JPWO2009028642A1 - High-density II-VI compound semiconductor molded body and method for producing the same - Google Patents

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昌大 藤田
昌大 藤田
章夫 吉良
章夫 吉良
雅 白波瀬
雅 白波瀬
辻 嘉久
嘉久 辻
岩崎 秀治
秀治 岩崎
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Abstract

本発明は、結晶子サイズが250Å以下で、相対密度が0.85以上のII−VI族化合物半導体成型体、並びに、(A)凸状の突起を有する台座と、(B)凸状の突起に嵌着されて試料装填部を形成する台座補助具と、(C)衝撃受部材とを含み、(A)台座、(B)台座補助具および(C)衝撃受部材は着脱自在に構成された衝撃ターゲットカプセルに試料を装填し、衝撃波を用いて成型することを特徴とするII−VI族化合物半導体成型体の製造方法を提供する。本発明はまた、試料装填部を有する衝撃ターゲットカプセルを用意し、II−VI族化合物半導体を該試料装填部に装填し、該衝撃ターゲットカプセルに15GPa以上の衝撃波を与えることを特徴とするII−VI族化合物半導体成型体の製造方法をも提供する。The present invention relates to a II-VI compound semiconductor molded body having a crystallite size of 250 mm or less and a relative density of 0.85 or more, (A) a pedestal having convex protrusions, and (B) convex protrusions. (C) an impact receiving member, and (A) the pedestal, (B) the pedestal assisting tool, and (C) the impact receiving member are configured to be detachable. A method for producing a II-VI compound semiconductor molded body is provided, in which a sample is loaded into the impact target capsule and molded using a shock wave. The present invention also provides an impact target capsule having a sample loading section, loads a group II-VI compound semiconductor into the sample loading section, and applies a shock wave of 15 GPa or more to the impact target capsule. A method for producing a Group VI compound semiconductor molding is also provided.

Description

本発明は、高密度II−VI族化合物半導体成型体及びその製造方法に関し、より詳しくは、無機EL素子形成用ターゲット材としての硫化亜鉛成型体およびその製造方法に関する。更に詳しくは、成形に衝撃波を用いるII−VI族化合物半導体の成型体製造方法に関する。   The present invention relates to a high-density II-VI group compound semiconductor molded body and a manufacturing method thereof, and more particularly to a zinc sulfide molded body as a target material for forming an inorganic EL element and a manufacturing method thereof. More specifically, the present invention relates to a method for producing a molded body of a II-VI group compound semiconductor using a shock wave for molding.

これまでEL素子の発光層の形成には、スパッタリング法や電子ビーム蒸着法といった製膜技術が一般的に使用されてきた。そしてこれらの製膜技術によって発光層を形成する際のターゲット材となる硫化亜鉛成型体の製造方法として、硫化亜鉛粉末に発光性元素を混合した硫化亜鉛粉末をホットプレス法にて成型する方法、または冷間プレス法にて成型した後、焼成炉によって焼結させる方法などが開発されてきた。しかしながら、硫化亜鉛粉末は、結晶性が悪く、成型体の相対密度(嵩密度と理論密度との比)を高めることが難しい。例えば単純にホットプレス法で成型するだけの場合や、冷間プレスで予備成型し、単純に焼結するだけの成型方法では、得られる成型体の相対密度が60〜70%程度にしかならない。そのような相対密度の低い成型体を使用して電子ビーム蒸着などの方法で製膜する場合、硫化亜鉛成型体からガスが放出し、真空度の低下のみならず、発光層を構築できないなどの問題があった。   Conventionally, film formation techniques such as sputtering and electron beam evaporation have been generally used for forming a light emitting layer of an EL element. And as a method for producing a zinc sulfide molded body that becomes a target material when forming a light emitting layer by these film forming techniques, a method of molding zinc sulfide powder in which a luminescent element is mixed with zinc sulfide powder by a hot press method, Alternatively, a method of forming by a cold press method and then sintering in a firing furnace has been developed. However, the zinc sulfide powder has poor crystallinity and it is difficult to increase the relative density (ratio of bulk density to theoretical density) of the molded body. For example, when the molding is simply performed by the hot press method, or by the molding method that is preformed by the cold press and is simply sintered, the relative density of the obtained molded body is only about 60 to 70%. When forming a film by a method such as electron beam vapor deposition using such a molded article having a low relative density, gas is released from the zinc sulfide molded article, and not only the degree of vacuum is lowered, but also a light emitting layer cannot be constructed. There was a problem.

そこで、硫化亜鉛と酸化ケイ素を混合し、ホットプレスすることで嵩密度を向上させる方法(特許文献1参照)や、バリウム成分を添加した硫化亜鉛粉末を用いて冷間プレスにより成型し、硫化水素ガス中で焼成成型する方法(特許文献2参照)が改良法として提案されている。更に、冷間プレスした成型体をホットプレスする方法(特許文献3参照)が知られている。   Therefore, a method of improving the bulk density by mixing zinc sulfide and silicon oxide and hot pressing (see Patent Document 1), or forming by cold pressing using zinc sulfide powder to which a barium component is added, and hydrogen sulfide. A method of firing and molding in gas (see Patent Document 2) has been proposed as an improved method. Furthermore, a method of hot pressing a cold pressed molded body (see Patent Document 3) is known.

しかしながら、特許文献1記載の方法では、多量の酸化ケイ素を入れて成型するため、相対密度は向上するが、ケイ素が製膜時に混入する、また特許文献2においては、バリウムが混入するという問題が生じる。更に特許文献2では、硫化水素中で焼成成型するため特別な装置が必要になるという問題も生じる。また、特許文献3では、特殊な材質の装置等は必要ないが、2つの装置を使用せねばならず、工数も多く煩雑であるという問題点は解決できていない。また、ホットプレスを使用するため、熱的に不安定な物質の使用や逆に高結晶性で蒸気圧の低いものを用いた場合には、熱還元による内容物のシンタリングが起こり、不均一な成型体として得られたり、逆に成形物が得られない場合がある。
特開平10−324968号公報 特開平2−59463号公報 特開平5−310467号公報
However, in the method described in Patent Document 1, since a large amount of silicon oxide is put and molded, the relative density is improved, but silicon is mixed during film formation, and in Patent Document 2, barium is mixed. Arise. Further, in Patent Document 2, there is a problem that a special apparatus is required for firing and molding in hydrogen sulfide. Further, in Patent Document 3, an apparatus made of a special material is not necessary, but the problem that two apparatuses must be used and the number of man-hours is complicated cannot be solved. In addition, since hot press is used, when using a thermally unstable substance, or conversely, a material with high crystallinity and low vapor pressure, the contents are sintered due to thermal reduction, resulting in unevenness. In some cases, it may be obtained as a molded product, or a molded product may not be obtained.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-324968 JP-A-2-59463 JP-A-5-310467

したがって、本発明の目的は、高密度II−VI族化合物半導体成型体及びその製造方法、特に熱的に不安定な金属を含有する材料または高結晶性材料を使用した高密度II−VI族化合物半導体成型体及びその製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a high-density II-VI compound semiconductor molding and a method for producing the same, and particularly a high-density II-VI compound using a thermally unstable metal-containing material or a highly crystalline material. An object of the present invention is to provide a semiconductor molded body and a manufacturing method thereof.

