JPWO2009116502A1 - Membrane switch and manufacturing method thereof - Google Patents

Membrane switch and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JPWO2009116502A1
JPWO2009116502A1 JP2010503867A JP2010503867A JPWO2009116502A1 JP WO2009116502 A1 JPWO2009116502 A1 JP WO2009116502A1 JP 2010503867 A JP2010503867 A JP 2010503867A JP 2010503867 A JP2010503867 A JP 2010503867A JP WO2009116502 A1 JPWO2009116502 A1 JP WO2009116502A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
membrane switch
flexible substrate
carbon
paste
carbon nanotube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2010503867A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
二瓶 史行
史行 二瓶
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Publication of JPWO2009116502A1 publication Critical patent/JPWO2009116502A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/70Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch having a plurality of operating members associated with different sets of contacts, e.g. keyboard
    • H01H13/702Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch having a plurality of operating members associated with different sets of contacts, e.g. keyboard with contacts carried by or formed from layers in a multilayer structure, e.g. membrane switches
    • H01H13/703Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch having a plurality of operating members associated with different sets of contacts, e.g. keyboard with contacts carried by or formed from layers in a multilayer structure, e.g. membrane switches characterised by spacers between contact carrying layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H1/00Contacts
    • H01H1/02Contacts characterised by the material thereof
    • H01H1/04Co-operating contacts of different material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2300/00Orthogonal indexing scheme relating to electric switches, relays, selectors or emergency protective devices covered by H01H
    • H01H2300/036Application nanoparticles, e.g. nanotubes, integrated in switch components, e.g. contacts, the switch itself being clearly of a different scale, e.g. greater than nanoscale

Abstract

コスト優位性を損なうことなく多点入力を可能とするメンブレンスイッチ及びその製造方法を提供する。第1のフレキシブル基板(11)と、第2のフレキシブル基板(21)を備え、メンブレンスイッチの一方の接点材料として、カーボンペースト(23)のかわりに半導体性カーボンナノチューブペースト(13)を用いる。他方の接点材料はカーボンペースト(23)である。カーボンナノチューブを用いることにより、ダイオードと同等な機能を印刷により実現する。Provided are a membrane switch and a method for manufacturing the same that enable multi-point input without impairing cost advantages. A first flexible substrate (11) and a second flexible substrate (21) are provided, and a semiconducting carbon nanotube paste (13) is used instead of the carbon paste (23) as one contact material of the membrane switch. The other contact material is carbon paste (23). By using carbon nanotubes, functions equivalent to diodes are realized by printing.

Description

本発明は、フレキシブル基板を備えるメンブレンスイッチ及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a membrane switch including a flexible substrate and a manufacturing method thereof.

メンブレンスイッチは、接点と配線が印刷された2枚のフレキシブル基板を向い合わせ、絶縁性スペーサをはさんで重ね合わせたものである。それぞれのフレキシブル基板に印刷された接点はスペーサに形成された孔を通して向い合っている。外部から力を加えフレキシブル基板を凹ませると接点同士が接触し、オン状態となる。配線を印刷形成するための導電ペーストとしては一般的に銀ペーストが使われる。しかし銀は安定性に欠けるため、これを被覆保護し、良好なスイッチング特性を得るための保護・接点材料としてカーボンペーストが使われる。これらをスクリーン印刷などでフレキシブル基板表面に印刷する。フレキシブル基板としてはポリエステルフィルムやポリカーボネートフィルムなどが用いられる。メンブレンスイッチは印刷で作られるため大量生産に向き、1枚のシートに100個以上のスイッチを一度に印刷できるためコンピュータのキーボードによく使われる。   The membrane switch is formed by facing two flexible substrates on which contacts and wiring are printed and overlapping them with an insulating spacer interposed therebetween. The contacts printed on each flexible substrate face each other through a hole formed in the spacer. When a force is applied from the outside to dent the flexible substrate, the contacts come into contact and turn on. In general, a silver paste is used as a conductive paste for forming wirings by printing. However, since silver lacks stability, carbon paste is used as a protective / contact material for covering and protecting the silver and obtaining good switching characteristics. These are printed on the surface of the flexible substrate by screen printing or the like. A polyester film or a polycarbonate film is used as the flexible substrate. Membrane switches are suitable for mass production because they are made by printing, and more than 100 switches can be printed on one sheet at a time, so they are often used for computer keyboards.

