JPWO2017017708A1 - コバルト基合金部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
高温における耐酸化性が向上されたコバルト基合金部材を提供する。コバルト基合金部材の製造方法は、アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金を準備する工程と、前記アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して、1×10−5Pa〜1×10−3Paの真空度で熱処理を行う工程と、を有する。
Description
本発明の実施形態は、コバルト基合金部材の製造方法に関する。
ガスタービンにおいては、その性能を向上させるために燃焼ガスの高温化が進められている。例えば、静翼の入口付近における燃焼ガスの温度は、1990年代には1100℃程度であったが、2000年代には1300〜1500℃程度となっている。
また、近年、従来のガスタービンに比べて高温化されたCO2タービンの開発が進められている。CO2タービンは、超臨界の二酸化炭素を媒体として利用する。CO2タービンは、燃焼による二酸化炭素を有効活用でき、また窒素酸化物の排出も抑制されることから、環境特性に優れている。
従来、ガスタービンにおける静翼には、以下のような理由によりコバルト基合金が使用されている。すなわち、ガスタービンにおける静翼は静止系部材であることから、動翼などの回転系部材に比べて必ずしも高い強度が要求されない。一方、コバルト基合金は、ニッケル基合金などと比べると強度は必ずしも高くないが、溶接性が良好であるために補修が容易であり、かつ価格も安い。このような理由から、ガスタービンにおける静翼にコバルト基合金が使用されている。
コバルト基合金は、通常、クロムを含有している。ガスタービンにおける静翼にコバルト基合金を使用した場合、このコバルト基合金に含まれるクロムが酸化されてクロム酸化物(Cr2O3)となる。このようなクロム酸化物が静翼の表面に保護被膜として形成されることにより、静翼の高温における耐酸化性が確保される。
しかし、ガスタービンにおける燃焼ガスの高温化により、静翼の表面温度が1000℃を超えることが予想されている。特に、CO2タービンは、従来のガスタービンに比べて燃焼ガスが高温化されており、静翼の表面温度が1000℃を超えることが予想されている。
クロム酸化物は、1000℃程度でCrO3となって昇華することが知られている。このため、表面温度が1000℃を超えるような静翼については、表面にクロム酸化物を形成して耐酸化性を確保する方法を採用するには課題があった。
高温における耐酸化性を向上させる方法として、アルミナイジング処理が知られている。しかし、コバルト基合金に対してアルミナイジング処理を行ったところ、1000℃を超えるような高温においてはアルミナイジング処理を行わないものに比べて耐酸化性が低下する結果となった。
本発明が解決しようとする課題は、高温における耐酸化性が向上されたコバルト基合金部材を提供することである。
実施形態のコバルト基合金部材の製造方法は、アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金を準備する工程と、前記アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して、1×10−5Pa〜1×10−3Paの真空度で熱処理を行う工程と、を有する。
実施形態のコバルト基合金部材の製造方法によれば、アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して1×10−5Pa〜1×10−3Paの真空度で熱処理を行うことにより、保護皮膜におけるアルミニウム酸化物の含有率を高くして耐酸化性を向上させることができる。
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
実施形態のコバルト基合金部材の製造方法は、アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して、1×10−5〜1×10−3Paの真空度で熱処理を行う工程(以下、熱処理工程)を有する。
実施形態のコバルト基合金部材の製造方法は、アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して、1×10−5〜1×10−3Paの真空度で熱処理を行う工程(以下、熱処理工程)を有する。
熱処理により耐酸化性が向上する理由は、以下のように考えられる。
コバルト基合金にアルミナイジング処理を施した場合、コバルト基合金からなる本体の表面にアルミナイジング層が形成される。通常、本体に比べてアルミナイジング層におけるアルミニウムの濃度が30質量%以上高くなる。このように濃度差が大きい場合、高温の酸化性雰囲気に触れたときにアルミナイジング層におけるアルミニウムが本体側に拡散しやすい。
コバルト基合金にアルミナイジング処理を施した場合、コバルト基合金からなる本体の表面にアルミナイジング層が形成される。通常、本体に比べてアルミナイジング層におけるアルミニウムの濃度が30質量%以上高くなる。このように濃度差が大きい場合、高温の酸化性雰囲気に触れたときにアルミナイジング層におけるアルミニウムが本体側に拡散しやすい。