本発明者らは、鋭意検討を重ね、衝撃波を用いることで、上記目的を達成することを見出し、本発明に至った。   The inventors of the present invention have made extensive studies and found that the object can be achieved by using a shock wave, and have reached the present invention.

すなわち本発明は、以下のものを提供する。   That is, the present invention provides the following.

[1] 結晶子サイズが250Å以下で、相対密度が0.85以上、特に0.90以上のII−VI族化合物半導体成型体。   [1] A II-VI compound semiconductor molded body having a crystallite size of 250 mm or less and a relative density of 0.85 or more, particularly 0.90 or more.

[2] 該II−VI族化合物半導体が、硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物である[1]記載の成型体。   [2] The molded article according to [1], wherein the II-VI group compound semiconductor is zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and another metal sulfide.

[3] (A)凸状の突起を有する台座と、(B)凸状の突起に嵌着されて試料装填部を形成する台座補助具と、(C)衝撃受部材とを含み、(A)台座、(B)台座補助具および(C)衝撃受部材は着脱自在に構成された衝撃ターゲットカプセルに試料を装填し、衝撃波を用いて成型することを特徴とするII−VI族化合物半導体成型体の製造方法。   [3] (A) includes a pedestal having a convex protrusion, (B) a pedestal auxiliary tool that is fitted to the convex protrusion to form a sample loading portion, and (C) an impact receiving member. II-VI group compound semiconductor molding characterized in that: a pedestal, (B) a pedestal auxiliary tool, and (C) an impact receiving member are loaded with a sample in a detachable impact target capsule and molded using a shock wave Body manufacturing method.

[4] さらに、衝撃緩衝部材を設けた衝撃ターゲットカプセルを使用する[3]記載の方法。   [4] The method according to [3], further using an impact target capsule provided with an impact buffering member.

[5] 該衝撃緩衝部材が、衝撃を与えるときに発生する圧力を開放するための圧力開放口および/または圧力開放溝を備えた衝撃ターゲットカプセルである[4]記載の方法。   [5] The method according to [4], wherein the shock absorbing member is an impact target capsule provided with a pressure release port and / or a pressure release groove for releasing pressure generated when an impact is applied.

[6] 該衝撃波が15GPa以上である[3]〜[5]のいずれかに記載の方法。   [6] The method according to any one of [3] to [5], wherein the shock wave is 15 GPa or more.

[7] 該II−VI族化合物半導体が、硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物である[3]〜[6]のいずれかに記載の方法。   [7] The method according to any one of [3] to [6], wherein the II-VI group compound semiconductor is zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and another metal sulfide.

[8] 試料装填部を有する衝撃ターゲットカプセルを用意し、II−VI族化合物半導体を該試料装填部に装填し、該衝撃ターゲットカプセルに15GPa以上の衝撃波を与えることを特徴とするII−VI族化合物半導体成型体の製造方法。   [8] A group II-VI characterized in that an impact target capsule having a sample loading unit is prepared, a II-VI group compound semiconductor is loaded in the sample loading unit, and a shock wave of 15 GPa or more is applied to the impact target capsule. A method for producing a compound semiconductor molded body.

[9] 該II−VI族化合物半導体が、硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物である[8]に記載の方法。   [9] The method according to [8], wherein the II-VI group compound semiconductor is zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and another metal sulfide.

本発明の成型体の製造方法によれば、高密度II−VI族化合物半導体成型体及びその製造方法、特に熱的に不安定な金属を含有する材料または高結晶性材料を使用した高密度II−VI族化合物半導体成型体及びその製造方法が提供される。その製造方法によれば、特に、嵩密度が3.5以上の高い密度を有する硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物からなる混合物の成型体を高い生産性で製造することができる。本発明の成型体の製造方法では、各部材が着脱自在に構成された新規な衝撃ターゲットカプセル内に試料を収容するので高圧力(高衝撃力)とした場合に、そのカプセルを破壊することなく成型体を取り出すことができ、高い相対密度の成型体を高い生産性で得ることができる。   According to the method for producing a molded body of the present invention, a high-density II-VI compound semiconductor molded body and a method for producing the same, particularly a high-density II using a material containing a thermally unstable metal or a highly crystalline material. -A VI group compound semiconductor molding and its manufacturing method are provided. According to the manufacturing method, in particular, a molded body of zinc sulfide having a high bulk density of 3.5 or more or a mixture of zinc sulfide and another metal sulfide can be manufactured with high productivity. In the method for producing a molded body according to the present invention, the sample is accommodated in a novel impact target capsule in which each member is detachable. Therefore, when the pressure is high (high impact force), the capsule is not destroyed. The molded body can be taken out, and a molded body having a high relative density can be obtained with high productivity.

本発明で使用する衝撃ターゲットカプセルの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the impact target capsule used by this invention. 本発明で使用する衝撃ターゲットカプセルの他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the impact target capsule used by this invention. 台座補助具のない衝撃ターゲットカプセルの例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the example of an impact target capsule without a base auxiliary tool. 本発明で使用する衝撃ターゲットカプセルの他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the impact target capsule used by this invention. 図4の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of FIG. 図5のA−A矢視図である。It is an AA arrow line view of FIG. 図5のB−B矢視図である。It is a BB arrow line view of FIG. 図5のC−C、及びD−D矢視図である。It is CC and DD arrow line view of FIG. 図8のE−E矢視図である。It is an EE arrow line view of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 台座
2 凸状の突起
3 台座補助具
4 衝撃受部材
5 空洞部
6 モーメンタムトラップ
7 台座
8 衝撃受部材
9 凸状の突起
10 台座補助具
11 保護リング
12 衝撃誘導部材
13 ボルト穴
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Convex protrusion 3 Base auxiliary tool 4 Impact receiving member 5 Cavity part 6 Momentum trap 7 Base 8 Impact receiving member 9 Convex protrusion 10 Base auxiliary tool 11 Protection ring 12 Impact guide member 13 Bolt hole

本発明で使用するII−VI族化合物半導体としては、特に制限されるものではないが、硫化亜鉛、硫化カドミウム、セレン化亜鉛、セレン化カドミウムなどを用いることができる。これらは、II族金属化合物とVI族元素含有化合物を反応させて得られたものをそのまま使用しても構わないし、焼成などの方法で結晶化させたものを使用しても構わない。II−VI族化合物半導体としては硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物が好ましい。   Although it does not restrict | limit especially as a II-VI group compound semiconductor used by this invention, Zinc sulfide, cadmium sulfide, zinc selenide, cadmium selenide, etc. can be used. Those obtained by reacting a Group II metal compound and a Group VI element-containing compound may be used as they are, or those obtained by crystallization by a method such as firing may be used. As the II-VI group compound semiconductor, zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and other metal sulfide is preferable.