キーボードの場合、多数のスイッチの状態を知る必要がある。その方法として、行と列にキー(スイッチ)を分け、格子状に回路を組むスイッチ・マトリックスという手法がある。この手法においては、行と列のそれぞれの交点にスイッチを設ける。コンピュータから見て、列を出力、行を入力とすると、各列の電位を順番に変化させ行側のポートに現れる電位を走査することでそれぞれのスイッチの状態を知ることができる。   In the case of a keyboard, it is necessary to know the state of many switches. As a method therefor, there is a method called a switch matrix in which keys (switches) are divided into rows and columns and circuits are arranged in a grid pattern. In this method, a switch is provided at each intersection of a row and a column. When viewed from the computer, if the column is output and the row is input, the state of each switch can be known by changing the potential of each column in order and scanning the potential appearing at the port on the row side.

しかし、この方式では同時に複数のキーを押すと意図していないキーの信号が出てしまう現象が起こってしまう。これは「ファントムキー」現象と呼ばれており、押されていないキーの行と列の間に、押されている複数のキーを経由して信号が流れてしまう現象である。これを回避するためには信号の流れを一方向に制御するダイオードをそれぞれのキーに直列に接続すればよい。この回避策により信号の回り込みを防ぐ事ができ、マトリックス構成のスイッチにおいて多点入力が可能となる。   However, in this method, if a plurality of keys are pressed at the same time, an unintended key signal is generated. This is called a “phantom key” phenomenon, and a signal flows between a row and a column of keys that are not pressed via a plurality of keys that are pressed. In order to avoid this, a diode for controlling the signal flow in one direction may be connected in series with each key. By this avoidance measure, signal wraparound can be prevented, and multipoint input can be performed in a switch having a matrix configuration.

上述したようなフレキシブル基板を印刷により形成するメンブレンスイッチに関する技術として、部品点数の削除を図ったスイッチやワイヤレスキーボードの発明が開示されている(例えば特許文献1、2)。また、弾性と強靭性を併せ持つカーボンナノチューブ(CNT)を可動する梁として用い、梁上に設けられたフローティンゲート電極と、該電極上部に設けられたフォワードゲート電極間の電気的斥力を用いて撓ませた梁を出力電極に接触させスイッチとする技術も開示されている(例えば特許文献3)。さらに、炭素繊維などの伝導繊維をブラシとして利用し、スイッチなどを構成する技術も開示されている(例えば特許文献4)。
特開2005−038809号公報 特開2007−241887号公報 特開2006−318670号公報 特公平07−11702号公報
As a technique relating to a membrane switch for forming a flexible substrate as described above by printing, inventions of a switch and a wireless keyboard in which the number of parts is deleted are disclosed (for example, Patent Documents 1 and 2). In addition, carbon nanotubes (CNT) having both elasticity and toughness are used as movable beams, and electrical repulsion between a floating gate electrode provided on the beam and a forward gate electrode provided on the electrode is used. A technique is also disclosed in which a deflected beam is brought into contact with an output electrode to form a switch (for example, Patent Document 3). Furthermore, a technique of using a conductive fiber such as carbon fiber as a brush to configure a switch or the like is also disclosed (for example, Patent Document 4).
Japanese Patent Laying-Open No. 2005-038809 JP 2007-241887 A JP 2006-318670 A Japanese Patent Publication No. 07-11702

