、さらに厚さ方向に３層積層された３層構造としてもよい。３層構造のうちの中間層の圧電粒子の体積パーセント濃度を他の層よりも低くして、曲げ耐性を向上させることができる。   The piezoelectric element 12 may have a three-layer structure in which three layers are further stacked in the thickness direction. The volume percent concentration of piezoelectric particles in the middle layer of the three-layer structure can be lower than in the other layers to improve bending resistance.

上面電極１３は、下面電極１１と同様に、例えばポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂からなる第２バインダ樹脂と、第２バインダ樹脂中のマトリックスに分散した、例えば導電性のカーボン粉等の第２導電性粒子とを有して構成されている。その際には、第２バインダ樹脂中の第２導電性粒子の含有率は、５〜７０（ｖｏｌ％）になるように調整され、その厚みは、５〜２０μｍ程度である。なお、第１バインダ樹脂及び第２バインダ樹脂として、熱可塑性樹脂を好適に用いたが、これに限るものではなく、エポキシ樹脂やフェノール樹脂等の熱硬化樹脂を用いても良い。   Similar to the lower surface electrode 11, the upper surface electrode 13 is dispersed in a second binder resin made of thermoplastic resin such as polyester resin and a matrix in the second binder resin, for example, second conductive such as conductive carbon powder And is configured to have a sexing particle. At this time, the content of the second conductive particles in the second binder resin is adjusted to 5 to 70 (vol%), and the thickness thereof is about 5 to 20 μm. In addition, although thermoplastic resin was suitably used as 1st binder resin and 2nd binder resin, it does not restrict to this, You may use thermosetting resins, such as an epoxy resin and a phenol resin.

図５及び図６には、４つ一組で配置された圧電センサ３の測定原理が示されている。
図５には、図２に示したように配置された４つの圧電センサ３が模式的に配置されている。４つの圧電センサ３をそれぞれ、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとする。図６は圧力を示しているが、圧電センサ３は変位の変化分に応じた出力信号を出力する為、実際には圧電センサの出力を積分した値をプロットしている。5 and 6 show the measurement principle of the piezoelectric sensor 3 arranged in a set of four.
In FIG. 5, four piezoelectric sensors 3 arranged as shown in FIG. 2 are schematically arranged. Let four piezoelectric sensors 3 be A, B, C, and D, respectively. Although FIG. 6 shows the pressure, since the piezoelectric sensor 3 outputs an output signal corresponding to the change in displacement, a value obtained by actually integrating the output of the piezoelectric sensor is plotted.

座面に加わった荷重が垂直方向のみの場合には、図６（ａ）に示すように、４つのセンサＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄからの出力は略同じ大きさの出力を示す。   When the load applied to the seat surface is only in the vertical direction, the outputs from the four sensors A, B, C, and D show outputs of substantially the same size, as shown in FIG. 6 (a).

次に、図５において左から右方向にせん断力が加わった場合は、図６（ｂ）のような出力となる。右方向にせん断力が加わっておりスペーサ部材５に押される。センサＤは下向きに変位し伸びるように変形するが、４つの圧電センサ３の中では変位量が最大となる為、センサＤの出力が最も大きくなる。センサＢは、変位がセンサＤとは逆向きとなり圧縮される方向に変位して、マイナスの出力となる。センサＡ及びＣの出力は、センサＤと同様に、下向きに変位するがセンサＤより出力は小さくなり、本実施形態においては、垂直荷重を受けた時の荷重（図６（ａ））と殆ど変わらない結果となった。このように、せん断力を加える方向に位置するセンサの出力が最も大きくなり、その１８０°反対側のセンサの出力が逆の出力となることから、剪断荷重の向きが分かる。また、せん断力が加わる方向の２つのセンサの出力差に基づいて、せん断力方向のせん断荷重を得ることができる。さらに、センサＤ，Ｂに対してセンサＡ，Ｃを直交配置しているので、それぞれの方向のせん断力の成分を計算することが可能であり、これを用いてせん断力が加わる方向と大きさを検知する事ができる。   Next, when a shearing force is applied from left to right in FIG. 5, the output is as shown in FIG. 6 (b). A shearing force is applied in the right direction, and the spacer member 5 is pushed. Although the sensor D is deformed so as to be displaced downward and extends, among the four piezoelectric sensors 3, the displacement amount is maximized, so the output of the sensor D is maximized. The sensor B is displaced in the direction in which the displacement is opposite to that of the sensor D and compressed, resulting in a negative output. The outputs of the sensors A and C are displaced downward as in the sensor D, but the output is smaller than that of the sensor D. In this embodiment, the load when receiving a vertical load (FIG. 6A) is almost the same as The result has not changed. As described above, the output of the sensor positioned in the shear force application direction is the largest, and the output of the 180 ° opposite sensor is the opposite output, so that the direction of the shear load is known. Moreover, based on the output difference of two sensors of the direction to which a shear force is added, the shear load of a shear force direction can be obtained. Furthermore, since the sensors A and C are disposed orthogonal to the sensors D and B, it is possible to calculate the component of the shear force in each direction, and using this, the direction and the magnitude to which the shear force is applied Can be detected.