他の金属硫化物との混合物を使用する場合には、他の金属の化合物をII−VI族化合物と混合し、焼成など熱的処理を行う方法、例えば、他の金属の硫化物を硫化亜鉛と直接にボールミルなどを用いて混合し、得られた混合物を焼成したものを使用しても構わない。   When a mixture with another metal sulfide is used, a method of mixing a compound of another metal with a II-VI group compound and performing a thermal treatment such as firing, for example, a sulfide of another metal is zinc sulfide. It is also possible to use a mixture obtained by directly mixing using a ball mill or the like and firing the obtained mixture.

他の金属としては、マンガン、銅、銀、イリジウムなどの遷移金属、アルミニウム、ガリウム、インジウム、マグネシウム、ストロンチウムなどの典型金属、セリウム、プラセオジム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウムなどの希土類元素を使用することができる。これらの元素の混合量としては、特に制限されるものではなく、使用する元素の種類によって異なることは言うまでもないが、母体となるII−VI族化合物半導体に対して、通常、1〜500000ppm、経済性、操作性を考慮して、10〜100000ppm、より好ましくは、50〜50000ppmの範囲で混合することができる。   Other metals include transition metals such as manganese, copper, silver and iridium, typical metals such as aluminum, gallium, indium, magnesium and strontium, and rare earth elements such as cerium, praseodymium, samarium, europium, gadolinium and terbium. be able to. The mixing amount of these elements is not particularly limited, and it goes without saying that it varies depending on the type of element used, but is usually 1 to 500,000 ppm with respect to the base II-VI group compound semiconductor, economy In consideration of the property and operability, it can be mixed in the range of 10 to 100000 ppm, more preferably 50 to 50000 ppm.

本発明では、必要に応じて、結着性を高めるために、融剤を使用することができる。使用される融剤としては、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩化アンモニウム、塩化カルシウム、塩化亜鉛などの塩化物、硝酸ナトリウム、硝酸カリウムなどの硝酸塩を使用することができる。使用する量としては、成形性を改善できる程度で、残留物が成型物の強度に影響を及ぼさない程度、すなわち、II−VI族化合物半導体に対して、0.1〜30重量%、より好ましくは、0.2〜20重量%の範囲で使用される。   In the present invention, a flux can be used as necessary to enhance the binding property. As the flux to be used, chlorides such as sodium chloride, potassium chloride, ammonium chloride, calcium chloride and zinc chloride, and nitrates such as sodium nitrate and potassium nitrate can be used. The amount to be used is such that the moldability can be improved and the residue does not affect the strength of the molded product, that is, 0.1 to 30% by weight, more preferably with respect to the II-VI group compound semiconductor. Is used in the range of 0.2 to 20% by weight.

本発明では、衝撃ターゲットカプセルにII−VI族化合物半導体を封入し、衝撃波を照射する。使用される衝撃ターゲットカプセルとしては特に制限されるものではなく、衝撃波に耐え且つ製造されたII−VI族化合物半導体成形物の形状を維持し、取り出せるものであれば良い。衝撃波を受ける部分は、衝撃波を均一に受け、且つ、変型、破壊により成形物を損なわないために、平滑であることが肝要である。例えば、凸状の突起を有する台座と、凸状の突起に装着されて、試料充填部を形成する台座補助具と、衝撃受部材とを含むような衝撃ターゲットカプセルであれば、成形物を取り出しやすく、また、成型体の破損を防ぐこともでき、好ましい。   In the present invention, a II-VI group compound semiconductor is sealed in an impact target capsule and irradiated with a shock wave. The impact target capsule to be used is not particularly limited as long as it can withstand shock waves and maintain the shape of the manufactured II-VI group compound semiconductor molded product. It is important that the portion that receives the shock wave is smooth so that it receives the shock wave uniformly and does not damage the molded product due to deformation or breakage. For example, if it is an impact target capsule that includes a pedestal having a convex protrusion, a pedestal auxiliary tool that is mounted on the convex protrusion and forms a sample filling portion, and an impact receiving member, the molded product is taken out. It is easy and can prevent the molded body from being damaged, which is preferable.

本発明で使用する衝撃ターゲットカプセルの例を図によって詳細に説明する。図1は本発明で使用する衝撃ターゲットカプセルの一例の概略図であり、本質的に、(A)凸状の突起を有する台座1と、(B)凸状の突起2に隙間なく嵌着されて試料装填部を形成する台座補助具3と、(C)衝撃受部材4とから構成される。これらの形状はとくに限定されるものではないが、円形状のものが作製しやすく実用的であり、強度的にも優れているので円形状のものについて具体的に説明する。   Examples of impact target capsules used in the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view of an example of an impact target capsule used in the present invention. Essentially, (A) a pedestal 1 having convex protrusions and (B) a convex protrusion 2 are fitted without gaps. The pedestal auxiliary tool 3 that forms the sample loading portion, and (C) the impact receiving member 4. Although these shapes are not particularly limited, a circular shape is easy to produce and practical, and is excellent in strength, so the circular shape will be specifically described.

本発明の衝撃ターゲットカプセルにおいて、(A)凸状の突起を有する台座、(B)凸状の突起に隙間なく嵌着されて試料装填部を形成する台座補助具及び(C)衝撃受部材は着脱自在に構成される。台座の直径をD1、厚さをL1、突起の直径をD2、突起の高さをL2とした場合、実用的な一段式火薬銃または一段式ガス銃の大きさを考慮すると、通常D1は10〜200mm、L1は2〜20mm、D2は8〜160mm、L2は2〜50mm程度である。   In the impact target capsule of the present invention, (A) a pedestal having a convex protrusion, (B) a pedestal auxiliary tool that is fitted to the convex protrusion without a gap to form a sample loading portion, and (C) an impact receiving member are: It is configured to be detachable. When the diameter of the pedestal is D1, the thickness is L1, the diameter of the protrusion is D2, and the height of the protrusion is L2, considering the size of a practical one-stage gunpowder gun or one-stage gas gun, D1 is usually 10 ~ 200 mm, L1 is 2 to 20 mm, D2 is 8 to 160 mm, and L2 is about 2 to 50 mm.