上述した問題の回避策として、信号の流れを一方向に制御するダイオードをそれぞれのキーに直列に接続することを述べたが、ダイオードを利用するメンブレンスイッチではスイッチ機構が印刷で作られているため、個々のスイッチにダイオードを接続する事は難しい。すなわち、多数のダイオードチップをフレキシブル基板から剥れない様に固着させ、曲げによる断線が生じない様に電気的に接続しなければならない。それを実現するための製造コストは莫大なものになり、本来メンブレンスイッチが持つコスト優位性が損なわれてしまう。また薄型・軽量・柔軟性といった特長も同時に失われてしまう。   As a workaround for the above-mentioned problem, a diode that controls the signal flow in one direction was connected in series with each key. However, in a membrane switch that uses a diode, the switch mechanism is made by printing. It is difficult to connect a diode to each switch. That is, it is necessary to fix a large number of diode chips so as not to be peeled off from the flexible substrate, and to be electrically connected so as not to cause disconnection due to bending. The manufacturing cost for realizing it is enormous, and the cost advantage inherent to the membrane switch is impaired. The features such as thinness, light weight and flexibility are lost at the same time.

そこで、本発明では、カーボンナノチューブ(CNT)に着眼した。カーボンナノチューブ(CNT)は、グラファイトと同様の炭素原子配列構造がナノスケールの直径でチューブ状になったものである。CNTはグラファイトと同様に良好な電気伝導特性を持ち化学的安定性にも優れているが、その直径や巻き方によって金属的あるいは半導体的な電気特性を示す。近年、化学的手法の進展によって半導体的な特性を持つCNTだけを抽出する事が可能となってきた。この方法によって得られる半導体CNTは塗布・印刷可能な半導体ペーストとして使うことができる。   Therefore, in the present invention, attention was focused on carbon nanotubes (CNT). The carbon nanotube (CNT) is a carbon atom arrangement structure similar to that of graphite having a tube shape with a nanoscale diameter. CNT, like graphite, has good electrical conduction characteristics and excellent chemical stability, but exhibits metallic or semiconducting electrical characteristics depending on its diameter and winding method. In recent years, it has become possible to extract only CNTs having semiconducting characteristics due to the progress of chemical methods. The semiconductor CNT obtained by this method can be used as a semiconductor paste that can be applied and printed.

上記特許文献のいずれにおいても、上述した問題を解決できる技術は開示されていない。本発明は上述した問題を解決するためになされたものであるが、特許文献3は、梁であるCNTの撓みを利用する点で後述する本発明の技術とは異なっている。また、特許文献4は、伝導性繊維の先端での接触を利用する技術であって、伝導性繊維の直径も太く、後述する本発明の技術とは異なる。   None of the above patent documents disclose a technique that can solve the above-described problem. The present invention has been made in order to solve the above-described problem. However, Patent Document 3 is different from the technique of the present invention described later in that the deflection of the CNT that is a beam is used. Further, Patent Document 4 is a technique that uses contact at the tip of a conductive fiber, and the diameter of the conductive fiber is thick, which is different from the technique of the present invention described later.

本発明はこのような実情を鑑みてなされたものであり、カーボンナノチューブを用いてダイオードと同等な機能を印刷により実現し、コスト優位性を損なうことなく多点入力を可能とするメンブレンスイッチ及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, a membrane switch that uses carbon nanotubes to realize functions equivalent to those of a diode by printing, and enables multipoint input without impairing cost advantage, and the same An object is to provide a manufacturing method.

本発明のメンブレンスイッチは、第1のフレキシブル基板と、第2のフレキシブル基板と、を備え、第1のフレキシブル基板は、表面にカーボンナノチューブを設けることを特徴とする。   The membrane switch of the present invention comprises a first flexible substrate and a second flexible substrate, and the first flexible substrate is characterized in that carbon nanotubes are provided on the surface.

本発明のメンブレンスイッチの製造方法は、第1のフレキシブル基板と第2のフレキシブル基板とを備えるメンブレンスイッチの製造方法であって、第1のフレキシブル基板の表面にカーボンナノチューブを配置する工程を有することを特徴とする。   The method for manufacturing a membrane switch of the present invention is a method for manufacturing a membrane switch including a first flexible substrate and a second flexible substrate, and includes a step of disposing carbon nanotubes on the surface of the first flexible substrate. It is characterized by.