したがって、図１に示したように、４つ一組の圧電センサ３を複数組用いれば、圧力検出装置１の各所において垂直荷重の変化分を測定でき積分によって垂直荷重を測定可能であり、また、せん断力の変化の大きさと方向を得ることができる。各所において得られた垂直荷重とせん断荷重のデータは、図示しない制御部に送られ、積分する事で圧力検出装置１を配置した座面に座った人の荷重分布を得る際に用いられる。
なお、図６（ａ）には本実施形態において荷重が垂直方向のみの場合を示しているが、従来例の平らな圧電センサに比べて、その出力は２倍程度となった。Therefore, as shown in FIG. 1, if a plurality of sets of four piezoelectric sensors 3 are used, the change in vertical load can be measured at each position of the pressure detection device 1, and the vertical load can be measured by integration. , The magnitude and direction of change of shear force can be obtained. The data of the vertical load and the shear load obtained at each place are sent to a control unit (not shown) and integrated to obtain a load distribution of a person sitting on a seat on which the pressure detection device 1 is disposed.
Although FIG. 6A shows the case where the load is only in the vertical direction in this embodiment, its output is about twice that of the flat piezoelectric sensor of the conventional example.

本実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
スペーサ部材５にせん断力が加わると、スペーサ部材５の表面５ｂと裏面５ａが互いにずれる方向に変形する。この変形に応じて、スペーサ部材５内に位置する圧電センサ３の先端部分３ａも変形する。一方、圧電センサ３の基部３ｂはスペーサ部材５の裏面５ａから外側に位置するように配置されているので、スペーサ部材５の変形の影響を大きく受けることがない。これにより、圧電センサ３の先端部分３ａと基部３ｂとの間に大きな変形を生じさせて圧電センサ３からの出力を大きくすることができるので、スペーサ部材５に加わったせん断力の検出感度を増大することができる。According to the present embodiment, the following effects are achieved.
When a shearing force is applied to the spacer member 5, the front surface 5 b and the back surface 5 a of the spacer member 5 are deformed in the direction in which they are mutually offset. In response to this deformation, the tip portion 3a of the piezoelectric sensor 3 located in the spacer member 5 is also deformed. On the other hand, since the base portion 3 b of the piezoelectric sensor 3 is disposed on the outer side from the back surface 5 a of the spacer member 5, the base 3 b is not greatly affected by the deformation of the spacer member 5. Thereby, the output from the piezoelectric sensor 3 can be increased by causing a large deformation between the distal end portion 3a and the base portion 3b of the piezoelectric sensor 3, and therefore the detection sensitivity of the shearing force applied to the spacer member 5 is increased. can do.

