JPWO2004040388A1

JPWO2004040388A1 - Worker management system, worker management device, and worker management method

Info

Publication number: JPWO2004040388A1
Application number: JP2004548067A
Authority: JP
Inventors: 賢也岩崎; 西川　浩; 浩西川
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-10-29
Filing date: 2003-10-29
Publication date: 2006-03-02
Also published as: CN100440088C; CN1708738A; TW200411512A; AU2003280595A1; WO2004040388A1; TWI311288B

Abstract

作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた工場１００と，各作業エリア１１２等とそこで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報データベース２２０と，各作業エリアに設けられた作業者検出センサ１３０とを設け，作業者検出手段からの出力に基づいて作業者がどの作業エリアにいるかを特定し，作業特定情報データベースの作業特定情報に基づいて，特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する。こうして特定された現在作業に基づいてその作業者に対し，現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断し，判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す。これにより，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，各作業者を適材適所に配置させて各作業者の作業効率を高めることができる。A factory 100 divided into a plurality of work areas according to work contents, a work specification information database 220 for storing work specification information in which each work area 112 and the work contents performed there are associated, and provided in each work area. The worker detection sensor 130 is provided to identify which work area the worker is in based on the output from the worker detection means, and based on the work identification information in the work identification information database, The work currently performed by the worker is identified from the work area. Based on the current work thus identified, it is determined whether the worker is to continue the current work or to perform a new work, and according to the determination result, the worker is instructed to perform the work. put out. As a result, it is possible to easily identify the work currently being performed by the worker, to allocate new work, to redistribute work, and to place each worker at the right place in the right place to increase the work efficiency of each worker.

Description

本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に関する。 The present invention relates to a worker management system, a worker management device, and a worker management method.

例えば半導体製造工場などの作業場では，半導体製造装置等が設置されたクリーンルームの装置室を含め，様々なエリアで様々な作業が発生する。例えばクリーンルームでは装置室外では半導体装置の生産のための入力作業，装置室内では半導体製造装置のトラブル対応作業，またクリーンルーム外でも例えば保管庫の部品管理作業などが発生する。これら作業によっては，その作業を行うのに必要なスキル（技能）も異なるため，様々なスキル（技能）を有する作業者が必要となる場合も多い。
ところが，このような様々なスキルを有する作業者を管理するのは容易ではなく，作業の分配効率が悪いと作業者一人あたりの作業効率も低下する。従って，いかに作業者を適材適所に配置して各作業者の作業効率を高めるかが課題となる。そのためには，必要なタイミングで，その作業に最も適した作業者を選択して指示を出すのが理想的であるが，実際には困難がある。
例えば，作業者が作業を行っている間に別の新たな作業が発生した場合には，その作業者に新たな作業を行う指示を出すことはできない。この場合，作業者の現在行っている作業を把握できなければ，その現在の作業を中断させて新たな作業を行ってよいかの判断もできない。また，代りの作業者を探して新たな作業を行わせればよいとも考えられる。ところが，新たな作業によってはそれを行うのに必要なスキル（技能）を有する作業者の手が空いているとは限らない。従って，先ず作業者が現在行っている作業を特定する必要がある。
しかしながら，半導体製造工場などでは上述したように作業の種類が多く，各作業者が行っている作業を特定することは極めて困難である。作業の特定を行うために，例えば特開平８−１０７０９６に示すようにパスワードによって作業の種類ごとにオペレーションパネルの画面に入力できる者を予め決めておくようにすれば，作業者がどのような作業を行っているかをパスワードによってある程度特定できる。オペレータはオペレータ用画面の入力だけを行うことができ，エンジニアはパスワードによりエンジニア用画面の入力も可能となる。
ところが，このような技術では，オペレータ，エンジニアといった作業者の種類（作業者分類）がわかるだけで，特定の作業者がどのような作業を行っているかを検出することはできない。この点，予め作業者ごとにＩＤを決めておき，作業者ＩＤを入力してからオペレーションパネルの画面を操作するようにしておけば，そのＩＤを有する作業者がどのような作業を行っているかを検出することができるとも考えられる。ところが，このような作業者ＩＤによる入力では，画面入力などの操作を行わない作業については作業の特定ができないという問題がある。
一方，作業者が作業を行う度に作業内容をオペレーションパネルの画面などに入力させて記録をとっておくようにすれば各作業者の作業を特定することもできる。ところが，すべての作業者が作業を行う度に作業内容を入力するのは煩わしく，却って作業効率が落ちるおそれもある。特に火災やトラブルなどの緊急時においては作業者はできる限り早くトラブル対応作業などに取りかかる必要があるため，作業者管理のために作業内容を入力させるのは適切ではない。
ところで，半導体製造工場などでは，クリーンルーム内外，装置室内外などの作業エリアが多数あり，その作業エリアによって作業がある程度特定できると考えられる。従って，本出願人は，作業者が居るエリアを特定できればその作業者の作業が特定できるとの考えに至った。本発明は，このような半導体製造工場など作業エリアによってある程度作業が特定できるような分野の特質に鑑みてなされたものである。
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所に指示することができ，各作業者の作業効率を高めることができる作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法を提供することにある。For example, in a workplace such as a semiconductor manufacturing factory, various operations occur in various areas including a device room of a clean room in which semiconductor manufacturing apparatuses and the like are installed. For example, in a clean room, an input operation for the production of a semiconductor device occurs outside the device room, a trouble handling operation for a semiconductor manufacturing device occurs in the device room, and, for example, a parts management operation in a storage room occurs outside the clean room. Depending on these tasks, the skills (skills) required to perform the tasks are different, and thus workers with various skills (skills) are often required.
However, it is not easy to manage workers having such various skills, and if work distribution efficiency is poor, the work efficiency per worker is also reduced. Therefore, how to increase the work efficiency of each worker by arranging the worker in the right place for the right subject becomes a problem. For this purpose, it is ideal to select and give an instruction to the worker most suitable for the work at the necessary timing, but it is actually difficult.
For example, if another new work occurs while the worker is working, the worker cannot be instructed to perform the new work. In this case, unless the worker can grasp the current work, it is impossible to determine whether the current work can be interrupted and a new work can be performed. It may also be possible to search for an alternative worker and perform a new work. However, depending on the new work, a worker who has the skills (skills) necessary to perform the work is not always free. Therefore, it is first necessary to identify the work that the worker is currently performing.
However, in semiconductor manufacturing factories and the like, as described above, there are many types of work, and it is extremely difficult to specify the work performed by each worker. In order to specify the work, for example, as shown in Japanese Patent Laid-Open No. Hei 8-107096, if a person who can input to the screen of the operation panel is predetermined for each work type by a password, what kind of work the worker can do Can be specified to some extent by the password. The operator can only input the operator screen, and the engineer can also input the engineer screen with a password.
However, with such a technique, it is not possible to detect what kind of work a specific worker is doing only by knowing the type of worker (operator classification) such as an operator or an engineer. In this regard, if an ID is determined for each worker in advance and the operator ID is input and then the operation panel screen is operated, what kind of work is being performed by the worker having that ID? It is thought that can be detected. However, such input by the worker ID has a problem that it is not possible to specify the work for work that does not perform operations such as screen input.
On the other hand, the work of each worker can be specified by inputting the work content on the screen of the operation panel and recording it every time the worker performs the work. However, it is troublesome for all workers to input the work contents every time they work, and there is a risk that the work efficiency may be reduced. In particular, in an emergency such as a fire or trouble, it is necessary for workers to start working on troubles as soon as possible.
By the way, in a semiconductor manufacturing factory or the like, there are a large number of work areas such as inside and outside a clean room and outside the equipment room, and the work can be specified to some extent by the work areas. Therefore, the present applicant has come to the idea that if the area where the worker is located can be identified, the work of the worker can be identified. The present invention has been made in view of the characteristics of a field where a work can be specified to some extent by a work area such as a semiconductor manufacturing factory.
Therefore, the present invention has been made in view of such problems, and the object of the present invention is to facilitate the identification of work currently performed by the worker, the allocation of new work, the reallocation of work, etc. It is an object of the present invention to provide an operator management system, an operator management device, and an operator management method capable of instructing an operator to an appropriate place in an appropriate position and improving the work efficiency of each worker.