本発明によれば、メンブレンスイッチの印刷による低コスト性を維持しながら、接点にダイオード特性を付与する事により多点入力を可能とするメンブレンスイッチ及びその製造方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a membrane switch and a method of manufacturing the same that enable multipoint input by providing diode characteristics to the contacts while maintaining low cost by printing the membrane switch.

以下に本発明の実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態に係るメンブレンスイッチの断面構造の例を示す。図1に示すように、メンブレンスイッチは、絶縁スペーサ3、フレキシブル基板11、21、配線12、22、半導体カーボンナノチューブ13、カーボン23を備える。本発明の実施形態に係るメンブレンスイッチは、フレキシブル基板11に設けた配線12及び半導体カーボンナノチューブ13と、フレキシブル基板21に設けた配線22及びカーボン23と、が対向するように重ね合わせて構成されている。また、半導体カーボンナノチューブ13及びカーボン23を設けた部分以外は、絶縁スペーサ3が設けられている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows an example of a cross-sectional structure of a membrane switch according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the membrane switch includes an insulating spacer 3, flexible substrates 11 and 21, wirings 12 and 22, semiconductor carbon nanotubes 13, and carbon 23. The membrane switch according to the embodiment of the present invention is configured such that the wiring 12 and the semiconductor carbon nanotube 13 provided on the flexible substrate 11 and the wiring 22 and the carbon 23 provided on the flexible substrate 21 are overlapped so as to face each other. Yes. The insulating spacer 3 is provided except for the portion where the semiconductor carbon nanotubes 13 and the carbon 23 are provided.

フレキシブル基板11、21は、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルイミド、ポリイミドなどの材料をフィルム状に加工して用いられるが、メンブレンスイッチに要求される耐熱性などの条件に応じて適宜選択される。配線12、22を形成する材料としては、銀ペースト、カーボンペーストなど導電ペーストなどが用いられるが、銅、銀、金などの金属からなる金属箔でもよい。半導体カーボンナノチューブ13は市販の半導体分離カーボンナノチューブペーストを用いればよい。カーボン23は、カーボンペーストが用いられる。絶縁スペーサ3は、フレキシブル基板と同様な材料であればよい。   The flexible substrates 11 and 21 are used, for example, by processing a material such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, polyphenylene sulfide, polyetherimide, polyimide or the like into a film. It is suitably selected according to the conditions. As a material for forming the wirings 12 and 22, a conductive paste such as a silver paste or a carbon paste is used, but a metal foil made of a metal such as copper, silver, or gold may be used. The semiconductor carbon nanotube 13 may be a commercially available semiconductor-separated carbon nanotube paste. Carbon 23 is carbon paste. The insulating spacer 3 may be the same material as the flexible substrate.

図1に示すようなメンブレンスイッチの構成としたのは、半導体カーボンナノチューブペーストとカーボンペーストを接触させるとダイオード特性を示す事を発見したためである。すなわち、一方のカーボンペーストを半導体カーボンナノチューブに置き替えるだけで、スイッチに直列にダイオードを接続する事と同様な機能を実現することができる。ダイオードは金属・半導体接合型ダイオードとして動作していると考えられる。尚、接点材料として図1に示すカーボン23を半導体カーボンナノチューブ13に置き替えることも可能であり、一方のカーボンペーストのみを半導体カーボンナノチューブに置き換えることに限定しない。   The reason why the membrane switch is configured as shown in FIG. 1 is that it has been found that when a semiconductor carbon nanotube paste and a carbon paste are brought into contact with each other, diode characteristics are exhibited. That is, a function similar to connecting a diode in series with a switch can be realized by simply replacing one carbon paste with a semiconductor carbon nanotube. The diode is considered to operate as a metal / semiconductor junction diode. It is also possible to replace the carbon 23 shown in FIG. 1 with the semiconductor carbon nanotube 13 as the contact material, and it is not limited to replacing only one carbon paste with the semiconductor carbon nanotube.