台座補助具は、凸状の突起に隙間なく嵌着されて試料装填部を形成するものであり、台座補助具を用いることにより、試料の僅かな成型誤差に対応してターゲットカプセルを組み立てることができる。台座補助具は台座及び衝撃受部材と同じ材質とすることが好ましい。台座補助具の直径をD3、厚さをL3とした場合、D3は9〜190mm程度であるが、D3<D1であることが好ましい。衝撃受部材は、必要に応じて空洞部5を有しており、L4は通常2〜60mm程度である(空洞部5を設ける場合、その直径L5は通常59mm以下である)。試料を装填するためにはL3>L2であり、試料の厚みはL3−L2によって決められる。   The pedestal auxiliary tool is fitted into the convex protrusion without any gaps to form the sample loading portion. By using the pedestal auxiliary tool, the target capsule can be assembled corresponding to a slight molding error of the sample. it can. The pedestal auxiliary tool is preferably made of the same material as the pedestal and the impact receiving member. When the diameter of the pedestal auxiliary tool is D3 and the thickness is L3, D3 is about 9 to 190 mm, but preferably D3 <D1. The impact receiving member has a hollow portion 5 as necessary, and L4 is usually about 2 to 60 mm (when the hollow portion 5 is provided, its diameter L5 is usually 59 mm or less). In order to load the sample, L3> L2, and the thickness of the sample is determined by L3-L2.

台座補助具の厚さL3は、飛翔体によって与えられる衝撃に耐えることができれば、特に制限されるものではないが、厚さがあまり薄すぎると、機械的強度の問題があり、また厚さがあまり厚すぎると、ターゲットカプセルの重量が著しく増加することにより操作性が低下するので、3mm〜50mmの範囲とするのが好ましく、5mm〜30mmの範囲とするのがより好ましい。   The thickness L3 of the pedestal auxiliary tool is not particularly limited as long as it can withstand the impact given by the flying object. However, if the thickness is too thin, there is a problem of mechanical strength. If the thickness is too large, the weight of the target capsule is remarkably increased and the operability is lowered. Therefore, the range is preferably 3 mm to 50 mm, and more preferably 5 mm to 30 mm.

試料の厚みは、与える衝撃力に依存するので一概には決められないが、あまり厚すぎると試料に均質に衝撃が加わらないため好ましくない。試料の厚みは、通常、衝撃波を与える飛翔体の与衝撃面の厚み程度にするのが好ましく、0.01mm〜20mmの範囲とするのが好ましい。0.02mm〜18mmの範囲がさらに好ましい。   Since the thickness of the sample depends on the applied impact force, it cannot be determined unconditionally. However, if the thickness is too large, the sample will not be subjected to a uniform impact, which is not preferable. In general, the thickness of the sample is preferably about the thickness of the impact surface of the flying object to which the shock wave is applied, and is preferably in the range of 0.01 mm to 20 mm. A range of 0.02 mm to 18 mm is more preferable.

試料は、充填する厚みにタブレット化されて装填される。タブレットの成型方法は特に限定されないが、突起部及び台座補助具と密着して装填されるような形状に形成することが必要である。タブレットの底面積は突起部の面積と概略同じであるが、あまり大きいと衝撃波が伝わらない部分が発生し、試料の均質性が損なわれる恐れがあるため、通常は飛翔体の与衝撃面の面積と同程度か、それよりも若干小さくなるように構成するのがよく、飛翔体の与衝撃面の面積の30〜100%とするのが好ましい。40〜90%とするのがより好ましく、試料の均質性を考慮して、50〜80%とするのがさらに好ましい。   Samples are tableted and loaded to fill thickness. The tablet molding method is not particularly limited, but it is necessary to form the tablet in a shape that allows it to be loaded in close contact with the protrusion and the base support tool. The area of the bottom of the tablet is roughly the same as the area of the protrusion, but if it is too large, there will be a part where the shock wave will not be transmitted, and the homogeneity of the sample may be impaired. It is preferable to make it so that it is approximately the same as or slightly smaller than that, and is preferably 30 to 100% of the area of the impact surface of the flying object. It is more preferably 40 to 90%, and further preferably 50 to 80% in consideration of the homogeneity of the sample.

試料は、突起部や台座補助具と密接に接触した形で装填される。例えば図1に示すように、L3−L2と突起に嵌着された台座補助具とで形成されるリング状の空間に収めて装填される。図2は台座1、台座補助具2及び衝撃受部材3から構成されたターゲットカプセルの別の例を正面から見た断面図であり、衝撃受部材は空洞部5を有する。図2では、試料の厚みはL3−L2+L5によって決められる。   The sample is loaded in intimate contact with the protrusion and pedestal aid. For example, as shown in FIG. 1, it is stored in a ring-shaped space formed by L3-L2 and a pedestal auxiliary tool fitted to the protrusion. FIG. 2 is a cross-sectional view of another example of a target capsule composed of a pedestal 1, a pedestal auxiliary tool 2, and an impact receiving member 3, and the impact receiving member has a cavity 5. In FIG. 2, the thickness of the sample is determined by L3-L2 + L5.

図3は台座補助具のないターゲットカプセルの例であり、衝撃受部材に空洞部を有する例である。この場合、試料はL5−L2と空洞部5で形成される空間部に装填される。   FIG. 3 shows an example of a target capsule without a pedestal assisting tool, in which an impact receiving member has a hollow portion. In this case, the sample is loaded into a space formed by L5-L2 and the cavity 5.

衝撃受部材の直径をD4、厚さをL4とした場合、D4>D3であることが好ましいが、衝撃受部材の厚さは、あまり薄すぎると飛翔体の衝突による衝撃に耐えられない恐れがあり、またあまり厚すぎると重量の点で好ましくないので、通常、0.1mm〜30mmの範囲、より好ましくは0.2mm〜20mmの範囲に作製される。   When the diameter of the impact receiving member is D4 and the thickness is L4, it is preferable that D4> D3. However, if the thickness of the impact receiving member is too thin, it may not be able to withstand the impact caused by the collision of the flying object. In addition, since it is not preferable in terms of weight if it is too thick, it is usually produced in the range of 0.1 mm to 30 mm, more preferably in the range of 0.2 mm to 20 mm.