上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。また，作業者が作業を行うごとに作業内容を入力する手間も省けるため，作業者の作業効率が向上する。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。
これによれば，新作業を行うことができる者として抽出された作業者に，さらにその新作業に最も適する作業者分類（例えばエンジニア，オペレータ，定期作業者など）の優先度を高くするように優先順位をつけて，優先順位の高い作業者から現在作業と新作業との優先度も比較しつつ，新作業を行う作業者を決定することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。
これによれば，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合に，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，その場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
上記課題を解決するために，本発明の第２の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，上記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，上記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合に，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
上記課題を解決するために，本発明の第３の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と，前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，前記作業者抽出工程により抽出された各作業者について，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与工程とを有し，前記作業者特定工程は，前記作業者抽出工程で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与工程によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と，前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配工程は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段における作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程とを有するようにしてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と，前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，上記作業報告書作成工程は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成工程は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
なお，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定するようにしてもよい。これにより，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。
また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定するようにしてもよい。これによっても，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。
また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報（装置に対する作業情報であり，本明細書では「装置情報」ともいう）を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定するようにしてもよい。これによれば，作業者がいる作業エリア情報からある程度の作業内容（例えばトラブル対応処理，通常オペレーション作業などの作業分類）が検出でき，作業情報からさらに細かな作業内容（例えばトラブル対応処理の中でも，電気系トラブル対応処理，機械系トラブル対応処理）を検出できる。In order to solve the above problems, according to a first aspect of the present invention, a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, each work area of the work place, and work performed in each work area. Work identification information storage means for storing work identification information associated with the contents, worker detection means provided in each work area, and in which work area the worker is based on the output from the worker detection means The worker's current work from the worker's work area specified by the worker position specifying means based on the work specifying information stored in the work specifying information storage means. Current work specifying means for identifying the current work, and determining whether to allow the worker to continue the current work or to perform a new work based on the current work specified by the current work specifying means A determining means that the operator management system characterized by comprising an instruction unit for issuing an instruction of the work performed on the operator in accordance with a determination result in said determination means.
According to such a worker management system of the present invention, it is possible to detect an area (place) where the worker is present and easily detect a work currently being performed by the worker from work associated with the area. it can. For this reason, for example, when a new work is generated, the new work can be easily distributed and the work can be redistributed, so that the worker can work in the right place and the work efficiency of each worker can be improved. In addition, since the labor of inputting work contents every time the worker performs work can be saved, the work efficiency of the worker is improved.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, a work area divided into a plurality of work areas according to work contents is associated with each work area and the work contents performed in each work area. The work identification information storage means for storing the work identification information, the worker detection means provided in each work area, and the work area in which the worker is located based on the output from the worker detection means The worker's current work is specified from the worker's work area specified by the worker position specifying means based on the worker position specifying means and the work specifying information stored in the work specifying information storage means. Current work identification means, worker skill information storage means for storing worker skill information that associates each worker with the work that can be performed by each worker, and stores work priority information Work priority information storage means, new work detection means for detecting that a new work has occurred, and when the new work detection means detects a new work, based on the worker skill information in the worker skill information storage means The worker extraction means for extracting the worker who can perform the new work, the current work of the worker extracted by the worker extraction means is specified by the current work specifying means, and the work priority information storage Based on the work priority information of the means, the priority order of the current work and the priority order of the new work are acquired and compared, and an operator having a higher priority of the new work than the current work is assigned to the new work. An operator specifying means for performing an operator specifying process for specifying as an operator, and an instruction means for instructing the worker specified by the worker specifying means to perform the work of the new work Worker management system characterized the door is provided.
According to such a worker management system of the present invention, the priorities of the detected current work and new work are compared, and if the new work has a higher priority, the new work is performed on that worker. Give instructions. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not the worker is to perform a new work according to the priority with the current work. The work can be processed as quickly as possible. Thereby, the operator can be instructed to the right person in the right place, and the work distribution can be optimized.
The worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and stores work skill information in which each work and a worker class having a skill capable of performing each work are associated with each other. For each worker extracted by the skill information storage means and the worker extraction means, the worker classification obtained by the worker skill information storage means is acquired, and based on the work skill information of the work skill information storage means And providing priority ranking means for prioritizing the workers so that the priorities of the workers having the same worker classification are respectively obtained are increased. The specifying means includes the worker characteristics in order from the worker with the highest priority of the workers assigned by the priority assignment means among the workers extracted by the worker extraction means. Processing may be performed.
According to this, the priority of the worker classification (for example, engineer, operator, regular worker, etc.) most suitable for the new work is given to the worker extracted as a person who can perform the new work. By assigning priorities and comparing the priorities of the current work and the new work from the workers with higher priorities, it is possible to determine the worker who will perform the new work. As a result, the worker most suitable for the new work can be found earlier, and the worker can be instructed to the right person in the right place.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, each work area of the work place, and work contents performed in each work area. The work specification information storage means for storing the work specification information associated with each other, the worker detection means provided in each work area, and in which work area the worker is based on the output from the worker detection means The worker position specifying means for specifying the work position and the work currently being performed by the worker from the work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means. Current work specifying means to be identified; work priority information storage means for storing work priority information; new work detection means for detecting that a new work has occurred; and When detected, the current work specifying means identifies the current work of all workers, and assigns work priorities to all the work including the new work in the current work by the work priority information in the work priority information storage means. And a work redistribution means for reassigning all work to all workers from a high priority work, and an instruction means for instructing all workers to work assigned by the work redistribution means. An operator management system characterized by the above is provided.
According to such a worker management system of the present invention, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. More appropriate workers can be assigned to all work including new work. As a result, the operator can be instructed to the right person in the right place, and the work distribution can be made more efficient and the work can be made more efficient.
The work redistribution means is a worker skill information storage for storing worker skill information that associates each worker with a work that can be performed by the worker, starting with a work with a high priority of work and performing a new work. Means for extracting the worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means, and the worker extraction means extracted by the worker extraction means. The current work is specified by the current work specifying means, and based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority of the current work and the priority of the new work are acquired and compared, and the current work Alternatively, worker specifying means for performing worker specifying processing for specifying a worker having a higher priority for the new work as a worker of the new work may be provided.
According to this, when redistributing all work including new work, the workers are determined in descending order of the priority of the work, so that the work can be determined earlier for the important work. Also, when redistributing all work including new work, the priority of the detected current work and new work is compared, and if the new work has a higher priority, the new work is given to that worker. Can be instructed to do. As a result, it is possible to select the most suitable worker for important work with higher priority, so that the worker can be instructed to the right person in the right place, and work distribution can be optimized and work efficiency can be improved. it can.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, each work area of the work place, and work contents performed in each work area. The work specification information storage means for storing the work specification information associated with each other, the worker detection means provided in each work area, and in which work area the worker is based on the output from the worker detection means The worker position specifying means for specifying the work position and the work currently being performed by the worker from the work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means. Current work specifying means for specifying, work information storage means for specifying the current work of all workers by the current work specifying means for each predetermined time, and storing the current work for every worker; What is claimed is: 1. An operator management system comprising: a work report creating means for creating a work report including work details performed by a desired worker every predetermined time based on work information stored in a work information storage means Provided.
According to such a worker management system of the present invention, work reports such as daily work reports and work monthly reports can be easily created. In addition, it automatically detects the work of the worker and creates the work information that is the basis of the worker report. This saves the labor of inputting from a portable information terminal each time the worker performs the work. Work efficiency is improved. Moreover, since it is not necessary to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created.
The work report creation means also stores a work unit price when each work is performed for each work, and the work report creation means includes a work unit price of the work and a total amount of the work unit price. A work report may be created. Further, the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory as the work place. According to this, when, for example, a fee for work performed by a dispatched worker is charged to the dispatched company, the work unit price and total amount of each work are also printed on the work report, and the total amount is used according to the work content. It is also possible to charge a fee.
In order to solve the above problems, according to a second aspect of the present invention, there is provided a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Based on the output from the work specification information storage means for storing the work specification information in which each work area of the work place and the work content performed in each work area are associated, and the worker detection means provided in each work area Based on the work specifying information in the work specifying information storage means, the worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, from the work area of the worker specified by the worker position specifying means A current work specifying means for specifying the work currently being performed by the worker, and causing the worker to continue the current work based on the current work specified by the current work specifying means, or An operator management apparatus comprising: a determination unit that determines whether or not to perform a specific work; and an instruction unit that issues an operation execution instruction to the worker according to a determination result of the determination unit Is provided.
According to such a worker management device of the present invention, it is possible to detect an area (location) where the worker is present and easily detect the work currently being performed by the worker from the work associated with the area. it can. For this reason, for example, when a new work is generated, the new work can be easily distributed and the work can be redistributed, so that the worker can work in the right place and the work efficiency of each worker can be improved.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management device that manages workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Work identification information storage means for storing work identification information associating each work area with the work content performed in each work area, and the worker based on the output from the worker detection means provided in each work area Based on the work specifying information in the work specifying information storage means, the worker position specifying means for specifying which work area is in the work area and the worker's work area specified by the worker position specifying means Current skill identification means for identifying the current work, and worker skill information storage means for storing worker skill information that associates each worker with the work that can be performed by each worker. A work priority information storage means for storing work priority information; a new work detection means for detecting that a new work has occurred; and when the new work detection means detects a new work, the worker skill information storage means Based on the worker skill information of the means, a worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work, and a current work of the worker extracted by the worker extraction means by the current work specifying means Identifying and comparing the priority of the current work and the priority of the new work based on the work priority information of the work priority information storage means, and comparing the priority of the new work over the current work. A worker specifying means for performing a worker specifying process for specifying a worker having a high workability as a worker for the new work, and a command for performing the new work on the worker specified by the worker specifying means. Worker management apparatus characterized by comprising an indication means for issuing a is provided.
According to such a worker management device of the present invention, the priorities of the detected current work and new work are compared, and if the new work has a higher priority, the new work is performed on the worker. Give instructions. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not the worker is to perform a new work according to the priority with the current work. The work can be processed as quickly as possible. Thereby, the operator can be instructed to the right person in the right place, and the work distribution can be optimized.
The worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and stores work skill information in which each work and a worker class having a skill capable of performing each work are associated with each other. For each worker extracted by the skill information storage means and the worker extraction means, the worker classification obtained by the worker skill information storage means is acquired, and based on the work skill information of the work skill information storage means And providing priority ranking means for prioritizing the workers so that the priorities of the workers having the same worker classification are respectively obtained are increased. The specifying means includes the worker characteristics in order from the worker with the highest priority of the workers assigned by the priority assignment means among the workers extracted by the worker extraction means. Processing may be performed. According to this, the worker most suitable for the new work can be found out earlier, and the worker can be instructed to the right person in the right place.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management device that manages workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Based on the output from the work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and the work content performed in each work area are associated, and the output from the worker detecting means provided in each work area Based on the work specifying information in the work specifying information storage means, the worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, and the work from the work area of the worker specified by the worker position specifying means A current work identification means for identifying the work currently being performed by the user, a work priority information storage means for storing priority information of the work, a new work detection means for detecting that a new work has occurred, When the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means specifies the current work of all workers, and all the work including the new work in the current work is stored in the work priority information storage means. Work priority is assigned according to priority information, work redistribution means for reassigning all work to all workers from high priority work, and work assigned by the work redistribution means to all workers. There is provided an operator management device comprising an instruction means for instructing.
According to such a worker management device of the present invention, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. More appropriate workers can be assigned to all work including new work. As a result, the operator can be instructed to the right person in the right place, and the work distribution can be made more efficient and the work can be made more efficient.
The work redistribution means is a worker skill information storage for storing worker skill information that associates each worker with a work that can be performed by the worker, starting with a work with a high priority of work and performing a new work. Means for extracting the worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means, and the worker extraction means extracted by the worker extraction means. The current work is specified by the current work specifying means, and based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority of the current work and the priority of the new work are acquired and compared, and the current work Alternatively, worker specifying means for performing worker specifying processing for specifying a worker having a higher priority for the new work as a worker of the new work may be provided. According to this, since it is possible to select the most suitable worker for important work with higher priority, it is possible to instruct the worker to the right person in the right place, and to optimize work distribution and work efficiency. be able to.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management device that manages workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, Based on the output from the work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and the work content performed in each work area are associated, and the output from the worker detecting means provided in each work area Based on the work specifying information in the work specifying information storage means, the worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, and the work from the work area of the worker specified by the worker position specifying means Current work specifying means for specifying the work currently being performed by the worker, and for every predetermined time, the current work specifying means specifies the current work of all workers and stores the current work for every worker. Work information storage means and work report creation means for creating a work report including work details performed every predetermined time by a desired worker based on the work information stored in the work information storage means An operator management apparatus is provided.
According to the worker management apparatus of the present invention, work reports such as daily work reports and work monthly reports can be easily created. In addition, it automatically detects the work of the worker and creates the work information that is the basis of the worker report. This saves the labor of inputting from a portable information terminal each time the worker performs the work. Work efficiency is improved. Moreover, since it is not necessary to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created.
The work report creation means also stores a work unit price when each work is performed for each work, and the work report creation means includes the work unit price of the work and the total amount of the work unit price. A work report may be created. The work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory as the work place. According to this, when, for example, a fee for work performed by a dispatched worker is charged to the dispatched company, the work unit price and total amount of each work are also printed on the work report, and the total amount is used according to the work content. It is also possible to charge a fee.
In order to solve the above problems, according to a third aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, A worker position identifying step for identifying which work area the worker is in based on an output from the worker detection means provided in each work area; and each work area of the work place and each work area. Based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information associated with the work content to be displayed, the work currently being performed by the worker from the work area of the worker specified in the worker position specifying step A current work identification process for identifying the current work, and whether to allow the worker to continue the current work or to perform a new work based on the current work identified in the current work identification process. A determining step of the cross-sectional, worker management method characterized in that it comprises an indication step of issuing an instruction of the work performed on the operator in accordance with a determination result in said determination step is provided.
According to such a worker management method of the present invention, it is possible to detect an area (place) where the worker is present and easily detect the work currently being performed by the worker from the work associated with the area. it can. For this reason, for example, when a new work is generated, the new work can be easily distributed and the work can be redistributed, so that the worker can work in the right place and the work efficiency of each worker can be improved.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing a worker who performs work in a work place divided into a plurality of work areas according to work contents, A worker position identifying step for identifying which work area the worker is in based on the output from the worker detection means provided in each work area, and the work contents performed in each work area and each work area Based on the work specifying information stored in the work specifying information storage means for storing the work specifying information associated with the work position, the work currently being performed by the worker is specified from the work area of the worker specified in the worker position specifying step. If the current work identification process, a new work detection process for detecting that a new work has occurred, and the new work detection process detects a new work, each worker and each of the workers can perform A worker extraction step for extracting a worker who can perform the new work based on worker skill information in the worker skill information storage means for storing worker skill information associated with a work, and the worker extraction Based on the work priority information in the work priority information storage means for identifying the current work of the worker extracted in the process by the current work specifying process and storing the work priority information, the priority order of the current work and the new work A worker identification step of performing worker identification processing for identifying a worker having a higher priority of the new work than the current work as a worker of the new work; There is provided an operator management method comprising: an instruction step for instructing an operator specified in the operator specifying step to perform the work of the new operation.
According to such a worker management method of the present invention, the priorities of the detected current work and new work are compared, and if the new work has a higher priority, the new work is performed on that worker. Give instructions. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not the worker is to perform a new work according to the priority with the current work. The work can be processed as quickly as possible. Thereby, the operator can be instructed to the right person in the right place, and the work distribution can be optimized.
The worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and for each worker extracted by the worker extraction step, each work and a skill capable of performing each work are stored. The worker classification obtained by the worker skill information storage means for storing the work skill information associated with the worker classification possessed is acquired, and the worker of the new work is based on the work skill information of the work skill information storage means. A prioritizing step for obtaining priorities of workers so that the priorities of workers having the same worker classification are respectively higher. The worker specifying step includes: Among the workers extracted in the worker extraction step, the worker specifying process may be performed in order from the worker with the highest priority of the worker assigned in the priority order assigning step. There. According to this, the worker most suitable for the new work can be found out earlier, and the worker can be instructed to the right person in the right place.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing a worker who performs work in a work place divided into a plurality of work areas according to work contents, It is performed in the worker position specifying step for specifying which work area the worker is in based on the output from the worker detection means provided in each work area, and in each work area of the work place and each work area. Based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information associated with the work content, the work currently being performed by the worker from the work area of the worker specified in the worker position specifying step is determined. A current work identification process to be identified, a new work detection process for detecting that a new work has occurred, and a new work detection process that detects a new work, The work priorities of the work priority information storage means for storing the work priority information are assigned to all the work including the new work in the current work, and the priority of the work is assigned to the current work. A work redistribution process for reassigning all work to all workers from a high work, and an instruction process for instructing all workers to work assigned by the work redistribution process Person management method is provided.
According to such a worker management method of the present invention, when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and the new work including the new work are redistributed. More appropriate workers can be assigned to all work including new work. As a result, the operator can be instructed to the right person in the right place, and the work distribution can be made more efficient and the work can be made more efficient.
In the work redistribution step, a worker skill information storage for storing worker skill information in which each worker and a work that can be performed by the worker are associated with each other from a work having a high work priority to a new work. Based on the worker skill information in the means, a worker extraction step for extracting a worker who can perform the new work, and a current work of the worker extracted in the worker extraction step by the current work specifying step Identifying and comparing the priority of the current work and the priority of the new work based on the work priority information of the work priority information storage means, and comparing the priority of the new work over the current work. And a worker specifying step for performing a worker specifying process for specifying a worker having a high value as a worker of the new work. According to this, since it is possible to select the most suitable worker for important work with higher priority, it is possible to instruct the worker to the right person in the right place, and to optimize work distribution and work efficiency. be able to.
In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a worker management method for managing a worker who performs work in a work place divided into a plurality of work areas according to work contents, It is performed in the worker position specifying step for specifying which work area the worker is in based on the output from the worker detection means provided in each work area, and in each work area of the work place and each work area. Based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information associated with the work content, the work currently being performed by the worker from the work area of the worker specified in the worker position specifying step is determined. A current work identification process to identify, a work information storage process for identifying the current work of all workers by the current work identification process at a predetermined time, and storing the current work for each worker; A work report creating step for creating a work report including work details performed by a desired worker every predetermined time based on work information stored in the work information storing step. A management method is provided.
According to the worker management method of the present invention, work reports such as daily work reports and work monthly reports can be easily created. In addition, it automatically detects the work of the worker and creates the work information that is the basis of the worker report. This saves the labor of inputting from a portable information terminal each time the worker performs the work. Work efficiency is improved. Moreover, since it is not necessary to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created.
In addition, the work report creation process also stores the work unit price when each work is performed for each work, and the work report creation process includes the work unit price of the work and the total amount of the work unit price. A work report may be created. Further, the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory as the work place. According to this, when, for example, a fee for work performed by a dispatched worker is charged to the dispatched company, the work unit price and total amount of each work are also printed on the work report, and the total amount is used according to the work content. It is also possible to charge a fee.
Note that the worker detection means in the worker management system, worker device, and worker method is provided with a receiver that receives electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker, and the transmitter is provided for each worker. The operator position specifying means is set to transmit electromagnetic waves having different frequencies, and the worker detecting means that has received the electromagnetic waves having the frequency of the worker to be detected in the work area is detected. The provided work area may be specified as the work area where the worker is located. Thereby, it is possible to easily detect in which work area a specific worker is located, and it is possible to easily detect the work currently being performed by the worker from the work area information.
Further, the worker detection means in the worker management system, worker device, and worker method is provided with a receiver that receives electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker, and the transmitter is provided for each worker. The electromagnetic wave carrying the identification information for identifying the worker is set to be transmitted, and the worker position specifying means acquires the worker identification information from the worker detection means, and the work to be the target of the work area detection. The worker detection means that has received the worker's identification information may be found and the work area provided with the worker detection means may be specified as the work area where the worker is located. This also makes it possible to easily detect in which work area a specific worker is located, and it is possible to easily detect the work currently being performed by the worker from the work area information.
In addition, work information acquisition means for acquiring work information of the worker from a work device provided in a work area in the worker management system, the worker device, and the worker method is provided, and the current work identification means is the worker In addition to the work area information specified as the work area in which the work is present, the work information from the work information acquisition means is the work information from the work device on which the worker is working (work information for the device. Information ”), and the current work of the worker may be specified based on the area information and work information. According to this, a certain amount of work contents (for example, work classification such as trouble handling processing and normal operation work) can be detected from the work area information where the worker is present, and even more detailed work contents (for example, trouble handling processing). , Electrical trouble handling processing, mechanical trouble handling processing).

図１は本発明の第１実施形態にかかる作業者管理システムの全体構成を示すブロック図である。
図２は同実施形態におけるクリーンルームの装置室内での作用を説明する図である。
図３は同実施形態にかかる作業者管理装置の構成を示すブロック図である。
図４は図３に示す各種データベースの例を示すブロック図である。
図５は同実施形態にかかる作業特定情報データベースの１例を示す図である。
図６は同実施形態にかかる作業優先度情報データベースの１例を示す図である。
図７は同実施形態にかかる作業スキル情報データベースの１例を示す図である。
図８は同実施形態にかかる作業者スキル情報データベースの１例を示す図である。
図９は同実施形態にかかるエラーコード情報データベースの１例を示す図である。
図１０は同実施形態にかかる検査結果情報データベースの１例を示す図である。
図１１は同実施形態にかかる新作業配分処理メインルーチンを示す流れ図である。
図１２は同実施形態にかかる作業者優先順位付与処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１３は同実施形態にかかる作業者決定処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１４は同実施形態にかかる作業者の作業検出処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１５は本発明の第２実施形態にかかる新作業配分処理メインルーチンを示す流れ図である。
図１６は同実施形態にかかる全作業の再配分処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１７は本発明の第３実施形態にかかる作業データベース作成処理を示す流れ図である。
図１８は同実施形態にかかる作業日報作成処理を示す流れ図である。
図１９は同実施形態で作成される作業日報の１例を示す図。
図２０は作業者管理システムの変形例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of the worker management system according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view for explaining the operation of the clean room in the apparatus room in the embodiment.
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the worker management apparatus according to the embodiment.
FIG. 4 is a block diagram showing an example of various databases shown in FIG.
FIG. 5 is a diagram showing an example of the work specifying information database according to the embodiment.
FIG. 6 is a diagram showing an example of a work priority information database according to the embodiment.
FIG. 7 is a diagram showing an example of a work skill information database according to the embodiment.
FIG. 8 is a diagram showing an example of an operator skill information database according to the embodiment.
FIG. 9 is a diagram showing an example of an error code information database according to the embodiment.
FIG. 10 is a diagram showing an example of an inspection result information database according to the embodiment.
FIG. 11 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the embodiment.
FIG. 12 is a flowchart showing an operator priority assignment processing subroutine according to the embodiment.
FIG. 13 is a flowchart showing an operator determination processing subroutine according to the embodiment.
FIG. 14 is a flowchart showing a worker detection processing subroutine according to the embodiment.
FIG. 15 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 16 is a flowchart showing a redistribution processing subroutine for all work according to the embodiment.
FIG. 17 is a flowchart showing work database creation processing according to the third embodiment of the present invention.
FIG. 18 is a flowchart showing daily work report creation processing according to the embodiment.
FIG. 19 is a diagram showing an example of a daily work report created in the embodiment.
FIG. 20 is a block diagram showing a modification of the worker management system.

