JPWO2015104807A1

JPWO2015104807A1 - Linear motor

Info

Publication number: JPWO2015104807A1
Application number: JP2015556667A
Authority: JP
Inventors: 佳宏白川; 良永田; 真樹黒野
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2014-01-09
Filing date: 2014-01-09
Publication date: 2017-03-23
Anticipated expiration: 2034-01-09
Also published as: JP6199415B2; WO2015104807A1

Abstract

固定子９０と可動子８８とヒートシンクとを備えたシャフトモータ７８において、ヒートシンクを冷却するためのエア通路が形成されている。また、エア通路の一端部の開口を覆うフィルタ１１０と、エア通路の一端部から他端部に向かってエアを流すためのファン１１２とが、配設されている。さらに、可動子に移動によりフィルタの表面に接触する位置に、掻取ブラシ１３２が配設されている。そして、フィルタの表面に接触する掻取ブラシが、可動子の移動により、フィルタの表面の付着物１６０を掻き取る。つまり、掻取ブラシを移動させるための駆動源を設けることなく、リニアモータの可動子の移動を利用して、フィルタの付着物が、掻取ブラシによって掻き取られる。これにより、コストを増大させることなく、フィルタの清掃を自動で行うことが可能となる。In a shaft motor 78 having a stator 90, a mover 88, and a heat sink, an air passage for cooling the heat sink is formed. Further, a filter 110 that covers the opening at one end of the air passage and a fan 112 for flowing air from one end of the air passage toward the other end are disposed. Further, a scraping brush 132 is disposed at a position where it comes into contact with the surface of the filter by moving the movable element. And the scraping brush which contacts the surface of a filter scrapes off the deposit | attachment 160 on the surface of a filter by a movement of a needle | mover. In other words, the filter adhering matter is scraped off by the scraping brush by using the movement of the mover of the linear motor without providing a drive source for moving the scraping brush. As a result, the filter can be automatically cleaned without increasing the cost.

Description

本発明は、固定子と可動子とヒートシンクとを備えたリニアモータに関するものである。 The present invention relates to a linear motor including a stator, a mover, and a heat sink.

固定子と可動子とヒートシンクとを備えたリニアモータには、ヒートシンクを冷却するためのエア通路と、エア通路の一端部から他端部に向かってエアを流すための送風機とを備えたリニアモータが存在する。そのようなリニアモータでは、エア通路の一端部にフィルタが設けられており、そのフィルタによって、リニアモータ内への塵、芥等の異物の混入を防止することが可能となっている。ただし、フィルタの表面に付着した塵、芥等により、エア通路内のエアの流れが悪くなり、可動子の冷却効果が低下する虞がある。このため、フィルタへの付着物を定期的に除去することが好ましく、下記特許文献には、エアコンのフィルタを自動で清掃するための技術が記載されている。 A linear motor having a stator, a mover, and a heat sink includes a linear motor having an air passage for cooling the heat sink and a blower for flowing air from one end of the air passage toward the other end. Exists. In such a linear motor, a filter is provided at one end of the air passage, and the filter can prevent foreign matters such as dust and soot from entering the linear motor. However, dust, soot, etc. adhering to the surface of the filter may deteriorate the air flow in the air passage and reduce the cooling effect of the mover. For this reason, it is preferable to periodically remove deposits on the filter, and the following patent document describes a technique for automatically cleaning a filter of an air conditioner.

特開２００９−２６４６５８号公報JP 2009-264658 A

上記特許文献には、清掃ブラシをモータ等の駆動源により移動させ、清掃ブラシによってフィルタ清掃を自動で行う技術が記載されている。これにより、フィルタへの付着物を定期的に除去することが可能となる。ただし、上記特許文献に記載の技術では、清掃ブラシを移動させるための駆動源が必要となり、コストが増大する虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、コストを増大させることなく、フィルタの清掃を自動で行うことが可能なリニアモータを提供することである。 The above patent document describes a technique in which a cleaning brush is moved by a driving source such as a motor and filter cleaning is automatically performed by the cleaning brush. As a result, it is possible to periodically remove deposits on the filter. However, in the technique described in the above-mentioned patent document, a drive source for moving the cleaning brush is required, which may increase the cost. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a linear motor capable of automatically cleaning a filter without increasing the cost.

上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載のリニアモータは、固定子と、可動子と、前記可動子の熱を放散するためのヒートシンクとを備えたリニアモータであって、両端部が開口し、内部を流れるエアによって前記ヒートシンクを冷却するためのエア通路と、前記エア通路の一端部の開口を覆うフィルタと、前記エア通路の一端部から他端部に向かってエアを流すための送風機と、前記可動子に移動により前記フィルタの表面に接触する位置に配設される掻取部材とを備え、前記フィルタの表面に接触する前記掻取部材が、前記可動子の移動により、前記フィルタの表面への付着物を掻き取ることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a linear motor according to claim 1 of the present application is a linear motor including a stator, a mover, and a heat sink for dissipating heat of the mover. An air passage for cooling the heat sink by air flowing inside, a filter covering an opening at one end of the air passage, and flowing air from one end of the air passage toward the other end And a scraping member disposed at a position in contact with the surface of the filter by movement of the mover, and the scraping member in contact with the surface of the filter is moved by movement of the mover. And scraping off the deposits on the surface of the filter.

また、請求項２に記載のリニアモータは、請求項１に記載のリニアモータにおいて、製造作業機に用いられることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the linear motor according to the first aspect, the linear motor is used in a manufacturing work machine.

また、請求項３に記載のリニアモータは、請求項２に記載のリニアモータにおいて、前記製造作業機が、前記リニアモータを囲うカバーハウジングと、前記カバーハウジングに設けられ、前記カバーハウジング内のエアを外部に排気するための排気装置とを備え、前記リニアモータが、両端部が開口する連結パイプを備え、前記連結パイプの一端部の開口に、前記掻取部材が取り付けられ、前記連結パイプの他端部の開口が、前記排気装置と向かい合うことを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the second aspect, wherein the manufacturing work machine is provided in a cover housing that surrounds the linear motor, the cover housing, and an air in the cover housing. An exhaust device for exhausting air to the outside, wherein the linear motor includes a connecting pipe having both ends opened, and the scraping member is attached to an opening at one end of the connecting pipe, The opening at the other end is opposed to the exhaust device.