空洞部を有する衝撃受部材において、L4−L5は飛翔体衝撃面の材質及び厚みに依存するので一概には決められないが、この厚さをあまり厚くすると、衝撃波の拡散が起こりやすく、またあまり薄くすると、衝撃波により破壊されることにより、試料を回収できなくなることがある。衝撃受部材が飛翔体衝撃面の材質と同じ場合は飛翔体衝撃面の厚さと同じか、薄くするのがよい。このような観点から、L4−L5の厚さは飛翔体衝撃面の厚さの20%〜120%とするのが好ましく、40%〜110%とするのがより好ましい。   In the impact receiving member having a hollow portion, L4-L5 depends on the material and thickness of the flying object impact surface, so it cannot be determined unconditionally. However, if this thickness is increased too much, the diffusion of the shock wave is likely to occur. If it is made thinner, the sample may not be recovered due to destruction by shock waves. When the impact receiving member is the same as the material of the flying object impact surface, the thickness of the flying object impact surface is preferably the same as or thinner. From such a viewpoint, the thickness of L4-L5 is preferably 20% to 120% of the thickness of the flying object impact surface, and more preferably 40% to 110%.

衝撃受部材の材質よりも飛翔体衝撃面の材質が硬い場合は、衝撃により衝撃受部材がより破壊されやすくなるため、飛翔体衝撃面の厚さの50%〜140%とするのが好ましく、60%〜120%とするのがより好ましい。   When the material of the flying object impact surface is harder than the material of the impact receiving member, the impact receiving member is more likely to be destroyed by the impact. Therefore, the thickness is preferably 50% to 140% of the flying object impact surface. 60% to 120% is more preferable.

衝撃受部材と台座補助具とは一体化されていても、分離されていてもよい。衝撃受部材の直径D4が、衝撃受部材の断面積が飛翔体の断面積よりも大きくなるようにすることが望ましく、飛翔体断面積の1〜3倍、好ましくは1〜2倍の範囲に設定される。   The impact receiving member and the base assisting tool may be integrated or separated. The diameter D4 of the impact receiving member is desirably set so that the cross-sectional area of the impact receiving member is larger than the cross-sectional area of the flying object, and is in the range of 1 to 3 times, preferably 1 to 2 times the flying object cross-sectional area. Is set.

図4は別のターゲットカプセルの例であり、左側から組立て順に解体した概略図である。図4において、6はモーメンタムトラップであり、衝撃圧縮の際に生じた運動量を周囲へ飛散させ、ターゲットカプセルの破壊を防止する役割をする。7は台座であり、8は衝撃受部材であり、図4の態様では台座7及び衝撃受部材8は同じ形状であり、一対の部材を構成している。これら一対の台座及び衝撃受部材と、各台座及び衝撃受部材に設けられた凸状の突起9に嵌着される台座補助具10とで試料装填部を形成する。組み合わされた一対の台座及び衝撃受部材と台座補助具は、さらに保護リング11で嵌合される。保護リングは、衝撃受部材が受けた衝撃により衝撃受部材が横方向に広がり、衝撃波が拡散するのを防ぐ。   FIG. 4 is an example of another target capsule, and is a schematic view disassembled in order of assembly from the left side. In FIG. 4, 6 is a momentum trap, which plays a role of preventing the target capsule from being destroyed by scattering the momentum generated during the impact compression to the surroundings. 7 is a pedestal, 8 is an impact receiving member, and in the embodiment of FIG. 4, the pedestal 7 and the impact receiving member 8 have the same shape and constitute a pair of members. The pair of pedestals and impact receiving members, and the pedestal auxiliary tool 10 fitted to the convex projections 9 provided on the pedestals and impact receiving members form a sample loading portion. The pair of pedestals and the impact receiving member and the pedestal auxiliary tool which are combined are further fitted with the protection ring 11. The protective ring prevents the shock receiving member from spreading in the lateral direction due to the impact received by the shock receiving member and diffusing the shock wave.

図5は図4の概略断面図であり、図6及び図7は各々図5のA−A矢視図及びB−B矢視図である。図4または図5において、衝撃受部材8は直接飛翔体からの衝撃を受ける。12は衝撃誘導部材であり、火薬または火薬銃もしくは軽ガス銃で発生する衝撃波が通過するときに妨げとなるガスを逃がすためのガス開放口および/またはガス開放溝を備えるのが好ましい。図5、図8、図9は、衝撃誘導部材の台座側表面に8本の溝を放射状に設けるとともに、それらに平行して、衝撃誘導部材の内側を衝撃波が通過するときに妨げとなる不要なガスを内側から外へ逃がすための貫通口が放射状に設けられた例である。溝や貫通口は衝撃波を開放するために設けられるので形状、大きさにはとくに制限はない。13はボルト穴であるが、モーメンタムトラップに設けられたボルト穴は、一対の台座及び衝撃受部材と台座補助具で構成される試料装填部に試料を装填し、ボルトで緊結した際に飛び出したボルト部分を格納する役目をする。   5 is a schematic cross-sectional view of FIG. 4, and FIGS. 6 and 7 are views taken along arrows AA and BB in FIG. 5, respectively. In FIG. 4 or FIG. 5, the impact receiving member 8 directly receives an impact from the flying object. Reference numeral 12 denotes an impact induction member, which is preferably provided with a gas release port and / or a gas release groove for releasing a gas that hinders the passage of a shock wave generated by gunpowder or a gunpowder gun or a light gas gun. 5, 8, and 9, eight grooves are provided radially on the pedestal side surface of the impact guide member, and in parallel therewith, there is no need to disturb when a shock wave passes through the inside of the impact guide member. This is an example in which through-holes for escaping various gases from the inside to the outside are provided radially. Since the groove and the through hole are provided to release the shock wave, there is no particular limitation on the shape and size. Reference numeral 13 denotes a bolt hole, but the bolt hole provided in the momentum trap pops out when a sample is loaded into a sample loading portion composed of a pair of pedestals and an impact receiving member and a pedestal auxiliary tool, and tightened with bolts. Serves to store the bolt part.

台座の直径、厚さ、突起の直径、突起の高さについては図1で述べたとおりであり、一対の台座及び衝撃受部材と、各台座に設けられた凸状の突起に嵌着される台座補助具とで試料装填部を形成できればとくに制限されない。図4〜図9は概略を示した図であり、モーメンタムトラップ及び保護リングについてもとくに制限はない。   The diameter of the pedestal, the thickness, the diameter of the protrusion, and the height of the protrusion are as described in FIG. 1, and are fitted to the pair of pedestals and the impact receiving member and the convex protrusions provided on each pedestal. If a sample loading part can be formed with a base auxiliary tool, it will not restrict | limit in particular. 4 to 9 are schematic views, and there are no particular limitations on the momentum trap and the protective ring.