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
（第１実施形態）
先ず，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第１実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は，作業場の１例としての半導体製造工場における作業者管理システムの全体構成を示す図で，１００は半導体製造工場であり，工場１００内の間取りの１例を示したものである。２００は作業者管理装置である。
半導体製造工場１００は，図１に示すように，例えば主として工場内のクリーンルームエリア１１０とクリーンルーム以外のエリア１２０（以下，「クリーンルーム外エリア」と称する）に分けられる。
さらに，クリーンルームエリア１１０は，例えば複数の装置室エリア１１２と装置室以外のエリア１１４（以下，「装置室外エリア」と称する）に分けられる。装置室エリア１１２には，プロセス装置，計測装置等の半導体製造装置１４０が配設されている。プロセス装置としては，例えばエッチング装置，ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長法）装置，コータデベロッパ，洗浄装置，ＣＭＰ（ＣｈｅｍｉｃａｌＭｅｃｈａｎｉｃａｌＰｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）装置，ＰＶＤ（ＰｈｙｓｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理気相成長法）装置，露光装置，イオンインプランタなどがある。計測装置としては，例えば膜厚装置，ＯＤＰ（ＯｐｔｉｃａｌＤｉｇｉｔａｌＰｒｏｆｉｌｅｒ），ＦＴＩＲなどがある。なお，装置室エリア１１２には各装置室エリア１１２ごとに異なる種類の半導体製造装置１４０を配設してもよく，同じ装置室エリア１１２に複数種類の半導体製造装置１４０を配設してもよい。
上記装置室エリア１１２には，メンテナンスや定期点検などの作業を行う場合に装置室エリア１１２内の各半導体製造装置１４０を室内から制御等する室内制御部１１６を設け，この室内制御部１１６によりその装置室内の半導体製造装置１４０を制御する。装置室の外側から半導体製造装置１４０の制御等を行う室外制御部１１８を設けてもよい。また半導体製造装置１４０の制御部は各半導体製造装置１４０自体に設けて，その制御部からその半導体製造装置１４０を制御等するようにしてもよい。上記室内制御部１１６，室外制御部１１８，その他の制御部は，例えば操作パネルで構成する。これら各制御部１１６，１１８及び半導体製造装置１４０は作業者管理装置２００の入出力部２０８と通信回線等により電気的に接続しており，アクセス情報，装置の状態情報などの装置情報（装置に対する作業情報）の送受信ができるようになっている。上記各制御部により半導体製造装置などを制御する場合には，その作業に応じて制御部から作業者のＩＤ，パスワードを入力してアクセスする。これによりどの作業者が制御しているのかを特定できるようにする。
装置室外エリア１１４は，ここでは上記室外制御部１１８を設置するエリアを示す。なお，装置室外エリア１１４は必ずしも室外制御部１１８の設置エリアに限られず，装置室エリア１１２間に形成される通路などを含めてもよい。
クリーンルーム外エリア１２０は，クリーンルーム以外の工場内エリアを示す。例えば中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９（トイレなどを含んでいてもよい）などがある。
上記クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２，装置室外エリア１１４，クリーンルーム外エリア１２０における中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９の各エリアには，作業者を検出する作業者検出手段としての作業者検出センサ１３０が設けられている。作業者検出センサ１３０は作業者管理装置２００の入出力部２０８と通信ケーブル等により電気的に接続しており，作業者検出センサ１３０からのセンサ情報の送受信ができるようになっている。
上記作業者検出センサ１３０は，例えば各作業者が携帯する送信機の電磁波（又は電波）を受信するセンサで構成する。作業者検出センサ１３０は，例えば各エリアの天井や壁などに取付ける。
図２に作業者検出センサ１３０として例えば受信機１３４をクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２に設置した例を示す。受信機１３４は装置室エリア１１２の区画となる装置室１３２の天井に取り付ける。一方，作業者１３６は送信機１３８を常に携帯しながら半導体製造装置１４０などの作業を行う。作業者１３６が半導体製造装置１４０の例えばメンテナンス作業を行うべく，装置室１３２に入ると，天井に設けられた受信機１３４が作業者が携帯する送信機１３８からの電磁波を受信する。これにより，作業者１３６が装置室エリア１１２にいることを検出することができる。
この場合，上記送信機１３８は，作業者ごとに異なる周波数（無線周波数）の電磁波を送信させるようにしてもよい。そして各作業者と各作業者の周波数とを関連づけた周波数情報は周波数情報記憶手段の１例としての周波数情報データベースに記憶しておく。この周波数情報データベースは，図３に示す各種データベース２１０に含まれるようにしてもよい。この周波数情報データベースの周波数情報に基づいて，作業者検出センサ１３０から受信した電磁波の周波数によってその作業者検出センサ１３０を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。作業者管理装置２００は，各作業者検出センサ１３０からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した作業者検出センサ１３０を見つけ出し，この作業者検出センサ１３０が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。
また，上記送信機１３８は，各作業者を識別する識別情報としてのＩＤのデータを符号化し変調等により電磁波に変換して送信し，受信機１３４は送信機１３８から受信した電磁波を復調等して複合化したＩＤのデータをセンサ情報として作業者管理装置２００に送出するようにしてもよい。このＩＤは図８に示す作業者スキル情報データベース２５０に記憶されている。この作業者スキル情報データベース２５０のＩＤ（識別情報）に基づいて，作業者検出センサ１３０から受信したＩＤ（識別情報）によってその作業者検出センサ１３０を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。これにより，作業者管理装置２００は，各作業者検出センサ１３０からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者のＩＤ（識別情報）を受信した作業者検出センサ１３０を見つけ出し，この作業者検出センサ１３０が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。なお，送信機１３８は携帯電話，後述する携帯型情報端末などで構成してもよい。また，受信機１３４，送信機１３８はともに送受信機としてもよい。この場合の具体例は後述する。
また，作業者のＩＤ（識別情報）は，その作業者の持つ送信機１３８の記憶手段（図示しない）に予め記憶されていてもよく，またバーコード化されたＩＤを読取って送信機１３８の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。具体的には例えば携帯電話や携帯型情報端末などで構成された送信機１３８に赤外線読取手段などのバーコード読取手段を設け，このバーコード読取手段によりバーコード化されたＩＤを読取って送信機１３８の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。
（作業者管理装置）
作業者管理装置２００は，例えば上記作業者検出センサ１３０からのデータを入力し，この作業者検出センサ１３０からのデータに基づいて各作業者がいるエリアを検出する。作業者管理装置２００は，図３に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ），ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）などのメモリを有する制御部２０２，各種情報を表示するディスプレイなどの表示部２０４，各種データを入力するための入力部２０６，上記作業者検出センサ１３０からのデータを入力する入出力部２０８，各種データベース２１０の他，図示はしないがプログラムなどを記憶するハードディスク装置などの記憶手段などを備える。上記制御部２０２のメモリは，ＣＰＵによってアクセスするためのプログラムやデータが格納されるもので例えば必要に応じて上記ハードディスク装置などの記録媒体に記憶したプログラムが読み出されて格納される。
上記各種データベース２１０としては，図４に示すように作業特定情報データベース２２０，作業優先度情報データベース２３０，作業スキル情報（作業技能情報）データベース２４０，作業者スキル（作業者技能情報）情報データベース２５０，トラブル情報（異常情報）データベース２６０などがある。
（作業特定情報データベース）
作業特定情報データベース２２０は，図５に示すようにエリア情報２２２と装置情報（装置に対する作業情報）２２４と作業内容２２６とを関連づけた作業特定情報を記憶している。この作業特定情報は，例えば作業者が行っている作業を特定するときに用いられる。具体的には作業者検出センサ１３０により検出した作業者のいるエリア情報と半導体製造装置１４０のアクセス情報などの作業特定情報とによりその作業者が現在行っている作業（現在作業）を特定する。
エリア情報２２２は，図１に示す工場の各エリアの情報である。本実施の形態では，クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２，装置室外エリア１１４，クリーンルーム外エリア１２０における中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９を各エリアとしている。
装置情報２２４は，例えば上記半導体製造装置１４０の室内制御部１１６，室外制御部１１８などの制御部へのアクセス情報，異常時に発生する半導体製造装置１４０のアラーム，ランプ点灯などの異常報知情報，メンテナンスが必要なときに発生する半導体製造装置１４０のアラーム，ランプ点灯などのメンテナンス報知情報などである。制御部へのアクセス情報としては例えば半導体製造装置１４０のメンテナンスなどの各作業を行うためのアクセスがあったか否かの情報である。作業内容２２６は，各エリアで行われる作業の種類である。
ここで，各エリアごとに判断される作業内容２２６の１例を図５を参照しながら説明する。先ずクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２における作業としては，トラブル対応作業（トラブル対応メンテナンス），定期作業が挙げられる。
上記装置室エリア１１２の作業内容におけるトラブル対応作業は，装置室エリア１１２内の半導体製造装置１４０にトラブルが発生したときにそのトラブルを解消するための作業である。このトラブル対応作業には装置の電気系統に異常があった場合の電気系トラブル対応作業，装置の機械系統に異常があった場合の機械系トラブル対応作業，エッチング処理などのプロセス過程に異常があった場合のプロセス系トラブルなどがある。半導体製造装置１４０のトラブルは，その装置の報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などによりトラブル発生の有無やトラブルの種類がわかるようになっている。
従って，作業者が装置室エリア１１２にいることが判断されたときに，さらに作業特定情報によってトラブルが発生していれば，その作業者がトラブル対処作業を行っていることを判断できる。このとき，作業特定情報のトラブルの種類（例えば電気系，機械系，プロセス系など）によってより詳細なトラブル対処作業が判断できる。なお，半導体製造装置１４０の報知（アラーム）があった場合には通常は作業者が室内制御部１１６などから当該半導体製造装置１４０にアクセスしてメンテナンスモードに切換え，チェック動作を行うなどの作業を行うので，そのときの作業者のアクセス情報からトラブル対処作業を判断してもよい。
上記装置室エリア１１２の作業内容における定期作業は，例えば半導体製造装置１４０に対して部品交換やウエットクリーニングを行う作業である。ウエットクリーニングは，作業者が装置室エリア１１２で半導体製造装置１４０の処理室を開けて薬液を用いて洗浄するものである。ここでは装置室エリア１１２での作業であるためクリーニングとしてウエットクリーニングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。なお，部品交換やウエットクリーニングを行う場合にも報知（アラーム）やランプの点灯などによるメンテナンス報知や室内制御部１１６などからメンテナンスモードに切換えて作業を行うために当該半導体製造装置１４０にアクセスする場合がある。このため，作業者が装置室エリア１１２にいると判断されたときに，これらのアクセス情報やメンテナンス報知情報などの作業特定情報によれば，その作業者が定期作業を行っていることを判断できる。
次いで，クリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４での作業としては，通常オペレーション作業，定期作業，その他の作業が挙げられる。通常オペレーション作業は，例えば室外制御部１１８から半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウエハが収納されたキャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業である。なお，キャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業は，装置室エリア１１２内で行われるが，その後に室外制御部１１８から半導体装置の生産指示などを行うので，装置室外エリア１１４での作業に含めている。但し，これらの作業を装置室エリア１１２で行う場合には装置室エリア１１２の作業としてもよい。
このように，通常オペレーション作業は，通常は室外制御部１１８などから半導体製造装置１４０にアクセスするので，作業者が装置室エリア１１２にいると判断されたときに，アクセス情報によれば，その作業者が通常オペレーション作業を行っていることを判断できる。装置室外エリア１１４における定期作業は，例えば半導体製造装置１４０に対するドライクリーニングやシーズニングなどがある。ドライクリーニングは，通常室外制御部１１８などから半導体製造装置１４０にアクセスし，必要情報を入力することにより半導体製造装置１４０の処理室などを洗浄するものである。ここでは装置室外エリア１１４での作業であるためクリーニングとしてドライクリーニングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。
装置室外エリア１１４におけるその他の装置室外作業（図６における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる）は，半導体製造装置１４０の監視や周囲の清掃などがある。これらは装置室外エリア１１４に作業者がいると判断されたときに，アクセス情報，メンテナンス報知情報などの作業特定情報がなかった場合にその他の作業を行っていると判断できる。これらの作業をより詳細に判断するには，例えば作業者の携帯型情報端末から監視，清掃など作業内容を入力するようにしてもよい。この入力された作業内容の情報を作業特定情報として作業を判断してもよい。
続いて，クリーンルーム外エリア１２０の作業としては，中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８での作業がある。これらの作業はすべて図６における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる。また休憩室エリア１２９では休憩やトイレの使用が考えられる。上記中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８での作業としては，例えば生産準備作業（工程管理作業としてもよい）がある。生産準備作業としては，中央監査室エリア１２２では例えば半導体装置の生産全体の監視や生産スケジュール（生産工程計画）の作業の変更などを行い，保管庫エリア１２６では部品の管理作業などを行い，オフィスエリア１２８では部品の発注その他の雑務を行う。用力室エリア１２４ではクリーンルーム内の空気清浄機等の故障等のトラブル対応作業や空気清浄機等の定期メンテナンス等の定期的作業などを行う。このように作業者がどのエリアにいるかによって行っている作業を判断できる。
なお，上述した例では，工場内にあるエリアについての作業を説明したが，工場外においてもクリーニングなどで使用する薬品を収容しておく薬品タンクへの受け入れ作業などの工場外エリアでの作業を行う。従って，作業者が工場外エリアにいることが検出された場合は工場外作業を行っていると判断できる。作業者が工場外エリアにいるか否かは例えば工場内に配設した作業者検出センサ１３０により作業者の居場所が検出できなかった場合に，その作業者が出勤していれば工場外エリアにいると判断してもよい。
このように，本実施の形態では，作業特定情報としてエリア情報２２２と装置情報２２４により作業者の現在作業を特定している。これは作業者がどこのエリアにいるかのエリア情報２２２によってその作業者が行っている現在作業が大まかに判断でき，大まかな作業の中のさらに詳細な作業はアクセス情報などの装置情報２２４から判断できるからである。但し，必ずしもこれに限られず，作業特定情報としてエリア情報２２２のみにより現在作業を特定してもよい。例えば工場内外のエリアをさらに細かく分けることにより，エリア情報２２２のみによってもある程度詳細に現在作業を特定することもできる。また，作業特定情報としてアクセス情報などの装置情報２２４のみにより現在作業を特定してもよい。
（作業優先度情報データベース）
作業優先度情報データベース２３０は，大きく分けた作業分類とその作業分類に属する作業の優先度（優先順位）情報である作業優先度情報を記憶している。例えば図６に示すように最も高い優先度である優先度１から最も低い優先度５まで優先度２３２と作業分類２３４からなる。
最も優先度の高い優先度１の作業分類は，非常時作業である。この非常時作業としては，火災が発生した際の消火作業，ガス検知器からの報知に基づいてガス漏れに対応するガス漏れ対応作業などが挙げられる。これらの作業の特定は，例えば各装置室エリア１１２に設けられた火災報知器などの災害用のセンサなどから判断する。
優先度２の作業分類は，装置室エリア１１２に設けられた半導体製造装置１４０のトラブルへ対応するトラブル対応作業である。このトラブル対応作業には，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２におけるトラブル対応作業が含まれる。このトラブル対応作業は，上述したように例えば電気系トラブル，機械系トラブル，プロセス系トラブルなどのトラブルに対応するメンテナンスなどがある。またトラブル対応作業には，用力室エリア１２４における空気清浄機などの電気系トラブル，機械系トラブルも含まれる。これらの作業は半導体装置の生産，品質を阻害し，歩留りの低下などに起因するものである。このためトラブルの対応作業は，非常時ではない通常時の作業のうちでは最も優先される。
優先度３の作業分類は，通常オペレーション作業である。この通常オペレーション作業は，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４における通常オペレーション作業が含まれる。この通常オペレーション作業は，例えば上述の半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウエハが収納されたキャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業である。通常時において原則として何らかのトラブルがない限り通常オペレーション作業が優先される。通常オペレーション作業は半導体装置の生産のための作業だからである。
優先度４の作業分類は，定期作業である。この定期作業は，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２における定期作業と，装置室外エリア１１４における定期作業の両方が含まれる。この定期作業としては，上述したように例えばウエットクリーニング，ドライクリーニング，部品交換などのメンテナンスが挙げられる。さらに用力室エリア１２４の空気清浄機などの定期的なメンテナンスも含まれる。これらは原則として半導体装置の生産を中止してまで行うものではないので，本実施の形態では通常オペレーション作業よりも優先度を低くしている。但し，必ずしもこれに限られることはなく，優先度に拘らず例えば半導体装置の生産過程において全体又は前後の生産スケジュールを判断して最も適当と思われるところで作業を行うようにしてもよい。この場合，どのタイミングで定期作業を入れるかは工程管理の技能（スキル）を有する作業者が全体又は前後の生産スケジュールを判断して決定し，上記優先度をタイミングに応じて適宜変更するようにしてもよい。
優先度５の作業分類は，その他の作業である。ここでいうその他の作業には，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４におけるその他の装置室外作業の他，クリーンルーム外エリア１２０の中央監査室エリア１２２の作業，保管庫エリア１２６の作業，オフィスエリア１２８の作業，休憩室エリア１２９の作業，及び工場外エリアの作業が含まれる。従って，ここでいうその他の作業としては，例えば部品発注作業，半導体装置の生産スケジューリング作業の調整，半導体製造装置１４０の監視，清掃などが含まれる。
なお，本実施の形態では作業の優先度を５つに分けたが，必ずしもこれに限られることはなく，６つ以上の優先度にしてもよく，４つ以下の優先度にしてもよい。また作業の分け方もこれに限られることはない。
（作業スキル情報データベース）
作業スキル情報データベース２４０は，作業自体に必要なスキル情報（作業技能情報）を記憶するものであり，作業者の持つスキル情報（作業者技能情報）を記憶する後述の作業者スキル情報データベース２５０と異なる。作業スキル情報データベース２４０は，具体的には図７に示すように作業２４２と大きく分けた作業者分類２４４とを関連づける作業スキル情報を記憶している。
上記作業２４２は，さらに作業分類２４６とその作業分類２４６に含まれる作業内容２４８とに分けられる。ここでの作業分類２４６は図６に示す作業分類２３４に対応している。この作業分類２４６ごと又はその作業分類に属する作業内容２４８ごとにその作業を行うのに最適な作業者分類２４４を関連づけている。
先ず，火災に対する消火作業などの非常時対応作業は，作業者分類２４４に関係なく，全員で行うのが最適である。トラブル対応作業は，エンジニアが行うのが最適である。さらにトラブル対応作業のうちの電気系トラブル対応作業は電気系エンジニア，機械系トラブル対応作業は機械系エンジニア，プロセス系トラブル対応作業はプロセス系エンジニアがそれぞれ行うのが最適である。これは，作業者がエンジニアの場合にはそれぞれの作業者が専門分野を有しているため，専門に応じたエンジニアが作業にあたることが最適と考えられるからである。つまり，必ず専門のエンジニアが行わなければならないという意味ではなく，専門以外のエンジニアであってもそのトラブルに対応できるエンジニアがいればその作業者が作業を行ってもよい。
通常オペレーション作業は，半導体製造装置１４０に半導体装置の生産をさせるために上記制御部１１６等を操作する作業などである。このため，オペレータである作業者が行うのが最適である。なお，通常オペレーション作業は必ずオペレータが行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニアは通常，オペレータとしてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行ってもよい。
定期作業は，例えばクリーニング，部品交換などのメンテナンス作業である。従って，定期作業者が行うのが最適である。なお，この定期作業についても上記と同様に必ず定期作業者が行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニア，オペレータは通常，定期作業者としてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行ってもよい。
その他の作業は，例えば半導体装置の生産スケジューリングなどの作業である。従って，その他の作業は，その作業に対応できるスキルを有する，その他の作業者が行うのが最適である。
（作業者スキル情報データベース）
作業者スキル情報データベース２５０は，図８に示すように作業者の持つ作業者スキル情報（作業者技能情報）を記憶する。この作業者スキル情報は，例えば作業者の整理番号２５１，氏名２５２，ＩＤ２５３，パスワード２５４，所属２５５，作業者分類２５６，作業２５７などの項目で記憶される。なお，これらの項目の他に例えば作業者のシフト（時間），半導体製造装置の運転スケジュールなどを記憶してもよい。また，作業分類ごとにその作業を行う際の単価を記憶しておいてもよい。この作業の単価は例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合に利用できる。
整理番号２５１は作業者の通し番号であり，氏名２５２とＩＤ２５３は作業者を特定するものである。
上記所属２５５にはその作業者が所属する工場名，事業所名，会社名等を記憶する。例えば作業者が本発明にかかる作業者管理システムを備える工場の作業者である場合には，所属２５５にその工場名を記憶する。また，本発明にかかる作業者管理システムを備える工場に別の工場に所属する作業者が派遣されている場合には，所属２５５にはその所属する別の工場名を記憶する。さらに後述するように半導体製造装置１４０を販売する会社（販売会社）とその半導体製造装置１４０を購入する顧客である会社（購入会社）がある場合，販売会社の従業員が作業者として販売会社の工場に派遣されている場合には，所属２５５にはその販売会社名を記憶する。
作業者分類２５６には，その作業者の図７に示す作業者分類を記憶する。その作業者がオペレータのスキルを有する場合にはオペレータとし，その作業者が定期作業を行うスキルを有する場合には定期作業者とする。また作業者がエンジニアであれば機械系エンジニアのようにその専門まで記載することが好ましい。
上記作業２５７には，その作業者がスキルを有する作業を記憶する。上記作業２５７は，図７に示す作業２４２に対応している。具体的には作業２５７は作業分類と作業内容に分けられる。作業者がその作業を行うことができるか否かは，例えば○，△，×で表す。○はその作業者が行うことができる作業であり，△はその作業者が行うのは難しいができないことはない作業であり，×はその作業者が行うことができない作業である。
なお，作業２４２には，作業者自らの専門の作業のみならず，実際に行うことができる作業を記憶してもよい。例えばその作業者の作業者分類が機械系エンジニアであれば，自らの専門に属する機械系トラブル対応作業が○となるが，一般にエンジニアであれば通常オペレーション作業を行うこともできるので，通常オペレーション作業も○にする。また，その作業者が電気系エンジニアであっても，自らの専門ではない機械系トラブル対応作業を行うことができる場合がある。このような場合には電機系トラブル対応作業のみならず，機械系トラブル対応作業を○にしてもよい。
（トラブル情報データベース）
トラブル情報（異常情報）データベース２６０は，半導体製造装置１４０のエラーコードによるトラブル情報を記憶するエラーコード情報データベース２６２と，半導体装置の検査結果によるトラブル情報を記憶する検査結果情報データベース２６４とを有する。
エラーコード情報データベース２６２は，図９に示すように半導体製造装置１４０にトラブル（異常）があったときのエラーコード，そのエラーコードの内容，そのエラーに対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけたエラーコード情報を記憶する。例えばエラーコード「ＡＡＢＢ０１」は，半導体製造装置１４０として例えば高周波電力を印加して処理室内に発生させたプラズマによりエッチング処理を行うプラズマエッチング装置における処理室内の高周波反射波が上限値を越えた場合のエラーである。この場合にはプラズマエッチング装置に設けられた高周波ジェネレータや整合器（マッチャー）などがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル（技能）を有する作業者分類は電気系エンジニアである。これに対してエラーコード「ＣＣＤＤ０１」は，ポンプの冷却水の流量低下によるエラーである。この場合にはポンプユニットなどがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル（技能）を有する作業者分類は機械系エンジニアである。
検査結果情報データベース２６４は，図１０に示すようにプラズマエッチング装置などの半導体製造装置１４０によって製造された半導体装置に検査異常があったとき検査結果，その検査結果による異常に対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけた検査結果情報を記憶する。例えば半導体製造装置１４０によって製造されたウエハなどは，検査装置により様々な検査が行われる。これらの検査結果によるトラブルは，主としてプロセス系エンジニアがトラブル対応作業を行う。このようなトラブル情報データベース２６０を利用すれば，トラブルの種類に応じてそのトラブル対応作業を行う最適な作業者分類を決定できる。
（作業者管理装置が行う処理）
次に，作業者管理装置２００が行う新作業分配処理についての具体例を図１１〜図１４を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
本実施形態における新作業分配処理は，新たな作業が発生した場合に，作業者の現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか又は新たな作業を行わせるかを判断し（判断手段），前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す（指示手段）ものである。新作業の作業内容及び作業者のスキル，現在行っている作業と新作業との優先度などを考慮しつつ，最適な作業者を選択して指示を与える処理である。
新作業分配処理は，具体的には図１１に示すように先ずステップＳ１１０にて新たな作業が発生したか否かを判断する。例えば半導体製造装置１４０にエラー情報の他，報知（アラーム）情報などから判断し，新作業を特定する。
例えば半導体製造装置１４０にトラブルが発生した場合は，作業者管理装置２００は半導体製造装置１４０からアラームを受信するとともにエラーコードを含むエラー情報を受信する。トラブル情報データベース２６０のうちのエラーコード情報データベース２６２を利用すれば，上記エラー情報のエラーコードに基づいてその新作業がどのようなトラブルに対する作業（電気系トラブル対応作業，機械系トラブル対応作業）かを特定することができる。
また半導体製造装置１４０のうちの検査装置からの検査結果を受信して，その検査結果に異常があった場合には，トラブル情報データベース２６０のうちの検査結果情報データベース２６４を利用すれば，新作業がプロセス系トラブル対応作業であることを特定でき，さらにそのトラブルの詳細も取得できる。
また半導体製造装置１４０のロットが終了した場合は，ロット終了の通知がある。これにより新作業はＦＯＵＰの移動等，次ロットに対する準備作業などの定期作業，通常オペレーション作業などであることが特定できる。半導体製造装置１４０からクリーニングなどの通知があった場合は，新作業が定期作業であることが特定できる。
次いでステップＳ１２０にてその新作業を行うことができる作業者を抽出する（作業者抽出手段の例）。例えば作業スキル情報データベース２４０によりその新作業を行うのに最適な作業者分類を検索し，その作業者分類を有する作業者を作業者スキル情報データベース２５０に基づいて抽出する。また，その新作業を行うのに最適な作業者分類に属する作業者でなくても，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄に○と△がついている作業者は新作業を行うことができる。従ってこれらの作業者も抽出の対象とする。
なお，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄では，例えば電気系エンジニアは電気系トラブル対応作業には必ず○がついているように，作業者分類の専門の作業には必ず○がついている。また専門以外の作業でも○がついている作業者がいる場合があり，専門以外の作業でもできないことはない場合には△がついている。従って，作業者分類によらず，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄のみに基づいて○と△がついている作業者だけを抽出するようにしてもよい。
続いて，ステップＳ１３０にて作業者に優先順位を付与する（優先順位付与手段）。作業スキル及び作業者スキルに基づいて最も適した作業者から優先順位をつける。例えば作業者スキル情報データベース２５０の作業の欄に○がついている作業者の優先順位を高くする。その作業が専門の作業者を優先的に作業に当らせることができるようにするためである。なお，作業者に優先順位をつける処理の詳細は後述する。
次にステップＳ１４０にて作業を行う作業者を決定する。作業者の決定は，例えば優先順位の高い作業者から順に，その作業者が現在行っている作業と新たな作業との優先度に基づいて行う。なお，この作業者を決定する処理の詳細は後述する。
次いでステップＳ１５０にてステップＳ１４０で決定された作業者に新作業を実行させる指示を出す（指示手段）。このとき例えばその作業者が持つ携帯型情報端末に新作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。
続いてステップＳ１６０にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップＳ１４０の作業者決定処理において現在作業を検出しているので（図１３に示すステップＳ３２０），その結果を利用して判断する。このようにしたのは，新作業を指示する作業者に現在作業があった場合には，その現在作業について代りの作業者を選択して指示を出す必要があるためである。ステップＳ１６０にてその作業者に現在作業があると判断した場合には，ステップＳ１７０にて現在作業を新作業としてステップＳ１２０の処理に戻り，その作業を代りに行うものを決定する。またステップＳ１６０にてその作業者に現在作業がないと判断した場合には，この処理を終了する。
ここで，上記ステップＳ１３０における作業者の優先順位付与処理（作業者優先順位付与手段）の１例を図１２に示すサブルーチンを参照しながら説明する。ステップＳ２１０にて新作業とされる作業について作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄に○がついていることを第１のキーとして，そのような作業者の優先順位を高くするようにソートする。続いてステップＳ２２０にて新作業の作業者分類を第２のキーとしてこの作業者分類に一致する作業分類の作業者についての優先順位を最も高くするようにソートする。
こうして，作業者スキル情報データベース２５０の作業の欄に○がついており，かつ新作業の作業者分類が一致する作業者が最も優先順位が高くなる。例えばその新作業の作業スキルを有する作業者の作業者分類が電気系エンジニアの場合には，抽出された作業者の中に機械系エンジニアが含まれていても，電気系エンジニアの優先順位の方が高くなる。これにより，ステップＳ１４０にて作業者を決定する際に，新作業に最も適切な作業者から順番に新作業を担当させてよいか否かを判断することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができる。
次に，ステップＳ１５０にて作業者を決定する処理の１例を図１３に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップＳ３１０にて図１３に示すステップＳ１４０で得られた作業者の優先順位ｋ＝１とし，優先順位の高い順に作業者決定処理を行う。次いでステップＳ３２０にて作業者の現在行っている作業（現在作業）を検出する（現在作業特定手段の例）。作業者の現在作業の検出は例えばその作業者がどのエリアにいるかなどに基づいて行う。
この作業者の作業を検出する処理については例えば図１４に示すサブルーチンのように行う（現在作業特定手段の例）。先ずステップＳ４１０にてその作業者が存在するエリア情報を検出する。これによりある程度の作業（作業分類）が検出できる。具体的にはクリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２などの上記各エリアのうち，作業者がどのエリアにいるかを作業者検出センサ１３０からのセンサ情報に基づいて検出する。例えばその作業者の周波数が検出された作業者検出センサ１３０の設置エリアを作業者のいるエリアとする。その作業者の周波数が，クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２に設置された作業者検出センサ１３０で検出されれば，その作業者は装置室エリア１１２にいると判断され，装置室外エリア１１４に設置された作業者検出センサ１３０で検出されればその作業者は装置室外エリア１１４にいると判断される。
次に，ステップＳ４２０にて半導体製造装置１４０へのアクセス情報などの装置情報を検出する。これにより，さらに詳しい作業を検出できる。半導体製造装置１４０や制御部１１６，１１８などからアクセスした装置情報は，作業者管理装置２００により受信される。このアクセス情報からＩＤとパスワードによりその作業者を特定し，その作業者がどのような作業を行っているかを判断する。また半導体製造装置１４０の報知（アラーム）情報などの装置情報も作業者管理装置２００により受信される。この報知情報からも作業を検出できる。
続いてステップＳ４３０にて上記エリア情報及び上記装置情報により，図５に示す作業特定情報データベース２２０の作業特定情報に基づいて，その作業者の現在作業を特定する。例えばエリア情報としてクリーンルームエリア１１０における装置室エリア１１２にその作業者がいると判断され，さらに装置情報として報知情報，トラブル対応アクセスがあったと判断された場合には，現在作業の作業内容としてトラブル対応作業を行っていると判断する。
次に，図１３に示すステップＳ３３０にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップＳ３２０により作業が特定された場合には現在作業ありと判断し，作業が特定されない場合は現在作業なしと判断する。ステップＳ３３０にて現在作業がないと判断した場合には，ステップＳ４００にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する（作業者特定手段）。
これに対してステップＳ３３０にて現在作業ありと判断された場合は，ステップＳ３４０にて作業優先度情報データベース２３０の作業優先度情報に基づいて現在作業の優先度を取得し，ステップＳ３５０にて新作業の優先度を取得する。次いでステップＳ３６０にて現在作業の優先度（Ｕ１）の方が現在優先度（Ｕ２）よりも高いか否か又は優先度が同じか否かを判断する。ステップＳ３５０にて現在作業の優先度の方が現在優先度よりも高いと判断した場合又は優先度が同じと判断した場合は，ステップＳ３７０にて優先順位ｋをインクリメント（ｋ＝ｋ＋１）する。続いて，ステップＳ３８０にて優先順位が付与されたすべての作業者について処理を行ったか否かを判断する。例えば抽出され優先順位が付与された作業者数をＮとしておき，優先順位ｋ＝Ｎ＋１になったか否かで判断する。ステップＳ３８０にて未だ優先順位の付与されたすべての作業者について処理していないと判断した場合，例えば優先順位ｋ＝Ｎ＋１になっていないと判断した場合は，ステップＳ３２０の処理に戻って次の優先順位の作業者について処理を行う。
上記ステップＳ３５０にてその作業者における現在作業の優先度の方が現在優先度よりも低いと判断した場合には，ステップＳ４００にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する。こうして決定された作業者には図１１に示すステップＳ１５０により新作業を行うよう指示が与えられる。
このように検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記ステップＳ３８０にて優先順位の付与されたすべての作業者について処理したと判断した場合，例えば優先順位ｋ＝Ｎ＋１になったと判断した場合は，ステップＳ３９０にてエラー処理を行う。エラー処理としては例えば該当する作業者が見つからない旨の表示を表示部２０４に行う。この場合には例えばその作業を行うことが可能な作業者にその旨を通知するようにしてもよい。上記のような処理によれば，優先度の高い処理ほど作業者が見つかる場合が多いから，作業者が見つからない処理は優先度の低い処理になる可能性が高い。従って，例えば時間をずらして上記の処理を再度行うようにしてもよい。
なお，ステップＳ３９０のエラー処理では，作業スキル情報データベース２４０の作業スキル情報に基づいて作業者が見つからなかった作業からその作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類を検索し，上記作業，作業者分類，日時などをログファイルなどにより記憶するようにしてもよい。例えば作業者が見つからなかった作業が機械系トラブル対応作業の場合，その作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類としては機械系エンジニアが検索できるので，ログファイルには機械系トラブル対応作業，機械系エンジニアなどを記憶する。これにより，その工場では機械系エンジニアが不足している可能性があることがわかる。
このように，上記ログファイルは，その工場における作業者の増減が必要か否かの判断材料にすることができる。例えば，エラー処理が頻繁に起る場合には作業者が不足しており，どの作業者分類の作業者が不足しているかも推測できる。また，エラー処理が起らない程度に作業者を削減することにより余分な作業者を削減することもできる。これにより，その工場に真に必要な作業者分類の作業者を必要な数だけ配属させることができるので，作業者一人あたりの作業の効率化を図ることができるだけでなく，作業者数の効率化を図ることもできる。
このような処理によれば，例えば新作業として機械系トラブル対応作業が発生し，その新作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏，オペレータのＣ氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアのＢ氏，電気系エンジニアのＡ氏，オペレータのＣ氏の順となり，この順に処理される。この場合，Ｂ氏の現在作業がなければ，新作業の作業者はＢ氏に決定される。
またＢ氏に現在作業があった場合であっても，その現在作業が例えば通常オペレーション作業であった場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によればＢさんの現在作業である通常オペレーション作業よりも新作業である機械系トラブル対応作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はＢ氏に決定される。
この場合，Ｂ氏の現在作業である通常オペレーション作業は，新作業として処理が繰返される。このときの作業者の優先順位は，オペレータのＣ氏，電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータのＣ氏に現在作業がなければ，新作業の作業者はＣ氏に決定される。
またＣ氏に現在作業があっても，その現在作業が定期作業であった場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によればＣ氏の現在作業である定期作業よりも新作業である通常オペレーション作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はそのＣ氏に決定される。