また、請求項４に記載のリニアモータは、請求項３に記載のリニアモータにおいて、前記連結パイプの一端部側の内寸が、前記連結パイプの他端部側の内寸より小さいことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the linear motor according to the third aspect, the inner dimension of one end of the connection pipe is smaller than the inner dimension of the other end of the connection pipe. And

また、請求項５に記載のリニアモータは、請求項３または請求項４に記載のリニアモータにおいて、前記連結パイプの一端部の開口に取り付けられた前記掻取部材が、前記フィルタの表面に接触するとともに、前記連結パイプの他端部の開口が、前記排気装置と向かい合う状態の前記連結パイプの配設位置と、前記連結パイプの一端部の開口に取り付けられた前記掻取部材が、前記フィルタの表面に接触せず、前記連結パイプの他端部の開口が、前記排気装置と向かい合わない状態の前記連結パイプの配設位置との間で、前記連結パイプを移動させるパイプ移動装置を備えることを特徴とする。 The linear motor according to claim 5 is the linear motor according to claim 3 or 4, wherein the scraping member attached to an opening at one end of the connection pipe contacts the surface of the filter. And the scraping member attached to the opening of the one end of the connection pipe has an opening at the other end of the connection pipe facing the exhaust device, and the scraping member attached to the opening of the one end of the connection pipe. And a pipe moving device that moves the connection pipe between the connection pipe disposed at a position where the opening of the other end of the connection pipe does not face the exhaust device. It is characterized by.

また、請求項６に記載のリニアモータは、請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のリニアモータにおいて、前記送風機の作動を制御する制御装置を備え、前記制御装置が、前記掻取部材によって前記フィルタの表面への付着物が掻き取られている際に、前記送風機の作動を停止することを特徴とする。 A linear motor according to a sixth aspect of the present invention is the linear motor according to any one of the first to fifth aspects, further comprising a control device that controls the operation of the blower, wherein the control device includes the scratching device. When the deposit on the surface of the filter is scraped off by the collecting member, the operation of the blower is stopped.

請求項１に記載のリニアモータでは、掻取部材が、可動子の移動によりフィルタの表面に接触する位置に配設されている。そして、フィルタの表面に接触する掻取部材が、可動子の移動によって、フィルタの表面に付着する付着物を掻き取る。つまり、掻取部材を移動させるための駆動源を設けることなく、リニアモータの可動子の移動を利用して、フィルタの付着物が、掻取部材によって掻き取られる。これにより、コストを増大させることなく、フィルタの清掃を自動で行うことが可能となる。 In the linear motor according to the first aspect, the scraping member is disposed at a position in contact with the surface of the filter by the movement of the mover. And the scraping member which contacts the surface of a filter scrapes off the deposit | attachment adhering to the surface of a filter by a movement of a needle | mover. That is, the filter adhering material is scraped off by the scraping member by using the movement of the mover of the linear motor without providing a drive source for moving the scraping member. As a result, the filter can be automatically cleaned without increasing the cost.

また、請求項２に記載のリニアモータは、製造作業機に用いられている。製造作業機に用いられるリニアモータでは、精度の高い位置制御が望まれており、可動子を適切に冷却し、リニアモータの適切な作動を担保する必要がある。このため、本項に記載のリニアモータでは、フィルタを自動で清掃する効果を充分に発揮することが可能となる。 Moreover, the linear motor of Claim 2 is used for the manufacturing machine. In a linear motor used in a manufacturing work machine, highly accurate position control is desired, and it is necessary to appropriately cool the mover to ensure proper operation of the linear motor. For this reason, the linear motor described in this section can sufficiently exhibit the effect of automatically cleaning the filter.

また、請求項３に記載のリニアモータでは、製造作業機が、リニアモータを囲うカバーハウジングと、カバーハウジング内のエアを外部に排気するための排気装置とを備えている。そして、掻取部材が、連結パイプの一端部の開口に取り付けられ、その連結パイプの他端部の開口が、排気装置と向かい合う。このため、掻取部材によって掻き取られた付着物は、連結パイプ内に吸引され、さらに、排気装置を介して、製造作業機のカバーハウジング外に排出される。これにより、付着物を製造作業機のカバーハウジングの外部に排出するための駆動源も、既存の設備を利用することが可能となり、更なるコスト削減を図ることが可能となる。 According to a third aspect of the present invention, the manufacturing machine includes a cover housing that surrounds the linear motor, and an exhaust device that exhausts the air in the cover housing to the outside. A scraping member is attached to the opening at one end of the connection pipe, and the opening at the other end of the connection pipe faces the exhaust device. For this reason, the deposits scraped off by the scraping member are sucked into the connecting pipe, and are further discharged out of the cover housing of the manufacturing machine via the exhaust device. As a result, the drive source for discharging the deposits to the outside of the cover housing of the manufacturing machine can use the existing equipment, and can further reduce the cost.

また、請求項４に記載のリニアモータでは、連結パイプの一端部側の内寸が、連結パイプの他端部側の内寸より小さい。このため、連結パイプの掻取部材が取り付けられた端部付近のエアの流れる速度は、排気装置と向かい合う掻取部材の端部付近のエアの流れる速度より、速くなる。これにより、掻取部材によって掻き取られた付着物を効果的に吸引することが可能となる。 In the linear motor according to the fourth aspect, the inner dimension on the one end portion side of the connecting pipe is smaller than the inner dimension on the other end side of the connecting pipe. For this reason, the speed of the air flowing near the end where the scraping member of the connecting pipe is attached is faster than the speed of the air flowing near the end of the scraping member facing the exhaust device. Thereby, it is possible to effectively suck the deposits scraped off by the scraping member.