さらに、圧電センサ３は、スペーサ部材５の裏面５ａとの交線で折り曲げられた折曲部３ｃを有しているので、この折曲部３ｃ近傍が、せん断力が加わった際の回動の支点となり、大きな歪み速度を得ることができる。これにより、せん断力が加わったときの圧電センサの出力を大きくすることができる。
また、圧電センサ３は、平面視した場合に円形とされ、直径位置に折曲部３ｃを設けることとした（図２参照）ので、折曲部３ｃを最も長くすることができる。これにより、歪み速度が大きくなる部分が増大し、圧電センサ３の検出感度を大きくすることができる。
また、先端部分３ａは、スペーサ部材５内に位置していて表面５ｂから突出させていないので、座っている人等のせん断力の測定に際して、直接人が圧電センサに接してスペーサ部材５の移動を妨げるといったことはない。よって、スペーサ部材５の変形に伴うせん断力の測定が可能であり、よって精度良くせん断力の測定が可能となる。また、先端部分３ａは自由端であり、スペーサ部材の変形を妨げないので、この意味でもスペーサ部材５の変形に伴うせん断力の測定が可能であり、よって精度良くせん断力の測定が可能となる。Furthermore, since the piezoelectric sensor 3 has the bent portion 3 c bent at the intersection line with the back surface 5 a of the spacer member 5, rotation of the vicinity of the bent portion 3 c when shear force is applied As a fulcrum, a large strain rate can be obtained. This makes it possible to increase the output of the piezoelectric sensor when a shear force is applied.
Further, since the piezoelectric sensor 3 is circular in plan view, and the bent portion 3c is provided at the diameter position (see FIG. 2), the bent portion 3c can be longest. As a result, the portion where the strain rate increases is increased, and the detection sensitivity of the piezoelectric sensor 3 can be increased.
Further, since the tip end portion 3a is located in the spacer member 5 and does not protrude from the surface 5b, when measuring the shear force of a seated person etc., the person directly contacts the piezoelectric sensor to move the spacer member 5 There is no such thing as disturbing Therefore, it is possible to measure the shear force associated with the deformation of the spacer member 5, and hence to measure the shear force with high accuracy. In addition, since the tip portion 3a is a free end and does not prevent the deformation of the spacer member, it is possible to measure the shear force accompanying the deformation of the spacer member 5 in this sense as well, thereby making it possible to measure the shear force with high accuracy. .

スペーサ部材５の裏面５ａに直交する共通の直交線ＣＬに対して対称に配置され、先端部分３ａが裏面５ａに対して傾斜する角度θが同等となるように、圧電センサ３を４つ設けることとした。これにより、裏面５ａに垂直に向かう垂直荷重に対しては同等の出力がそれぞれの圧電センサ３から検出され、せん断力の方向に応じて異なる出力がそれぞれの圧電センサ３から検出されるので、垂直荷重だけでなく、せん断力の大きさ及び方向を得ることができる。   Providing four piezoelectric sensors 3 so as to be disposed symmetrically with respect to a common orthogonal line CL orthogonal to the back surface 5 a of the spacer member 5 and to make the tip portions 3 a inclined at the same angle θ with respect to the back surface 5 a And Thereby, the same output is detected from each of the piezoelectric sensors 3 for the vertical load directed vertically to the back surface 5a, and a different output is detected from each of the piezoelectric sensors 3 in accordance with the direction of the shear force. Not only the load, but also the magnitude and direction of the shear force can be obtained.

なお、本実施形態は、以下のように変形することができる。
［変形例１］
図７に示すように、圧電センサ３を屈曲させずに平板状のままでスペーサ部材５に先端部分３ａを位置させても良い。本変形例においても、基部３ｂがスペーサ部材５の裏面５ａの外側に位置するようになるので、せん断力が加わった時に裏面５ａとの交線を境にして圧電センサ３を屈曲させることができる。これにより、屈曲された部分における歪み速度を大きくして圧電センサ３からの出力を大きくすることができるので、スペーサ部材５に加わったせん断力の検出感度を増大することができる。The present embodiment can be modified as follows.
[Modification 1]
As shown in FIG. 7, the distal end portion 3 a may be positioned on the spacer member 5 in a flat shape without bending the piezoelectric sensor 3. Also in this modification, since the base 3b is positioned outside the back surface 5a of the spacer member 5, the piezoelectric sensor 3 can be bent at the boundary line with the back surface 5a when a shearing force is applied. . As a result, the strain velocity at the bent portion can be increased to increase the output from the piezoelectric sensor 3, so that the detection sensitivity of the shear force applied to the spacer member 5 can be increased.