(実施形態2)
図2は本発明の実施形態に係るメンブレンスイッチの断面構造の例を示す。基本的には上述した実施形態1と同様であるが、13’はN型のカーボンナノチューブペーストであり、23’はP型のカーボンナノチューブペーストである。
(Embodiment 2)
FIG. 2 shows an example of a cross-sectional structure of the membrane switch according to the embodiment of the present invention. Basically, it is the same as in Embodiment 1 described above, but 13 ′ is an N-type carbon nanotube paste, and 23 ′ is a P-type carbon nanotube paste.

図2に示すようなメンブレンスイッチの構成としたのは、N型半導体カーボンナノチューブペーストとP型半導体カーボンナノチューブペーストを接触させると、ダイオード特性を示す事を発見したためである。ダイオード特性はPN接合型ダイオードと類似している。   The reason why the membrane switch is configured as shown in FIG. 2 is that it has been found that when an N-type semiconductor carbon nanotube paste and a P-type semiconductor carbon nanotube paste are brought into contact with each other, diode characteristics are exhibited. The diode characteristic is similar to that of a PN junction type diode.

本実施形態により、メンブレンスイッチを構成するカーボンペーストの代替としてカーボンナノチューブペーストを用いる事によりメンブレンペーストの機能性を高めることが可能である。すなわち、メンブレンスイッチの印刷による低コスト性を維持しながら、接点にダイオード特性を付与する事により多点入力を可能とするメンブレンスイッチ及びメンブレンスイッチ製造方法を提供することが可能となる。   According to this embodiment, the functionality of the membrane paste can be enhanced by using a carbon nanotube paste as an alternative to the carbon paste constituting the membrane switch. That is, it is possible to provide a membrane switch and a membrane switch manufacturing method that enable multipoint input by providing diode characteristics to the contacts while maintaining low cost by printing the membrane switch.

以上好適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上述したメンブレンスイッチ及びその製造方法に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であるということは言うまでもない。   Although specifically described based on the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above-described membrane switch and the manufacturing method thereof, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Yes.

この出願は、2008年3月18日に出願された日本出願特願2008−070417を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。   This application claims the priority on the basis of Japanese application Japanese Patent Application No. 2008-070417 for which it applied on March 18, 2008, and takes in those the indications of all here.

本発明の実施形態に係るメンブレンスイッチの断面構造の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of the cross-section of the membrane switch which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るメンブレンスイッチの断面構造の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of the cross-section of the membrane switch which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

3 絶縁性スペーサ
11 フレキシブル基板
12 配線
13 半導体カーボンナノチューブ
13’ N型半導体カーボンナノチューブ
21 フレキシブル基板
22 配線
23 カーボン
23’ P型半導体カーボンナノチューブ
3 Insulating spacer 11 Flexible substrate 12 Wiring 13 Semiconductor carbon nanotube 13 'N-type semiconductor carbon nanotube 21 Flexible substrate 22 Wiring 23 Carbon 23' P-type semiconductor carbon nanotube

Claims (6)