また、請求項５に記載のリニアモータでは、連結パイプを移動させるパイプ移動装置が配設されている。そして、掻取部材がフィルタの表面に接触するとともに、連結パイプの他端部の開口が、排気装置と向かい合う状態の連結パイプの配設位置と、掻取部材がフィルタの表面に接触せず、連結パイプの他端部の開口が、排気装置と向かい合わない状態の連結パイプの配設位置との間で、連結パイプが、パイプ移動装置によって移動させられる。これにより、フィルタ清掃が行われないときに、リニアモータの可動範囲から連結パイプを離しておくことが可能となり、通常時のリニアモータの作動を担保することが可能となる。 In the linear motor according to claim 5, a pipe moving device for moving the connecting pipe is provided. Then, the scraping member contacts the surface of the filter, the opening of the other end of the connection pipe faces the exhaust device, and the scraping member does not contact the surface of the filter. The connection pipe is moved by the pipe moving device between the opening of the other end of the connection pipe and the position where the connection pipe is disposed so as not to face the exhaust device. Thereby, when filter cleaning is not performed, it becomes possible to keep a connection pipe away from the movable range of a linear motor, and it becomes possible to ensure the operation | movement of a linear motor at the normal time.

また、請求項６に記載のリニアモータでは、フィルタ清掃時に、送風機が停止する。このため、フィルタ清掃時に、フィルタからエア通路内へのエアの吸い込みが停止する。これにより、フィルタの付着物は、フィルタ側に吸引されず、掻取部材による付着物の掻き取りを適切に行うことが可能となる。 In the linear motor according to claim 6, the blower stops when the filter is cleaned. For this reason, the suction of air from the filter into the air passage is stopped when the filter is cleaned. Thereby, the adhering matter on the filter is not sucked to the filter side, and the adhering matter can be appropriately scraped off by the scraping member.

本発明の実施例である電子部品装着装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electronic component mounting apparatus which is an Example of this invention. 図１の電子部品装着装置が備える移動装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the moving apparatus with which the electronic component mounting apparatus of FIG. 1 is provided. 図２の移動装置が備えるシャフトモータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shaft motor with which the moving apparatus of FIG. 2 is provided. カバーハウジングが閉じられた状態の電子部品装着装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electronic component mounting apparatus of the state in which the cover housing was closed. フィルタ清掃が行われる前のシャフトモータとダクトとを模式的に示す図であるIt is a figure which shows typically the shaft motor and duct before filter cleaning is performed. シャフトモータと下降した状態のダクトとを模式的に示す図であるIt is a figure which shows typically a shaft motor and the duct of the descended state 装着機が備える制御装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control apparatus with which a mounting machine is provided. フィルタ清掃が行われている際のシャフトモータとダクトとを模式的に示す図であるIt is a figure which shows typically the shaft motor and duct at the time of filter cleaning being performed. フィルタ清掃が行われた後のシャフトモータとダクトとを模式的に示す図であるIt is a figure which shows typically the shaft motor and duct after filter cleaning was performed.

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as modes for carrying out the present invention.

＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に並んで配設された２つの装着機１６とを有している。なお、以下の説明では、装着機１６の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。<Configuration of electronic component mounting device>
FIG. 1 shows an electronic component mounting apparatus 10. The electronic component mounting apparatus 10 has one system base 12 and two mounting machines 16 arranged side by side on the system base 12. In the following description, the direction in which the mounting machines 16 are arranged is referred to as the X-axis direction, and the horizontal direction perpendicular to the direction is referred to as the Y-axis direction.

各装着機１６は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、供給装置２４、装着ヘッド２６、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２８を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３０と、そのフレーム部３０に上架されたビーム部３２とによって構成されている。 Each mounting machine 16 mainly includes a mounting machine main body 20, a transport device 22, a supply device 24, a mounting head 26, and a mounting head moving device (hereinafter may be abbreviated as “moving device”) 28. The mounting machine main body 20 includes a frame portion 30 and a beam portion 32 that is overlaid on the frame portion 30.

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３０に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図７参照）４６によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図７参照）４８によって固定的に保持される。 The transport device 22 includes two conveyor devices 40 and 42. The two conveyor devices 40 and 42 are disposed in the frame portion 30 so as to be parallel to each other and extend in the X-axis direction. Each of the two conveyor devices 40 and 42 conveys a circuit board supported by the conveyor devices 40 and 42 in the X-axis direction by an electromagnetic motor (see FIG. 7) 46. The circuit board is fixedly held by a board holding device (see FIG. 7) 48 at a predetermined position.

供給装置２４は、フィーダ型の供給装置であり、フレーム部３０の前方側の端部に配設されている。供給装置２４は、テープフィーダ５０を有している。テープフィーダ５０は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ５０は、送出装置（図７参照）５２によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２４は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。なお、テープフィーダ５０は、フレーム部３０に着脱可能であり、電子部品の交換等に対応することが可能である。 The supply device 24 is a feeder-type supply device, and is disposed at an end portion on the front side of the frame portion 30. The supply device 24 has a tape feeder 50. The tape feeder 50 accommodates the taped component in a wound state. The taped component is a taped electronic component. Then, the tape feeder 50 sends out the taped parts by a sending device (see FIG. 7) 52. Thereby, the feeder type supply device 24 supplies the electronic component at the supply position by feeding the taped component. The tape feeder 50 can be attached to and detached from the frame unit 30 and can cope with replacement of electronic components.

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図７参照）６２に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図７参照）６４を有している。そのノズル昇降装置６４によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。なお、吸着ノズル６０は、装着ヘッド２６に着脱可能であり、電子部品のサイズ等に応じて交換することが可能である。 The mounting head 26 mounts electronic components on the circuit board. A suction nozzle 60 is provided on the lower end surface of the mounting head 26. The suction nozzle 60 communicates with a positive / negative pressure supply device (see FIG. 7) 62 via negative pressure air and positive pressure air passages. The suction nozzle 60 sucks and holds the electronic component with a negative pressure, and detaches the held electronic component with a positive pressure. Further, the mounting head 26 has a nozzle lifting device (see FIG. 7) 64 that lifts and lowers the suction nozzle 60. The mounting head 26 changes the vertical position of the electronic component to be held by the nozzle lifting device 64. The suction nozzle 60 can be attached to and detached from the mounting head 26 and can be replaced according to the size of the electronic component.