ところが，Ｃ氏の現在作業が別のエリアでの通常オペレーション作業の場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によれば現在作業と新作業とは優先度に優劣がないため，Ｃ氏には現在作業を続行してもらい。電気系エンジニアのＡ氏の現在作業がなければ，新作業の作業者はＡ氏に決定される。
（第２実施形態）
次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第２実施形態を図面を参照して説明する。なお，第２実施形態においては，図１〜図１０までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第１実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。
第２実施形態における作業者管理装置２００が行う新作業分配処理についての他の具体例を図１５，図１６を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
第２実施形態における新作業配分処理において，第１実施形態における図１１に示す場合と異なるのは，新作業が発生するとこの新作業とすべての作業者の現在作業とを含めた全作業について，各作業の優先度，作業スキル，作業者スキルなどを考慮しつつ，最適な作業者が作業を行うことができるように作業の再配分を行う点である。
具体的には，図１５に示すように先ずステップＳ５１０にて新たな作業が発生したか否かを判断する。上記ステップＳ３１０と同様に例えば半導体製造装置１４０にトラブルが発生した場合のエラー情報，報知情報などから判断する。次いでステップＳ５２０にてすべての作業者の現在作業を検出する。この作業者の現在作業の検出処理は，例えば図１４に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。
次にステップＳ５３０にて新作業及び現在作業を含めた全作業についての再分配を行う（作業再配分手段）。このように，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。なお，作業の再分配の処理の詳細は後述する。
続いてステップＳ５４０にて各作業者に対してその作業者に分配された作業を行うように指示を出す。例えば各作業者が持つ携帯型情報端末にそれぞれ該当する作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。
次いでステップＳ５５０にて未分配の作業が残っているかを判断する。ステップＳ５５０にて未分配の作業が残っていると判断した場合はステップＳ５６０にて対応可能な作業者に対して未分配の作業があるので対応するようにとの通知をして処理を終了する。ステップＳ５５０にて未分配の作業が残っていないと判断した場合はそのまま処理を終了する。
ここで，ステップＳ５３０における作業再分配処理（作業再配分手段）の１例を図１６に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップＳ６１０にて新作業と現在作業を含めたすべての作業について，作業優先度情報データベース２３０の作業優先度情報に基づいて優先度の高い順にソートする。このときの作業の優先順位をＷとする。続いてステップＳ６２０にて優先順位Ｗ＝１とし優先順位の最も高い作業から以降の処理により最適な作業者を決定していく。
次いでステップＳ６３０にてその作業を行うことができる作業者を抽出する。続いてステップＳ６４０にて作業者に優先順位をつける。この優先順位付与の処理は，例えば図１２に示すサブルーチンにより行う。続いて，ステップＳ６５０にて作業者を決定する。この作業者決定の処理は，例えば図１３に示すサブルーチンにより行う。
次に，ステップＳ６６０にて作業の優先順位Ｗをインクリメントし（Ｗ＝Ｗ＋１），ステップＳ６７０にて該当するすべての作業について処理したかを判断する。こうして，原則としてすべての作業について作業者が決定される。但し，作業によっては適切な作業者が見つからない場合もある。この場合は，図１５に示すステップＳ５５０，５６０により未分配の作業として作業が可能な作業者にその旨を通知する。
このような処理によれば，例えば新作業が発生すると，全作業者の現在作業を検出し，新作業を含めたすべての作業について作業優先度情報データベース２３０に基づいて優先順位を付与する。優先順位の高い作業からその作業を行う作業者を決定していく。例えばすべての作業の優先順位が機械系トラブル対応作業，通常オペレーション作業であったとすると，先ず機械系トラブル対応作業から作業者を決定される。
最初の作業である機械系トラブル対応作業については，その作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏，オペレータのＣ氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアのＢ氏，電気系エンジニアのＡ氏，オペレータのＣ氏の順となり，この順に処理される。この場合，Ｂ氏の現在作業がなければ，機械系トラブル対応作業の作業者はＢ氏に決定される。
次に，通常オペレーション作業について作業者が決定される。このときの作業者の優先順位は，オペレータのＣ氏，電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータのＣ氏に現在作業がなければ，新作業の作業者はＣ氏に決定される。
このように，新作業が発生した場合に，新作業を含めた全作業の再配分を行い，その際，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業配分の最適化を作業の効率化を図ることができる。
（第３実施形態）
次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第３実施形態を図面を参照して説明する。第３実施形態においては，図１〜図１０までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第１実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
第３実施形態における作業者管理装置２００が行う作業情報記憶手段の１例としての作業データベースの作成処理について図１６を参照しながら説明する。作業データベースは，後述する各作業者の作業日報を作成するための元になるデータベースである。従って，作業データベースには作業者ごとに所定時間ごとに行った作業を記憶しておく。従って，この作業データベースの作成処理は，作業日報に記載する時間に応じて所定時間ごとに実行する。例えば１時間ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を１時間ごとに実行し，３０分ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を３０分ごとに実行する。
作業データベースの作成処理は，先ずステップＳ７１０にてすべての作業者が現在行っている作業（現在作業）を検出する。各作業者の現在作業の検出処理は，例えば図１４に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。ステップＳ７２０にて各作業者ごとに検出した現在作業を記憶する。こうして，所定時間ごとに作業者の現在作業を検出して記憶していけば，各作業者ごとに作業データベースが作成される。この作業データベースは，例えば図３に示す各種データベース２１０に含まれるようにしてもよい。
次に，作業者管理装置２００が行う作業報告書作成手段の１例としての作業日報作成処理について図１８を参照しながら説明する。作業日報作成処理は，作業者ごとに作業日報を自動的に作成するものである。
先ずステップＳ８１０にて作業者の特定を行う。作業日報を作成する作業者を特定する。ここでは操作画面に作業者を入力するようにして特定の作業者の作業日報を作成できるようにしてもよく，また各作業者を自動的に次々と特定していき，すべての作業者について作業日報を作成できるようにしてもよい。
次いでステップＳ８２０にて図１７に示す処理により作成された作業データベースに基づいてその作業者の作業日報データを作成する。作業日報データはその作業者の該当日における作業を抽出して作成する。
次にステップＳ８３０にて作業日報を印刷する。例えば作業者管理装置２００に接続したプリンタにより，作業日報を印刷して出力してこの処理を終了する。こうして作成された作業日報の１例を図１９に示す。この作業日報は，所定時時間として１時間ごとに図１７に示す作業データベース作成処理を行って作業者の現在作業を検出した場合の例である。
なお，この作業日報は，例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合にも利用できる。作業者スキル情報データベース２５０に作業単価を記憶している場合には，各作業の作業単価も検索して印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
また，作業データベースから月ごとのデータを取出せば，作業月報も作成して印刷可能である。このように，本実施の形態によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業データベースを作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
このような本発明によれば，作業者が現在行っている作業を容易に特定することができるため，例えば新たな作業が発生した場合でも現在の作業と新作業との優先度を考慮しつつ，最も適切な作業者を選択して作業を行わせることができる。このように，各作業者を適材適所に配置させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
なお，上述した実施形態においては，図１に示すように作業者検出センサ１３０として各エリア１１０，１２０に配設する例えば受信機１３４は，作業者管理装置２００に通信ケーブル等によって接続する場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，通信ケーブル等の代りにネットワークにより接続するようにしてもよい。また，図２に示す受信機１３４は，送受信機能を有する送受信機であってもよく，送信機１３８は送受信機能を有する携帯型情報端末であってもよい。この場合，携帯型情報端末に臭気センサなど各種センサを設け，これらセンサの検出値に基づいて異常判断を行うようにしてもよい。
具体的には，図２０に示すように，例えば装置室エリア１１２にネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続機能付送受信機３２０を配設する。ネットワーク接続機能付送受信機３２０はネットワーク３００を介して作業者管理装置２００に接続する。作業者管理装置２００はネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続装置３４０を介してネットワーク３００に接続する。
作業者が携帯する図２に示すような送信機１３８は，送受信機能を有する携帯型情報端末３６０により構成してもよい。なお，このような携帯型情報端末３６０としては例えばＰＤＡ（ＰｅｒｓｏｎａｌＤｉｇｉｔａｌＡｓｓｉｓｔａｎｔ），ノート型コンピュータ，ペン入力可能なコンピュータ（例えばタブレットＰＣ）などが挙げられる。
携帯型情報端末３６０は，異常検知のために音や臭いなどを検知する臭気センサ，高周波センサ，低周波センサなどの各種センサ３６２の他，制御部３６４，変復調部３６６，通信インタフェース３６８などを備える。変復調部３６６は，通信インタフェース３６８を介して送信するデータを例えば無線信号に変調したり，通信インタフェース３６８を介して受信したデータを復調したりするものである。
ネットワーク３００は，インターネットなどの公衆回線網であってもよく，またＷＡＮ（ＷｉｄｅＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ），ＬＡＮ（ＬｏｃａｌＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ），ＩＰ−ＶＰＮ（ＩｎｔｅｒｎｅｔＰｒｏｔｏｃｏｌ−ＶｉｒｔｕａｌＰｒｉｖａｔｅＮｅｔｗｏｒｋ）などの閉鎖回線網であってもよい。また接続媒体は，ＦＤＤＩ（ＦｉｂｅｒＤｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄＤａｔａＩｎｔｅｒｆａｃｅ）などによる光ファイバケーブル，Ｅｔｈｅｒｎｅｔによる同軸ケーブル又はツイストペアケーブル，もしくはＩＥＥＥ８０２．１１ｂなどによる無線など，有線無線を問わず，衛星ネットワークなどであってもよい。
上記ネットワーク接続機能付送受信機３２０は，例えば無線ルータ機能を有するように構成し，携帯型情報端末３６０の通信インタフェース３６８は無線ＬＡＮカードなどで構成することにより，ネットワーク接続機能付送受信機３２０と携帯型情報端末３６０との間は無線ＬＡＮによりデータを送受信可能としてもよい。
携帯型情報端末３６０の各種センサ３６２は，音については例えば人間が感知できないような周波数，周期などを検出するものであってもよい。また各種センサ３６２として臭気センサを設ける場合には，例えばセンサ表面に臭い成分が吸着することにより検出するものであってもよい。臭気センサは例えばガス探知センサで構成し，ＣＯ，Ｃｌ等のハロゲンガスなど人体に有害なガスを検出するようにしてもよい。また，例えば半導体製造装置の処理室を排気する排気ポンプの油の蒸気から油の摩擦度，粘度を検出するようにしてもよい。
具体的には各種センサ３６２としては，オシロスコープ，スペクトラムアナライザー，ファーストフーリエトンスレッシュホルドーション（ＦＦＴ），振動解析器，振動水晶子センサ，半導体センサ，光センサなどが挙げられる。携帯型情報端末３６０は各種センサ３６２の切換スイッチ（図示しない）を備え，作業者は切換スイッチにより所望のセンサを選択して使用することができるようにしてもよい。
なお，携帯型情報端末３６０に設けられた入力手段から作業者が入力したデータ（外部環境情報）をセンサデータとしてもよい。外部環境情報としては例えば作業者が計測器を用いて計測したデータやオペレーションパネルにより表示されるデータなど様々なデータをセンサデータとして入力してもよい。入力手段は，キー入力，タッチパネル入力など公知の入力手段であってもよい。
携帯型情報端末３６０の制御部は３６４は，例えば各種センサ３６２からの検出値に基づいて半導体製造装置などの異常判断を行う。例えば音や臭いが検出されると異常が発生していると判断してもよく，また異常か否かの閾値を記憶部（図示しない）などに記憶しておき，その閾値を越える音や臭いが検出されると，異常が発生していると判断する。これにより，例えば図９に示すようなエラーが発生する前に異常を判断することができる。
そして，異常が発生していると判断した場合には，携帯型情報端末３６０は各種センサ３６２のうち該当するセンサからのデータをネットワーク３００を介して作業者管理装置２００へ送信する。作業者管理装置２００では，携帯型情報端末３６０から受信したセンサデータに基づいて，例えば図１１に示すステップＳ１１０，図１５に示すステップＳ５１０の新作業が発生したかを判断する。
具体的には図９に示すようなエラーが発生する前の兆候を事前情報として記憶する例えばエラー事前情報データベース（図示しない）を各種データベース２１０に設け，エラー事前情報データベースに記憶した兆候に基づいて総合的に作業を特定し，新作業が発生したものと判断する。この場合，作業者管理装置２００は，異常と判断された半導体製造装置１４０にアクセスして，報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などを行わせるようにしてもよい。
エラー事前情報データベースに記憶される具体例は以下の通りである。エラー事前情報データベースには，例えば真空側エラー事前情報として，リークレート増大（兆候１），ベースプレッシャ上昇（兆候２），大気側エラー事前情報として異音（兆候３），振動増大（兆候４）が記憶されている。リークレート増大（兆候１）は例えば半導体製造装置の処理室に設けられたＯリングの劣化により大気が処理室内に流入する場合の兆候である。ベースプレッシャ上昇（兆候２）は例えば処理室内を真空引きする真空ポンプの疲労や異物の堆積で真空引き能力が不足する場合の兆候である。異音（兆候３）は例えば真空ポンプの劣化に加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。振動増大（兆候４）は例えば異物の堆積，真空ポンプの劣化などに加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。兆候１，２は，例えば作業者によって携帯型情報端末３６０に入力された外部環境情報に基づいて判断することができる。兆候３，４は各種センサ３６２から検出されたセンサデータに基づいて判断することができる。
このような兆候がエラー事前情報データベースに記憶されている場合，例えば作業者によって携帯型情報端末３６０に入力された外部環境情報に基づき，兆候１のみであると判断され，兆候３，４がない場合には，真空ポンプは正常の可能性が高く，チャンバリーク（処理室内にリークが発生）している可能性が高いので，チャンバリークの発生に基づくメンテナンスを行うという新作業が発生したものと判断する。従って，図１１，図１５によりその新作業を行うように特定された作業者に新作業を行うように指示を出す。具体的には例えば作業者管理装置２００は，ネットワーク３００を介してその作業者の携帯型情報端末３６０に指示を送信する。
なお，図２０に示す携帯型情報端末３６０で検出されたり，入力されたりしたセンサデータは，その都度作業者管理装置２００に送信されるようにしてもよく，また図１４に示すステップＳ４１０のエリア情報を検出する際に，作業者の識別情報とともに作業者管理装置２００に送信されるようにしてもよい。そして，作業者管理装置２００で異常か否かの判断を行い，新作業の発生を判断するようにしてもよい。
また，上記ネットワーク接続機能付送受信機３２０，携帯型情報端末３６０の送受信機能は，無線による送受信機能に限られず，赤外線による送受信機能など様々な送受信機能を適用することができる。さらに，携帯型情報端末３６０に，ＧＰＳ（ＧｌｏｂａｌＰｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇＳｙｓｔｅｍ）を設け，ＧＰＳに基づいて作業者の位置を検出するようにしてもよい。
以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれぱ，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば，本発明は，半導体製造工場を所有する企業の作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよく，また半導体製造工場にこれを所有する企業とは異なる企業からの作業者を派遣した場合にその作業者を含めて管理する作業者管理システムとして適用してもよい。特に，半導体製造装置を購入又は使用する企業である客先に，その半導体製造装置を製造又は販売する企業の従業員を作業者として派遣して半導体製造装置のメンテナンスや半導体製造などの作業を行わせる場合に，その作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよい。これにより，派遣にかかる作業者一人当りの作業効率を最大限に高めることができ，その派遣した工場の特質に応じた作業者分類，作業者数を決定することができる。
これにより，半導体製造装置の製造又は販売元の企業にとっては，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業に対して派遣する作業者を必要最小限にとどめることができる。一方，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業にとっては，半導体製造装置の製造又は販売元の企業から派遣された作業者にかかる人件費を必要最小限に抑えることができる。Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification and drawings, components having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
(First embodiment)
First, a first embodiment of an operator management system when the present invention is applied to a semiconductor manufacturing factory will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a worker management system in a semiconductor manufacturing factory as an example of a work place, where 100 is a semiconductor manufacturing factory and shows an example of a floor plan in the factory 100. Reference numeral 200 denotes an operator management device.
As shown in FIG. 1, the semiconductor manufacturing factory 100 is mainly divided into, for example, a clean room area 110 in the factory and an area 120 other than the clean room (hereinafter referred to as “an area outside the clean room”).
Further, the clean room area 110 is divided into, for example, a plurality of device room areas 112 and an area 114 other than the device room (hereinafter referred to as “device room outside area”). In the apparatus chamber area 112, a semiconductor manufacturing apparatus 140 such as a process apparatus or a measurement apparatus is disposed. Examples of the process apparatus include an etching apparatus, a CVD (Chemical Vapor Deposition) apparatus, a coater developer, a cleaning apparatus, a CMP (Chemical Mechanical Polishing) apparatus, and a PVD (Physical Vapor Deposition): Vapor phase growth method) equipment, exposure equipment, ion implanter, etc. Examples of the measuring device include a film thickness device, ODP (Optical Digital Profiler), and FTIR. In the device chamber area 112, different types of semiconductor manufacturing apparatuses 140 may be disposed for each device chamber area 112, and plural types of semiconductor manufacturing apparatuses 140 may be disposed in the same device chamber area 112. .
The apparatus room area 112 is provided with an indoor control unit 116 for controlling each semiconductor manufacturing apparatus 140 in the apparatus room area 112 from the room when work such as maintenance and periodic inspection is performed. The semiconductor manufacturing apparatus 140 in the apparatus chamber is controlled. You may provide the outdoor control part 118 which controls the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the outside of an apparatus room. The control unit of the semiconductor manufacturing apparatus 140 may be provided in each semiconductor manufacturing apparatus 140 itself, and the semiconductor manufacturing apparatus 140 may be controlled from the control unit. The indoor control unit 116, the outdoor control unit 118, and other control units are composed of, for example, an operation panel. These control units 116 and 118 and the semiconductor manufacturing apparatus 140 are electrically connected to the input / output unit 208 of the worker management apparatus 200 via a communication line or the like, and apparatus information (access information, apparatus status information, etc.) Work information) can be sent and received. When the semiconductor manufacturing apparatus or the like is controlled by the above control units, an operator's ID and password are input from the control unit according to the work. This makes it possible to identify which worker is controlling.
The device outdoor area 114 indicates an area where the outdoor control unit 118 is installed. The apparatus outdoor area 114 is not necessarily limited to the installation area of the outdoor control unit 118, and may include a passage formed between the apparatus room areas 112.
An area 120 outside the clean room indicates an area in the factory other than the clean room. For example, there are a central audit room area 122, a utility room area 124, a storage area 126, an office area 128, a break room area 129 (which may include a toilet).
In the clean room area 110, there are a device room area 112, a device room outside area 114, a central audit room area 122, a power room area 124, a storage room area 126, an office area 128, and a break room area 129 in the outside room area 120. , A worker detection sensor 130 is provided as worker detection means for detecting the worker. The worker detection sensor 130 is electrically connected to the input / output unit 208 of the worker management apparatus 200 via a communication cable or the like, so that sensor information from the worker detection sensor 130 can be transmitted and received.
The worker detection sensor 130 is constituted by a sensor that receives electromagnetic waves (or radio waves) of a transmitter carried by each worker, for example. The worker detection sensor 130 is attached to, for example, the ceiling or wall of each area.
FIG. 2 shows an example in which, for example, a receiver 134 is installed in the apparatus room area 112 of the clean room area 110 as the worker detection sensor 130. The receiver 134 is attached to the ceiling of the device room 132 which is a section of the device room area 112. On the other hand, the worker 136 works on the semiconductor manufacturing apparatus 140 and the like while always carrying the transmitter 138. When the worker 136 enters the device chamber 132 to perform, for example, maintenance work on the semiconductor manufacturing apparatus 140, the receiver 134 provided on the ceiling receives electromagnetic waves from the transmitter 138 carried by the worker. Thereby, it can be detected that the worker 136 is in the device room area 112.
In this case, the transmitter 138 may transmit electromagnetic waves having different frequencies (radio frequencies) for each worker. And the frequency information which linked | related the frequency of each worker and each worker is memorize | stored in the frequency information database as an example of a frequency information storage means. This frequency information database may be included in the various databases 210 shown in FIG. Based on the frequency information in the frequency information database, the worker in the work area where the worker detection sensor 130 is installed can be specified by the frequency of the electromagnetic wave received from the worker detection sensor 130. The worker management apparatus 200 finds the worker detection sensor 130 that has received the electromagnetic wave of the frequency of the worker who is the target of work area detection from the sensor information from each worker detection sensor 130, and this worker detection sensor 130 is provided. The designated work area is specified as the work area where the worker is located.
The transmitter 138 encodes ID data serving as identification information for identifying each worker, converts the data into electromagnetic waves by modulation, and transmits the electromagnetic waves. The receiver 134 demodulates the electromagnetic waves received from the transmitter 138. The combined ID data may be sent to the worker management apparatus 200 as sensor information. This ID is stored in the worker skill information database 250 shown in FIG. Based on the ID (identification information) of the worker skill information database 250, the worker in the work area where the worker detection sensor 130 is installed is specified by the ID (identification information) received from the worker detection sensor 130. Can do. As a result, the worker management apparatus 200 finds the worker detection sensor 130 that has received the ID (identification information) of the worker who is the target of work area detection from the sensor information from each worker detection sensor 130, and this worker The work area where the detection sensor 130 is provided is specified as the work area where the worker is located. The transmitter 138 may be a mobile phone, a portable information terminal described later, or the like. Further, both the receiver 134 and the transmitter 138 may be transceivers. A specific example in this case will be described later.
Further, the worker's ID (identification information) may be stored in advance in the storage means (not shown) of the transmitter 138 held by the worker, or the bar-coded ID is read to read the transmitter 138. You may make it memorize | store in a memory | storage means. Specifically, for example, a transmitter 138 configured by a mobile phone, a portable information terminal, or the like is provided with a barcode reading unit such as an infrared reading unit, and a barcode ID is read by the barcode reading unit to transmit the transmitter. It may be stored in the storage means 138.
(Worker management device)
For example, the worker management apparatus 200 receives data from the worker detection sensor 130 and detects an area where each worker is present based on the data from the worker detection sensor 130. As shown in FIG. 3, the worker management apparatus 200 includes a control unit 202 having a memory such as a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and various information. In addition to a display unit 204 such as a display to be displayed, an input unit 206 for inputting various data, an input / output unit 208 for inputting data from the worker detection sensor 130, various databases 210, a program (not shown) or the like. Storage means such as a hard disk device for storage is provided. The memory of the control unit 202 stores a program and data to be accessed by the CPU. For example, a program stored in a recording medium such as the hard disk device is read and stored as necessary.
The various databases 210 include a work identification information database 220, a work priority information database 230, a work skill information (work skill information) database 240, a worker skill (worker skill information) information database 250, as shown in FIG. There is a trouble information (abnormal information) database 260 and the like.
(Work-specific information database)
The work specifying information database 220 stores work specifying information in which area information 222, device information (work information for the device) 224, and work content 226 are associated with each other, as shown in FIG. This work specifying information is used when, for example, the work that the worker is performing is specified. Specifically, the work currently performed by the worker (current work) is specified based on the area information of the worker detected by the worker detection sensor 130 and work specifying information such as access information of the semiconductor manufacturing apparatus 140.
The area information 222 is information on each area of the factory shown in FIG. In the present embodiment, the apparatus room area 112, the apparatus outside area 114 in the clean room area 110, the central audit room area 122, the power room area 124, the storage area 126, the storage area 126, the office area 128, the break room area 129 in the clean room outside area 120. Each area.