衝撃ターゲットカプセルの材質としては、特に限定されるものではなく、鉄、ニッケル、銅、真鍮、ステンレス、チタン、タングステンなどの材質を使用することができる。材料の加工性、経済性、衝撃波への耐久性を考慮して、鉄の使用が好ましい。   The material of the impact target capsule is not particularly limited, and materials such as iron, nickel, copper, brass, stainless steel, titanium, and tungsten can be used. In view of the workability of the material, economy, and durability against shock waves, it is preferable to use iron.

衝撃ターゲットカプセルと充填するII−VI族化合物半導体が接触する部分では、接触による金属の混入が予想されるため、直接接触しないように、皮膜を設けることができる。使用される皮膜としては、II−VI族化合物半導体中に混入しても差し支えない金属、例えば、銅、マンガン、アルミニウムおよびその酸化物など金属箔の施用、溶射によって形成される皮膜等が使用できる。また、有機高分子による皮膜も使用できる。使用できる有機高分子としては、特に制限されるものではなく、ポリエチレンなどのポリオレフィン、ポリフッ化ビニリデンなどのポリフッ化物、ポリビニルアルコールなどの水溶性高分子などである。被覆の形成方法としても、塗布、スプレー、フィルムなどの方式を使用することができる。   In the portion where the impact target capsule and the II-VI group compound semiconductor to be filled are in contact with each other, a metal can be mixed due to the contact. Therefore, a film can be provided so as not to be in direct contact. As a film to be used, a metal that may be mixed in a II-VI compound semiconductor, for example, a film formed by thermal spraying, application of metal foil such as copper, manganese, aluminum and its oxide can be used. . A film made of an organic polymer can also be used. The organic polymer that can be used is not particularly limited, and examples thereof include polyolefins such as polyethylene, polyfluorides such as polyvinylidene fluoride, and water-soluble polymers such as polyvinyl alcohol. As a method for forming the coating, methods such as coating, spraying, and film can be used.

本発明では、衝撃波をターゲットカプセル内のII−VI族化合物半導体に照射し、成型する。衝撃波の発生方法としては、特に限定されるものではなく、一段式火薬銃、二段式火薬銃などの火薬銃、軽ガス銃などの銃砲式を用いて飛翔体をターゲットカプセルに衝突させて、衝撃波を発生することもできるし、飛翔体上に直接火薬を設置、爆破することで飛翔体をターゲットカプセルに衝突させて、衝撃波を発生する方式を採用してもかまわない。設備の簡便さ、飛翔体の大きさによる量的生産性の観点からは、直接爆破により飛翔体をターゲットカプセルに衝突させる方式を採用することが好ましい。   In the present invention, the II-VI compound semiconductor in the target capsule is irradiated with a shock wave and molded. The method of generating the shock wave is not particularly limited, and the projectile is made to collide with the target capsule using a gun type such as a one-stage gunpowder gun, a two-stage gunpowder gun, a light gas gun, A shock wave can be generated, or a method of generating a shock wave by colliding the flying object with the target capsule by installing and exploding explosives directly on the flying object may be adopted. From the viewpoint of simplicity of equipment and quantitative productivity due to the size of the flying object, it is preferable to adopt a method in which the flying object collides with the target capsule by direct blasting.

本発明で、II−VI族化合物半導体を成型するに必要な衝撃波としては、使用するII−VI族化合物半導体またはII−VI族化合物半導体を主体とする混合硫化物の種類、結晶化度等に依存するため、特に限定されるものではないが、通常、II−VI族化合物半導体の結晶転移が起こる圧力、すなわち、15GPa以上、高すぎる圧力は、結晶の破壊をもたらすため、100GPa以下、経済性、安全性を考慮して、16GPa以上80GPa以下、より好ましくは、18GPa以上、70GPa以下の圧力であればよい。   In the present invention, as a shock wave necessary for molding a II-VI compound semiconductor, the type of II-VI compound semiconductor or a mixed sulfide mainly composed of a II-VI compound semiconductor to be used, crystallinity, etc. The pressure at which the crystal transition of the II-VI group compound semiconductor occurs, that is, 15 GPa or more, and a pressure that is too high usually causes the crystal to break, so that it is 100 GPa or less. In consideration of safety, the pressure may be 16 GPa or more and 80 GPa or less, more preferably 18 GPa or more and 70 GPa or less.

衝撃波は、飛翔体の材質にもよるが、通常、一段式火薬銃で10〜50GPa、一段式ガス銃で0.01〜15GPa程度発生する。飛翔体の材質としては、例えば、アクリロニトリル‐ブタジエン‐スチレン共重合体(ABS)、ポリプロピレン、ポリアミド等の高分子材料、鉄、ニッケル、銅、真鍮、ステンレス、チタン、タングステン等の金属材料等が挙げられる。更に高分子材料の表面(衝突部分)に金属材料を張り合わせたものを使用することができる。   Although depending on the material of the flying object, the shock wave is usually generated by about 10 to 50 GPa with a single-stage gunpowder gun and about 0.01 to 15 GPa with a single-stage gas gun. Examples of the flying material include acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS), polymer materials such as polypropylene and polyamide, and metal materials such as iron, nickel, copper, brass, stainless steel, titanium, and tungsten. It is done. Furthermore, the thing which bonded the metal material to the surface (impact part) of a polymeric material can be used.

本発明では、衝撃波照射後、衝撃ターゲットカプセルを解体し、充填されたII−VI族化合物半導体成型体を取り出すことによって、成型物を得ることができる。成型物は、そのまま使用しても良いし、表面を研磨して、不要物を除去して使用することもできる。   In the present invention, after the shock wave irradiation, the impact target capsule is disassembled, and the molded II-VI compound semiconductor molded body is taken out to obtain a molded product. The molded product may be used as it is, or the surface may be polished to remove unnecessary materials.

本発明の成型体の製造方法によれば、結晶径が大きくならなくても成型することができ、得られた成型体は結晶子サイズが250Å以下で、相対密度が0.85以上である。結晶子サイズはX線回折によって求めることができる。   According to the method for producing a molded body of the present invention, the molded body can be molded without increasing the crystal diameter. The obtained molded body has a crystallite size of 250 mm or less and a relative density of 0.85 or more. The crystallite size can be determined by X-ray diffraction.