移動装置２８は、図２に示すように、Ｙ軸方向スライド機構７０とＸ軸方向スライド機構７２とを備えている。Ｙ軸方向スライド機構７０は、Ｙ軸方向に移動可能にビーム部３２に保持されたＹ軸スライダ７６を有している。そのＹ軸スライダ７６は、シャフトモータ７８の駆動により、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｘ軸方向スライド機構７２は、Ｘ軸方向に移動可能にＹ軸スライダ７６の側面に設けられたＸ軸スライダ８０を有している。そのＸ軸スライダ８０は、電磁モータ（図７参照）８２の駆動により、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。Ｘ軸スライダ８０には、装着ヘッド２６が取り付けられている。このような構造により、装着ヘッド２６は、移動装置２８によってフレーム部３０上の任意の位置に移動する。 As shown in FIG. 2, the moving device 28 includes a Y-axis direction slide mechanism 70 and an X-axis direction slide mechanism 72. The Y-axis direction slide mechanism 70 has a Y-axis slider 76 held by the beam unit 32 so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis slider 76 is moved to an arbitrary position in the Y-axis direction by driving the shaft motor 78. The X-axis direction slide mechanism 72 has an X-axis slider 80 provided on the side surface of the Y-axis slider 76 so as to be movable in the X-axis direction. The X-axis slider 80 is moved to an arbitrary position in the X-axis direction by driving of an electromagnetic motor (see FIG. 7) 82. The mounting head 26 is attached to the X-axis slider 80. With such a structure, the mounting head 26 is moved to an arbitrary position on the frame unit 30 by the moving device 28.

移動装置２８のシャフトモータ７８は、円筒状のリニアモータであり、図３に示すように、円筒状の複数のコイル８６を有する可動子８８と、コイル８６の内部を貫通するシャフト状の固定子９０とを備えている。シャフト状の固定子９０は、図２に示すように、Ｙ軸方向に延びるように、ビーム部３２に配設されている。 The shaft motor 78 of the moving device 28 is a cylindrical linear motor, and as shown in FIG. 3, a mover 88 having a plurality of cylindrical coils 86 and a shaft-shaped stator that penetrates the inside of the coils 86. 90. As shown in FIG. 2, the shaft-shaped stator 90 is disposed in the beam portion 32 so as to extend in the Y-axis direction.

固定子９０は、図３に示すように、円筒状のパイプ９６と、そのパイプ９６内に配設された複数の永久磁石９８とによって構成されている。複数の永久磁石９８の各々は、概して円柱状とされており、一端部側がＮ極とされ、他端部側がＳ極とされている。それら複数の永久磁石９８は、１軸線上に延びるように配設されており、隣り合う２つの永久磁石９８の向かい合う端部は、互いに同じ磁極とされている。そして、隣り合う２つの永久磁石９８の間には、非磁性材製のスペーサ（図示省略）が設けられている。一方、パイプ９６は、１軸線上に延びるように配設された複数の永久磁石９８を覆うように設けられており、非磁性材料によって形成されている。 As shown in FIG. 3, the stator 90 includes a cylindrical pipe 96 and a plurality of permanent magnets 98 disposed in the pipe 96. Each of the plurality of permanent magnets 98 is generally cylindrical, and one end side is an N pole and the other end side is an S pole. The plurality of permanent magnets 98 are arranged so as to extend on one axis, and opposite end portions of two adjacent permanent magnets 98 have the same magnetic pole. A spacer (not shown) made of a nonmagnetic material is provided between two adjacent permanent magnets 98. On the other hand, the pipe 96 is provided so as to cover a plurality of permanent magnets 98 disposed so as to extend on one axis, and is formed of a nonmagnetic material.

可動子８８の複数のコイル８６の各々は、線材が巻回されて円筒状とされており、線材同士の隙間に樹脂が充填されている。複数のコイル８６は、同心状に等間隔で設けられており、隣り合う２つのコイル８６の間には、非磁性材製の円環状のスペーサ（図示省略）が設けられている。そして、複数のコイル８６およびスペーサが、シャフト状の固定子９０の外周面にクリアランスのある状態で嵌合されている。これにより、可動子８８は、固定子９０の軸方向、つまり、Ｙ軸方向に移動可能とされている。 Each of the plurality of coils 86 of the mover 88 is formed into a cylindrical shape by winding a wire, and a gap between the wires is filled with resin. The plurality of coils 86 are concentrically provided at equal intervals, and an annular spacer (not shown) made of a nonmagnetic material is provided between two adjacent coils 86. A plurality of coils 86 and spacers are fitted to the outer peripheral surface of the shaft-shaped stator 90 with a clearance. Accordingly, the mover 88 is movable in the axial direction of the stator 90, that is, in the Y-axis direction.

また、可動子８８の外周面には、フィン１００が設けられている。フィン１００は、熱伝導率が高く、単位質量当たりの放熱特性の優れた金属材料製の薄い板材で成形されている。 In addition, fins 100 are provided on the outer peripheral surface of the mover 88. The fin 100 is formed of a thin plate made of a metal material having high thermal conductivity and excellent heat dissipation characteristics per unit mass.

また、可動子８８および、フィン１００は、概して円環状のモータハウジング１０２内に収容されており、そのモータハウジング１０２に、Ｙ軸スライダ７６が固定されている。そのモータハウジング１０２の軸方向の一端部側の側面には、フィン１００に対向するように、開口１０６が形成されており、その開口１０６は、フィルタ１１０によって覆われている。また、モータハウジング１０２の他端部側の端面にも、フィン１００に対向するように、開口１０８が形成されており、その開口１０８には、ファン１１２が配設されている。そのファン１１２は、モータハウジング１０２の内部から外部に向かって送風する。これにより、モータハウジング１０２の内部を開口１０６から開口１０８に向かって、エアが通り抜ける。つまり、凹凸状に屈曲されたフィン１００の隙間に形成されたエア通路１１８内を、ファン１１２の作動により、エアが流れ、フィン１００が冷却される。なお、フィルタ１１０により、モータハウジング１０２内への埃、塵等の異物の混入が防止される。 The mover 88 and the fin 100 are housed in a generally annular motor housing 102, and a Y-axis slider 76 is fixed to the motor housing 102. An opening 106 is formed on the side surface of the motor housing 102 on the one end side in the axial direction so as to face the fin 100, and the opening 106 is covered with a filter 110. An opening 108 is also formed on the end surface of the motor housing 102 on the other end side so as to face the fin 100, and a fan 112 is disposed in the opening 108. The fan 112 blows air from the inside of the motor housing 102 toward the outside. As a result, air passes through the interior of the motor housing 102 from the opening 106 toward the opening 108. That is, air flows in the air passage 118 formed in the gap between the fins 100 bent in an uneven shape by the operation of the fan 112, and the fins 100 are cooled. The filter 110 prevents foreign matter such as dust and dirt from entering the motor housing 102.

