JPS64328U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS64328U JPS64328U JP9571987U JP9571987U JPS64328U JP S64328 U JPS64328 U JP S64328U JP 9571987 U JP9571987 U JP 9571987U JP 9571987 U JP9571987 U JP 9571987U JP S64328 U JPS64328 U JP S64328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- extension tube
- quartz extension
- quartz
- blow holes
- tube according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
Description
第１図〜第３図は、この考案の実施例を示す図
で、第１図は第３図の―線断面図、第２図は、
第３図の―線断面図、第３図は、斜視図第４図
、第５図は、夫々他の実施例の要部を示す正面図
、第６図、第７図は、従来例を示す図で、第６図
は、横断面図、第７図は、縦断面図である。 １０……石英延長管、１０ａ……石英延長管の
外周面、１０ｂ……石英延長管の壁部、１１……
吹き出し穴、１３……ガス通路。
で、第１図は第３図の―線断面図、第２図は、
第３図の―線断面図、第３図は、斜視図第４図
、第５図は、夫々他の実施例の要部を示す正面図
、第６図、第７図は、従来例を示す図で、第６図
は、横断面図、第７図は、縦断面図である。 １０……石英延長管、１０ａ……石英延長管の
外周面、１０ｂ……石英延長管の壁部、１１……
吹き出し穴、１３……ガス通路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 石英延長管の壁部に、円周方向に沿つて間
隔をあけて複数の吹き出し穴を形成し、該石英延
長管の外周面に、前記吹き出し穴と連通するガス
通路を設けたことを特徴とする石英延長管。 (2) 複数の吹き出し穴が、同一円周上に位置し
ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項記載の石英延長管。 (3) 複数の吹き出し穴が、同一螺線上に位置し
ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項記載の石英延長管。 (4) ガス通路が、リング状であることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の石英延
長管。 (5) ガス通路が、螺線上であることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載の石英延長
管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987095719U JP2549093Y2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | 石英延長管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987095719U JP2549093Y2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | 石英延長管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64328U true JPS64328U (ja) | 1989-01-05 |
| JP2549093Y2 JP2549093Y2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=30960602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987095719U Expired - Lifetime JP2549093Y2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | 石英延長管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2549093Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55147742U (ja) * | 1979-04-11 | 1980-10-23 | ||
| JPS5691418A (en) * | 1979-12-25 | 1981-07-24 | Nec Corp | Heat treatment device |
| JPS57211729A (en) * | 1981-06-23 | 1982-12-25 | Fujitsu Ltd | Furnace for semiconductor heat treatment |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP1987095719U patent/JP2549093Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55147742U (ja) * | 1979-04-11 | 1980-10-23 | ||
| JPS5691418A (en) * | 1979-12-25 | 1981-07-24 | Nec Corp | Heat treatment device |
| JPS57211729A (en) * | 1981-06-23 | 1982-12-25 | Fujitsu Ltd | Furnace for semiconductor heat treatment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2549093Y2 (ja) | 1997-09-24 |