The device information 224 includes, for example, access information to control units such as the indoor control unit 116 and the outdoor control unit 118 of the semiconductor manufacturing device 140, an alarm of the semiconductor manufacturing device 140 that occurs in the event of an abnormality, abnormality notification information such as lamp lighting, and maintenance. This is the alarm information of the semiconductor manufacturing apparatus 140 that is generated when necessary, maintenance notification information such as lamp lighting, and the like. The access information to the control unit is, for example, information on whether or not there is an access for performing each operation such as maintenance of the semiconductor manufacturing apparatus 140. The work content 226 is a type of work performed in each area.
Here, an example of the work content 226 determined for each area will be described with reference to FIG. First, the work in the device room area 112 of the clean room area 110 includes trouble handling work (trouble handling maintenance) and periodic work.
The trouble handling work in the work contents of the device room area 112 is a work for solving the trouble when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 140 in the device room area 112. This trouble-handling work has an abnormality in the process of the electrical system trouble when the equipment's electrical system is abnormal, the mechanical trouble-handling work when there is an abnormality in the equipment's mechanical system, and the etching process. If there is a process-related problem The trouble of the semiconductor manufacturing apparatus 140 can be identified by the alarm means by the notifying means of the apparatus, the lighting of the lamp by the lamp means, and the like and the type of trouble.
Therefore, when it is determined that the worker is in the device room area 112, if a trouble has occurred due to the work specifying information, it can be determined that the worker is performing a trouble-solving work. At this time, more detailed troubleshooting work can be determined according to the type of trouble in the work identification information (for example, electrical system, mechanical system, process system, etc.). When there is a notification (alarm) of the semiconductor manufacturing apparatus 140, an operator usually accesses the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the indoor control unit 116 or the like, switches to the maintenance mode, and performs a check operation. Therefore, the troubleshooting operation may be determined from the access information of the worker at that time.
The regular work in the work content of the device room area 112 is, for example, work for parts replacement or wet cleaning for the semiconductor manufacturing apparatus 140. In the wet cleaning, an operator opens the processing chamber of the semiconductor manufacturing apparatus 140 in the apparatus chamber area 112 and performs cleaning using a chemical solution. Here, since the work is performed in the apparatus chamber area 112, wet cleaning is taken as an example of cleaning, but the present invention is not necessarily limited thereto. Even when parts replacement or wet cleaning is performed, when the semiconductor manufacturing apparatus 140 is accessed in order to perform maintenance work by notification (alarm), lamp lighting, etc., or switching to the maintenance mode from the indoor control unit 116 or the like. There is. For this reason, when it is determined that the worker is in the device room area 112, it can be determined that the worker is performing regular work according to the work specifying information such as the access information and the maintenance notification information. .
Next, the work in the device outdoor area 114 of the clean room area 110 includes normal operation work, regular work, and other work. The normal operation work includes, for example, inputting process conditions and the like from the outdoor control unit 118 to instruct production of a semiconductor device, and setting or moving a carrier (FOUP) containing a semiconductor wafer. It is. The operation of setting or moving the carrier (FOUP) is performed in the apparatus room area 112. However, since the outdoor control unit 118 issues a semiconductor device production instruction or the like thereafter, the work in the apparatus outdoor area 114 is performed. Is included in the work. However, when these operations are performed in the device chamber area 112, the operations may be performed in the device chamber area 112.
As described above, since the normal operation work normally accesses the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the outdoor control unit 118 or the like, when it is determined that the worker is in the equipment room area 112, the work is performed according to the access information. It can be determined that the person is performing normal operation work. Examples of the regular work in the apparatus outdoor area 114 include dry cleaning and seasoning for the semiconductor manufacturing apparatus 140. In the dry cleaning, the processing room of the semiconductor manufacturing apparatus 140 is cleaned by accessing the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the normal outdoor control unit 118 and inputting necessary information. Here, since the work is performed in the device outdoor area 114, dry cleaning is taken as an example of cleaning. However, the present invention is not necessarily limited thereto.
Other equipment outdoor work in the equipment outdoor area 114 (included in other work in the work classification described later in FIG. 6) includes monitoring the semiconductor manufacturing apparatus 140 and cleaning the surroundings. When it is determined that there is an operator in the device outdoor area 114, it can be determined that other work is being performed when there is no work specifying information such as access information and maintenance notification information. In order to judge these operations in more detail, for example, the operation content such as monitoring and cleaning may be input from the portable information terminal of the operator. The work may be determined using the input work content information as work specifying information.
Subsequently, the work in the area 120 outside the clean room includes work in the central audit room area 122, utility room area 124, storage area 126, and office area 128. All of these operations are included in other operations in the operation classification described later in FIG. In the break room area 129, it is possible to take a break or use a toilet. Examples of work in the central audit room area 122, utility room area 124, storage area 126, and office area 128 include production preparation work (may be process management work). As the production preparation work, for example, the central audit room area 122 monitors the entire production of semiconductor devices and changes the work of the production schedule (production process plan), and the storage area 126 performs parts management work, etc. In area 128, parts are ordered and other miscellaneous tasks are performed. In the utility room area 124, work such as trouble handling such as failure of the air purifier in the clean room or periodic work such as periodic maintenance of the air purifier is performed. In this way, the work being performed can be determined depending on which area the worker is in.
In the above example, the work for the area in the factory has been explained. However, the work in the area outside the factory, such as the acceptance work to the chemical tank that stores the chemical used for cleaning etc., is also performed outside the factory. Do. Therefore, when it is detected that the worker is outside the factory area, it can be determined that the factory is working outside the factory. Whether or not the worker is in the area outside the factory, for example, if the worker's whereabouts cannot be detected by the worker detection sensor 130 disposed in the factory, the worker is in the area outside the factory if the worker is working. You may judge.
Thus, in the present embodiment, the worker's current work is specified by the area information 222 and the device information 224 as the work specifying information. This is because the current work that the worker is performing can be roughly determined by the area information 222 indicating the area where the worker is located, and more detailed work in the rough work is determined from the device information 224 such as access information. Because it can. However, the present work is not necessarily limited to this, and the current work may be specified only by the area information 222 as the work specifying information. For example, by dividing the area inside and outside the factory more finely, it is possible to specify the current work in some detail based on the area information 222 alone. Further, the current work may be specified only by the device information 224 such as access information as the work specifying information.
(Work priority information database)
The work priority information database 230 stores work priority information which is roughly classified work classification and priority (priority) information of work belonging to the work classification. For example, as shown in FIG. 6, the priority 232 and the work classification 234 are composed of the highest priority 1 to the lowest priority 5.
The highest priority work classification of priority 1 is emergency work. Examples of the emergency work include a fire extinguishing work when a fire occurs and a gas leak handling work corresponding to a gas leak based on a notification from a gas detector. The identification of these operations is determined from a disaster sensor such as a fire alarm provided in each device room area 112, for example.
The work classification of priority 2 is trouble handling work corresponding to the trouble of the semiconductor manufacturing apparatus 140 provided in the equipment room area 112. This trouble handling work includes trouble handling work in the device room area 112 of the clean room area 110 shown in FIG. As described above, this trouble handling work includes maintenance corresponding to troubles such as electrical troubles, mechanical troubles, and process troubles. The trouble handling work includes electrical system troubles such as an air cleaner in the utility room area 124 and mechanical system troubles. These operations impede the production and quality of semiconductor devices and are caused by a decrease in yield. For this reason, troubleshooting work is given the highest priority among normal work that is not emergency.
The work classification with priority 3 is normal operation work. This normal operation work includes a normal operation work in the device outdoor area 114 of the clean room area 110 shown in FIG. This normal operation work is, for example, an operation for inputting a process condition or the like for instructing production of the semiconductor device described above, or setting or moving a carrier (FOUP) containing a semiconductor wafer. . In general, normal operation work is given priority unless there is any trouble in principle. This is because the normal operation work is work for the production of semiconductor devices.
The work classification with priority 4 is regular work. This regular work includes both the regular work in the device room area 112 of the clean room area 110 and the regular work in the device room outside area 114 shown in FIG. Examples of the periodic work include maintenance such as wet cleaning, dry cleaning, and component replacement as described above. Furthermore, regular maintenance such as an air cleaner in the utility room area 124 is also included. In principle, these steps are not performed until the production of the semiconductor device is stopped. Therefore, in this embodiment, the priority is set lower than the normal operation work. However, the present invention is not necessarily limited to this. Regardless of the priority, for example, in the production process of the semiconductor device, the entire or previous and subsequent production schedules may be judged and the work may be performed where it seems most appropriate. In this case, it is determined by the worker who has the process management skill (skill) by judging the whole or the production schedule before and after, and changes the priority as appropriate according to the timing. May be.
The work classification of priority 5 is other work. Other work here includes other work outside the equipment room in the equipment outside area 114 in the clean room area 110 shown in FIG. 5, work in the central audit room area 122 in the clean room outside area 120, work in the storage area 126, The work of the office area 128, the work of the break room area 129, and the work of the area outside the factory are included. Accordingly, the other work mentioned here includes, for example, parts ordering work, adjustment of semiconductor device production scheduling work, monitoring and cleaning of the semiconductor manufacturing apparatus 140.
In this embodiment, the priority of work is divided into five. However, the priority is not necessarily limited to this, and may be six or more priorities or four or less priorities. Also, the way of dividing work is not limited to this.
(Work skill information database)
The work skill information database 240 stores skill information (work skill information) necessary for the work itself, and an operator skill information database 250 (to be described later) that stores the skill information (worker skill information) possessed by the worker. Different. Specifically, the work skill information database 240 stores work skill information that associates the work 242 with the worker classification 244 roughly divided as shown in FIG.
The work 242 is further divided into a work classification 246 and a work content 248 included in the work classification 246. The work classification 246 here corresponds to the work classification 234 shown in FIG. The worker classification 244 that is most suitable for performing the work is associated with each work classification 246 or each work content 248 belonging to the work classification.
First, it is best to perform emergency response work such as fire extinguishing work for a fire regardless of the worker classification 244. It is best for engineers to perform trouble-shooting work. Furthermore, it is best for the electrical system engineer to handle the electrical system trouble, the mechanical system engineer to handle the mechanical system trouble, and the process system engineer to handle the process system trouble. This is because when an operator is an engineer, each worker has a specialized field, so it is considered optimal that an engineer corresponding to the specialty performs the work. That is, it does not necessarily mean that a special engineer must perform, and even if it is a non-specialist engineer, the worker may work if there is an engineer who can deal with the trouble.
The normal operation work is an operation of operating the control unit 116 or the like to cause the semiconductor manufacturing apparatus 140 to produce a semiconductor device. For this reason, it is optimal for the operator as an operator to perform. Note that this does not mean that the normal operation work must be performed by the operator. For example, since an engineer usually has skill as an operator, the engineer may perform normal operation.
The regular work is maintenance work such as cleaning and parts replacement. Therefore, it is best for a regular worker to do it. Note that this periodic work does not necessarily mean that the regular worker must perform the same as described above. For example, since an engineer and an operator usually have skills as regular workers, the engineer may perform normal operations.
Other work is, for example, work such as production scheduling of semiconductor devices. Therefore, other work is best performed by other workers who have the skills to deal with the work.
(Worker skill information database)
As shown in FIG. 8, the worker skill information database 250 stores worker skill information (worker skill information) possessed by the worker. This worker skill information is stored in items such as worker reference number 251, name 252, ID 253, password 254, affiliation 255, worker classification 256, and work 257. In addition to these items, for example, the shift (time) of the worker, the operation schedule of the semiconductor manufacturing apparatus, and the like may be stored. In addition, the unit price for performing the work for each work classification may be stored. The unit price of this work can be used when, for example, a worker is dispatched to a certain factory from another company and a fee is determined by the work.
The reference number 251 is the serial number of the worker, and the name 252 and ID 253 specify the worker.
The affiliation 255 stores the factory name, office name, company name, etc. to which the worker belongs. For example, when the worker is a worker of a factory provided with the worker management system according to the present invention, the factory name is stored in the affiliation 255. Further, when a worker belonging to another factory is dispatched to a factory equipped with the worker management system according to the present invention, the name of the other factory to which the affiliate belongs is stored in the affiliated 255. Further, as will be described later, when there is a company (sales company) that sells the semiconductor manufacturing apparatus 140 and a company (purchasing company) that is a customer who purchases the semiconductor manufacturing apparatus 140, an employee of the sales company serves as an operator of When dispatched to a factory, the sales company name is stored in the affiliation 255.
The worker classification 256 stores the worker classification shown in FIG. If the worker has the skill of an operator, the operator is designated as an operator, and if the worker has the skill to perform regular work, the worker is designated as a regular worker. In addition, if the worker is an engineer, it is preferable to describe his / her specialty as a mechanical engineer.
The work 257 stores a work for which the worker has skills. The operation 257 corresponds to the operation 242 shown in FIG. Specifically, the work 257 is divided into work classification and work content. Whether or not the worker can perform the work is represented by, for example, ○, Δ, and ×. ○ is a work that can be performed by the worker, △ is a work that is difficult but cannot be performed by the worker, and x is a work that cannot be performed by the worker.
The work 242 may store work that can be actually performed as well as work specialized by the worker himself / herself. For example, if the worker classification is a mechanical engineer, the mechanical trouble handling work belonging to his / her specialty is ○, but generally an engineer can also perform normal operation work. Also make ○. In addition, even if the worker is an electrical engineer, it may be possible to carry out work related to mechanical problems that are not their own specialty. In such a case, not only the electrical system trouble handling work but also the mechanical system trouble handling work may be marked as ◯.
(Trouble information database)
The trouble information (abnormal information) database 260 includes an error code information database 262 that stores trouble information based on an error code of the semiconductor manufacturing apparatus 140 and an inspection result information database 264 that stores trouble information based on the inspection result of the semiconductor device.