上述した構成によって、シャフトモータ７８では、永久磁石９８によって発生させられる磁束がコイル８６内を流れる。そのコイル８６に駆動電流が供給されることで、コイル８６内を流れる磁束とコイル８６に供給される電流との相互作用により、軸方向の移動推力が発生する。そして、この推力によって、可動子８８が固定子９０の軸線に沿って移動する。これにより、Ｙ軸スライダ７６が、Ｙ軸方向に移動する。なお、コイル８６への駆動電流の供給により、コイル８６が発熱するが、その熱は、可動子８８の外周面に設けられたフィン１００に伝達する。そして、フィン１００に伝達した熱は、エア通路１１８を流れるエアによって冷却される。 With the configuration described above, in the shaft motor 78, the magnetic flux generated by the permanent magnet 98 flows in the coil 86. When a drive current is supplied to the coil 86, an axial movement thrust is generated by the interaction between the magnetic flux flowing in the coil 86 and the current supplied to the coil 86. Then, due to this thrust, the mover 88 moves along the axis of the stator 90. Thereby, the Y-axis slider 76 moves in the Y-axis direction. The coil 86 generates heat by supplying the drive current to the coil 86, but the heat is transmitted to the fin 100 provided on the outer peripheral surface of the mover 88. The heat transmitted to the fin 100 is cooled by the air flowing through the air passage 118.

また、装着機１６の上部は、図４に示すように、カバーハウジング１２０によって覆われており、カバーハウジング１２０内に、搬送装置２２，装着ヘッド２６，移動装置２８等が収容されている。これにより、装着機１６内への、埃，塵等の異物の混入が防止される。なお、図１では、カバーハウジング１２０内に配設された搬送装置２２等の説明のため、カバーハウジング１２０の一部を取り除いた状態の装着機１６が図示されている。 As shown in FIG. 4, the upper portion of the mounting machine 16 is covered with a cover housing 120, and the transport device 22, the mounting head 26, the moving device 28, etc. are accommodated in the cover housing 120. This prevents foreign matter such as dust and dirt from entering the mounting machine 16. In FIG. 1, the mounting machine 16 in a state in which a part of the cover housing 120 is removed is illustrated for explaining the conveying device 22 and the like disposed in the cover housing 120.

そのカバーハウジング１２０の側面には、図５に示すように、排気ファン１２２が配設されている。この排気ファン１２２は、カバーハウジング１２０の内部から外部に向かって送風する。これにより、カバーハウジング１２０内の埃，塵等の異物が、カバーハウジング１２０内から外部に排出される。また、カバーハウジング１２０の内部には、ダクト１２６が配設されており、そのダクト１２６が、排気ファン１２２と向かい合う位置と、排気ファン１２２からズレた位置との間で移動する。 An exhaust fan 122 is disposed on the side surface of the cover housing 120 as shown in FIG. The exhaust fan 122 blows air from the inside of the cover housing 120 toward the outside. Thereby, foreign matters such as dust and dust in the cover housing 120 are discharged from the cover housing 120 to the outside. A duct 126 is disposed inside the cover housing 120, and the duct 126 moves between a position facing the exhaust fan 122 and a position displaced from the exhaust fan 122.

詳しくは、ダクト１２６は、漏斗形状をしており、円錐部１２８と管部１３０とによって構成されている。円錐部１２８は、ダクト１２６の内寸が先端側の開口に向かって漸増している。一方、管部１３０は、円錐部１２８の基端側の開口から連続しており、ダクト１２６の内寸は、管部１３０の全域に渡って、一定である。また、管部１３０は、円錐部１２８に連続する端部と反対側の端部において、直角に屈曲されている。なお、管部１３０の屈曲された端部には、掻取ブラシ１３２が取り付けられている。 Specifically, the duct 126 has a funnel shape and includes a conical part 128 and a pipe part 130. In the conical portion 128, the inner dimension of the duct 126 gradually increases toward the opening on the distal end side. On the other hand, the pipe part 130 is continuous from the opening on the proximal end side of the conical part 128, and the inner dimension of the duct 126 is constant over the entire area of the pipe part 130. Further, the tube portion 130 is bent at a right angle at an end portion opposite to the end portion continuous with the conical portion 128. A scraping brush 132 is attached to the bent end of the tube portion 130.

また、カバーハウジング１２０の天井には、ダクト昇降装置１３４が固定されており、そのダクト昇降装置１３４によって、ダクト１２６が、管部１３０において保持されている。なお、管部１３０の円錐部１２８に連続する端部が、水平となり、管部１３０の屈曲された端部が、下方を向く状態で、ダクト１２６は、ダクト昇降装置１３４によって保持されている。 In addition, a duct lifting device 134 is fixed to the ceiling of the cover housing 120, and the duct 126 is held in the pipe portion 130 by the duct lifting device 134. Note that the duct 126 is held by the duct lifting device 134 in a state where the end portion continuous to the conical portion 128 of the tube portion 130 is horizontal and the bent end portion of the tube portion 130 faces downward.

そのダクト昇降装置１３４は、伸縮可能な構造をしており、ダクト昇降装置１３４が収縮した状態で、ダクト１２６は、上昇し、ダクト昇降装置１３４が伸長した状態で、ダクト１２６は、下降する。ダクト昇降装置１３４の伸長により、ダクト１２６が下降すると、図６に示すように、ダクト１２６の円錐部１２８の開口が、排気ファン１２２と向かい合う。一方、ダクト昇降装置１３４の収縮により、ダクト１２６が上昇すると、図５に示すように、ダクト１２６の円錐部１２８の開口は、排気ファン１２２からズレる。 The duct lifting / lowering device 134 has an expandable / contractible structure. The duct 126 rises in a state in which the duct lifting / lowering device 134 contracts, and the duct 126 falls in a state in which the duct lifting / lowering device 134 extends. When the duct 126 descends due to the extension of the duct lifting device 134, the opening of the conical portion 128 of the duct 126 faces the exhaust fan 122 as shown in FIG. 6. On the other hand, when the duct 126 rises due to the contraction of the duct lifting / lowering device 134, the opening of the conical portion 128 of the duct 126 is displaced from the exhaust fan 122 as shown in FIG.