本発明において、得られた成型物は、必要に応じて、加熱焼成される。この焼成によって、硫化物結晶化度が向上するが、必要以上の焼成は、成型体が分解することもあるので留意が必要である。加熱の温度は、加熱前の試料の結晶化度にもよるため特定されないことは言うまでもないが、通常500℃〜1200℃の範囲、好ましくは、600℃〜1100℃の範囲で実施する。   In the present invention, the obtained molded product is heated and fired as necessary. Although the degree of sulfide crystallinity is improved by this calcination, it is necessary to pay attention to the excessive calcination, since the molded body may be decomposed. It goes without saying that the heating temperature is not specified because it depends on the crystallinity of the sample before heating, but is usually in the range of 500 ° C. to 1200 ° C., preferably in the range of 600 ° C. to 1100 ° C.

焼成の時間も特に制限されるものではなく、目的に応じて変化するが、通常0.5〜10時間の範囲、装置の加熱、冷却能力を考慮して、1〜8時間の範囲で実施される。通常、焼成は、不活性雰囲気下または還元雰囲気下で実施されることは言うまでもない。方法としても、バッチ式、連続式何れの方法を採用しても構わない。   The firing time is not particularly limited and varies depending on the purpose, but it is usually carried out in the range of 0.5 to 10 hours and in the range of 1 to 8 hours in consideration of the heating and cooling capabilities of the apparatus. The Needless to say, firing is usually performed in an inert atmosphere or a reducing atmosphere. As a method, either a batch method or a continuous method may be adopted.

以下に、実施例を挙げ、本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples.

実施例1
直径110mm、厚さ30mmのモーメンタムトラップ6、直径100mm、厚さ7mmで中心部に直径40mm、高さ5mmの凸状突起9を有する一対の台座7及び衝撃受部材8、外径60mm、内径40mm、高さ10mmの円筒形の台座補助具10、外径110mm、内径100mm、高さ16mmの円筒形の保護リング11、直径100mm、厚さ33mmで、図8及び図9に示すような幅約13mm、長さ約30mmで放射状に設けられた8個の溝と、それらに平行して内側から外へ貫通する放射状に設けられた貫通口を有する衝撃受部材から構成される図4〜図9に示すような鉄製のターゲットカプセルを準備し、一対の台座及び衝撃受部材と、台座及び衝撃受部材に設けられた凸状の突起に嵌着される台座補助具とで構成される試料装填部に、X線回折によって求めた結晶子サイズ201Åの硫化亜鉛30gを2tプレスを使用して、加圧充填した(嵩密度3g/cm)。これらをボルトで締結した後、モーメンタムトラップ上に載置し、保護リング、衝撃誘導部材を順次重ね合わせ、衝撃誘導部材の最上部に、厚さ2mm、42mmφの鉄製飛翔体をステンレステープで固定して設置した。飛翔体上部に、内径40mm、厚さ3mm、高さ15mmの塩ビ製リングに、ペンスリット火薬18g(衝撃波で18GPa相当)、雷管を装着して爆破した。ペンスリット火薬の爆発により、飛翔体はターゲットカプセルに爆着した。爆破終了後、ターゲットカプセルを分解し、内部の硫化亜鉛を取り出したところ、外径40mm、高さ4.8mmの成型体が得られた。成型体の嵩密度は、3.6であり、相対密度(嵩密度と理論密度との比。理論密度として硫化亜鉛本来の密度4.0g/cmを使用した。以下の例において同じ。)は0.90、結晶子サイズは186Åであり、ターゲット材として充分な密度を有した成型体を得ることができた。
Example 1
A momentum trap 6 having a diameter of 110 mm and a thickness of 30 mm, a pair of pedestals 7 and impact receiving members 8 having a diameter of 100 mm and a thickness of 7 mm and a convex projection 9 having a diameter of 40 mm and a height of 5 mm, an outer diameter of 60 mm, an inner diameter of 40 mm , A cylindrical pedestal auxiliary tool 10 having a height of 10 mm, a cylindrical protective ring 11 having an outer diameter of 110 mm, an inner diameter of 100 mm, and a height of 16 mm, a diameter of 100 mm, a thickness of 33 mm, and a width of about 8 mm. 4 to FIG. 9 composed of 8 grooves radially provided with a length of 13 mm and a length of about 30 mm, and an impact receiving member having a through hole provided radially extending from the inside to the outside in parallel with them. An iron target capsule as shown in FIG. 1 is prepared, and is composed of a pair of pedestals and impact receiving members, and a pedestal auxiliary tool that is fitted into convex protrusions provided on the pedestals and impact receiving members. The sample loading unit, a zinc sulfide 30g of crystallite size 201Å as determined by X-ray diffraction using the 2t press was charged under pressure (bulk density 3g / cm 3). After fastening them with bolts, they are placed on a momentum trap, a protective ring and an impact guide member are stacked one on top of the other, and an iron projectile with a thickness of 2 mm and 42 mmφ is fixed to the top of the impact guide member with stainless steel tape. Installed. At the top of the flying object, a vinyl ring with an inner diameter of 40 mm, a thickness of 3 mm, and a height of 15 mm was attached with 18 g of pen slit gunpowder (equivalent to 18 GPa by shock wave) and a detonator to blast it. Due to the explosion of the pen slit gunpowder, the flying object exploded on the target capsule. After the blasting, the target capsule was disassembled and the internal zinc sulfide was taken out. As a result, a molded body having an outer diameter of 40 mm and a height of 4.8 mm was obtained. The bulk density of the molded body was 3.6, and the relative density (ratio of the bulk density to the theoretical density. The original density of zinc sulfide of 4.0 g / cm 3 was used as the theoretical density. The same applies in the following examples.) Was 0.90 and the crystallite size was 186 mm, and a molded body having a sufficient density as a target material could be obtained.

実施例2
実施例1において、硫化亜鉛に代えて、銅1000ppmを含有するX線回折によって求めた結晶子サイズ221Åの硫化亜鉛30gを使用した以外は、実施例1と同様に行った。その結果、嵩密度3.6、相対密度0.90、結晶子サイズ196Åのターゲット材として充分な密度を有した成型体を得ることができた。
Example 2
In Example 1, it replaced with zinc sulfide and performed similarly to Example 1 except having used 30 g of zinc sulfides having a crystallite size of 221 mm obtained by X-ray diffraction containing 1000 ppm of copper. As a result, a molded body having a density sufficient as a target material having a bulk density of 3.6, a relative density of 0.90, and a crystallite size of 196 mm could be obtained.