［変形例２］
図８に示すように、図７に示した変形例１の基材１０をスペーサ部材５の裏面５ａに沿って延長させても良い。これにより、下面電極１１、圧電素子１２及び上面電極１３を安定的に保持することができる。[Modification 2]
As shown in FIG. 8, the base material 10 of the modified example 1 shown in FIG. 7 may be extended along the back surface 5 a of the spacer member 5. Thereby, the lower surface electrode 11, the piezoelectric element 12, and the upper surface electrode 13 can be stably held.

［変形例３］
図９に示すように、圧電センサ３を所定の曲率を有するように曲げた曲面形状としても良い。このとき、曲面の曲率中心は、スペーサ部材５側に位置するようにする。曲面形状とすることで、せん断力が加わった際に曲率が変化することを利用することができ、圧電センサ３の出力を大きくすることができる。また、本変形例においても、基部３ｂがスペーサ部材５の裏面５ａの外側に位置するようになるので、せん断力が加わった時に裏面５ａとの交線を境にして圧電センサ３を屈曲させることができる。[Modification 3]
As shown in FIG. 9, the piezoelectric sensor 3 may be curved so as to have a predetermined curvature. At this time, the center of curvature of the curved surface is positioned on the spacer member 5 side. By making the curved surface shape, it is possible to utilize the change in curvature when a shear force is applied, and the output of the piezoelectric sensor 3 can be increased. Also in this modification, the base 3b is positioned outside the back surface 5a of the spacer member 5. Therefore, when a shearing force is applied, the piezoelectric sensor 3 is bent at the boundary with the back surface 5a. Can.

［変形例４］
圧電センサ３の形状は、平面視した場合に、図１や図２に示したような円形に限定されるものではなく、図１０に示すように、矩形状であっても良い。この場合、各圧電センサ３は、中心Ｏ１とする半径方向に長辺を有する矩形状となっている。[Modification 4]
The shape of the piezoelectric sensor 3 is not limited to a circular shape as shown in FIG. 1 or 2 when viewed in plan, but may be rectangular as shown in FIG. In this case, each piezoelectric sensor 3 has a rectangular shape having a long side in the radial direction to be the center O1.

［変形例５］
図１や図２で示したように圧電センサ３を４つ一組で設けることに限定されるものではなく、３つ以上の圧電センサを一組として設ければよい。例えば、図１１に示したように、８つの圧電センサ３を中心Ｏ１周りに等間隔で設けても良い。この場合、各圧電センサ３は、平面視した場合に、中心Ｏ１とする半径方向に長辺を有する矩形状となっている。[Modification 5]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, it is not limited to providing the piezoelectric sensor 3 in a set of four, and three or more piezoelectric sensors may be provided as a set. For example, as shown in FIG. 11, eight piezoelectric sensors 3 may be provided at equal intervals around the center O1. In this case, each of the piezoelectric sensors 3 has a rectangular shape having a long side in the radial direction taken as the center O1 when viewed in plan.

なお、上述した実施形態及び各変形例では、圧力検出装置１を椅子の座面に設けることを一例として説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、布団などの寝具に配置する事も可能である。また、せん断力の測定に限らず垂直荷重も一緒に測定する用途に広く用いることができる。   In the embodiment and the modifications described above, providing the pressure detection device 1 on the seat surface of the chair has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. Things are also possible. Moreover, it can be widely used for the application which measures not only the measurement of a shear force but a perpendicular load together.