また、ダクト１２６の下方には、シャフトモータ７８の固定子９０が配設されている。このため、シャフトモータ７８の可動子８８、つまり、モータハウジング１０２が、固定子９０に沿って移動することで、ダクト１２６の下方に移動する。モータハウジング１０２がダクト１２６の下方に位置しているときに、ダクト１２６が、ダクト昇降装置１３４によって下降すると、図６に示すように、管部１３０の屈曲された端部、つまり、掻取ブラシ１３２が、フィルタ１１０の表面に接触する。 A stator 90 of the shaft motor 78 is disposed below the duct 126. For this reason, the mover 88 of the shaft motor 78, that is, the motor housing 102 moves along the stator 90 and moves below the duct 126. When the motor housing 102 is positioned below the duct 126 and the duct 126 is lowered by the duct lifting and lowering device 134, as shown in FIG. 6, the bent end portion of the pipe portion 130, that is, the scraping brush. 132 contacts the surface of the filter 110.

装着機１６は、さらに、図７に示すように、制御装置１５０を備えている。制御装置１５０は、コントローラ１５２と複数の駆動回路１５６とを有している。コントローラ１５２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１５６に接続されている。それら複数の駆動回路１５６は、上記電磁モータ４６，８２、基板保持装置４８、送出装置５２、正負圧供給装置６２、ノズル昇降装置６４、シャフトモータ７８、ファン１１２、排気ファン１２２、ダクト昇降装置１３４に接続されている。これにより、搬送装置２２、移動装置２８等の作動が、コントローラ１５２によって制御される。 The mounting machine 16 further includes a control device 150 as shown in FIG. The control device 150 includes a controller 152 and a plurality of drive circuits 156. The controller 152 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 156. The plurality of drive circuits 156 include the electromagnetic motors 46 and 82, the substrate holding device 48, the delivery device 52, the positive / negative pressure supply device 62, the nozzle lifting and lowering device 64, the shaft motor 78, the fan 112, the exhaust fan 122, and the duct lifting and lowering device 134. It is connected to the. Thereby, the operation of the transport device 22, the moving device 28, etc. is controlled by the controller 152.

さらに、コントローラ１５２には、位置検出センサ１５８が接続されている。位置検出センサ１５８は、シャフトモータ７８の移動位置、つまり、シャフトモータ７８のモータハウジング１０２の位置を検出するためのセンサであり、モータハウジング１０２が所定の位置、具体的には、モータハウジング１０２に取り付けられたフィルタ１１０と、ダクト１２６の管部１３０に取り付けられた掻取ブラシ１３２とが、対向する位置（図５に示されたモータハウジング１０２の位置）に移動した際に、位置検出センサ１５８によって、モータハウジング１０２が検出される。 Further, a position detection sensor 158 is connected to the controller 152. The position detection sensor 158 is a sensor for detecting the moving position of the shaft motor 78, that is, the position of the motor housing 102 of the shaft motor 78. The position of the motor housing 102 is determined at a predetermined position, specifically, the motor housing 102. When the attached filter 110 and the scraping brush 132 attached to the pipe portion 130 of the duct 126 are moved to an opposing position (position of the motor housing 102 shown in FIG. 5), the position detection sensor 158 is used. Thus, the motor housing 102 is detected.

＜掻取ブラシによるフィルタの清掃＞
上述したように、装着機１６では、装着ヘッド２６を移動させる移動装置２８にシャフトモータ７８が採用されており、シャフトモータ７８には、コイル８６の熱を放熱するべく、エア通路１１８が形成されている。これにより、コイル８６の過熱が防止され、移動装置２８の適切な作動が担保されている。ただし、エア通路１１８へのエアの供給が適切に行われず、コイル８６の熱を適切に放熱できない場合には、移動装置２８の適切な作動を担保できない虞がある。具体的には、例えば、エア通路１１８内への塵芥の侵入を防止するフィルタ１１０に、目詰まり等が生じると、エア通路１１８に適切にエアを供給できず、コイル８６の過熱により、移動装置２８の適切な作動を担保できない虞がある。このため、装着機１６では、フィルタ１１０の清掃が自動で行われる。<Cleaning the filter with a scraping brush>
As described above, in the mounting machine 16, the shaft motor 78 is employed in the moving device 28 that moves the mounting head 26, and an air passage 118 is formed in the shaft motor 78 in order to dissipate the heat of the coil 86. ing. Thereby, overheating of the coil 86 is prevented and proper operation of the moving device 28 is ensured. However, if the air supply to the air passage 118 is not properly performed and the heat of the coil 86 cannot be properly radiated, there is a possibility that the proper operation of the moving device 28 cannot be secured. Specifically, for example, when clogging or the like occurs in the filter 110 that prevents intrusion of dust into the air passage 118, air cannot be supplied appropriately to the air passage 118, and the moving device is caused by overheating of the coil 86. There is a possibility that the proper operation of 28 cannot be secured. For this reason, in the mounting machine 16, the filter 110 is automatically cleaned.

具体的には、まず、コントローラ１５２の指令により、シャフトモータ７８が作動し、シャフトモータ７８のモータハウジング１０２が、カバーハウジング１２０の壁面に近づく方向に移動する。この際、位置検出センサ１５８により、モータハウジング１０２が検出されると、シャフトモータ７８が停止する。これにより、シャフトモータ７８のモータハウジング１０２は、図５に示すように、ダクト１２６の下方に位置する。 Specifically, first, the shaft motor 78 is actuated by a command from the controller 152, and the motor housing 102 of the shaft motor 78 moves in a direction approaching the wall surface of the cover housing 120. At this time, when the motor housing 102 is detected by the position detection sensor 158, the shaft motor 78 is stopped. As a result, the motor housing 102 of the shaft motor 78 is positioned below the duct 126 as shown in FIG.