実施例3
実施例2において、ペンスリット火薬の量を20gとした(衝撃波で20GPa相当)以外は、実施例1と同様に行った。その結果、嵩密度3.7、相対密度0.93、結晶子サイズ241Åのターゲット材として充分な密度を有した成型体を得ることができた。
Example 3
In Example 2, it carried out like Example 1 except the amount of pen slit explosives having been 20 g (it is equivalent to 20 GPa with a shock wave). As a result, a molded article having a density sufficient as a target material having a bulk density of 3.7, a relative density of 0.93, and a crystallite size of 241 mm could be obtained.

実施例4
株式会社ジー・エム・エンジニアリング製衝撃波発生装置Type20に、実施例1で使用したものと同様のサンプルを充填した同様のターゲットカプセルを装着し、ポリプロピレン製飛翔体(衝撃面鉄製2mm厚)を800m/秒で衝突させ、16.5GPaの圧力を与えた。得られた成型体の嵩密度は3.40であり、相対密度は0.85、結晶子サイズ181Åであった。
Example 4
A similar target capsule filled with a sample similar to that used in Example 1 was mounted on a shock wave generator Type 20 manufactured by GM Engineering Co., Ltd., and a polypropylene flying object (2 mm thickness made of impact surface iron) was 800 m / mm. Colliding in seconds, a pressure of 16.5 GPa was applied. The obtained molded body had a bulk density of 3.40, a relative density of 0.85, and a crystallite size of 181 mm.

実施例5
D1=60mm、D2=20mm、D4=60mm、L1=10mm、L2=7mm、L4=12mm、L5=10mmの図3に示すターゲットカプセルを使用する以外は実施例1と同様に実施した。爆破終了後、ターゲットカプセルを分解し、硫化亜鉛成型体を取り出した。得られた成型体の相対密度は0.86、結晶子サイズ180Åであったが、実施例1で得られた成型体と比較して成型体の外周部に脆い部分があった。
Example 5
The same procedure as in Example 1 was performed except that the target capsule shown in FIG. 3 with D1 = 60 mm, D2 = 20 mm, D4 = 60 mm, L1 = 10 mm, L2 = 7 mm, L4 = 12 mm, and L5 = 10 mm was used. After the blasting, the target capsule was disassembled and the zinc sulfide molded product was taken out. The resulting molded body had a relative density of 0.86 and a crystallite size of 180 mm, but there was a brittle portion on the outer periphery of the molded body as compared with the molded body obtained in Example 1.

比較例1
30mmφのグラファイトモールドに、実施例1で用いた硫化亜鉛12gを入れ、ホットプレス機に充填した。モールド内を130Paまで減圧し、10分間保持、アルゴンにて常圧に解放した。この操作を3回実施し、圧力をアルゴンガスで開放し、900℃まで1時間で昇温した。昇温後圧力を開放し、2時間で室温まで冷却した。モールドから成型体をはずし、30mmφの成型体を得た。得られた成型体の結晶子サイズは286Åであった。
Comparative Example 1
12 g of zinc sulfide used in Example 1 was put into a 30 mmφ graphite mold and filled in a hot press machine. The inside of the mold was depressurized to 130 Pa, held for 10 minutes, and released to normal pressure with argon. This operation was performed three times, the pressure was released with argon gas, and the temperature was raised to 900 ° C. over 1 hour. After raising the temperature, the pressure was released, and the mixture was cooled to room temperature in 2 hours. The molded body was removed from the mold to obtain a molded body of 30 mmφ. The crystallite size of the obtained molded body was 286 mm.

比較例2
実施例2の銅1000ppmを含有する硫化亜鉛を用いた以外は比較例1と同様に行った。得られた成型体の結晶子サイズは406Åであった。
Comparative Example 2
The same operation as in Comparative Example 1 was performed except that zinc sulfide containing 1000 ppm of copper in Example 2 was used. The crystallite size of the obtained molded body was 406 mm.

Claims (9)

結晶子サイズが250Å以下で、相対密度が0.85以上のII−VI族化合物半導体成型体。 A II-VI group compound semiconductor molded body having a crystallite size of 250 mm or less and a relative density of 0.85 or more. 該II−VI族化合物半導体が、硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物である請求項1記載の成型体。 The molded article according to claim 1, wherein the II-VI group compound semiconductor is zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and other metal sulfides. (A)凸状の突起を有する台座と、(B)凸状の突起に嵌着されて試料装填部を形成する台座補助具と、(C)衝撃受部材とを含み、(A)台座、(B)台座補助具および(C)衝撃受部材は着脱自在に構成された衝撃ターゲットカプセルに試料を装填し、衝撃波を用いて成型することを特徴とするII−VI族化合物半導体成型体の製造方法。 (A) a pedestal having a convex protrusion; (B) a pedestal auxiliary tool that is fitted to the convex protrusion to form a sample loading portion; and (C) an impact receiving member. (B) A pedestal auxiliary tool and (C) an impact receiving member are loaded with a sample in a detachable impact target capsule and molded using a shock wave, thereby producing a II-VI compound semiconductor molded body Method. さらに、衝撃緩衝部材を設けた衝撃ターゲットカプセルを使用する請求項3記載の方法。 4. The method according to claim 3, further comprising using an impact target capsule provided with an impact buffering member. 該衝撃緩衝部材が、衝撃を与えるときに発生する圧力を開放するための圧力開放口および/または圧力開放溝を備えた衝撃ターゲットカプセルである請求項4記載の方法。 The method according to claim 4, wherein the impact buffering member is an impact target capsule having a pressure release port and / or a pressure release groove for releasing a pressure generated when an impact is applied. 該衝撃波が15GPa以上である請求項3〜5のいずれかに記載の方法。 The method according to claim 3, wherein the shock wave is 15 GPa or more. 該II−VI族化合物半導体が、硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物である請求項3〜6のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of claims 3 to 6, wherein the II-VI compound semiconductor is zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and another metal sulfide. 試料装填部を有する衝撃ターゲットカプセルを用意し、II−VI族化合物半導体を該試料装填部に装填し、該衝撃ターゲットカプセルに15GPa以上の衝撃波を与えることを特徴とするII−VI族化合物半導体成型体の製造方法。 II-VI group compound semiconductor molding characterized in that an impact target capsule having a sample loading section is prepared, II-VI group compound semiconductor is loaded into the sample loading section, and a shock wave of 15 GPa or more is applied to the impact target capsule Body manufacturing method. 該II−VI族化合物半導体が、硫化亜鉛または硫化亜鉛と他の金属硫化物の混合物である請求項8に記載の方法。 9. The method of claim 8, wherein the II-VI compound semiconductor is zinc sulfide or a mixture of zinc sulfide and other metal sulfides.
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