JPS6433739U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6433739U JPS6433739U JP12957387U JP12957387U JPS6433739U JP S6433739 U JPS6433739 U JP S6433739U JP 12957387 U JP12957387 U JP 12957387U JP 12957387 U JP12957387 U JP 12957387U JP S6433739 U JPS6433739 U JP S6433739U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- substrate
- cvd
- insulator
- setting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 208000037998 chronic venous disease Diseases 0.000 description 1
Description
第１図Ａ及び第１図Ｂはこの考案のＰ―ＣＶＤ
装置のボートの１実施例を示す平面図及びその側
面図、第２図Ａ及び第２図Ｂは、この考案の別の
実施例によるボートの平面図及び側面図、第３図
Ａ及び第３図Ｂは、従来のボートにおける平面図
及び側面図である。 １……ボート、２……基板、３……保持片、４
……絶縁層、Ｇ……ギヤツプ。
装置のボートの１実施例を示す平面図及びその側
面図、第２図Ａ及び第２図Ｂは、この考案の別の
実施例によるボートの平面図及び側面図、第３図
Ａ及び第３図Ｂは、従来のボートにおける平面図
及び側面図である。 １……ボート、２……基板、３……保持片、４
……絶縁層、Ｇ……ギヤツプ。
Claims (1)
- Ｐ―ＣＶＤ装置で膜形成する基板をセツトする
ためのボートであつて、該ボートと基板との間に
、絶縁体を挿入したことを特徴とするＰ―ＣＶＤ
装置のボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12957387U JPS6433739U (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12957387U JPS6433739U (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6433739U true JPS6433739U (ja) | 1989-03-02 |
Family
ID=31383973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12957387U Pending JPS6433739U (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6433739U (ja) |
-
1987
- 1987-08-25 JP JP12957387U patent/JPS6433739U/ja active Pending