次に、コントローラ１５２の指令により、ダクト昇降装置１３４が作動し、ダクト１２６が下降する。これにより、ダクト１２６の管部１３０に取り付けられた掻取ブラシ１３２が、図６に示すように、フィルタ１１０の表面に接触する。また、ダクト１２６が下降すると、ダクト１２６の円錐部１２８の開口は、排気ファン１２２と向かい合う。なお、排気ファン１２２は、常時、作動している。このため、排気ファン１２２と向かい合うダクト１２６の円錐部１２８の開口から、排気ファン１２２に向かって、エアが流れる。つまり、ダクト１２６の管部１３０の開口からエアが吸い込まれ、ダクト１２６および、排気ファン１２２を介して、カバーハウジング１２０の外部に排出される。 Next, in response to a command from the controller 152, the duct lifting / lowering device 134 is operated, and the duct 126 is lowered. Thereby, the scraping brush 132 attached to the pipe part 130 of the duct 126 contacts the surface of the filter 110 as shown in FIG. Further, when the duct 126 is lowered, the opening of the conical portion 128 of the duct 126 faces the exhaust fan 122. The exhaust fan 122 is always operating. Therefore, air flows from the opening of the conical portion 128 of the duct 126 facing the exhaust fan 122 toward the exhaust fan 122. That is, air is sucked from the opening of the pipe portion 130 of the duct 126 and is discharged to the outside of the cover housing 120 via the duct 126 and the exhaust fan 122.

ダクト１２６が下降すると、コントローラ１５２の指令により、ファン１１２が停止する。これにより、エア通路１１８内のエアの流れが停止する。つまり、フィルタ１１０からモータハウジング１０２内へのエアの吸い込みが停止する。続いて、コントローラ１５２の指令により、シャフトモータ７８が作動し、シャフトモータ７８のモータハウジング１０２が、カバーハウジング１２０の壁面から離れる方向に移動することにより、フィルタ１１０の表面に掻取ブラシ１３２が接触した状態で、フィルタ１１０が移動する。 When the duct 126 is lowered, the fan 112 is stopped by a command from the controller 152. Thereby, the flow of air in the air passage 118 stops. That is, the suction of air from the filter 110 into the motor housing 102 is stopped. Subsequently, the shaft motor 78 is actuated by a command from the controller 152, and the scraper brush 132 contacts the surface of the filter 110 when the motor housing 102 of the shaft motor 78 moves away from the wall surface of the cover housing 120. In this state, the filter 110 moves.

これにより、図８に示すように、フィルタ１１０の表面に付着している塵芥等の付着物１６０が、掻取ブラシ１３２によって掻き取られる。この際、ファン１１２は停止しているため、付着物１６０はフィルタ１１０側に吸引されず、掻取ブラシ１３２によって適切に掻き取られる。また、掻取ブラシ１３２によって掻き取られた付着物１６０は、排気ファン１２２によって、ダクト１２６の管部１３０の開口から吸引され、ダクト１２６および、排気ファン１２２を介して、カバーハウジング１２０の外部に排出される。そして、掻取ブラシ１３２がフィルタ１１０の端部まで移動し、フィルタ１１０の全面が清掃されると、コントローラ１５２の指令により、ダクト昇降装置１３４が作動し、図９に示すように、ダクト１２６が上昇する。これにより、フィルタ１１０の清掃が完了する。なお、フィルタ１１０の清掃が完了すると、コントローラ１５２の指令により、ファン１１２が作動し、フィン１００の冷却が再開する。 As a result, as shown in FIG. 8, the deposit 160 such as dust adhering to the surface of the filter 110 is scraped off by the scraping brush 132. At this time, since the fan 112 is stopped, the adhering matter 160 is not sucked to the filter 110 side and is appropriately scraped by the scraping brush 132. In addition, the deposit 160 scraped off by the scraping brush 132 is sucked from the opening of the pipe portion 130 of the duct 126 by the exhaust fan 122, and outside the cover housing 120 via the duct 126 and the exhaust fan 122. Discharged. When the scraping brush 132 moves to the end of the filter 110 and the entire surface of the filter 110 is cleaned, the duct lifting / lowering device 134 is actuated by a command from the controller 152, and as shown in FIG. To rise. Thereby, cleaning of the filter 110 is completed. Note that when the cleaning of the filter 110 is completed, the fan 112 is actuated by the command of the controller 152, and the cooling of the fins 100 is resumed.

装着機１６では、上述したように、モータハウジング１０２の動きを利用して、フィルタ１１０の清掃が行われている。これにより、新たな駆動源等を配設することなく、フィルタ１１０を清掃することが可能となり、コストの削減を図ることが可能となる。また、掻取ブラシ１３２によって掻き取られた付着物１６０は、排気ファン１２２を利用して、カバーハウジング１２０の外部に排出される。つまり、付着物１６０をカバーハウジング１２０の外部に排出するための駆動源も、既存の設備が利用されており、更なるコスト削減を図ることが可能となる。 In the mounting machine 16, as described above, the filter 110 is cleaned using the movement of the motor housing 102. As a result, the filter 110 can be cleaned without providing a new drive source or the like, and the cost can be reduced. Further, the deposit 160 scraped off by the scraping brush 132 is discharged to the outside of the cover housing 120 using the exhaust fan 122. In other words, the existing equipment is also used as the drive source for discharging the deposit 160 to the outside of the cover housing 120, and further cost reduction can be achieved.

また、掻取ブラシ１３２によって掻き取られた付着物１６０は、ダクト１２６を介して、カバーハウジング１２０の外部に排出されるが、ダクト１２６の形状によって、付着物１６０の吸引効果が高くされている。詳しくは、ダクト１２６は、漏斗形状をしており、掻取ブラシ１３２が取り付けられた端部の内寸は、ダクト１２６の円錐部１２８の開口の内寸より小さくされている。このため、ダクト１２６の掻取ブラシ１３２が取り付けられた端部付近のエアの流れる速度は、ダクト１２６の円錐部１２８の開口付近のエアの流れる速度より、速くなる。これにより、掻取ブラシ１３２によって掻き取られた付着物１６０を効果的に吸引することが可能となる。 Further, the deposit 160 scraped off by the scraping brush 132 is discharged to the outside of the cover housing 120 through the duct 126, but the suction effect of the deposit 160 is enhanced by the shape of the duct 126. . Specifically, the duct 126 has a funnel shape, and the inner size of the end portion to which the scraping brush 132 is attached is smaller than the inner size of the opening of the conical portion 128 of the duct 126. For this reason, the velocity of air flowing near the end of the duct 126 to which the scraping brush 132 is attached is higher than the velocity of air flowing near the opening of the conical portion 128 of the duct 126. As a result, the deposit 160 scraped by the scraping brush 132 can be effectively sucked.