アルミナイジング処理後に熱処理を行うと、アルミナイジング層におけるアルミニウムの濃度が低下する。なお、濃度の低下は、例えば、アルミナイジング層の厚さが増加することにより達成される。アルミナイジング層におけるアルミニウムの濃度が低下すると、高温の酸化性雰囲気に触れたときにアルミナイジング層におけるアルミニウムが表面側(本体側とは反対側)に拡散しやすくなる。これにより、アルミナイジング層の表面に形成される保護被膜におけるアルミニウム酸化物の含有率が高くなり耐酸化性が向上する。
また、熱処理時の真空度が1×10−5Pa〜1×10−3Paである場合、アルミニウム酸化物以外の金属酸化物が分解されるとともに、アルミニウム酸化物の分解が抑制される。これにより、アルミナイジング層の表面に形成される保護被膜におけるアルミニウム酸化物の含有率が高くなり耐酸化性が向上する。
以下、熱処理工程について具体的に説明する。
図1は、熱処理工程に使用されるアルミナイジング処理が行われたコバルト基合金を示す断面図である。以下、このアルミナイジング処理が行われたコバルト基合金を被処理体と記して説明する。
被処理体1は、例えば、コバルト基合金からなる本体2と、この本体2の表面に設けられ、コバルト基合金にアルミニウムが拡散することにより形成され、本体2に比べて質量でのアルミニウムの含有率が高いアルミナイジング層3とを有する。アルミナイジング層3においては、例えば、コバルト基合金の構成元素とこのコバルト基合金に拡散されたアルミニウムとが反応して金属間化合物を形成している。このような被処理体1は、コバルト基合金に対してアルミナイジング処理を行うことにより製造できる。
被処理体1の製造に使用されるコバルト基合金は、質量において他の構成元素に比べてコバルトの含有率が高いものである。コバルトの含有量は、コバルト基合金中、30質量%以上が好ましく、35質量%以上がより好ましい。また、コバルトの含有量は、コバルト基合金中、70質量%以下が好ましく、65質量%以下がより好ましい。
コバルト基合金は、クロムを含有することが好ましい。クロムの含有量は、コバルト基合金中、10質量%以上が好ましく、15質量%以上がより好ましい。また、クロムの含有量は、コバルト基合金中、40質量%以下が好ましく、35質量%以下がより好ましい。
コバルト基合金は、ニッケルおよびタングステンから選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。なお、コバルト基合金は、ニッケルおよびタングステンから選ばれる1種のみを含有してもよいし、ニッケルおよびタングステンの2種を含有してもよい。
ニッケルを含有する場合、その含有量は、コバルト基合金中、0.1質量%以上が好ましく、1質量%以上がより好ましい。ニッケルの含有量は、コバルト基合金中、30質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましい。
タングステンを含有する場合、その含有量は、コバルト基合金中、1質量%以上が好ましく、3質量%以上がより好ましい。タングステンの含有量は、コバルト基合金中、25質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましい。
コバルト基合金は、必要に応じて、かつ本発明の趣旨に反しない限度において、上記以外の元素を含有できる。このような元素として、市販のコバルト基合金に含有される種々の元素が挙げられる。例えば、タンタル、モリブデン、チタン、ホウ素、ジルコニウム、炭素、鉄、ランタンなどが挙げられる。
タンタルを含有する場合、その含有量は、コバルト基合金中、1質量%以上が好ましく、2質量%以上がより好ましい。タンタルの含有量は、コバルト基合金中、20質量%以下が好ましく、15質量%以下がより好ましい。
モリブデンを含有する場合、その含有量は、コバルト基合金中、1質量%以上が好ましく、2質量%以上がより好ましい。モリブデンの含有量は、コバルト基合金中、15質量%以下が好ましく、10質量%以下がより好ましい。
チタン、ホウ素、ジルコニウム、炭素を含有する場合、これらの含有量は、コバルト基合金中、それぞれ、1質量%以下が好ましい。また、チタン、ホウ素、ジルコニウム、および炭素の合計した含有量は、コバルト基合金中、3質量%以下が好ましく、2質量%以下がより好ましい。
鉄を含有する場合、その含有量は、コバルト基合金中、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましい。鉄の含有量は、コバルト基合金中、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましい。
ランタンを含有する場合、その含有量は、コバルト基合金中、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましい。ランタンの含有量は、コバルト基合金中、5質量%以下が好ましく、3質量%以下がより好ましい。
コバルト基合金としては、市販されているものを使用できる。このようなものとして、FSX−414、Stellite 21、Stellite 31、MarM302、MarM509、Haynes−188などが挙げられる。表1に、これらのコバルト基合金の組成を示す。