第1のフレキシブル基板と、第2のフレキシブル基板と、を備え、前記第1のフレキシブル基板は、表面にカーボンナノチューブを設けることを特徴とするメンブレンスイッチ。   A membrane switch comprising: a first flexible substrate; and a second flexible substrate, wherein the first flexible substrate is provided with carbon nanotubes on a surface thereof. 前記第2のフレキシブル基板の表面にカーボンナノチューブを設けることを特徴とする請求項1記載のメンブレンスイッチ。   The membrane switch according to claim 1, wherein carbon nanotubes are provided on a surface of the second flexible substrate. 前記カーボンナノチューブは、N型カーボンナノチューブ及びP型カーボンナノチューブの何れかであることを特徴とする請求項1又は2記載のメンブレンスイッチ。   The membrane switch according to claim 1 or 2, wherein the carbon nanotube is one of an N-type carbon nanotube and a P-type carbon nanotube. 第1のフレキシブル基板と第2のフレキシブル基板とを備えるメンブレンスイッチの製造方法であって、前記第1のフレキシブル基板の表面にカーボンナノチューブを配置する工程を有することを特徴とするメンブレンスイッチの製造方法。   A method for manufacturing a membrane switch comprising a first flexible substrate and a second flexible substrate, comprising a step of disposing carbon nanotubes on the surface of the first flexible substrate. . 前記第2のフレキシブル基板の表面にカーボンナノチューブを配置する工程を有することを特徴とする請求項4記載のメンブレンスイッチの製造方法。   5. The method of manufacturing a membrane switch according to claim 4, further comprising a step of disposing carbon nanotubes on the surface of the second flexible substrate. 前記カーボンナノチューブは、N型カーボンナノチューブ及びP型カーボンナノチューブの何れかであることを特徴とする請求項4又は5記載のメンブレンスイッチの製造方法。   6. The method of manufacturing a membrane switch according to claim 4, wherein the carbon nanotube is any one of an N-type carbon nanotube and a P-type carbon nanotube.
JP2010503867A 2008-03-18 2009-03-16 Membrane switch and manufacturing method thereof Withdrawn JPWO2009116502A1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008070417 2008-03-18
JP2008070417 2008-03-18
PCT/JP2009/055085 WO2009116502A1 (en) 2008-03-18 2009-03-16 Membrane switch and method of manufacturing same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2009116502A1 true JPWO2009116502A1 (en) 2011-07-21

Family

ID=41090903

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010503867A Withdrawn JPWO2009116502A1 (en) 2008-03-18 2009-03-16 Membrane switch and manufacturing method thereof

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2009116502A1 (en)
WO (1) WO2009116502A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4968311B2 (en) * 2009-10-26 2012-07-04 住友電気工業株式会社 Optical data link
CN111511101B (en) * 2019-01-31 2021-07-02 致伸科技股份有限公司 Thin film circuit board and keyboard device with thin film circuit board

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005235728A (en) * 2003-12-01 2005-09-02 Fuji Xerox Co Ltd Electrical component, electrical apparatus, and their manufacturing method
JP5116961B2 (en) * 2005-09-29 2013-01-09 国立大学法人名古屋大学 Diode using carbon nanowall
JP2007123657A (en) * 2005-10-31 2007-05-17 Nec Corp Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP2007324096A (en) * 2006-06-05 2007-12-13 Fujikura Ltd Pressure sensitive switch

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009116502A1 (en) 2009-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016147918A1 (en) Thermoelectric power generation module
US8710383B2 (en) Thin film switch and press key/keyboard using the same
US20080075516A1 (en) Key structure
KR100469037B1 (en) El sheet and switch comprising the same
CN108028145B (en) Push switch
KR20190027523A (en) Thin film touch panel and fabricating method thereof
JPWO2009116502A1 (en) Membrane switch and manufacturing method thereof
JP6264568B2 (en) Light emitting device and display device
US20210351774A1 (en) Touch keyboard and keyboard touch electrode module
US20180366283A1 (en) Keyboard structure
JP4843760B2 (en) Memory element using carbon nanotube
JP2019096787A (en) solar panel
JP4973295B2 (en) Switch structure and electronic device using the same
JP5318790B2 (en) Input sensor switch
US11862411B2 (en) Membrane circuit board and keyboard device using same
US11855579B2 (en) Power generation element
US20240015892A1 (en) Manufacturing method of membrane circuit board
US11804342B2 (en) Membrane switch, key and keyboard
TWI691990B (en) Film circuti structure
JP5160362B2 (en) pointing device
US8686303B2 (en) Thin film switch and press key/keyboard using the same
TW201911350A (en) Keyboard structure with electrostatic discharge protection
JP2017091975A (en) Light source device
JP2016091796A (en) Membrane switch
CN117529163A (en) Foldable display screen and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20110708

A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120605