ちなみに、上記実施例において、装着機１６は、製造作業機の一例である。シャフトモータ７８は、リニアモータの一例である。可動子８８は、可動子の一例である。固定子９０は、固定子の一例である。フィン１００は、ヒートシンクの一例である。フィルタ１１０は、フィルタの一例である。ファン１１２は、送風機の一例である。エア通路１１８は、エア通路の一例である。カバーハウジング１２０は、カバーハウジングの一例である。排気ファン１２２は、排気装置の一例である。ダクト１２６は、連結パイプの一例である。掻取ブラシ１３２は、掻取部材の一例である。ダクト昇降装置１３４は、パイプ移動装置の一例である。制御装置１５０は、制御装置の一例である。 Incidentally, in the above embodiment, the mounting machine 16 is an example of a manufacturing machine. The shaft motor 78 is an example of a linear motor. The mover 88 is an example of a mover. The stator 90 is an example of a stator. The fin 100 is an example of a heat sink. The filter 110 is an example of a filter. The fan 112 is an example of a blower. The air passage 118 is an example of an air passage. The cover housing 120 is an example of a cover housing. The exhaust fan 122 is an example of an exhaust device. The duct 126 is an example of a connection pipe. The scraping brush 132 is an example of a scraping member. The duct lifting device 134 is an example of a pipe moving device. The control device 150 is an example of a control device.

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、フィルタ１１０の清掃が実行されている際に、ファン１１２が停止しているが、ファン１１２を逆回転させてもよい。つまり、フィン１００を冷却させる際に、ファン１１２を一方の方向に回転させている場合には、フィルタ１１０の清掃時には、ファン１１２を他方の方向に回転させてもよい。これにより、フィルタ１１０からの付着物１６０の剥離を促進することが可能となる。 In addition, this invention is not limited to the said Example, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, in the above embodiment, the fan 112 is stopped when the filter 110 is being cleaned, but the fan 112 may be rotated in the reverse direction. That is, when cooling the fin 100, if the fan 112 is rotated in one direction, the fan 112 may be rotated in the other direction when the filter 110 is cleaned. Thereby, peeling of the deposit 160 from the filter 110 can be promoted.

また、上記実施例では、本発明の技術が、装着作業を実行するための装着機１６に適用されているが、回路基板に対する種々の作業を実行するための装置に、本発明の技術を適用することが可能である。詳しくは、例えば、回路基板上にクリーム半田等を塗布するための装置、回路基板上に粘着剤等を吐出するための装置、回路基板に対して各種の処理を施すための装置、回路基板に対する作業を検査するための装置等に、本発明の技術を適用することが可能である。また、回路基板に対する作業を行う装置に限られず、製造作業に用いられる種々の作業機に、本発明の技術を適用することが可能である。 In the above embodiment, the technique of the present invention is applied to the mounting machine 16 for performing the mounting operation. However, the technique of the present invention is applied to an apparatus for performing various operations on the circuit board. Is possible. Specifically, for example, an apparatus for applying cream solder or the like on a circuit board, an apparatus for discharging adhesive or the like on the circuit board, an apparatus for performing various processes on the circuit board, or the circuit board The technique of the present invention can be applied to an apparatus for inspecting work. In addition, the technology of the present invention can be applied to various working machines used for manufacturing work without being limited to apparatuses that perform work on circuit boards.

１６：装着機（製造作業機）７８：シャフトモータ（リニアモータ）８８：可動子９０：固定子１００：フィン（ヒートシンク）１１０：フィルタ１１２：ファン（送風機）１１８：エア通路１２０：カバーハウジング１２２：排気ファン（排気装置）１２６：ダクト（連結パイプ）１３２：掻取ブラシ（掻取部材）１３４：ダクト昇降装置（パイプ移動装置）１５０：制御装置
16: mounting machine (manufacturing work machine) 78: shaft motor (linear motor) 88: mover 90: stator 100: fin (heat sink) 110: filter 112: fan (blower) 118: air passage 120: cover housing 122: Exhaust fan (exhaust device) 126: duct (connecting pipe) 132: scraping brush (scraping member) 134: duct lifting device (pipe moving device) 150: control device

Claims

A linear motor comprising a stator, a mover, and a heat sink for dissipating heat of the mover,
The linear motor is
Both ends are open and an air passage for cooling the heat sink by air flowing inside,
A filter covering an opening at one end of the air passage;
A blower for flowing air from one end of the air passage toward the other end;
A scraping member disposed at a position in contact with the surface of the filter by movement on the mover;
The linear motor, wherein the scraping member that contacts the surface of the filter scrapes off deposits on the surface of the filter by the movement of the mover.

The linear motor according to claim 1, wherein the linear motor is used in a manufacturing work machine.

The manufacturing machine is
A cover housing surrounding the linear motor;
An exhaust device provided in the cover housing for exhausting the air in the cover housing to the outside,
The linear motor is
It has a connecting pipe that opens at both ends,
The linear motor according to claim 2, wherein the scraping member is attached to an opening at one end of the connection pipe, and an opening at the other end of the connection pipe faces the exhaust device.

4. The linear motor according to claim 3, wherein an inner dimension on one end portion side of the connection pipe is smaller than an inner dimension on the other end portion side of the connection pipe.

The linear motor is
The scraping member attached to the opening at one end of the connecting pipe contacts the surface of the filter, and the opening of the other end of the connecting pipe faces the exhaust device. And the scraping member attached to the opening of one end of the connection pipe does not contact the surface of the filter, and the opening of the other end of the connection pipe does not face the exhaust device. 5. The linear motor according to claim 3, further comprising a pipe moving device that moves the connection pipe between the connection pipe and an arrangement position of the connection pipe.

The linear motor is
A control device for controlling the operation of the blower,
The control device is
The linear operation according to any one of claims 1 to 5, wherein the operation of the blower is stopped when an adhering matter to the surface of the filter is scraped off by the scraping member. motor.