アルミナイジング処理は、コバルト基合金にアルミニウムを拡散できればよい。アルミナイジング処理として、公知の方法を採用できる。このようなものとして、パックアルミナイジング(Pack Aluminizing)、ガスアルミナイジング(Gas Aluminizing)、スプレーアルミナイジング(Spray Aluminizing)、真空アルミナイジング(Vacuum Aluminizing)、クラッディング(Cladding)、電解めっき(Electrolytic Coating)、ホットディップアルミナイジング(Hot Dip Aluminizing)などが挙げられる。
パックアルミナイジングは、例えば、容器中にアルミナイジング処理が行われるコバルト基合金を入れるとともにアルミニウムまたはアルミニウム合金の粉末を入れて加熱することにより行われる。加熱温度は、コバルト基合金にアルミニウムを拡散できればよい。通常、加熱温度は、900〜1100℃が好ましい。パックアルミナイジングは、複雑な形状のものに対しても処理を行うことができるために好ましい。
ガスアルミナイジングは、例えば、容器中にアルミナイジング処理が行われるコバルト基合金を入れるとともに、45質量%のアルミニウム(Al)、45質量%のアルミニウム酸化物(Al2O3)、および10質量%の塩化アルミニウム(AlCl3)の混合物などを入れて加熱することにより行われる。
スプレーアルミナイジングは、例えば、アルミナイジング処理が行われるコバルト基合金の表面に噴霧によりアルミニウムまたはアルミニウム合金を付着させることにより行われる。なお、スプレーアルミナイジングでは、アルミナイジング処理が行われるコバルト基合金の表面に溶射によりアルミニウムまたはアルミニウム合金を付着させてもよい。
真空アルミナイジングは、例えば、0.001〜0.1Pa程度の真空度で、アルミナイジング処理が行われるコバルト基合金の表面にアルミニウムを蒸着させることにより行われる。
クラッディングは、例えば、アルミナイジング処理が行われるコバルト基合金とアルミニウムまたはアルミニウム合金とを重ね合わせて圧延することにより行われる。
電解めっきは、例えば、塩化アルミニウムの溶融塩などからなる溶融電解質にアルミナイジング処理が行われるコバルト基合金を浸漬することにより行われる。
ホットディップアルミナイジングは、700〜800℃に加熱して溶融したアルミニウムまたはアルミニウム合金にアルミナイジング処理が行われるコバルト基合金を浸漬することにより行われる。
アルミナイジング処理は、アルミナイジング層3の厚さが10μm以上となるように行われることが好ましい。アルミナイジング層3の厚さが10μm以上になると、保護皮膜におけるアルミニウム酸化物の含有率が高くなる。アルミナイジング層3の厚さは、30μm以上がより好ましく、50μm以上がさらに好ましい。なお、アルミナイジング処理に必要とされる時間を短くする観点から、アルミナイジング層3の厚さは、200μm以下が好ましく、100μm以下がより好ましい。
熱処理工程は、上記した被処理体1、すなわちアルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して行われる。熱処理工程は、1×10−5〜1×10−3Paの真空度で行われる。
このような熱処理工程により、例えば、図2に示すようなコバルト基合金部材4が製造される。コバルト基合金部材4は、例えば、アルミナイジング層3の表面にその構成元素が酸化されることにより形成された保護皮膜5を有する。
真空度が1×10−3Pa以下である場合、保護皮膜5におけるアルミニウム酸化物以外の金属酸化物、例えば、コバルト、ニッケルなどの酸化物が分解され、アルミニウム酸化物の含有率が高くなる。真空度は、5×10−4Pa以下が好ましい。なお、上記分解は、例えば、被処理体1に吸着された水分または有機物の分解に伴って生成する一酸化炭素または水素の還元によるものと考えられる。
また、真空度が1×10−5Pa以上である場合、保護皮膜5におけるアルミニウム酸化物の分解が抑制されてアルミニウム酸化物の含有率が高くなる。真空度は、5×10−5Pa以上が好ましい。
熱処理温度は、保護皮膜5におけるアルミニウム酸化物の含有率を高くする観点から、1000℃以上が好ましく、1100℃以上がより好ましく、1200℃以上がさらに好ましい。熱処理温度は、コバルト基合金部材4の形状などを維持する観点から、コバルト基合金の融点以下が好ましい。通常、熱処理温度は、1300℃以下が好ましい。
熱処理時間は、保護皮膜5におけるアルミニウム酸化物の含有率を高くする観点から、1時間以上が好ましく、2時間以上がより好ましく、3時間以上がさらに好ましい。なお、熱処理時間が増加すると生産性が低下することから、熱処理時間は、10時間以下が好ましい。
熱処理工程では、真空度を1×10−5〜1×10−3Paに調整しながら、水素ガス、アルゴンガス、および窒素ガスから選ばれる少なくとも1種のガスを導入することが好ましい。なお、水素ガス、アルゴンガス、および窒素ガスは、1種のガスのみを導入してもよいし、2種のガスを導入してもよいし、3種のガスの全てを導入してもよい。水素ガス、アルゴンガス、および窒素ガスから選ばれる少なくとも1種を導入することにより、保護皮膜5におけるアルミニウム酸化物の含有率が高くなる。