［変形例６］
なお、上述した実施形態においては、先端部分３ａは、スペーサ部材５に形成した切り込みや溝に挿入、或いは、先端部分３ａがスペーサ部材５内に位置するようにインサート成形して形成したが、それには限定されない。スペーサ部材５が水平方向に変位した際に、圧電センサ３を変形させるように当接して変形する構造となっていれば良い。
例えば、図１２に示すような変形例６が挙げられる。スペーサ部材５には、下面に向かって拡径するテーパー面６０ａを有する貫通穴６０が形成されている。テーパー面６０ａに沿って圧電センサ３が配置されている。椅子には、貫通孔６０の中央に挿入されるように上方に凸とされたが突起６１が一体的に形成されている。これにより、スペーサ部材５の水平方向にせん断力が加わると、圧電センサ３が水平方向で突起６１とスペーサ部材５に接しせん断力を検出することができる。[Modification 6]
In the embodiment described above, the distal end portion 3a is inserted into a notch or groove formed in the spacer member 5, or is insert-formed so that the distal end portion 3a is positioned in the spacer member 5, Is not limited. When the spacer member 5 is displaced in the horizontal direction, it may be configured to abut and deform so as to deform the piezoelectric sensor 3.
For example, there is a modification 6 as shown in FIG. The spacer member 5 is formed with a through hole 60 having a tapered surface 60a whose diameter increases toward the lower surface. The piezoelectric sensor 3 is disposed along the tapered surface 60a. In the chair, a projection 61 is integrally formed so as to be upwardly convex so as to be inserted into the center of the through hole 60. As a result, when a shearing force is applied in the horizontal direction of the spacer member 5, the piezoelectric sensor 3 contacts the projection 61 and the spacer member 5 in the horizontal direction, and the shearing force can be detected.

１ 圧力検出装置
３ 圧電センサ
３ａ 先端部分
３ｂ 基部
３ｃ 折曲部
４ リード線
５ スペーサ部材（本体部）
５ａ 裏面（対向面）
５ｂ 表面（荷重面）
１０ 基材
１１ 下面電極
１２ 圧電素子
１３ 上面電極
６０ 貫通孔
６０ａ テーパー面
６１ 突起
Ｏ１ 中心
ＣＬ 直交線DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 pressure detection apparatus 3 piezoelectric sensor 3a tip part 3b base 3c bent part 4 lead wire 5 spacer member (main part)
5a back surface (facing surface)
5b surface (load side)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 base material 11 lower surface electrode 12 piezoelectric element 13 upper surface electrode 60 through-hole 60a taper surface 61 protrusion O1 center CL orthogonal line

Claims (5)

荷重が加わる荷重面に対向して略平行に設けられた対向面を有し可撓性を有する本体部と、
前記対向面側に位置する基部と、該基部から前記加重面側に延びて形成されて前記本体部内の厚さの範囲内に位置する先端部分を有する圧電センサと、
を備えている圧力検出装置。A flexible main body having an opposite surface provided substantially parallel to the load surface to which a load is applied;
A piezoelectric sensor having a base located on the opposite surface side, and a tip portion formed extending from the base toward the load surface and located within a range of thickness in the main body;
A pressure detection device provided with. 前記圧電センサは、前記本体部の前記対向面に直交する共通の直交線に対して対称に配置され、前記先端部分が前記対向面に対して傾斜する角度が同等となるように３つ以上設けられている請求項１に記載の圧力検出装置。   The piezoelectric sensors are disposed symmetrically with respect to a common orthogonal line orthogonal to the opposing surface of the main body portion, and three or more are provided such that the tip end portions have the same inclination angle with respect to the opposing surface The pressure detection device according to claim 1, which is 共通の前記直交線に対して設けられた３つ以上の前記圧電センサの組が、複数設けられている請求項２に記載の圧力検出装置。   The pressure detection device according to claim 2, wherein a plurality of sets of three or more of the piezoelectric sensors provided for the common orthogonal line are provided. 前記圧電センサの前記基部は、前記本体部の外側に設けられ、
前記圧電センサは、前記対向面との交線で折り曲げられた折曲部を有している請求項１から３のいずれかに記載の圧力検出装置。The base of the piezoelectric sensor is provided outside the main body,
The pressure detection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the piezoelectric sensor has a bending portion bent at an intersection line with the opposing surface. 前記圧電センサは、円板形状とされており、該円板形状の直径位置に前記折曲部が設けられている請求項４に記載の圧力検出装置。   The pressure detection device according to claim 4, wherein the piezoelectric sensor has a disk shape, and the bent portion is provided at a diameter position of the disk shape.
JP2018528394A 2016-07-22 2017-03-01 Pressure detection device Active JP6586234B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016144909 2016-07-22
JP2016144909 2016-07-22
PCT/JP2017/008098 WO2018016114A1 (en) 2016-07-22 2017-03-01 Pressure detection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2018016114A1 true JPWO2018016114A1 (en) 2019-05-30
JP6586234B2 JP6586234B2 (en) 2019-10-02