As shown in FIG. 9, the error code information database 262 includes an error code when there is a trouble (abnormality) in the semiconductor manufacturing apparatus 140, the contents of the error code, and a worker classification having skills (skills) that can cope with the error. Is stored. For example, the error code “AABB01” is used when the high-frequency reflected wave in the processing chamber exceeds the upper limit value in the plasma manufacturing apparatus 140 that performs etching processing using plasma generated in the processing chamber by applying high-frequency power as the semiconductor manufacturing apparatus 140, for example. It is an error. In this case, a high frequency generator or a matcher (matcher) provided in the plasma etching apparatus is an error target part. Therefore, the operator classification having the skill (skill) that can perform the trouble handling work of this error is an electrical engineer. On the other hand, the error code “CCDD01” is an error due to a decrease in the flow rate of the cooling water of the pump. In this case, the pump unit or the like is the error target part. Therefore, the worker classification having the skill (skill) that can perform the trouble handling work of this error is a mechanical engineer.
As shown in FIG. 10, the inspection result information database 264 has a skill (skill) that can cope with an inspection result when the semiconductor device manufactured by the semiconductor manufacturing apparatus 140 such as a plasma etching apparatus has an inspection abnormality, and an abnormality caused by the inspection result. The inspection result information associated with the operator classification having For example, a wafer manufactured by the semiconductor manufacturing apparatus 140 is subjected to various inspections by an inspection apparatus. The troubles caused by these inspection results are mainly handled by process engineers. By using such a trouble information database 260, it is possible to determine the optimum worker classification for performing the trouble handling work according to the type of trouble.
(Processing performed by the worker management device)
Next, a specific example of new work distribution processing performed by the worker management apparatus 200 will be described with reference to FIGS. Note that the processing in this embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device.
The new work distribution process according to the present embodiment determines whether to allow the worker to continue the current work or to perform a new work based on the worker's current work when a new work occurs. (Determining means), instructing the worker to perform the work according to the determination result of the determining means (indicating means). This is a process for selecting and giving an instruction to the optimum worker while considering the work contents of the new work, the skill of the worker, the priority of the current work and the new work, and the like.
Specifically, in the new work distribution process, as shown in FIG. 11, it is first determined whether or not a new work has occurred in step S110. For example, the semiconductor manufacturing apparatus 140 is judged from error (alarm) information in addition to error information, and a new work is specified.
For example, when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 140, the worker management apparatus 200 receives an alarm from the semiconductor manufacturing apparatus 140 and error information including an error code. If the error code information database 262 of the trouble information database 260 is used, what kind of trouble the new work is based on the error code of the error information (electrical trouble handling work, mechanical trouble handling work) Can be specified.
If the inspection result from the inspection apparatus of the semiconductor manufacturing apparatus 140 is received and the inspection result is abnormal, the new result can be obtained by using the inspection result information database 264 of the trouble information database 260. Can be identified as work related to process problems, and details of the trouble can also be acquired.
In addition, when the lot of the semiconductor manufacturing apparatus 140 is finished, there is a notice of the lot end. As a result, it is possible to specify that the new work is a regular work such as a preparation work for the next lot, a normal operation work, etc. When a notification such as cleaning is received from the semiconductor manufacturing apparatus 140, it can be specified that the new operation is a periodic operation.
Next, in step S120, a worker who can perform the new work is extracted (example of worker extraction means). For example, a worker classification that is optimal for performing the new work is searched from the work skill information database 240, and a worker having the worker classification is extracted based on the worker skill information database 250. Further, even if the worker does not belong to the worker category that is most suitable for performing the new work, a worker who has a circle in the work 257 column of the worker skill information database 250 can perform the new work. it can. Therefore, these workers are also subject to extraction.
In the column of the work 257 of the worker skill information database 250, for example, an electrical engineer is always marked with a circle for electrical system trouble handling work, and a circle for a specialized work of worker classification is always marked. In addition, there is a case where there is a worker who is marked with ○ even in a work other than the specialty, and a triangle is attached if there is nothing that cannot be done in the work other than the specialty. Therefore, it is possible to extract only the workers with ◯ and Δ based only on the column of the operation 257 in the operator skill information database 250, regardless of the operator classification.
Subsequently, priority is given to the worker in step S130 (priority giving means). Prioritize the most appropriate worker based on work skills and worker skills. For example, the priority of the worker with a circle in the work column of the worker skill information database 250 is increased. This is because the work allows a specialized worker to preferentially hit the work. Details of the processing for assigning priorities to workers will be described later.
Next, the worker who performs the work is determined in step S140. For example, the worker is determined based on the priority of the work currently being performed by the worker and the new work in order from the worker having the highest priority. Details of the processing for determining the worker will be described later.
Next, in step S150, the operator determined in step S140 is instructed to execute a new operation (instruction means). At this time, for example, an instruction may be issued to perform a new work on the portable information terminal held by the worker.
Subsequently, in step S160, it is determined whether or not the worker is currently working. Since the current work is detected in the worker determination process in step S140 (step S320 shown in FIG. 13), the determination is made using the result. This is because if there is a current work for a worker who instructs a new work, it is necessary to select a substitute worker for the current work and issue an instruction. If it is determined in step S160 that the worker has a current work, the current work is set as a new work in step S170, and the process returns to step S120 to determine what to do instead. If it is determined in step S160 that the worker has no current work, this process is terminated.
Here, an example of the worker priority assignment process (worker priority assignment means) in step S130 will be described with reference to the subroutine shown in FIG. The work that is set as a new work in step S210 is sorted so as to increase the priority of such a worker, with the first key being a circle in the work 257 column of the worker skill information database 250. . Subsequently, in step S220, the worker classification of the new work is sorted as the second key so as to give the highest priority for the workers of the work classification matching the worker classification.
In this way, a worker whose work column in the worker skill information database 250 is marked with a circle and the worker classification of the new work matches has the highest priority. For example, when the worker classification of the worker having the new work skill is an electrical engineer, even if a mechanical engineer is included in the extracted workers, the priority of the electrical engineer Becomes higher. As a result, when the worker is determined in step S140, it can be determined whether the new work can be assigned in order from the worker most suitable for the new work. As a result, the worker most suitable for the new work can be found earlier.
Next, an example of processing for determining an operator in step S150 will be described with reference to a subroutine shown in FIG. First, in step S310, the worker priority order k = 1 obtained in step S140 shown in FIG. 13 is set, and worker determination processing is performed in descending order of priority. Next, in step S320, the work currently performed by the worker (current work) is detected (example of current work specifying means). The detection of the worker's current work is performed based on, for example, which area the worker is in.
The processing for detecting the worker's work is performed, for example, as a subroutine shown in FIG. 14 (example of current work specifying means). First, in step S410, area information in which the worker exists is detected. Thereby, a certain amount of work (work classification) can be detected. Specifically, based on sensor information from the worker detection sensor 130, which area the worker is in among the areas such as the device room area 112 in the clean room area 110 is detected. For example, an installation area of the worker detection sensor 130 in which the frequency of the worker is detected is set as an area where the worker is present. If the operator's frequency is detected by the worker detection sensor 130 installed in the device room area 112 in the clean room area 110, the operator is determined to be in the device room area 112, and the operator's frequency is If detected by the installed worker detection sensor 130, it is determined that the worker is in the device outdoor area 114.
In step S420, device information such as access information to the semiconductor manufacturing apparatus 140 is detected. As a result, more detailed work can be detected. The apparatus information accessed from the semiconductor manufacturing apparatus 140, the control units 116, 118, etc. is received by the worker management apparatus 200. The worker is identified from the access information by ID and password, and it is determined what kind of work the worker is performing. In addition, apparatus information such as notification (alarm) information of the semiconductor manufacturing apparatus 140 is also received by the worker management apparatus 200. The work can also be detected from the notification information.
In step S430, the current work of the worker is specified based on the work specifying information in the work specifying information database 220 shown in FIG. 5 based on the area information and the device information. For example, when it is determined that the worker is present in the device room area 112 in the clean room area 110 as area information, and further it is determined that there is notification information and trouble handling access as the device information, trouble handling is performed as the work content of the current work. Determine that you are working.
Next, in step S330 shown in FIG. 13, it is determined whether or not the worker is currently working. If a work is specified in step S320, it is determined that there is a current work. If no work is specified, it is determined that there is no current work. When it is determined in step S330 that there is no current work, the worker is determined as a worker who performs a new work in step S400 (worker specifying means).
In contrast, if it is determined in step S330 that there is a current work, the priority of the current work is acquired based on the work priority information in the work priority information database 230 in step S340, and the new work is obtained in step S350. Get work priority. Next, in step S360, it is determined whether or not the current work priority (U1) is higher than the current priority (U2), or whether the priorities are the same. If it is determined in step S350 that the priority of the current work is higher than the current priority, or if the priority is determined to be the same, the priority order k is incremented (k = k + 1) in step S370. Subsequently, in step S380, it is determined whether or not processing has been performed for all workers assigned priority. For example, the number of workers extracted and given priority is set as N, and the determination is made based on whether or not the priority k = N + 1. If it is determined in step S380 that all workers assigned priority levels have not been processed yet, for example, if it is determined that priority level k = N + 1 is not satisfied, the process returns to step S320 and the next step is performed. Processing is performed for the workers with priority.
If it is determined in step S350 that the priority of the current work for the worker is lower than the current priority, the worker is determined as a worker who performs a new work in step S400. The operator determined in this way is instructed to perform a new operation in step S150 shown in FIG.
The priorities of the current work and the new work thus detected are compared, and if the new work has a higher priority, the worker is instructed to perform the new work. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not the worker is to perform a new work according to the priority with the current work. The work can be processed as quickly as possible. As a result, work distribution can be optimized.
If it is determined in step S380 that all workers assigned priority levels have been processed, for example, if it is determined that priority level k = N + 1, error processing is performed in step S390. As the error processing, for example, a display indicating that the corresponding worker is not found is displayed on the display unit 204. In this case, for example, it may be notified to an operator who can perform the operation. According to the above-described processing, the higher the priority processing, the more often the worker is found. Therefore, the processing in which the worker is not found is likely to be the low-priority processing. Therefore, for example, the above processing may be performed again at different times.
In the error processing of step S390, the worker classification of the worker having the skill necessary for the work is retrieved from the work that the worker is not found based on the work skill information in the work skill information database 240, and the above work, You may make it memorize | store a worker classification, a date, etc. by a log file. For example, if the work for which a worker was not found is a mechanical trouble handling work, the mechanical engineer can search for the worker classification of the worker who has the skills necessary for that work, so the log file will contain the work for handling the mechanical trouble. Memorize mechanical engineers. This shows that there may be a shortage of mechanical engineers in the factory.
In this way, the log file can be used as a material for determining whether or not the number of workers in the factory needs to be increased or decreased. For example, when error processing occurs frequently, there are insufficient workers, and it can be estimated which worker classification the operator is insufficient. In addition, the number of extra workers can be reduced by reducing the number of workers to such an extent that error processing does not occur. As a result, it is possible to assign the necessary number of workers of the necessary worker classification to the factory, so that not only the work efficiency per worker can be improved, but also the efficiency of the number of workers. Can also be achieved.
According to such a process, for example, a mechanical system trouble handling work occurs as a new work, and the electrical engineer Mr. A and the mechanical system engineer B are extracted as workers who can perform the new work. If the operator is Mr. C, the priorities of these workers are in the order of mechanical engineer B, electrical engineer A, and operator C, and are processed in this order. In this case, if there is no current work for Mr. B, the worker for the new work is determined to be Mr. B.
Even if Mr. B has a current work, if the current work is a normal operation work, for example, according to the work priority information database 230 shown in FIG. Since the work for dealing with mechanical problems, which is a new work, is higher in priority than the normal operation work, the worker for the new work is also determined to be Mr. B in this case.
In this case, the normal operation work which is Mr. B's current work is repeated as a new work. At this time, the operator's priority is in the order of operator C, electrical engineer A, and mechanical engineer B, which are processed in this order. At this time, if the operator Mr. C has no current work, the worker for the new work is determined to be Mr. C.
In addition, even if Mr. C has a current work, if the current work is a regular work, according to the work priority information database 230 shown in FIG. Since the normal operation work is higher in priority, the worker of the new work is also determined to be Mr. C in this case.
However, when Mr. C's current work is a normal operation work in another area, according to the work priority information database 230 shown in FIG. 6, the current work and the new work have no priority. I ask him to continue working now. If there is no current work by Mr. A, an electrical engineer, Mr. A will be selected as the new worker.
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the worker management system when the present invention is applied to a semiconductor manufacturing factory will be described with reference to the drawings. In the second embodiment, the configuration from FIG. 1 to FIG. 10 is the same, and a detailed description thereof is omitted. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
Another specific example of the new work distribution process performed by the worker management apparatus 200 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. Note that the processing in this embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device.
In the new work distribution process in the second embodiment, the difference from the case shown in FIG. 11 in the first embodiment is that when a new work occurs, all the works including the new work and the current work of all workers are described. The point is that the work is redistributed so that the optimum worker can perform the work while considering the priority of each work, the work skill, the worker skill, and the like.
Specifically, as shown in FIG. 15, it is first determined in step S510 whether a new work has occurred. As in step S310, for example, determination is made based on error information, notification information, and the like when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 140. In step S520, the current work of all workers is detected. This worker's current task detection process is performed for all workers by, for example, repeating the subroutine shown in FIG. 14 for each worker.