図3は、熱処理工程に使用される熱処理装置の一実施形態を示したものである。
熱処理装置10は、例えば、処理部11、加熱部12、圧力調整部13、およびガス導入部14を有する。
熱処理装置10は、例えば、処理部11、加熱部12、圧力調整部13、およびガス導入部14を有する。
処理部11では、被処理体1の熱処理が行われる。処理部11は、内部に被処理体1が配置される処理室111を有する。処理部11は、真空加熱炉などからなる。
加熱部12は、例えば、処理室111の近傍に配置されて被処理体1を加熱する。加熱部12は、例えば、通電により温度が上昇するヒータからなる。
圧力調整部13は、例えば、第1のポンプ131および第2のポンプ132を有する。第1のポンプ131は、真空度を1×10−3Pa程度にできる粗引用ポンプであり、例えば、ロータリーポンプなどからなる。第2のポンプ132は、真空度を1×10−5Pa程度にできる本引用ポンプであり、油拡散ポンプ、ターボポンプなどからなる。
第1のポンプ131と第2のポンプ132とは、第1の配管133により接続されている。第2のポンプ132と処理部11とは、第2の配管134により接続されている。第1の配管133と処理部11とは、第3の配管135により接続されている。
第1の配管133には、第1の配管133と第3の配管135との接続部と、第2のポンプ132との間に、第1の本引弁136が設けられている。第2の配管134には、第2の本引弁137が設けられている。第3の配管135には、粗引弁138が設けられている。
ガス導入部14は、処理室111にガスを導入するための第5の配管141、および処理室111からガスを排出するための第6の配管142を有する。第5の配管141の途中には、ガス導入弁143が設けられている。第6の配管142の途中には、ガス排出弁144が設けられている。なお、ガス排出弁144は、例えば、処理室111の真空度を計測するセンサーMに接続されており、設定された真空度になるように制御が行われる。
図4は、図3に示すような熱処理装置10を使用するときの具体的な熱処理の手順を示した図である。
熱処理は、例えば、被処理体1を配置するステップ(S1)、排気ステップ(S2)、加熱ステップ(S3)、ガス導入ステップ(S4)、圧力調整ステップ(S5)の順に行われることが好ましい。
被処理体1を配置するステップ(S1)では、処理部11の処理室111に被処理体1を配置する。
排気ステップ(S2)では、処理部11の内部の空気を排気する。排気ステップ(S2)は、粗引きステップ、本引きステップの順に行うことが好ましい。
粗引きステップは、例えば、第1の本引弁136および第2の本引弁137を閉じるとともに粗引弁138を開いた後、第1のポンプ131を駆動させて行われる。粗引きステップは、例えば、真空度が1×10−3Pa程度になるまで行われる。
本引きステップは、例えば、第1の本引弁136および第2の本引弁137を開くとともに粗引弁138を閉じて、第2のポンプ132を駆動させて行われる。この際、第1のポンプ131は、駆動させたままでもよいし、停止させてもよい。本引きステップは、例えば、真空度が1×10−5Pa程度になるまで行われる。
加熱ステップ(S3)は、加熱部12に通電して被処理体1を加熱する。
ガス導入ステップ(S4)は、例えば、被処理体1の温度が所定の熱処理温度に到達したときに行われる。ガス導入ステップ(S4)は、例えば、ガス導入弁143を開くことにより行われる。
圧力調整ステップ(S5)は、例えば、ガス導入ステップ(S4)の開始直後に行われる。圧力調整ステップ(S5)は、例えば、所望の真空度となるようにガス排出弁144を開いて行われる。
次に、実施形態の製造方法により製造されるコバルト基合金部材4について説明する。
コバルト基合金部材4としては、ガスタービンにおける部品が好ましく、特にCO2タービンの部品が好ましい。このような部品の中でも、一般にコバルト基合金が使用される静翼が好ましい。
コバルト基合金部材4としては、ガスタービンにおける部品が好ましく、特にCO2タービンの部品が好ましい。このような部品の中でも、一般にコバルト基合金が使用される静翼が好ましい。
図5は、CO2タービンを有する発電システムの一実施形態を示す構成図である。
発電システム30は、天然ガス等の燃料、酸素、およびCO2を燃焼させて発生した高温の燃焼ガスによりCO2タービンを回転させて発電を行う。
発電システム30は、天然ガス等の燃料、酸素、およびCO2を燃焼させて発生した高温の燃焼ガスによりCO2タービンを回転させて発電を行う。
発電システム30は、CO2タービンを有する発電機31を有する。発電機31には、高温ガスを発生させる燃焼器32が接続されている。燃焼器32には、空気から酸素を製造して供給する酸素製造装置33が接続されている。また、燃焼器32には、天然ガス等の燃料を供給する図示しない燃料供給装置が接続されている。さらに、燃焼器32には、CO2を再生して供給する再生熱交換器34が接続されている。
