JPS6454046U - - Google Patents

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JPS6454046U
JPS6454046U JP1987150201U JP15020187U JPS6454046U JP S6454046 U JPS6454046 U JP S6454046U JP 1987150201 U JP1987150201 U JP 1987150201U JP 15020187 U JP15020187 U JP 15020187U JP S6454046 U JPS6454046 U JP S6454046U
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JP
Japan
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holding
movable
groove
grooves
fixed
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JP1987150201U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る基板ホルダの一実施例を
示す一部破断斜視図、第２図は第１図―線拡
大断面図、第３図ａ，ｂ，ｃは保持溝の他の実施
例を示す図、第４図および第５図はそれぞれ従来
の基板ホルダの要部側面図である。 ４…基板（フオトマスク）、２０…基板ホルダ
、２１…ホルダ本体、２２…固定板、２３…可動
板、２５Ａ〜２５Ｃ，２６Ａ〜２６Ｃ…固定保持
部、２７，３３…保持溝、３４，３５…可動保持
部、３６…長孔、３９…スプリング、Ｃ１〜Ｃ４
…側面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ホルダ本体上に、基板の任意の隣り合う２つの
    側面を保持する保持溝をそれぞれ有する少なくと
    も２つの固定保持部を、その保持溝が同一平面内
    で互いに直交するように設け、前記基板の他の隣
    り合う２つの側面を保持する保持溝をそれぞれ有
    する少なくとも２つの可動保持部を有する可動板
    を前記ホルダ本体上に、前記固定支持部の保持溝
    の交差角度の２等分線方向に移動自在に配設し、
    前記固定保持部および可動保持部の保持溝を、そ
    の溝幅が奥方に向うにしたがつて漸次直線的もし
    くは曲線的に減少するようＶ字状（もしくは略Ｖ
    字状）に形成したことを特徴とする基板ホルダ。
JP1987150201U 1987-09-30 1987-09-30 Pending JPS6454046U (ja)

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JP1987150201U JPS6454046U (ja) 1987-09-30 1987-09-30

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Publication Number Publication Date
JPS6454046U true JPS6454046U (ja) 1989-04-04

Family

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Family Applications (1)

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JP1987150201U Pending JPS6454046U (ja) 1987-09-30 1987-09-30

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JP (1) JPS6454046U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019433A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd パネル保持台、パネル組立装置およびパネル組立方法
JP2009272464A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Techno Fine:Kk サンプル保持機構

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