In step S530, redistribution is performed for all work including new work and current work (work redistribution means). In this way, when new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all work including the new work are redistributed, so that all work including the new work is more appropriate. Can be assigned. As a result, work distribution efficiency and work efficiency can be improved. Details of the work redistribution process will be described later.
In step S540, each worker is instructed to perform the work distributed to the worker. For example, you may make it instruct | indicate so that the operation | work applicable to each portable information terminal which each worker has may be performed.
In step S550, it is determined whether undistributed work remains. When it is determined in step S550 that undistributed work remains, in step S560, the worker who can respond is notified that there is undistributed work, and the process ends. . If it is determined in step S550 that there is no undistributed work remaining, the process ends.
Here, an example of the work redistribution process (work redistribution means) in step S530 will be described with reference to a subroutine shown in FIG. First, in step S610, all work including the new work and the current work are sorted in descending order of priority based on the work priority information in the work priority information database 230. Let W be the priority of the work at this time. Subsequently, in step S620, the priority order W is set to 1, and the optimum worker is determined by the subsequent processing from the work with the highest priority order.
Next, in step S630, workers who can perform the work are extracted. In step S640, priorities are assigned to the workers. This priority assignment processing is performed, for example, by a subroutine shown in FIG. Subsequently, an operator is determined in step S650. This worker determination process is performed by, for example, a subroutine shown in FIG.
Next, in step S660, the work priority W is incremented (W = W + 1), and in step S670, it is determined whether all the corresponding work has been processed. Thus, in principle, workers are determined for all tasks. However, depending on the work, an appropriate worker may not be found. In this case, the operator who is able to work as undistributed work is notified of this in steps S550 and 560 shown in FIG.
According to such processing, when a new work occurs, for example, the current work of all workers is detected, and priorities are assigned to all work including the new work based on the work priority information database 230. The worker who performs the work is determined from the work with high priority. For example, if the priority of all work is the machine trouble handling work and the normal operation work, the worker is first determined from the machine trouble handling work.
As for the first work related to mechanical trouble handling, it is assumed that the electrical engineer Mr. A, the mechanical engineer Mr. B, and the operator Mr. C were extracted as workers who can perform the work. The priorities of these workers are in order of mechanical engineer B, electrical engineer A, and operator C, and are processed in this order. In this case, if Mr. B does not have any current work, Mr. B is determined as the worker for the mechanical system trouble handling work.
Next, the worker is determined for normal operation work. At this time, the operator's priority is in the order of operator C, electrical engineer A, and mechanical engineer B, which are processed in this order. At this time, if the operator Mr. C has no current work, the worker for the new work is determined to be Mr. C.
In this way, when new work occurs, all work including the new work is redistributed, and at that time, workers are determined in order of priority of work. Person can be determined. Also, when redistributing all work including new work, the priority of the detected current work and new work is compared, and if the new work has a higher priority, the new work is given to that worker. Can be instructed to do. As a result, it is possible to select a more optimal worker for an important work with a higher priority, so that work efficiency can be optimized by optimizing work distribution.
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the worker management system when the present invention is applied to a semiconductor manufacturing factory will be described with reference to the drawings. In 3rd Embodiment, since the structure to FIGS. 1-10 is the same, the detailed description is abbreviate | omitted. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. Note that the processing in this embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device.
A work database creation process as an example of work information storage means performed by the worker management apparatus 200 according to the third embodiment will be described with reference to FIG. The work database is a database that is a basis for creating a daily work report for each worker described later. Therefore, the work database stores work performed every predetermined time for each worker. Therefore, the work database creation processing is executed at predetermined time intervals according to the time described in the daily work report. For example, when creating a daily work report for every hour, the work database creation process is executed every hour, and when creating a daily work report for every 30 minutes, the work database creation process is performed for 30 minutes. Run every time.
In the process of creating the work database, first, in step S710, a work (current work) currently performed by all workers is detected. The current work detection process for each worker is performed for all workers by, for example, repeating the subroutine shown in FIG. 14 for each worker. In step S720, the current work detected for each worker is stored. In this way, if a worker's current work is detected and stored every predetermined time, a work database is created for each worker. This work database may be included in the various databases 210 shown in FIG. 3, for example.
Next, a daily work report creation process as an example of work report creation means performed by the worker management apparatus 200 will be described with reference to FIG. The daily work report creation process automatically creates a daily work report for each worker.
First, in step S810, an operator is specified. The worker who creates the daily work report is specified. Here, you may be able to create a daily work report for a specific worker by entering the worker on the operation screen, and automatically identify each worker one after another and work on all workers. A daily report may be created.
In step S820, daily work report data for the worker is created based on the work database created by the process shown in FIG. The daily work report data is created by extracting the work on the corresponding day of the worker.
In step S830, the daily work report is printed. For example, the daily work report is printed and output by a printer connected to the worker management apparatus 200, and this processing is terminated. An example of the daily work report created in this way is shown in FIG. This daily work report is an example in which the work database creation process shown in FIG. 17 is performed every hour as a predetermined time to detect the current work of the worker.
Note that this daily work report can also be used when, for example, workers are dispatched from a different company to a certain factory and charges are determined by the work. When the work unit price is stored in the worker skill information database 250, the work unit price of each work can also be retrieved and printed, and a charge corresponding to the work content can be charged from the total amount.
If monthly data is extracted from the work database, a work monthly report can be created and printed. Thus, according to this embodiment, work reports such as daily work reports and monthly work reports can be easily created. In addition, it automatically detects the work of the worker and creates a work database that is the basis for the worker report. This saves the user from having to input information from a portable information terminal each time the work is performed. Work efficiency is improved. Moreover, since it is not necessary to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created.
According to the present invention as described above, it is possible to easily identify the work that the worker is currently performing. For example, even when a new work occurs, the priority between the current work and the new work is considered. , It is possible to select the most appropriate worker to perform the work. In this way, each worker can be placed in the right place for the right material, and the work efficiency of each worker can be improved.
In the above-described embodiment, as shown in FIG. 1, for example, the receiver 134 disposed in each area 110, 120 as the worker detection sensor 130 is connected to the worker management apparatus 200 by a communication cable or the like. Although described above, the present invention is not necessarily limited to this, and a network may be used instead of a communication cable or the like. 2 may be a transceiver having a transmission / reception function, and the transmitter 138 may be a portable information terminal having a transmission / reception function. In this case, the portable information terminal may be provided with various sensors such as an odor sensor, and the abnormality determination may be performed based on the detection values of these sensors.
Specifically, as shown in FIG. 20, a transmitter / receiver 320 with a network connection function having a network connection function, for example, a router function, is provided in the apparatus room area 112, for example. The transceiver 320 with a network connection function is connected to the worker management apparatus 200 via the network 300. The worker management apparatus 200 is connected to the network 300 via a network connection apparatus 340 having a network connection function, for example, a router function.
A transmitter 138 as shown in FIG. 2 carried by an operator may be configured by a portable information terminal 360 having a transmission / reception function. Examples of such portable information terminal 360 include a PDA (Personal Digital Assistant), a notebook computer, and a computer capable of pen input (for example, a tablet PC).
The portable information terminal 360 includes a control unit 364, a modulation / demodulation unit 366, a communication interface 368, etc., in addition to various sensors 362 such as an odor sensor, a high frequency sensor, and a low frequency sensor for detecting sound and odor to detect abnormality. . The modulation / demodulation unit 366 modulates data transmitted via the communication interface 368 into, for example, a radio signal, or demodulates data received via the communication interface 368.
The network 300 may be a public line network such as the Internet, or may be a closed line network such as a WAN (Wide Area Network), a LAN (Local Area Network), and an IP-VPN (Internet Protocol-Virtual Private Network). Good. The connection medium may be a satellite network or the like regardless of wired radio such as an optical fiber cable by FDDI (Fiber Distributed Data Interface), a coaxial cable or twisted pair cable by Ethernet, or wireless by IEEE802.11b.
The transceiver 320 with a network connection function is configured to have a wireless router function, for example, and the communication interface 368 of the portable information terminal 360 is configured with a wireless LAN card or the like, so that the transceiver 320 with a network connection function is portable. Data may be transmitted to and received from the type information terminal 360 via a wireless LAN.
The various sensors 362 of the portable information terminal 360 may detect a frequency, a period, or the like that cannot be detected by humans. Moreover, when providing an odor sensor as the various sensors 362, you may detect, for example by adsorb | sucking an odor component to the sensor surface. The odor sensor may be a gas detection sensor, for example, and may detect a gas harmful to the human body such as a halogen gas such as CO or Cl. Further, for example, the friction degree and viscosity of the oil may be detected from the oil vapor of the exhaust pump that exhausts the processing chamber of the semiconductor manufacturing apparatus.
Specifically, examples of the various sensors 362 include an oscilloscope, a spectrum analyzer, a first Fourier ton threshold (FFT), a vibration analyzer, a vibrating crystal sensor, a semiconductor sensor, and an optical sensor. The portable information terminal 360 may include a changeover switch (not shown) for various sensors 362 so that the operator can select and use a desired sensor with the changeover switch.
Note that data (external environment information) input by an operator from an input unit provided in the portable information terminal 360 may be sensor data. As the external environment information, for example, various data such as data measured by a worker using a measuring instrument and data displayed on an operation panel may be input as sensor data. The input means may be a known input means such as key input or touch panel input.
The control unit 364 of the portable information terminal 360 makes an abnormality determination on a semiconductor manufacturing apparatus or the like based on detection values from various sensors 362, for example. For example, if a sound or odor is detected, it may be determined that an abnormality has occurred, and a threshold value indicating whether or not there is an abnormality is stored in a storage unit (not shown), and a sound or odor exceeding the threshold value is stored. When is detected, it is determined that an abnormality has occurred. Thus, for example, an abnormality can be determined before an error as shown in FIG. 9 occurs.
If it is determined that an abnormality has occurred, the portable information terminal 360 transmits data from the corresponding sensor among the various sensors 362 to the worker management apparatus 200 via the network 300. Based on the sensor data received from the portable information terminal 360, for example, the worker management apparatus 200 determines whether a new operation in step S110 shown in FIG. 11 or step S510 shown in FIG. 15 has occurred.
Specifically, for example, an error pre-information database (not shown) for storing, as prior information, signs before an error as shown in FIG. 9 is provided in various databases 210, and based on the signs stored in the error pre-information database. Overall work is identified and it is judged that new work has occurred. In this case, the worker management apparatus 200 may access the semiconductor manufacturing apparatus 140 that is determined to be abnormal, and cause notification by an alarm by the notification means, lighting of the lamp by the lamp means, and the like.
Specific examples stored in the error prior information database are as follows. In the error prior information database, for example, as the vacuum side error prior information, the leak rate increases (indication 1), the base pressure rises (indication 2), the atmosphere side error prior information as abnormal noise (indication 3), and the vibration increase (indication 4) Is remembered. An increase in leak rate (symptom 1) is a sign when air flows into the processing chamber due to deterioration of an O-ring provided in the processing chamber of the semiconductor manufacturing apparatus, for example. The base pressure rise (symptom 2) is a sign when the vacuuming ability is insufficient due to, for example, fatigue of a vacuum pump that evacuates the processing chamber or accumulation of foreign matter. Abnormal noise (indication 3) is an indication in the case where, for example, deterioration of the bearing occurs due to deterioration of the bearing in addition to deterioration of the vacuum pump. The vibration increase (indication 4) is an indication in the case where, for example, the bearing is deteriorated in addition to the accumulation of foreign matter and the vacuum pump, resulting in a poor balance of the semiconductor manufacturing apparatus. The signs 1 and 2 can be determined based on external environment information input to the portable information terminal 360 by an operator, for example. The signs 3 and 4 can be determined based on sensor data detected from the various sensors 362.
When such a sign is stored in the error prior information database, for example, based on the external environment information input to the portable information terminal 360 by the operator, it is determined that the sign is only 1, and there is no sign 3 or 4 In this case, it is highly possible that the vacuum pump is normal, and there is a high possibility that a chamber leak (a leak has occurred in the processing chamber). to decide. Accordingly, an instruction is given to the worker who is specified to perform the new work in FIGS. 11 and 15 to perform the new work. Specifically, for example, the worker management apparatus 200 transmits an instruction to the portable information terminal 360 of the worker via the network 300.
Note that the sensor data detected or inputted by the portable information terminal 360 shown in FIG. 20 may be transmitted to the worker management apparatus 200 each time, and the area of step S410 shown in FIG. When the information is detected, it may be transmitted to the worker management apparatus 200 together with the worker identification information. Then, the operator management device 200 may determine whether or not there is an abnormality, and may determine whether a new operation has occurred.
The transmission / reception functions of the transceiver 320 with a network connection function and the portable information terminal 360 are not limited to wireless transmission / reception functions, and various transmission / reception functions such as infrared transmission / reception functions can be applied. Further, the portable information terminal 360 may be provided with a GPS (Global Positioning System), and the position of the worker may be detected based on the GPS.
The preferred embodiments according to the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the examples. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are of course within the technical scope of the present invention. Understood.
For example, the present invention may be applied as a worker management system that manages workers of a company that owns a semiconductor manufacturing factory, and dispatches workers from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory. In such a case, it may be applied as a worker management system for managing the worker including the worker. In particular, employees of companies that manufacture or sell semiconductor manufacturing equipment are dispatched as workers to customers who purchase or use semiconductor manufacturing equipment to perform maintenance such as semiconductor manufacturing equipment or semiconductor manufacturing. In this case, it may be applied as a worker management system for managing the worker. As a result, the work efficiency per worker for dispatch can be maximized, and the worker classification and the number of workers can be determined according to the characteristics of the dispatched factory.
As a result, it is possible for the company that manufactures or sells the semiconductor manufacturing apparatus to minimize the number of workers dispatched to the customer company that purchases or uses the semiconductor manufacturing apparatus. On the other hand, for a customer company that purchases or uses a semiconductor manufacturing apparatus, it is possible to minimize the labor cost required for workers dispatched from a company that manufactures or sells the semiconductor manufacturing apparatus.