燃焼器32では、燃料供給装置から供給された燃料、酸素製造装置33から供給された酸素、および再生熱交換器34から供給された二酸化炭素を混合して燃焼させ、高温の燃焼ガスを発生させる。この燃焼ガスにより発電機31を回転させて発電が行われる。発電機31から排出された二酸化炭素と蒸気とを含む燃焼ガスは、再生熱交換器34を経て冷却器35で冷却された後、湿分分離器36によって水分が分離される。その後、水分が分離された燃焼ガスは、高圧ポンプであるCO2ポンプ37によって圧縮される。大部分の二酸化炭素は再生熱交換器34を介して燃焼器32に循環されるが、一部の二酸化炭素はそのまま回収される。
発電システム30によれば、二酸化炭素を有効活用でき、かつ窒素酸化物の排出も抑制できる。例えば、高圧の二酸化炭素は、貯留することもできるし、石油採掘現場で用いられているEOR(Enhanced oil Recovery)に適用することもできる。EORとは、老朽化した油田の採掘現場において高圧の二酸化炭素を注入して、石油の採掘量を増大させる手法である。従って、発電システム30は、地球環境保護の観点からも有用である。
図6は、発電機31を構成するCO2タービン40の一実施形態を示す断面図である。
CO2タービン40は、回転系部材41として、ロータ42およびこのロータ42に設けられた動翼43を有する。また、CO2タービン40は、静止系部材44として、ケーシング45、およびこのケーシング45に支持されて動翼43に対向するように配置される静翼46を有する。
CO2タービン40は、回転系部材41として、ロータ42およびこのロータ42に設けられた動翼43を有する。また、CO2タービン40は、静止系部材44として、ケーシング45、およびこのケーシング45に支持されて動翼43に対向するように配置される静翼46を有する。
以下、実施例をさらに詳細に説明する。
(実施例1)
コバルト基合金としての商品名MarM509に対してアルミナイジング処理を行って、被処理体としての試験片を製造した。なお、アルミナイジング処理は、パックアルミナイジングにより行った。試験片は、15mm×10mm×2mmの形状であり、表面に50μmの厚さのアルミナイジング層を有する。
コバルト基合金としての商品名MarM509に対してアルミナイジング処理を行って、被処理体としての試験片を製造した。なお、アルミナイジング処理は、パックアルミナイジングにより行った。試験片は、15mm×10mm×2mmの形状であり、表面に50μmの厚さのアルミナイジング層を有する。
次に、図3に示すような熱処理装置を使用して、図4に示すような手順により試験片の熱処理を行った。すなわち、まず、試験片を処理室に配置した。その後、ロータリーポンプを使用して真空度を1×10−3Pa程度にした後、油拡散ポンプを使用して真空度を1×10−5Pa程度にした。
その後、加熱部に通電して試験片を加熱した。試験片の温度が1230℃に到達したとき、ガス導入弁を開いてアルゴンガスを導入した。アルゴンガスの導入量は20cc/hとした。また、このとき、ガス排出弁を開いて真空度を1×10−4Paに調整した。その後、この温度および真空度を6時間維持して、試験片の熱処理を行った。
(実施例2)
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに水素ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに水素ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(実施例3)
ガス導入時の真空度を3×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに窒素ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を3×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに窒素ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(実施例4)
アルゴンガスの代わりに50体積%のアルゴンガスと50体積%の水素ガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
アルゴンガスの代わりに50体積%のアルゴンガスと50体積%の水素ガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(実施例5)
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに50体積%の水素ガスと50体積%の窒素ガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに50体積%の水素ガスと50体積%の窒素ガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(実施例6)
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに50体積%の窒素ガスと50体積%のアルゴンガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに50体積%の窒素ガスと50体積%のアルゴンガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(実施例7)
