JPS646066U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS646066U JPS646066U JP10025987U JP10025987U JPS646066U JP S646066 U JPS646066 U JP S646066U JP 10025987 U JP10025987 U JP 10025987U JP 10025987 U JP10025987 U JP 10025987U JP S646066 U JPS646066 U JP S646066U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate transport
- transport device
- housing
- light source
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
第１図は本考案による一実施例の構成を示す図
、第２図は従来の紫外線照射装置の構成を示す図
である。 １……基板、３……処理室、４……紫外線ラン
プ、５……換気口、６……ダンパー、７……温度
検出器、８……ダンパー駆動機構、９……駆動制
御機構。
、第２図は従来の紫外線照射装置の構成を示す図
である。 １……基板、３……処理室、４……紫外線ラン
プ、５……換気口、６……ダンパー、７……温度
検出器、８……ダンパー駆動機構、９……駆動制
御機構。
Claims (1)
- 紫外線硬化形レジストインクが塗装された基板
を搬送する基板搬送装置と、この基板搬送装置上
に配置された紫外線光源と、これら基板搬送装置
と紫外線光源を基板の出入口を残して覆うダンパ
ー装置を有するハウジングと、前記ハウジング内
に配置された温度検出器と、この温度検出器の出
力に応じて前記ダンパー装置を開閉する制御装置
とを具備したことを特徴とする紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025987U JPS646066U (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025987U JPS646066U (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646066U true JPS646066U (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=31328180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10025987U Pending JPS646066U (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS646066U (ja) |
-
1987
- 1987-06-30 JP JP10025987U patent/JPS646066U/ja active Pending
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