Family

ID=60992242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018528394A Active JP6586234B2 (en) 2016-07-22 2017-03-01 Pressure detection device

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6586234B2 (en)
WO (1) WO2018016114A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7128506B2 (en) * 2018-02-08 2022-08-31 国立研究開発法人産業技術総合研究所 pressure sensor

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1365221A1 (en) * 2002-05-24 2003-11-26 Société de Technologie Michelin Three-axis sensor assembly for use in an elastomeric material
JP2008049438A (en) * 2006-08-24 2008-03-06 Osaka Univ Manufacturing method of semiconductor device, semiconductor device and pressure sensor
JP2009068988A (en) * 2007-09-13 2009-04-02 Advanced Telecommunication Research Institute International Tactile sensor unit and its manufacturing method
WO2010095573A1 (en) * 2009-02-18 2010-08-26 国立大学法人京都工芸繊維大学 Touch sensor unit, robot equipped with said touch sensor unit, and load calculation method
JP2013036759A (en) * 2011-08-03 2013-02-21 Seiko Epson Corp Tactile sensor element, tactile sensor device, grasping apparatus, and electronic device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1365221A1 (en) * 2002-05-24 2003-11-26 Société de Technologie Michelin Three-axis sensor assembly for use in an elastomeric material
JP2008049438A (en) * 2006-08-24 2008-03-06 Osaka Univ Manufacturing method of semiconductor device, semiconductor device and pressure sensor
JP2009068988A (en) * 2007-09-13 2009-04-02 Advanced Telecommunication Research Institute International Tactile sensor unit and its manufacturing method
WO2010095573A1 (en) * 2009-02-18 2010-08-26 国立大学法人京都工芸繊維大学 Touch sensor unit, robot equipped with said touch sensor unit, and load calculation method
JP2013036759A (en) * 2011-08-03 2013-02-21 Seiko Epson Corp Tactile sensor element, tactile sensor device, grasping apparatus, and electronic device

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018016114A1 (en) 2018-01-25
JP6586234B2 (en) 2019-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI617954B (en) A pressure-sensitive input device
KR101811214B1 (en) Flexible pressure sensor using an amorphous metal, and flexible bimodal sensor for simultaneously sensing pressure and temperature
US6951143B1 (en) Three-axis sensor assembly for use in an elastomeric material
CN108362410B (en) Three-dimensional force flexible sensor
CN102749092A (en) Flexible compound type array sensor used for artificial sensitive skin of intelligent robot
US11737366B2 (en) Layered sensor apparatus and method of making same
WO2004113858A3 (en) Flexible thin film pressure sensor
CN103003679A (en) Physical quantity sensor and process for production thereof
CN111448446A (en) Strain transfer stack in a MEMS force sensor
US9972768B2 (en) Actuator structure and method
WO2016185813A1 (en) Multi-axis tactile sensor and method for manufacturing multi-axis tactile sensor
US11906373B2 (en) Pressure sensor and electronic equipment
JP6586234B2 (en) Pressure detection device
DK181377B1 (en) Tactile sensor, matrix of tactile sensors, and methods for producing the same
Wang et al. A solution to reduce the time dependence of the output resistance of a viscoelastic and piezoresistive element
US11959819B2 (en) Multi-axis strain sensor
JP6373239B2 (en) Pressure sensor, microphone, ultrasonic sensor, blood pressure sensor, and touch panel
JP2019512670A (en) Sensor device, measuring device, motored vehicle and method of detecting actual deformation of a member
US20230160762A1 (en) Pressure Sensing Element with Porous Structure Based Flexible Base
JP2007315921A (en) Electrostatic capacitance sensor
JP4475134B2 (en) Load detection device
WO2020066157A1 (en) Piezoelectric sensor
JP7025996B2 (en) Load sensor, article and load detection method
CN112534229B (en) Press sensor arrangement structure and electronic device
RU2570840C2 (en) Matrix pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190702

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190807

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190827

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190906

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6586234

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150