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに、50体積%のアルゴンガス、25体積%の窒素ガス、および25体積%の水素ガスからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を2×10−4Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに、50体積%のアルゴンガス、25体積%の窒素ガス、および25体積%の水素ガスからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(比較例1)
ガス導入時の真空度を9×10−6Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに水素ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を9×10−6Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに水素ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
(比較例2)
ガス導入時の真空度を1×10−1Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに50体積%のアルゴンガスと50体積%の窒素ガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
ガス導入時の真空度を1×10−1Paに調整するとともに、アルゴンガスの代わりに50体積%のアルゴンガスと50体積%の窒素ガスとからなる混合ガスを導入したこと以外は実施例1と同様にして熱処理を行った。
次に、実施例および比較例の熱処理が行われた試験片について、アルミナイジング層の表面に形成された保護被膜をX線回折法(XRD)により観察した。結果を表2に示す。
なお、表2には、XRDによるアルミニウム酸化物(Al2O3)およびコバルト酸化物(CoO)の検出強度を示した。表中、「−」は検出されないことを示し、「+」は検出されたが検出強度が低いことを示し、「++」は検出強度が高いことを示し、「+++」は特に検出強度が高いことを示す。
表2に示されるように、真空度を1×10−5Pa〜1×10−3Paとして熱処理を行った実施例の試験片については、いずれも、アルミニウム酸化物の検出強度が高く、コバルト酸化物の検出強度が低くなった。すなわち、実施例の試験片については、保護被膜におけるアルミニウム酸化物の含有率が高く、1000℃を超えるような高温での使用においても耐酸化性を確保できることがわかる。
一方、真空度を1×10−5Pa未満または1×10−3Paを超えるものとして熱処理を行った比較例の試験片については、いずれも、アルミニウム酸化物が検出されたがその検出強度は低くなった。すなわち、比較例の試験片については、保護被膜におけるアルミニウム酸化物の含有率が低く、1000℃を超えるような高温での使用においては十分な耐酸化性を確保できないおそれがある。
以上、発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金(被処理体)、2…本体、3…アルミナイジング層、4…コバルト基合金部材、5…保護皮膜、10…熱処理装置、11…処理部、12…加熱部、13…圧力調整部、14…ガス導入部、30…発電システム、31…発電機、32…燃焼器、33…酸素製造装置、34…再生熱交換器、35…冷却器、36…湿分分離器、37…CO2ポンプ、40…CO2タービン、41…回転系部材、42…ロータ、43…動翼、44…静止系部材、45…ケーシング、46…静翼、111…処理室、131…第1のポンプ、132…第2のポンプ、133…第1の配管、134…第2の配管、135…第3の配管、136…第1の本引弁、137…第2の本引弁、138…粗引弁、141…第5の配管、142…第6の配管、143…ガス導入弁、144…ガス排出弁。
Claims (5)
- アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金を準備する工程と、
前記アルミナイジング処理が行われたコバルト基合金に対して、1×10−5Pa〜1×10−3Paの真空度で熱処理を行う工程と、
を有することを特徴とするコバルト基合金部材の製造方法。 - 前記熱処理中に、アルゴンガス、水素ガス、および窒素ガスから選ばれる少なくとも1種のガスを導入することを特徴とする請求項1記載のコバルト基合金部材の製造方法。
- 前記熱処理を1000℃以上の温度で行うことを特徴とする請求項1または2記載のコバルト基合金部材の製造方法。
- ガスタービンにおける静翼の製造に使用されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のコバルト基合金部材の製造方法。
- 前記ガスタービンがCO2タービンであることを特徴とする請求項4記載のコバルト基合金部材の製造方法。
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