Industrial applicability

本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に適用可能である。 The present invention is applicable to a worker management system, a worker management device, and a worker management method.

Explanation of symbols

１００半導体製造工場
１１０クリーンルームエリア
１１２装置室エリア
１１４装置室外エリア
１１６室内制御部
１１８室外制御部
１２０クリーンルーム外エリア
１２２中央監査室エリア
１２４用力室エリア
１２６保管庫エリア
１２８オフィスエリア
１２９休憩室エリア
１３０作業者検出センサ
１３２装置室
１３４受信機
１３６作業者
１３８送信機
１４０半導体製造装置
２００作業者管理装置
２０２制御部
２０４表示部
２０６入力部
２０８入出力部
２１０各種データベース
２２０作業特定情報データベース
２３０作業優先度情報データベース
２４０作業スキル情報データベース
２５０作業者スキル情報データベース
２６０トラブル情報データベース
２６２エラーコード情報データベース
２６４検査結果情報データベース
３００ネットワーク
３２０ネットワーク接続機能付送受信機
３４０ネットワーク接続装置
３６０携帯型情報端末
３６２各種センサ
３６４制御部
３６６変復調部
３６８通信インタフェースDESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Semiconductor manufacturing plant 110 Clean room area 112 Equipment room area 114 Equipment outside area 116 Indoor control part 118 Outdoor control part 120 Outside the clean room 122 Central audit room area 124 Power room area 126 Storage area 128 Office area 129 Rest room area 130 Worker Detection sensor 132 Device room 134 Receiver 136 Worker 138 Transmitter 140 Semiconductor manufacturing device 200 Worker management device 202 Control unit 204 Display unit 206 Input unit 208 Input / output unit 210 Various databases 220 Work identification information database 230 Work priority information database 240 Work skill information database 250 Worker skill information database 260 Trouble information database 262 Error code information database 264 Inspection result Result information database 300 Network 320 Transmitter / receiver with network connection function 340 Network connection device 360 Portable information terminal 362 Various sensors 364 Control unit 366 Modulation / demodulation unit 368 Communication interface

Claims

A workplace divided into multiple work areas according to the work content;
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and work contents performed in each work area are associated;
Worker detection means provided in each work area;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
A determination means for determining whether to allow the worker to continue the current work or to perform a new work based on the current work specified by the current work specifying means;
Instruction means for issuing an instruction to perform work to the worker according to the determination result of the determination means;
An operator management system characterized by comprising:

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit electromagnetic waves having different frequencies for each worker,
The worker position specifying means finds the worker detecting means that has received electromagnetic waves having the frequency of the worker who is the target of the work area detection, and the work area in which the worker is located is located in the work area provided with the worker detecting means. The worker management system according to claim 1, wherein the worker management system is specified as an area.

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit an electromagnetic wave carrying identification information for identifying the worker for each worker,
The worker position specifying means acquires the worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the worker identification information to be a work area detection target, and detects the worker detection. 2. The worker management system according to claim 1, wherein the work area provided with the means is specified as a work area where the worker is present.

Work information acquisition means for acquiring work information of an operator from a work device provided in the work area is provided,
In addition to the work area information identified as the work area where the worker is present, the current work identifying means obtains work information from the work device on which the worker is working from the work information obtaining means, The worker management system according to claim 1, wherein the worker's current work is specified based on the area information and the work information.

A work area divided into a plurality of work areas according to work contents; work identification information storage means for storing work identification information in which each work area and work contents performed in each work area are associated;
Worker detection means provided in each work area;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
Worker skill information storage means for storing worker skill information that associates each worker with the work that can be performed by each worker;
Work priority information storage means for storing work priority information;
A new work detection means for detecting that a new work has occurred;
When the new work detection means detects a new work, based on worker skill information in the worker skill information storage means, worker extraction means for extracting workers who can perform the new work;
The current work of the worker extracted by the worker extraction means is specified by the current work specifying means, and based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority order of the current work and the priority of the new work Worker identification means for obtaining and comparing ranks, and performing worker identification processing for identifying a worker whose priority of the new work is higher than that of the current work as a worker of the new work;
Instruction means for instructing the worker identified by the worker identification means to perform the work of the new work;
An operator management system characterized by comprising:

The worker skill information storage means stores worker classification for each worker,
Work skill information storage means for storing work skill information in association with each work and a worker classification having skills capable of performing each work, and the worker skill for each worker extracted by the worker extraction means The worker classification obtained by the information storage means is obtained, and the worker classification of the new work is obtained based on the work skill information in the work skill information storage means, and the obtained worker classification is the same. Providing priority ordering means for assigning priorities to workers so that the priorities of workers are higher,
The worker specifying means performs the worker specifying process in order from the worker with the highest priority of the workers assigned by the priority order assigning means among the workers extracted by the worker extracting means. The worker management system according to claim 5.

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit electromagnetic waves having different frequencies for each worker,
The worker position specifying means finds the worker detecting means that has received electromagnetic waves having the frequency of the worker who is the target of the work area detection, and the work area in which the worker is located is located in the work area provided with the worker detecting means. 6. The worker management system according to claim 5, wherein the worker management system is specified as an area.

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit an electromagnetic wave carrying identification information for identifying the worker for each worker,
The worker position specifying means acquires the worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the worker identification information to be a work area detection target, and detects the worker detection. 6. The worker management system according to claim 5, wherein a work area provided with means is specified as a work area where the worker is present.

Work information acquisition means for acquiring work information of an operator from a work device provided in the work area is provided,
In addition to the work area information identified as the work area where the worker is present, the current work identifying means obtains work information from the work device on which the worker is working from the work information obtaining means, 6. The worker management system according to claim 5, wherein a current work of the worker is specified based on the area information and the work information.

A workplace divided into multiple work areas according to the work content;
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and work contents performed in each work area are associated;
Worker detection means provided in each work area;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
Work priority information storage means for storing work priority information;
A new work detection means for detecting that a new work has occurred;
When the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means specifies the current work of all workers, and all the work including the new work in the current work is stored in the work priority information storage means. Work redistribution means for assigning work priorities according to priority information, and reassigning all work from high priority work to all workers;
Instruction means for instructing all workers of the work assigned by the work redistribution means;
An operator management system characterized by comprising:

The work redistribution means changes from a work with a high priority to a new work,
Worker skill information storage means for storing worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker;
Worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on worker skill information in the worker skill information storage means;
The current work of the worker extracted by the worker extraction means is specified by the current work specifying means, and based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority order of the current work and the priority of the new work Worker identification means for obtaining and comparing ranks and performing worker identification processing for identifying a worker whose priority of the new work is higher than that of the current work as a worker of the new work; The worker management system according to claim 10.

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit electromagnetic waves having different frequencies for each worker,
The worker position specifying means finds the worker detecting means that has received electromagnetic waves having the frequency of the worker who is the target of the work area detection, and the work area in which the worker is located is located in the work area provided with the worker detecting means. The worker management system according to claim 10, wherein the worker management system is specified as an area.

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit an electromagnetic wave carrying identification information for identifying the worker for each worker,
The worker position specifying means acquires worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the worker identification information to be a work area detection target, and detects the worker detection. 11. The worker management system according to claim 10, wherein a work area provided with means is specified as a work area where the worker is present.

Work information acquisition means for acquiring work information of an operator from a work device provided in the work area is provided,
In addition to the work area information identified as the work area where the worker is present, the current work identifying means obtains work information from the work device on which the worker is working from the work information obtaining means, 11. The worker management system according to claim 10, wherein the worker's current work is specified based on the area information and the work information.

A workplace divided into multiple work areas according to the work content;
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and work contents performed in each work area are associated;
Worker detection means provided in each work area;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
Work information storage means for specifying the current work of all workers by the current work specifying means for each predetermined time, and storing the current work for every worker;
A work report creating means for creating a work report including work details performed every predetermined time by a desired worker based on the work information stored in the work information storage means;
An operator management system characterized by providing

The work report creation means also stores a work unit price when each work is performed for each work,
16. The worker management system according to claim 15, wherein the work report creation means creates a work report including a work unit price of work and a total amount of the work unit price.

The worker management system according to claim 10, wherein the work place is a semiconductor manufacturing factory.

18. The worker management system according to claim 17, wherein the worker is a worker dispatched from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory as the work place.

A worker management device for managing workers performing work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and work contents performed in each work area are associated;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided in each work area;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
A determination means for determining whether to allow the worker to continue the current work or to perform a new work based on the current work specified by the current work specifying means;
Instruction means for issuing an instruction to perform work to the worker according to the determination result of the determination means;
An operator management device comprising:

A worker management device for managing workers performing work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area and work details performed in each work area are associated;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided in each work area;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
Worker skill information storage means for storing worker skill information that associates each worker with the work that can be performed by each worker;
Work priority information storage means for storing work priority information;
A new work detection means for detecting that a new work has occurred;
When the new work detection means detects a new work, based on worker skill information in the worker skill information storage means, worker extraction means for extracting workers who can perform the new work;
The current work of the worker extracted by the worker extraction means is specified by the current work specifying means, and based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority order of the current work and the priority of the new work Worker identification means for obtaining and comparing ranks, and performing worker identification processing for identifying a worker whose priority of the new work is higher than that of the current work as a worker of the new work;
Instruction means for instructing the worker identified by the worker identification means to perform the work of the new work;
An operator management device comprising:

A worker management device for managing workers performing work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and work contents performed in each work area are associated;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided in each work area;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
Work priority information storage means for storing work priority information;
A new work detection means for detecting that a new work has occurred;
When the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means specifies the current work of all workers, and all the work including the new work in the current work is stored in the work priority information storage means. Work redistribution means for assigning work priorities according to priority information, and reassigning all work from high priority work to all workers;
Instruction means for instructing all workers of the work assigned by the work redistribution means;
An operator management device comprising:

The work redistribution means changes from a work with a high priority to a new work,
Worker skill information storage means for storing worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker;
Worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on worker skill information in the worker skill information storage means;
The current work of the worker extracted by the worker extraction means is specified by the current work specifying means, and based on the work priority information in the work priority information storage means, the priority order of the current work and the priority of the new work Worker identification means for obtaining and comparing ranks and performing worker identification processing for identifying a worker whose priority of the new work is higher than that of the current work as a worker of the new work; The worker management apparatus according to claim 21, wherein:

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit electromagnetic waves having different frequencies for each worker,
The worker position specifying means finds the worker detecting means that has received electromagnetic waves having the frequency of the worker who is the target of the work area detection, and the work area in which the worker is located is located in the work area provided with the worker detecting means. The worker management apparatus according to claim 21, wherein the worker management apparatus is specified as an area.

The worker detecting means is provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter possessed by each worker,
The transmitter is set to transmit an electromagnetic wave carrying identification information for identifying the worker for each worker,
The worker position specifying means acquires worker identification information from the worker detection means, finds the worker detection means that has received the worker identification information to be a work area detection target, and detects the worker detection. The worker management apparatus according to claim 21, wherein a work area provided with means is specified as a work area where the worker is present.

Work information acquisition means for acquiring work information of an operator from a work device provided in the work area is provided,
In addition to the work area information identified as the work area where the worker is present, the current work identifying means obtains work information from the work device on which the worker is working from the work information obtaining means, The worker management apparatus according to claim 21, wherein the worker's current work is specified based on the area information and the work information.

A worker management device for managing workers performing work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
Work specifying information storage means for storing work specifying information in which each work area of the work place and work contents performed in each work area are associated;
Worker position specifying means for specifying in which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided in each work area;
Based on the work identification information stored in the work identification information storage means, a current work identification means for identifying the current work of the worker from the worker's work area identified by the worker position identification means;
Work information storage means for specifying the current work of all workers by the current work specifying means for each predetermined time, and storing the current work for every worker;
A work report creating means for creating a work report including work details performed every predetermined time by a desired worker based on the work information stored in the work information storage means;
An operator management device characterized by comprising:

A worker management method for managing a worker who performs work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
An operator position specifying step for specifying which work area the worker is based on an output from the worker detection means provided in each work area;
The worker specified in the worker position specifying step based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information in which each work area of the work place and the work content performed in each work area are associated. A current work identification process for identifying the current work of the worker from the work area of
A determination step of determining whether to allow the worker to continue the current operation or to perform a new operation based on the current operation identified in the current operation identification step;
An instruction step for instructing the worker to perform work according to the determination result in the determination step;
A worker management method characterized by comprising:

A worker management method for managing a worker who performs work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
An operator position specifying step for specifying which work area the worker is based on an output from the worker detection means provided in each work area;
The work of the worker specified in the worker position specifying step based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information in which each work area is associated with the work content performed in each work area. A current work identification process for identifying the current work of the worker from the area;
A new work detection process for detecting that a new work has occurred,
When the new work detection step detects a new work, the worker skill information stored in the worker skill information storage means stores worker skill information that associates each worker with the work that can be performed by each worker. A worker extraction step for extracting workers who can perform the new work,
Based on the work priority information in the work priority information storage means for specifying the current work of the worker extracted in the worker extraction process by the current work specifying process and storing the priority information of the work, the priority order of the current work The worker identification process is performed to obtain and compare the priority of the new work and the worker identification process for identifying the worker whose priority of the new work is higher than that of the current work as the worker of the new work. Process,
An instruction step for instructing the worker identified in the worker identification step to perform the new work;
A worker management method characterized by comprising:

A worker management method for managing a worker who performs work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
An operator position specifying step for specifying which work area the worker is based on an output from the worker detection means provided in each work area;
The worker specified in the worker position specifying step based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information in which each work area of the work place and the work content performed in each work area are associated. A current work identification process for identifying the current work of the worker from the work area of
A new work detection process for detecting that a new work has occurred,
When the new work detection process detects a new work, the current work specifying process identifies the current work of all workers, and the work priority information is stored for all the work including the new work in the current work. A work redistribution step of assigning work priorities according to work priority information in the priority information storage means, and reallocating all work to all workers from work with high priority;
An instruction process for instructing all workers on the work assigned by the work redistribution process;
A worker management method characterized by comprising:

A worker management method for managing a worker who performs work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
An operator position specifying step for specifying which work area the worker is based on an output from the worker detection means provided in each work area;
The worker specified in the worker position specifying step based on the work specifying information in the work specifying information storage means for storing the work specifying information in which each work area of the work place and the work content performed in each work area are associated. A current work identification process for identifying the current work of the worker from the work area of
A work information storage step for identifying the current work of all workers by the current work identification step and storing the current work for every worker;
A work report creating step for creating a work report including work details performed every predetermined time by a desired worker based on the work information stored in the work information storing step;
A worker management method characterized by comprising: